JPH0731218B2 - Resistance measuring device - Google Patents
Resistance measuring deviceInfo
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- JPH0731218B2 JPH0731218B2 JP58006971A JP697183A JPH0731218B2 JP H0731218 B2 JPH0731218 B2 JP H0731218B2 JP 58006971 A JP58006971 A JP 58006971A JP 697183 A JP697183 A JP 697183A JP H0731218 B2 JPH0731218 B2 JP H0731218B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、二重積分回路を用いた抵抗測定装置に関し、
特に回路が集積化可能で、高精度な抵抗測定装置に関す
る。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a resistance measuring device using a double integrating circuit,
In particular, the present invention relates to a highly accurate resistance measuring device in which circuits can be integrated.
従来の抵抗測定装置は、特開昭54−137378号公報、特開
昭57−16367号公報に記載されているように、二重積分
を用いて抵抗を測定している。Conventional resistance measuring devices measure resistance using double integration, as described in JP-A-54-137378 and JP-A-57-16367.
特開昭54−137378号公報には、定電流源(E、Rc)を被
測定抵抗RXに直列に接続し、RXの両端の電圧VXを測
定し、測定値を得る装置が開示されている。Japanese Unexamined Patent Publication No. 54-137378 discloses a device in which a constant current source (E, Rc) is connected in series to a resistance RX to be measured and the voltage VX across RX is measured to obtain a measured value. .
また、特開昭57−16367号公報には、基準抵抗2と未知
抵抗4とをスイッチ12により切替えて二重積分する装置
が開示されている。Further, Japanese Patent Laid-Open No. 16367/1982 discloses a device for performing double integration by switching the reference resistor 2 and the unknown resistor 4 with a switch 12.
しかし、特開昭54−137378号公報に示す従来技術では、
次のような課題があった。However, in the conventional technique disclosed in JP-A-54-137378,
There were the following issues.
(1)温度特性が優れ、精度が高い定電流源を集積回路
内部で作り込むことは難しいため、外付けになってしま
い、コストが高くなる。(1) Since it is difficult to build a constant current source having excellent temperature characteristics and high accuracy inside the integrated circuit, the constant current source is externally attached and the cost increases.
(2)抵抗レンジ切換について考慮していない。(2) The resistance range switching is not considered.
(3)従って、低抵抗測定レンジの場合、被測定抵抗に
大電流を流さなければならず、ドライブ能力の大きな低
電流源を必要とし、また、インピーダンスによる電流源
の精度を要求され、コストが高くなる。(3) Therefore, in the case of the low resistance measurement range, a large current must be passed through the resistance to be measured, a low current source with a large drive capacity is required, and the accuracy of the current source due to impedance is required, resulting in cost reduction. Get higher
また、特開昭57−16367号公報に示す従来技術では、 (4)抵抗レンジ切換について考慮していない。従っ
て、低抵抗〜高抵抗の広いレンジにわたって、抵抗を測
定することはできない。Further, in the conventional technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-16367, (4) resistance range switching is not considered. Therefore, resistance cannot be measured over a wide range from low resistance to high resistance.
本発明は、上記課題に鑑み、低抵抗〜高抵抗の広いレン
ジにわたって、抵抗を高精度に測定でき、電源に過負荷
をかけず集積可能な抵抗測定装置を提供することを目的
とする。The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a resistance measuring device capable of measuring resistance over a wide range from low resistance to high resistance with high accuracy and integrating without overloading a power supply.
本発明の抵抗測定装置は、 基準抵抗と第1のレンジスイッチとを直列に接続した抵
抗回路を、並列に接続してなる基準抵抗群と、 該基準抵抗群と被測定抵抗とを、基準電源とグランドと
の間に直列に接続してなり、前記第1のレンジスイッチ
のオンオフにより前記被測定抵抗の測定レンジに対応す
る基準抵抗群の1つが選択される測定回路と、 前記被測定抵抗の両端電圧を正積分し、前記基準抵抗の
両端電圧を逆積分する二重積分回路と、 を有する抵抗測定装置であって、 前記基準抵抗の前記第1のレンジスイッチ側端子にそれ
ぞれ接続され、前記第1のレンジスイッチとともにオン
オフする第2のレンジスイッチと、 前記被測定抵抗と前記二重積分回路との間に接続され、
正積分するときオン、逆積分するときオフする第1のス
イッチと、 前記第2のレンジスイッチと前記二重積分回路との間に
接続され、逆積分するときオンし、正積分するときオフ
する第2のスイッチと、 前記第1のスイッチと前記二重積分回路との間に接続さ
れた第1のボルテージフォロワと、 前記第2のスイッチと前記二重積分回路との間に接続さ
れた第2のボルテージフォロワと、 を備えたことを特徴とする。The resistance measuring device of the present invention includes a reference resistance group in which a resistance circuit in which a reference resistance and a first range switch are connected in series are connected in parallel, and the reference resistance group and the resistance to be measured are connected to a reference power source. Of a reference resistance group corresponding to the measurement range of the resistance to be measured by turning on / off the first range switch; A resistance measuring device comprising: a double integrating circuit that positively integrates both-end voltage and inversely integrates both-end voltage of the reference resistor, and is connected to the first range switch-side terminal of the reference resistor, respectively. A second range switch that is turned on and off together with the first range switch, and is connected between the measured resistance and the double integration circuit,
A first switch that is turned on when performing positive integration and turned off when performing reverse integration, and is connected between the second range switch and the double integration circuit, is turned on when performing reverse integration, and is turned off when performing positive integration. A second switch; a first voltage follower connected between the first switch and the double integrating circuit; and a first voltage follower connected between the second switch and the double integrating circuit. It is characterized by having a voltage follower of 2.
第1図、第2図に、パルス幅変調型A/D変換回路(PWM変
換回路)を示し、本発明の作用を説明する。1 and 2 show a pulse width modulation type A / D conversion circuit (PWM conversion circuit), and the operation of the present invention will be described.
第1図において、PWM変換回路は、電圧に比例したパル
ス幅Tを作成し、Tの間のクロック数を測定し、A/D変
換を行う。パルス幅Tは、 T=K*VIN/EC ……(1) で表わされる。ここで、Kは積分用抵抗R1、R2で決まる
定数、VINはPWM変換回路への入力電圧、ECはPWM変換
回路への基準電圧である。In FIG. 1, the PWM conversion circuit creates a pulse width T proportional to the voltage, measures the number of clocks between T, and performs A / D conversion. The pulse width T is expressed by T = K * VIN / EC (1). Here, K is a constant determined by the integrating resistors R1 and R2, VIN is an input voltage to the PWM conversion circuit, and EC is a reference voltage to the PWM conversion circuit.
第2図について説明する。FIG. 2 will be described.
Rinは、被測定抵抗であり、RON、RONは、スイッチ2
5、24のON時電流制限用抵抗であり、Rref1、Rref2は、
基準抵抗である。Rin is the resistance to be measured, and RON and RON are switches 2
5 and 24 are ON current limiting resistors, and Rref1 and Rref2 are
It is a reference resistance.
スイッチ25とRref1とを直列に接続し、スイッチ24とRre
f2とを直列に接続し、Rref1とスイッチ23、Rref2とスイ
ッチ22を接続し、レンジ切換スイッチ群を構成する。Connect switch 25 and Rref1 in series to connect switch 24 and Rre
f2 is connected in series, Rref1 and switch 23 are connected, and Rref2 and switch 22 are connected to form a range changeover switch group.
符号19、20、21、14、24、25、22、23、5、6はスイッ
チである。Reference numerals 19, 20, 21, 14, 24, 25, 22, 23, 5 and 6 are switches.
符号7、12、15、16、17、18は、オペアンプであり、オ
ペアンプ15〜17は、インピーダンス変換用ボルテージフ
ォロワとして、オペアンプ12、18は、外付け抵抗により
反転増幅回路として、オペアンプ7は、積分用回路とし
て用いている。符号8はコンパレータ、符号10はカウン
タ、符号9は表示回路である。Reference numerals 7, 12, 15, 16, 17, and 18 are operational amplifiers. The operational amplifiers 15 to 17 are voltage followers for impedance conversion, the operational amplifiers 12 and 18 are inverting amplifier circuits by external resistors, and the operational amplifier 7 is It is used as an integrating circuit. Reference numeral 8 is a comparator, reference numeral 10 is a counter, and reference numeral 9 is a display circuit.
被測定抵抗Rinと、スイッチ25または24と、電流制限用
抵抗RON、RONと、基準抵抗Rref1またはRref2とを基準
電圧Vref−GND間に直列に接続する。被測定抵抗Rinの抵
抗の大きさによって、被測定抵抗Rinに直列に接続され
る基準抵抗Rref1,2をスイッチ25、24により切り換え
る。The measured resistance Rin, the switch 25 or 24, the current limiting resistances RON and RON, and the reference resistance Rref1 or Rref2 are connected in series between the reference voltage Vref and GND. The reference resistors Rref1, 2 connected in series with the measured resistance Rin are switched by the switches 25, 24 according to the resistance of the measured resistance Rin.
被測定抵抗Rinの基準電圧Vref側端子は、スイッチ19を
介し、ボルテージフォロワ17に、電圧V1として入力され
る。電圧V1は、積分用抵抗R1を介して積分用オペアンプ
7に入力される。The reference voltage Vref side terminal of the measured resistance Rin is input to the voltage follower 17 as the voltage V1 via the switch 19. The voltage V1 is input to the integrating operational amplifier 7 via the integrating resistor R1.
スイッチ20がOFF、スイッチ25または24および19がONの
とき、GNDに対する電位V1は、V1=Vrefで表わされる。When the switch 20 is OFF and the switches 25 or 24 and 19 are ON, the potential V1 with respect to GND is represented by V1 = Vref.
被測定抵抗Rinの他端は、スイッチ21を介し、ボルテー
ジフォロワ16に電圧V2として入力される。電圧V2は、反
転増幅回路用オペアンプ18、積分用抵抗R1′を介して積
分用オペアンプ7に入力される。The other end of the measured resistance Rin is input to the voltage follower 16 as the voltage V2 via the switch 21. The voltage V2 is input to the integrating operational amplifier 7 via the inverting amplifier operational amplifier 18 and the integrating resistor R1 ′.
スイッチ14がOFF、スイッチ21がON、スイッチ25または2
4がONのとき、GNDに対する電位V2は、 V2=Vref*(RON+Rref)/(Rin+RON+Rref) ……
(2) と表わされる。Switch 14 OFF, Switch 21 ON, Switch 25 or 2
When 4 is ON, the potential V2 with respect to GND is V2 = Vref * (RON + Rref) / (Rin + RON + Rref) ....
It is expressed as (2).
R1=R1′、R0=R0′とすると、PWM変換回路の入力電圧
VINは、 VIN=V1−V2=Vref*Rin/(Rin+RON+Rref) ……
(3) と表せ、被測定抵抗Rinの両端電圧に等しくなる。When R1 = R1 'and R0 = R0', the input voltage VIN of the PWM conversion circuit is VIN = V1-V2 = Vref * Rin / (Rin + RON + Rref) ....
It can be expressed as (3) and becomes equal to the voltage across the measured resistance Rin.
基準抵抗Rref1の一端は、GND端子に接続され、他端は、
制限抵抗RONに接続されるとともに、スイッチ23を介し
てボルテージフォロワ15に電圧V3として入力される。One end of the reference resistor Rref1 is connected to the GND terminal and the other end is
The voltage V3 is input to the voltage follower 15 via the switch 23 while being connected to the limiting resistor RON.
レンジを切り換えたとき、もう一つの基準抵抗Rref2
は、基準抵抗Rref1と同様、一端がGND端子に接続され、
他端が制限抵抗RONに接続されるとともにスイッチ22を
介してボルテージフォロワ15に電圧V3として入力され
る。When switching the range, another reference resistor Rref2
Is connected to the GND terminal at one end like the reference resistor Rref1,
The other end is connected to the limiting resistor RON and is also input as a voltage V3 to the voltage follower 15 via the switch 22.
電圧V3は、スイッチ5、積分用抵抗R2を介して積分用オ
ペアンプ7に入力されるとともに、反復増幅回路用オペ
アンプ12、スイッチ6、積分用抵抗R2を介して積分用オ
ペアンプ7に入力される。The voltage V3 is input to the integrating operational amplifier 7 via the switch 5 and the integrating resistor R2, and is also input to the integrating operational amplifier 7 via the iterative amplifier circuit operational amplifier 12, the switch 6, and the integrating resistor R2.
PWM変換回路の基準電圧ECは、 EC=Vref*Rref/(Rin+RON+Rref) ……(4) で表せ、基準抵抗Rrefの両端電圧に等しくなる。The reference voltage E C of the PWM conversion circuit can be expressed as E C = Vref * Rref / (Rin + RON + Rref) (4) and is equal to the voltage across the reference resistor Rref.
本発明の実施例では、ECがVrefの1/3となるように、被
測定抵抗の抵抗レンジに応じて基準抵抗Rrefを切り換え
ている。In the embodiment of the present invention, the reference resistance Rref is switched according to the resistance range of the resistance to be measured so that EC becomes 1/3 of Vref.
(1)式、(3)式、(4)式より、 T=K*VIN/EC=K*Rin/Rref ……(5) となる。From equations (1), (3) and (4), T = K * VIN / EC = K * Rin / Rref (5)
従って、レンジを切り換えても、レンジ切換スイッチの
ON抵抗、電流制限抵抗の値に依存しない。Therefore, even if the range is changed, the range selector switch
It does not depend on the ON resistance and current limiting resistance.
オペアンプのオフセット電圧は、オートゼロ回路を利用
してスイッチ19、20、スイッチ21、14の開閉によりキャ
ンセルできる。The offset voltage of the operational amplifier can be canceled by opening / closing the switches 19, 20 and the switches 21, 14 using an auto-zero circuit.
PWMを利用した実施例の利点は、基準電圧Vrefの温度ド
リフト、Vrefの電圧値に影響されないことである。ま
た、Vrefは、正負どちらでもよく、オペアンプのダイナ
ミックレンジを越えない範囲においては、任意の値をと
ることができる。内部アナログスイッチのON抵抗、温度
ドリフト、静電対策用抵抗の影響がない、レンジ切換の
集積回路化がスイッチ19、20、21、14により可能になっ
た。The advantage of the embodiment using PWM is that it is not affected by the temperature drift of the reference voltage Vref and the voltage value of Vref. Further, Vref may be either positive or negative, and can take any value as long as it does not exceed the dynamic range of the operational amplifier. The switches 19, 20, 21, and 14 enable integrated circuits for range switching that are not affected by the ON resistance of internal analog switches, temperature drift, or resistance to static electricity.
さらに、制限抵抗RONの値も任意であるが、Rref、Rin
が小さい低抵抗のレンジでは、VrefからGNDへ流れる電
流を制限している。Furthermore, the value of the limiting resistance RON is also arbitrary, but Rref, Rin
In the low resistance range where is small, the current flowing from Vref to GND is limited.
本発明の二重積分型A/D変換回路を用いた抵抗測定装置
を第3図に示す。FIG. 3 shows a resistance measuring device using the double integration type A / D conversion circuit of the present invention.
従来の二重積分型A/D変換回路を用いた抵抗測定装置の
ように、ある一定時間Trefの間、被測定抵抗の両端電圧
VINが正積分され、次に基準抵抗の両端電圧ECの逆極
性電圧−ECが積分される。(ECが逆積分される)。逆
積分時間Tのクロック数をカウントすることによりA/D
変換できる。Like the conventional resistance measuring device using the double integration type A / D conversion circuit, the voltage VIN across the measured resistance is positively integrated for a certain period of time Tref, and then the inverse voltage EC across the reference resistance is reversed. The polarity voltage -EC is integrated. (EC is inversely integrated). By counting the number of clocks of the inverse integration time T, A / D
Can be converted.
式は、T=VIN/EC*Tref で表される。The equation is expressed by T = VIN / EC * Tref.
オートゼロ用アナログスイッチ32、34がONすることによ
って、各オペアンプのオフセット電圧は、キャンセルさ
れる。By turning on the auto-zero analog switches 32 and 34, the offset voltage of each operational amplifier is canceled.
被測定抵抗Rinの両端電圧Vinは、作用の項で説明したよ
うに積分用オペアンプ48に入力され、第1積分期間(正
積分期間)に VIN=Vref*Rin/(Rin+RON+Rref) として積分される。The voltage Vin across the resistance Rin to be measured is input to the integrating operational amplifier 48 as described in the section of action, and integrated as VIN = Vref * Rin / (Rin + RON + Rref) during the first integration period (positive integration period).
基準抵抗Rrefの両端電圧ECは、スイッチ37または38、
スイッチ39、ボルテージフォロワ45、反転増幅回路用オ
ペアンプ46、積分抵抗R1′を介して積分用オペアンプ48
に入力され、第2積分期間(逆積分期間)に −EC=−Vref*Rref/(Rin+RON+Rref) として逆電圧が積分される。The voltage EC across the reference resistor Rref is the switch 37 or 38,
A switch 39, a voltage follower 45, an operational amplifier 46 for an inverting amplifier circuit, and an operational amplifier 48 for integration through an integrating resistor R1 '.
And the reverse voltage is integrated as -EC = -Vref * Rref / (Rin + RON + Rref) during the second integration period (inverse integration period).
従って、T=Rin/Rref*Trefとなり、基準抵抗Rref、基
準時間Trefが既知のため、被測定抵抗Rinが逆積分時間
Tの関数として測定できる。Therefore, T = Rin / Rref * Tref, and since the reference resistance Rref and the reference time Tref are known, the measured resistance Rin can be measured as a function of the inverse integration time T.
ここで、正積分のときスイッチ31,33がON、スイッチ39
がOFFし、逆積分のときスイッチ39がON、スイッチ31,33
がOFFすることにより、正積分のとき被測定抵抗Rinの両
端電圧が、逆積分のとき基準抵抗の両端逆極性電圧が二
重積分回路に入力する。また、ボルテージフォロワ44,4
5は、入力インピーダンスンが高く、出力インピーダン
スが低いものであり、入力電圧値を二重積分回路に出力
伝達するものである。従って、正積分時にONするスイッ
チ31、33には電流がほとんど流れず、電流は無視できる
程度であり、被測定抵抗の両端電圧そのものが二重積分
回路に入力できる。また、逆積分時にONするスイッチ3
9、スイッチ37または38にも、電流がほとんど流れず、
電流は無視できる程度であり、基準抵抗の両端電圧その
ものが二重積分回路に入力できる。Here, when the positive integration is performed, the switches 31 and 33 are turned on, and the switch 39
Is OFF, switch 39 is ON at the time of inverse integration, switches 31, 33
Is turned off, the voltage across the resistor Rin to be measured is input to the double integrator circuit during the positive integration, and the reverse polarity voltage across the reference resistor is input during the reverse integration. Also, voltage followers 44,4
5 has a high input impedance and a low output impedance, and outputs the input voltage value to the double integrator circuit. Therefore, almost no current flows through the switches 31 and 33 that are turned on during the positive integration, the current is negligible, and the voltage itself across the resistance to be measured can be input to the double integration circuit. Also, switch 3 that turns on during reverse integration
9, almost no current flows to switch 37 or 38,
The current is negligible and the voltage across the reference resistor itself can be input to the double integrator circuit.
そのため、基準抵抗Rref1−レンジ切換スイッチ35−電
流制限抵抗RON−被測定抵抗Rinを基準電源とGND間の直
列に接続した回路に電流が流れることによるレンジ切換
スイッチ35と電流制限抵抗RONの電圧降下は、ボルテー
ジフォロワ44,45とスイッチ31,33,39により、二重積分
回路に出力されることがない。Therefore, the voltage drop between the range changeover switch 35 and the current limiting resistor RON due to the current flowing through the circuit in which the reference resistor Rref1-range change switch 35-current limiting resistor RON-measured resistor Rin is connected in series between the reference power source and GND Is not output to the double integrator circuit by the voltage followers 44, 45 and the switches 31, 33, 39.
本発明の抵抗測定装置は、 基準抵抗と第1のレンジスイッチとを直列に接続した抵
抗回路を、列に接続してなる基準抵抗群と、 該基準抵抗群と被測定抵抗とを、基準電源とグランドと
の間に直列に接続してなり、前記第1のレンジスイッチ
のオンオフにより前記被測定抵抗の測定レンジに対応す
る基準抵抗群の1つが選択される測定回路と、 を有する抵抗測定装置であって、 前記基準抵抗の前記第1のレンジスイッチ側端子にそれ
ぞれ接続され、前記第1のレンジスイッチとともにオン
オフする第2のレンジスイッチと、 前記被測定抵抗と前記二重積分回路との間に接続され、
正積分するときオン、逆積分するときオフする第1のス
イッチと、 前記第2のレンジスイッチと前記二重積分回路との間に
接続され、逆積分するときオンし、正積分するときオン
する第2のスイッチと、 前記第1のスイッチと前記二重積分回路との間に接続さ
れた第1のボルテージフォロワと、 前記第2のスイッチと前記二重積分回路との間に接続さ
れた第2のボルテージフォロワと、 を備えたため、 抵抗回路のレンジ切換スイッチのオン抵抗の影響を受け
ることなく、被測定抵抗と基準抵抗の両端電圧のみを測
定することができるため、高抵抗〜低抵抗まで広い範囲
にわたって抵抗を高精度に測定できるという効果を奏す
る。The resistance measuring device of the present invention includes a reference resistance group formed by connecting in series a resistance circuit in which a reference resistance and a first range switch are connected in series, a reference resistance group and a resistance to be measured, and a reference power source. And a ground connected in series, and a measurement circuit in which one of the reference resistance groups corresponding to the measurement range of the resistance to be measured is selected by turning on and off the first range switch. Between the second range switch connected to the first range switch side terminal of the reference resistor and turned on and off together with the first range switch, and between the measured resistance and the double integration circuit. Connected to the
It is connected between a first switch that is turned on when performing positive integration and turned off when performing reverse integration, and is connected between the second range switch and the double integration circuit, turned on when performing reverse integration, and turned on when performing positive integration. A second switch; a first voltage follower connected between the first switch and the double integration circuit; and a first voltage follower connected between the second switch and the double integration circuit. Since the voltage follower of 2 is provided, it is possible to measure only the voltage across the resistance to be measured and the reference resistance without being affected by the on resistance of the range switch of the resistance circuit. This has an effect that the resistance can be measured with high accuracy over a wide range.
第1図は、本発明のPWM変換型抵抗測定装置のブロック
図。 第2図は、本発明のPWM変換型抵抗測定装置の回路図。 第3図は、本発明の二重積分抵抗測定装置の回路図。 15、16、17、44、45……ボルテージフォロワ 46……反転増幅用オペアンプ 7、48……積分用オペアンプ 8、50……コンパレータ 10、51……カウンタ 9、52……表示回路 Rin……被測定抵抗 RON……電流制限抵抗 Rref1,2……基準抵抗 R1……積分用抵抗 C1……積分用コンデンサ R0……反転増幅用抵抗 31、32、33、34、35、36、37、38、39……スイッチFIG. 1 is a block diagram of a PWM conversion type resistance measuring device of the present invention. FIG. 2 is a circuit diagram of the PWM conversion type resistance measuring device of the present invention. FIG. 3 is a circuit diagram of the double integral resistance measuring device of the present invention. 15,16,17,44,45 …… Voltage follower 46 …… Inverting amplification operational amplifier 7,48 …… Integration operational amplifier 8,50 …… Comparator 10,51 …… Counter 9,52 …… Display circuit Rin …… Measured resistance RON …… Current limiting resistance Rref1,2 …… Reference resistance R1 …… Integration resistance C1 …… Integration capacitor R0 …… Inverting amplification resistance 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38 , 39 …… switch
Claims (1)
に接続した抵抗回路を、並列に接続してなる基準抵抗群
と、 該基準抵抗群と被測定抵抗とを、基準電源とグランドと
の間に直列に接続してなり、前記第1のレンジスイッチ
のオンオフにより前記被測定抵抗の測定レンジに対応す
る基準抵抗群の1つが選択される測定回路と、 前記被測定抵抗の両端電圧を正積分し、前記基準抵抗の
両端電圧を逆積分する二重積分回路と、 を有する抵抗測定装置であって、 前記基準抵抗の前記第1のレンジスイッチ側端子にそれ
ぞれ接続され、前記第1のレンジスイッチとともにオン
オフする第2のレンジスイッチと、 前記被測定抵抗と前記二重積分回路との間に接続され、
正積分するときオン、逆積分するときオフする第1のス
イッチと、 前記第2のレンジスイッチと前記二重積分回路との間に
接続され、逆積分するときオンし、正積分するときオン
する第2のスイッチと、 前記第1のスイッチと前記二重積分回路との間に接続さ
れた第1のボルテージフォロワと、 前記第2のスイッチと前記二重積分回路との間に接続さ
れた第2のボルテージフォロワと、 を備えたことを特徴とする抵抗測定装置。1. A reference resistance group in which a resistance circuit in which a reference resistance and a first range switch are connected in series are connected in parallel, the reference resistance group and a resistance to be measured, a reference power source and a ground. A measurement circuit which is connected in series between, and which selects one of the reference resistance groups corresponding to the measurement range of the resistance to be measured by turning the first range switch on and off, and a voltage across the resistance to be measured. A double integrator circuit that positively integrates and inversely integrates the voltage across the reference resistor, wherein the resistance measuring device is connected to the first range switch side terminal of the reference resistor, respectively. A second range switch that turns on and off together with a range switch, and is connected between the measured resistance and the double integration circuit,
It is connected between a first switch that is turned on when performing positive integration and turned off when performing reverse integration, and is connected between the second range switch and the double integration circuit, turned on when performing reverse integration, and turned on when performing positive integration. A second switch; a first voltage follower connected between the first switch and the double integration circuit; and a first voltage follower connected between the second switch and the double integration circuit. 2. A resistance measuring device comprising: a voltage follower of 2.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58006971A JPH0731218B2 (en) | 1983-01-19 | 1983-01-19 | Resistance measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58006971A JPH0731218B2 (en) | 1983-01-19 | 1983-01-19 | Resistance measuring device |
Related Child Applications (1)
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JP15888294A Division JP2629603B2 (en) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | Resistance measuring device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPS59132371A JPS59132371A (en) | 1984-07-30 |
JPH0731218B2 true JPH0731218B2 (en) | 1995-04-10 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58006971A Expired - Lifetime JPH0731218B2 (en) | 1983-01-19 | 1983-01-19 | Resistance measuring device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0731218B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61193078A (en) * | 1985-02-21 | 1986-08-27 | Niigata Eng Co Ltd | Measuring instrument for pressure or the like |
JP6553164B2 (en) * | 2017-12-26 | 2019-07-31 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | Analog-to-digital converter and electronic device |
JP7094804B2 (en) * | 2018-07-03 | 2022-07-04 | 東京エレクトロン株式会社 | Board processing equipment and board processing method |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPS54137378A (en) * | 1978-04-17 | 1979-10-25 | Sharp Corp | Resistance meter |
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-
1983
- 1983-01-19 JP JP58006971A patent/JPH0731218B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59132371A (en) | 1984-07-30 |
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