JPH07335122A - Water repellent, oil repellent treatment film forming method, device thereof, and picture display - Google Patents

Water repellent, oil repellent treatment film forming method, device thereof, and picture display

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JPH07335122A
JPH07335122A JP6127282A JP12728294A JPH07335122A JP H07335122 A JPH07335122 A JP H07335122A JP 6127282 A JP6127282 A JP 6127282A JP 12728294 A JP12728294 A JP 12728294A JP H07335122 A JPH07335122 A JP H07335122A
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JP
Japan
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repellent
oil
water
film
image display
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Application number
JP6127282A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsumi Obara
克美 小原
Hiromitsu Kawamura
啓溢 河村
Shigeki Kataoka
茂樹 片岡
Masahiro Ieda
雅大 家田
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide a water repellent, oil repellent treatment film forming method, its device, and a picture display, in which reflecting characteristics of an unreflecting treatment film is not damaged, appearance defects caused by uneven coating are not generated, and quality is enhanced. CONSTITUTION:In a method for forming a chemical adsorption monomolecular film containing a water repellent, oil repellent group, a water repellent, oil repellent treatment solution is vacuumed, and the surface on which a film is to be formed is exposed in a vapor produced. The water repellent, oil repellent chemical adsorption monomolecular film is formed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、防汚効果が要求される
陰極線管や液晶表示装置の画像表示面、光学レンズ、眼
鏡用レンズ等に撥水,撥油処理膜を形成する方法とその
装置および画像表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of forming a water-repellent or oil-repellent film on an image display surface of a cathode ray tube or a liquid crystal display device, an optical lens, an eyeglass lens, etc. The present invention relates to a device and an image display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】陰極線管や液晶表示装置の画像表示面、
光学レンズ、眼鏡用レンズ等に指紋等の汚れが付着する
とこの汚れによって画像品質や視覚品質が損なわれる。
一般に、これらの面には、外来光の反射を防止するため
に多層蒸着膜や不均質膜からなる無反射処理が施されて
いることが多く、このような面に汚れが付着した場合に
はこの汚れが特に目立ちやすく取れにくいという問題が
ある。
2. Description of the Related Art Image display surfaces of cathode ray tubes and liquid crystal display devices,
When stains such as fingerprints adhere to the optical lens, the spectacle lens, etc., the stains impair the image quality and the visual quality.
In general, these surfaces are often subjected to antireflection treatment consisting of a multilayer vapor deposition film or a heterogeneous film in order to prevent reflection of extraneous light, and when dirt is attached to such surfaces, There is a problem that this stain is particularly noticeable and difficult to remove.

【0003】このような汚れの付着性を低減あるいは除
去性を向上させる方法として、陰極線管や液晶表示装置
の画像表示面、光学レンズ、眼鏡レンズの無反射処理面
に撥水,撥油処理膜を形成し、防汚性を向上させる方法
が知られている。上記撥水,撥油処理をする方法として
は、フロロカーボン系樹脂をスプレィや浸漬法により塗
布する方法やアルコキシシラン、クロロシラン、フルオ
ロアルキルシランおよびフルオロアルキルクロロシラン
を混ぜた溶剤中に浸漬塗布する方法等が知られている。
As a method of reducing the adherence of such dirt or improving the removability thereof, a water-repellent or oil-repellent film is formed on the image display surface of a cathode ray tube or a liquid crystal display device, the optical lens, or the antireflection surface of an eyeglass lens. There is known a method for forming anti-fouling property and improving antifouling property. Examples of the water-repellent and oil-repellent treatments include a method of applying a fluorocarbon resin by spraying or a dipping method, a method of dipping in a solvent mixed with alkoxysilane, chlorosilane, fluoroalkylsilane and fluoroalkylchlorosilane. Are known.

【0004】なお、この種の従来技術を開示したものと
しては、例えば特開平4−124047号を挙げること
ができる。
As a disclosure of this type of prior art, there is, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 4-124047.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記した汚れの付着性
を低減あるいは除去性を向上させる方法のうち、前者の
方法では、均一に単分子層のみ撥水,撥油処理膜を形成
することは困難で、当該処理膜が厚膜で形成されるた
め、本来無反射処理膜の持っている反射防止効果が損な
われてしまうという問題があった。
Among the above methods for reducing the adhesion of dirt or improving the removability, the former method does not uniformly form a water-repellent or oil-repellent film only on a monomolecular layer. It is difficult and the processed film is formed as a thick film, so that there is a problem that the antireflection effect originally possessed by the anti-reflection processed film is impaired.

【0006】また、後者の方法では、撥水,撥油膜塗布
時に処理剤の液切れが十分でないと処理剤が被形成面に
塗布むらとして残りやすいという問題があった。この撥
水,撥油処理剤の塗布むらは、処理剤が乾燥していない
時点であれば溶剤で拭きとることができるが、きれいに
拭き取ることが難しく、拭きとり方によっては逆に撥
水,撥油効果を落としてしまうという問題がそれぞれあ
った。
Further, the latter method has a problem that the coating agent is likely to remain as coating unevenness on the surface to be formed unless the processing agent runs out of liquid when the water and oil repellent film is applied. The coating unevenness of the water and oil repellent treatment agent can be wiped off with a solvent at the time when the treatment agent is not dried, but it is difficult to wipe it off cleanly. There was a problem that the effect was lost.

【0007】本発明の目的は、前記従来技術の課題を解
決するため、陰極線管や液晶表示装置の画像表示面、光
学レンズ、眼鏡用レンズ等に指紋等に汚れが付着しに難
く取れ易くする,所謂防汚効果を高める撥水,撥油処理
膜を前記被形成面である無反射処理膜の反射特性を損な
わず、塗布むら等による外観上の欠点の発生がなく、か
つ優れた撥水,撥油処理効果を有する膜を単分子層形成
する方法とその装置および画像表示装置を提供すること
にある。
In order to solve the above-mentioned problems of the prior art, an object of the present invention is to make it easy to remove stains on fingerprints and the like on the image display surface of a cathode ray tube, liquid crystal display device, optical lens, spectacle lens, etc. The water-repellent and oil-repellent treated film that enhances the so-called antifouling effect does not impair the reflection characteristics of the non-reflective treated film that is the surface on which the film is formed, does not cause defects in appearance due to uneven coating, and has excellent water repellency. The object of the present invention is to provide a method for forming a monomolecular layer of a film having an oil repellent effect, its apparatus and an image display apparatus.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の第1の発明は、撥水,撥油基を含
む化学吸着単分子膜を形成する方法において、撥水,撥
油処理液を減圧し、発生した蒸気に被形成面を暴露する
ことにより撥水,撥油性化学吸着単分子膜を形成するこ
とを特徴とする。
In order to achieve the above object, the first invention according to claim 1 is a method for forming a chemisorption monomolecular film containing a water-repellent or oil-repellent group, wherein It is characterized in that the oil repellent treatment liquid is decompressed and the surface to be formed is exposed to the generated vapor to form a water repellent and oil repellent chemisorption monomolecular film.

【0009】また、請求項2に記載の第2の発明は、撥
水,撥油基を含む化学吸着単分子膜が被形成面とシロキ
サン結合していることを特徴とする。そして、請求項3
に記載の第3の発明は、上記第1および第2の発明の撥
水,撥油処理膜を形成するための装置が、撥水,撥油処
理液の蒸気を発生させるための減圧機構と、撥水,撥油
処理液を空気と遮断するためのシャッタ機構、及び不活
性ガスとの置換機構とを有することを特徴とする。
The second aspect of the present invention is characterized in that the chemisorption monomolecular film containing water-repellent and oil-repellent groups is siloxane-bonded to the surface to be formed. And claim 3
According to a third aspect of the present invention, in the apparatus for forming the water-repellent / oil-repellent treatment film of the first and second aspects, a decompression mechanism for generating vapor of the water-repellent / oil-repellent treatment liquid is provided. , A shutter mechanism for blocking the water-repellent and oil-repellent treatment liquid from the air, and a mechanism for replacing with an inert gas.

【0010】さらに、請求項4に記載の発明は、上記第
1,第2の発明の形成方法、および上記第3の発明の製
造装置で形成した撥水,撥油処理膜を備えた陰極線管、
液晶表示装置、その他の光学機器を含む画像表示装置で
あることを特徴とする。すなわち、本発明は、撥水,撥
油基を有する処理剤を減圧し、発生した蒸気を被形成面
(陰極線管や液晶表示装置の画像表示面、光学レンズ、
眼鏡用レンズ)に暴露することにより優れた撥水,撥油
効果を有する化学吸着単分子膜を形成することを特徴と
する。
Furthermore, a fourth aspect of the present invention is a cathode ray tube having a water-repellent and oil-repellent treatment film formed by the forming method of the first and second inventions and the manufacturing apparatus of the third invention. ,
The image display device includes a liquid crystal display device and other optical devices. That is, according to the present invention, the treatment agent having a water-repellent or oil-repellent group is decompressed, and the generated vapor is formed on a surface to be formed (a cathode ray tube or an image display surface of a liquid crystal display device, an optical lens,
It is characterized by forming a chemisorption monomolecular film having excellent water and oil repellency by exposing it to an eyeglass lens.

【0011】また、この撥水,撥油処理膜は被形成面と
シロキサン結合していることを特徴としている。本発明
の撥水,撥油効果を得るための処理剤としては、アルキ
ルシラン、クロロシラン、フルオロアルキルシラン及び
フルオロアルキルクロロシラン等があるが、トリフルオ
ロプロピルトリクロロシラン、トリデカフルオロオクチ
ルトリクロロシラン、ヘプタデカフルオロデシルトリク
ロロシラン、ヘプタデカフルオロデシルメチルジクロロ
シラン等のフルオロアルキルクロロシランを用いること
が撥水、撥油効果が優れていることと、低い圧力で蒸気
が発生することから好ましい。
Further, this water-repellent and oil-repellent treated film is characterized in that it is siloxane-bonded to the surface to be formed. Examples of the treatment agent for obtaining the water and oil repellency effect of the present invention include alkylsilane, chlorosilane, fluoroalkylsilane and fluoroalkylchlorosilane, but trifluoropropyltrichlorosilane, tridecafluorooctyltrichlorosilane, heptadeca It is preferable to use fluoroalkylchlorosilanes such as fluorodecyltrichlorosilane and heptadecafluorodecylmethyldichlorosilane because they are excellent in water and oil repellency and generate steam at low pressure.

【0012】このフルオロアルキルクロロシラン処理剤
は、大気圧では蒸気は発生しないため減圧する必要があ
る。また、減圧下で空気中の水分と処理剤が反応すると
白濁する(加水分解ゲル化物)。従って、本発明の撥
水,撥油処理膜の形成装置は、処理剤の蒸気を発生する
ための減圧機構と、処理剤と空気(空気中の水分)を遮
断するためのシャッター機構及び空気を不活性ガスと置
換するための機構を有することを特徴とする。
This fluoroalkylchlorosilane treatment agent does not generate steam at atmospheric pressure, so it is necessary to reduce the pressure. Further, when water in the air reacts with the treating agent under reduced pressure, it becomes cloudy (hydrolyzed gel). Therefore, the apparatus for forming a water-repellent and oil-repellent treatment film of the present invention includes a decompression mechanism for generating vapor of the treatment agent, a shutter mechanism for shutting off the treatment agent and air (moisture in the air), and air. It is characterized by having a mechanism for replacing with an inert gas.

【0013】[0013]

【作用】陰極線管や液晶表示装置の画像表示面、光学レ
ンズ、眼鏡用レンズ等に形成される無反射膜は、一般に
可視光の幅広い範囲において反射防止効果を得るために
屈折率の異なった物質がそれぞれ一定の膜厚となるよう
に積層された多層膜、あるいは屈折率が連続的に変化す
るような微細な凹凸を持った不均質膜等から構成されて
いる。
A non-reflective film formed on a cathode ray tube, an image display surface of a liquid crystal display device, an optical lens, an eyeglass lens or the like is generally made of a substance having a different refractive index in order to obtain an antireflection effect in a wide range of visible light. Are each formed of a multi-layer film laminated so as to have a constant film thickness, or a heterogeneous film having fine unevenness such that the refractive index continuously changes.

【0014】このため、これら無反射膜の膜厚分布や微
細凹凸の深さが変わると反射特性も変わり本来の反射防
止効果が得られなくなってしまう。従って、当該膜に形
成される撥水,撥油処理膜は、反射防止特性に影響を与
えない膜厚でなければいけない。本発明で形成される撥
水,撥油処理膜は、その膜厚がナノメータレベルのきわ
めて薄い単分子膜であるため、無反射膜本来の反射防止
特性を損なうことがない。
Therefore, if the film thickness distribution of these non-reflective films and the depth of fine irregularities change, the reflection characteristics also change and the original antireflection effect cannot be obtained. Therefore, the water and oil repellent film formed on the film must have a film thickness that does not affect the antireflection property. The water-repellent and oil-repellent treated film formed by the present invention is an extremely thin monomolecular film having a nanometer level, and therefore does not impair the original antireflection property of the antireflection film.

【0015】陰極線管や液晶表示装置の画像表示面、光
学レンズ、眼鏡用レンズ等は当然のことながら画像品
質、視覚品質や実用強度が重要である。このため形成さ
れた撥水,撥油処理膜は外観上の欠点が無く、十分な膜
強度を有している必要がある。本発明の撥水,撥油処理
膜は、撥水,撥油処理液の発生した蒸気を被形成面に暴
露する方法であるため、撥水,撥油処理液が混合された
塗布液中に浸積する方法とは異なり処理剤が残ることが
なく塗布むらの発生が無く均一に形成される。
Image quality, visual quality and practical strength are naturally important for the cathode ray tube, the image display surface of a liquid crystal display device, optical lenses, spectacle lenses and the like. For this reason, the water-repellent and oil-repellent film thus formed is required to have sufficient film strength without any defect in appearance. Since the water-repellent and oil-repellent treatment film of the present invention is a method of exposing the surface where the water-repellent and oil-repellent treatment liquid is generated to the surface to be formed, the water-repellent and oil-repellent treatment liquid is mixed in the coating liquid. Unlike the dipping method, the treatment agent does not remain and uneven coating is not generated, so that the treatment agent is uniformly formed.

【0016】また、この撥水,撥油処理膜は被形成面と
化学結合しているため十分な付着強度を有する。すなわ
ち、被形成面の親水基と撥水、撥油処理膜のシラノール
基がナノメータレベルの膜厚でシロキサン結合している
ので十分な付着強度を有する。本発明による撥水、撥油
処理膜形成装置は、真空ポンプによりフルオロアルキル
クロロシラン処理剤を減圧し蒸気を発生させる。また、
フルオロアルキルクロロシランの空気中の水分との反応
による白濁は、撥水,撥油処理膜形成時に空気と遮断さ
れる機構と空気と不活性ガスと置換される機構を持った
装置で形成されるので白濁が防止でき処理剤の劣化が防
げる。
Further, this water-repellent and oil-repellent treated film has sufficient adhesion strength because it is chemically bonded to the surface to be formed. That is, since the hydrophilic groups on the surface to be formed and the silanol groups on the water-repellent and oil-repellent film are siloxane-bonded at a nanometer level film thickness, sufficient adhesion strength is obtained. The water / oil repellent film forming apparatus according to the present invention depressurizes the fluoroalkylchlorosilane treating agent with a vacuum pump to generate steam. Also,
The white turbidity caused by the reaction of fluoroalkylchlorosilane with the water in the air is formed by a device that has a mechanism that blocks the air and a mechanism that replaces the air with the inert gas when the water and oil repellent film is formed. White turbidity can be prevented and deterioration of the treatment agent can be prevented.

【0017】なお、本発明では処理剤の白濁を防止する
方法で説明したが、形成装置に必要な一定量供給する方
法でも差し支えない。このように形成された撥水、撥油
処理膜は、表層に撥水,撥油性に優れたフッ素基を含有
するので防汚効果に優れたものである。
In the present invention, the method of preventing clouding of the treating agent has been described, but a method of supplying a fixed amount required for the forming apparatus may be used. The water-repellent and oil-repellent treated film thus formed has an excellent antifouling effect because the surface layer contains a fluorine group having excellent water repellency and oil repellency.

【0018】[0018]

【実施例】以下、本発明の実施例につき、図面を参照し
て詳細に説明する。図1は本発明による撥水,撥油処理
膜の形成方法を陰極線管の画像表示面に適用した実施例
を説明する処理手順の説明図である。同図において、ま
ず、無反射テレパネルあるいは不均質膜からなる反射防
止膜の形成された陰極線管の画像表示面を中性洗剤、ア
ルカリ洗剤、純水等により清浄化する(プロセス1、以
下P−1のように記す)。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory view of a processing procedure for explaining an embodiment in which the water-repellent and oil-repellent treatment film forming method according to the present invention is applied to an image display surface of a cathode ray tube. In the figure, first, the image display surface of a cathode ray tube on which an antireflection film made of a non-reflective telepanel or an inhomogeneous film is formed is cleaned with a neutral detergent, an alkaline detergent, pure water or the like (Process 1, hereinafter P- 1).

【0019】この陰極線管を撥水,撥油処理膜形成装置
の処理槽内にセットする(P−2)。蒸気処理槽には通
常はシャッターで槽内雰囲気と遮断されたフルオロアル
キルクロロシラン収容容器が格納されている。処理槽内
に陰極線管をセットした後、当該処理槽内をドライ窒素
で十分置換する(P−3)。
This cathode ray tube is set in the processing tank of the water and oil repellent film forming apparatus (P-2). In the steam treatment tank, a fluoroalkylchlorosilane accommodating container that is shielded from the atmosphere in the tank by a shutter is usually stored. After setting the cathode ray tube in the treatment tank, the inside of the treatment tank is sufficiently replaced with dry nitrogen (P-3).

【0020】フルオロアルキルクロロシラン容器のシャ
ターを開け、真空ポンプで760mmHg程度まで減圧
する(P−4)。これにより、処理槽内にフルオロアル
キルクロロシラン(ヘプタデカフルオロデシルトリクロ
ロシラン)の蒸気を発生させ、陰極線管の画像表示面に
発生したフルオロアルキルクロロシラン蒸気を被暴させ
る(P−5)。
The shutter of the fluoroalkylchlorosilane container is opened, and the pressure is reduced to about 760 mmHg by a vacuum pump (P-4). As a result, a vapor of fluoroalkylchlorosilane (heptadecafluorodecyltrichlorosilane) is generated in the treatment tank, and the fluoroalkylchlorosilane vapor generated on the image display surface of the cathode ray tube is exposed (P-5).

【0021】そして、真空ポンプを止め、5分間保持す
ることで撥水,撥油処理膜を形成する(P−6)。その
後、シャッターを閉じて当該処理槽内をドライ窒素の導
入によりパージして(P−7)、陰極線管を処理槽から
取り外す(P−8)。更に、必要に応じてこの陰極線管
を100〜150°C程度の温度で加熱焼成する。
Then, the vacuum pump is stopped and held for 5 minutes to form a water and oil repellent film (P-6). After that, the shutter is closed and the inside of the processing tank is purged by introducing dry nitrogen (P-7), and the cathode ray tube is removed from the processing tank (P-8). Furthermore, if necessary, this cathode ray tube is heated and baked at a temperature of about 100 to 150 ° C.

【0022】このようにして形成された撥水,撥油処理
膜の膜厚は非常に薄い(10〜20オングストローム程
度)ものであるため、画像表示面に形成されている多層
膜や不均質膜からなる反射防止膜の反射防止特性を全く
損なうことがなく、外観上の欠点もない。このようにし
て形成した撥水,撥油処理膜に指紋等の汚れを付けて、
撥水,撥油処理を施さない同様の陰極線管と比較してみ
た結果、本発明の撥水、撥油処理膜を施した陰極線管の
画像表示面には汚れの付着が大幅に減少し、付着した汚
れも乾布で軽く拭くだけで簡単に取れたのに対して、処
理していない陰極線管の画像表示面では汚れがはっきり
と目立ち、乾布で強く擦っただけでは取れなかった。
The water-repellent and oil-repellent film thus formed has a very thin film thickness (about 10 to 20 angstroms), so that the multi-layer film or the heterogeneous film formed on the image display surface. It does not impair the antireflection property of the antireflection film made of, and has no defect in appearance. Add stains such as fingerprints to the water- and oil-repellent film thus formed,
As a result of comparison with a similar cathode ray tube not subjected to water and oil repellent treatment, the adhesion of dirt to the image display surface of the cathode ray tube provided with the water repellent and oil repellent film of the present invention is significantly reduced. The dirt that adhered was easily removed by simply wiping it with a dry cloth, whereas the dirt was clearly visible on the image display surface of the untreated cathode ray tube and could not be removed by just rubbing it strongly with a dry cloth.

【0023】上記実施例は陰極線管の画像表示面に本発
明を適用した場合についてのものであるが、液晶表示装
置、その他の光学装置の表面(被被面)についても同様
である。なお、この撥水,撥油処理膜の水に対する接触
角は、被形成面に成膜された反射防止膜が多層膜の場合
は90〜100度で、不均質膜の場合で120〜130
度であった。
Although the above-described embodiment is applied to the case where the present invention is applied to the image display surface of the cathode ray tube, the same applies to the surface (covered surface) of the liquid crystal display device and other optical devices. The contact angle of the water-repellent and oil-repellent film with water is 90 to 100 degrees when the antireflection film formed on the surface to be formed is a multilayer film, and 120 to 130 when it is a heterogeneous film.
It was degree.

【0024】更に、この膜をライオン社製「50ー3
0」消しゴムで50回擦ってみた後の接触角を測定して
みたところ、擦る前とほとんど変化が無く、十分に強い
付着強度を有していた。図2は本発明の撥水,撥油処理
膜形成方法で画像表示面に撥水、撥油処理膜を形成した
陰極線管の断面であって、1は陰極線管、2は画像表示
面(パネル)、3はファンネル、4はネック、5は蛍光
面、6はシャドウマスク、7はマスクフレーム、8はシ
ャドウマスク懸架機構、9は磁気シールド、10は電子
銃、11は偏向ヨーク、12は外部補正磁気装置、13
は画像表示面とファンネルを接合するためのフリットガ
ラス、14は補強バンドである。
Further, this film is manufactured by Lion Corporation "50-3
When the contact angle after rubbing 50 times with a 0 "eraser was measured, there was almost no change from that before rubbing, and it had a sufficiently strong adhesive strength. FIG. 2 is a cross section of a cathode ray tube having a water repellent and oil repellent treatment film formed on the image display surface by the water and oil repellent treatment film forming method of the present invention, where 1 is a cathode ray tube and 2 is an image display surface (panel). ) 3 is a funnel, 4 is a neck, 5 is a fluorescent screen, 6 is a shadow mask, 7 is a mask frame, 8 is a shadow mask suspension mechanism, 9 is a magnetic shield, 10 is an electron gun, 11 is a deflection yoke, and 12 is external. Correction magnetic device, 13
Is a frit glass for joining the image display surface and the funnel, and 14 is a reinforcing band.

【0025】同図において、この陰極線管は所謂シャド
ウマスク型カラー陰極線管であり、画像表示面2とファ
ンネル3およびネック4とで真空外囲器を構成し、画像
表示面2の内面には蛍光面5が塗布されている。この蛍
光面5に近接してシャドウマスク6が配置される。シャ
ドウマスク6はマスクフレーム7に保持され、シャドウ
マスク懸架機構8で画像表示面2の内側壁に懸架支持さ
れる。なお、マスクフレーム7には外部磁気から電子ビ
ームを遮蔽するための磁気シールド9が固定される。
In FIG. 1, this cathode ray tube is a so-called shadow mask type color cathode ray tube, and the image display surface 2, the funnel 3 and the neck 4 constitute a vacuum envelope, and the inside surface of the image display surface 2 is fluorescent. Surface 5 is applied. A shadow mask 6 is arranged close to the fluorescent screen 5. The shadow mask 6 is held by the mask frame 7 and is suspended and supported by the shadow mask suspension mechanism 8 on the inner wall of the image display surface 2. A magnetic shield 9 for shielding the electron beam from external magnetism is fixed to the mask frame 7.

【0026】ファンネル3とネック4の遷移部には偏向
ヨーク11が外装され、ネック4に収納された電子銃1
0から発射された3本の電子ビームBs×2,Bcを水
平と垂直の2方向に偏向し、画像表示面2に画像を形成
する。なお、外部補正磁気装置12は電子ビームの進路
を微調整し、センタリングあるいはピュリティの補正を
行う。
An electron gun 1 housed in the neck 4 is equipped with a deflection yoke 11 at the transition between the funnel 3 and the neck 4.
The three electron beams Bs × 2, Bc emitted from 0 are deflected in two directions, horizontal and vertical, to form an image on the image display surface 2. The external correction magnetic device 12 finely adjusts the path of the electron beam to perform centering or purity correction.

【0027】画像表示面2とファンネル3とはフリット
ガラス13で接合され、補強バンド14で緊締される。
図3は図2における画像表示面の第1例を説明する要部
断面図であって、陰極線管の外光の反射防止法として多
層の蒸着膜を成膜した所謂テレパネルをレジンで画像表
示面の表面に貼り付けた画像表示面を示す。
The image display surface 2 and the funnel 3 are joined by a frit glass 13 and are tightened by a reinforcing band 14.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part for explaining a first example of the image display surface in FIG. 2. A so-called telepanel having a multilayer vapor deposition film formed as a method for preventing reflection of external light of a cathode ray tube is a resin image display surface. The image display surface attached to the surface of FIG.

【0028】同図において、2aはパネルガラス、2b
は多層蒸着膜が形成された無反射テレパネル、2cはパ
ネルガラスとテレパネルを接着するためのレジン、2d
は本発明の方法により形成した撥水,撥油処理膜をそれ
ぞれ示す。陰極線管のパネル画像2aの表面にはレジン
2cで多層蒸着膜が形成された無反射テレパネル2bが
接着される。
In the figure, 2a is a panel glass, 2b
Is a non-reflective telepanel having a multilayer vapor deposition film formed thereon, 2c is a resin for adhering the panel glass to the telepanel, and 2d.
Indicate water-repellent and oil-repellent treated films formed by the method of the present invention, respectively. On the surface of the panel image 2a of the cathode ray tube, a non-reflective telepanel 2b having a multi-layer vapor deposition film formed by a resin 2c is adhered.

【0029】このテレパネル2bの外面には前記した本
発明の形成方法で形成した撥水、撥油処理膜2dが成膜
されている。この第1例によれば、無反射処理膜の反射
特性を損なわず、塗布むら等によるの外観上の欠点の発
生がなく、かつ優れた撥水,撥油処理効果を奏する。図
4は図2における画像表示面の第2例を説明する要部断
面図であって、陰極線管の外光の反射防止法として不均
質膜を直接陰極線管に形成した画像表示面を示す。
On the outer surface of the telepanel 2b, a water-repellent and oil-repellent treated film 2d formed by the above-described forming method of the present invention is formed. According to the first example, the reflection characteristics of the non-reflection-treated film are not impaired, appearance defects such as coating unevenness do not occur, and excellent water and oil repellent treatment effects are achieved. FIG. 4 is a cross-sectional view of an essential part for explaining a second example of the image display surface in FIG. 2, and shows an image display surface in which a heterogeneous film is directly formed on the cathode ray tube as a method for preventing reflection of external light of the cathode ray tube.

【0030】同図において、2eは高屈折率導電膜、2
fは微細凹凸を有する不均質膜、2dは本発明の方法に
より形成した撥水、撥油処理膜をそれぞれ示す。陰極線
管のパネル画像2aの表面には高屈折率導電膜2eが直
接形成され、その外面に前記した本発明の形成方法で形
成した撥水、撥油処理膜2dが成膜されている。
In the figure, 2e is a high refractive index conductive film and 2e is a conductive film.
Reference symbol f represents a heterogeneous film having fine irregularities, and reference symbol 2d represents a water-repellent or oil-repellent treated film formed by the method of the present invention. The high-refractive-index conductive film 2e is directly formed on the surface of the panel image 2a of the cathode ray tube, and the water-repellent and oil-repellent treated film 2d formed by the above-described forming method of the present invention is formed on the outer surface thereof.

【0031】この第2例によれば、上記と同様、無反射
処理膜の反射特性を損なわず、塗布むら等によるの外観
上の欠点の発生がなく、かつ優れた撥水,撥油処理効果
を奏する。図5は被形成面としての陰極線管の画像表示
面に撥水、撥油処理膜を形成する本発明の撥水、撥油処
理膜形成装置の一例を説明する模式図であって、15は
撥水,撥油処理膜形成装置を構成する処理槽、16はフ
ルオロアルキルクロロ処理剤から蒸気を発生させるため
の真空ポンプ、17は真空計、18はフルオロアルキル
クロロ処理剤を空気と遮断するためのシャッター、19
は処理槽内の雰囲気を置換するためのドライ窒素、20
はフルオロアルキルクロロシラン(ここでは、ヘプタデ
カフルオロデシルトリクロロシラン)処理剤を収容する
容器をそれぞれ示す。
According to the second example, similarly to the above, the reflection characteristics of the antireflection film are not impaired, no external defects such as coating unevenness are generated, and an excellent water and oil repellent effect is obtained. Play. FIG. 5 is a schematic diagram for explaining an example of the water / oil repellent film forming apparatus of the present invention for forming a water / oil repellent film on the image display surface of the cathode ray tube as the surface to be formed. A treatment tank constituting a water and oil repellent treatment film forming device, 16 is a vacuum pump for generating vapor from the fluoroalkyl chloro treating agent, 17 is a vacuum gauge, and 18 is for blocking the fluoroalkyl chloro treating agent from air. Shutter, 19
Is dry nitrogen for replacing the atmosphere in the processing tank, 20
Are containers for containing a fluoroalkylchlorosilane (here, heptadecafluorodecyltrichlorosilane) treating agent.

【0032】同図において、中性洗剤、アルカリ洗剤、
純水等により清浄化された前記図3で説明した無反射テ
レパネル、あるいは前記図4で説明した不均質膜からな
る反射防止膜の形成された陰極線管1の画像表示面を処
理槽に臨ませてセットする。処理槽15内には、通常は
シャッター18で槽内雰囲気と遮断されたフルオロアル
キルクロロシラン収容容器20が格納されている。
In the figure, a neutral detergent, an alkaline detergent,
The non-reflective telepanel described with reference to FIG. 3 cleaned with pure water or the like, or the image display surface of the cathode ray tube 1 on which the antireflection film including the heterogeneous film described with reference to FIG. Set. In the processing bath 15, a fluoroalkylchlorosilane storage container 20 which is normally shielded from the atmosphere in the bath by a shutter 18 is stored.

【0033】処理槽15に陰極線管をセットした後、当
該処理槽内をドライ窒素19で十分置換し、フルオロア
ルキルクロロシラン容器20のシャター18を開け、真
空ポンプ16を作動させて760mmHg程度まで減圧
する。これにより、処理槽15内にフルオロアルキルク
ロロシランの蒸気を発生させ、陰極線管の画像表示面に
発生したフルオロアルキルクロロシラン蒸気を蒸発さ
せ、画像表示面に被暴させる。
After setting the cathode ray tube in the treatment tank 15, the inside of the treatment tank is sufficiently replaced with dry nitrogen 19, the shutter 18 of the fluoroalkylchlorosilane container 20 is opened, and the vacuum pump 16 is operated to reduce the pressure to about 760 mmHg. . As a result, a vapor of fluoroalkylchlorosilane is generated in the processing tank 15, the fluoroalkylchlorosilane vapor generated on the image display surface of the cathode ray tube is evaporated, and the image display surface is exposed.

【0034】そして、真空ポンプ16を止め、約5分間
程度保持することで撥水,撥油処理膜を形成する。その
後、シャッター18を閉じて当該処理槽15内をドライ
窒素19の導入によりパージし、陰極線管を処理槽から
取り外す。なお、必要に応じてこの陰極線管を100〜
150°C程度の温度で加熱焼成する。
Then, the vacuum pump 16 is stopped and held for about 5 minutes to form a water and oil repellent film. After that, the shutter 18 is closed, the inside of the processing bath 15 is purged by introducing dry nitrogen 19, and the cathode ray tube is removed from the processing bath. If necessary, this cathode ray tube should be
It is heated and baked at a temperature of about 150 ° C.

【0035】このようにして陰極線管1の画像表示面に
薄い撥水,撥油処理膜が形成される。この装置によれ
ば、画像表示面に形成されている多層膜や不均質膜から
なる反射防止膜の反射防止特性を全く損なうことがな
く、外観上の欠点もないこの撥水,撥油処理膜が得られ
る。
In this way, a thin water and oil repellent film is formed on the image display surface of the cathode ray tube 1. According to this device, the water-repellent and oil-repellent treated film does not impair the antireflection property of the antireflection film formed of the multilayer film or the heterogeneous film formed on the image display surface and has no defect in appearance. Is obtained.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、本発明による撥
水、撥油処理膜形成方法とその装置によれば、陰極線管
や液晶表示装置の画像表示面、光学レンズ、眼鏡用レン
ズ等に形成されている無反射膜の反射防止特性を損なう
ことが無く、外観上の欠点の無い優れた撥水、撥油性を
有する化学吸着単分子膜が撥水、撥油処理液の劣化も無
く形成できる。
As described above, according to the method for forming a water-repellent and oil-repellent film according to the present invention and the apparatus therefor, it is formed on a cathode ray tube, an image display surface of a liquid crystal display device, an optical lens, an eyeglass lens or the like. A chemically adsorbed monomolecular film with excellent water repellency and oil repellency that does not impair the antireflection property of the existing non-reflective film and has no defects in appearance can be formed without water repellency or deterioration of the oil repellent treatment liquid. .

【0037】従って、耐久性がきわめて高く防汚効果に
優れた陰極線管や液晶画像表示装置、光学レンズ、眼鏡
用レンズ等を提供できる。
Therefore, it is possible to provide a cathode ray tube, a liquid crystal image display device, an optical lens, a spectacle lens, etc. which are extremely durable and have an excellent antifouling effect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による撥水,撥油処理膜の形成方法を陰
極線管の画像表示面に適用した実施例を説明する処理手
順の説明図である。
FIG. 1 is an explanatory view of a processing procedure for explaining an embodiment in which the water-repellent and oil-repellent treatment film forming method according to the present invention is applied to an image display surface of a cathode ray tube.

【図2】本発明の撥水,撥油処理膜形成方法で画像表示
面に撥水、撥油処理膜を形成した陰極線管の断面であ
る。
FIG. 2 is a cross section of a cathode ray tube in which a water-repellent and oil-repellent treatment film is formed on the image display surface by the water-repellent and oil-repellent treatment film forming method of the present invention.

【図3】図2における画像表示面の第1例を説明する要
部断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of main parts for explaining a first example of the image display surface in FIG.

【図4】図2における画像表示面の第2例を説明する要
部断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of main parts for explaining a second example of the image display surface in FIG.

【図5】被形成面としての陰極線管の画像表示面に撥
水、撥油処理膜を形成する本発明の撥水、撥油処理膜形
成装置の一例を説明する模式図である。
FIG. 5 is a schematic diagram illustrating an example of a water / oil repellent film forming apparatus of the present invention for forming a water / oil repellent film on an image display surface of a cathode ray tube as a surface to be formed.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 陰極線管 2 画像表示面(パネル) 3 ファンネル 4 ネック 5 蛍光面 6 シャドウマスク 7 マスクフレーム 8 シャドウマスク懸架機構 9 磁気シールド 10 電子銃 11 偏向ヨーク 12 外部補正磁気装置 13 フリットガラス 14 補強バンド 15 撥水,撥油処理膜形成装置を構成する処理槽 16 真空ポンプ 17 真空計 18 シャッター 19 ドライ窒素 20 フルオロアルキルクロロシラン処理剤を収容する
容器。
1 cathode ray tube 2 image display surface (panel) 3 funnel 4 neck 5 fluorescent surface 6 shadow mask 7 mask frame 8 shadow mask suspension mechanism 9 magnetic shield 10 electron gun 11 deflection yoke 12 external correction magnetic device 13 frit glass 14 reinforcing band 15 repellent Water and oil repellent treatment film forming treatment tank 16 Vacuum pump 17 Vacuum gauge 18 Shutter 19 Dry nitrogen 20 Container for containing fluoroalkylchlorosilane treatment agent.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 家田 雅大 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (72) Inventor Masahiro Ieda 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Hitachi, Ltd. Electronic Device Division

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】撥水,撥油基を含む化学吸着単分子膜を形
成する方法において、撥水,撥油処理液を減圧し、発生
した蒸気に被形成面を暴露することにより撥水,撥油性
化学吸着単分子膜を形成することを特徴とする撥水,撥
油処理膜の形成方法。
1. A method for forming a chemisorption monomolecular film containing a water-repellent or oil-repellent group, wherein the water-repellent or oil-repellent treatment liquid is decompressed, and the surface to be formed is exposed to the generated vapor, A method for forming a water-repellent and oil-repellent treated film, which comprises forming an oil-repellent chemisorption monomolecular film.
【請求項2】撥水,撥油基を含む化学吸着単分子膜が被
形成面とシロキサン結合していることを特徴とする撥
水,撥油処理膜の形成方法。
2. A method for forming a water-repellent or oil-repellent treated film, wherein a chemisorption monomolecular film containing a water-repellent or oil-repellent group is siloxane-bonded to the surface to be formed.
【請求項3】撥水,撥油処理液の蒸気を発生させるため
の減圧機構と、撥水,撥油処理液を空気と遮断するため
のシャッタ機構、及び不活性ガスとの置換機構とを有す
る撥水,撥油処理膜の形成装置。
3. A depressurizing mechanism for generating steam of the water-repellent / oil-repellent treatment liquid, a shutter mechanism for blocking the water-repellent / oil-repellent treatment liquid from air, and a mechanism for replacing with an inert gas. A water-repellent and oil-repellent film forming device.
【請求項4】請求項1,2に記載の撥水,撥油処理膜の
形成方法、および請求項3に記載の撥水,撥油処理膜の
形成装置で形成した撥水,撥油処理膜を画像表示面に備
えた画像表示装置。
4. A method for forming a water / oil repellent film according to any one of claims 1 and 2, and a water / oil repellent process formed by the apparatus for forming a water / oil repellent film according to claim 3. An image display device having a film on the image display surface.
JP6127282A 1994-06-09 1994-06-09 Water repellent, oil repellent treatment film forming method, device thereof, and picture display Pending JPH07335122A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010074195A (en) * 2002-03-28 2010-04-02 Osram Opto Semiconductors Gmbh Luminescent diode chip to be flip-chip mounted on carrier, and method for production thereof
JP5036827B2 (en) * 2008-09-05 2012-09-26 株式会社シンクロン Film-forming method and oil-repellent substrate
JP2014054837A (en) * 2012-09-12 2014-03-27 Xerox Corp Phase change ink reservoir for phase change inkjet printer

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