JPH07330303A - 水素ガス製造装置 - Google Patents
水素ガス製造装置Info
- Publication number
- JPH07330303A JPH07330303A JP6145518A JP14551894A JPH07330303A JP H07330303 A JPH07330303 A JP H07330303A JP 6145518 A JP6145518 A JP 6145518A JP 14551894 A JP14551894 A JP 14551894A JP H07330303 A JPH07330303 A JP H07330303A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- adsorbent
- psa
- hydrogen
- endothermic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡潔な装置により水素ガスを低コストで自家
製造できる水素ガス製造装置を提供する。 【構成】 炭化水素を原料として燃料ガスの燃焼熱によ
り吸熱形ガスを生成する吸熱形ガス発生装置2の発生ガ
ス出口2aに、ガス送給用のコンプレッサ(ポンプ)3
の吸込口を接続し、このコンプレッサの吐出口を、前記
吸熱形ガス中のH2 以外のガスを優先的に吸着する吸着
剤23を内蔵するPSAガス分離装置4のガス入口4a
に接続し、このPSAガス分離装置4の精製ガス出口4
bを、水素ガス貯槽5に接続するとともに、PSAガス
分離装置4における吸着剤再生時に該吸着剤から脱着さ
れるガスを排出する排ガス出口4cを、吸熱形ガス発生
装置2の燃料ガス供給路18に接続する。
製造できる水素ガス製造装置を提供する。 【構成】 炭化水素を原料として燃料ガスの燃焼熱によ
り吸熱形ガスを生成する吸熱形ガス発生装置2の発生ガ
ス出口2aに、ガス送給用のコンプレッサ(ポンプ)3
の吸込口を接続し、このコンプレッサの吐出口を、前記
吸熱形ガス中のH2 以外のガスを優先的に吸着する吸着
剤23を内蔵するPSAガス分離装置4のガス入口4a
に接続し、このPSAガス分離装置4の精製ガス出口4
bを、水素ガス貯槽5に接続するとともに、PSAガス
分離装置4における吸着剤再生時に該吸着剤から脱着さ
れるガスを排出する排ガス出口4cを、吸熱形ガス発生
装置2の燃料ガス供給路18に接続する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、熱処理炉等に用いる
水素ガスを製造する装置に関する。
水素ガスを製造する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般にステンレス鋼板の光輝焼鈍炉にお
いては、雰囲気ガスとして水素ガスを用いるが、従来は
この水素ガスは、水素ガス製造工場から輸送されたもの
を貯蔵タンクに受入れて使用しており、コストの低減化
および円滑な炉の操業のために自家製造することが望ま
れていた。しかし従来の水素ガス製造工場の水素製造設
備は、炭化水素のリフオーミング炉形式のものであつ
て、スチーム発生用のボイラを必要とするなど、大型で
複雑な大規模装置であり、設備費および維持費もかさ
み、中小規模の水素自家製造には不適当なものであつ
た。
いては、雰囲気ガスとして水素ガスを用いるが、従来は
この水素ガスは、水素ガス製造工場から輸送されたもの
を貯蔵タンクに受入れて使用しており、コストの低減化
および円滑な炉の操業のために自家製造することが望ま
れていた。しかし従来の水素ガス製造工場の水素製造設
備は、炭化水素のリフオーミング炉形式のものであつ
て、スチーム発生用のボイラを必要とするなど、大型で
複雑な大規模装置であり、設備費および維持費もかさ
み、中小規模の水素自家製造には不適当なものであつ
た。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上記従来の
問題点を解決するもので、簡潔な装置により水素ガスを
低コストで自家製造できる水素ガス製造装置を提供しよ
うとするものである。
問題点を解決するもので、簡潔な装置により水素ガスを
低コストで自家製造できる水素ガス製造装置を提供しよ
うとするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】しかしてこの発明の熱処
理炉用雰囲気ガス製造装置は、炭化水素を原料として燃
料ガスの燃焼熱により吸熱形ガスを生成する吸熱形ガス
発生装置の発生ガス出口に、ガス送給用のポンプの吸込
口を接続し、このポンプの吐出口を、前記吸熱形ガス中
のH2 以外のガスを優先的に吸着する(一部H2 ガスも
吸着される)吸着剤を内蔵するPSA(Pressur
e swing adsorption)ガス分離装置
のガス入口に接続し、このPSAガス分離装置の精製ガ
ス出口を、水素ガス貯槽に接続するとともに、前記PS
Aガス分離装置における吸着剤再生時に該吸着剤から脱
着されるガスを排出する排ガス出口を、前記吸熱形ガス
発生装置の燃料ガス供給路に接続したことを特徴とす
る。
理炉用雰囲気ガス製造装置は、炭化水素を原料として燃
料ガスの燃焼熱により吸熱形ガスを生成する吸熱形ガス
発生装置の発生ガス出口に、ガス送給用のポンプの吸込
口を接続し、このポンプの吐出口を、前記吸熱形ガス中
のH2 以外のガスを優先的に吸着する(一部H2 ガスも
吸着される)吸着剤を内蔵するPSA(Pressur
e swing adsorption)ガス分離装置
のガス入口に接続し、このPSAガス分離装置の精製ガ
ス出口を、水素ガス貯槽に接続するとともに、前記PS
Aガス分離装置における吸着剤再生時に該吸着剤から脱
着されるガスを排出する排ガス出口を、前記吸熱形ガス
発生装置の燃料ガス供給路に接続したことを特徴とす
る。
【0005】この発明において炭化水素としては、プロ
パン、ブタン、天然ガス等を用いることができる。また
ガス送給用のポンプとしては、コンプレッサや真空ポン
プ等を用いることができる。
パン、ブタン、天然ガス等を用いることができる。また
ガス送給用のポンプとしては、コンプレッサや真空ポン
プ等を用いることができる。
【0006】
【作用】この発明の水素ガス製造装置においては、吸熱
形ガス発生装置において炭化水素を原料として生成され
た吸熱形ガスは、コンプレツサによりPSAガス分離装
置に供給され、この吸熱形ガス中のH2 以外のガスは、
PSAガス分離装置において吸着剤により優先的に吸着
され、吸着しにくい水素ガスが精製ガス出口から水素ガ
ス貯槽に供給され、たとえば光輝焼鈍等の熱処理用の雰
囲気ガスとして使用される。
形ガス発生装置において炭化水素を原料として生成され
た吸熱形ガスは、コンプレツサによりPSAガス分離装
置に供給され、この吸熱形ガス中のH2 以外のガスは、
PSAガス分離装置において吸着剤により優先的に吸着
され、吸着しにくい水素ガスが精製ガス出口から水素ガ
ス貯槽に供給され、たとえば光輝焼鈍等の熱処理用の雰
囲気ガスとして使用される。
【0007】またPSAガス分離装置における吸着剤再
生時には、吸着剤から脱着されたN2 およびCOガス等
と吸着剤再生時にパージ用として使用されるH2 ガスが
排ガス出口から排ガスとして排出され、この排ガスは吸
熱形ガス発生装置の燃料ガス供給路に供給されて、吸熱
形ガス発生装置における燃料ガスとして使用される。
生時には、吸着剤から脱着されたN2 およびCOガス等
と吸着剤再生時にパージ用として使用されるH2 ガスが
排ガス出口から排ガスとして排出され、この排ガスは吸
熱形ガス発生装置の燃料ガス供給路に供給されて、吸熱
形ガス発生装置における燃料ガスとして使用される。
【0008】
【実施例】以下図1によりこの発明の一実施例を説明す
る。図中、1は水素ガス製造装置であり、この水素ガス
製造装置1は、吸熱形ガス発生装置2の発生ガス出口2
aに、ガス送給用のポンプであるコンプレツサ3の吸込
口を接続し、このコンプレツサ3の吐出口を、PSAガ
ス分離装置4のガス入口4aに接続し、このPSAガス
分離装置4の精製ガス出口4bを水素ガス貯槽5に接続
するとともに、PSAガス分離装置4の排ガス出口4c
を、管路6を介して吸熱形ガス発生装置2の燃料ガス供
給路18(後述)に接続して成る。5aは図示しない光
輝焼鈍炉に至る管路7に接続された水素ガス供給口、8
は燃料ガス供給路18に至る管路6の中間部に設けた排
ガス貯槽、8aはこの排ガス貯槽8の出口部に設けた排
ガス供給口である。
る。図中、1は水素ガス製造装置であり、この水素ガス
製造装置1は、吸熱形ガス発生装置2の発生ガス出口2
aに、ガス送給用のポンプであるコンプレツサ3の吸込
口を接続し、このコンプレツサ3の吐出口を、PSAガ
ス分離装置4のガス入口4aに接続し、このPSAガス
分離装置4の精製ガス出口4bを水素ガス貯槽5に接続
するとともに、PSAガス分離装置4の排ガス出口4c
を、管路6を介して吸熱形ガス発生装置2の燃料ガス供
給路18(後述)に接続して成る。5aは図示しない光
輝焼鈍炉に至る管路7に接続された水素ガス供給口、8
は燃料ガス供給路18に至る管路6の中間部に設けた排
ガス貯槽、8aはこの排ガス貯槽8の出口部に設けた排
ガス供給口である。
【0009】吸熱形ガス発生装置2は、炭化水素供給口
11に供給される炭化水素CHと、フイルタ12を経て
吸気される空気とを所定の比率で混合してブロワ13に
より炉殻14内のレトルト15内に送入し、ガスバ−ナ
16における燃料ガスの燃焼熱により加熱後、熱交換器
17により冷却してN2 、H2 、CO各ガスを主成分と
し僅少量のCO2 ガスを含む吸熱形ガスを生成するもの
であり、原料ガスおよび空気の流量調整用のレギユレー
タ、流量計、放出弁その他の公知の機器をそなえている
が、その図示は省略してある。またレトルト15、熱交
換器17等は複数組設けてあるが、1組のみを図示して
ある。18はガスバ−ナ16への燃料ガス供給路で、図
示しない燃料ガス(この実施例ではLNGガス)供給源
に接続され、また19はガスバ−ナ16への燃焼用空気
供給路で、図示しない燃焼用空気供給源に接続されてい
る。
11に供給される炭化水素CHと、フイルタ12を経て
吸気される空気とを所定の比率で混合してブロワ13に
より炉殻14内のレトルト15内に送入し、ガスバ−ナ
16における燃料ガスの燃焼熱により加熱後、熱交換器
17により冷却してN2 、H2 、CO各ガスを主成分と
し僅少量のCO2 ガスを含む吸熱形ガスを生成するもの
であり、原料ガスおよび空気の流量調整用のレギユレー
タ、流量計、放出弁その他の公知の機器をそなえている
が、その図示は省略してある。またレトルト15、熱交
換器17等は複数組設けてあるが、1組のみを図示して
ある。18はガスバ−ナ16への燃料ガス供給路で、図
示しない燃料ガス(この実施例ではLNGガス)供給源
に接続され、また19はガスバ−ナ16への燃焼用空気
供給路で、図示しない燃焼用空気供給源に接続されてい
る。
【0010】またPSAガス分離装置4は、2基の吸着
塔21,22内にH2 以外のガスを優先的に吸着するゼ
オライトを吸着剤23として充填し、吸着および再生塔
切換用の電磁開閉弁24〜31をそなえ、これら開閉弁
の開閉により一方の吸着塔(たとえば21)でN2 およ
びCOガスの吸着を、他方の吸着塔(たとえば22)で
減圧によりN2 およびCOガスの脱着をおこなうもので
ある。なお32はガス溜めであり、この中には吸着剤2
3の再生時に用いられるパージガス(H2 ガス)が貯え
られている。
塔21,22内にH2 以外のガスを優先的に吸着するゼ
オライトを吸着剤23として充填し、吸着および再生塔
切換用の電磁開閉弁24〜31をそなえ、これら開閉弁
の開閉により一方の吸着塔(たとえば21)でN2 およ
びCOガスの吸着を、他方の吸着塔(たとえば22)で
減圧によりN2 およびCOガスの脱着をおこなうもので
ある。なお32はガス溜めであり、この中には吸着剤2
3の再生時に用いられるパージガス(H2 ガス)が貯え
られている。
【0011】次に上記構成の装置を用いたガス生成例に
ついて説明すると、先ず炭化水素CHとしてプロパンガ
スを15.6Kg/Hの割合で炭化水素供給口11内に供
給し、吸熱形ガス発生装置2により、CO=24%、H
2 =33%、N2 =残部(但し%:容積%)の組成を有
する吸熱形ガス(流量:100Nm3 /H)を得、これ
をコンプレツサ3により4Kg/cm2に加圧してPSAガス
分離装置4に供給した。吸着塔21(または22)にお
いてN2 およびCOガスを吸着し、得られた純度99.
99%の水素ガス(流量:19.8Nm3 /H)を水素
ガス貯槽5に貯蔵し、図示しない光輝焼鈍炉の雰囲気ガ
スとして使用した。
ついて説明すると、先ず炭化水素CHとしてプロパンガ
スを15.6Kg/Hの割合で炭化水素供給口11内に供
給し、吸熱形ガス発生装置2により、CO=24%、H
2 =33%、N2 =残部(但し%:容積%)の組成を有
する吸熱形ガス(流量:100Nm3 /H)を得、これ
をコンプレツサ3により4Kg/cm2に加圧してPSAガス
分離装置4に供給した。吸着塔21(または22)にお
いてN2 およびCOガスを吸着し、得られた純度99.
99%の水素ガス(流量:19.8Nm3 /H)を水素
ガス貯槽5に貯蔵し、図示しない光輝焼鈍炉の雰囲気ガ
スとして使用した。
【0012】これによつて、従来の輸送費のかかる水素
ガスの購入は不要となり、また水素ガス製造装置1の自
家運転により、確実に水素ガスを貯槽5に貯えて、図示
しない光輝焼鈍炉の円滑な操業をおこなうことができ
た。
ガスの購入は不要となり、また水素ガス製造装置1の自
家運転により、確実に水素ガスを貯槽5に貯えて、図示
しない光輝焼鈍炉の円滑な操業をおこなうことができ
た。
【0013】また吸着塔22(または21)において吸
着剤23の再生をおこない、減圧脱着によりCO=30
%,H2 =16.5%,N2 =残の組成を有する排ガス
(流量:80.2Nm3 /H)を得、排ガス貯槽8に貯
蔵し、管路6から燃料ガス供給源18を経て吸熱形ガス
発生装置2のガスバ−ナ16へ供給し、レトルト15加
熱用の燃料ガスとして使用した。上記組成の排ガス中の
COおよびH2 分が燃料として使用でき、その燃焼発熱
量は106700Kcal/Hであり吸熱形ガス発生装
置2における所要熱量を上まわるので、前記LNGガス
のかわりに上記排ガスを使用することにより、吸熱形ガ
ス発生装置2の運転をおこなうことができ、LNGガス
はほとんど使用せずに済んだ。
着剤23の再生をおこない、減圧脱着によりCO=30
%,H2 =16.5%,N2 =残の組成を有する排ガス
(流量:80.2Nm3 /H)を得、排ガス貯槽8に貯
蔵し、管路6から燃料ガス供給源18を経て吸熱形ガス
発生装置2のガスバ−ナ16へ供給し、レトルト15加
熱用の燃料ガスとして使用した。上記組成の排ガス中の
COおよびH2 分が燃料として使用でき、その燃焼発熱
量は106700Kcal/Hであり吸熱形ガス発生装
置2における所要熱量を上まわるので、前記LNGガス
のかわりに上記排ガスを使用することにより、吸熱形ガ
ス発生装置2の運転をおこなうことができ、LNGガス
はほとんど使用せずに済んだ。
【0014】この発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、たとえば炭化水素CHや吸着剤23の種類、吸
熱形ガス発生装置2およびPSAガス分離装置4の具体
的構成などは、上記以外のものとしてもよい。また排ガ
ス供給用の管路6はガスバ−ナ16の燃料ガス供給口に
直接接続してもよく、この形態もこの発明における燃料
ガス供給路に接続したものに含まれるのものとする。
はなく、たとえば炭化水素CHや吸着剤23の種類、吸
熱形ガス発生装置2およびPSAガス分離装置4の具体
的構成などは、上記以外のものとしてもよい。また排ガ
ス供給用の管路6はガスバ−ナ16の燃料ガス供給口に
直接接続してもよく、この形態もこの発明における燃料
ガス供給路に接続したものに含まれるのものとする。
【0015】さらに排ガス出口4cからの排ガスは全量
を上記のように吸熱形ガス発生装置2の燃料ガスとして
使用してもよいが、図1に鎖線40で示すように管路6
を分岐して、排ガスの一部を図示しない別の雰囲気炉に
おける雰囲気ガスとして使用するようにしてもよい。そ
してこの場合や、排ガスの発生量が少ない場合等は、排
ガスは吸熱形ガス発生装置2の燃料の一部として、他の
燃料ガスと併用するようにしてもよい。
を上記のように吸熱形ガス発生装置2の燃料ガスとして
使用してもよいが、図1に鎖線40で示すように管路6
を分岐して、排ガスの一部を図示しない別の雰囲気炉に
おける雰囲気ガスとして使用するようにしてもよい。そ
してこの場合や、排ガスの発生量が少ない場合等は、排
ガスは吸熱形ガス発生装置2の燃料の一部として、他の
燃料ガスと併用するようにしてもよい。
【0016】またこの発明は、熱処理炉用以外の用途の
水素ガス製造装置にも適用できるものである。
水素ガス製造装置にも適用できるものである。
【0017】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
吸熱形ガス発生装置とPSAガス分離装置を主体とする
簡潔な構成の装置により、水素ガスを低コストで自家製
造でき、水素ガスを確実に供給して熱処理炉等の水素ガ
ス使用装置の円滑な操業をおこなうことができるととも
に、吸着剤再生時に水素ガスとは別に得られる排ガス
を、吸熱形ガス発生装置の燃料ガスとして使用でき、一
層のコスト低減化をはかることができる。
吸熱形ガス発生装置とPSAガス分離装置を主体とする
簡潔な構成の装置により、水素ガスを低コストで自家製
造でき、水素ガスを確実に供給して熱処理炉等の水素ガ
ス使用装置の円滑な操業をおこなうことができるととも
に、吸着剤再生時に水素ガスとは別に得られる排ガス
を、吸熱形ガス発生装置の燃料ガスとして使用でき、一
層のコスト低減化をはかることができる。
【図1】この発明の一実施例を示す水素ガス製造装置の
機器接続系統図である。
機器接続系統図である。
1…水素ガス製造装置、2…吸熱形ガス発生装置、2a
…発生ガス出口、3…コンプレツサ、4…PSAガス分
離装置、4a…ガス入口、4b…精製ガス出口、4c…
排ガス出口、5…水素ガス貯槽、6…管路、8…排ガス
貯槽、8a…排ガス供給口、16…ガスバ−ナ、18…
燃料ガス供給路、19…燃焼用空気供給路、21…吸着
塔、22…吸着塔、23…吸着剤。
…発生ガス出口、3…コンプレツサ、4…PSAガス分
離装置、4a…ガス入口、4b…精製ガス出口、4c…
排ガス出口、5…水素ガス貯槽、6…管路、8…排ガス
貯槽、8a…排ガス供給口、16…ガスバ−ナ、18…
燃料ガス供給路、19…燃焼用空気供給路、21…吸着
塔、22…吸着塔、23…吸着剤。
Claims (1)
- 【請求項1】 炭化水素を原料として燃料ガスの燃焼熱
により吸熱形ガスを生成する吸熱形ガス発生装置の発生
ガス出口に、ガス送給用のポンプの吸込口を接続し、こ
のポンプの吐出口を、前記吸熱形ガス中のH2 以外のガ
スを優先的に吸着する吸着剤を内蔵するPSAガス分離
装置のガス入口に接続し、このPSAガス分離装置の精
製ガス出口を、水素ガス貯槽に接続するとともに、前記
PSAガス分離装置における吸着剤再生時に該吸着剤か
ら脱着されるガスを排出する排ガス出口を、前記吸熱形
ガス発生装置の燃料ガス供給路に接続したことを特徴と
する水素ガス製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6145518A JPH07330303A (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | 水素ガス製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6145518A JPH07330303A (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | 水素ガス製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07330303A true JPH07330303A (ja) | 1995-12-19 |
Family
ID=15387090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6145518A Pending JPH07330303A (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | 水素ガス製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07330303A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018190511A (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-29 | マイクロコントロールシステムズ株式会社 | 加工装置又はシステム用の発電装置及び発電システム |
JP2019205975A (ja) * | 2018-05-30 | 2019-12-05 | 大同特殊鋼株式会社 | 雰囲気ガス発生装置 |
-
1994
- 1994-06-03 JP JP6145518A patent/JPH07330303A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018190511A (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-29 | マイクロコントロールシステムズ株式会社 | 加工装置又はシステム用の発電装置及び発電システム |
JP2019205975A (ja) * | 2018-05-30 | 2019-12-05 | 大同特殊鋼株式会社 | 雰囲気ガス発生装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2407421A1 (en) | A method and apparatus for producing power and hydrogen | |
US8746009B2 (en) | Production of hydrogen from a reforming gas and simultaneous capture of CO2 co-product | |
KR930010571B1 (ko) | 메탄을 다량 함유한 혼합가스의 탄산가스 및 수분을 제거하는 장치 | |
JP4444098B2 (ja) | 燃料電池発電システム及びその運転方法 | |
US8361198B2 (en) | Process and device for the separation of foreign gases from a reducing useful gas by steam-driven pressure swing adsorption | |
KR20090009261A (ko) | 수소 제조 시스템 및 해당 시스템에 있어서의 오프가스의 유량 제어 방법 | |
US5137547A (en) | Process and apparatus for preparing a gas component from a gas mixture | |
EP3597592B1 (en) | Pressure swing adsorption hydrogen manufacturing apparatus | |
CN102153057A (zh) | 氩气的纯化方法及纯化装置 | |
US6740258B1 (en) | Process for the production of synthesis gas in conjunction with a pressure swing adsorption unit | |
JP6530122B1 (ja) | 水素製造装置 | |
CN102190290A (zh) | 氩气的精制方法及精制装置 | |
JPH07330303A (ja) | 水素ガス製造装置 | |
US6607582B2 (en) | Method of feeding, with impure nitrogen, the combustion chamber of a gas turbine combined with an air distillation unit, and corresponding electricity generation plant | |
AU659719B2 (en) | Method and apparatus for forming a heat treating atmosphere | |
US7449036B2 (en) | Fuel gas manufacturing apparatus and method of operating same | |
JP2007209868A (ja) | 圧力スイング吸着装置の安定運転方法 | |
US7326276B2 (en) | Method of shutting off fuel gas manufacturing apparatus | |
JP4116731B2 (ja) | 水素発生装置とその運転方法 | |
US7427304B2 (en) | Fuel gas manufacturing apparatus | |
JP2002355522A (ja) | 水素精製用4塔式psa装置におけるオフガスタンクからのオフガス圧力の制御方法 | |
JPH0733403A (ja) | 熱処理炉用雰囲気ガス製造装置 | |
JPH01126203A (ja) | 高純度水素ガスの製造方法 | |
CN206607201U (zh) | 粉煤气化装置 | |
JP2000072404A (ja) | 水素−窒素混合ガスの製造方法およびその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040427 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040907 |