JPH07299403A - Coating applicator and image forming device produced by using the same - Google Patents

Coating applicator and image forming device produced by using the same

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JPH07299403A
JPH07299403A JP9327394A JP9327394A JPH07299403A JP H07299403 A JPH07299403 A JP H07299403A JP 9327394 A JP9327394 A JP 9327394A JP 9327394 A JP9327394 A JP 9327394A JP H07299403 A JPH07299403 A JP H07299403A
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JP
Japan
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frit
dispenser
coating
stage
coated
Prior art date
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Application number
JP9327394A
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Japanese (ja)
Inventor
Masahiko Miyamoto
雅彦 宮本
Masahiro Tagawa
昌宏 多川
Mitsutoshi Hasegawa
光利 長谷川
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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  • Coating Apparatus (AREA)
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

PURPOSE:To realize coating applicator with excellent reproducibility and uniformity by providing a coating applying device for applying a pasty material on a member to be coated by relatively moving a dispenser and a stage with >=1 local heating mechanisms for drying and solidifying the applied pasty material. CONSTITUTION:The front surface plate or rear surface plate of an image forming device arranged with a spacer as the member 4 to be coated right under the dispenser 3 having a needle 2 for discharging frit 1 which is the pasty material is set on a stage 5. This stage 5 is driven in X-Y-Z directions by a stage driving mechanism 6, by which the frit 1 is applied at the suitable point. In such a case, an ultrasonic vibrating mechanism 7 constituting the local heating mechanism is disposed in the frit 1 within the dispenser 3. The frit 1 is vibrated by ultrasonic waves to prevent clogging when the application with the dispenser 3 is not executed. The ultrasonic waves are stopped and the frit 1 is applied on the member uniformly in the prescribed patterns with good reproducibility at the time of application.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フリットガラス混合体
などのペースト状材料の塗布装置、およびこの塗布装置
を用いて製造される、電子源を応用して画像を形成する
平面型の画像形成装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for applying a paste-like material such as a frit glass mixture, and a flat type image forming apparatus for applying an electron source to form an image. Regarding the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、電子放出素子として熱電子源と冷
陰極電子源の2種類が知られている。このうち冷陰極電
子源には電界放出型(以下、「FE型」と略す)、金属
/絶縁層/金属型(以下、「MIM型」と略す)や表面
伝導型電子放出素子などがある。
2. Description of the Related Art Conventionally, two types of electron emitters, a thermoelectron source and a cold cathode electron source, are known. Among them, the cold cathode electron source includes a field emission type (hereinafter abbreviated as “FE type”), a metal / insulating layer / metal type (hereinafter abbreviated as “MIM type”), a surface conduction type electron emitting device, and the like.

【0003】FE型の例としては、W.P.Dyke & W.W.Dol
an,"Field emission",Advance in Electron Physics,8,
89(1956)やC.A.Spindt,"Physical properties of thin-
film field emission cathodes with molybdenum cone
s",J.Appl.Phys.,47,5248(1976)等が知られている。
As an example of the FE type, WPDyke & WWDol
an, "Field emission", Advance in Electron Physics, 8,
89 (1956) and CASpindt, "Physical properties of thin-
film field emission cathodes with molybdenum cone
s ", J. Appl. Phys., 47, 5248 (1976) and the like.

【0004】MIM型の例としては、C.A.Mead,"The tu
nnel-emission amplifier",J.Appl.Phys.,32,646(1961)
等が知られている。
As an example of the MIM type, CAMead, "The tu
nnel-emission amplifier ", J.Appl.Phys., 32,646 (1961)
Etc. are known.

【0005】表面伝導型電子放出素子の例としては、E.
I.Elinson,Radio Eng.Electron Phys.,10,1290(1965)等
がある。
Examples of surface conduction electron-emitting devices include E.
I. Elinson, Radio Eng. Electron Phys., 10, 1290 (1965).

【0006】表面伝導型電子放出素子は基板上に形成さ
れた小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流すことによ
り、電子放出が生じる現象を利用するものである。
The surface conduction electron-emitting device utilizes a phenomenon in which electron emission occurs when a current is passed through a thin film of a small area formed on a substrate in parallel with the film surface.

【0007】この表面伝導型電子放出素子としては、前
記エリンソン等によるSnO2薄膜を用いたもの、Au
薄膜によるもの[G.Dittmer:"Thin Solid Films",9,31
7,(1972)]、In23/SnO2薄膜によるもの[M.Ha
rtwell and C.G.Fonstad:"IEEE Trans. ED Conf.",519,
(1975)]、カーボン薄膜によるもの[荒木久 他:”真
空”,第26巻,第1号,22頁(1983年)]等が
報告されている。
As the surface conduction electron-emitting device, one using the SnO 2 thin film by Erinson et al.
By thin film [G.Dittmer: "Thin Solid Films", 9,31
7, (1972)], In 2 O 3 / SnO 2 thin film [M.Ha
rtwell and CGFonstad: "IEEE Trans. ED Conf.", 519,
(1975)], a carbon thin film [Hiraki Araki et al .: "Vacuum", Vol. 26, No. 1, p. 22 (1983)] and the like.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ここで、上述の電子放
出素子を応用して画像を形成する、画像形成装置を図9
および図10に基づいて説明する。
FIG. 9 shows an image forming apparatus for forming an image by applying the above-mentioned electron-emitting device.
And it demonstrates based on FIG.

【0009】図9は、従来の画像形成装置の構成を説明
するための分解斜視図、図10は、図9に示した画像形
成装置の縦断面図である。
FIG. 9 is an exploded perspective view for explaining the structure of a conventional image forming apparatus, and FIG. 10 is a vertical sectional view of the image forming apparatus shown in FIG.

【0010】画像形成装置は一般に、図9および図10
に示すように、電子放出素子群を搭載した背面板103
と、背面板103と対向配置され、電子放出素子群から
の電子線の照射により画像が形成される画像形成部材を
搭載した前面板102と、前面板102と背面板103
との間にあって、前面板102および背面板103の周
縁を前記電子放出素子群を囲むようにして支持する支持
枠104とから構成され、前面板102、背面板103
および支持枠104の接合部は、フリットガラスにより
固着されている。
The image forming apparatus is generally shown in FIGS. 9 and 10.
As shown in FIG.
And a front plate 102, which is arranged opposite to the rear plate 103 and has an image forming member on which an image is formed by irradiation of an electron beam from an electron-emitting device group, the front plate 102 and the rear plate 103.
And a support frame 104 for supporting the peripheral edges of the front plate 102 and the rear plate 103 so as to surround the electron-emitting device group, and the front plate 102 and the rear plate 103.
The joint portion of the support frame 104 is fixed by frit glass.

【0011】さらに画像形成装置は、内部を10-6To
rr程度以上の真空にして電子放出素子を動作させるの
で、このときの大気圧に耐えるような構造を持つ必要が
ある。
Further, the inside of the image forming apparatus is 10 −6 To
Since the electron-emitting device is operated in a vacuum of about rr or higher, it is necessary to have a structure that can withstand the atmospheric pressure at this time.

【0012】特に、大面積の背面板および前面板を用い
た平面型画像形成装置にて、この前面板および背面板の
面に対して垂直に加わる大気圧の支持を行なう場合、各
板を厚くして対応させると、重量やコストなどの点で実
現性が乏しくなる。このため、支持枠104の内側にお
いて前面板102と背面板103との間に支柱としてス
ペーサー101を配置することで、耐大気圧構造にする
と共に軽量化している。
In particular, in a flat image forming apparatus using a large-area back plate and front plate, when the atmospheric pressure applied perpendicularly to the surfaces of the front plate and the back plate is to be supported, each plate is thickened. Therefore, the feasibility becomes poor in terms of weight and cost. Therefore, by disposing the spacer 101 as a support between the front plate 102 and the rear plate 103 inside the support frame 104, the atmospheric pressure resistant structure and the weight reduction are achieved.

【0013】また、スペーサー103は、背面板103
に形成された電子放出素子群とこれと対向位置にある前
面板102の画像形成部材との間隔を、精度良く保つと
いう機能も持っている。
The spacer 103 is a back plate 103.
It also has a function of accurately maintaining the distance between the electron-emitting device group formed in the above and the image forming member of the front plate 102 at the position facing the electron-emitting device group.

【0014】上述したように、支持枠104を介して前
面板102および背面板103とを気密接合する際の接
合材料として、フリットガラスが用いられており、40
0℃〜550℃で加熱融着が行なわれている。その為、
画像形成装置内に配置されるスペーサー103を固定す
る接着剤にも、接合時の温度に耐えられる耐熱性が要求
され、さらに、スペーサー103が配される画像形成装
置内は、上述したように10-6Torr程度以上の真空
を維持する必要があり、スペーサー103を固定する接
着剤は真空内でのアウトガスが極力少ないといった特性
も必要とされる。以上のような条件を満たすスペーサー
103の接着剤として、接合材料であるフリットガラス
を用いることができる。
As described above, frit glass is used as a bonding material when airtightly bonding the front plate 102 and the rear plate 103 via the support frame 104.
Heat fusion is performed at 0 ° C to 550 ° C. For that reason,
The adhesive agent for fixing the spacer 103 arranged in the image forming apparatus is also required to have heat resistance capable of withstanding the temperature at the time of joining, and further, in the image forming apparatus in which the spacer 103 is arranged, as described above, It is necessary to maintain a vacuum of about -6 Torr or more, and the adhesive for fixing the spacer 103 is also required to have a characteristic that the outgas in the vacuum is as small as possible. Frit glass, which is a bonding material, can be used as an adhesive for the spacer 103 that satisfies the above conditions.

【0015】フリットガラスには、結晶性のものや非結
晶性のものなど、成分の違いにより数種類のものがあ
り、接合時の温度や使用部材の膨張係数により適宜選択
することができる。フリットガラス単体は、粉体なので
塗布を行なう場合は有機溶剤あるいはニトロセルロース
やアクリルなどのバインダーで粘度を調整した有機溶剤
と混合させ、ペースト状のフリットガラス混合体とし、
塗布中の作業性を考慮して常温で粘性を有する速乾性で
ないものを実際には用いる。このフリットガラス混合体
(以下、「フリット」という)の常温での粘性は塗布条
件により異なるが、だいたい数万cps程度である。
There are several types of frit glass, such as crystalline ones and amorphous ones, depending on the difference in the components, and they can be appropriately selected according to the temperature at the time of joining and the expansion coefficient of the members used. The frit glass simple substance is a powder, so when applying it, it is mixed with an organic solvent or an organic solvent whose viscosity is adjusted with a binder such as nitrocellulose or acrylic to form a paste-like frit glass mixture,
In consideration of workability during coating, a material that has viscosity at room temperature and is not quick-drying is actually used. The viscosity of this frit glass mixture (hereinafter referred to as "frit") at room temperature is about tens of thousands of cps although it varies depending on the coating conditions.

【0016】さらに、上述したようにスペーサー103
を画像形成装置内に配置する場合、前面板102および
背面板103内で蛍光面および電子源の邪魔にならない
位置に数百μm程度の幅の細いスペーサー103を10
μm前後の高精度で配置する必要があり、そのために
は、スペーサー103を固定するフリットの塗布幅もス
ペーサー幅と同じ程度に細く、位置精度も同様に高精度
化しなければならない。また、フリットがスペーサー1
03を十分な機械的強度で固定するためには、フリット
高さは幅以上あることが望ましい。
Further, as described above, the spacer 103
In the image forming apparatus, a thin spacer 103 having a width of several hundreds of μm is provided at a position in the front plate 102 and the rear plate 103 that does not interfere with the fluorescent screen and the electron source.
It is necessary to arrange them with a high accuracy of around μm, and for that purpose, the coating width of the frit for fixing the spacer 103 must be as thin as the spacer width, and the positional accuracy must also be increased with high accuracy. Also, the frit is spacer 1
In order to fix 03 with sufficient mechanical strength, it is desirable that the frit height is not less than the width.

【0017】こうした数百μm幅でかつアスペクト比が
1以上の形態のフリットを高精度の位置精度で塗布する
手法としては、ニードルからフリットを吐出させるディ
スペンサーに、吐出部と被塗布部材との位置を相対的に
三次元方向に高精度で移動・制御するロボットとを組み
合わせたディスペンサーロボットが適用できる。
A method for applying such a frit having a width of several hundreds of μm and an aspect ratio of 1 or more with high positional accuracy is as follows: a dispenser for ejecting the frit from a needle, and a position between the ejection portion and the member to be coated. It is possible to apply a dispenser robot that is combined with a robot that relatively accurately moves and controls the three-dimensional direction.

【0018】ディスペンサーロボットは、クリームハン
ダなどの各種ペースト状材料の塗布装置として工業的に
広く使われており、市販もされている。
The dispenser robot is industrially widely used as a coating device for various paste materials such as cream solder, and is also commercially available.

【0019】しかしながら、ディスペンサーでフリット
を塗布する場合、吐出させるフリットが前述した様に常
温で数万cps程度の粘性の速乾性でないペースト状態
の場合が多く、被塗布面上でただちに固化しないためフ
リットがダレて広がり、高さは幅の半分以下になる。そ
こで、1回の塗布だけでは幅以上の高さを稼ぐことが不
可能であるので重ね塗りをしなければならない。この場
合、塗布する毎にフリットを乾燥固化させているが、そ
れによって次のような不都合が生じる。 (1)被塗布部材全体を加熱して乾燥固化を行なうので、
被塗布部材が入るような乾燥炉が必要となる。 (2)乾燥炉で120〜130℃、5〜10分の加熱工程
と、その後、炉から取り出してから被塗布部材全体が冷
えるまでの15〜25分の冷却工程とを要し、この間は
塗布作業ができず、作業時間が長引いてしまい無駄が多
い。 (3)乾燥の度に、塗布装置のステージ上で高精度に位置
合わせがなされている被塗布部材をいちいち外し、次の
重ね塗りの時に再びセッティングする必要があるので、
作業が煩雑であるばかりか、フリット位置精度にも影響
が生じる。 (4)被塗布部材を塗布装置から取り外したり乾燥炉に移
動したりする際、ハンドリングの不手際で、未乾燥のフ
リットを剥してしまったり、部材そのものを破損させた
りしてしまうという危険性がある。
However, in the case of applying the frit with the dispenser, the frit to be ejected is often in a paste state which has a viscosity of about tens of thousands cps at room temperature and is not quick-drying as described above, and the frit does not immediately solidify on the surface to be coated, and thus the frit is not solidified. Is drooping and widening, and the height is less than half the width. Therefore, it is impossible to obtain a height higher than the width by only one coating, and therefore multiple coatings must be performed. In this case, the frit is dried and solidified each time it is applied, which causes the following problems. (1) Since the entire member to be coated is heated to dry and solidify,
A drying oven in which the member to be coated is placed is required. (2) A heating step of 120 to 130 ° C. for 5 to 10 minutes in a drying furnace and a cooling step of 15 to 25 minutes from the time when the material is taken out of the oven to the time when the entire member to be coated cools are required. There are many wastes because the work cannot be done and the work time is prolonged. (3) Since it is necessary to remove the coated member that has been aligned with high precision on the stage of the coating device each time it is dried, and to set it again during the next overcoating,
Not only the work is complicated, but also the frit position accuracy is affected. (4) When removing the coated object from the coating device or moving it to the drying oven, there is a risk that the undried frit may be peeled off or the member itself may be damaged due to poor handling. .

【0020】このように、所望するフリットを得るに
は、上記のように無駄の多く、かつ、手間のかかる一連
の塗布および乾燥作業を、3回〜5回繰り返さなければ
ならないという極めて大きな問題点があった。
As described above, in order to obtain a desired frit, a series of wasteful and time-consuming coating and drying operations as described above must be repeated 3 to 5 times, which is a very big problem. was there.

【0021】さらに、吐出させるフリットには粒径数百
μm以下のガラス成分が含まれ、ニードルの吐出先端径
が数百μm程度であるため、フリットが凝集してニード
ルの先端や内部で目詰まりが起き、塗布時にフリットが
吐出されなかったり、塗布中にフリットが吐出されず吐
出パターンが段切れを起こしたりして、再現性・均一性
が悪いという問題点もあった。
Further, since the frit to be discharged contains a glass component having a particle size of several hundreds of μm or less and the diameter of the discharge tip of the needle is about several hundreds μm, the frit aggregates and becomes clogged at the tip of the needle or inside. As a result, the frit is not ejected at the time of application, or the frit is not ejected during application and the ejection pattern is stepped, resulting in poor reproducibility and uniformity.

【0022】したがって本発明は、上記従来技術の問題
点に鑑み、従来の無駄の多く、かつ手間のかかっていた
一連の塗布から乾燥までの作業を、同一装置上で作業を
中断させずに、塗布精度を確保して連続的に行なえる効
率の良い塗布装置およびこれを用いて製造される画像形
成装置を提供することを第1の目的としている。
Therefore, in view of the above-mentioned problems of the prior art, the present invention does not interrupt the work of a series of coating to drying, which has been wasteful and time-consuming in the prior art, on the same apparatus, without interruption. It is a first object of the present invention to provide an efficient coating apparatus which can ensure coating accuracy and can be continuously performed, and an image forming apparatus manufactured using the coating apparatus.

【0023】さらに本発明は、上記従来技術の問題点に
鑑み、目詰まりが少なく、再現性・均一性の良い、フリ
ットガラス混合体などの塗布装置およびこれを用いて製
造される画像形成装置を提供することを第2の目的とす
る。
Further, in view of the above-mentioned problems of the prior art, the present invention provides a coating apparatus for frit glass mixture or the like, which has less clogging, and has good reproducibility and uniformity, and an image forming apparatus manufactured using the coating apparatus. The second purpose is to provide.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、ペースト状材料を吐出するためのディスペ
ンサーと、被塗布部材を保持するステージとを備え、前
記ディスペンサーと前記ステージとを相対的に移動し前
記被塗布部材上に前記ペースト状材料を塗布する塗布装
置において、前記被塗布部材上に塗布したペースト状材
料を乾燥固化させるための局所加熱機構が一つ以上設け
られたことを特徴とする。
The present invention for achieving the above object comprises a dispenser for discharging a paste-like material and a stage for holding a member to be coated, and the dispenser and the stage are opposed to each other. In the coating device for moving the paste-like material onto the coating target member in a desired manner, one or more local heating mechanisms for drying and solidifying the paste-like material coating the coating target member are provided. Characterize.

【0025】上記塗布装置において、前記局所加熱機構
がスポット状あるいはライン状であってもよい。
In the above coating apparatus, the local heating mechanism may be spot-shaped or line-shaped.

【0026】また、前記ディスペンサーに前記ペースト
状材料を攪拌する攪拌機構が備えられたものや、前記ペ
ースト状材料を超音波振動させる超音波振動機構がさら
に設けられたものや、前記局所加熱機構に代えて、前記
ペースト状材料を超音波振動させる超音波振動機構が設
けられたものが好ましい。
Further, the dispenser is provided with a stirring mechanism for stirring the pasty material, the dispenser is further provided with an ultrasonic vibration mechanism for ultrasonically vibrating the pasty material, and the local heating mechanism is used. Instead, it is preferable to provide an ultrasonic vibration mechanism for ultrasonically vibrating the paste material.

【0027】そして前記超音波振動機構が、前記ペース
ト状材料に接するように前記ディスペンサー内に設けら
れたものであっても、また前記ディスペンサーの外側に
設けられたものであってもよい。
The ultrasonic vibration mechanism may be provided inside the dispenser so as to come into contact with the paste-like material, or may be provided outside the dispenser.

【0028】このような塗布装置において、前記ペース
ト状材料がフリットガラス混合体であることが好まし
く、このような塗布装置でフリットガラス混合体を用い
て製造された画像形成装置も本発明に属する。
In such a coating apparatus, the pasty material is preferably a frit glass mixture, and an image forming apparatus manufactured using such a coating apparatus using the frit glass mixture also belongs to the present invention.

【0029】[0029]

【作用】上記のとおりに構成された本発明では、ペース
ト状材料であるフリットガラス混合体を被塗布部材に塗
布し、その直後に同一装置に備えられた局所加熱機構に
よってフリットガラス混合体を乾燥固化することが可能
となる。
In the present invention configured as described above, the frit glass mixture which is a paste-like material is applied to the member to be coated, and immediately after that, the frit glass mixture is dried by the local heating mechanism provided in the same device. It becomes possible to solidify.

【0030】これにより、乾燥固化用の乾燥炉が不要と
なる。また、局所加熱機構なのでフリットそのものが短
時間で直接乾燥固化され、被塗布部材全体は加熱されず
冷却工程をほぼ省ける。
This eliminates the need for a drying oven for drying and solidifying. In addition, since the frit itself is directly dried and solidified in a short time because of the local heating mechanism, the entire member to be coated is not heated and the cooling step can be substantially omitted.

【0031】そして、乾燥作業が塗布装置上で行なわれ
ることで、高精度に位置合わせがなされている被塗布部
材を外すことなく、順次重ね塗りでき、フリット位置精
度を確保した自動化が達成される。
Since the drying operation is performed on the coating device, the coating can be successively performed without removing the member to be coated whose position is adjusted with high precision, and the automation can be achieved while ensuring the frit position accuracy. .

【0032】さらに、被塗布部材を塗布装置から取り外
したり乾燥炉に移動させたりすることがないので、未乾
燥のフリットを剥してしまったり、部材そのものを破損
させたりしてしまうという危険性はない。
Further, since the member to be coated is not removed from the coating apparatus or moved to the drying oven, there is no risk of peeling the undried frit or damaging the member itself. .

【0033】加えて、超音波振動機構や攪拌機構によ
り、ディスペンサー内でフリットガラス単体が凝集し
て、目詰まりを起こすことなく、塗布が行なえる。
In addition, the ultrasonic vibrating mechanism and the stirring mechanism allow the coating to be performed without causing clogging of the frit glass itself in the dispenser and causing clogging.

【0034】[0034]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0035】(第1の実施例)図1は、本発明の塗布装
置の第1の実施例を示す概略構成図である。
(First Embodiment) FIG. 1 is a schematic structural view showing a first embodiment of the coating apparatus of the present invention.

【0036】本実施例の塗布装置は、図1に示すよう
に、被塗布部材4を水平面内(図中XY平面内)で保持
するステージ5と、ステージ5を水平面内で三次元方向
に移動させるステージ駆動機構6と、ステージ駆動機構
6を制御する駆動制御部8と、ステージ5の上方に吐出
口となるニードル2を被塗布部材4に向けるようにして
固定され、容器内にペースト状材料であるフリット1が
充填されたディスペンサー3と、ディスペンサー3の上
端に固定され、ディスペンサー3の容器内に空気を送る
エアーホース9と、エアーホース9を通じて送る空気を
調節することでニードル2から吐出されるフリット1の
量を制御するディスペンサーコントローラー10と、デ
ィスペンサー3内部のフリット1の中に配され、フリッ
ト1に超音波振動を付与する超音波振動機構7と、超音
波振動機構7に超音波を発生させるための超音波発生用
電源11と、駆動・超音波振動などの動作を集中制御す
るコンピューター12とから構成されている。
In the coating apparatus of this embodiment, as shown in FIG. 1, a stage 5 for holding the member to be coated 4 in a horizontal plane (in the XY plane in the figure) and a stage 5 is moved in a three-dimensional direction in the horizontal plane. A stage drive mechanism 6 for controlling the stage drive mechanism 6, a drive control unit 8 for controlling the stage drive mechanism 6, and a needle 2 serving as a discharge port that is fixed above the stage 5 so as to face the member 4 to be coated. The dispenser 3 filled with the frit 1 which is, the air hose 9 fixed to the upper end of the dispenser 3 and sending air into the container of the dispenser 3, and the air sent through the air hose 9 are discharged from the needle 2. The dispenser controller 10 for controlling the amount of the frit 1 to be disposed and the frit 1 inside the dispenser 3 are arranged to apply ultrasonic vibration to the frit 1. The ultrasonic vibrating mechanism 7 is provided, an ultrasonic wave generating power source 11 for generating ultrasonic waves in the ultrasonic vibrating mechanism 7, and a computer 12 for centrally controlling operations such as driving and ultrasonic vibration. .

【0037】次に、図1、図9および図10を参照し、
上記構成の塗布装置の動作を説明する。
Next, referring to FIGS. 1, 9 and 10,
The operation of the coating apparatus having the above structure will be described.

【0038】図1において、フリット1を吐出させるニ
ードル2を備えたディスペンサー3の真下には、被塗布
部材4として、図9および図10に示したようなスペー
サーが配される画像形成装置の前面板あるいは背面板
が、ステージ5上にセットされている。このステージ5
はステージ駆動機構6により図中XYZ方向に自由に駆
動でき、ニードル2から吐出されたフリット1は被塗布
部材4上に任意のパターンで塗布することが可能であ
る。ステージ駆動機構6は駆動制御部8で制御し、フリ
ット1の吐出はディスペンサー3でエアーホース9から
の空気圧の供給をディスペンサーコントローラー10に
より制御して行なわれる。
In FIG. 1, in front of an image forming apparatus in which a spacer as shown in FIG. 9 and FIG. 10 is disposed as a member to be coated 4 just below a dispenser 3 equipped with a needle 2 for ejecting a frit 1. A face plate or a back plate is set on the stage 5. This stage 5
Can be freely driven in the XYZ directions in the figure by the stage drive mechanism 6, and the frit 1 discharged from the needle 2 can be applied onto the member 4 to be coated in an arbitrary pattern. The stage drive mechanism 6 is controlled by the drive controller 8, and the frit 1 is discharged by the dispenser 3 by controlling the supply of air pressure from the air hose 9 by the dispenser controller 10.

【0039】ディスペンサー3内部のフリット1中に
は、フリット1を超音波で振動させる超音波振動機構7
が配されており、ディスペンサー3で塗布してない間
は、超音波によりフリット1を振動させて目詰まりを防
止し、塗布する際は、超音波を止めてフリット1を塗布
することで、パターンを均一に再現性良く形成できた。
In the frit 1 inside the dispenser 3, an ultrasonic vibration mechanism 7 for vibrating the frit 1 by ultrasonic waves is used.
When the dispenser 3 is not applied, the frit 1 is vibrated by ultrasonic waves to prevent clogging, and when applying, the ultrasonic wave is stopped and the frit 1 is applied, so that the pattern Could be formed uniformly and with good reproducibility.

【0040】更に、以上述べたフリット塗布、ステージ
駆動、フリットの超音波印加の動作は、ディスペンサー
コントローラー10、駆動制御部8、超音波発生用電源
11をコンピューター12で集中制御することで、自動
化可能となる。
Further, the operations of frit application, stage drive, and ultrasonic application of frit described above can be automated by centrally controlling the dispenser controller 10, the drive control unit 8, and the ultrasonic power source 11 with the computer 12. Becomes

【0041】上記構成において、ディスペンサー3はエ
アー式に限られず、例えば、ボールねじとモーターとを
組み合わせた駆動手段にてシリンジ内のピストンを駆動
するなどのメカ式であってもよく、駆動法は適宜選択す
ればよい。
In the above structure, the dispenser 3 is not limited to the air type, but may be a mechanical type such as driving a piston in a syringe by a driving means combining a ball screw and a motor. It may be selected appropriately.

【0042】また、超音波振動機構7の位置はフリット
に接触しフリットが振動する所であれば、ディスペンサ
ー3容器内の上部、中部、またはニードル中であっても
よい。
The position of the ultrasonic vibrating mechanism 7 may be the upper part, the middle part, or the needle in the container of the dispenser 3 as long as it contacts the frit and vibrates the frit.

【0043】さらに、超音波の印加は、ディスペンサー
で塗布していない間だけでなく、ディスペンサーでフリ
ットを塗布している時に行なっても同様の効果が得られ
る。
Further, the same effect can be obtained not only when the ultrasonic wave is applied by the dispenser but also when the frit is applied by the dispenser.

【0044】本実施例では、超音波を用いてフリットガ
ラス混合体を振動させたが、本発明はこれに限られず、
ディスペンサー内でフリットガラス単体が凝集して固ま
らないようにするものであればよく、例えば超音波振動
機構に代えて、モーターとスクリューを組み合わせた攪
拌機構を備えてもよい。
In this embodiment, the frit glass mixture was vibrated by using ultrasonic waves, but the present invention is not limited to this.
It is only necessary to prevent the frit glass itself from aggregating and solidifying in the dispenser. For example, instead of the ultrasonic vibration mechanism, a stirring mechanism combining a motor and a screw may be provided.

【0045】(第2の実施例)図2は、本発明の塗布装
置の第2の実施例の構成を示す斜視図である。図3は、
図2に示した塗布装置の部分拡大図である。
(Second Embodiment) FIG. 2 is a perspective view showing the structure of a second embodiment of the coating apparatus of the present invention. Figure 3
It is a partially expanded view of the coating device shown in FIG.

【0046】本実施例の塗布装置は、図2および図3に
示すように、被塗布部材22を水平面内(図中XY平面
内)で保持するステージ21と、ステージ21の一端面
に図中X方向に配置されたX軸駆動リニアスライド23
と、X軸駆動リニアスライド23に一端部が固定されて
図中Y方向に延びるY軸駆動リニアスライド24と、Y
軸駆動リニアスライド24に固定されたZ軸駆動機構2
5と、吐出口となるニードル2を被塗布部材4に向ける
ようにしてZ軸駆動機構25に固定され、容器内にフリ
ット31が充填されたディスペンサー26と、ディスペ
ンサー3にX軸駆動リニアスライド25、Y軸駆動リニ
アスライド24およびZ軸駆動機構25を通して接続さ
れ、ディスペンサー26の容器内に空気を送るエアーホ
ース28と、エアーホース28を通じて送る空気を調節
することでニードル32から吐出されるフリット31の
量を制御するディスペンサーコントローラー29と、デ
ィスペンサー26容器の外側に配され、フリット31に
超音波振動を付与する超音波振動機構27と、駆動・超
音波振動などの動作を集中制御するコンピューター30
とから構成されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the coating apparatus of the present embodiment has a stage 21 for holding the member 22 to be coated in a horizontal plane (in the XY plane in the figure) and one end surface of the stage 21 in the figure. X-axis drive linear slide 23 arranged in the X direction
A Y-axis drive linear slide 24, one end of which is fixed to the X-axis drive linear slide 23 and extends in the Y direction in the drawing,
Z-axis drive mechanism 2 fixed to the axis-drive linear slide 24
5, a dispenser 26 fixed to the Z-axis drive mechanism 25 so that the needle 2 serving as a discharge port is directed toward the coating target member 4, and a frit 31 is filled in the container, and an X-axis drive linear slide 25 for the dispenser 3. , A Y-axis drive linear slide 24 and a Z-axis drive mechanism 25, and an air hose 28 for sending air into the container of the dispenser 26, and a frit 31 discharged from a needle 32 by adjusting the air sent through the air hose 28. A dispenser controller 29 for controlling the amount of liquid, an ultrasonic vibrating mechanism 27 arranged outside the container of the dispenser 26 for applying ultrasonic vibration to the frit 31, and a computer 30 for centrally controlling the operation such as driving and ultrasonic vibration.
It consists of and.

【0047】次に、図2、図3、図9および図10を参
照し、上記構成の塗布装置の動作を説明する。
Next, with reference to FIGS. 2, 3, 9 and 10, the operation of the coating apparatus having the above construction will be described.

【0048】図2および図3において、フリット31を
吐出させるニードル32を備えたディスペンサー26の
真下には、被塗布部材22として、図9および図10に
示したようなスペーサーが配される画像形成装置の前面
板あるいは背面板が、ステージ21上にセットされてい
る。このステージ21は固定されており、ディスペンサ
ー26がX軸駆動リニアスライド23、Y軸駆動リニア
スライド24、Z軸駆動機構25により図中XYZ方向
に自由に駆動でき、ニードル32から吐出されたフリッ
ト31は被塗布部材22上に任意のパターンで塗布する
ことが可能である。XYZ軸の駆動機構は、装置内に内
蔵されている駆動制御部で制御され、フリット31の吐
出はディスペンサー26でエアーホース28からの空気
圧の供給をディスペンサーコントローラー29により制
御して行なわれる。
In FIGS. 2 and 3, an image is formed in which a spacer as shown in FIG. 9 and FIG. 10 is disposed as a member 22 to be coated just below a dispenser 26 equipped with a needle 32 for ejecting a frit 31. The front plate or the back plate of the device is set on the stage 21. The stage 21 is fixed, and the dispenser 26 can be freely driven in the XYZ directions in the drawing by the X-axis drive linear slide 23, the Y-axis drive linear slide 24, and the Z-axis drive mechanism 25, and the frit 31 discharged from the needle 32. Can be applied in any pattern on the member 22 to be coated. The XYZ axis drive mechanism is controlled by a drive control unit incorporated in the apparatus, and the discharge of the frit 31 is performed by the dispenser 26 controlling the supply of air pressure from the air hose 28 by the dispenser controller 29.

【0049】ディスペンサー26容器の外側には、フリ
ット31を超音波で振動させる超音波振動機構27が設
置されており、ディスペンサー26で塗布してない間
は、超音波によりフリット31を振動させて目詰まりを
防止し、塗布する際は、超音波を止めてフリットを塗布
することで、パターンを均一に再現性良く形成できた。
An ultrasonic vibrating mechanism 27 for vibrating the frit 31 with ultrasonic waves is installed outside the container of the dispenser 26. While the dispenser 26 is not applying the ultrasonic vibrating mechanism 27, the frit 31 is vibrated by ultrasonic waves. By preventing clogging and stopping the ultrasonic wave and applying the frit at the time of application, the pattern could be formed uniformly and with good reproducibility.

【0050】更に、以上述べたフリット塗布、ステージ
駆動、フリットの超音波印加の動作は、ディスペンサー
コントローラー12と装置内に内蔵されている駆動制御
部および超音波発生用電源とをコンピューター30で集
中制御することで、自動化可能となる。
Further, in the operations of frit application, stage drive, and ultrasonic application of frit described above, the computer 30 centrally controls the dispenser controller 12, the drive control unit and the ultrasonic power source incorporated in the apparatus. By doing so, automation becomes possible.

【0051】上記構成において、ディスペンサーはエア
ー式に限られず、例えば、ボールねじとモーターとを組
み合わせた駆動手段にてシリンジ内のピストンを駆動す
るなどのメカ式であってもよく、駆動方式は適宜選択す
ればよい。
In the above structure, the dispenser is not limited to the air type, but may be a mechanical type such as driving a piston in a syringe by a driving means combining a ball screw and a motor. Just select it.

【0052】また、超音波振動機構27の位置は、フリ
ット31が超音波振動すればデイスペンサー26容器の
外部に限られず、内部であってもよい。さらに、ディス
ペンサー26容器の外部でもニードルと容器の接続部3
3であるとより有効である。
The position of the ultrasonic vibrating mechanism 27 is not limited to the outside of the dispenser 26 container as long as the frit 31 vibrates ultrasonically, but may be inside. In addition, the connection part 3 between the needle and the container is provided outside the dispenser 26 container.
A value of 3 is more effective.

【0053】本実施例では、超音波を用いてフリットガ
ラス混合体を振動させたが、本発明はこれに限られず、
ディスペンサー内でフリットガラス単体が凝集して固ま
らないようにするものであればよく、例えば超音波振動
機構に代えて、モーターとスクリューを組み合わせた攪
拌機構を備えてもよい。
In this embodiment, the frit glass mixture was vibrated by using ultrasonic waves, but the present invention is not limited to this.
It is only necessary to prevent the frit glass itself from aggregating and solidifying in the dispenser. For example, instead of the ultrasonic vibration mechanism, a stirring mechanism combining a motor and a screw may be provided.

【0054】(第3の実施例)図4は、本発明の塗布装
置の第3の実施例を示す概略構成図である。
(Third Embodiment) FIG. 4 is a schematic constitutional view showing a third embodiment of the coating apparatus of the present invention.

【0055】本実施例の塗布装置は、図4に示すよう
に、被塗布部材45を水平面内(図中XY平面内)で保
持するステージ46と、ステージ46を水平面内で三次
元方向に移動させるステージ駆動機構47と、ステージ
駆動機構47を制御する駆動制御部48と、ステージ4
6の上方に吐出口となるニードル42を被塗布部材45
に向けるようにして固定され、容器内にフリット41が
充填されたディスペンサー43と、ディスペンサー43
に取り付けられ、フリット41の凝集を防ぐためにフリ
ット41を攪拌する攪拌機構44と、ディスペンサー4
3の上端に固定され、ディスペンサー43の容器内に空
気を送るエアーホース52と、エアーホース52を通じ
て送る空気を調節することでニードル42から吐出され
るフリット41の量を制御するディスペンサーコントロ
ーラー53と、被塗布部材45上に塗布された直後のフ
リット41に熱を導くための局所加熱機構49と、局所
加熱機構49へ導かれる熱を発生させる熱源50と、熱
源50に接続された加熱用電源51と、駆動・塗布・加
熱などの動作を集中制御するコンピューター54とから
構成されている。
In the coating apparatus of this embodiment, as shown in FIG. 4, a stage 46 for holding the member 45 to be coated in a horizontal plane (in the XY plane in the figure) and a stage 46 moved in a three-dimensional direction in the horizontal plane. The stage drive mechanism 47, the drive controller 48 for controlling the stage drive mechanism 47, and the stage 4
6, a needle 42 serving as a discharge port is provided above the member 6
And a dispenser 43 that is fixed so that the frit 41 is filled in the container,
And a dispenser 4 which is attached to the stirrer 44 for stirring the frit 41 to prevent the frit 41 from aggregating.
An air hose 52 that is fixed to the upper end of 3 and sends air into the container of the dispenser 43, and a dispenser controller 53 that controls the amount of the frit 41 discharged from the needle 42 by adjusting the air sent through the air hose 52, A local heating mechanism 49 for guiding heat to the frit 41 immediately after being coated on the member 45 to be coated, a heat source 50 for generating heat to be guided to the local heating mechanism 49, and a heating power source 51 connected to the heat source 50. And a computer 54 that centrally controls operations such as driving, coating, and heating.

【0056】次に、図4、図9および図10を参照し、
上記構成の塗布装置の動作を説明する。
Next, referring to FIGS. 4, 9 and 10,
The operation of the coating apparatus having the above structure will be described.

【0057】図4において、フリット41を吐出させる
ニードル42を備えたディスペンサー43の真下には、
被塗布部材45として、図9および図10に示したよう
なスペーサーが配される画像形成装置の前面板あるいは
背面板が、ステージ46上にセットされている。ディス
ペンサー43内のフリット41は、必要に応じて攪拌機
構44でフリット41の凝集を防ぐために攪拌される。
In FIG. 4, just below a dispenser 43 having a needle 42 for discharging a frit 41,
As the coated member 45, the front plate or the rear plate of the image forming apparatus in which the spacers shown in FIGS. 9 and 10 are arranged is set on the stage 46. The frit 41 in the dispenser 43 is agitated by the agitation mechanism 44 to prevent the frit 41 from aggregating, if necessary.

【0058】ステージ46はステージ駆動機構47によ
り図中XYZ方向に自由に駆動でき、ニードル42から
吐出されたフリット41は被塗布部材45上に任意のパ
ターンで塗布することが可能である。ステージ駆動機構
47は駆動制御部48で制御し、フリット41の吐出は
ディスペンサー43でエアーホース52からの空気圧の
供給をディスペンサーコントローラー53により制御し
て行なわれる。
The stage 46 can be freely driven in the XYZ directions in the figure by the stage drive mechanism 47, and the frit 41 discharged from the needle 42 can be applied on the member 45 to be coated in an arbitrary pattern. The stage drive mechanism 47 is controlled by the drive control unit 48, and the frit 41 is discharged by the dispenser 43 controlling the supply of air pressure from the air hose 52 by the dispenser controller 53.

【0059】ディスペンサー43の近傍には、熱源50
により発生する熱を塗布されたフリット41に導くため
の局所加熱機構49が設置されており、この局所加熱機
構49は、ディスペンサー43で塗布された直後のフリ
ット41を同一装置上にて速やかに乾燥固化できる。熱
源50は加熱用電源51により駆動されている。これら
の具体的な加熱手段としては、キセノンランプを熱源5
0とし、ガラスファイバーで局所加熱機構49を構成す
ることで、スポット状に加熱することができる。また、
この加熱で、被塗布部材全体が温度上昇することはな
い。
A heat source 50 is provided near the dispenser 43.
A local heating mechanism 49 for guiding the heat generated by the applied frit 41 to the applied frit 41 is installed. The local heating mechanism 49 quickly dries the frit 41 immediately after being applied by the dispenser 43 on the same device. Can be solidified. The heat source 50 is driven by a heating power source 51. As a specific heating means for these, a xenon lamp is used as the heat source 5.
When the local heating mechanism 49 is set to 0 and the glass fiber constitutes the local heating mechanism 49, heating can be performed in a spot shape. Also,
This heating does not raise the temperature of the entire member to be coated.

【0060】重ね塗りに関しては、フリット41の乾燥
固化が塗布とほぼ同時に終了し、被塗布部材45の冷却
も不要なので、連続して重ね塗りができる。
Regarding overcoating, the drying and solidification of the frit 41 is completed almost at the same time as the application, and the member 45 to be coated need not be cooled, so that overcoating can be continuously performed.

【0061】さらに、以上述べたフリット塗布、ステー
ジ駆動、フリット加熱の動作は、ディスペンサーコント
ローラー53、駆動制御部48、加熱用電源51をコン
ピューター54で集中制御することで、塗布−乾燥−重
ね塗りの一連の繰返し作業が全て自動化可能となる。
Further, the operations of frit coating, stage drive, and frit heating described above are performed by centrally controlling the dispenser controller 53, the drive control unit 48, and the heating power source 51 by the computer 54, so that coating-drying-overcoating can be performed. A series of repetitive work can be automated.

【0062】上記構成において、ディスペンサー43お
よび局所加熱機構49側を固定し、ステージ駆動として
いるが、逆にステージ側を固定し、ディスペンサー43
および局所加熱機構49側を三次元に駆動しても一向に
構わず、ステージ固定の方がより大きな被塗布部材に対
応でき、さらにステージ側駆動と、ディスペンサーおよ
び局所加熱機構側駆動とを併用してもなんら問題はな
く、被塗布部材のサイズなど種々の条件を考慮して駆動
方法は適宜選択すれば良い。
In the above structure, the dispenser 43 and the local heating mechanism 49 side are fixed and the stage is driven, but conversely, the stage side is fixed and the dispenser 43 is fixed.
Also, it does not matter whether the local heating mechanism 49 side is three-dimensionally driven, the stage fixing can cope with a larger member to be coated, and the stage side driving and the dispenser and local heating mechanism side driving are used in combination. There is no problem at all, and the driving method may be appropriately selected in consideration of various conditions such as the size of the member to be coated.

【0063】攪拌機構は、ディスペンサー内のペースト
成分の分離が激しい場合に適用すれば良く、スクリュー
式などどのようなものでも構わない。もちろん第1およ
び第2の実施例で説明した超音波振動機構を設けても構
わない。
The stirring mechanism may be applied when the paste components in the dispenser are severely separated, and any type such as a screw type may be used. Of course, the ultrasonic vibration mechanism described in the first and second embodiments may be provided.

【0064】また、塗布速度と乾燥速度に時間的な差が
大きければ、ディスペンサーと局所加熱機構の駆動を独
立させ、塗布と乾燥を個別に行なえるようにすれば様々
なフリット塗布と乾燥に対して柔軟に対応できる。
Further, if there is a large time difference between the coating speed and the drying speed, the dispenser and the local heating mechanism can be driven independently so that the coating and the drying can be performed separately, and various frit coatings and dryings can be performed. And can respond flexibly.

【0065】加熱手段に関しても、上記の「キセノンラ
ンプ+ガラスファイバー」の組み合わせによるスポット
加熱に限定されるものではなく、ヒーターとファンを組
み合わせた温風を局所的に当てたり、レーザーを用いた
りするなどのスポット加熱法や、赤外ランプやハロゲン
ランプを単体あるいは複数照射してライン状に加熱して
もよく、被塗布部材全体が加熱されないようなあらゆる
スポット状、ライン状の局所加熱法が適用できる。
The heating means is not limited to the spot heating by the combination of the above-mentioned "xenon lamp + glass fiber", and a hot air combining a heater and a fan is locally applied or a laser is used. Spot heating method such as, and infrared or halogen lamp single or multiple irradiation may be used to heat in a line, and any spot-shaped or line-shaped local heating method that does not heat the entire coated member is applied. it can.

【0066】以上述べた中から、ステージ固定・ディス
ペンサー駆動、ディスペンサーと局所加熱機構の駆動が
独立で、局所加熱がライン状とした装置を第4の実施例
に示す。
From the above description, a fourth embodiment shows an apparatus in which the stage fixing / dispenser drive, the dispenser and the local heating mechanism are driven independently, and the local heating is performed in line.

【0067】(第4の実施例)図5は、本発明の塗布装
置の第4の実施例の構成を示す斜視図である。図6は、
図5に示した塗布装置の部分拡大図である。
(Fourth Embodiment) FIG. 5 is a perspective view showing the structure of a fourth embodiment of the coating apparatus of the present invention. Figure 6
It is a partially expanded view of the coating device shown in FIG.

【0068】本実施例の塗布装置は、図5および図6に
示すように、被塗布部材62を水平面内(図中XY平面
内)で保持するステージ63と、ステージ63の一端面
に図中X方向に配置されたX軸駆動リニアスライド64
と、X軸駆動リニアスライド64に一端部が固定されて
図中Y方向に延びるY軸駆動リニアスライド65と、Y
軸駆動リニアスライド65に固定されたZ軸駆動機構6
6と、X軸駆動リニアスライド64に固定されて図中Y
方向にX軸駆動リニアスライド64と平行に延びるライ
ン状加熱機構69と、吐出口となるニードル72を被塗
布部材62に向けるようにしてZ軸駆動機構66に固定
され、容器内にフリット71が充填されたディスペンサ
ー61と、ディスペンサー61にX軸駆動リニアスライ
ド64、Y軸駆動リニアスライド65およびZ軸駆動機
構66を通して接続され、ディスペンサー61の容器内
に空気を送るエアーホース67と、エアーホース67を
通じて送る空気を調節することでニードル72から吐出
されるフリット71の量を制御するディスペンサーコン
トローラー68と、駆動・超音波振動などの動作を集中
制御するコンピューター30とから構成されている。
As shown in FIGS. 5 and 6, the coating apparatus of the present embodiment has a stage 63 for holding the member 62 to be coated in a horizontal plane (in the XY plane in the figure), and one end surface of the stage 63 in the figure. X-axis drive linear slide 64 arranged in the X direction
A Y-axis drive linear slide 65 whose one end is fixed to the X-axis drive linear slide 64 and extends in the Y direction in the drawing,
Z-axis drive mechanism 6 fixed to the axis-drive linear slide 65
6 and Y fixed in the X-axis drive linear slide 64
The linear heating mechanism 69 extending in the direction parallel to the X-axis drive linear slide 64, and the needle 72 serving as a discharge port are fixed to the Z-axis drive mechanism 66 so as to face the coating target member 62, and the frit 71 is provided in the container. A filled dispenser 61, an air hose 67 connected to the dispenser 61 through an X-axis drive linear slide 64, a Y-axis drive linear slide 65, and a Z-axis drive mechanism 66, and sending air into the container of the dispenser 61, and an air hose 67. The dispenser controller 68 controls the amount of the frit 71 ejected from the needle 72 by adjusting the air sent through the computer, and the computer 30 that centrally controls the operation such as driving and ultrasonic vibration.

【0069】次に、図5、図6、図9および図10を参
照し、上記構成の塗布装置の動作を説明する。
Next, with reference to FIGS. 5, 6, 9 and 10, the operation of the coating apparatus having the above construction will be described.

【0070】図5および図6において、フリット71を
吐出させるニードル72を備えたディスペンサー61の
真下には、被塗布部材62として、図9および図10に
示したようなスペーサーが配される画像形成装置の前面
板あるいは背面板が、ステージ63上にセットされてい
る。ディスペンサー61内のフリット71は、必要に応
じて攪拌機構73でフリット71の凝集を防ぐために攪
拌される。
In FIG. 5 and FIG. 6, an image forming in which a spacer as shown in FIG. 9 and FIG. 10 is disposed as a member 62 to be coated just below a dispenser 61 equipped with a needle 72 for ejecting a frit 71. The front plate or back plate of the device is set on the stage 63. The frit 71 in the dispenser 61 is agitated by the agitation mechanism 73 as needed to prevent the frit 71 from aggregating.

【0071】このステージ63は固定で、ディスペンサ
ー61がX軸駆動リニアスライド64、Y軸駆動リニア
スライド65およびZ軸駆動機構66によりXYZ方向
に自由に駆動でき、ニードル72から吐出されたフリッ
ト71は被塗布部材62上に任意のパターンで塗布する
ことが可能である。XYZ軸の駆動機構は、装置内に内
蔵されている駆動制御部で制御され、フリット71の吐
出はディスペンサー61でエアーホース67からの空気
圧の供給をディスペンサーコントローラー68により制
御して行なわれる。
The stage 63 is fixed, the dispenser 61 can be freely driven in the XYZ directions by the X-axis drive linear slide 64, the Y-axis drive linear slide 65 and the Z-axis drive mechanism 66, and the frit 71 discharged from the needle 72 is It is possible to apply an arbitrary pattern on the member 62 to be coated. The XYZ axis drive mechanism is controlled by a drive control unit incorporated in the apparatus, and the discharge of the frit 71 is performed by the dispenser 61 controlling the supply of air pressure from the air hose 67 by the dispenser controller 68.

【0072】ハロゲンランプを直線状に並べたライン状
加熱機構69がX軸駆動リニアスライド64に取り付け
られ、X軸方向に移動できるようになっている。この機
構によって、図中Y方向における被塗布部材62の表面
上を順次加熱でき、ディスペンサー61で直線状に塗布
された直後のフリット71を同一装置上で速やかに乾燥
固化ができる。この場合、ディスペンサー61とライン
状加熱機構69とは独立して駆動できるので、塗布速度
と乾燥速度を任意にきめ細かく設定できる。また、この
ライン状加熱機構69の電源およびXYZ軸駆動機構の
駆動制御部は、装置内に内蔵されたものが用いられる。
A linear heating mechanism 69 in which halogen lamps are linearly arranged is attached to the X-axis drive linear slide 64 so that it can be moved in the X-axis direction. By this mechanism, the surface of the coated member 62 in the Y direction in the figure can be sequentially heated, and the frit 71 immediately after being linearly coated by the dispenser 61 can be rapidly dried and solidified on the same device. In this case, since the dispenser 61 and the linear heating mechanism 69 can be driven independently, the coating speed and the drying speed can be set arbitrarily and finely. The power source of the linear heating mechanism 69 and the drive control unit of the XYZ axis drive mechanism are those built in the device.

【0073】この加熱で、塗布部材全体が温度上昇する
ことなく、重ね塗りに関しては、フリットの乾燥固化が
塗布とほぼ同時に終了し、被塗布部材の冷却も不要なの
で、連続して重ね塗りを行なうことができる。
With this heating, the temperature of the entire coating member does not rise, and with respect to overcoating, the drying and solidification of the frit is completed almost at the same time as the application, and the member to be coated is not required to be cooled. be able to.

【0074】さらに、以上述べたフリット塗布、ステー
ジ駆動、フリット加熱の動作は、ディスペンサーコント
ローラー68と装置内に内蔵されている駆動制御部およ
び加熱用電源をコンピューター70とで集中制御するこ
とで、塗布−乾燥−重ね塗りの一連の繰返し作業が全て
自動化可能となる。
Further, the operations of frit coating, stage driving, and frit heating described above are performed by centrally controlling the dispenser controller 68, the drive control unit and the heating power source built in the apparatus with the computer 70. -A series of repetitive operations of drying and recoating can be automated.

【0075】本実施例では、フリットの凝集を防ぐため
に攪拌機構を用いているが、もちろん第1および第2の
実施例で説明した超音波振動機構を設けても構わない。
In this embodiment, the stirring mechanism is used to prevent the frit from aggregating, but of course, the ultrasonic vibration mechanism described in the first and second embodiments may be provided.

【0076】(第5の実施例)図7は、図5に示したデ
ィスペンサーの一変形例を示している。
(Fifth Embodiment) FIG. 7 shows a modification of the dispenser shown in FIG.

【0077】図7では、第4の実施例で説明したものと
同一部分について同じ符号を付しており、ここでは、第
4の実施例と同一部分の説明は省略する。
In FIG. 7, the same parts as those described in the fourth embodiment are designated by the same reference numerals, and the description of the same parts as those in the fourth embodiment is omitted here.

【0078】本実施例では、図7に示すようにディスペ
ンサー74を複数個(この場合3個)設置したマルチデ
ィスペンサー方式とし、塗布効率を向上させたものであ
る。ディスペンサー74の個数は塗布パターンに応じて
任意に選択すれば良い。
In the present embodiment, as shown in FIG. 7, a multi-dispenser system in which a plurality of dispensers 74 (three in this case) are installed is adopted to improve the coating efficiency. The number of dispensers 74 may be arbitrarily selected according to the coating pattern.

【0079】この構成で、第4の実施例と同様に動作さ
せれば、より効率の良い塗布が可能となる。
With this structure, if it is operated in the same manner as in the fourth embodiment, more efficient coating becomes possible.

【0080】また、本実施例では、一つのライン状加熱
機構のみが設けられているだけだが、ディスペンサーの
個数に応じて、スポット状あるいはライン状加熱機構を
複数個設けても構わない。
Although only one line-shaped heating mechanism is provided in this embodiment, a plurality of spot-shaped or line-shaped heating mechanisms may be provided depending on the number of dispensers.

【0081】(第6の実施例)図8は、図6に示したニ
ードルの一変形例を示している。
(Sixth Embodiment) FIG. 8 shows a modification of the needle shown in FIG.

【0082】図8では、第4の実施例で説明したものと
同一部分について同じ符号を付しており、ここでは、第
4の実施例と同一部分の説明は省略する。
In FIG. 8, the same parts as those described in the fourth embodiment are designated by the same reference numerals, and the description of the same parts as those in the fourth embodiment is omitted here.

【0083】本実施例では、ニードル75の吐出口を複
数個(この場合5個)としたマルチノズル方式で、細か
な塗布パターンを効率良く描くようにしたものである。
ニードル75の吐出口数は塗布パターンに応じて任意に
選択すれば良い。
In the present embodiment, a multi-nozzle system in which a plurality of ejection ports of the needle 75 (five in this case) is used to efficiently draw a fine coating pattern.
The number of outlets of the needle 75 may be arbitrarily selected according to the coating pattern.

【0084】この構成で、第4の実施例と同様に動作さ
せれば、より微細なパターンを効率良く塗布することが
可能となる。
With this structure, if the same operation as in the fourth embodiment is performed, it becomes possible to efficiently apply a finer pattern.

【0085】また、本実施例の場合も、マルチノズルの
吐出口数に対応させて複数の加熱機構を設けることもで
きる。
Also in the case of this embodiment, a plurality of heating mechanisms can be provided in correspondence with the number of ejection openings of the multi-nozzle.

【0086】(第7の実施例)次に、第3乃至第6の実
施例で説明した塗布装置を用い、スペーサーを前面板ま
たは背面板に接着するためにフリット塗布を実施し、画
像形成装置を作成した場合の一例を説明する。
(Seventh Embodiment) Next, using the coating apparatus described in the third to sixth embodiments, frit coating is carried out to bond the spacer to the front plate or the rear plate, and the image forming apparatus is formed. An example of the case in which is created will be described.

【0087】スペーサーは40×4×0.2mmのガラ
スを用い、フリットはLS−3081(日本電気硝子
製)をターピネオールに溶解して使用した。
Glass of 40 × 4 × 0.2 mm was used as a spacer, and LS-3081 (manufactured by Nippon Electric Glass) was used as a frit by dissolving it in terpineol.

【0088】第3乃至第6の実施例の塗布装置で上記フ
リットの塗布−乾燥の一連の作業を繰返したところ、塗
布したフリットは幅・高さともに0.2mmで、位置精
度も±5μm以内に収めることができた。
When the series of operations for applying and drying the frit described above was repeated by the application apparatus of the third to sixth embodiments, the applied frit had a width and height of 0.2 mm, and the positional accuracy was within ± 5 μm. I was able to fit in.

【0089】これにより、画像形成装置内の所定の位置
にスペーサーを立てた画像形成装置を作成することがで
きた。
As a result, it was possible to prepare an image forming apparatus in which a spacer was set up at a predetermined position in the image forming apparatus.

【0090】[0090]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、被塗布部
材上に塗布したペースト状材料を乾燥固化させるための
局所加熱機構が一つ以上設けられたことにより、乾燥固
化用の乾燥炉が不要である。
As described above, according to the present invention, since at least one local heating mechanism for drying and solidifying the paste-like material applied on the member to be coated is provided, a drying furnace for drying and solidifying is provided. It is unnecessary.

【0091】また、局所加熱機構によりペースト状材料
そのものが短時間で直接乾燥固化でき、かつ、被塗布部
材全体は加熱されず冷却工程をほぼ省ける為、作業時間
が大幅に短縮する。
Further, since the paste material itself can be directly dried and solidified in a short time by the local heating mechanism, and the entire coated member is not heated and the cooling step can be substantially omitted, the working time can be greatly shortened.

【0092】そして、乾燥作業も塗布装置上でできる
為、高精度に位置合わせがなされている被塗布部材を外
すことなく、順次重ね塗りでき、位置精度を確保した上
で全自動化を実施できる。
Further, since the drying work can be performed on the coating apparatus, the coating can be successively carried out without removing the member to be coated which is aligned with high accuracy, and the position automation can be ensured and the full automation can be carried out.

【0093】さらに、被塗布部材を塗布装置から取り外
したり乾燥炉に移動させたりすることがないので、未乾
燥のペースト材料を剥してしまったり、被塗布部材その
ものを破損させたりしてしまうという危険性を回避する
ことができる。
Further, since the member to be coated is not removed from the coating apparatus or moved to the drying oven, there is a risk of stripping the undried paste material or damaging the member to be coated itself. Sexuality can be avoided.

【0094】加えて本発明は、ディスペンサーに攪拌機
構や超音波振動機構を設けたことにより、ディスペンサ
ー内でフリットガラス単体が凝集して、目詰まりを起こ
すことなく、再現性・均一性の良い塗布が行なえる。
In addition, according to the present invention, since the dispenser is provided with the stirring mechanism and the ultrasonic vibration mechanism, the frit glass alone is not aggregated in the dispenser to cause clogging, and the coating is excellent in reproducibility and uniformity. Can be done.

【0095】そして本発明は、ペースト材料がフリット
ガラス混合体の場合、より効果的であり、このフリット
ガラス混合体を用いた画像形成装置の組み立てにて、ス
ペーサーを高精度に固定できるなどの優れた効果を奏す
る。
The present invention is more effective when the paste material is a frit glass mixture, and is excellent in that the spacer can be fixed with high precision in the assembly of the image forming apparatus using this frit glass mixture. Produce the effect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の塗布装置の第1の実施例を示す概略構
成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment of a coating apparatus of the present invention.

【図2】本発明の塗布装置の第2の実施例の構成を示す
斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of a second embodiment of the coating apparatus of the present invention.

【図3】図2に示した塗布装置の部分拡大図である。3 is a partially enlarged view of the coating device shown in FIG.

【図4】本発明の塗布装置の第3の実施例を示す概略構
成図である。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a third embodiment of the coating apparatus of the present invention.

【図5】本発明の塗布装置の第4の実施例の構成を示す
斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing the configuration of a fourth embodiment of the coating apparatus of the present invention.

【図6】図5に示した塗布装置の部分拡大図である。6 is a partially enlarged view of the coating device shown in FIG.

【図7】図5に示したディスペンサーの一変形例を示し
た図である。
FIG. 7 is a diagram showing a modification of the dispenser shown in FIG.

【図8】図6に示したニードルの一変形例を示した図で
ある。
8 is a diagram showing a modification of the needle shown in FIG.

【図9】従来の画像形成装置の構成を説明するための分
解斜視図である。
FIG. 9 is an exploded perspective view for explaining the configuration of a conventional image forming apparatus.

【図10】図9に示した画像形成装置の縦断面図であ
る。
10 is a vertical cross-sectional view of the image forming apparatus shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,31,41,71 フリット 2,32,42,72,75 ニードル 3,26,43,61,74 ディスペンサー 4,22,45,62 被塗布部材 5,21,46,63 ステージ 6,47 ステージ駆動機構 7,27 超音波振動機構 8,48 駆動制御部 9,28,52,67 エアーホース 10,29,53,68 ディスペンサーコントロー
ラー 11 超音波発生用電源 12,30,54,70 コンピューター 23,64 X軸駆動リニアスライド 24,65 Y軸駆動リニアスライド 25,66 Z軸駆動機構 33 ニ−ドルと容器の接続部 44,73 攪拌機構 49 局所加熱機構 50 熱源 51 加熱用電源 69 ライン状加熱機構
1, 31, 41, 71 Frit 2, 32, 42, 72, 75 Needle 3, 26, 43, 61, 74 Dispenser 4, 22, 45, 62 Member to be coated 5, 21, 46, 63 Stage 6, 47 Stage Drive mechanism 7,27 Ultrasonic vibration mechanism 8,48 Drive control unit 9,28,52,67 Air hose 10,29,53,68 Dispenser controller 11 Ultrasonic wave generation power source 12,30,54,70 Computer 23,64 X-axis drive linear slide 24,65 Y-axis drive linear slide 25,66 Z-axis drive mechanism 33 Connection part between needle and container 44,73 Stirring mechanism 49 Local heating mechanism 50 Heat source 51 Heating power supply 69 Line-shaped heating mechanism

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ペースト状材料を吐出するためのディス
ペンサーと、被塗布部材を保持するステージとを備え、
前記ディスペンサーと前記ステージとを相対的に移動し
前記被塗布部材上に前記ペースト状材料を塗布する塗布
装置において、 前記被塗布部材上に塗布したペースト状材料を乾燥固化
させるための局所加熱機構が一つ以上設けられたことを
特徴とする塗布装置。
1. A dispenser for discharging a paste-like material, and a stage for holding a member to be coated,
In a coating device that relatively moves the dispenser and the stage to coat the paste-like material on the member to be coated, a local heating mechanism for drying and solidifying the paste-like material coated on the member to be coated is One or more coating devices are provided.
【請求項2】 前記局所加熱機構がスポット状あるいは
ライン状であることを特徴とする、請求項1に記載の塗
布装置。
2. The coating apparatus according to claim 1, wherein the local heating mechanism has a spot shape or a line shape.
【請求項3】 前記ディスペンサーに前記ペースト状材
料を攪拌する攪拌機構が備えられたことを特徴とする、
請求項1または2に記載の塗布装置。
3. The dispenser is provided with a stirring mechanism for stirring the paste-like material,
The coating device according to claim 1 or 2.
【請求項4】 前記ペースト状材料を超音波振動させる
超音波振動機構がさらに設けられたことを特徴とする、
請求項1または2に記載の塗布装置。
4. An ultrasonic vibration mechanism for ultrasonically vibrating the paste material is further provided.
The coating device according to claim 1 or 2.
【請求項5】 前記局所加熱機構に代えて、前記ペース
ト状材料を超音波振動させる超音波振動機構が設けられ
たことを特徴とする、請求項1または2に記載の塗布装
置。
5. The coating apparatus according to claim 1, wherein an ultrasonic vibration mechanism for ultrasonically vibrating the paste-like material is provided instead of the local heating mechanism.
【請求項6】 前記超音波振動機構が、前記ペースト状
材料に接するように前記ディスペンサー内に設けられた
ことを特徴とする、請求項4または5に記載の塗布装
置。
6. The coating apparatus according to claim 4, wherein the ultrasonic vibration mechanism is provided in the dispenser so as to be in contact with the paste-like material.
【請求項7】 前記超音波振動機構が、前記ディスペン
サーの外側に設けられたことを特徴とする、請求項4ま
たは5に記載の塗布装置。
7. The coating apparatus according to claim 4, wherein the ultrasonic vibration mechanism is provided outside the dispenser.
【請求項8】 前記ペースト状材料がフリットガラス混
合体であることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれ
か1項に記載の塗布装置。
8. The coating apparatus according to claim 1, wherein the paste material is a frit glass mixture.
【請求項9】 請求項8に記載の塗布装置を用いて製造
された画像形成装置。
9. An image forming apparatus manufactured using the coating apparatus according to claim 8.
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