JPH07301596A - Suction cell, flux densitometer and moisture densitometer - Google Patents

Suction cell, flux densitometer and moisture densitometer

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JPH07301596A
JPH07301596A JP11606494A JP11606494A JPH07301596A JP H07301596 A JPH07301596 A JP H07301596A JP 11606494 A JP11606494 A JP 11606494A JP 11606494 A JP11606494 A JP 11606494A JP H07301596 A JPH07301596 A JP H07301596A
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JP
Japan
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liquid
sample liquid
sample
cylinder
flux
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Application number
JP11606494A
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Japanese (ja)
Inventor
Manabu Harada
学 原田
Shugo Watanabe
修五 渡辺
Etsuro Akimoto
悦郎 秋本
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MARCOM KK
Malcom Co Ltd
Original Assignee
MARCOM KK
Malcom Co Ltd
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Publication date
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  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To perform the sampling, inner cleaning and cleaning with a liquid to be used operations quickly and easily by providing a sample liquid sampling means. CONSTITUTION:A sample suction mechanism 10 comprises a cylinder 11, and a piston 12 being moved up and down through a shaft 13. The nozzle part 20, screwed through an O-ring to the lower end of the cylinder 11, is coupled liquid-tightly with the mechanism 20. A sample liquid sucked by the mechanism 10 through a sample port 21 ascends in a liquid flow furnace 22 and introduced into the cylinder 11. In this regard, ultraviolet rays, visible rays, etc., enter through a disc-like photometric window 31 the sample liquid contained in a columnar liquid containing section 23 formed in the way of a channel 22 and the light transmitted through the sample liquid is received by a detector through a disc-like photometric window 32. In other words, the sample liquid can be contained easily in the channel 22 including the containing part 23, and the cylinder 11. Furthermore, the channel 22 and the cylinder 1 can be cleaned with pure water and also cleaned with the sample liquid by simply reciprocating, the piston 12 and sucking/discharging the pure cleaning wafer and the sample liquid one to several times.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、試料液の採取、内部の
洗浄および共洗い等の操作が簡単で、試料液の採取後直
ちに、吸光度データや赤外線吸収データの測定を行うこ
とができる吸収セル、並びに、このような吸収セルを備
えた洗浄液のフラックス濃度計および水分濃度計に関す
る。ここで、洗浄液とは、はんだ付け等の作業の際にお
いて接合すべき部品に塗布されたフラックスおよびその
残渣固形分を洗浄除去するための洗浄液をいうものとす
る。
INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is capable of performing operations such as sampling of a sample solution, washing of the inside and co-washing, and measurement of absorbance data and infrared absorption data immediately after sampling the sample solution. The present invention relates to a cell, and a flux densitometer and a water densitometer of a cleaning liquid provided with such an absorption cell. Here, the cleaning liquid refers to a cleaning liquid for cleaning and removing the flux applied to the parts to be joined and the residual solid content thereof during the work such as soldering.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えばプリント回路基板を製造する際の
はんだ付け工程において、酸化物の生成を防止する等の
理由から、接合すべき部品にフラックスを塗布すること
が行われている。そして、はんだ付け作業終了後におい
ては、このフラックスおよびその残渣固形分(以下、単
に「フラックス」という)を洗浄除去することが必要と
なる。
2. Description of the Related Art In a soldering process for manufacturing a printed circuit board, for example, flux is applied to parts to be joined for the purpose of preventing the formation of oxides. Then, after the soldering work is completed, it is necessary to wash and remove this flux and its residual solid content (hereinafter, simply referred to as “flux”).

【0003】フラックスを洗浄除去するための洗浄液と
しては、従来、フロンやトリハロメタン等が用いられて
きたが、これらによる環境への影響を考慮して、最近で
は、フロン等に代わる洗浄液(以下「フロン代替洗浄
液」という)が使用され始めている。ここに、基板の洗
浄用に採用されているフロン代替洗浄液としては、炭化
水素系溶剤(例えば「ソルファイン」)、準水系溶剤
(例えば「クリンスル」、「パインアルファ」)、アル
コール系溶剤(例えばメタノール、エタノール、イソプ
ロピルアルコール)、代替フロン溶剤(例えば「HCF
C225」)、テルペン系溶剤(例えば「EC7」)、
シリコン系溶剤(例えば「テクノケアー」)などの溶剤
系洗浄液;アルカリ鹸化型水系洗浄液(例えば「アクア
クリーナー」、「ソルトール」)、純水などの水系洗浄
液が知られている。
Conventionally, CFCs and trihalomethanes have been used as cleaning liquids for cleaning and removing the flux, but recently, in consideration of their environmental impact, cleaning liquids that replace CFCs (hereinafter referred to as "CFCs"). “Alternative cleaning solution”) is beginning to be used. Here, as the CFC substitute cleaning liquid used for cleaning the substrate, a hydrocarbon solvent (for example, "Solfine"), a semi-aqueous solvent (for example, "Cleansul", "pine alpha"), an alcohol solvent (for example, Methanol, ethanol, isopropyl alcohol), CFC alternatives (eg "HCF"
C225 "), a terpene solvent (for example," EC7 "),
Solvent-based cleaning liquids such as silicone-based solvents (for example, "Techno Care"); alkaline saponification type water-based cleaning liquids (for example, "Aqua cleaner" and "Sortol"), and water-based cleaning liquids such as pure water are known.

【0004】しかして、プリント回路基板などの洗浄液
は、通常、繰り返して洗浄処理に供されるため、洗浄液
中におけるフラックスの濃度は、洗浄処理を重ねるに従
って増加することになる。そして、フラックス濃度が一
定以上となると、洗浄液の洗浄能力が低下するばかりで
なく、プリント基板の再汚染という問題を生じさせる。
従って、フロン代替洗浄液においては、初期の洗浄能力
が維持されるよう、フラックス濃度を常時監視し、当該
濃度が一定以上の値になったときには、直ちに洗浄液を
新規なものに交換する必要がある。ここで、フラックス
濃度の測定は、通常、吸光光度法を利用する機器分析に
よって行われれる。
However, since the cleaning liquid for the printed circuit board or the like is usually repeatedly subjected to the cleaning treatment, the concentration of the flux in the cleaning liquid increases as the cleaning treatment is repeated. When the flux concentration exceeds a certain level, not only the cleaning ability of the cleaning liquid is lowered, but also the problem of recontamination of the printed circuit board is caused.
Therefore, in the CFC substitute cleaning liquid, it is necessary to constantly monitor the flux concentration so as to maintain the initial cleaning ability, and to replace the cleaning liquid with a new one immediately when the concentration reaches a certain value or more. Here, the measurement of the flux concentration is usually performed by instrumental analysis using the absorptiometry.

【0005】一方、上記のフロン代替洗浄液のうち溶剤
系の洗浄液は引火性を有するものである。そこで、当該
洗浄液中に水分を一定の割合で含有させることにより、
当該洗浄液の引火性を抑制することが行われている。然
るに、フラックスの洗浄除去処理は、通常60℃程度の
加温下で実施されることから、洗浄処理時における水分
の蒸発によって水分濃度が低下し、水分濃度が一定未満
となると引火の危険性が生じることになる。従って、溶
剤系のフロン代替洗浄液においては、当該洗浄液中の水
分濃度を常時監視し、当該濃度が一定未満となったとき
には、直ちに水分を補給する必要がある。ここで、水分
濃度の測定は、通常、赤外吸収法を利用する機器分析に
よって行われれる。
On the other hand, of the above CFC substitute cleaning liquids, the solvent-based cleaning liquid is flammable. Therefore, by containing a certain proportion of water in the cleaning liquid,
The flammability of the cleaning liquid is suppressed. However, since the flux cleaning / removal treatment is usually carried out under heating at about 60 ° C., the moisture concentration decreases due to the evaporation of moisture during the cleaning treatment, and if the moisture concentration falls below a certain level, there is a risk of ignition. Will occur. Therefore, in the solvent-based CFC alternative cleaning liquid, it is necessary to constantly monitor the water concentration in the cleaning liquid and immediately replenish the water when the water concentration becomes less than a certain level. Here, the measurement of the water concentration is usually performed by instrumental analysis using the infrared absorption method.

【0006】図4は、吸光光度法による吸光度測定に用
いられる機器(吸光光度計)の基本構成を示す説明図で
あり、同図において、1は光源、2は光学フィルター、
3は試料室、4は検出器、5は演算表示手段である。こ
こで、試料室3は、測定されるべき試料液を収容する吸
収セル6と、この吸収セル6を保持するセルホルダー
(図示省略)とにより構成されている。吸収セルとして
は、溶融石英やガラス等の材質で、有底角型や有底円筒
型の形状のものが知られている。
FIG. 4 is an explanatory view showing the basic structure of an instrument (absorptiometer) used for absorbance measurement by the absorptiometry method. In FIG. 4, 1 is a light source, 2 is an optical filter,
3 is a sample chamber, 4 is a detector, and 5 is a calculation display means. Here, the sample chamber 3 is composed of an absorption cell 6 that stores a sample liquid to be measured, and a cell holder (not shown) that holds the absorption cell 6. As the absorption cell, a material such as fused quartz or glass having a rectangular shape with a bottom or a cylindrical shape with a bottom is known.

【0007】このような吸収セルを備えた吸光光度計に
よって吸光度を測定する場合には、 セルホルダーか
ら吸収セルを取り出し、 スポイト等のサンプリング
手段によって採取した試料液を吸収セル内に注入し、
当該吸収セルをセルホルダーに戻して測定を開始す
る。そして、測定終了後においては、 セルホルダー
から吸収セルを再度取り出して吸収セル内の試料液を排
出した後、 純水等により吸収セル内の洗浄を行う。
なお、正確な測定を行うためには、吸収セル内に試料液
を入れる前に、当該試料液によって1回〜複数回共洗い
をすることも必要である。そして、上記のような機器の
基本構成および測定手順は、赤外吸収法による機器分析
においても同様である。
When measuring the absorbance with an absorptiometer equipped with such an absorption cell, the absorption cell is taken out from the cell holder, and a sample solution collected by a sampling means such as a dropper is injected into the absorption cell.
The absorption cell is returned to the cell holder and measurement is started. After the measurement is completed, the absorption cell is taken out again from the cell holder, the sample solution in the absorption cell is discharged, and then the inside of the absorption cell is washed with pure water or the like.
In addition, in order to perform accurate measurement, it is also necessary to perform co-washing with the sample solution once or plural times before putting the sample solution into the absorption cell. Then, the basic configuration of the device and the measurement procedure as described above are the same in the device analysis by the infrared absorption method.

【0008】しかしながら、上記のような吸収セルを備
えてなる機器によって、吸光度データや赤外線吸収デー
タを測定する場合には、以下のような問題がある。 (1)測定されるべき試料液をスポイト等のサンプリン
グ手段によって採取し、このサンプリング手段から吸収
セル内へ試料液を注入する必要があるが、この場合にお
いて、当該吸収セルの容量が通常数ml乃至数十mlと
小さいために、注入操作を迅速に行うことは極めて困難
であって、ある程度の熟練が必要となる。また、内部か
ら溢れ出た試料液によって吸収セルの外壁が汚染された
場合には、これによって測定誤差を生じることがある。
特に、洗浄液中におけるフラックスは、外壁に付着して
白色の残渣を生じさせることから好ましくない。 (2)既述のように、吸収セルの容量が小さいことか
ら、測定前後における吸収セル内部の洗浄、測定前にお
ける吸収セル内部の共洗いなどの操作が煩雑で一定の時
間を要する。また、内部の液切れ(試料液や洗浄用純水
の排出)にも時間を要する。 (3)フロン代替洗浄液においては、フラックス濃度お
よび水分濃度を監視し、これらの濃度変化に対して迅速
に対処する必要がある。 しかしながら、上記のように、吸収セル内部の洗浄およ
び共洗い、サンプリング手段から吸収セル内への試料液
の注入等、濃度測定前後に行われる煩雑な操作のため
に、洗浄処理槽内から採取した洗浄液について、フラッ
クス濃度や水分濃度を直ちに測定することができず、そ
のため、フラックス濃度の変化や水分濃度の変化に対し
て迅速に対処することができず、フロン代替洗浄液の洗
浄能力および安全性が損なわれる。これを回避するため
には、洗浄処理のラインを一時的に止めることも考えら
れるが、洗浄処理効率が著しく低下するので好ましくな
い。
However, when measuring the absorbance data and the infrared absorption data by the equipment having the above-mentioned absorption cell, there are the following problems. (1) It is necessary to collect the sample solution to be measured by a sampling means such as a dropper and inject the sample solution into the absorption cell from this sampling means. In this case, the capacity of the absorption cell is usually several ml. Since it is as small as several tens of ml, it is extremely difficult to perform the injection operation quickly, and some skill is required. Moreover, when the outer wall of the absorption cell is contaminated by the sample liquid overflowing from the inside, this may cause a measurement error.
In particular, the flux in the cleaning liquid is not preferable because it adheres to the outer wall and produces a white residue. (2) As described above, since the capacity of the absorption cell is small, operations such as cleaning the inside of the absorption cell before and after the measurement and co-washing inside the absorption cell before the measurement are complicated and require a certain period of time. In addition, it takes time to drain the internal liquid (discharge the sample liquid and pure water for cleaning). (3) In the CFC substitute cleaning liquid, it is necessary to monitor the flux concentration and the water concentration and promptly deal with the changes in these concentrations. However, as described above, it was collected from the inside of the washing treatment tank because of complicated operations before and after the concentration measurement, such as washing and co-washing inside the absorption cell, and injecting the sample solution into the absorption cell from the sampling means. With respect to the cleaning liquid, the flux concentration and the water concentration cannot be measured immediately, so that it is not possible to quickly deal with the changes in the flux concentration and the water concentration, and the cleaning ability and safety of the CFC substitute cleaning liquid are reduced. Be damaged. In order to avoid this, it is possible to temporarily stop the cleaning process line, but this is not preferable because the cleaning process efficiency is significantly reduced.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明は以上のような
事情に基いてなされたものである。本発明の第1の目的
は、試料液の採取、内部の洗浄や共洗いなどの操作を迅
速かつ簡単に行うことができ、吸光度データ・赤外線吸
収データの検出および濃度測定を迅速に行うことができ
る吸収セルを提供することにある。本発明の第2の目的
は、洗浄処理槽から採取したフロン代替洗浄液につい
て、フラックス濃度を測定するまでの操作を簡単かつ迅
速に行うことができ、フラックス濃度を管理する際に好
適に用いることができるフラックス濃度計を提供するこ
とにある。本発明の第3の目的は、洗浄処理槽から採取
したフロン代替洗浄液について、水分濃度を測定するま
での操作を簡単かつ迅速に行うことができ、水分濃度を
管理する際に好適に用いることができるフ水分濃度計を
提供することにある。
The present invention has been made based on the above circumstances. A first object of the present invention is to enable quick and easy operations such as sampling of a sample solution, internal washing and co-washing, and rapid detection of absorbance data / infrared absorption data and concentration measurement. It is to provide an absorption cell that can do so. A second object of the present invention is that the CFC substitute cleaning liquid collected from the cleaning treatment tank can be easily and quickly operated until the flux concentration is measured, and can be suitably used when managing the flux concentration. It is to provide a flux densitometer that can. A third object of the present invention is that the CFC substitute cleaning liquid collected from the cleaning treatment tank can be easily and quickly operated until the water concentration is measured, and can be suitably used when managing the water concentration. The purpose is to provide a moisture concentration meter that can do this.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明の吸収セルは、吸
光光度法または赤外吸収法を利用する機器分析に用いら
れる吸収セルであって、測定されるべき試料液の採取手
段を備えていることを特徴とする。
The absorption cell of the present invention is an absorption cell used for instrumental analysis utilizing an absorptiometric method or an infrared absorption method, and is provided with a means for collecting a sample liquid to be measured. It is characterized by being

【0011】また、本発明の吸収セルは、シリンダーお
よびピストンからなる試料液吸引機構と、この試料液吸
引機構によって吸引された試料液を収容する試料液収容
部と、この試料液収容部に収容された試料液についての
吸光度データまたは赤外線吸収データを検出できるよ
う、前記試料液収容部に設けられた測光部とを備えてい
ることを特徴とする。
Further, the absorption cell of the present invention includes a sample liquid suction mechanism including a cylinder and a piston, a sample liquid storage portion for storing the sample liquid sucked by the sample liquid suction mechanism, and a sample liquid storage portion. And a photometric unit provided in the sample liquid storage unit so that the absorbance data or the infrared absorption data of the sample liquid can be detected.

【0012】また、本発明の吸収セルは、シリンダー
(11) 、および、このシリンダー(11) のハウジング内
を往復するピストン(12) からなる試料液吸引機構(1
0) と、液採取口(21) 、および、この液採取口(21)
からシリンダー(11) のハウジング内に至る液流路(2
2) が形成されてなるノズル部(20) と、このノズル部
(20) の液流路(22) 内における試料液についての吸光
度データまたは赤外線吸収データを検出できるよう、液
流路(22) を挟んで対向配置された一対の平板状測光窓
(31,32)を有してなる測光部(30) とを備えていること
を特徴とする。
The absorption cell of the present invention comprises a sample liquid suction mechanism (1) comprising a cylinder (11) and a piston (12) that reciprocates in the housing of the cylinder (11).
0), the liquid collection port (21), and this liquid collection port (21)
Liquid flow path (2
2) The liquid flow path (22) is formed so that the absorbance data or infrared absorption data of the sample liquid in the liquid flow path (22) of this nozzle part (20) can be detected. And a pair of flat plate-shaped photometric windows (31, 32) which are opposed to each other with the photometric unit (30) interposed therebetween.

【0013】本発明のフラックス濃度計は、フラックス
残渣を除去処理するために繰り返して使用される洗浄液
中に含まれているフラックス残渣の濃度を吸光光度法を
利用して測定するフラックス濃度計であって、吸光度デ
ータを測定するための吸収セルが、上記の何れかに記載
の吸収セルであることを特徴とする。
The flux densitometer of the present invention is a flux densitometer for measuring the concentration of the flux residue contained in the cleaning liquid which is repeatedly used for removing the flux residue by utilizing the absorptiometry. The absorption cell for measuring the absorbance data is any one of the absorption cells described above.

【0014】本発明の水分濃度計は、フラックス残渣を
除去処理するために繰り返して使用される洗浄液中に含
まれている水分の濃度を赤外吸収法を利用して測定する
水分濃度計であって、赤外線吸収データを測定するため
の吸収セルが、上記の何れかに記載の吸収セルであるこ
とを特徴とする。
The moisture densitometer of the present invention is a moisture densitometer for measuring the concentration of moisture contained in a cleaning liquid repeatedly used for removing flux residues by utilizing an infrared absorption method. The absorption cell for measuring infrared absorption data is any one of the absorption cells described above.

【0015】[0015]

【作用】[Action]

(1)試料液の採取手段によって、試料液を直接内部に
収容することができる。従って、従来のようにサンプリ
ング手段によって試料液を注入する必要がないため、試
料液の採取収容操作を簡単に行うことができ、吸光度デ
ータ・赤外線吸収データの検出および濃度測定を熟練者
によらなくても迅速に行うことができる。また、溢れ出
た試料液によって外壁が汚染されるという、従来の吸収
セルにおける問題は生じないので、このことによる測定
誤差が生じることはない。 (2)シリンダーおよびピストンからなる試料液吸引機
構によって、試料液収容部への試料液の収容操作を簡単
に行うことができ、吸光度データ・赤外線吸収データの
検出および濃度測定を熟練者によらなくても迅速に行う
ことができる。また、試料液吸引機構を構成するピスト
ンを往復させて洗浄用の純水や試料液の吸引および排出
を1〜数回程度行うだけで、試料液収容部内(液流路
内)の洗浄や共洗いが確実に行われる。従って、洗浄操
作の迅速化、容易化が図られる。更に、試料液収容部内
(液流路内)に残留する試料液や純水がピストンによっ
て強制的に排出されるので、液切れが遅いことによる時
間的ロスが生じない。 (3)吸光度データを検出するために必要な操作(洗浄
・共洗い・試料液の収容)を簡単かつ迅速に行うことが
できるので、洗浄処理槽から採取したフロン代替洗浄液
中のフラックス濃度を迅速に測定することができ、フラ
ックス濃度の変化に対して直ちに対処(洗浄液の交換)
することができる。従って、濃度測定に際して、洗浄処
理のラインを一時的に止める必要も全くない。また、従
来のように吸収セルの外壁にフラックスに起因する白色
残渣が付着することはなく、このことによって測定誤差
が生じることもない。 (4)赤外線吸収データを検出するために必要な操作を
簡単かつ迅速に行うことができるので、洗浄処理槽から
採取したフロン代替洗浄液中の水分濃度を迅速に測定す
ることができる。従って、水分濃度の変化に対して直ち
に対処(水分の補給)することができ、濃度測定に際し
て、洗浄処理のラインを一時的に止めなくても安全性を
十分に確保することができる。 (5)測光部を構成する一対の平板状測光窓間の距離、
すなわち、光が透過する液層の長さを小さくすることが
でき、これにより、広範囲の濃度測定が可能となる。
(1) The sample liquid can be directly contained inside by the sample liquid sampling means. Therefore, since it is not necessary to inject the sample solution by the sampling means as in the conventional case, the sample solution can be easily collected and stored, and the detection of the absorbance data / infrared absorption data and the measurement of the concentration can be performed by a skilled person. But it can be done quickly. Further, since the problem of the conventional absorption cell that the outer wall is contaminated by the overflowing sample liquid does not occur, the measurement error due to this does not occur. (2) The sample liquid suction mechanism including the cylinder and the piston makes it easy to store the sample liquid in the sample liquid storage portion, and does not require the skilled person to detect the absorbance data / infrared absorption data and measure the concentration. But it can be done quickly. In addition, the pure water for cleaning and the sample liquid are sucked and discharged about once to several times by reciprocating the piston which constitutes the sample liquid suction mechanism, and the cleaning and co-cleaning in the sample liquid container (in the liquid flow path) are performed. The washing is done reliably. Therefore, the cleaning operation can be speeded up and facilitated. Furthermore, since the sample liquid and pure water remaining in the sample liquid storage portion (in the liquid flow path) are forcibly discharged by the piston, there is no time loss due to the liquid running out slowly. (3) Since the operations required for detecting the absorbance data (washing, co-washing, storage of sample solution) can be performed easily and quickly, the flux concentration in the CFC substitute cleaning solution collected from the cleaning tank can be quickly measured. Can be measured at any time, and immediately responds to changes in flux concentration (replacement of cleaning liquid)
can do. Therefore, there is no need to temporarily stop the cleaning process line when measuring the concentration. Further, unlike the conventional case, the white residue due to the flux does not adhere to the outer wall of the absorption cell, and this does not cause a measurement error. (4) Since the operation required to detect infrared absorption data can be performed simply and quickly, the water concentration in the CFC substitute cleaning liquid sampled from the cleaning treatment tank can be measured quickly. Therefore, it is possible to immediately deal with the change in the water concentration (supplement of water), and it is possible to sufficiently secure the safety without temporarily stopping the cleaning process line when measuring the concentration. (5) Distance between a pair of flat plate-shaped photometric windows forming the photometric unit,
That is, the length of the liquid layer through which light is transmitted can be reduced, which enables concentration measurement over a wide range.

【0016】[0016]

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。 <吸収セル>図1は本発明の吸収セルの一例を示す説明
図であり、(イ)は正面図、(ロ)は(イ)におけるA
−A断面図である。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described below. <Absorption Cell> FIG. 1 is an explanatory view showing an example of the absorption cell of the present invention, in which (a) is a front view and (b) is A in (a).
FIG.

【0017】同図において、10は試料吸引機構であ
り、この試料吸引機構10は、シリンダー11とピスト
ン12とから構成されている。13は、シリンダー11
内においてピストン12を上下に移動させるための軸で
あり、この軸13の上端には指掛け用金具14が接続固
定されている。
In the figure, 10 is a sample suction mechanism, and this sample suction mechanism 10 is composed of a cylinder 11 and a piston 12. 13 is a cylinder 11
It is a shaft for moving the piston 12 up and down in the inside, and a finger hanging metal fitting 14 is connected and fixed to the upper end of the shaft 13.

【0018】20はノズル部であり、このノズル部20
は、シリンダー11の下端にOリングを介して螺合され
ることにより、試料吸引機構10に対して液密に接続さ
れている。21は液採取口、22はシリンダー11の内
部と連通するようノズル部20に形成された液流路であ
る。試料吸引機構10によって液採取口21から吸引さ
れた試料液は、液流路22内を上昇してシリンダー11
の内部に導入される。
Reference numeral 20 denotes a nozzle portion, and this nozzle portion 20
Is liquid-tightly connected to the sample suction mechanism 10 by being screwed onto the lower end of the cylinder 11 via an O-ring. Reference numeral 21 is a liquid sampling port, and 22 is a liquid flow path formed in the nozzle portion 20 so as to communicate with the inside of the cylinder 11. The sample liquid sucked from the liquid sampling port 21 by the sample suction mechanism 10 rises in the liquid flow path 22 and moves to the cylinder 11
Be introduced inside.

【0019】23は、液流路22の途中に形成された円
柱状空間よりなる液収容部である。24および25は、
それぞれ、ノズル部20の側面部に形成された円柱状凹
所であり、円柱状凹所24,25の周面部はネジ切り加
工が施されている。
Reference numeral 23 is a liquid storage portion formed of a cylindrical space formed in the middle of the liquid flow path 22. 24 and 25 are
Each is a cylindrical recess formed on the side surface of the nozzle portion 20, and the peripheral surface of the cylindrical recess 24, 25 is threaded.

【0020】測光部30は、液収容部23を挟んで対向
配置された一対の円板状測光窓31,32と、これらを
保持固定するための保持部材34,35とを有してい
る。
The photometric unit 30 has a pair of disc-shaped photometric windows 31 and 32 that are arranged opposite to each other with the liquid storage unit 23 in between, and holding members 34 and 35 for holding and fixing these.

【0021】円板状測光窓31,32は溶融石英やガラ
ス等からなる。また、保持部材34(35)は、その外
周面においてネジ切り加工が施され、円柱状凹所24
(25)の周面部と螺合することによって円板状測光窓
31(32)を内方に押圧保持している。
The disc-shaped photometric windows 31 and 32 are made of fused quartz, glass or the like. The outer peripheral surface of the holding member 34 (35) is threaded so that the cylindrical recess 24
The disk-shaped photometric window 31 (32) is pressed and held inward by being screwed with the peripheral surface portion of (25).

【0022】本実施例においては、ノズル部20の液収
容部23内における試料液に対して紫外線・可視光線・
赤外線などの光が円板状測光窓31側から入射され、試
料液を透過した光は、円板状測光窓32を透過して検出
器に受光される。これにより、吸光度データや赤外線吸
収データが検出される。なお、円板状測光窓31と円板
状測光窓32との間隙、すなわち、光が透過する液層の
長さは10mm以下、例えば2.0mmであって極めて
狭いものである。これにより、広い濃度範囲にわたって
直線性に優れた検量線を測定することができ、測定結果
の信頼性を向上させることができる。
In this embodiment, ultraviolet rays, visible rays, and
Light such as infrared rays enters from the disc-shaped photometric window 31 side, and the light transmitted through the sample liquid passes through the disc-shaped photometric window 32 and is received by the detector. Thereby, the absorbance data and the infrared absorption data are detected. The gap between the disc-shaped photometric window 31 and the disc-shaped photometric window 32, that is, the length of the liquid layer through which light is transmitted is 10 mm or less, for example 2.0 mm, which is extremely narrow. As a result, a calibration curve having excellent linearity can be measured over a wide concentration range, and the reliability of measurement results can be improved.

【0023】本実施例の吸収セルによれば以下の効果が
奏される。 シリンダー11およびピストン12からなる試料液
吸引機構10によって、液収容部23を含む液流路22
内およびシリンダー11内への試料液の収容操作を簡単
に行うことができ、吸光度データや赤外線吸収データの
検出および濃度測定を熟練者によらなくても迅速に行う
ことができる。 円板状測光窓31,32の外側面が、試料液によっ
て汚染されることはなく、これによる測定誤差が生じる
ことはない。 ピストン12を往復させて洗浄用の純水や試料液の
吸引および排出を1〜数回程度行うだけで、液流路22
内およびシリンダー11内の洗浄や共洗いが確実に行わ
れる。従って、洗浄操作の迅速化、容易化を図ることが
できる。 液流路22内およびシリンダー11内に残留する試
料液や純水がピストン12によって強制的に排出される
ので、液切れが遅いことによる時間的ロスは生じない。 円板状測光窓31と円板状測光窓32との間隙(光
が透過する液層の長さ)が狭いものであるため、広い濃
度範囲にわたって直線性に優れた検量線を測定すること
ができ、測定結果の信頼性を向上させることができる。
According to the absorption cell of this embodiment, the following effects are obtained. By the sample liquid suction mechanism 10 including the cylinder 11 and the piston 12, the liquid flow path 22 including the liquid storage portion 23 is provided.
The operation of accommodating the sample liquid in the cylinder and the cylinder 11 can be easily performed, and the absorbance data and infrared absorption data can be detected and the concentration can be quickly measured without the need of an expert. The outer surfaces of the disc-shaped photometric windows 31 and 32 are not contaminated by the sample liquid, and the measurement error due to this does not occur. The liquid flow path 22 can be obtained by reciprocating the piston 12 and suctioning and discharging pure water for cleaning or sample liquid once or several times.
The inside and the inside of the cylinder 11 are reliably washed and co-washed. Therefore, the cleaning operation can be speeded up and facilitated. Since the sample liquid and pure water remaining in the liquid flow path 22 and the cylinder 11 are forcibly discharged by the piston 12, there is no time loss due to the liquid running out slowly. Since the gap between the disc-shaped photometric window 31 and the disc-shaped photometric window 32 (the length of the liquid layer through which light passes) is narrow, it is possible to measure a calibration curve having excellent linearity over a wide concentration range. Therefore, the reliability of the measurement result can be improved.

【0024】<フラックス濃度計>図2は、本発明のフ
ラックス濃度計の概略を示す説明図である。このフラッ
クス濃度計は、吸光光度センサ部Aと、演算表示部Bと
により構成されている。吸光光度センサ部Aにおいて、
50は上記の実施例と同様の構成の吸収セル、51は青
色発光ダイオードや緑色発光ダイオードよりなる可視光
放射光源、52はレンズ、53は干渉フィルター、54
はシリコンダイオードよりなる入射光強度検出器、55
はシリコンダイオードよりなる透過光強度検出器であ
る。一方、演算表示部Bにおいて、56は演算手段、5
7は表示手段である。
<Flux Densitometer> FIG. 2 is an explanatory view showing the outline of the flux densitometer of the present invention. This flux densitometer is composed of an absorption photometric sensor section A and a calculation display section B. In the absorption photometric sensor section A,
Reference numeral 50 is an absorption cell having the same configuration as that of the above embodiment, 51 is a visible light emitting light source including a blue light emitting diode or a green light emitting diode, 52 is a lens, 53 is an interference filter, and 54
Is an incident light intensity detector consisting of a silicon diode, 55
Is a transmitted light intensity detector made of a silicon diode. On the other hand, in the calculation display section B, 56 is a calculation means, 5
Reference numeral 7 is a display means.

【0025】本実施例のフラックス濃度計によれば、吸
光度データを検出するために必要な洗浄・共洗い・試料
液の収容操作を簡単かつ迅速に行うことができ、洗浄処
理槽から採取したフロン代替洗浄液中のフラックス濃度
を迅速に測定することができる。そして、当該フラック
ス濃度が一定以上の値になったときには、直ちに洗浄液
を新規なものに交換するよう対処することができる。ま
た、吸収セル50の有する円板状測光窓の外側面が、フ
ロン代替洗浄液中のフラックスに汚染されて白色残渣が
付着することはなく、これによる測定誤差が生じること
はない。
According to the flux densitometer of the present embodiment, the washing, co-washing and sample liquid accommodating operations necessary for detecting the absorbance data can be performed easily and quickly, and the fluorocarbon collected from the washing treatment tank can be used. The flux concentration in the alternative cleaning liquid can be measured quickly. Then, when the flux concentration reaches a value equal to or higher than a certain value, it is possible to immediately deal with replacing the cleaning liquid with a new one. In addition, the outer surface of the disk-shaped photometric window of the absorption cell 50 is not contaminated by the flux in the CFC substitute cleaning liquid, and the white residue does not adhere to it, so that a measurement error due to this does not occur.

【0026】なお、本実施例のフラックス濃度計は、可
視光の吸収特性を利用する点にも特徴を有するものであ
る。そして、このような特徴を有するフラックス濃度計
によれば、青色発光ダイオードや緑色発光ダイオードよ
りなる、構成が簡単で比較的安価な可視光放射光源51
と、シリコンダイオードなどよりなる安価な透過光強度
検出器55とを備えた吸光光度センサによって、フロン
代替洗浄液中におけるフラックス濃度を正確に測定する
ことができる。
The flux densitometer of this embodiment is also characterized in that it utilizes the absorption characteristics of visible light. According to the flux densitometer having such characteristics, the visible light emitting light source 51 including the blue light emitting diode and the green light emitting diode, which has a simple structure and is relatively inexpensive.
The flux concentration in the CFC substitute cleaning liquid can be accurately measured by the absorptiometric sensor including an inexpensive transmitted light intensity detector 55 made of a silicon diode or the like.

【0027】<水分濃度計>図3は、本発明の水分濃度
計の概略を示す説明図である。この水分濃度計は、赤外
線吸収センサ部Cと、演算表示部Dとにより構成されて
いる。赤外線吸収センサ部Cにおいて、60は上記の実
施例と同様の構成の吸収セル、61は白熱電球またはハ
ロゲンランプよりなる赤外線放射光源、62はレンズ、
63は赤外線干渉フィルター、64は光導電性素子より
なる入射光強度検出器、65は光導電性素子よりなる透
過光強度検出器、66は赤外線放射光源61からの光を
チョッピングするための回転板、67は回転板66の駆
動モータである。一方、演算表示部Dにおいて、68は
演算手段、69は表示手段である。
<Moisture Concentration Meter> FIG. 3 is an explanatory view showing the outline of the moisture concentration meter of the present invention. This moisture concentration meter includes an infrared absorption sensor section C and a calculation display section D. In the infrared absorption sensor section C, 60 is an absorption cell having the same configuration as that of the above-mentioned embodiment, 61 is an infrared radiation light source composed of an incandescent lamp or a halogen lamp, 62 is a lens,
63 is an infrared interference filter, 64 is an incident light intensity detector made of a photoconductive element, 65 is a transmitted light intensity detector made of a photoconductive element, and 66 is a rotary plate for chopping the light from the infrared radiation source 61. , 67 are drive motors for the rotary plate 66. On the other hand, in the calculation display section D, 68 is a calculation means and 69 is a display means.

【0028】本実施例の水分濃度計によれば、赤外線吸
収データを検出するために必要な洗浄・共洗い・試料液
の収容操作を簡単かつ迅速に行うことができ、洗浄処理
槽から採取したフロン代替洗浄液中の水分濃度を迅速に
測定することができる。そして、当該水分濃度が一定未
満となったときには、直ちに水分を補給するよう対処す
ることができ、安全性を十分に確保することができる。
また、吸収セル60を構成する2枚の円板状測光窓間の
間隙を狭くすることにより、直線性に優れた検量線を測
定することができて、測定結果の信頼性を向上させるこ
とができる。
According to the moisture concentration meter of this embodiment, the washing, co-washing, and sample liquid accommodating operations required for detecting infrared absorption data can be performed easily and quickly, and the moisture concentration was measured from the washing treatment tank. It is possible to quickly measure the water concentration in the CFC substitute cleaning liquid. Then, when the water concentration falls below a certain level, it is possible to take measures to immediately replenish the water, and sufficient safety can be ensured.
Further, by narrowing the gap between the two disc-shaped photometric windows that form the absorption cell 60, it is possible to measure a calibration curve with excellent linearity and improve the reliability of the measurement results. it can.

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明の吸収セルによれば、試料液の採
取収容操作を簡単に行うことができ、吸光度データ・赤
外線吸収データの検出および濃度測定を熟練者によらな
くても迅速に行うことができる。また、従来のように吸
収セルの外壁が汚染されるようなことはないので、これ
による測定誤差を生じることはない。本発明のフラック
ス濃度計によれば、洗浄処理槽から採取したフロン代替
洗浄液中のフラックス濃度を迅速に測定することがで
き、当該濃度の変化に対して直ちに対処(洗浄液の交
換)することができる。従って、濃度測定に際して洗浄
処理のラインを止める必要はない。本発明の水分濃度計
によれば、洗浄処理槽から採取したフロン代替洗浄液中
の水分濃度を迅速に測定することができ、当該濃度の変
化に対して直ちに対処(水分の補給)することができ
る。従って、濃度測定に際して洗浄処理のラインを一時
的に止めなくても安全性を十分に確保することができ
る。
EFFECT OF THE INVENTION According to the absorption cell of the present invention, the sample liquid can be easily collected and stored, and the absorbance data and infrared absorption data can be detected and the concentration can be quickly measured without the need of an expert. be able to. Further, unlike the conventional case, the outer wall of the absorption cell is not contaminated, so that a measurement error due to this does not occur. According to the flux densitometer of the present invention, the flux concentration in the CFC substitute cleaning liquid collected from the cleaning treatment tank can be quickly measured, and the change in the concentration can be immediately dealt with (exchange of the cleaning liquid). . Therefore, it is not necessary to stop the cleaning process line when measuring the concentration. According to the moisture concentration meter of the present invention, it is possible to quickly measure the moisture concentration in the CFC substitute cleaning liquid collected from the cleaning treatment tank, and immediately deal with the change in the concentration (replenishment of moisture). . Therefore, it is possible to sufficiently secure the safety without temporarily stopping the cleaning process line when measuring the concentration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の吸収セルの一例を示す説明図であり、
(イ)は正面図、(ロ)は(イ)におけるA−A断面図
である。
FIG. 1 is an explanatory view showing an example of an absorption cell of the present invention,
(A) is a front view, (B) is a sectional view taken along line AA in (A).

【図2】本発明のフラックス濃度計の概略を示す説明図
である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing an outline of a flux concentration meter of the present invention.

【図3】本発明の水分濃度計の概略を示す説明図であ
る。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an outline of a moisture concentration meter of the present invention.

【図4】吸光光度法による吸光度測定に用いられる機器
の基本構成を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a basic configuration of an apparatus used for measuring absorbance by an absorptiometry method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 試料吸引機構 11 シリンダー 12 ピストン 13 軸 14 指掛け用金具 20 ノズル部 21 液採取口 22 液流路 23 液収容部 24 円柱状凹所 25 円柱状凹所 30 測光部 31 円板状測光窓 32 円板状測光窓 34 保持部材 35 保持部材 50 吸収セル 51 可視光放射光
源 52 レンズ 53 干渉フィルタ
ー 54 入射光強度検出器 55 透過光強度検
出器 56 演算手段 57 表示手段 60 吸収セル 61 赤外線放射光
源 62 レンズ 62 赤外線干渉フ
ィルター 64 入射光強度検出器 65 透過光強度検
出器 66 回転板 67 駆動モータ 68 演算手段 69 表示手段
10 Sample Suction Mechanism 11 Cylinder 12 Piston 13 Shaft 14 Metal Fitting for Finger 20 Nozzle Part 21 Liquid Collection Port 22 Liquid Flow Path 23 Liquid Storage Part 24 Cylindrical Recess 25 Cylindrical Recess 30 Photometric Section 31 Disc-shaped Photometric Window 32 Circular Plate-shaped photometric window 34 Holding member 35 Holding member 50 Absorption cell 51 Visible light emission light source 52 Lens 53 Interference filter 54 Incident light intensity detector 55 Transmitted light intensity detector 56 Calculation means 57 Display means 60 Absorption cell 61 Infrared radiation light source 62 Lens 62 Infrared interference filter 64 Incident light intensity detector 65 Transmitted light intensity detector 66 Rotating plate 67 Drive motor 68 Computing means 69 Display means

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 吸光光度法または赤外吸収法を利用する
機器分析に用いられる吸収セルであって、 測定されるべき試料液の採取手段を備えていることを特
徴とする吸収セル。
1. An absorption cell used for instrumental analysis utilizing an absorption spectrophotometric method or an infrared absorption method, which is equipped with a means for collecting a sample liquid to be measured.
【請求項2】 シリンダーおよびピストンからなる試料
液吸引機構と、 この試料液吸引機構によって吸引された試料液を収容す
る試料液収容部と、 この試料液収容部に収容された試料液についての吸光度
データまたは赤外線吸収データを検出できるよう、前記
試料液収容部に設けられた測光部とを備えていることを
特徴とする請求項1記載の吸収セル。
2. A sample liquid suction mechanism composed of a cylinder and a piston, a sample liquid storage unit which stores the sample liquid sucked by the sample liquid suction mechanism, and an absorbance of the sample liquid stored in the sample liquid storage unit. The absorption cell according to claim 1, further comprising a photometric unit provided in the sample liquid storage unit so that data or infrared absorption data can be detected.
【請求項3】 シリンダー(11) 、および、このシリン
ダー(11) のハウジング内を往復するピストン(12) か
らなる試料液吸引機構(10) と、 液採取口(21) 、および、この液採取口(21) からシリ
ンダー(11) のハウジング内に至る液流路(22) が形成
されてなるノズル部(20) と、 このノズル部(20) の液流路(22) 内における試料液に
ついての吸光度データまたは赤外線吸収データを検出で
きるよう、液流路(22) を挟んで対向配置された一対の
平板状測光窓(31,32)を有してなる測光部(30) とを備
えていることを特徴とする請求項1記載の吸収セル。
3. A sample liquid suction mechanism (10) comprising a cylinder (11) and a piston (12) which reciprocates in the housing of the cylinder (11), a liquid sampling port (21), and this liquid sampling. About the nozzle part (20) in which the liquid flow path (22) from the mouth (21) to the housing of the cylinder (11) is formed, and the sample liquid in the liquid flow path (22) of this nozzle part (20) In order to be able to detect the absorbance data or infrared absorption data of, a photometric unit (30) having a pair of flat plate-shaped photometric windows (31, 32) facing each other across the liquid channel (22) is provided. The absorption cell according to claim 1, wherein
【請求項4】 フラックス残渣を除去処理するために繰
り返して使用される洗浄液中に含まれているフラックス
残渣の濃度を吸光光度法を利用して測定するフラックス
濃度計であって、 吸光度データを測定するための吸収セルが、請求項1乃
至請求項3の何れかに記載の吸収セルであることを特徴
とするフラックス濃度計。
4. A flux densitometer for measuring the concentration of a flux residue contained in a cleaning liquid repeatedly used for removing a flux residue by using an absorptiometry method for measuring absorbance data. A flux densitometer, wherein the absorption cell for achieving the above is the absorption cell according to any one of claims 1 to 3.
【請求項5】 フラックス残渣を除去処理するために繰
り返して使用される洗浄液中に含まれている水分の濃度
を赤外吸収法を利用して測定する水分濃度計であって、 赤外線吸収データを測定するための吸収セルが、請求項
1乃至請求項3の何れかに記載の吸収セルであることを
特徴とする水分濃度計。
5. A moisture densitometer for measuring the concentration of moisture contained in a cleaning liquid, which is repeatedly used for removing flux residues, by using an infrared absorption method, wherein infrared absorption data is obtained. An absorption cell for measurement is the absorption cell according to any one of claims 1 to 3, wherein a moisture concentration meter is provided.
JP11606494A 1994-05-06 1994-05-06 Suction cell, flux densitometer and moisture densitometer Pending JPH07301596A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108760387A (en) * 2018-03-17 2018-11-06 宁夏大学 A kind of portable inland lake hydrophore

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108760387A (en) * 2018-03-17 2018-11-06 宁夏大学 A kind of portable inland lake hydrophore
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