JPH07321515A - Power distributer - Google Patents
Power distributerInfo
- Publication number
- JPH07321515A JPH07321515A JP10843894A JP10843894A JPH07321515A JP H07321515 A JPH07321515 A JP H07321515A JP 10843894 A JP10843894 A JP 10843894A JP 10843894 A JP10843894 A JP 10843894A JP H07321515 A JPH07321515 A JP H07321515A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric substrate
- ground conductor
- isolation
- thin film
- resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、主としてマイクロ波
で使用される電力分配器に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a power distributor mainly used in microwave.
【０００２】[0002]
【従来の技術】マイクロ波の信号波を伝送線路上で必要
に応じて分岐する電力分配器として扇形平面回路電力多
分配器がある。図８は、例えばマイクロ波の信号波を４
分配する扇形平面回路電力分配器の構成について一部削
除して示した斜視図である。図において、１は平板状の
地導体であり、１ａは電力分配器下部の地導体、１ｂは
電力分配器上部の地導体、２は地導体１上に密着させた
誘電体基板であり、２ａは地導体１ａの上面に密着させ
た誘電体基板、２ｂは地導体１ｂの下面に密着させた誘
電体基板、３は誘電体基板２ａ上に設けた薄膜抵抗体、
４は薄膜抵抗体３上に設けたストリップ導体、５は地導
体１と誘電体基板２と薄膜抵抗体３とストリップ導体４
とで構成されるトリプレート型ストリップ線路であり、
５ａは入力線路、５ｂは分岐部、５ｃは出力線路であ
る。また、６は地導体１と誘電体基板２と薄膜抵抗体３
からなる直線状平板型アイソレーション抵抗であり、７
は分岐部５ｂ内に設けられたスロットである。ここで、
６ａは高い抵抗値のアイソレーション抵抗、６ｂは低い
抵抗値のアイソレーション抵抗であり、各々、出力線路
５ｃ間を直線的に結ぶ形状で形成されている。また、６
ｃはスロット７の中間に形成された低い抵抗値の直線状
平板型アイソレーション抵抗である。ところで、入力線
路５ａ、分岐部５ｂ、出力線路５ｃ及びアイソレーショ
ン抵抗６の実際のパターン製作で用いる誘電体基板に
は、一方の面は銅箔のみが付着し、もう一方の面には誘
電体と銅箔の間に薄膜抵抗体が付加されている。よっ
て、上記入力線路５ａ、分岐部５ｂ、出力線路５ｃ、及
びアイソレーション抵抗６ａ，６ｂ，６ｃは、この薄膜
抵抗体のある面に対してその外形形状に合わせて外側の
領域の銅箔及び薄膜抵抗体を削除するようにパターンエ
ッチングを行い、次いでアイソレーション抵抗のパター
ン部分のみ薄膜抵抗体が剥き出すように銅箔のみを取り
除くエッチングを行うことで形成される。2. Description of the Related Art There is a fan-shaped plane circuit power multi-divider as a power distributor for branching a microwave signal wave on a transmission line as needed. FIG. 8 shows, for example, a microwave signal wave
It is the perspective view which partially deleted and showed about the structure of the fan-shaped plane circuit power distributor to distribute. In the figure, 1 is a flat ground conductor, 1a is a ground conductor at the lower part of the power distributor, 1b is a ground conductor at the upper part of the power distributor, 2 is a dielectric substrate adhered onto the ground conductor 1, 2a Is a dielectric substrate closely attached to the upper surface of the ground conductor 1a, 2b is a dielectric substrate closely attached to the lower surface of the ground conductor 1b, 3 is a thin film resistor provided on the dielectric substrate 2a,
4 is a strip conductor provided on the thin film resistor 3, 5 is a ground conductor 1, a dielectric substrate 2, a thin film resistor 3 and a strip conductor 4
It is a triplate type strip line composed of
5a is an input line, 5b is a branching part, and 5c is an output line. Further, 6 is a ground conductor 1, a dielectric substrate 2, and a thin film resistor 3.
Is a linear plate type isolation resistor consisting of
Is a slot provided in the branch portion 5b. here,
Reference numeral 6a is an isolation resistance having a high resistance value, and 6b is an isolation resistance having a low resistance value, each of which is formed in a shape that linearly connects the output lines 5c. Also, 6
Reference numeral c is a linear plate type isolation resistor having a low resistance value formed in the middle of the slot 7. By the way, on the dielectric substrate used in the actual pattern fabrication of the input line 5a, the branch 5b, the output line 5c and the isolation resistor 6, only the copper foil is attached to one surface and the dielectric is attached to the other surface. A thin film resistor is added between the copper foil and the copper foil. Therefore, the input line 5a, the branch portion 5b, the output line 5c, and the isolation resistors 6a, 6b, and 6c are the copper foil and the thin film in the outer region in accordance with the outer shape of the surface of the thin film resistor. It is formed by performing pattern etching so as to remove the resistor, and then performing etching so as to remove only the copper foil so that the thin film resistor is exposed only at the pattern portion of the isolation resistor.
【０００３】次に動作を説明する。入力線路５ａから入
力したマイクロ波信号は分岐部５ｂにおいて均等に分配
され、出力線路５ｃから各々等しい電力比で出力され
る。このとき、各出力線路５ｃからのマイクロ波の反射
波は、出力線路５ｃ間に設けられたアイソレーション抵
抗６ａ及び６ｂとアイソレーション抵抗６ｃをつけたス
ロット７によって吸収されて、良好な電力分配特性が得
られることになる。ここで、各アイソレーション抵抗６
の所望の抵抗値Ｒは主に電力分配器の分配数により決ま
り、配置される位置は使用周波数によってほぼ決まる。
例えば、図９は図８の電力分配器のアイソレーション抵
抗６ａ及び６ｂ付近を上からみた図である。この電力分
配器の使用周波数における出力線路の１波長分の長さを
λとすると、高抵抗値のアイソレーション抵抗６ａは分
岐部５ｂと出力線路５ｃの境界からλ／４の位置にあ
り、低抵抗値のアイソレーション抵抗６ｂは分岐部５ｂ
と出力線路５ｃの境界からλ／４の位置にある。アイソ
レーション抵抗６の抵抗値Ｒは、その幅ｗ、高さｈ、長
さL 及び薄膜抵抗体３の単位体積当たりの抵抗値ρと数
１のような関係にある。Next, the operation will be described. The microwave signal input from the input line 5a is evenly distributed in the branching portion 5b and output from the output line 5c at the same power ratio. At this time, the reflected wave of the microwave from each output line 5c is absorbed by the isolation resistors 6a and 6b provided between the output lines 5c and the slot 7 provided with the isolation resistor 6c, and the good power distribution characteristic is obtained. Will be obtained. Here, each isolation resistor 6
The desired resistance value R of is determined mainly by the number of distributions of the power divider, and the position of arrangement is substantially determined by the frequency used.
For example, FIG. 9 is a top view of the vicinity of the isolation resistors 6a and 6b of the power distributor of FIG. If the length of one wavelength of the output line at the operating frequency of this power distributor is λ, the isolation resistance 6a having a high resistance value is located at a position of λ / 4 from the boundary between the branch portion 5b and the output line 5c, and is low. The isolation resistor 6b having a resistance value is the branching portion 5b.
And λ / 4 from the boundary of the output line 5c. The resistance value R of the isolation resistor 6 is related to the width w, the height h, the length L, and the resistance value ρ of the thin film resistor 3 per unit volume as shown in equation 1.
【０００４】[0004]
【数１】 [Equation 1]
【０００５】ここで、アイソレーション抵抗６の長さL
は、そのアイソレーション抵抗を配置する場所の出力線
路間隔により決まるので、最終的にはアイソレーション
抵抗６の幅ｗを変えることで所望の抵抗値Ｒを実現する
ことになる。Here, the length L of the isolation resistor 6
Is determined by the output line spacing at the location where the isolation resistor is arranged, so that the desired resistance value R can be finally realized by changing the width w of the isolation resistor 6.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】以上の構成により、従
来の電力分配器はストリップ導体とアイソレーション抵
抗を図８のように同一誘電体基板上にパターンエッチン
グにより形成しているため、ストリップ線路とアイソレ
ーション抵抗との接触不良を生じることがなく、アイソ
レーション抵抗の抵抗値もエッチングにより露出させる
面積を変えることで任意の値を実現できるが、実際のス
トリップ線路とアイソレーション抵抗のパターン製作で
は、図１０のようにエッチング領域８が上下方向に少し
ズレることによりアイソレーション内に出力線路間を導
通させる銅箔部分９が残り電力分配器の電気的特性を大
きく劣化させる問題点があった。また、上記上下方向の
ズレに対処するために図１１に示すような幅広なエッチ
ング領域１０の内側に対し銅箔部分を削るようなエッチ
ング方法をとると、エッチングの際の左右方向の小さな
ズレにより図１２のように出力線路中に大きな不連続部
１１ができ、電力分配器の電気的特性を大きく劣化させ
る問題点があった。更に、アイソレーション抵抗自体も
抵抗値をその幅のみで調整するため、所望の抵抗値が高
くなるに従いその幅が非常に細くなり、このため小さな
外圧により断線したり、エッチング工程に要した時間の
僅かな違いで出来上がりの抵抗値が大きく変わる問題点
があった。With the above-described structure, the conventional power distributor has strip conductors and isolation resistors formed on the same dielectric substrate by pattern etching as shown in FIG. Although the contact resistance with the isolation resistance does not occur, the resistance value of the isolation resistance can be realized by changing the exposed area by etching, but in the actual strip line and isolation resistance pattern fabrication, As shown in FIG. 10, the etching region 8 is slightly displaced in the vertical direction, so that the copper foil portion 9 that electrically connects the output lines in the isolation remains, and there is a problem that the electrical characteristics of the power distributor are significantly deteriorated. Further, in order to cope with the above vertical deviation, when an etching method is employed in which the copper foil portion is shaved with respect to the inside of the wide etching region 10 as shown in FIG. 11, a small horizontal deviation occurs during etching. As shown in FIG. 12, there is a problem that a large discontinuous portion 11 is formed in the output line and the electric characteristics of the power distributor are greatly deteriorated. Furthermore, since the isolation resistance itself adjusts its resistance value only by its width, the width becomes extremely thin as the desired resistance value becomes higher, and therefore the wire breakage due to a small external pressure or the time required for the etching process is reduced. There was a problem that the finished resistance value changed greatly with a slight difference.
【０００７】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたものであり、実施例１ではパターンエッ
チングの際の小さなズレによる電力分配器の電気的特性
の劣化を抑えることを目的とし、また、実施例２及び実
施例３ではアイソレーション抵抗の幅を細くすることな
く高い抵抗値を実現できる電力分配器を得ることを目的
とし、また、実施例４、実施例５、実施例６及び実施例
７ではエッチングの際の小さなズレによる電力分配器の
電気的特性の劣化を抑え、かつ、アイソレーション抵抗
の幅を細くすることなく高い抵抗値を実現することがで
きる電力分配器を得ることを目的としている。The present invention has been made in order to solve the above problems, and an object of the first embodiment is to suppress the deterioration of the electrical characteristics of the power distributor due to a small deviation during pattern etching. In addition, in the second and third embodiments, an object is to obtain a power distributor that can realize a high resistance value without reducing the width of the isolation resistance, and also, the fourth, fifth, and sixth embodiments. In the seventh embodiment, a power distributor that suppresses the deterioration of the electrical characteristics of the power distributor due to a small deviation during etching and can realize a high resistance value without narrowing the width of the isolation resistor is obtained. Is intended.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明の実施例１によ
る電力分配器では、第１の地導体と、第１の誘電体基板
と、第１の誘電体基板上に形成した薄膜抵抗体と、薄膜
抵抗体上に形成されたストリップ導体と、第２の誘電体
基板と、第２の地導体を上記の順に重ねて、入力線路
と、分岐部と、複数個の出力線路と、複数個の直線状平
板型アイソレーション抵抗と、これら直線状平板型アイ
ソレーション抵抗と出力線路の間を接続する連結線路と
を構成している。In a power distributor according to a first embodiment of the present invention, a first ground conductor, a first dielectric substrate, and a thin film resistor formed on the first dielectric substrate. , A strip conductor formed on the thin film resistor, a second dielectric substrate, and a second ground conductor are stacked in the above order, and an input line, a branching part, a plurality of output lines, and a plurality of output lines are provided. Of the linear flat plate type isolation resistor and a connecting line connecting the linear flat plate type isolation resistor and the output line.
【０００９】また、この発明の実施例２による電力分配
器では、第１の地導体と、第１の誘電体基板と、第１の
誘電体基板上に形成した薄膜抵抗体と、薄膜抵抗体上に
形成されたストリップ導体と、第２の誘電体基板と、第
２の地導体を上記の順に重ねて、入力線路と、分岐部
と、複数個の出力線路と、複数個の円弧状平板型アイソ
レーション抵抗とを構成している。In the power distributor according to the second embodiment of the present invention, the first ground conductor, the first dielectric substrate, the thin film resistor formed on the first dielectric substrate, and the thin film resistor. The strip conductor formed above, the second dielectric substrate, and the second ground conductor are stacked in the above order, and the input line, the branch portion, the plurality of output lines, and the plurality of arc-shaped flat plates are formed. And a type isolation resistor.
【００１０】また、この発明の実施例３による電力分配
器では、第１の地導体と、第１の誘電体基板と、第１の
誘電体基板上に形成した薄膜抵抗体と、薄膜抵抗体上に
形成されたストリップ導体と、第２の誘電体基板と、第
２の地導体を上記の順に重ねて、入力線路と、分岐部
と、複数個の出力線路と、複数個の直線状凹面鏡型アイ
ソレーション抵抗とを構成している。In the power distributor according to the third embodiment of the present invention, the first ground conductor, the first dielectric substrate, the thin film resistor formed on the first dielectric substrate, and the thin film resistor. The strip conductor formed above, the second dielectric substrate, and the second ground conductor are stacked in the above order, and the input line, the branching portion, the plurality of output lines, and the plurality of linear concave mirrors are formed. And a type isolation resistor.
【００１１】また、この発明の実施例４による電力分配
器では、第１の地導体と、第１の誘電体基板と、第１の
誘電体基板上に形成した薄膜抵抗体と、薄膜抵抗体上に
形成されたストリップ導体と、第２の誘電体基板と、第
２の地導体を上記の順に重ねて、入力線路と、分岐部
と、複数個の出力線路と、複数個の円弧状平板型アイソ
レーション抵抗と、これら円弧状平板型アイソレーショ
ン抵抗と出力線路の間を接続する複数個の連結線路とを
構成している。In the power distributor according to the fourth embodiment of the present invention, the first ground conductor, the first dielectric substrate, the thin film resistor formed on the first dielectric substrate, and the thin film resistor. The strip conductor formed above, the second dielectric substrate, and the second ground conductor are stacked in the above order, and the input line, the branch portion, the plurality of output lines, and the plurality of arc-shaped flat plates are formed. A type isolation resistor and a plurality of connecting lines connecting the arc-shaped flat plate type isolation resistor and the output line are configured.
【００１２】また、この発明の実施例５による電力分配
器では、第１の地導体と、第１の誘電体基板と、第１の
誘電体基板上に形成した薄膜抵抗体と、薄膜抵抗体上に
形成されたストリップ導体と、第２の誘電体基板と、第
２の地導体を上記の順に重ねて、入力線路と、分岐部
と、複数個の出力線路と、複数個の直線状凹面鏡型アイ
ソレーション抵抗と、これら直線状凹面鏡型アイソレー
ション抵抗と出力線路の間を接続する複数個の連結線路
とを構成している。Also, in the power distributor according to the fifth embodiment of the present invention, the first ground conductor, the first dielectric substrate, the thin film resistor formed on the first dielectric substrate, and the thin film resistor. The strip conductor formed above, the second dielectric substrate, and the second ground conductor are stacked in the above order, and the input line, the branching portion, the plurality of output lines, and the plurality of linear concave mirrors are formed. And a plurality of connecting lines that connect the linear concave mirror type isolation resistor and the output line.
【００１３】また、この発明の実施例６による電力分配
器では、第１の地導体と、第１の誘電体基板と、第１の
誘電体基板上に形成した薄膜抵抗体と、薄膜抵抗体上に
形成されたストリップ導体と、第２の誘電体基板と、第
２の地導体を上記の順に重ねて、入力線路と、分岐部
と、複数個の出力線路と、複数個の楕円状平板型アイソ
レーション抵抗と、これら楕円状平板型アイソレーショ
ン抵抗と出力線路の間を接続する複数個の連結線路とを
構成している。In the power distributor according to the sixth embodiment of the present invention, the first ground conductor, the first dielectric substrate, the thin film resistor formed on the first dielectric substrate, and the thin film resistor. The strip conductor formed above, the second dielectric substrate, and the second ground conductor are stacked in the above order, and the input line, the branch portion, the plurality of output lines, and the plurality of elliptical flat plates are formed. A type isolation resistor and a plurality of connecting lines that connect the elliptical plate type isolation resistor and the output line.
【００１４】また、この発明の実施例７による電力分配
器では、第１の地導体と、第１の誘電体基板と、第１の
誘電体基板上に形成した薄膜抵抗体と、薄膜抵抗体上に
形成されたストリップ導体と、第２の誘電体基板と、第
２の地導体を上記の順に重ねて、入力線路と、分岐部
と、複数個の出力線路と、複数個の切り欠き付き平板型
アイソレーション抵抗と、これら切り欠き付き平板型ア
イソレーション抵抗と出力線路の間を接続する複数個の
連結線路とを構成している。In the power distributor according to the seventh embodiment of the present invention, the first ground conductor, the first dielectric substrate, the thin film resistor formed on the first dielectric substrate, and the thin film resistor. The strip conductor formed above, the second dielectric substrate, and the second ground conductor are overlaid in the above order, and the input line, the branch portion, the plurality of output lines, and the plurality of notches are provided. The plate type isolation resistor and a plurality of connecting lines connecting the plate type isolation resistor with the cutout and the output line are configured.
【００１５】[0015]
【作用】この発明の実施例１においては、第１の誘電体
基板上に形成された出力線路とその出力線路間にある直
線状平板型アイソレーション抵抗とを接続するための連
結線路を形成することにより、アイソレーション抵抗を
エッチングによりパターン形成する際の微小なズレによ
る電力分配器の電気的特性の劣化を抑えることができ、
また、この連結線路を第１の誘電体基板上にストリップ
導体と同じようにエッチング形成することにより、量産
性を損うことなく容易に構成することができる。In the first embodiment of the present invention, the connecting line for connecting the output line formed on the first dielectric substrate and the linear plate type isolation resistor between the output lines is formed. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the electrical characteristics of the power distributor due to a minute deviation when the isolation resistance is patterned by etching.
Further, by forming the connection line on the first dielectric substrate by etching in the same manner as the strip conductor, it is possible to easily configure without impairing mass productivity.
【００１６】また、この発明の実施例２においては、第
１の誘電体基板上に形成された各出力線路を接続するよ
うに円弧状平板型アイソレーション抵抗を形成すること
により、アイソレーション抵抗自体の幅を細くすること
なくその抵抗値を大きくすることができ、これにより、
外圧等によるアイソレーション抵抗部の断線の可能性を
小さくなり、電力分配器のパターン製作上の歩留り率を
量産性を損うことなく向上させることができる。In the second embodiment of the present invention, the isolation resistance itself is formed by forming the arc-shaped plate type isolation resistance so as to connect the output lines formed on the first dielectric substrate. The resistance value can be increased without narrowing the width of
The possibility of disconnection of the isolation resistance portion due to external pressure or the like is reduced, and the yield rate in pattern fabrication of the power distributor can be improved without impairing mass productivity.
【００１７】また、この発明の実施例３においては、第
１の誘電体基板上に形成された各出力線路を接続するよ
うに直線状凹面鏡型アイソレーション抵抗を形成するこ
とにより、アイソレーション抵抗自体の幅を細くするこ
となくその抵抗値を大きくすることができ、外圧等によ
るアイソレーション抵抗部の断線の可能性を小さくな
り、電力分配器のパターン製作上の歩留り率を量産性を
損うことなく向上させることができる。Further, in the third embodiment of the present invention, by forming the linear concave mirror type isolation resistor so as to connect each output line formed on the first dielectric substrate, the isolation resistor itself is formed. The resistance value can be increased without narrowing the width, the possibility of disconnection of the isolation resistance part due to external pressure, etc. is reduced, and the yield rate in the pattern manufacturing of the power distributor is impaired in mass productivity. Can be improved without.
【００１８】また、この発明の実施例４においては、第
１の誘電体基板上に形成された各出力線路間に円弧状平
板型アイソレーション抵抗を形成し、更に、その出力線
路と円弧状平板型アイソレーション抵抗とを接続する連
結線路を形成することにより、アイソレーション抵抗を
エッチングによりパターン形成する際の微小なズレによ
る電力分配器の電気的特性の劣化を抑えることができ、
また、アイソレーション抵抗自身の幅を細くすることな
くその抵抗値を大きくすることができ、外圧等によるア
イソレーション抵抗部の断線の可能性を小さくなり、電
力分配器のパターン製作上の歩留り率を量産性を損うこ
となく向上させることができる。Further, in the fourth embodiment of the present invention, an arc-shaped plate type isolation resistor is formed between each output line formed on the first dielectric substrate, and the output line and the arc-shaped plate are further formed. By forming a connecting line that connects with the isolation resistor, it is possible to suppress the deterioration of the electrical characteristics of the power distributor due to a minute deviation when the isolation resistor is patterned by etching.
In addition, the resistance value can be increased without narrowing the width of the isolation resistor itself, the possibility of disconnection of the isolation resistor portion due to external pressure, etc. is reduced, and the yield rate in the pattern production of the power distributor is reduced. It is possible to improve without impairing mass productivity.
【００１９】また、この発明の実施例５においては、第
１の誘電体基板上に形成された各出力線路間に直線状凹
面鏡型アイソレーション抵抗を形成し、更に、その出力
線路と直線状凹面鏡型アイソレーション抵抗とを接続す
る連結線路を形成することにより、アイソレーション抵
抗をエッチングによりパターン形成する際の微小なズレ
による電力分配器の電気的特性の劣化を抑えることがで
き、また、アイソレーション抵抗自身の幅を細くするこ
となくその抵抗値を大きくすることができ、外圧等によ
るアイソレーション抵抗部の断線の可能性を小さくな
り、電力分配器のパターン製作上の歩留り率を量産性を
損うことなく向上させることができる。Further, in the fifth embodiment of the present invention, a linear concave mirror type isolation resistor is formed between the output lines formed on the first dielectric substrate, and the output line and the linear concave mirror are further formed. By forming a connecting line that connects with the isolation resistor, it is possible to suppress the deterioration of the electrical characteristics of the power distributor due to a minute deviation when the isolation resistor is patterned by etching. The resistance value can be increased without narrowing the width of the resistor itself, the possibility of disconnection of the isolation resistor part due to external pressure, etc. is reduced, and the yield rate in the pattern manufacturing of the power distributor is impaired in mass productivity. Can be improved without obstruction.
【００２０】また、この発明の実施例６においては、第
１の誘電体基板上に形成された各出力線路間に楕円状平
板型アイソレーション抵抗を形成し、更に、その出力線
路間と楕円状平板型アイソレーション抵抗とを接続する
連結線路を形成することにより、アイソレーション抵抗
をエッチングによりパターン形成する際の微小なズレに
よる電力分配器の電気的特性の劣化を小さく抑えること
ができ、また、アイソレーション抵抗自身の幅の縮小を
小さく抑えることができ、外圧等によるアイソレーショ
ン抵抗部の断線の可能性を小さくなり、電力分配器のパ
ターン製作上の歩留り率を量産性を損うことなく向上さ
せることができる。Further, in the sixth embodiment of the present invention, an elliptical plate type isolation resistor is formed between the output lines formed on the first dielectric substrate, and the elliptical shape is formed between the output lines. By forming the connecting line that connects the plate type isolation resistor, it is possible to suppress the deterioration of the electrical characteristics of the power distributor due to a minute deviation when the isolation resistor is patterned by etching. The width of the isolation resistor itself can be reduced to a small level, the possibility of disconnection of the isolation resistor due to external pressure, etc. is reduced, and the yield rate in the pattern manufacturing of the power distributor is improved without impairing mass productivity. Can be made.
【００２１】また、この発明の実施例７においては、第
１の誘電体基板上に形成された各出力線路間に切り欠き
付き平板型アイソレーション抵抗を形成し、更に、その
出力線路間と切り欠き付き平板型アイソレーション抵抗
とを接続する連結線路を形成することにより、アイソレ
ーション抵抗をエッチングによりパターン形成する際の
微小なズレによる電力分配器の電気的特性の劣化を小さ
く抑えることができ、また、アイソレーション抵抗自身
の幅の縮小を小さく抑えることができ、外圧等によるア
イソレーション抵抗部の断線の可能性を小さくなり、電
力分配器のパターン製作上の歩留り率を量産性を損うこ
となく向上させることができる。Further, in the seventh embodiment of the present invention, a plate type isolation resistor with a notch is formed between each output line formed on the first dielectric substrate, and further, between the output lines. By forming the connecting line that connects the plate type isolation resistor with the notch, it is possible to suppress the deterioration of the electrical characteristics of the power distributor due to a minute deviation when the isolation resistor is patterned by etching, In addition, the reduction of the width of the isolation resistor itself can be suppressed to a small level, the possibility of disconnection of the isolation resistor section due to external pressure, etc. is reduced, and the yield rate in the pattern manufacturing of the power distributor is impaired in mass productivity. Can be improved without.
【００２２】[0022]
実施例１．図１は、この発明の実施例１による電力分配
器の構成図である。図において、１２は出力線路５ｃと
直線状平板型アイソレーション６とを接続している連結
線路である。図１３は、アイソレーション抵抗６ａ及び
６ｂ付近の構成の一例を示すものである。この電力分配
器の使用周波数における出力線路の１波長分の長さをλ
とすると、高抵抗値のアイソレーション抵抗６ａと出力
線路５ｃを結ぶ連結線路１２ａは分岐部５ｂと出力線路
５ｃの境界からλ／４の位置にあり、低抵抗値のアイソ
レーション抵抗６ｂと出力線路５ｃを結ぶ連結線路１２
ｂは分岐部と出力線路の境界からλ／８の位置に設けて
いる。ここで、入力線路５ａ、分岐部５ｂ、出力線路５
ｃ、連結線路１２ａ，１２ｂ及びアイソレーション抵抗
６ａ，６ｂ，６ｃは、外形形状に合わせてその外側の銅
箔及び薄膜抵抗体をエッチングにより削除し、次いで図
１４に示すようなエッチング領域１０に対してのみ薄膜
抵抗体の上についている銅箔を取り除くようにエッチン
グを行うことで形成されている。Example 1. 1 is a configuration diagram of a power distributor according to a first embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 12 is a connecting line connecting the output line 5c and the linear plate type isolation 6. FIG. 13 shows an example of a configuration near the isolation resistors 6a and 6b. The length of one wavelength of the output line at the operating frequency of this power divider is λ
Then, the connection line 12a connecting the isolation resistance 6a having a high resistance value and the output line 5c is located at a position of λ / 4 from the boundary between the branch portion 5b and the output line 5c, and the isolation resistance 6b having a low resistance value and the output line 5c. Connection line 12 connecting 5c
b is provided at a position of λ / 8 from the boundary between the branch portion and the output line. Here, the input line 5a, the branch 5b, the output line 5
c, the connecting lines 12a and 12b and the isolation resistors 6a, 6b and 6c are removed by etching the copper foil and the thin film resistor on the outside according to the outer shape, and then with respect to the etching region 10 as shown in FIG. It is formed by etching so that the copper foil on the thin film resistor is removed.
【００２３】次に上記実施例１の動作を説明する。入力
線路５ａから入力したマイクロ波信号は分岐部５ｂにお
いて均等に分配され、出力線路５ｃから各々等しい電力
比で出力される。このとき、各出力線路５ｃからのマイ
クロ波信号の反射波は、連結線路１２間に設けられたア
イソレーション抵抗６ａ及び６ｂとアイソレーション抵
抗６ｃを付けたスロット７によって吸収されて、良好な
電力分配特性が得られることになる。ここで、直線状ア
イソレーション抵抗６ａ，６ｂの実際のパターンエッチ
ングにおいて上下及び左右方向のズレが生じても図１５
のように出力線路５ｃ内に大きな不連続部ができること
がないので、製作誤差による電気特性の劣化が抑制され
ていることになる。また、連結線路１２を設けたことで
アイソレーション６ａ及び６ｂの長さL が短くなるが幅
ｗを小さくすることで元来の抵抗値Ｒを実現することが
できる。Next, the operation of the first embodiment will be described. The microwave signal input from the input line 5a is evenly distributed in the branching portion 5b and output from the output line 5c at the same power ratio. At this time, the reflected wave of the microwave signal from each output line 5c is absorbed by the isolation resistors 6a and 6b provided between the connection lines 12 and the slot 7 provided with the isolation resistor 6c, and good power distribution is achieved. The characteristics will be obtained. Here, even if the vertical isolation resistors 6a and 6b are misaligned in the vertical and horizontal directions in the actual pattern etching, FIG.
As described above, since a large discontinuity does not occur in the output line 5c, deterioration of electrical characteristics due to manufacturing error is suppressed. Further, by providing the connecting line 12, the length L of the isolations 6a and 6b is shortened, but the original resistance value R can be realized by reducing the width w.
【００２４】なお、上記実施例１では、４分配器の場合
について説明したが、３分配、５分配あるいは６分配以
上であってもよく、上記実施例１と同様の効果を奏す
る。In the first embodiment described above, the case of the 4-divider has been described, but it may be 3-division, 5-division or 6-division or more, and the same effect as that of the first embodiment can be obtained.
【００２５】実施例２．図２は、この発明の実施例２に
よる電力分配器の構成図である。図において、１３は円
弧状平板型アイソレーション抵抗である。図１６は、ア
イソレーション抵抗１３付近の構成の一例を示すもので
ある。この電力分配器の使用周波数における出力線路の
１波長分の長さをλとすると、高抵抗値のアイソレーシ
ョン抵抗１３ａは分岐部５ｂと出力線路５ｃの境界から
λ／４の位置にあり、低抵抗値のアイソレーション抵抗
１３ｂは分岐部と出力線路の境界からλ／８の位置に設
けている。ここで、入力線路５ａ、分岐部５ｂ、出力線
路５ｃ、円弧状平板型アイソレーション抵抗１３ａ，１
３ｂ及び直線状平板型アイソレーション抵抗６ｃは、外
形形状に合わせてその外側の銅箔及び薄膜抵抗体をエッ
チングにより削除し、次いで図１７に示すような領域１
４に対してのみ薄膜抵抗体の上についている銅箔を取り
除くようにエッチングを行うことで形成されている。Example 2. Second Embodiment FIG. 2 is a configuration diagram of a power distributor according to a second embodiment of the present invention. In the figure, 13 is an arc-shaped plate type isolation resistor. FIG. 16 shows an example of the configuration near the isolation resistor 13. Assuming that the length of one wavelength of the output line at the operating frequency of this power divider is λ, the isolation resistor 13a having a high resistance value is located at a position of λ / 4 from the boundary between the branch portion 5b and the output line 5c, and is low. The isolation resistor 13b having a resistance value is provided at a position of λ / 8 from the boundary between the branch portion and the output line. Here, the input line 5a, the branch portion 5b, the output line 5c, the arc-shaped plate type isolation resistors 13a, 1
3b and the linear plate type isolation resistor 6c are formed by removing the outer copper foil and the thin film resistor by etching in accordance with the outer shape, and then removing the region 1 as shown in FIG.
4 is formed by etching so that the copper foil on the thin film resistor is removed.
【００２６】次に上記実施例２の動作を説明する。入力
線路５ａから入力したマイクロ波信号は分岐部５ｂにお
いて均等に分配され、出力線路５ｃから各々等しい電力
比で出力される。このとき、各出力線路５ｃからのマイ
クロ波信号の反射波は、出力線路５ｃ間に設けられた円
弧状平板型アイソレーション抵抗１３ａ及び１３ｂと直
線状平板型アイソレーション抵抗６ｃを付けたスロット
７によって吸収されて、良好な電力分配特性が得られる
ことになる。ここで、円弧状平板型アイソレーション抵
抗１３は、図１８中に示すように半径ｒと角度φを変え
ることで円弧の長さｔを調節でき、円弧の長さｔを変え
ることによりその抵抗値Ｒを調節することができる。こ
れにより、所望のアイソレーション抵抗値が高い場合で
も、その幅ｗを細くすることなく、その円弧の長さｔを
長くすることで実現できるので、アイソレーション抵抗
の幅が細くなると頻繁に生じる外圧による断線やエッチ
ング時間の微小な違いによる抵抗値の変化等の問題点が
解消されることになる。Next, the operation of the second embodiment will be described. The microwave signal input from the input line 5a is evenly distributed in the branching portion 5b and output from the output line 5c at the same power ratio. At this time, the reflected wave of the microwave signal from each output line 5c is generated by the slot 7 provided with the arc-shaped plate type isolation resistors 13a and 13b and the linear plate type isolation resistor 6c provided between the output lines 5c. It will be absorbed and good power distribution characteristics will be obtained. Here, the arcuate plate type isolation resistance 13 can adjust the length t of the arc by changing the radius r and the angle φ as shown in FIG. 18, and the resistance value can be changed by changing the length t of the arc. R can be adjusted. With this, even if the desired isolation resistance value is high, it can be realized by increasing the length t of the arc without reducing the width w, so that the external pressure that frequently occurs when the width of the isolation resistance decreases. Therefore, problems such as disconnection due to and a change in resistance value due to a minute difference in etching time can be solved.
【００２７】また、上記実施例２では、円弧状平板型ア
イソレーション抵抗を用いた場合について説明したが、
円弧状平板型アイソレーション抵抗１３ａ，１３ｂを用
いる代わりに、折れ線状の平板型アイソレーション抵抗
を用いても同様な効果が得られる。In the second embodiment, the case where the arcuate flat plate type isolation resistor is used has been described.
The same effect can be obtained by using a polygonal plate type isolation resistor instead of using the arcuate plate type isolation resistors 13a and 13b.
【００２８】なお、上記実施例２では、４分配器の場合
について説明したが、３分配、５分配あるいは６分配以
上であってもよく、上記実施例２と同様の効果を奏す
る。In the second embodiment, the case of the 4-divider has been described, but the distribution may be 3 divisions, 5 divisions or 6 divisions or more, and the same effect as that of the second embodiment can be obtained.
【００２９】実施例３．図３は、この発明の実施例３に
よる電力分配器の構成図である。図において、１５は直
線状凹面鏡型アイソレーション抵抗である。図１９は、
アイソレーション抵抗１５付近の構成の一例を示すもの
である。この電力分配器の使用周波数における出力線路
の１波長分の長さをλとすると、高抵抗値のアイソレー
ション抵抗１２ａは分岐部５ｂと出力線路５ｃの境界か
らλ／４の位置にあり、低抵抗値のアイソレーション抵
抗１２ｂは分岐部と出力線路の境界からλ／８の位置に
設けている。ここで、入力線路５ａ、分岐部５ｂ、出力
線路５ｃ、直線状凹面鏡型アイソレーション抵抗１５
ａ，１５ｂ及び直線状平板型アイソレーション抵抗６ｃ
は、外形形状に合わせてその外側の銅箔及び薄膜抵抗体
をエッチングにより削除し、次いで図２０に示すような
エッチング領域１６に対してのみ薄膜抵抗体の上につい
ている銅箔を取り除くようにエッチングを行い、更に、
表面に現れた薄膜抵抗体の部分をレーザで凹型に削るこ
とで形成されている。Example 3. 3 is a configuration diagram of a power distributor according to a third embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 15 is a linear concave mirror type isolation resistor. FIG. 19 shows
It shows an example of a configuration in the vicinity of the isolation resistor 15. Assuming that the length of one wavelength of the output line at the operating frequency of this power distributor is λ, the isolation resistance 12a having a high resistance value is located at a position of λ / 4 from the boundary between the branch portion 5b and the output line 5c, and is low. The isolation resistor 12b having a resistance value is provided at a position of λ / 8 from the boundary between the branch portion and the output line. Here, the input line 5a, the branch portion 5b, the output line 5c, the linear concave mirror type isolation resistor 15
a, 15b and linear plate type isolation resistor 6c
Is to remove the copper foil and the thin film resistor on the outer side by etching according to the outer shape, and then to remove the copper foil on the thin film resistor only for the etching region 16 as shown in FIG. And then
It is formed by shaving a portion of the thin film resistor exposed on the surface into a concave shape with a laser.
【００３０】次に上記実施例３の動作を説明する。入力
線路５ａから入力したマイクロ波信号は分岐部５ｂにお
いて均等に分配され、出力線路５ｃから各々等しい電力
比で出力される。このとき、各出力線路５ｃからのマイ
クロ波信号の反射波は、出力線路５ｃ間に設けられた直
線状凹面鏡型アイソレーション抵抗１５ａ及び１５ｂと
直線状平板型アイソレーション抵抗６ｃを付けたスロッ
ト７によって吸収されて、良好な電力分配特性が得られ
ることになる。ここで、直線状凹面鏡型アイソレーショ
ン抵抗１５は、図２１に示すように窪みの深さｄを変え
ることでその抵抗値Ｒを調節することができる。これに
より、所望のアイソレーション抵抗値が高い場合でも、
その幅ｗを細くすることなく、その窪みの深さｄを深く
することで実現できるので、アイソレーション抵抗の幅
が細くなると頻繁に生じる外圧による断線やエッチング
時間の微小な違いによる抵抗値の変化等の問題点が解消
されることになる。Next, the operation of the third embodiment will be described. The microwave signal input from the input line 5a is evenly distributed in the branching portion 5b and output from the output line 5c at the same power ratio. At this time, the reflected wave of the microwave signal from each output line 5c is generated by the slot 7 provided with the linear concave mirror type isolation resistors 15a and 15b and the linear plate type isolation resistor 6c provided between the output lines 5c. It will be absorbed and good power distribution characteristics will be obtained. Here, the linear concave mirror type isolation resistor 15 can adjust its resistance value R by changing the depth d of the depression as shown in FIG. As a result, even when the desired isolation resistance value is high,
This can be realized by increasing the depth d of the recess without reducing the width w. Therefore, when the width of the isolation resistance is reduced, the disconnection due to external pressure that frequently occurs and the change in the resistance value due to a minute difference in etching time are caused. Problems such as the above will be solved.
【００３１】なお、上記実施例３では、４分配器の場合
について説明したが、３分配、５分配あるいは６分配以
上であってもよく、上記実施例３と同様の効果を奏す
る。In the third embodiment, the case of the 4-divider has been described, but the distribution may be three-division, five-division or six-division or more, and the same effect as that of the third embodiment can be obtained.
【００３２】実施例４．図４は、この発明の実施例４に
よる電力分配器の構成図である。また、図２２は、円弧
状平板型アイソレーション抵抗１３付近の構成の一例を
示すものである。この電力分配器の使用周波数における
出力線路の１波長分の長さをλとすると、高抵抗値のア
イソレーション抵抗１３ａと出力線路５ｃを結ぶ連結線
路１２ａは分岐部５ｂと出力線路５ｃの境界からλ／４
の位置にあり、低抵抗値のアイソレーション抵抗１３ｂ
と出力線路５ｃを結ぶ連結線路１２ｂは分岐部と出力線
路の境界からλ／８の位置に設けている。ここで、入力
線路５ａ、分岐部５ｂ、出力線路５ｃ、連結線路１２
ａ，１２ｂ、円弧状平板型アイソレーション抵抗１３
ａ，１３ｂ及び直線状平板型アイソレーション抵抗６ｃ
は、外形形状に合わせてその外側の銅箔及び薄膜抵抗体
をエッチングにより削除し、次いで図２３に示すような
エッチング領域１７に対してのみ薄膜抵抗体の上につい
ている銅箔を取り除くようにエッチングを行うことで形
成されている。Example 4. Fourth Embodiment FIG. 4 is a configuration diagram of a power distributor according to a fourth embodiment of the present invention. Further, FIG. 22 shows an example of the configuration in the vicinity of the arc-shaped flat plate type isolation resistor 13. Assuming that the length of one wavelength of the output line at the operating frequency of this power distributor is λ, the connecting line 12a that connects the isolation resistor 13a having a high resistance value and the output line 5c is separated from the boundary between the branch portion 5b and the output line 5c. λ / 4
Isolation resistor 13b with low resistance
The connecting line 12b connecting the output line 5c with the output line 5c is provided at a position λ / 8 from the boundary between the branch portion and the output line. Here, the input line 5a, the branching portion 5b, the output line 5c, the connection line 12
a, 12b, arc-shaped flat plate type isolation resistor 13
a, 13b and linear plate type isolation resistor 6c
23, the outer copper foil and the thin film resistor are removed by etching in accordance with the outer shape, and then etching is performed so as to remove the copper foil on the thin film resistor only for the etching region 17 as shown in FIG. Is formed by performing.
【００３３】次に上記実施例４の動作を説明する。入力
線路５ａから入力したマイクロ波信号は分岐部５ｂにお
いて均等に分配され、出力線路５ｃから各々等しい電力
比で出力される。このとき、各出力線路５ｃからのマイ
クロ波信号の反射波は、連結線路１２間に設けられたア
イソレーション抵抗１３ａ及び１３ｂとアイソレーショ
ン抵抗６ｃを付けたスロット７によって吸収されて、良
好な電力分配特性が得られることになる。ここで、円弧
状平板型アイソレーション抵抗１３は、図２３中に示す
ように半径ｒと角度φを変えることで円弧の長さｔを調
節でき、円弧の長さｔを変えることによりその抵抗値Ｒ
を調節することができる。これにより、所望のアイソレ
ーション抵抗値が高い場合でも、その幅ｗを細くするこ
となく、その円弧の長さｔを長くすることで実現できる
ので、アイソレーション抵抗の幅が細くなると頻繁に生
じる外圧による断線やエッチング時間の微小な違いによ
る抵抗値の変化等の問題点が解消されることになる。ま
た、実際のパターンエッチングにおいて上下及び左右方
向のズレが生じても図２４のように出力線路５ｃ内に大
きな不連続部ができないので、製作誤差による電気特性
の劣化も抑制されることになる。Next, the operation of the fourth embodiment will be described. The microwave signal input from the input line 5a is evenly distributed in the branching portion 5b and output from the output line 5c at the same power ratio. At this time, the reflected wave of the microwave signal from each output line 5c is absorbed by the isolation resistors 13a and 13b provided between the connection lines 12 and the slot 7 provided with the isolation resistor 6c, and good power distribution is achieved. The characteristics will be obtained. Here, the arc-shaped plate type isolation resistor 13 can adjust the length t of the arc by changing the radius r and the angle φ as shown in FIG. 23, and the resistance value can be changed by changing the length t of the arc. R
Can be adjusted. With this, even if the desired isolation resistance value is high, it can be realized by increasing the length t of the arc without reducing the width w, so that the external pressure that frequently occurs when the width of the isolation resistance decreases. Therefore, problems such as disconnection due to and a change in resistance value due to a minute difference in etching time can be solved. Further, even if vertical and horizontal shifts occur in the actual pattern etching, a large discontinuity cannot be formed in the output line 5c as shown in FIG. 24, so that deterioration of electrical characteristics due to manufacturing errors can be suppressed.
【００３４】また、上記実施例４では、円弧状平板型ア
イソレーション抵抗を用いた場合について説明したが、
円弧状平板型アイソレーション抵抗１３ａ，１３ｂを用
いる代わりに、折れ線状の平板型アイソレーション抵抗
を用いても同様な効果が得られる。In the fourth embodiment, the case where the arcuate flat plate type isolation resistor is used has been described.
The same effect can be obtained by using a polygonal plate type isolation resistor instead of using the arcuate plate type isolation resistors 13a and 13b.
【００３５】なお、上記実施例４では、４分配器の場合
について説明したが、３分配、５分配あるいは６分配以
上であってもよく、上記実施例４と同様の効果を奏す
る。In the fourth embodiment, the case of the 4-divider has been described, but the distribution may be 3 divisions, 5 divisions, or 6 divisions or more, and the same effect as that of the 4th embodiment can be obtained.
【００３６】実施例５．図５は、この発明の実施例５に
よる電力分配器の構成図である。また、図２５は、直線
状凹面鏡型アイソレーション抵抗１５付近の構成の一例
を示すものである。この電力分配器の使用周波数におけ
る出力線路の波長をλとすると、高抵抗値のアイソレー
ション抵抗１５ａと出力線路５ｃを結ぶ連結線路１２ａ
は分岐部５ｂと出力線路５ｃの境界からλ／４の位置に
あり、低抵抗値のアイソレーション抵抗１５ｂと出力線
路５ｃを結ぶ連結線路１２ｂは分岐部と出力線路の境界
からλ／８の位置に設けている。ここで、入力線路５
ａ、分岐部５ｂ、出力線路５ｃ、連結線路１２ａ，１２
ｂ、アイソレーション抵抗１５ａ，１５ｂ及びアイソレ
ーション抵抗６ｃは、外形形状に合わせてその外側の銅
箔及び薄膜抵抗体をエッチングにより削除し、次いで図
２６に示すようなエッチング領域１８に対してのみ薄膜
抵抗体の上についている銅箔を取り除くようにエッチン
グを行い、更に、表面に現れた薄膜抵抗体の部分をレー
ザで凹面鏡型に削ることで形成されている。Example 5. 5 is a configuration diagram of a power distributor according to a fifth embodiment of the present invention. Further, FIG. 25 shows an example of the configuration in the vicinity of the linear concave mirror type isolation resistor 15. Assuming that the wavelength of the output line at the operating frequency of this power divider is λ, the connecting line 12a connecting the isolation resistor 15a having a high resistance value and the output line 5c.
Is at a position of λ / 4 from the boundary between the branch portion 5b and the output line 5c, and the connection line 12b connecting the isolation resistance 15b having a low resistance value and the output line 5c is at a position of λ / 8 from the boundary between the branch portion and the output line. It is provided in. Here, the input line 5
a, branch portion 5b, output line 5c, connecting lines 12a, 12
b, the isolation resistors 15a and 15b and the isolation resistor 6c are formed by removing the outer copper foil and the thin film resistor by etching according to the outer shape, and then forming a thin film only on the etching region 18 as shown in FIG. Etching is performed so as to remove the copper foil on the resistor, and the thin film resistor portion exposed on the surface is laser-cut into a concave mirror type.
【００３７】次に上記実施例５の動作を説明する。入力
線路５ａから入力したマイクロ波信号は分岐部５ｂにお
いて均等に分配され、出力線路５ｃから各々等しい電力
比で出力される。このとき、各出力線路５ｃからのマイ
クロ波信号の反射波は、連結線路１２間に設けられたア
イソレーション抵抗１５ａ及び１５ｂとアイソレーショ
ン抵抗６ｃを付けたスロット７によって吸収されて、良
好な電力分配特性が得られることになる。ここで、直線
状凹面鏡型アイソレーション抵抗１５は、図２７に示す
ように窪みの深さｄを変えることでその抵抗値Ｒを調節
することができる。これにより、所望のアイソレーショ
ン抵抗値が高い場合でも、その幅ｗを細くすることな
く、その窪みの深さｄを深くすることで実現できること
になるので、アイソレーション抵抗の幅が細くなると頻
繁に生じる外圧による断線やエッチング時間の微小な違
いによる抵抗値の変化等の問題点が解消されることにな
る。また、実際のパターンエッチングにおいて上下及び
左右方向のズレが生じても図２８のように出力線路５ｃ
内に大きな不連続部ができないので、製作誤差による電
気特性の劣化も抑制されることになる。Next, the operation of the fifth embodiment will be described. The microwave signal input from the input line 5a is evenly distributed in the branching portion 5b and output from the output line 5c at the same power ratio. At this time, the reflected wave of the microwave signal from each output line 5c is absorbed by the isolation resistors 15a and 15b provided between the connection lines 12 and the slot 7 provided with the isolation resistor 6c, and good power distribution is achieved. The characteristics will be obtained. Here, the linear concave mirror type isolation resistor 15 can adjust its resistance value R by changing the depth d of the depression as shown in FIG. With this, even when the desired isolation resistance value is high, it can be realized by increasing the depth d of the recess without reducing the width w, so that when the width of the isolation resistance decreases, the frequency is frequently reduced. Problems such as disconnection due to generated external pressure and change in resistance value due to minute difference in etching time can be solved. Further, even if the vertical and horizontal shifts occur in the actual pattern etching, as shown in FIG.
Since no large discontinuity is formed inside, deterioration of electrical characteristics due to manufacturing error is also suppressed.
【００３８】なお、上記実施例５では、４分配器の場合
について説明したが、３分配、５分配あるいは６分配以
上であってもよく、上記実施例５と同様の効果を奏す
る。In the fifth embodiment described above, the case of the 4-divider is described, but the distribution may be 3-division, 5-division, or 6-division or more, and the same effect as in the 5-embodiment can be obtained.
【００３９】実施例６．図６は、この発明の実施例６に
よる電力分配器の構成図である。図において、１９は楕
円状平板型アイソレーション抵抗である。図２９はアイ
ソレーション抵抗１９付近の構成の一例を示すものであ
る。この電力分配器の使用周波数における出力線路の１
波長分の長さをλとすると、高抵抗値の楕円状平板型ア
イソレーション抵抗１９ａと出力線路５ｃを結ぶ連結線
路１２ａは分岐部５ｂと出力線路５ｃの境界からλ／４
の位置にあり、低抵抗値の楕円状平板型アイソレーショ
ン抵抗１９ｂと出力線路５ｃを結ぶ連結線路１２ｂは分
岐部と出力線路の境界からλ／８の位置に設けている。
ここで、入力線路５ａ、分岐部５ｂ、出力線路５ｃ、連
結線路１２ａ，１２ｂ、アイソレーション抵抗１９ａ，
１９ｂ及びアイソレーション抵抗６ｃは、外形形状に合
わせてその外側の銅箔及び薄膜抵抗体をエッチングによ
り削除し、次いで図３０に示すようなエッチング領域２
０に対してのみ薄膜抵抗体の上についている銅箔を取り
除くようにエッチングを行うことで形成されている。Example 6. 6 is a configuration diagram of a power distributor according to a sixth embodiment of the present invention. In the figure, 19 is an elliptical plate type isolation resistor. FIG. 29 shows an example of the configuration near the isolation resistor 19. 1 of the output line at the operating frequency of this power divider
Assuming that the length for the wavelength is λ, the connecting line 12a connecting the elliptical plate type isolation resistor 19a having a high resistance value and the output line 5c is λ / 4 from the boundary between the branch portion 5b and the output line 5c.
The connecting line 12b connecting the low resistance elliptic plate type isolation resistor 19b and the output line 5c is provided at a position of λ / 8 from the boundary between the branch portion and the output line.
Here, the input line 5a, the branch portion 5b, the output line 5c, the connection lines 12a and 12b, the isolation resistor 19a,
19b and the isolation resistor 6c are formed by removing the outer copper foil and the thin film resistor by etching in accordance with the outer shape, and then etching region 2 as shown in FIG.
It is formed by etching so that the copper foil on the thin film resistor is removed only for 0.
【００４０】次に上記実施例６の動作を説明する。入力
線路５ａから入力したマイクロ波信号は分岐部５ｂにお
いて均等に分配され、出力線路５ｃから各々等しい電力
比で出力される。このとき、各出力線路５ｃからのマイ
クロ波信号の反射波は、連結線路１２間に設けられたア
イソレーション抵抗１９ａ及び１９ｂとアイソレーショ
ン抵抗６ｃを付けたスロット７によって吸収されて、良
好な電力分配特性が得られることになる。ここで、楕円
状平板型アイソレーション抵抗１９ａ，１９ｂは、図３
０中に示すように横軸直径ａと縦軸直径ｂを変えること
で調節することができる。これにより、所望のアイソレ
ーション抵抗値が高い場合でも、パターン幅を細くせ
ず、横軸直径ａを大きくすることで実現できるので、ア
イソレーション抵抗の幅が細くなると頻繁に生じる外圧
による断線やエッチング時間の微小な違いによる抵抗値
の変化等の問題点が解消されることになる。また、実際
のパターンエッチングにおいて上下及び左右方向のズレ
が生じた場合や横軸直径ａがある程度大きくなった場合
でも、図３１のように出力線路５ｃ内に不連続部２１が
滑らかに形成されるので、これによる電気特性の劣化は
比較的小さく抑制されることになる。Next, the operation of the sixth embodiment will be described. The microwave signal input from the input line 5a is evenly distributed in the branching portion 5b and output from the output line 5c at the same power ratio. At this time, the reflected wave of the microwave signal from each output line 5c is absorbed by the slots 7 having the isolation resistors 19a and 19b and the isolation resistor 6c provided between the connection lines 12, and good power distribution is achieved. The characteristics will be obtained. Here, the elliptical plate type isolation resistors 19a and 19b are as shown in FIG.
It can be adjusted by changing the horizontal axis diameter a and the vertical axis diameter b as shown in FIG. As a result, even if the desired isolation resistance value is high, it can be realized by increasing the horizontal axis diameter a without reducing the pattern width. Therefore, disconnection or etching due to external pressure that frequently occurs when the isolation resistance width is reduced. Problems such as a change in resistance value due to a minute difference in time will be solved. Further, even when the vertical and horizontal deviations occur in the actual pattern etching or the horizontal axis diameter a increases to some extent, the discontinuous portion 21 is smoothly formed in the output line 5c as shown in FIG. Therefore, the deterioration of the electrical characteristics due to this is suppressed to a relatively small level.
【００４１】また、上記実施例６では、楕円状平板型ア
イソレーション抵抗を用いた場合について説明したが、
楕円状平板型アイソレーション抵抗１９ａ，１９ｂを用
いる代わりに、図３２に示すようなテーパ付き平板型ア
イソレーション抵抗２２ａ，２２ｂを用いても同様な効
果が得られる。In the sixth embodiment, the case where the elliptical plate type isolation resistor is used has been described.
The same effect can be obtained by using tapered flat plate type isolation resistors 22a and 22b as shown in FIG. 32 instead of using the elliptical flat plate type isolation resistors 19a and 19b.
【００４２】また、上記実施例６では、楕円状平板型ア
イソレーション抵抗を用いた場合について説明したが、
楕円状平板型アイソレーション抵抗１９ａ，１９ｂを用
いる代わりに、図３３に示すようなコーナーカット付き
平板型アイソレーション抵抗２３ａ，２３ｂを用いても
同様な効果が得られる。In the sixth embodiment, the case where the elliptical plate type isolation resistor is used has been described.
The same effect can be obtained by using flat plate type isolation resistors 23a and 23b with corner cuts as shown in FIG. 33 instead of using the elliptical flat plate type isolation resistors 19a and 19b.
【００４３】なお、上記実施例６では、４分配器の場合
について説明したが、３分配、５分配あるいは６分配以
上であってもよく、上記実施例６と同様の効果を奏す
る。In the sixth embodiment, the case of the 4-divider has been described, but the distribution may be 3 divisions, 5 divisions, or 6 divisions or more, and the same effect as that of the 6th embodiment can be obtained.
【００４４】実施例７．図７は、この発明の実施例７に
よる電力分配器の構成図である。図において、２４は切
り欠き付き平板型アイソレーション抵抗である。図３４
はアイソレーション抵抗２４付近の構成の一例を示すも
のである。この電力分配器の使用周波数における出力線
路の１波長分の長さをλとすると、高抵抗値のアイソレ
ーション抵抗２４ａと出力線路５ｃを結ぶ連結線路１２
ａは分岐部５ｂと出力線路５ｃの境界からλ／４の位置
にあり、低抵抗値のアイソレーション抵抗２４ｂと出力
線路５ｃを結ぶ連結線路１２ｂは分岐部と出力線路の境
界からλ／８の位置に設けている。ここで、入力線路５
ａ、分岐部５ｂ、出力線路５ｃ、連結線路１２ａ，１２
ｂ、アイソレーション抵抗２４ａ，２４ｂ及びアイソレ
ーション抵抗６ｃは、外形形状に合わせてその外側の銅
箔及び薄膜抵抗体をエッチングにより削除し、次いで図
３５に示すようなエッチング領域２５に対してのみ薄膜
抵抗体の上についている銅箔を取り除くようにエッチン
グを行うことで形成されている。Example 7. 7 is a configuration diagram of a power distributor according to a seventh embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 24 is a flat plate type isolation resistor with a notch. FIG. 34
Shows an example of the configuration near the isolation resistor 24. Assuming that the length of one wavelength of the output line at the operating frequency of this power distributor is λ, the connection line 12 connecting the isolation resistor 24a having a high resistance value and the output line 5c.
a is at a position of λ / 4 from the boundary between the branch portion 5b and the output line 5c, and the connecting line 12b connecting the isolation resistance 24b having a low resistance value and the output line 5c is at λ / 8 from the boundary between the branch portion and the output line. It is provided in the position. Here, the input line 5
a, branch portion 5b, output line 5c, connecting lines 12a, 12
b, the isolation resistors 24a and 24b and the isolation resistor 6c are formed by removing the outer copper foil and the thin film resistor by etching according to the outer shape, and then forming a thin film only on the etching region 25 as shown in FIG. It is formed by etching so that the copper foil on the resistor is removed.
【００４５】次に上記実施例７の動作を説明する。入力
線路５ａから入力したマイクロ波信号は分岐部５ｂにお
いて均等に分配され、出力線路５ｃから各々等しい電力
比で出力される。このとき、各出力線路５ｃからのマイ
クロ波信号の反射波は、連結線路１２間に設けられたア
イソレーション抵抗２４ａ及び２４ｂと、アイソレーシ
ョン抵抗６ｃを付けたスロット７によって吸収されて、
良好な電力分配特性が得られることになる。ここで、切
り欠き付き平板型アイソレーション抵抗２４は、図３５
中に示すように幅ｗと長さL 1 及びL 2 を各々変えるこ
とで調節することができる。これにより、所望のアイソ
レーション抵抗値が高い場合でも、幅ｗを小さくせず、
長さL 1 あるいはL 2 を大きくすることで実現できるの
で、アイソレーション抵抗の幅が細くなると頻繁に生じ
る外圧による断線やエッチング時間の微小な違いによる
抵抗値の変化等の問題点が解消されることになる。ま
た、実際のパターンエッチングにおいて上下及び左右方
向のズレが生じた場合や長さL 1 がある程度大きくなっ
た場合でも、図３６のように出力線路５ｃ内に突き出る
不連続部２６の面積は小さいので、これによる電気特性
の劣化は比較的小さく抑制されることになる。Next, the operation of the seventh embodiment will be described. The microwave signal input from the input line 5a is evenly distributed in the branching portion 5b and output from the output line 5c at the same power ratio. At this time, the reflected wave of the microwave signal from each output line 5c is absorbed by the isolation resistors 24a and 24b provided between the connection lines 12 and the slot 7 provided with the isolation resistor 6c,
Good power distribution characteristics can be obtained. Here, the plate type isolation resistor 24 with a notch is shown in FIG.
It can be adjusted by changing the width w and the lengths L 1 and L 2 , respectively, as shown therein. As a result, even if the desired isolation resistance value is high, the width w is not reduced,
Since it can be realized by increasing the length L 1 or L 2 , problems such as disconnection due to external pressure that frequently occurs when the width of the isolation resistance becomes narrow and resistance value change due to minute differences in etching time are solved. It will be. Further, even when the vertical and horizontal shifts occur in the actual pattern etching or the length L 1 increases to some extent, the area of the discontinuous portion 26 protruding into the output line 5c is small as shown in FIG. 36. Therefore, the deterioration of the electrical characteristics due to this is suppressed to a relatively small level.
【００４６】なお、上記実施例７では、４分配器の場合
について説明したが、３分配、５分配あるいは６分配以
上であってもよく、上記実施例７と同様の効果を奏す
る。In the seventh embodiment, the case of the 4-divider has been described, but the distribution may be 3 divisions, 5 divisions, or 6 divisions or more, and the same effect as that of the 7th embodiment can be obtained.
【００４７】[0047]
【発明の効果】この発明の実施例１によれば、２枚の地
導体と２枚の誘電体基板と１枚のストリップ導体と１枚
の薄膜抵抗体から構成されるトリプレート型線路構造の
電力分配器において、入力線路と、分岐部と、複数の出
力線路と、複数個の直線状平板型アイソレーション抵抗
とをパターンエッチングによって同一誘電体基板上に形
成し、更に、アイソレーション抵抗と出力線路とを接続
する連結線路を同じくパターンエッチングによって同一
誘電体基板上に形成したので、エッチングの際の小さな
ズレによる電力分配器の電気的特性の劣化を抑えること
ができ、量産性を損うことなく品質の向上及び安定化が
可能となる効果がある。According to the first embodiment of the present invention, a triplate type line structure composed of two ground conductors, two dielectric substrates, one strip conductor and one thin film resistor is provided. In a power distributor, an input line, a branching part, a plurality of output lines, and a plurality of linear plate type isolation resistors are formed on the same dielectric substrate by pattern etching. Since the connecting line that connects to the line is also formed on the same dielectric substrate by pattern etching, it is possible to suppress the deterioration of the electrical characteristics of the power distributor due to a small deviation during etching, which impairs mass productivity. There is an effect that it is possible to improve and stabilize the quality.
【００４８】また、この発明の実施例２によれば、２枚
の地導体と２枚の誘電体基板と１枚のストリップ導体と
１枚の薄膜抵抗体から構成されるトリプレート型線路構
造の電力分配器において、入力線路と、分岐部と、複数
の出力線路とをパターンエッチングによって同一誘電体
基板上に形成し、更に、各出力線路の間を接続する複数
個の円弧状平板型アイソレーション抵抗を同じくパター
ンエッチングによって同一誘電体基板上に形成したの
で、アイソレーション抵抗の幅を細くすることなくその
抵抗値を大きくすることができ、外圧等によるアイソレ
ーション抵抗部での断線や抵抗値の大きなバラツキが抑
えられ、量産性を損うことなく品質の向上及び安定化が
可能となる効果がある。According to the second embodiment of the present invention, a triplate type line structure composed of two ground conductors, two dielectric substrates, one strip conductor and one thin film resistor is used. In a power distributor, an input line, a branch portion, and a plurality of output lines are formed on the same dielectric substrate by pattern etching, and further, a plurality of arc-shaped flat plate type isolations that connect between the output lines. Since the resistors are also formed on the same dielectric substrate by pattern etching, the resistance value can be increased without narrowing the width of the isolation resistor, and the disconnection of the isolation resistor part due to external pressure or the like There is an effect that large variations can be suppressed and quality can be improved and stabilized without impairing mass productivity.
【００４９】また、この発明の実施例３によれば、２枚
の地導体と２枚の誘電体基板と１枚のストリップ導体と
１枚の薄膜抵抗体から構成されるトリプレート型線路構
造の電力分配器において、入力線路と、分岐部と、複数
の出力線路とをパターンエッチングによって同一誘電体
基板上に形成し、更に、各出力線路の間を接続する複数
個の直線状凹面鏡アイソレーション抵抗を同じくパター
ンエッチングによって同一誘電体基板上に形成したの
で、アイソレーション抵抗の幅を細くすることなくその
抵抗値を大きくすることができ、外圧等によるアイソレ
ーション抵抗部での断線や抵抗値の大きなバラツキが抑
えられ、量産性を損うことなく品質の向上及び安定化が
可能となる効果がある。According to the third embodiment of the present invention, a triplate type line structure composed of two ground conductors, two dielectric substrates, one strip conductor and one thin film resistor is used. In a power divider, an input line, a branch, and a plurality of output lines are formed on the same dielectric substrate by pattern etching, and further, a plurality of linear concave mirror isolation resistors for connecting between the output lines are connected. Since it was also formed on the same dielectric substrate by pattern etching, it is possible to increase the resistance value without narrowing the width of the isolation resistance, and disconnection or large resistance value in the isolation resistance part due to external pressure etc. Variations are suppressed, and there is an effect that quality can be improved and stabilized without impairing mass productivity.
【００５０】また、この発明の実施例４によれば、２枚
の地導体と２枚の誘電体基板と１枚のストリップ導体と
１枚の薄膜抵抗体から構成されるトリプレート型線路構
造の電力分配器において、入力線路と、分岐部と、複数
の出力線路と、複数個の円弧状平板型アイソレーション
抵抗とをパターンエッチングによって同一誘電体基板上
に形成し、更に、アイソレーション抵抗と出力線路とを
接続する連結線路を同じくパターンエッチングによって
同一誘電体基板上に形成したので、エッチングの際の小
さなズレによる電力分配器の電気特性の劣化を抑えるこ
とができ、また、アイソレーション抵抗の幅を細くする
ことなくその抵抗値を大きくすることができ、外圧等に
よるアイソレーション抵抗部での断線や抵抗値の大きな
バラツキが抑えられ、量産性を損うことなく品質の向上
及び安定化が可能となる効果がある。Further, according to the fourth embodiment of the present invention, a triplate type line structure composed of two ground conductors, two dielectric substrates, one strip conductor and one thin film resistor is used. In a power distributor, an input line, a branching part, a plurality of output lines, and a plurality of arc-shaped flat plate type isolation resistors are formed on the same dielectric substrate by pattern etching. Since the connecting line that connects to the line is also formed on the same dielectric substrate by pattern etching, it is possible to suppress the deterioration of the electrical characteristics of the power distributor due to a small deviation during etching, and to reduce the width of the isolation resistor. It is possible to increase the resistance value without making it thin, and it is possible to suppress disconnection in the isolation resistance part due to external pressure, etc. and large variations in resistance value. , There is an effect that it is possible to improve and stabilize the quality without impairing the productivity.
【００５１】また、この発明の実施例５によれば、２枚
の地導体と２枚の誘電体基板と１枚のストリップ導体と
１枚の薄膜抵抗体から構成されるトリプレート型線路構
造の電力分配器において、入力線路と、分岐部と、複数
の出力線路と、複数個の直線状凹面鏡型アイソレーショ
ン抵抗とをパターンエッチングによって同一誘電体基板
上に形成し、更に、アイソレーション抵抗と出力線路と
を接続する連結線路を同じくパターンエッチングによっ
て同一誘電体基板上に形成したので、エッチングの際の
小さなズレによる電力分配器の電気的特性の劣化を抑え
ることができ、また、アイソレーション抵抗の幅を細く
することなくその抵抗値を大きくすることができるの
で、外圧等によるアイソレーション抵抗部での断線や抵
抗値の大きなバラツキが抑えられ、量産性を損うことな
く品質の向上及び安定化が可能となる効果がある。Further, according to the fifth embodiment of the present invention, a triplate type line structure composed of two ground conductors, two dielectric substrates, one strip conductor and one thin film resistor is used. In the power distributor, an input line, a branching part, a plurality of output lines, and a plurality of linear concave mirror type isolation resistors are formed on the same dielectric substrate by pattern etching, and further the isolation resistors and the output are provided. Since the connecting line that connects to the line is also formed on the same dielectric substrate by pattern etching, it is possible to suppress the deterioration of the electrical characteristics of the power distributor due to a small deviation during etching, and to reduce the isolation resistance. Since the resistance value can be increased without reducing the width, disconnection due to external pressure or the like in the isolation resistance part or large variation in resistance value Is suppressed, the effect made it possible to improve and stabilize the quality without impairing the productivity.
【００５２】また、この発明の実施例６によれば、２枚
の地導体と２枚の誘電体基板と１枚のストリップ導体と
１枚の薄膜抵抗体から構成されるトリプレート型線路構
造の電力分配器において、入力線路と、分岐部と、複数
の出力線路と、複数個の楕円状平板型アイソレーション
抵抗とをパターンエッチングによって同一誘電体基板上
に形成し、更に、アイソレーション抵抗と出力線路とを
接続する連結線路を同じくパターンエッチングによって
同一誘電体基板上に形成したので、エッチングの際の小
さなズレによる電力分配器の電気的特性の劣化を小さく
することができ、また、アイソレーション抵抗の幅を細
くすることなくその抵抗値を大きくすることができるの
で、外圧等によるアイソレーション抵抗部での断線や抵
抗値の大きなバラツキが抑えられ、量産性を損うことな
く品質の向上及び安定化が可能となる効果がある。Further, according to the sixth embodiment of the present invention, a triplate type line structure composed of two ground conductors, two dielectric substrates, one strip conductor and one thin film resistor is used. In the power distributor, an input line, a branching part, a plurality of output lines, and a plurality of elliptical plate type isolation resistors are formed on the same dielectric substrate by pattern etching, and further the isolation resistors and the output are provided. Since the connecting line that connects to the line is also formed on the same dielectric substrate by pattern etching, it is possible to reduce the deterioration of the electrical characteristics of the power distributor due to a small deviation during etching, and to isolate the isolation resistance. Since the resistance value can be increased without narrowing the width, the disconnection at the isolation resistance part due to external pressure, etc. · The is suppressed, the effect made it possible to improve and stabilize the quality without impairing the productivity.
【００５３】また、この発明の実施例７によれば、２枚
の地導体と２枚の誘電体基板と１枚のストリップ導体と
１枚の薄膜抵抗体から構成されるトリプレート型線路構
造の電力分配器において、入力線路と、分岐部と、複数
の出力線路と、複数個の切り欠き付き平板型アイソレー
ション抵抗とをパターンエッチングによって同一誘電体
基板上に形成し、更に、アイソレーション抵抗と出力線
路とを接続する連結線路を同じくパターンエッチングに
よって同一誘電体基板上に形成したので、エッチングの
際の小さなズレによる電力分配器の電気特性の劣化を抑
えることができ、また、アイソレーション抵抗の幅を細
くすることなくその抵抗値を大きくすることができるの
で、外圧等によるアイソレーション抵抗部での断線や抵
抗値の大きなバラツキが抑えられ、量産性を損うことな
く品質の向上及び安定化が可能となる効果がある。Further, according to the seventh embodiment of the present invention, a triplate type line structure composed of two ground conductors, two dielectric substrates, one strip conductor and one thin film resistor is used. In the power distributor, an input line, a branching part, a plurality of output lines, and a plurality of notched plate type isolation resistors are formed on the same dielectric substrate by pattern etching. Since the connecting line that connects to the output line is also formed on the same dielectric substrate by pattern etching, it is possible to suppress the deterioration of the electrical characteristics of the power distributor due to a small deviation during etching, and to reduce the isolation resistance. Since the resistance value can be increased without narrowing the width, disconnection due to external pressure, etc. in the isolation resistance section or large variation in resistance value · The is suppressed, the effect made it possible to improve and stabilize the quality without impairing the productivity.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】この発明の実施例１を示す電力分配器の構成図
である。FIG. 1 is a configuration diagram of a power distributor showing a first embodiment of the present invention.
【図２】この発明の実施例２を示す電力分配器の構成図
である。FIG. 2 is a configuration diagram of a power distributor showing a second embodiment of the present invention.
【図３】この発明の実施例３を示す電力分配器の構成図
である。FIG. 3 is a configuration diagram of a power distributor showing a third embodiment of the present invention.
【図４】この発明の実施例４を示す電力分配器の構成図
である。FIG. 4 is a configuration diagram of a power distributor showing Embodiment 4 of the present invention.
【図５】この発明の実施例５を示す電力分配器の構成図
である。FIG. 5 is a configuration diagram of a power distributor showing a fifth embodiment of the present invention.
【図６】この発明の実施例６を示す電力分配器の構成図
である。FIG. 6 is a configuration diagram of a power distributor showing Embodiment 6 of the present invention.
【図７】この発明の実施例７を示す電力分配器の構成図
である。FIG. 7 is a configuration diagram of a power distributor showing a seventh embodiment of the present invention.
【図８】従来の電力分配器を示す構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram showing a conventional power distributor.
【図９】従来の電力分配器のアイソレーション抵抗部の
構成図である。FIG. 9 is a configuration diagram of an isolation resistance unit of a conventional power distributor.
【図１０】従来の電力分配器におけるパターンエッチン
グのズレ発生時のアイソレーション抵抗部の構成図であ
る。FIG. 10 is a configuration diagram of an isolation resistor portion when a pattern etching deviation occurs in a conventional power distributor.
【図１１】従来の電力分配器のアイソレーション抵抗部
のパターンエッチング領域である。FIG. 11 is a pattern etching region of an isolation resistance portion of a conventional power distributor.
【図１２】従来の電力分配器のパターンエッチングのズ
レ発生時のアイソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 12 is a configuration diagram of an isolation resistance portion when a pattern etching deviation occurs in a conventional power distributor.
【図１３】この発明の実施例１を示す電力分配器のアイ
ソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 13 is a configuration diagram of an isolation resistor section of the power distributor showing the first embodiment of the present invention.
【図１４】この発明の実施例１の電力分配器におけるア
イソレーション抵抗部のパターンエッチング領域であ
る。FIG. 14 is a pattern etching region of an isolation resistance portion in the power distributor according to the first embodiment of the present invention.
【図１５】この発明の実施例１の電力分配器におけるパ
ターンエッチングのズレ発生時のアイソレーション抵抗
部の構成図である。FIG. 15 is a configuration diagram of an isolation resistance portion when a pattern etching deviation occurs in the power distributor according to the first embodiment of the present invention.
【図１６】この発明の実施例２を示す電力分配器のアイ
ソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 16 is a configuration diagram of an isolation resistor portion of a power distributor showing a second embodiment of the present invention.
【図１７】この発明の実施例２の電力分配器におけるア
イソレーション抵抗部のパターンエッチング領域であ
る。FIG. 17 is a pattern etching region of an isolation resistance portion in the power distributor according to the second embodiment of the present invention.
【図１８】この発明の実施例２における電力分配器のア
イソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 18 is a configuration diagram of an isolation resistance portion of a power distributor according to a second embodiment of the present invention.
【図１９】この発明の実施例３を示す電力分配器のアイ
ソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 19 is a configuration diagram of an isolation resistor section of a power distributor showing a third embodiment of the present invention.
【図２０】この発明の実施例３の電力分配器におけるア
イソレーション抵抗部のパターンエッチング領域であ
る。FIG. 20 is a pattern etching region of the isolation resistance portion in the power distributor according to the third embodiment of the present invention.
【図２１】この発明の実施例３の電力分配器におけるア
イソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 21 is a configuration diagram of an isolation resistor section in a power distributor according to a third embodiment of the present invention.
【図２２】この発明の実施例４を示す電力分配器のアイ
ソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 22 is a configuration diagram of an isolation resistance portion of a power distributor showing Embodiment 4 of the present invention.
【図２３】この発明の実施例４の電力分配器におけるア
イソレーション抵抗部のパターンエッチング領域であ
る。FIG. 23 is a pattern etching region of an isolation resistance portion in the power distributor according to the fourth embodiment of the present invention.
【図２４】この発明の実施例４の電力分配器におけるパ
ターンエッチングのズレ発生時のアイソレーション抵抗
部の構成図である。FIG. 24 is a configuration diagram of an isolation resistor portion when a pattern etching deviation occurs in the power distributor according to the fourth embodiment of the present invention.
【図２５】この発明の実施例５を示す電力分配器のアイ
ソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 25 is a configuration diagram of an isolation resistor portion of a power distributor showing Embodiment 5 of the present invention.
【図２６】この発明の実施例５の電力分配器におけるア
イソレーション抵抗部のパターンエッチング領域であ
る。FIG. 26 is a pattern etching region of the isolation resistance portion in the power distributor according to the fifth embodiment of the present invention.
【図２７】この発明の実施例５の電力分配器におけるア
イソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 27 is a configuration diagram of an isolation resistor section in a power distributor according to a fifth embodiment of the present invention.
【図２８】この発明の実施例５の電力分配器におけるパ
ターンエッチングのズレ発生時のアイソレーション抵抗
部の構成図である。FIG. 28 is a configuration diagram of an isolation resistance portion when a pattern etching deviation occurs in the power distributor according to the fifth embodiment of the present invention.
【図２９】この発明の実施例６を示す電力分配器のアイ
ソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 29 is a configuration diagram of an isolation resistance portion of a power distributor showing Embodiment 6 of the present invention.
【図３０】この発明の実施例６の電力分配器におけるア
イソレーション抵抗部のパターンエッチング領域であ
る。FIG. 30 is a pattern etching region of the isolation resistance portion in the power distributor of Embodiment 6 of the present invention.
【図３１】この発明の実施例６の電力分配器におけるパ
ターンエッチングのズレ発生時のアイソレーション抵抗
部の構成図である。FIG. 31 is a configuration diagram of an isolation resistance portion when a pattern etching deviation occurs in the power distributor according to the sixth embodiment of the present invention.
【図３２】この発明の実施例６を示す電力分配器のアイ
ソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 32 is a configuration diagram of an isolation resistor portion of a power distributor showing Embodiment 6 of the present invention.
【図３３】この発明の実施例６を示す電力分配器のアイ
ソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 33 is a configuration diagram of an isolation resistor portion of a power distributor showing Embodiment 6 of the present invention.
【図３４】この発明の実施例７を示す電力分配器のアイ
ソレーション抵抗部の構成図である。FIG. 34 is a configuration diagram of an isolation resistor portion of a power distributor showing Embodiment 7 of the present invention.
【図３５】この発明の実施例７の電力分配器におけるア
イソレーション抵抗部のパターンエッチング領域であ
る。FIG. 35 is a pattern etching region of the isolation resistance portion in the power distributor of Embodiment 7 of the present invention.
【図３６】この発明の実施例７の電力分配器におけるパ
ターンエッチングのズレ発生時のアイソレーション抵抗
部の構成図である。FIG. 36 is a configuration diagram of an isolation resistance portion when a pattern etching deviation occurs in the power distributor according to the seventh embodiment of the present invention.
１ａ 第１の地導体 １ｂ 第２の地導体 ２ａ 第１の誘電体基板 ２ｂ 第２の誘電体基板 ３ 薄膜抵抗体 ４ ストリップ導体 ５ａ 入力線路 ５ｂ 分岐部 ５ｃ 出力線路 ６ａ 高抵抗値の直線状平板型アイソレーション抵抗 ６ｂ 低抵抗値の直線状平板型アイソレーション抵抗 ６ｃ スロット内にある直線状平板型アイソレーション
抵抗 ７ スロット ８ アイソレーション抵抗のエッチング領域 ９ 出力線路間を導通させる銅箔部分 １０ アイソレーション抵抗の導通防止用エッチング領
域 １１ 出力線路上にできる不連続部 １２ 連結線路 １２ａ 高抵抗値のアイソレーション抵抗用連結線路 １２ｂ 低抵抗値のアイソレーション抵抗用連結線路 １３ 円弧状平板型アイソレーション抵抗 １３ａ 高抵抗値の円弧状平板型アイソレーション抵抗 １３ｂ 低抵抗値の円弧状平板型アイソレーション抵抗 １４ 円弧状平板型アイソレーション抵抗のエッチング
領域 １５ 直線状凹面鏡型アイソレーション抵抗 １５ａ 高抵抗値の直線状凹面鏡型アイソレーション抵
抗 １５ｂ 低抵抗値の直線状凹面鏡型アイソレーション抵
抗 １６ 直線状凹面鏡型アイソレーション抵抗のエッチン
グ領域 １７ 円弧状平板型アイソレーション抵抗のエッチング
領域 １８ 直線状凹面鏡型アイソレーション抵抗のエッチン
グ領域 １９ 楕円状平板型アイソレーション抵抗 １９ａ 高抵抗値の楕円状平板型アイソレーション抵抗 １９ｂ 低抵抗値の楕円状平板型アイソレーション抵抗 １７ 楕円状平板型アイソレーション抵抗のエッチング
領域 ２１ 出力線路内に生じる不連続部 ２２ａ 高抵抗値のテーパ付き平板型アイソレーション
抵抗 ２２ｂ 低抵抗値のテーパ付き平板型アイソレーション
抵抗 ２３ａ 高抵抗値のコーナーカット付き平板型アイソレ
ーション抵抗 ２３ｂ 低抵抗値のコーナーカット付き平板型アイソレ
ーション抵抗 ２４ 切り欠き付き平板型アイソレーション抵抗 ２４ａ 高抵抗値の切り欠き付き平板型アイソレーショ
ン抵抗 ２４ｂ 低抵抗値の切り欠き付き平板型アイソレーショ
ン抵抗 ２５ 切り欠き付き平板型アイソレーション抵抗のエッ
チング領域 ２６ 出力線路内に生じる不連続部1a First Ground Conductor 1b Second Ground Conductor 2a First Dielectric Substrate 2b Second Dielectric Substrate 3 Thin Film Resistor 4 Strip Conductor 5a Input Line 5b Branch 5c Output Line 6a High Resistance Linear Plate Type isolation resistor 6b Linear plate type isolation resistor with low resistance value 6c Linear plate type isolation resistor in the slot 7 Slot 8 Etching region of isolation resistor 9 Copper foil part for conducting between output lines 10 Isolation Etching area for resistance conduction prevention 11 Discontinuous portion formed on output line 12 Connection line 12a High resistance isolation resistance connection line 12b Low resistance isolation resistance connection line 13 Arc-shaped flat plate type isolation resistance 13a High resistance arc flat plate type isolation resistor 13b Low resistance Value of circular flat plate type isolation resistor 14 Etching area of circular plate flat type isolation resistor 15 Linear concave mirror type isolation resistor 15a High resistance linear concave mirror type isolation resistor 15b Low resistance linear concave mirror type isolation resistor Etching area of linear concave mirror type isolation resistance 17 Etching area of arcuate flat plate type isolation resistance 18 Etching area of linear concave mirror type isolation resistance 19 Elliptical plate type isolation resistance 19a High resistance oval shape Flat plate type isolation resistor 19b Elliptical flat plate type isolation resistor with low resistance value 17 Etched region of elliptical flat plate type isolation resistor 21 Discontinuity in output line 22a Tapered flat plate type isolation resistor with high resistance value Resistor 22b Tapered flat plate isolation resistor with low resistance value 23a Flat plate type isolation resistor with high resistance value corner cut 23b Flat plate type isolation resistance with low resistance value corner cut 24 Flat plate type isolation resistance with cutout 24a High Plate type isolation resistor with notch of resistance value 24b Plate type isolation resistor with notch of low resistance value 25 Etching region of plate type isolation resistor with notch value 26 Discontinuity generated in output line
Claims (7)
一形状の第１の誘電体基板と、この第１の誘電体基板上
に設けた薄膜抵抗体と、この薄膜抵抗体上に設けたスト
リップ導体と、第２の地導体と、この第２の地導体と同
一形状の第２の誘電体基板とを、第１の地導体、第１の
誘電体基板、薄膜抵抗体、ストリップ導体、第２の誘電
体基板、第２の地導体の順に重ねて形成したトリプレー
ト型ストリップ線路から成り、入力線路と、この入力線
路からの信号を分割する分岐部と、この分岐部で分けら
れた各信号を独立して出力する複数の出力線路とを備え
た電力分配器において、上記第１の誘電体基板上に、各
出力線路間のアイソレーションを得るための直線状平板
型アイソレーション抵抗と、この直線状平板型アイソレ
ーション抵抗と出力線路を結ぶ連結線路とを備えたこと
を特徴とする電力分配器。1. A first ground conductor, a first dielectric substrate having the same shape as that of the first ground conductor, a thin film resistor provided on the first dielectric substrate, and this thin film resistor. The strip conductor provided above, the second ground conductor, and the second dielectric substrate having the same shape as the second ground conductor are used as a first ground conductor, a first dielectric substrate, and a thin film resistor. , A strip conductor, a second dielectric substrate, and a second ground conductor, which are formed in this order to form a triplate-type strip line. In a power divider having a plurality of output lines that independently output each signal divided by, a linear plate type for obtaining isolation between the output lines on the first dielectric substrate. Isolation resistance and this linear plate type isolation resistance and output A power divider comprising: a connecting line that connects the lines.
一形状の第１の誘電体基板と、この第１の誘電体基板上
に設けた薄膜抵抗体と、この薄膜抵抗体上に設けたスト
リップ導体と、第２の地導体と、この第２の地導体と同
一形状の第２の誘電体基板とを、第１の地導体、第１の
誘電体基板、薄膜抵抗体、ストリップ導体、第２の誘電
体基板、第２の地導体の順に重ねて形成したトリプレー
ト型ストリップ線路から成り、入力線路と、この入力線
路からの信号を分割する分岐部と、この分岐部で分けら
れた各信号を独立して出力する複数の出力線路とを備え
た電力分配器において、上記第１の誘電体基板上に、各
出力線路間のアイソレーションを得るための円弧状平板
型アイソレーション抵抗を備えたことを特徴とする電力
分配器。2. A first ground conductor, a first dielectric substrate having the same shape as that of the first ground conductor, a thin film resistor provided on the first dielectric substrate, and the thin film resistor. The strip conductor provided above, the second ground conductor, and the second dielectric substrate having the same shape as the second ground conductor are used as a first ground conductor, a first dielectric substrate, and a thin film resistor. A strip conductor, a strip conductor, a second dielectric substrate, and a second ground conductor, which are stacked in this order, and an input line, a branch portion for dividing a signal from the input line, and the branch portion. A plurality of output lines that independently output each of the signals divided by, an arc-shaped flat plate type for obtaining isolation between the output lines on the first dielectric substrate. A power divider having an isolation resistor.
一形状の第１の誘電体基板と、この第１の誘電体基板上
に設けた薄膜抵抗体と、この薄膜抵抗体上に設けたスト
リップ導体と、第２の地導体と、この第２の地導体と同
一形状の第２の誘電体基板とを、第１の地導体、第１の
誘電体基板、薄膜抵抗体、ストリップ導体、第２の誘電
体基板、第２の地導体の順に重ねて形成したトリプレー
ト型ストリップ線路から成り、入力線路と、この入力線
路からの信号を分割する分岐部と、この分岐部で分けら
れた各信号を独立して出力する複数の出力線路とを備え
た電力分配器において、上記第１の誘電体基板上に、各
出力線路間のアイソレーションを得るための直線状凹面
鏡型アイソレーション抵抗を備えたことを特徴とする電
力分配器。3. A first ground conductor, a first dielectric substrate having the same shape as the first ground conductor, a thin film resistor provided on the first dielectric substrate, and this thin film resistor. The strip conductor provided above, the second ground conductor, and the second dielectric substrate having the same shape as the second ground conductor are used as a first ground conductor, a first dielectric substrate, and a thin film resistor. , A strip conductor, a second dielectric substrate, and a second ground conductor, which are formed in this order to form a triplate-type strip line. In a power distributor having a plurality of output lines that independently output each signal divided by, a linear concave mirror type for obtaining isolation between the output lines on the first dielectric substrate. A power divider having an isolation resistor.
一形状の第１の誘電体基板と、この第１の誘電体基板上
に設けた薄膜抵抗体と、この薄膜抵抗体上に設けたスト
リップ導体と、第２の地導体と、この第２の地導体と同
一形状の第２の誘電体基板とを、第１の地導体、第１の
誘電体基板、薄膜抵抗体、ストリップ導体、第２の誘電
体基板、第２の地導体の順に重ねて形成したトリプレー
ト型ストリップ線路から成り、入力線路と、この入力線
路からの信号を分割する分岐部と、この分岐部で分けら
れた各信号を独立して出力する複数の出力線路とを備え
た電力分配器において、上記第１の誘電体基板上に、各
出力線路間のアイソレーションを得るための円弧状平板
型アイソレーション抵抗と、この円弧状平板型アイソレ
ーション抵抗と出力線路を結ぶ連結線路とを備えたこと
を特徴とする電力分配器。4. A first ground conductor, a first dielectric substrate having the same shape as the first ground conductor, a thin film resistor provided on the first dielectric substrate, and the thin film resistor. The strip conductor provided above, the second ground conductor, and the second dielectric substrate having the same shape as the second ground conductor are used as a first ground conductor, a first dielectric substrate, and a thin film resistor. A strip conductor, a strip conductor, a second dielectric substrate, and a second ground conductor, which are stacked in this order, and an input line, a branch portion for dividing a signal from the input line, and the branch portion. A plurality of output lines that independently output each of the signals divided by, an arc-shaped flat plate type for obtaining isolation between the output lines on the first dielectric substrate. Isolation resistance and this arc-shaped flat plate isolation resistance and output A power divider comprising: a connecting line that connects the lines.
一形状の第１の誘電体基板と、この第１の誘電体基板上
に設けた薄膜抵抗体と、この薄膜抵抗体上に設けたスト
リップ導体と、第２の地導体と、この第２の地導体と同
一形状の第２の誘電体基板とを、第１の地導体、第１の
誘電体基板、薄膜抵抗体、ストリップ導体、第２の誘電
体基板、第２の地導体の順に重ねて形成したトリプレー
ト型ストリップ線路から成り、入力線路と、この入力線
路からの信号を分割する分岐部と、この分岐部で分けら
れた各信号を独立して出力する複数の出力線路とを備え
た電力分配器において、上記第１の誘電体基板上に、各
出力線路間のアイソレーションを得るための直線状凹面
鏡型アイソレーション抵抗と、この直線状凹面鏡型アイ
ソレーション抵抗と出力線路を結ぶ連結線路とを備えた
ことを特徴とする電力分配器。5. A first ground conductor, a first dielectric substrate having the same shape as that of the first ground conductor, a thin film resistor provided on the first dielectric substrate, and this thin film resistor. The strip conductor provided above, the second ground conductor, and the second dielectric substrate having the same shape as the second ground conductor are used as a first ground conductor, a first dielectric substrate, and a thin film resistor. A strip conductor, a strip conductor, a second dielectric substrate, and a second ground conductor, which are stacked in this order, and an input line, a branch portion for dividing a signal from the input line, and the branch portion. In a power divider having a plurality of output lines that independently output each signal divided by, a linear concave mirror type for obtaining isolation between the output lines on the first dielectric substrate. Isolation resistance and this linear concave mirror type isolation resistance An electric power divider comprising: a connecting line connecting output lines.
一形状の第１の誘電体基板と、この第１の誘電体基板上
に設けた薄膜抵抗体と、この薄膜抵抗体上に設けたスト
リップ導体と、第２の地導体と、この第２の地導体と同
一形状の第２の誘電体基板とを、第１の地導体、第１の
誘電体基板、薄膜抵抗体、ストリップ導体、第２の誘電
体基板、第２の地導体の順に重ねて形成したトリプレー
ト型ストリップ線路から成り、入力線路と、この入力線
路からの信号を分割する分岐部と、この分岐部で分けら
れた各信号を独立して出力する複数の出力線路とを備え
た電力分配器において、上記第１の誘電体基板上に、各
出力線路間のアイソレーションを得るための楕円状平板
型アイソレーション抵抗と、この楕円状平板型アイソレ
ーション抵抗と出力線路を結ぶ連結線路とを備えたこと
を特徴とする電力分配器。6. A first ground conductor, a first dielectric substrate having the same shape as the first ground conductor, a thin film resistor provided on the first dielectric substrate, and the thin film resistor. The strip conductor provided above, the second ground conductor, and the second dielectric substrate having the same shape as the second ground conductor are used as a first ground conductor, a first dielectric substrate, and a thin film resistor. A strip conductor, a strip conductor, a second dielectric substrate, and a second ground conductor, which are stacked in this order, and an input line, a branch portion for dividing a signal from the input line, and the branch portion. In a power divider having a plurality of output lines that independently output each signal divided by, an elliptical plate type for obtaining isolation between the output lines on the first dielectric substrate. Isolation resistance and this elliptical plate type isolation resistance and output A power divider comprising: a connecting line that connects the lines.
一形状の第１の誘電体基板と、この第１の誘電体基板上
に設けた薄膜抵抗体と、この薄膜抵抗体上に設けたスト
リップ導体と、第２の地導体と、この第２の地導体と同
一形状の第２の誘電体基板とを、第１の地導体、第１の
誘電体基板、薄膜抵抗体、ストリップ導体、第２の誘電
体基板、第２の地導体の順に重ねて形成したトリプレー
ト型ストリップ線路から成り、入力線路と、この入力線
路からの信号を分割する分岐部と、この分岐部で分けら
れた各信号を独立して出力する複数の出力線路とを備え
た電力分配器において、上記第１の誘電体基板上に、各
出力線路間のアイソレーションを得るための切り欠き付
き直方体型アイソレーション抵抗と、この切り欠き付き
平板型アイソレーション抵抗と出力線路を結ぶ連結線路
とを備えたことを特徴とする電力分配器。7. A first ground conductor, a first dielectric substrate having the same shape as that of the first ground conductor, a thin film resistor provided on the first dielectric substrate, and this thin film resistor. The strip conductor provided above, the second ground conductor, and the second dielectric substrate having the same shape as the second ground conductor are used as a first ground conductor, a first dielectric substrate, and a thin film resistor. A strip conductor, a strip conductor, a second dielectric substrate, and a second ground conductor, which are stacked in this order, and an input line, a branch portion for dividing a signal from the input line, and the branch portion. A plurality of output lines that independently output each of the signals divided by, and a rectangular parallelepiped with a cutout for obtaining isolation between the output lines on the first dielectric substrate. Type isolation resistance and flat plate type isolation with this notch A power divider comprising a connecting resistor and a connecting line connecting the output line.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10843894A JP3239612B2 (en) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | Power distributor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10843894A JP3239612B2 (en) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | Power distributor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07321515A true JPH07321515A (en) | 1995-12-08 |
| JP3239612B2 JP3239612B2 (en) | 2001-12-17 |
Family
ID=14484782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10843894A Expired - Fee Related JP3239612B2 (en) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | Power distributor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3239612B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020032902A (en) * | 2000-10-28 | 2002-05-04 | 한상욱 | Wideband low-loss power divider |
| KR20220096145A (en) * | 2020-12-30 | 2022-07-07 | 고려대학교 산학협력단 | Expanded metal waveguide providing uniform electromagnetic field in the H-plane direction |
-
1994
- 1994-05-23 JP JP10843894A patent/JP3239612B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020032902A (en) * | 2000-10-28 | 2002-05-04 | 한상욱 | Wideband low-loss power divider |
| KR20220096145A (en) * | 2020-12-30 | 2022-07-07 | 고려대학교 산학협력단 | Expanded metal waveguide providing uniform electromagnetic field in the H-plane direction |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3239612B2 (en) | 2001-12-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6323741B1 (en) | Microstrip coupler with a longitudinal recess | |
| JPH07321515A (en) | Power distributer | |
| JPH06303010A (en) | High frequency transmission line and integrated circuit device using the same, and connceting method for high frequency plane circuit | |
| JP2004207949A (en) | Transmission line | |
| US7388451B2 (en) | Thickness tapered substrate launch | |
| JPH05335815A (en) | Waveguide-microstrip converter | |
| JPH06260773A (en) | Pad structure of high speed signal transmission circuit board | |
| JPH1075024A (en) | Shielded delay line and its manufacture | |
| EP0837519A1 (en) | Dielectric filter | |
| JP4080981B2 (en) | Conversion circuit | |
| US5939959A (en) | Dielectric filter with elevated inner regions adjacent resonator openings | |
| JPH1013113A (en) | Connecting method for distributed constant lines and microwave circuit | |
| KR960010010B1 (en) | Lange coupler | |
| EP0837518B1 (en) | Dielectric filter | |
| JPH07240483A (en) | Package for high frequency semiconductor device | |
| JPH09326602A (en) | High frequency filter circuit | |
| JP3187214B2 (en) | Dielectric laminated filter and adjustment method thereof | |
| JPH06125202A (en) | Dielectric filter and its pass band width control method | |
| JP2768411B2 (en) | Dielectric waveguide directional coupler | |
| JP2713335B2 (en) | Diode phase shifter | |
| JPH05335817A (en) | Directional coupler | |
| JP2000183614A (en) | Resonator | |
| JP2703497B2 (en) | Dielectric resonator | |
| JP2768409B2 (en) | Dielectric waveguide directional coupler | |
| KR19990000813A (en) | Surface Mount Reverse Wave Hybrid Coupler |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |