JPH0731285B2 - 三次元光分岐器 - Google Patents
三次元光分岐器Info
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- JPH0731285B2 JPH0731285B2 JP59177283A JP17728384A JPH0731285B2 JP H0731285 B2 JPH0731285 B2 JP H0731285B2 JP 59177283 A JP59177283 A JP 59177283A JP 17728384 A JP17728384 A JP 17728384A JP H0731285 B2 JPH0731285 B2 JP H0731285B2
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- branch
- refractive index
- waveguide
- δty
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/125—Bends, branchings or intersections
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- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （ア） 技術分野 この発明は三次元光分岐器に関するプレーナ型光導波路
に於て、分岐導波路は、パワーデバイダやスイツチとし
て重要な構造体である。
に於て、分岐導波路は、パワーデバイダやスイツチとし
て重要な構造体である。
分岐導波路における問題点は、分岐角度の増大に伴う分
岐損失の増加である。
岐損失の増加である。
コアとクラツデイングの屈折率差が大きい場合は、導波
モードのパワーを比較的低損失で、各分岐導波路に分け
る事ができる。しかし、コアとクラツデイングの間に、
極端に大きな屈折率差があると、光フアイバ等他の素子
との結合効率が低下し、又製造上困難な事も多い。
モードのパワーを比較的低損失で、各分岐導波路に分け
る事ができる。しかし、コアとクラツデイングの間に、
極端に大きな屈折率差があると、光フアイバ等他の素子
との結合効率が低下し、又製造上困難な事も多い。
（イ） 要約 矩形断面を有する導波路を結合した三次元光分岐器であ
る。
る。
放射損失を低減する為、分岐点に、クラツデイングより
も低い屈折率の領域を設ける。より好ましくは、この低
屈折率領域はＹ型分岐を含む面に関し、直角な方向に導
波路の高さよりも、上下に余分なはみ出し部分を持つよ
うにする。
も低い屈折率の領域を設ける。より好ましくは、この低
屈折率領域はＹ型分岐を含む面に関し、直角な方向に導
波路の高さよりも、上下に余分なはみ出し部分を持つよ
うにする。
分岐角が大きい時に特に有効で、従来の分岐導波路の構
造に比べ、分岐損失は約1/10に低下する。
造に比べ、分岐損失は約1/10に低下する。
（ウ） 従来技術 第７図は一般的な２次元Ｙ分岐を示す平面図である。２
次元というのは、紙面と直角な方向には、無限に同じ構
造が続いているという事である。スラブ線路の一種であ
る。
次元というのは、紙面と直角な方向には、無限に同じ構
造が続いているという事である。スラブ線路の一種であ
る。
主導波路50が、２本の分岐導波路51と52に分岐してい
る。三つの導波路50、51、52は遷移領域53に於て相互に
結合している。導波路50、51、52、遷移領域53は屈折率
が、周囲のクラツデイング54の屈折率よりも大きいの
で、光はこれらの導波路の中に閉じ込められる。導波路
50、……などをコアと呼ぶ事もある。コアの屈折率を
n2、クラツデイングの屈折率をn1とする。
る。三つの導波路50、51、52は遷移領域53に於て相互に
結合している。導波路50、51、52、遷移領域53は屈折率
が、周囲のクラツデイング54の屈折率よりも大きいの
で、光はこれらの導波路の中に閉じ込められる。導波路
50、……などをコアと呼ぶ事もある。コアの屈折率を
n2、クラツデイングの屈折率をn1とする。
n2＞n1 （１） である。AndersonとSasaki等は、このような二次元Ｙ分
岐に於ける放射損失を近似的に計算した（H.Sasaki and
I.Anderson,IEEE J.Quantum Electron.QE−14,883（19
78））。
岐に於ける放射損失を近似的に計算した（H.Sasaki and
I.Anderson,IEEE J.Quantum Electron.QE−14,883（19
78））。
彼らの計算によれば、コアとクラツデイングの屈折率差
が大きい場合には、導波モードのパワーを、比較的低損
失で分岐導波路に分ける事ができる。しかし、極端に大
きな屈折率差は、他の導波路との結合効率を悪くする
し、製作も困難である。
が大きい場合には、導波モードのパワーを、比較的低損
失で分岐導波路に分ける事ができる。しかし、極端に大
きな屈折率差は、他の導波路との結合効率を悪くする
し、製作も困難である。
第８図はcoupled−multiple−wavequide型の分岐の平面
図である。Haus、Fonstad、Orr等によつて提案されたも
のである。（H.A.Haus and C.G.Fonstad,Jr.,IEEE J.Qu
antum Electron.QE−17,2321（1981）.,H.A.Haus and
L.Molter−Orr,IEEE J.Quantum Electron.QE−19,840
（1983）．）。
図である。Haus、Fonstad、Orr等によつて提案されたも
のである。（H.A.Haus and C.G.Fonstad,Jr.,IEEE J.Qu
antum Electron.QE−17,2321（1981）.,H.A.Haus and
L.Molter−Orr,IEEE J.Quantum Electron.QE−19,840
（1983）．）。
主導波路50は、遷移領域53に於て途切れており、この両
側に中間コア部55、56が平行に形成してある。中間コア
部55、56のさらに外側に、平行な分岐導波路51、52が形
成されている。
側に中間コア部55、56が平行に形成してある。中間コア
部55、56のさらに外側に、平行な分岐導波路51、52が形
成されている。
この構造体は、分岐後に於ても波面が傾かない、という
特徴がある。導波路間隔が広くなると、結合効率が下
る。この為、広い分岐導波路間隔を得ようとすると、結
合長を長くとる必要がある。効率の良い分岐導波路構造
とは言えない。
特徴がある。導波路間隔が広くなると、結合効率が下
る。この為、広い分岐導波路間隔を得ようとすると、結
合長を長くとる必要がある。効率の良い分岐導波路構造
とは言えない。
効率の良い分岐導波路というのは、 （１） 分岐損失が小さい事、 （２） 結合長が短くてすむ事、 （３） 他の光学素子とのスポツトサイズの整合をとり
うるよう広角の導波路である事、 などの要件をそなえるべきである。
うるよう広角の導波路である事、 などの要件をそなえるべきである。
本発明者は、既に二次元プレーナ型Ｙ分岐について、放
射損失の低い分岐導波路を発明している（昭和59年度電
子通信学会総合全国大会NO.1089予稿集４−143）。
射損失の低い分岐導波路を発明している（昭和59年度電
子通信学会総合全国大会NO.1089予稿集４−143）。
第９図はその平面図である。主導波路50と、分岐導波路
51、52が遷移領域53で結合しているが、ここに低屈折率
部60を設けている。これが特徴である。この屈折率n
3は、コア、クラツデイングの屈折率n2、n1よりも低
い。
51、52が遷移領域53で結合しているが、ここに低屈折率
部60を設けている。これが特徴である。この屈折率n
3は、コア、クラツデイングの屈折率n2、n1よりも低
い。
n2＞n1＞n3 （２） である。主導波路50、分岐導波路51、52の幅は2Tで、分
岐導波路の挾角は２θである。
岐導波路の挾角は２θである。
低屈折率部60は導波路と同じ幅を持ち、終端で分岐導波
路51、52と交わるような長方形である、とする。従っ
て、低屈折率部60は、幅が2Tで、長さが2Tcosecθとな
る。このような導波路の構造は、特に、分岐角２θが大
きい時に、従来のものに比して放射損失が少くなる、と
いう優れた特徴があつた。
路51、52と交わるような長方形である、とする。従っ
て、低屈折率部60は、幅が2Tで、長さが2Tcosecθとな
る。このような導波路の構造は、特に、分岐角２θが大
きい時に、従来のものに比して放射損失が少くなる、と
いう優れた特徴があつた。
以上に従来技術の主なものを説明した。Ｙ型の光分岐
は、従来全て二次元的に取扱われていた。平面の上にＹ
型導波路を作製する場合であつても、導波路の深さは不
変であつて、従つて二次元的な計算が可能であつた。
は、従来全て二次元的に取扱われていた。平面の上にＹ
型導波路を作製する場合であつても、導波路の深さは不
変であつて、従つて二次元的な計算が可能であつた。
本発明者は、分岐損失をさらに低減するためには三次元
的な構造の導波路が適している、という事に気付いた。
的な構造の導波路が適している、という事に気付いた。
実際に製作する場合、二次元分岐は作りにくいし、三次
元分岐の方が現実的である、という事もある。導波路の
深さが有限のものは作り易いが、実質的に無限大のもの
は作りにくい。
元分岐の方が現実的である、という事もある。導波路の
深さが有限のものは作り易いが、実質的に無限大のもの
は作りにくい。
第10図に三次元Ｙ分岐の構造を示す。導波路60、61、62
は、幅が2Tx、高さが2Tyの長方形断面を持つている。こ
れらはコアを形成し、屈折率n2は、クラツデイング64の
屈折率n1より高い。クラツデイング64は図示していない
が、導波路60、61、62を、左右側方からと、底面からと
で囲んでいる。
は、幅が2Tx、高さが2Tyの長方形断面を持つている。こ
れらはコアを形成し、屈折率n2は、クラツデイング64の
屈折率n1より高い。クラツデイング64は図示していない
が、導波路60、61、62を、左右側方からと、底面からと
で囲んでいる。
しかし、これは、構造的に従来の二次元導波路と同じで
ある。深さ方向の寸法に変化がないからである。また、
θが大きい時、損失は大きい。
ある。深さ方向の寸法に変化がないからである。また、
θが大きい時、損失は大きい。
（ウ） 発明の構成 本発明は、従来全く取扱われていなかつた三次元構造の
Ｙ分岐を提供する。
Ｙ分岐を提供する。
第１図は本発明の三次元光分岐器の斜視図である。
主導波路１は幅が2Tx、高さが2Tyの導波路である。分岐
導波路２、３は同じく、幅が2Tx、高さが2Tyの導波路
で、主導波路１の終端に、角θをなすよう斜めに接続さ
れている。主導波路１、分岐導波路２、３の屈折率はn2
である。これらの周囲の材質をクラツデイング６と呼ぶ
が、クラツデイング６の屈折率n1よりも、n2が大きい。
そこで導波路１、２、３をコアと呼ぶ事もある。
導波路２、３は同じく、幅が2Tx、高さが2Tyの導波路
で、主導波路１の終端に、角θをなすよう斜めに接続さ
れている。主導波路１、分岐導波路２、３の屈折率はn2
である。これらの周囲の材質をクラツデイング６と呼ぶ
が、クラツデイング６の屈折率n1よりも、n2が大きい。
そこで導波路１、２、３をコアと呼ぶ事もある。
さて、遷移領域４には、コア、クラツデイング６よりも
屈折率の低い低屈折率部５を設けている。この点で第10
図の三次元分岐と異なる。この屈折率n3は、n1、n2より
も低く、第９図に示すものと同様である。
屈折率の低い低屈折率部５を設けている。この点で第10
図の三次元分岐と異なる。この屈折率n3は、n1、n2より
も低く、第９図に示すものと同様である。
二次元分岐である第９図のものと異なる点は、三次元分
岐であつて、各導波路１、２、３の深さが有限だという
事である。この図に示す例に於ては低屈折率部５が、導
波路１、２、３の上面よりΔTyだけ突出し、下面よりΔ
Tyだけ突出している。
岐であつて、各導波路１、２、３の深さが有限だという
事である。この図に示す例に於ては低屈折率部５が、導
波路１、２、３の上面よりΔTyだけ突出し、下面よりΔ
Tyだけ突出している。
低屈折率部５の幅は2Tx、長さは2Tx cosecθである。高
さは、2Ty＋２ΔTyである。ΔTyは０である事もある。
しかし、ΔTyはある程度の大きさがある方が望ましい。
さは、2Ty＋２ΔTyである。ΔTyは０である事もある。
しかし、ΔTyはある程度の大きさがある方が望ましい。
屈折率n1、n2、n3の関係は第（２）式に従う。
第２図はこの分岐に於ける横断面内での導波路内を進行
する光線を示す説明線図である。
する光線を示す説明線図である。
主導波路１の進行方向をｚ軸、導波路１、２、３を含む
平面に直角な方向をｙ軸とし、導波路を含む平面内にあ
つて主導波路１に直角な方向をｘ軸とする。
平面に直角な方向をｙ軸とし、導波路を含む平面内にあ
つて主導波路１に直角な方向をｘ軸とする。
低屈折率部５の屈折率n3を、n1よりさらに低くするの
は、導波路面（xz平面）内での放射を抑えるためであ
る。
は、導波路面（xz平面）内での放射を抑えるためであ
る。
低屈折率部５のはみ出しΔTyを設けているのは、ｙ方向
への放射を抑える為である。
への放射を抑える為である。
低屈折率部５の屈折率n3を決定するため、第２図に於
て、スラブ線路内での幾何光学モデルを考える。ここで
はｙ方向に一様な屈折率を持つものとして取扱う。
て、スラブ線路内での幾何光学モデルを考える。ここで
はｙ方向に一様な屈折率を持つものとして取扱う。
主導波路１の終端と低屈折率部５の始端をｘ軸にとる。
つまりｚ＝０である。低屈折率部５の終端QWはｚ＝2Tx
cosecθで与えられる。
つまりｚ＝０である。低屈折率部５の終端QWはｚ＝2Tx
cosecθで与えられる。
低屈折率部５は、長方形PVWQで仕切られる領域である。
分岐導波路２、３は、PQに対し角θをな半直線PR、QSで
仕切られ、或はWVに対角θをなす半直線WN、VUで仕切ら
れる高屈折率線路である。
分岐導波路２、３は、PQに対し角θをな半直線PR、QSで
仕切られ、或はWVに対角θをなす半直線WN、VUで仕切ら
れる高屈折率線路である。
導波モードの素波に対応する光線ｍを考える。この光線
ｍが伝搬軸（ｚ軸）となす角をとする。この光線ｍが
Ａ点で、境界PVを通過したとする。低屈折率部での入射
角をθ１とする。スネルの法則から、 n2sin＝n3sinθ１ （３） である。光線ｍが、さらに境界PQのＢ点で、低屈折率部
５から分岐導波路２の中へ入射したとする。入射後の光
線とPQのなす角をθ２とすると、スネルの法則から、 n3cosθ１＝n2cosθ２ （４） である。
ｍが伝搬軸（ｚ軸）となす角をとする。この光線ｍが
Ａ点で、境界PVを通過したとする。低屈折率部での入射
角をθ１とする。スネルの法則から、 n2sin＝n3sinθ１ （３） である。光線ｍが、さらに境界PQのＢ点で、低屈折率部
５から分岐導波路２の中へ入射したとする。入射後の光
線とPQのなす角をθ２とすると、スネルの法則から、 n3cosθ１＝n2cosθ２ （４） である。
ここで、導波モードは、分岐導波路の中へ入つても同じ
モードを維持するものと仮定する。この場合、分岐導波
路の伝搬軸と光線のなす角はでなければならない。
モードを維持するものと仮定する。この場合、分岐導波
路の伝搬軸と光線のなす角はでなければならない。
そうすると、分岐導波路２の内部のＣ点で反射されると
すると、∠PCBはとなる。
すると、∠PCBはとなる。
△PBCに於て θ＋＝θ２ （５） である。（３）、（４）、（５）から、θ１、θ２を消
去すると n3＝n2〔sin2＋cos2（θ＋）〕1/2 （６） となる。
去すると n3＝n2〔sin2＋cos2（θ＋）〕1/2 （６） となる。
この式は、n3を決定する方程式である。コア屈折率n2、
分岐角２θが与えられた時、光線の伝搬軸とのなす角
の函数としてn3が一義的に計算される。
分岐角２θが与えられた時、光線の伝搬軸とのなす角
の函数としてn3が一義的に計算される。
幾何光学的計算によつてn3がの函数として求まるが、
これは伝搬軸とのなす角がであるような光線ｍだけ
が、（５）の条件を満すものとして得られる。実際に
は、だけの光線だけが導波路の中を伝搬するわけでは
ない。
これは伝搬軸とのなす角がであるような光線ｍだけ
が、（５）の条件を満すものとして得られる。実際に
は、だけの光線だけが導波路の中を伝搬するわけでは
ない。
ここで、幾何学的考察から、波動光学的考察に移る事に
する。
する。
ここで、素波に対応する光線ｍが、伝搬軸となる角度
は、 ＝tan-1（ux/βTx） （７） によつて与えられる。ここでux/Txはコア内のｘ方向の
位相定数、βはコア内のｚ方向の位相定数である。
は、 ＝tan-1（ux/βTx） （７） によつて与えられる。ここでux/Txはコア内のｘ方向の
位相定数、βはコア内のｚ方向の位相定数である。
ux/Tx及びβは次のようにして求める事ができる。Hx、E
yが電磁界の主成分で、ｘ方向にｐ個、ｙ方向にｑ個の
極大を持つ▲Ｅy pq▼モードを考える。この時Hxは と表わす事ができる。他の主要成分をHxを使つて表すと となる。
yが電磁界の主成分で、ｘ方向にｐ個、ｙ方向にｑ個の
極大を持つ▲Ｅy pq▼モードを考える。この時Hxは と表わす事ができる。他の主要成分をHxを使つて表すと となる。
ｘ＝±Tx（|y|＜Ty）に於けるEy、Hzの連続則から、ux
を求める特性方程式 vx＝（n2 2−n1 2）1/2k0Tx （13） を得る。又、ｙ＝±Ty（|x|＜Tx）におけるHx、Ezの連
続則からuyを求める特性方程式 vy＝（n2 2−n1 2）1/2k0Ty （15） を得る。βは、ux/Tx及びuy/Tyを使つて により求める事ができる。ここに、vx、vyはそれぞれｘ
方向、ｙ方向の正規化周波数である。こうして、βとux
が決定されるから、（７）式からを求める事ができ、
これによつてn3を決定する。
を求める特性方程式 vx＝（n2 2−n1 2）1/2k0Tx （13） を得る。又、ｙ＝±Ty（|x|＜Tx）におけるHx、Ezの連
続則からuyを求める特性方程式 vy＝（n2 2−n1 2）1/2k0Ty （15） を得る。βは、ux/Tx及びuy/Tyを使つて により求める事ができる。ここに、vx、vyはそれぞれｘ
方向、ｙ方向の正規化周波数である。こうして、βとux
が決定されるから、（７）式からを求める事ができ、
これによつてn3を決定する。
次に、低屈折率部の上下方向のはみ出しΔTyの決定法に
ついて述べる。
ついて述べる。
ΔTy＝０の場合には、分岐点近傍の屈折率を下げたため
リーキー構造であり、yz面内での光線はｙ軸と小さな角
度をもつてクラツデイングに出射する。これは放射損失
の原因となる。
リーキー構造であり、yz面内での光線はｙ軸と小さな角
度をもつてクラツデイングに出射する。これは放射損失
の原因となる。
そこで、クラツデイングへの界のはみ出しを十分おおう
程度のΔTyが上下に存在すれば、この放射は抑制され
る、と考えられる。
程度のΔTyが上下に存在すれば、この放射は抑制され
る、と考えられる。
即ち、 ΔTy＞＞Ty（vy2−uy2）−1/2 （17） の程度であれば良い。
次に、こうして設計された三次元分岐構造に於ける低損
失化の限界について述べる。第２図に於て、PR上で反射
された素波の光線がQS上にある場合には、分岐導波路を
反射しながら進行してゆく。しかしPR上で反射された光
線がPQ上にくる場合は、再び低屈折率部に入射するか
ら、損失になる。
失化の限界について述べる。第２図に於て、PR上で反射
された素波の光線がQS上にある場合には、分岐導波路を
反射しながら進行してゆく。しかしPR上で反射された光
線がPQ上にくる場合は、再び低屈折率部に入射するか
ら、損失になる。
このような損失が起こるのはθ＜の場合である。そこ
で、分岐角度θに対する適用範囲を θ＞ （18） に定める事にする。
で、分岐角度θに対する適用範囲を θ＞ （18） に定める事にする。
通常、分岐導波路では分岐角の大きな構造が要求される
ため式（18）の適用範囲は大きな障害となるものではな
い。
ため式（18）の適用範囲は大きな障害となるものではな
い。
（エ） 分岐損失の計算 分岐損失を計算するためには、導波路のモード関数を求
める必要がある。この為には、いくつかの方法が提案さ
れている。
める必要がある。この為には、いくつかの方法が提案さ
れている。
ここでは、コアとクラツデイングの屈折率差の小さい場
合に適用できるPBM（Propagating Beam Method）を採用
して、ｚ＞０のモード関数を計算した。これと、分岐導
波路の固有函数φ（x,y）との積を積分すれば、分岐導
波路へ透過してゆくエネルギーを求める事ができる。
合に適用できるPBM（Propagating Beam Method）を採用
して、ｚ＞０のモード関数を計算した。これと、分岐導
波路の固有函数φ（x,y）との積を積分すれば、分岐導
波路へ透過してゆくエネルギーを求める事ができる。
PBM法は屈折率が光の進行方向に緩やかに変化してゆく
場合に適合する近似方法である。ｚ方向に伝搬する光に
対し、Hx、又はEyに関して簡単にεと書く） である。今、 ε（x,y,z）＝Ｅ（x,y,z）exp（−jkz） （20） として（19）式に代入し、 とすると、 を得る。ただし、 である。（22）式から、Ｅ（x,y,z）からＥ（x,y,z＋Δ
ｚ）を求める漸化式 Ｅ（x,y,z＋Δｚ）＝AE（x,y,z） （24） を得る。ここに、 である。このように、（25）式のオペレータを順次作用
させる事により、全空間におけるＥ（x,y,z）を数値計
算によつて近似的に求める事ができる。
場合に適合する近似方法である。ｚ方向に伝搬する光に
対し、Hx、又はEyに関して簡単にεと書く） である。今、 ε（x,y,z）＝Ｅ（x,y,z）exp（−jkz） （20） として（19）式に代入し、 とすると、 を得る。ただし、 である。（22）式から、Ｅ（x,y,z）からＥ（x,y,z＋Δ
ｚ）を求める漸化式 Ｅ（x,y,z＋Δｚ）＝AE（x,y,z） （24） を得る。ここに、 である。このように、（25）式のオペレータを順次作用
させる事により、全空間におけるＥ（x,y,z）を数値計
算によつて近似的に求める事ができる。
電界（又は磁界）をＥ（x,y,z）とし、分岐導波路の固
有函数をφ０（x,y）とする。
有函数をφ０（x,y）とする。
電力透過率ηは、 によつて与えられる。xcは分岐導波路の中心のｘ座標で
ある。exp（……）はＥ（x,y,z）とφ０（ｘ−xc,y）と
の波面がθだけ傾いている事による因子である。
ある。exp（……）はＥ（x,y,z）とφ０（ｘ−xc,y）と
の波面がθだけ傾いている事による因子である。
分岐損失は−10logηによつて与えられる。
従来の分岐と、本発明の分岐の損失を比較する。
（６）式によつてn3が決定される。これはが与えられ
ると一意的に決まる。多モード導波路の場合、はいく
つも存在する。しかし、n3はひととおりしかない。本発
明は、従つて、がひとつの場合に最も有力であるわけ
である。
ると一意的に決まる。多モード導波路の場合、はいく
つも存在する。しかし、n3はひととおりしかない。本発
明は、従つて、がひとつの場合に最も有力であるわけ
である。
そこで、単一モード導波路とする。さらに簡単のため、
縦横の等しい断面のコア（Tx＝Ty）を仮定する。E12、E
21モードがカツトオフであるために、正規化周波数Ｖは
2.2以下であれば良い。
縦横の等しい断面のコア（Tx＝Ty）を仮定する。E12、E
21モードがカツトオフであるために、正規化周波数Ｖは
2.2以下であれば良い。
Ｖはここで V2＝（n2 2−n1 2）k2T2 （28） である。ＴはTx、Tyの長さである。定数は 光の波長λ＝１μｍ 導波路幅深さＴ＝５μｍ クラツデイング屈折率n1＝1.5 正規化周波数Ｖ＝1.81 上下のはみ出しΔTy＝20μｍ とする。第３図は三次元分岐の分岐角２θに対する分岐
損失の（−10logη）計算結果を示すグラフである。
損失の（−10logη）計算結果を示すグラフである。
分岐角Δθが増大すると、従来の分岐（第10図に示す）
では、分岐損失が急に増加する。
では、分岐損失が急に増加する。
破線で示すのは、本発明に含まれるが上下のはみ出しが
ない（ΔTy＝０）三次元分岐構造の分岐損失である。
ない（ΔTy＝０）三次元分岐構造の分岐損失である。
ΔTy＝20μｍのものは、下方の実線で示されている。矢
印はθ＝の点である。不等式（18）は矢印より右側の
領域に該当する。
印はθ＝の点である。不等式（18）は矢印より右側の
領域に該当する。
ΔTy＝20μｍによるものが、最も損失が少い。
もしも、分岐損失の許容できる範囲を1dBとすると、従
来の構造では、分岐角を４度までしかとれない。しか
し、本発明のΔTy＝20μｍとしたものでは10度まで拡げ
る事ができる。
来の構造では、分岐角を４度までしかとれない。しか
し、本発明のΔTy＝20μｍとしたものでは10度まで拡げ
る事ができる。
本発明の構造は、特に広角の分岐に好適である事が分
る。
る。
第４図は同じパラメータ（ΔTy＝20μｍ）で、本発明に
於て、分岐角２θに対し、低屈折率部の屈折率n3の、ク
ラツデイング屈折率n1との相異の割合を示すグラフであ
る。横軸は２θであり、縦軸は である。これは、シングルモードの条件から、（７）式
でを求め、（６）式にθの値とともに代入する事によ
つて計算される。
於て、分岐角２θに対し、低屈折率部の屈折率n3の、ク
ラツデイング屈折率n1との相異の割合を示すグラフであ
る。横軸は２θであり、縦軸は である。これは、シングルモードの条件から、（７）式
でを求め、（６）式にθの値とともに代入する事によ
つて計算される。
矢印は＝θの点である。シングルモードであるという
条件から、１本の曲線を引く事ができる。多モードの導
波路であればモードごとにが異なるので、モード数だ
けの曲線が生ずる。n3はひとつの値を取るから、この場
合、モード選択性のある分岐となる。
条件から、１本の曲線を引く事ができる。多モードの導
波路であればモードごとにが異なるので、モード数だ
けの曲線が生ずる。n3はひとつの値を取るから、この場
合、モード選択性のある分岐となる。
次に、正規化周波数のより小さい導波路の例について、
同様の計算結果を第５図、第６図に示す。
同様の計算結果を第５図、第６図に示す。
定数は 光の波長λ＝１μｍ 導波路幅深さＴ＝５μｍ クラツデイング屈折率n1＝1.5 正規化周波数Ｖ＝1.22 上下のはみ出しΔTy＝28μｍ である。第５図は分岐角２θに対する分岐損失を示すグ
ラフである。上方の実線は従来例（第10図）、破線は本
発明に於てΔTy＝０としたもの、下方の実線がΔTy＝28
μｍとしたものである。
ラフである。上方の実線は従来例（第10図）、破線は本
発明に於てΔTy＝０としたもの、下方の実線がΔTy＝28
μｍとしたものである。
前の例より、コア、クラツデイング屈折率差が少いの
で、光線が軸となす角がより小さくなる。従来例の場
合、分岐角２θが大きくなると、急速に損失が増加す
る。これは、前例よりが小さい事による。
で、光線が軸となす角がより小さくなる。従来例の場
合、分岐角２θが大きくなると、急速に損失が増加す
る。これは、前例よりが小さい事による。
本発明の場合、分岐角が10度であつても損失は2dB以下
である。
である。
第６図は本発明に於て、低屈折率部の屈折率n3のクラツ
デイング屈折率１からのずれを、n1で割つた値を示す。
（６）、（７）式などから決まるものである。
デイング屈折率１からのずれを、n1で割つた値を示す。
（６）、（７）式などから決まるものである。
本発明と従来の構造とのモード関数の変化のメカニズム
の相異をより詳しく示すために、分岐の始まりから、終
わりにかけて、電界分布（磁界分布）がどのように変化
するかをグラフにして示す。
の相異をより詳しく示すために、分岐の始まりから、終
わりにかけて、電界分布（磁界分布）がどのように変化
するかをグラフにして示す。
従来例の界分布が第11図〜第16図に与えられる。
本発明の界分布が第17図〜第22図に与えられる。
いずれの例も、定数は同じで、 分岐角 ２θ＝８゜ クラツデイング屈折率 n1＝1.5 光の波長 λ＝１μｍ 導波路幅深さ 2T＝５μｍ 正規化周波数 Ｖ＝1.81 （本発明のはみ出しΔTy＝20μｍ） である。第11図は従来例の|E（0,y,z）｜、|E（x,0,z）
｜のｚ＝０〜200μｍに於ける分布である。ｘ軸、ｙ軸
が縦軸になつている。ｘ＝０、ｙ＝０の線へ放射してい
る部分の多い事が分る。
｜のｚ＝０〜200μｍに於ける分布である。ｘ軸、ｙ軸
が縦軸になつている。ｘ＝０、ｙ＝０の線へ放射してい
る部分の多い事が分る。
第12図〜第16図は同じ従来例でのｚ＝０、50、100、15
0、200μｍに於けるxy平面での界分布を示している。ｚ
＝０で、ｘ＝０に集中していた光のエネルギーが、ｚが
大きくなるに従つて、中心から、両側へ分散してゆくの
が分る。しかし、ｚ＝200μｍに於ても、なお、ｚ軸の
延長上（ｘ＝0,y＝０）に多くの光のエネルギーが残つ
ている。これは放射損失になる。又分岐導波路に入るエ
ネルギーも小さい。
0、200μｍに於けるxy平面での界分布を示している。ｚ
＝０で、ｘ＝０に集中していた光のエネルギーが、ｚが
大きくなるに従つて、中心から、両側へ分散してゆくの
が分る。しかし、ｚ＝200μｍに於ても、なお、ｚ軸の
延長上（ｘ＝0,y＝０）に多くの光のエネルギーが残つ
ている。これは放射損失になる。又分岐導波路に入るエ
ネルギーも小さい。
第17図は本発明の界分光|E（0,y,z）｜、|E（x,0,z）｜
をｚ軸にそつて示すものである。２θ＝８゜、n1＝1.
5、λ＝１μｍ、2T＝５μｍ、Ｖ＝1.81、ΔTy＝20μｍ
である。
をｚ軸にそつて示すものである。２θ＝８゜、n1＝1.
5、λ＝１μｍ、2T＝５μｍ、Ｖ＝1.81、ΔTy＝20μｍ
である。
光のエネルギーのほとんどが分岐導波路に入つている事
が分る。ｚ軸の延長（ｘ＝0,y＝０）には殆ど光のエネ
ルギーが存在しない。つまり放射損失が少い。
が分る。ｚ軸の延長（ｘ＝0,y＝０）には殆ど光のエネ
ルギーが存在しない。つまり放射損失が少い。
第18図〜第22図は本発明に於て、ｚ＝０、50、100、15
0、200μｍのxy面に於ける界の強度を示す図である。ｚ
＝150（μｍ）で、光エネルギーは分離して、分岐導波
路に入り、ｚ＝200（μｍ）では、ｚ軸の延長上（ｘ＝
0,y＝０）には、ほとんど光が存在しない。つまり、放
射損失になるべきものがなく、効率よく分岐導波路内へ
入つてゆく。
0、200μｍのxy面に於ける界の強度を示す図である。ｚ
＝150（μｍ）で、光エネルギーは分離して、分岐導波
路に入り、ｚ＝200（μｍ）では、ｚ軸の延長上（ｘ＝
0,y＝０）には、ほとんど光が存在しない。つまり、放
射損失になるべきものがなく、効率よく分岐導波路内へ
入つてゆく。
（オ） 効果 （１） 三次元光分岐である。現実的に作りやすい構造
である。
である。
（２） コア、クラツデイングの屈折率差が僅かであり
ながら、しかも分岐損失の低い光分岐を与える事ができ
る。
ながら、しかも分岐損失の低い光分岐を与える事ができ
る。
損失が低いので、光集積回路、光デバイスなどに於て、
有力な分岐構造を提供できる。
有力な分岐構造を提供できる。
（３） 従来の分岐に比して、著しく損失が低く、しか
も分岐角を大きくしても、損失の増加が著しくない。従
つて広角の分岐を実現できる。
も分岐角を大きくしても、損失の増加が著しくない。従
つて広角の分岐を実現できる。
（４） 屈折率差が少いので、他の光学素子との整合を
とり易い。
とり易い。
（５） 本発明において、ΔTy＝０は、比較的リーキー
な構造である。ΔTyを或る程度の大きさ（（17）式）に
すれば、漏れはもつと少なくなる。この点は計算結果で
説明したが、より直観的に説明を加える。
な構造である。ΔTyを或る程度の大きさ（（17）式）に
すれば、漏れはもつと少なくなる。この点は計算結果で
説明したが、より直観的に説明を加える。
第23図は低屈折率部（斜線を付す）のyz面によつて切断
した断面図を示している。（ａ）ははみ出しがないΔTy
＝０の場合である。xy平面となす角が′である光線
は、Ｍ点でクラツデイングへ抜けてゆくとする。境界面
となす角をΦ１とする。
した断面図を示している。（ａ）ははみ出しがないΔTy
＝０の場合である。xy平面となす角が′である光線
は、Ｍ点でクラツデイングへ抜けてゆくとする。境界面
となす角をΦ１とする。
スネルの法則により n3cos′＝n1cosΦ１ （30） である。境界面にほぼ平行に入射する。
（ｂ）は本発明の構成に対応し、はみ出しがある場合で
ある（ΔTy＞０）。′の傾きをなす光線は、Ｎ点で屈
折し、Φ２の屈折角で出射したとする。境界面にほぼ直
角に入射する。スネルの法則より n3sin′＝n1sinΦ２ （31） である。
ある（ΔTy＞０）。′の傾きをなす光線は、Ｎ点で屈
折し、Φ２の屈折角で出射したとする。境界面にほぼ直
角に入射する。スネルの法則より n3sin′＝n1sinΦ２ （31） である。
Φは低屈折率部を抜けてゆく時、光線が光軸となす角で
ある。低屈折率を出る時に、いずれにしても、ｙ軸方向
により大きく屈折するが、この屈折角は（Φ−′）で
ある。
ある。低屈折率を出る時に、いずれにしても、ｙ軸方向
により大きく屈折するが、この屈折角は（Φ−′）で
ある。
′はもともと小さい角度である。（30）、（31）か
ら、常に Φ１＞Φ２ （32） である事が分る。Φ１の方が大きいので、ΔTy＝０の時
に、ｙ方向へ光波が逃げてゆく事になる。
ら、常に Φ１＞Φ２ （32） である事が分る。Φ１の方が大きいので、ΔTy＝０の時
に、ｙ方向へ光波が逃げてゆく事になる。
屈折角は本発明の場合、近似的に Φ２−′＝−γ′ （33） である。ただしγは である。第４図、第６図の縦軸にあらわれるもので極め
て小さい値である。
て小さい値である。
ところが、はみ出しΔTyがない場合の屈折角（Φ１−
′）は、近似的に となる。ΔTY≠０の場合より1/′２倍になる。
′）は、近似的に となる。ΔTY≠０の場合より1/′２倍になる。
′は極めて小さい値であるから、この逆数は１よりか
なり大きい。従つてΔTY≠０は、ΔTy＝０の場合より
も、ｙ方向の光線の逃げによる放射損失を巧みに抑制で
きる。しかも（39）式のように、これは負の値であるか
ら、Φ２は′よりも小さいのである。
なり大きい。従つてΔTY≠０は、ΔTy＝０の場合より
も、ｙ方向の光線の逃げによる放射損失を巧みに抑制で
きる。しかも（39）式のように、これは負の値であるか
ら、Φ２は′よりも小さいのである。
第１図は本発明の三次元分岐の斜視図。 第２図は本発明のＹ分岐の横断面に於ける光線の反射屈
折を示す幾何光学的説明図。 第３図は本発明に於てΔTy＞０としたＹ分岐と、本発明
に於てΔTy＝０としたＹ分岐と、従来のＹ分岐の、分岐
角２θに対する分岐損失（dB）の計算結果を示すグラ
フ。下方の実線が本発明、それより上の破線がΔTy＝０
としたもの、上方の斜線が従来例（n3がなく、コアn1に
なつている）による。n1＝1.5、λ＝１μｍ、Ｖ＝1.8
1、2T＝５μｍ、であり、これらは３者について共通で
ある。n3は２θの函数として式（６）〜（23）によつて
与えられる。第４図にも示される。本発明で、ΔTy＝20
μｍである。縦の矢印はθ＝となる点で、本発明はこ
れよりθの大きい領域に於て有効である。 第４図は本発明に於て、分岐角２θの函数として、低屈
折率部の屈折率n3を計算した結果を示すグラフ。横軸は
分岐角２θ、縦軸は、n1−n3＝Δn3をn1で割つた値を％
で示している。縦の矢印はθ＝となる点である。定数
は第３図のものと同じである。 第５図は本発明のΔTy＞０としたＹ分岐と、本発明のΔ
Ty＝０としたＹ分岐と、従来のＹ分岐の、分岐角２θに
対する分岐損失（dB）の計算結果を示すグラフ。下方の
実線が本発明、それより上の破線がΔTy＝０としたも
の、上方の斜線が従来例（n3＝n2）による。n1＝1.5、
λ＝１μｍ、Ｖ＝1.22、2T＝５μｍであり、これらの値
は３つの分岐について共通である。n3は２θの函数とし
て与えられ、第６図に表わされている。本発明に於て、
この例で、ΔTy＝28μｍである。 第６図は本発明の分岐構造に於て、分岐角２θの函数と
して、低屈折率部の屈折率n3を計算した結果を示すグラ
フ。横軸は２θ（分岐角）、縦軸はΔn3/n1である。定
数は第５図のものと同じである。 第７図はもつとも一般的な二次元光分岐の平面図（従来
例）。 第８図はcoupled−multiple−waveguide型の二次元分岐
（公知）の平面図。 第９図は本発明者が以前に発明した遷移領域に低屈折率
部を有する二次元Ｙ分岐の平面図。 第10図は三次元分岐として考えうる一般的な形状を示す
斜視図。 第11図は従来のＹ分岐（第10図に示す）に於ける遷移領
域での界分布を示すグラフ線図。２θ＝８゜、n1＝1.
5、λ＝１μｍ、2T＝５μｍ、Ｖ＝1.81である。横軸は
伝搬方向ｚを示す。上半分は|E（0,y,z）｜を示す。下
半分は|E（x,0,z）｜を示す。 第12図は第11図に界分布をグラフで表わした従来のＹ分
岐に於て、ｚ＝０でのxy平面での界の強度を二次元的に
表現したグラフ。縦横の目盛は１μｍ間隔である。高さ
が界の強度で、任意目盛である。 第13図は従来のＹ分岐でｚ＝50μｍのxy面内での界分布
を示すグラフ。 第14図は従来のＹ分岐でｚ＝100μｍのxy面内での界分
布を示すグラフ。 第15図は従来のＹ分岐に於て、ｚ＝150μｍのxy面内で
の界分布を示すグラフ。 第16図は従来のＹ分岐でｚ＝200μｍのxy平面内での界
分布を示すグラフ。 第17図は本発明のＹ分岐（第１図に示す）に於ける遷移
領域での界分布を示すグラフ線図。２θ＝８゜、n1＝1.
5、λ＝１μｍ、2T＝５μｍ、Ｖ＝1.81、ΔTy＝20μｍ
である。横軸は伝搬方向ｚを示す。遷移領域でのｚ＝０
〜200μｍの界分布である。上半分は|E（0,y,z）｜であ
る。下半分は|E（x,0,z）｜である。 第18図は本発明のＹ分岐に於て、ｚ＝０のxy面での界分
布を二次元的に示すグラフ線図である。実線は１μｍご
とにｘ、ｙ方向に引いてある。高さが界強度を表わして
いる。 第19図は本発明のＹ分岐に於て、ｚ＝50μｍのxy平面で
の界分布を二次元的に示すグラフ線図。 第20図は本発明のＹ分岐に於て、ｚ＝100μｍのxy平面
での界分布を二次元的に示すグラフ線図。 第21図は本発明のＹ分岐に於て、ｚ＝150μｍのxy平面
での界分布を二次元的に示すグラフ線図。 第22図は本発明のＹ分岐に於て、ｚ＝200μｍのxy平面
での界分布を二次元的に示すグラフ線図。 第23図はＹ分岐のyz平面での光線の経路を示す幾何光学
的説明図。（ａ）はΔTy＝０としたものである。（ｂ）
は本発明の場合を示しΔTy＞０である。 １……主導波路 2,3……分岐導波路 ４……遷移領域 ５……低屈折率部 ６……クラツデイング n1……クラツデイングの屈折率 n2……コアの屈折率 n3……低屈折率部の屈折率 ２θ……分岐導波路の開き角 2Tx……導波路の幅 2Ty……導波路の高さ ΔTy……低屈折率部の導波路の上下面からのはみ出し長
さ
折を示す幾何光学的説明図。 第３図は本発明に於てΔTy＞０としたＹ分岐と、本発明
に於てΔTy＝０としたＹ分岐と、従来のＹ分岐の、分岐
角２θに対する分岐損失（dB）の計算結果を示すグラ
フ。下方の実線が本発明、それより上の破線がΔTy＝０
としたもの、上方の斜線が従来例（n3がなく、コアn1に
なつている）による。n1＝1.5、λ＝１μｍ、Ｖ＝1.8
1、2T＝５μｍ、であり、これらは３者について共通で
ある。n3は２θの函数として式（６）〜（23）によつて
与えられる。第４図にも示される。本発明で、ΔTy＝20
μｍである。縦の矢印はθ＝となる点で、本発明はこ
れよりθの大きい領域に於て有効である。 第４図は本発明に於て、分岐角２θの函数として、低屈
折率部の屈折率n3を計算した結果を示すグラフ。横軸は
分岐角２θ、縦軸は、n1−n3＝Δn3をn1で割つた値を％
で示している。縦の矢印はθ＝となる点である。定数
は第３図のものと同じである。 第５図は本発明のΔTy＞０としたＹ分岐と、本発明のΔ
Ty＝０としたＹ分岐と、従来のＹ分岐の、分岐角２θに
対する分岐損失（dB）の計算結果を示すグラフ。下方の
実線が本発明、それより上の破線がΔTy＝０としたも
の、上方の斜線が従来例（n3＝n2）による。n1＝1.5、
λ＝１μｍ、Ｖ＝1.22、2T＝５μｍであり、これらの値
は３つの分岐について共通である。n3は２θの函数とし
て与えられ、第６図に表わされている。本発明に於て、
この例で、ΔTy＝28μｍである。 第６図は本発明の分岐構造に於て、分岐角２θの函数と
して、低屈折率部の屈折率n3を計算した結果を示すグラ
フ。横軸は２θ（分岐角）、縦軸はΔn3/n1である。定
数は第５図のものと同じである。 第７図はもつとも一般的な二次元光分岐の平面図（従来
例）。 第８図はcoupled−multiple−waveguide型の二次元分岐
（公知）の平面図。 第９図は本発明者が以前に発明した遷移領域に低屈折率
部を有する二次元Ｙ分岐の平面図。 第10図は三次元分岐として考えうる一般的な形状を示す
斜視図。 第11図は従来のＹ分岐（第10図に示す）に於ける遷移領
域での界分布を示すグラフ線図。２θ＝８゜、n1＝1.
5、λ＝１μｍ、2T＝５μｍ、Ｖ＝1.81である。横軸は
伝搬方向ｚを示す。上半分は|E（0,y,z）｜を示す。下
半分は|E（x,0,z）｜を示す。 第12図は第11図に界分布をグラフで表わした従来のＹ分
岐に於て、ｚ＝０でのxy平面での界の強度を二次元的に
表現したグラフ。縦横の目盛は１μｍ間隔である。高さ
が界の強度で、任意目盛である。 第13図は従来のＹ分岐でｚ＝50μｍのxy面内での界分布
を示すグラフ。 第14図は従来のＹ分岐でｚ＝100μｍのxy面内での界分
布を示すグラフ。 第15図は従来のＹ分岐に於て、ｚ＝150μｍのxy面内で
の界分布を示すグラフ。 第16図は従来のＹ分岐でｚ＝200μｍのxy平面内での界
分布を示すグラフ。 第17図は本発明のＹ分岐（第１図に示す）に於ける遷移
領域での界分布を示すグラフ線図。２θ＝８゜、n1＝1.
5、λ＝１μｍ、2T＝５μｍ、Ｖ＝1.81、ΔTy＝20μｍ
である。横軸は伝搬方向ｚを示す。遷移領域でのｚ＝０
〜200μｍの界分布である。上半分は|E（0,y,z）｜であ
る。下半分は|E（x,0,z）｜である。 第18図は本発明のＹ分岐に於て、ｚ＝０のxy面での界分
布を二次元的に示すグラフ線図である。実線は１μｍご
とにｘ、ｙ方向に引いてある。高さが界強度を表わして
いる。 第19図は本発明のＹ分岐に於て、ｚ＝50μｍのxy平面で
の界分布を二次元的に示すグラフ線図。 第20図は本発明のＹ分岐に於て、ｚ＝100μｍのxy平面
での界分布を二次元的に示すグラフ線図。 第21図は本発明のＹ分岐に於て、ｚ＝150μｍのxy平面
での界分布を二次元的に示すグラフ線図。 第22図は本発明のＹ分岐に於て、ｚ＝200μｍのxy平面
での界分布を二次元的に示すグラフ線図。 第23図はＹ分岐のyz平面での光線の経路を示す幾何光学
的説明図。（ａ）はΔTy＝０としたものである。（ｂ）
は本発明の場合を示しΔTy＞０である。 １……主導波路 2,3……分岐導波路 ４……遷移領域 ５……低屈折率部 ６……クラツデイング n1……クラツデイングの屈折率 n2……コアの屈折率 n3……低屈折率部の屈折率 ２θ……分岐導波路の開き角 2Tx……導波路の幅 2Ty……導波路の高さ ΔTy……低屈折率部の導波路の上下面からのはみ出し長
さ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特公 昭55−30602（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (4)
- 【請求項１】幅2Tx、高さ2Tyの断面を有し屈折率がn2で
ある主導波路１と、主導波路１の端に開き角２θをなし
てＹ型に結合される屈折率がn2であり幅2Tx、高さ2Tyの
断面を有する分岐導波路２、３と、導波路１、２、３を
囲みn2より低い屈折率n1を有するクラツデイング６と、
主導波路１と分岐導波路２、３との結合する遷移領域４
に設けられ導波路を含む面においてほぼ矩形断面PQWVを
有し、n1、n2より低い屈折率n3を持つ低屈折率部５とよ
りなり、主導波路１を伝搬する導波モードの光の素波に
対応する光線が伝搬軸とする角をとすると、n3の値が
ほぼ n2〔sin2＋cos2（θ＋）〕1/2 である事を特徴とする三次元光分岐器。 - 【請求項２】遷移領域４の低屈折率部５が主導波路１及
び分岐導波路２、３の上下面よりはみ出した部分ΔTyを
有する特許請求の範囲第（１）項記載の三次元光分岐
器。 - 【請求項３】主導波路１、分岐導波路２、３が単一モー
ド導波路である特許請求の範囲第（１）項又は第（２）
項に記載の三次元光分岐器。 - 【請求項４】低屈折率部５の上下のはみ出しΔTyが、 ΔTy＞＞Ty（vy2−uy2）−1/2 である特許請求の範囲第（２）項又は第（３）項記載の
三次元光分岐器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59177283A JPH0731285B2 (ja) | 1984-08-25 | 1984-08-25 | 三次元光分岐器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59177283A JPH0731285B2 (ja) | 1984-08-25 | 1984-08-25 | 三次元光分岐器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6155612A JPS6155612A (ja) | 1986-03-20 |
| JPH0731285B2 true JPH0731285B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=16028322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59177283A Expired - Lifetime JPH0731285B2 (ja) | 1984-08-25 | 1984-08-25 | 三次元光分岐器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0731285B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2603924B2 (ja) * | 1986-08-30 | 1997-04-23 | 富士通株式会社 | 導波路型分岐路の製造方法 |
| JPH081486B2 (ja) * | 1986-09-01 | 1996-01-10 | 富士通株式会社 | 光分岐回路 |
| JP2597358B2 (ja) * | 1986-09-20 | 1997-04-02 | 富士通株式会社 | Ｙ分岐導波路 |
| EP0297459B1 (en) * | 1987-06-30 | 1993-09-01 | TDK Corporation | Discharge load driving circuit |
| EP0651267B1 (en) * | 1993-11-01 | 1999-04-21 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical branching device |
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| KR101248131B1 (ko) | 2011-01-17 | 2013-03-28 | 부산대학교 산학협력단 | 광 트랜시버용 대구경 플랫폼 구조 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5530602A (en) * | 1978-08-23 | 1980-03-04 | Berber Viktor A | Device for introducing material into grain size analyzer for grains contained in liquid |
-
1984
- 1984-08-25 JP JP59177283A patent/JPH0731285B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6155612A (ja) | 1986-03-20 |
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