JPH07296406A - Mirror driving device - Google Patents

Mirror driving device

Info

Publication number
JPH07296406A
JPH07296406A JP8324594A JP8324594A JPH07296406A JP H07296406 A JPH07296406 A JP H07296406A JP 8324594 A JP8324594 A JP 8324594A JP 8324594 A JP8324594 A JP 8324594A JP H07296406 A JPH07296406 A JP H07296406A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
coil
mirror holder
leaf spring
driving device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8324594A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshihiro Igawa
喜博 井川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP8324594A priority Critical patent/JPH07296406A/en
Publication of JPH07296406A publication Critical patent/JPH07296406A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To reduce temperature drift caused by rotation of a reflection surface due to temperature variation and to improve easiness of assembling. CONSTITUTION:A coil 23d is buried covering an outer peripheral surface and one of openings of the coil 23d by a mirror holder 23 consisting of insulation resin. Further, the coil 23d and a conductive leaf spring 22 are mounted to the mirror holder 23 by holding and fixing the conductive leaf spring 22 provided at both sides of the mirror holder 23 respectively and being a mirror rotation shaft between a conductive resin member 26 and the mirror holder 23. Also, at the time, the coil 23d is electrically connected to the conductive leaf spring 22 by holding a line end part 23b of the coil 23d between the conductive leaf spring 22 and the conductive resin member 22.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は記録媒体に情報を光学的
に記録または再生する光ディスク装置のトラッキングア
クチュエータとして用いるミラー駆動装置に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mirror driving device used as a tracking actuator of an optical disk device for optically recording or reproducing information on a recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、対物レンズで絞られるレーザ光を
ディスクのトラッキング方向へ制御するアクチュエータ
として、ミラー駆動装置が用いられている。このような
ミラー駆動装置においては、光ディスク装置の小型・薄
型化要求の高まりとともに、装置内に不要磁界を生じさ
せにくいムービングコイル型のものが多用されてきてい
る。
2. Description of the Related Art In recent years, a mirror driving device has been used as an actuator for controlling a laser beam focused by an objective lens in a tracking direction of a disk. In such a mirror driving device, a moving coil type device, which is hard to generate an unnecessary magnetic field in the device, has been widely used along with an increasing demand for downsizing and thinning of an optical disk device.

【0003】以下図面を参照しながら、従来のムービン
グコイル型ミラー駆動装置について説明する。
A conventional moving coil type mirror driving device will be described below with reference to the drawings.

【0004】図13は従来のミラー駆動装置の分解斜視
図、図14はその完成斜視図、図15は図14の軸F−
Fを含む側断面図、図16は図14の軸G−Gを含む側
断面図である。
FIG. 13 is an exploded perspective view of a conventional mirror driving device, FIG. 14 is a completed perspective view thereof, and FIG. 15 is an axis F- of FIG.
FIG. 16 is a side sectional view including F, and FIG. 16 is a side sectional view including an axis G-G in FIG. 14.

【0005】図14ないし図16において、51はミラ
ー、52はミラーホルダーであり、ミラー51が接着剤
等の手段でミラーホルダー52の一方の面に接着固定し
てある。53は一対の導電性板バネであり、この導電性
板バネ53がミラーホルダー52の他方の面に接着剤等
の手段で固定されている。また、これら導電性板バネ5
3はミラー51の回動軸方向(図14における軸F−F
方向)の両端に対称的に配置されている。54はコイル
であり、このコイル54は次のようにして固定されてい
る。すなわち、コイル54は、そのコイル巻回軸Qがミ
ラー51の面に対して垂直となる向きに配置され、さら
に、接着剤等の手段により、ミラーホルダー52から突
出している梁52aおよび板バネ53に接着固定されて
いる。そして、コイル54の巻始めおよび巻終わりの線
端部は板バネ53に各々半田付け等の手段で電気的に接
続されている。
In FIGS. 14 to 16, 51 is a mirror, 52 is a mirror holder, and the mirror 51 is adhesively fixed to one surface of the mirror holder 52 by means of an adhesive or the like. A pair of conductive leaf springs 53 are fixed to the other surface of the mirror holder 52 by means of an adhesive or the like. In addition, these conductive leaf springs 5
3 is the direction of the rotation axis of the mirror 51 (axis FF in FIG. 14).
Direction) is arranged symmetrically at both ends. 54 is a coil, and this coil 54 is fixed as follows. That is, the coil 54 is arranged such that the coil winding axis Q is perpendicular to the surface of the mirror 51, and the beam 52a and the leaf spring 53 protruding from the mirror holder 52 are provided by means of an adhesive or the like. It is glued and fixed to. The wire end portions of the coil 54 at the beginning and end of winding are electrically connected to the leaf spring 53 by soldering or the like.

【0006】ミラーホルダー52に貼着された部分から
突出する板バネ53の端部は、接着材またはネジ等の公
知の手段で固定部56に固定されている。さらに、固定
部56には永久磁石55が接着固定されている。永久磁
石55は、その磁極が、ミラー平面方向においてミラー
回動軸方向(図14における軸F−F方向)に対して直
交する方向(図14における軸G−G方向)に沿う状態
で配置されている。永久磁石55は、このように配設さ
れることによりコイル54の内部空間内に挿入配置され
ている。
The end portion of the leaf spring 53 protruding from the portion attached to the mirror holder 52 is fixed to the fixing portion 56 by a known means such as an adhesive material or a screw. Further, a permanent magnet 55 is adhesively fixed to the fixed portion 56. The permanent magnet 55 is arranged such that its magnetic pole is along the direction (axis GG in FIG. 14) orthogonal to the mirror rotation axis direction (axis FF in FIG. 14) in the mirror plane direction. ing. The permanent magnet 55 is inserted and arranged in the internal space of the coil 54 by being arranged in this way.

【0007】次に、上記従来例のミラー駆動装置の動作
を説明する。
Next, the operation of the conventional mirror driving device will be described.

【0008】コイル54には永久磁石55によって磁束
が供給されているので、板バネ53を電極としてコイル
54に電流を流すことでミラー51の回動軸方向(F−
F軸方向)周りに捩り運動が生じる。なお、導電性板バ
ネ53のうち、ミラー51、ミラーホルダー52、コイ
ル54、および固定部56に接着している部位は剛体と
して作用するので、実質的なバネ部は図14に示すS部
のみとなる。
Since the magnetic flux is supplied to the coil 54 by the permanent magnet 55, a current is passed through the coil 54 using the plate spring 53 as an electrode to rotate the mirror 51 in the rotational axis direction (F-
A twisting motion occurs around the F-axis direction). Since the portions of the conductive leaf spring 53 that are bonded to the mirror 51, the mirror holder 52, the coil 54, and the fixed portion 56 act as a rigid body, the substantial spring portion is only the portion S shown in FIG. Becomes

【0009】また光ディスク装置としてのミラー駆動装
置は、図16に示すように図示しないレーザ光からの入
射光路を略90゜方向へ射出させ、さらに図示しないデ
ィスクの任意のトラックからのズレ量を検出する図示し
ない誤差検出手段、誤差に対応した電流をコイルに流す
ための図示しないサーボ回路等で制御系を構成し、これ
により任意のトラックを精度よく追従することとなる。
(例えば、特開平1−200322号公報)。
Further, as shown in FIG. 16, a mirror driving device as an optical disc device emits an incident optical path from a laser beam (not shown) in a direction of about 90 °, and further detects a deviation amount from an arbitrary track of the disc (not shown). The control system is composed of an error detecting means (not shown), a servo circuit (not shown) for supplying a current corresponding to the error to the coil, and the like, thereby accurately following an arbitrary track.
(For example, Japanese Patent Laid-Open No. 1-200322).

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例には、接着剤を用いてミラーホルダー52、板バネ5
3、コイル54を固定しているため、温度変化によりミ
ラー51の反射面が移動することによって生じるビーム
シフト、いわゆる温度ドリフトが発生する問題点があっ
た。
However, in the above-mentioned conventional example, the mirror holder 52 and the leaf spring 5 are made by using an adhesive.
3. Since the coil 54 is fixed, there is a problem that a beam shift, which is caused by a movement of the reflecting surface of the mirror 51 due to a temperature change, that is, a so-called temperature drift occurs.

【0011】すなわち、これら部材を接着するのに用い
る接着剤は一様に塗布することが難しく、接着剤のム
ラ、はみ出しなどがミラーホルダー52、板バネ53、
およびコイル54相互の間に存在するのは避けられなか
った。さらには、接着剤の線膨張係数は1×10-4程度
で、金属の線膨張係数に比べ1桁程度大きい。このよう
な理由により、温度変化で接着剤が膨張・収縮すると、
ミラーホルダー52と板バネ53とに意図しない変形が
起こって温度ドリフトが発生してしまった。
That is, it is difficult to uniformly apply the adhesive used for adhering these members, and the unevenness or protrusion of the adhesive causes the mirror holder 52, the leaf spring 53, and the like.
It was unavoidable that the coil and the coil 54 exist between them. Furthermore, the linear expansion coefficient of the adhesive is about 1 × 10 −4, which is about one digit larger than the linear expansion coefficient of metal. For this reason, if the adhesive expands and contracts due to temperature changes,
Unexpected deformation occurred in the mirror holder 52 and the leaf spring 53, and a temperature drift occurred.

【0012】このような温度ドリフトによるレーザ光の
ずれは、ディスク(図示省略)上のトラックを追従する
ときの誤差となり、光ディスク装置の制御系の設計およ
び調整を困難にするので非常に都合の悪いものであっ
た。
The deviation of the laser beam due to such temperature drift causes an error when following a track on a disk (not shown), which makes it difficult to design and adjust the control system of the optical disk device, which is very inconvenient. It was a thing.

【0013】また、上記従来例では、板バネ53とコイ
ル54の巻き線の端部とを半田付けで導通接続してい
る。しかしながら、半田の湯流れにばらつきが生じやす
く、このような湯流れのばらつきが生じると、ミラー駆
動装置の質量分布が不均一となってしまい、設計で意図
しない高次の共振が発生したり、共振モードの周波数に
ばらつきが生じてしまった。
Further, in the above conventional example, the leaf spring 53 and the end of the winding of the coil 54 are electrically connected by soldering. However, the molten metal flow of the solder tends to vary, and when such molten metal flow variation occurs, the mass distribution of the mirror driving device becomes non-uniform, and high-order resonance unintended in the design occurs or The frequency of the resonance mode varies.

【0014】さらには、このような半田付け作業は手作
業で行わねばならず、そのために品質のそろったミラー
駆動装置の量産が困難になるという問題もあった。
Further, such soldering work must be performed manually, which makes it difficult to mass-produce mirror drive devices of uniform quality.

【0015】また、半田付け作業を行うときの熱が、ミ
ラーホルダー52と板バネ53との間に熱変形による残
留応力を生じさせることがあった。このような残留応力
は、温度変化(冷却)により解放されると、板バネ53
とミラーホルダー52間に意図しない変形を引き起こす
ので、これも温度ドリフトの原因となっていた。
Further, the heat during the soldering work sometimes causes a residual stress between the mirror holder 52 and the leaf spring 53 due to thermal deformation. When such residual stress is released by temperature change (cooling), the leaf spring 53
This causes an unintended deformation between the mirror holder 52 and the mirror holder 52, which also causes the temperature drift.

【0016】本発明は上記のような従来の問題点を改善
するためのもので、温度ドリフトを低減し、コイルの線
端部の半田付け作業が不要となるミラー駆動装置を提供
するのを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to solve the above-mentioned conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a mirror driving device that reduces temperature drift and eliminates the need for soldering work at the wire end of a coil. And

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のミラー駆動装置は、ミラー駆動用のコイル
と、前記コイルの外周面と一方の開口とを覆って当該コ
イルを埋め込むとともに、前記一方の開口を被覆した面
に凸状のミラー接着部を有するミラーホルダーと、前記
ミラー接着部に面着されたミラーと、前記ミラーホルダ
ーの両側それぞれに設けられてミラー回動軸となる弾性
体と、前記ミラーホルダーとの間で前記板状弾性体を挟
持することで当該弾性体をミラーホルダーに固定する第
1接着樹脂部と、前記板状弾性体の先端側を支持固定す
る固定部と、前記ミラー回動軸に対して垂直にかつ前記
ミラーの反射面に対して平行に着磁されるとともに、前
記コイルの他方の開口に近接するよう前記固定部に設け
られた磁石とを有している。
In order to achieve the above object, a mirror driving device of the present invention includes a coil for driving a mirror, and a coil for covering the outer peripheral surface of the coil and one of the openings to embed the coil. A mirror holder having a convex mirror adhesive portion on the surface covering the one opening, a mirror surface-attached to the mirror adhesive portion, and elasticity provided on both sides of the mirror holder to serve as a mirror rotation axis. A first adhesive resin portion for fixing the elastic body to the mirror holder by sandwiching the elastic plate body between the body and the mirror holder, and a fixing portion for supporting and fixing the tip side of the elastic plate body. And a magnet provided in the fixed portion so as to be magnetized perpendicularly to the mirror rotation axis and parallel to the reflection surface of the mirror and close to the other opening of the coil. Shi There.

【0018】[0018]

【作用】本発明は上記した構成によって、コイルをミラ
ーホルダー内に埋設することになり、両者を接着剤で接
着固定する必要がなくなる。
According to the present invention, with the above-mentioned structure, the coil is embedded in the mirror holder, and there is no need to bond and fix both with an adhesive.

【0019】さらには、ミラーホルダーと第一接着樹脂
部とによって弾性体を挟持することで、弾性体をミラー
ホルダーに固定しているので、接着剤をミラーホルダー
や弾性体に塗布する必要がなくなる。
Furthermore, since the elastic body is fixed to the mirror holder by sandwiching the elastic body between the mirror holder and the first adhesive resin portion, there is no need to apply an adhesive to the mirror holder or the elastic body. .

【0020】このように、コイルや板状弾性体を固定す
るのに接着剤を用いる必要がないので、接着剤が原因と
なる温度ドリフトの影響を低減できるようになる。
As described above, since it is not necessary to use the adhesive to fix the coil and the plate-like elastic body, the influence of the temperature drift caused by the adhesive can be reduced.

【0021】また、弾性体と第1接着樹脂部とを導電材
から構成するとともに、第1接着樹脂部とミラーホルダ
ーとをコイルの端末を挟持した状態で溶着すれば、コイ
ルと弾性体とを半田付けすることなく電気的に接続でき
るようになる。したがって、半田付け部位がなくなり、
半田付け部位が存在することに起因する共振の発生や残
留応力の影響が低減されるようになる。
Further, if the elastic body and the first adhesive resin portion are made of a conductive material and the first adhesive resin portion and the mirror holder are welded while sandwiching the ends of the coil, the coil and the elastic body are formed. You will be able to make electrical connections without soldering. Therefore, there are no soldered parts,
The occurrence of resonance and the influence of residual stress due to the presence of the soldered portion are reduced.

【0022】[0022]

【実施例】以下本発明の実施例のミラー駆動装置につい
て図面を参照しながら説明する。図1は本発明の第1の
実施例におけるムービングコイル型のミラー駆動装置の
分解斜視図、図2はその完成斜視図、図3は軸A−Aを
含む側断面図、図4は図3のC部の部分拡大図、図5は
図3のB−B断面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A mirror driving device according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is an exploded perspective view of a moving coil type mirror driving device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a completed perspective view thereof, FIG. 3 is a side sectional view including an axis AA, and FIG. FIG. 5 is a partially enlarged view of a C portion of FIG. 5, and FIG.

【0023】図1ないし図5において、1はミラー、2
はH型をした一対の導電性板バネ、3は絶縁性樹脂から
なるミラーホルダー、5は固定部である。ミラーホルダ
ー3は、コイル3dの外周面と一方の開口とを被覆する
ことでコイル3dを埋め込んで凹リング状に構成されて
いる。ミラーホルダー3のコイル開口被覆面3eの中央
部には凸状のミラー接着部3cが設けられている。ま
た、コイル開口被覆面3e上の軸A−A(図2参照)両
端部位には突出部3aが設けられている。さらには、コ
イル開口被覆面3eには、コイル3dの線端部3bが引
き出されている。また、導電性板バネ2の両端にはそれ
ぞれ穴2aが形成されている。
In FIGS. 1 to 5, 1 is a mirror and 2 is a mirror.
Is a pair of H-shaped conductive leaf springs, 3 is a mirror holder made of insulating resin, and 5 is a fixed portion. The mirror holder 3 is formed in a concave ring shape by embedding the coil 3d by covering the outer peripheral surface of the coil 3d and one opening. A convex mirror bonding portion 3c is provided at the center of the coil opening covering surface 3e of the mirror holder 3. Further, protrusions 3a are provided on both ends of the axis AA (see FIG. 2) on the coil opening covering surface 3e. Further, the wire end portion 3b of the coil 3d is drawn out from the coil opening covering surface 3e. Holes 2a are formed at both ends of the conductive leaf spring 2.

【0024】導電性板バネ2のミラーホルダー3への取
り付けは次のようになされている。すなわち、導電性板
バネ2は、突出部3aに穴2aを挿入した状態で、図示
しない外部治具により軸A−A上に沿って位置決めされ
る。そして、図3に示すように、穴2aから突出する突
出部3aの先端部に光硬化性樹脂7Aを滴下する。さら
には、この光硬化性樹脂7A上に光を照射することで光
硬化性樹脂7Aを硬化させる。すると、導電性板バネ2
は光硬化性樹脂7Aの硬化部分7aとミラーホルダー3
で挟持されて、ミラーホルダー3に取り付け固定され
る。本実施例では、この光硬化性樹脂7Aから第1接着
樹脂部が構成されている。さらには、コイル線端部3b
は半田付け等の導通手段6により、導電性板バネ2に電
気的に接続されている。
The conductive leaf spring 2 is attached to the mirror holder 3 as follows. That is, the conductive leaf spring 2 is positioned along the axis AA by an external jig (not shown) with the hole 2a inserted in the protruding portion 3a. Then, as shown in FIG. 3, the photocurable resin 7A is dropped on the tip of the protruding portion 3a protruding from the hole 2a. Furthermore, the photocurable resin 7A is cured by irradiating the photocurable resin 7A with light. Then, the conductive leaf spring 2
Is the cured portion 7a of the photocurable resin 7A and the mirror holder 3
It is sandwiched by and is attached and fixed to the mirror holder 3. In this embodiment, the photo-curable resin 7A constitutes the first adhesive resin portion. Furthermore, the coil wire end 3b
Is electrically connected to the conductive leaf spring 2 by a conducting means 6 such as soldering.

【0025】一方、ミラーホルダー3から突出する導電
性板バネ2の先端側の取り付けは次のようになされてい
る。すなわち、導電性板バネ2の先端側は、もう一方の
穴2aを固定部5に設けた突出部5aに挿入した状態
で、図示しない外部治具によって位置決めされる。そし
て、突出部5aに光硬化性樹脂7Bを滴下して光を照射
することで光硬化性樹脂7Bを硬化させ、この光硬化性
樹脂7Bの硬化部分7Bと固定部5とで導電性板バネ2
を挟持することによって、導電性板バネ2の先端側を固
定部5に取り付けている。本実施例では、この光硬化性
樹脂7Bから第2接着樹脂部が構成されている。
On the other hand, the conductive leaf spring 2 protruding from the mirror holder 3 is attached to the front end side as follows. That is, the tip end side of the conductive leaf spring 2 is positioned by an external jig (not shown) with the other hole 2a inserted in the protruding portion 5a provided in the fixing portion 5. Then, the photocurable resin 7B is dropped onto the protruding portion 5a and is irradiated with light to cure the photocurable resin 7B. The cured portion 7B of the photocurable resin 7B and the fixed portion 5 are electrically conductive leaf springs. Two
The end of the conductive leaf spring 2 is attached to the fixed portion 5 by sandwiching. In this embodiment, the photo-curable resin 7B constitutes the second adhesive resin portion.

【0026】また、固定部5には永久磁石4が取り付け
られている。永久磁石4は、ミラーホルダー3の開口部
側に位置して、かつ磁極方向がミラー回動軸、すなわち
軸A−A(図2参照)に垂直、かつミラー反射面に対し
て平行(コイル巻き線軸に垂直)な方向になるように配
置されており、このような状態で接着剤等の手段により
固定部5に固定されている。
A permanent magnet 4 is attached to the fixed portion 5. The permanent magnet 4 is located on the opening side of the mirror holder 3, and the magnetic pole direction is perpendicular to the mirror rotation axis, that is, the axis AA (see FIG. 2) and parallel to the mirror reflection surface (coil winding). It is arranged so as to be in a direction (perpendicular to the line axis), and is fixed to the fixing portion 5 by means of an adhesive or the like in such a state.

【0027】ミラー1は接着剤等の手段でミラーホルダ
ー3のミラー接着部3cに面着されている。
The mirror 1 is surface-mounted on the mirror bonding portion 3c of the mirror holder 3 by means of an adhesive or the like.

【0028】このミラー駆動装置は、導電性板バネ2の
うち、軸A−Aに沿ったS部(図2参照)が回動軸とな
っており、このS部が捩れることでミラー1が回動する
ようになっている。そして、図5においてコイル3dに
通電したときの回動動作は、従来例の図16においてコ
イル54に通電したときの動作と同一なのでその詳細な
説明は省略する。
In this mirror driving device, the S portion (see FIG. 2) of the conductive leaf spring 2 along the axis AA is the rotation axis, and the mirror 1 is rotated by twisting the S portion. Is designed to rotate. The turning operation when the coil 3d is energized in FIG. 5 is the same as the operation when the coil 54 is energized in FIG. 16 of the conventional example, and therefore detailed description thereof is omitted.

【0029】従来例とこの実施例との差異は、コイル3
dを絶縁性樹脂で埋設してミラーホルダー3を構成する
ことで、コイル固定用の接着剤を排除している点と、導
電性板バネ2をミラーホルダー3と光硬化性樹脂(第1
接着樹脂部)7Aとで挟持している点と、導電性板バネ
2を固定部5と光硬化性樹脂(第2接着樹脂部)7Bと
で挟持している点にある。
The difference between the conventional example and this example is that the coil 3
By embedding d in the insulating resin to form the mirror holder 3, the adhesive for fixing the coil is eliminated, and the conductive leaf spring 2 is connected to the mirror holder 3 and the photocurable resin (first
It is sandwiched by the adhesive resin portion 7A and the conductive leaf spring 2 is sandwiched by the fixing portion 5 and the photocurable resin (second adhesive resin portion) 7B.

【0030】したがって、従来例においてコイル54と
ミラーホルダー52とを固定していた接着剤がなくな
り、この部分の接着剤が温度変化で膨張・収縮すること
を起因とするミラー反射面の変位が低減されている。さ
らには、従来例において、導電性板バネ53を固定して
いた接着剤がなくなり、この部分には光硬化性樹脂7A
の未硬化部分7b(図4参照)が若干残存するだけであ
るので、この部分の接着剤が温度変化で膨張・収縮する
ことを起因とするミラー反射面の変位も低減されてい
る。
Therefore, the adhesive that fixes the coil 54 and the mirror holder 52 in the conventional example is eliminated, and the displacement of the mirror reflecting surface due to the expansion and contraction of the adhesive in this portion due to temperature change is reduced. Has been done. Furthermore, in the conventional example, the adhesive that fixed the conductive leaf spring 53 is eliminated, and the photocurable resin 7A is left in this portion.
Since the uncured portion 7b of FIG. 4 (see FIG. 4) remains only a little, the displacement of the mirror reflecting surface due to the expansion and contraction of the adhesive in this portion due to the temperature change is also reduced.

【0031】このようなミラー反射面の変位防止効果
は、コイル3dを絶縁性樹脂で埋設してミラーホルダー
3を構成するとともに、導電性板バネ2をミラーホルダ
ー3と光硬化性樹脂7A(第1接着樹脂部)とで挟持す
ることだけでも発揮できるが、本実施例では、さらに、
導電性板バネ2を固定部5と光硬化性樹脂7B(第2接
着樹脂部)とで挟持しており、このように構成すること
により、ミラー反射面の変位防止効果はさらに高められ
ている。
The effect of preventing the displacement of the mirror reflection surface is to construct the mirror holder 3 by embedding the coil 3d with an insulating resin, and to form the conductive leaf spring 2 with the mirror holder 3 and the photocurable resin 7A (first). Although it can be exhibited only by sandwiching with 1 adhesive resin part), in the present embodiment,
The conductive leaf spring 2 is sandwiched between the fixed portion 5 and the photocurable resin 7B (second adhesive resin portion). With this configuration, the effect of preventing displacement of the mirror reflection surface is further enhanced. .

【0032】なお、コイル線端部3bは固定部5に設け
た図示しない基板に引き出してもよく、このように構成
すると、板バネ2は導電性でなくてもよい。またミラー
ホルダー3を導電性樹脂から構成してもよい。さらに、
突出部3aおよび突出部5aは光硬化性樹脂7A,7B
との間の当接面積を増やすためのものなので省略しても
かまわない。
The coil wire end portion 3b may be pulled out to a substrate (not shown) provided on the fixed portion 5. With this structure, the leaf spring 2 need not be conductive. Alternatively, the mirror holder 3 may be made of a conductive resin. further,
The protrusions 3a and 5a are made of photo-curable resin 7A, 7B.
Since it is for increasing the contact area between and, it may be omitted.

【0033】次に、本発明の第2の実施例について図面
を参照しながら説明する。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0034】図6は本発明の第2の実施例におけるムー
ビングコイル型のミラー駆動装置の分解斜視図、図7は
その完成斜視図、図8は軸D−Dを含む側断面図であ
る。図6ないし図8において、11はミラー、12は一
対の導電性板バネである。13は絶縁性樹脂からなるミ
ラーホルダー、13dはコイル、15は固定部、16は
矩形板状をした導電性板バネ固定用の樹脂部材であり、
その中央には挿通孔16aが形成されている。
FIG. 6 is an exploded perspective view of a moving coil type mirror driving device according to a second embodiment of the present invention, FIG. 7 is a completed perspective view thereof, and FIG. 8 is a side sectional view including an axis DD. 6 to 8, 11 is a mirror and 12 is a pair of conductive leaf springs. 13 is a mirror holder made of an insulating resin, 13d is a coil, 15 is a fixing portion, 16 is a rectangular plate-shaped resin member for fixing a conductive leaf spring,
An insertion hole 16a is formed in the center thereof.

【0035】ミラーホルダー13は、コイル13dの外
周面と一方の開口とを被覆することでコイル13dを埋
め込んで凹リング状に構成されている。ミラーホルダー
13のコイル開口被覆面13eの中央部には凸状のミラ
ー接着部13cが設けられている。また、コイル開口被
覆面13e上の軸D−D(図7参照)両端部位には突出
部13aが設けられている。さらには、コイル開口被覆
面13eには、コイル13dの線端部13bが引き出さ
れている。導電性板バネ12の両端にはそれぞれ穴12
aが形成されている。
The mirror holder 13 is formed in a concave ring shape by embedding the coil 13d by covering the outer peripheral surface of the coil 13d and one opening. A convex mirror bonding portion 13c is provided at the center of the coil opening covering surface 13e of the mirror holder 13. Further, projecting portions 13a are provided at both end portions of the axis DD (see FIG. 7) on the coil opening covering surface 13e. Further, the wire end portion 13b of the coil 13d is drawn out from the coil opening covering surface 13e. Holes 12 are formed at both ends of the conductive leaf spring 12, respectively.
a is formed.

【0036】導電性板バネ12のミラーホルダー13へ
の取り付けは次のようになされている。すなわち、導電
性板バネ12は、突出部13aに穴12aを挿入した状
態で、図示しない外部治具により、軸D−D上に沿って
位置決めされる。そして、穴13aから突出している突
出部13a先端に樹脂部材16の穴16aを挿入するこ
とで、導電性板バネ12をミラーホルダー13と樹脂部
材16とで挟み込む。さらに、この状態でミラーホルダ
ー13と樹脂部材16とを加熱溶着または超音波溶着等
の溶着手段で固定して導電性板バネ12を挟持固定す
る。この実施例では、樹脂部材16から第1接着樹脂部
が構成されている。さらには、コイル13の線端部13
bと導電性板バネ12とはコイル開口被覆面13e上で
半田付け等の導通手段17により電気的に接続される。
The conductive leaf spring 12 is attached to the mirror holder 13 as follows. That is, the conductive leaf spring 12 is positioned along the axis D-D by an external jig (not shown) with the hole 12a inserted in the protrusion 13a. Then, by inserting the hole 16a of the resin member 16 into the tip of the protruding portion 13a protruding from the hole 13a, the conductive leaf spring 12 is sandwiched between the mirror holder 13 and the resin member 16. Further, in this state, the mirror holder 13 and the resin member 16 are fixed by welding means such as heat welding or ultrasonic welding, and the conductive leaf spring 12 is sandwiched and fixed. In this embodiment, the resin member 16 constitutes the first adhesive resin portion. Furthermore, the wire end portion 13 of the coil 13
b and the conductive leaf spring 12 are electrically connected on the coil opening covering surface 13e by a conducting means 17 such as soldering.

【0037】一方、ミラーホルダー13が突出する導電
性板バネ12の先端側の取り付けは次にようにしてなさ
れている。すなわち、導電性板バネ12の先端側は、も
う一方の穴2aを固定部15に設けた突出部15aに挿
入した状態で、図示しない外部治具によって位置決めさ
れる。そして、突出部13aに光硬化性樹脂18を滴下
して光を照射することで光硬化性樹脂18を硬化させ、
この光硬化性樹脂18の硬化部分と固定部15とで導電
性板バネ12を挟持することによって、導電性板バネ1
2の先端側を固定部15に取り付けている。本実施例で
は、この光硬化性樹脂18から第2接着樹脂部が構成さ
れている。
On the other hand, the tip end side of the conductive leaf spring 12 from which the mirror holder 13 projects is attached as follows. That is, the tip side of the conductive leaf spring 12 is positioned by an external jig (not shown) in a state where the other hole 2a is inserted into the protruding portion 15a provided in the fixing portion 15. Then, the photo-curable resin 18 is dropped onto the protrusion 13a and irradiated with light to cure the photo-curable resin 18,
By sandwiching the conductive leaf spring 12 between the cured portion of the photocurable resin 18 and the fixing portion 15, the conductive leaf spring 1
The tip side of 2 is attached to the fixing portion 15. In this embodiment, the photo-curable resin 18 constitutes the second adhesive resin portion.

【0038】また、固定部15には永久磁石14が取り
付けられている。永久磁石14は、ミラーホルダー13
の開口部側に位置して、かつ磁極方向が軸D−Dに垂直
にかつミラー反射面に対して平行(コイル巻き線軸に垂
直)な方向になるように配置されており、このように配
置された状態で接着剤等の手段により固定部15に固定
されている。
A permanent magnet 14 is attached to the fixed portion 15. Permanent magnet 14 is mirror holder 13
Is located on the opening side of the magnetic pole and is arranged such that the magnetic pole direction is perpendicular to the axis D-D and parallel to the mirror reflection surface (perpendicular to the coil winding axis). The fixed state is fixed to the fixing portion 15 by means of an adhesive or the like.

【0039】ミラー11は接着剤等の手段によりミラー
ホルダー13のミラー接着部13cに固定されている。
The mirror 11 is fixed to the mirror bonding portion 13c of the mirror holder 13 by means of adhesive or the like.

【0040】以上のように構成された第2の実施例は、
基本的には第1の実施例と同様の構成になっているもの
の、ミラーホルダー13と樹脂部材16とを溶着するこ
とで導電性板バネ12を挟持している点が相違してい
る。
The second embodiment constructed as described above is as follows:
Although the structure is basically the same as that of the first embodiment, the difference is that the conductive leaf spring 12 is sandwiched by welding the mirror holder 13 and the resin member 16.

【0041】なお、このミラー駆動装置では、コイル1
3dに通電したときの動作は従来例の図16においてコ
イル54に通電したときの動作と同一なのでその詳細な
説明は省略する。
In this mirror driving device, the coil 1
Since the operation when 3d is energized is the same as the operation when the coil 54 is energized in FIG. 16 of the conventional example, detailed description thereof will be omitted.

【0042】従来例とこの実施例との差異は、コイル1
3dを絶縁性樹脂で埋設してミラーホルダー13を構成
することで接着剤を排除している点と、導電性板バネ1
2をミラーホルダー13と樹脂部材16(第1接着樹脂
部)とで挟持溶着している点と、導電性板バネ12を固
定部15と光硬化性樹脂18(第2接着樹脂部)とで挟
持している点にある。
The difference between the conventional example and this embodiment is that the coil 1
By embedding 3d with an insulating resin to form the mirror holder 13, the adhesive is eliminated, and the conductive leaf spring 1
2 is sandwiched and welded by the mirror holder 13 and the resin member 16 (first adhesive resin portion), and the conductive leaf spring 12 is fixed by the fixing portion 15 and the photocurable resin 18 (second adhesive resin portion). It is in the point of sandwiching.

【0043】したがって、従来例においてコイル54と
ミラーホルダー52とを固定していた接着剤がなくな
り、この部分の接着剤が温度変化で膨張・収縮すること
を起因とするミラー反射面の変位が低減されている。さ
らには、従来例において、導電性板バネ53を固定して
いた接着剤がなくなり、この部分の接着剤が温度変化で
膨張・収縮することを起因とするミラー反射面の変位も
低減されている。
Therefore, the adhesive that fixes the coil 54 and the mirror holder 52 in the conventional example is eliminated, and the displacement of the mirror reflecting surface due to the expansion and contraction of the adhesive in this portion due to temperature change is reduced. Has been done. Furthermore, in the conventional example, the adhesive that fixed the conductive leaf spring 53 is eliminated, and the displacement of the mirror reflecting surface due to the adhesive in this portion expanding and contracting due to temperature change is also reduced. .

【0044】このようなミラー反射面の変位防止効果
は、コイル13dを絶縁性樹脂で埋設してミラーホルダ
ーを構成するとともに、導電性板バネ12をミラーホル
ダー13と樹脂部材16(第1接着樹脂部)とで挟持す
ることにより発揮できるが、本実施例では、さらに、導
電性板バネ2を固定部15と光硬化性樹脂18(第2接
着樹脂部)とで挟持しており、ミラー反射面の変位防止
効果はさらに高められている。
The effect of preventing the displacement of the mirror reflecting surface as described above is such that the coil 13d is embedded in an insulating resin to form a mirror holder, and the conductive leaf spring 12 is connected to the mirror holder 13 and the resin member 16 (first adhesive resin). However, in the present embodiment, the conductive leaf spring 2 is further sandwiched between the fixing portion 15 and the photo-curable resin 18 (second adhesive resin portion), and is reflected by the mirror. The effect of preventing surface displacement is further enhanced.

【0045】なお、固定部15を樹脂で構成し、さら
に、樹脂部材16と同様の樹脂部材を備えれば、固定部
15と導電性板バネ12との固定を、この樹脂部材と固
定部15とによる挟持溶着で行えうこともできる。ま
た、第1の実施例と同様に、コイル13dの線端部13
bは固定部15に設けた図示しない基板に引き出しても
よく、このように構成すれば、導電性板バネ12は導電
性でなくてもよい。さらには、ミラーホルダー13は導
電性樹脂から構成してもよい。
If the fixing portion 15 is made of resin and further has a resin member similar to the resin member 16, the fixing portion 15 and the conductive leaf spring 12 are fixed to each other by the resin member and the fixing portion 15. It can also be carried out by sandwiching welding with. Also, as in the first embodiment, the wire end portion 13 of the coil 13d is
b may be drawn out to a substrate (not shown) provided in the fixing portion 15, and with this structure, the conductive leaf spring 12 may not be conductive. Furthermore, the mirror holder 13 may be made of a conductive resin.

【0046】次に本発明の第3の実施例について図面を
参照しながら説明する。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0047】図9は本発明の第3の実施例におけるムー
ビングコイル型のミラー駆動装置の分解斜視図、図10
はその完成斜視図、図11は軸E−Eを含む側断面図で
ある。図9ないし図11において、21はミラー、22
はH型をした一対の導電性板バネ、23は絶縁性樹脂か
らなるミラーホルダー、26は長方形平板状をした導電
性板バネ固定用の導電性樹脂部材であり、その中央には
挿通孔26aが形成されている。
FIG. 9 is an exploded perspective view of a moving coil type mirror driving device according to the third embodiment of the present invention, and FIG.
Is a completed perspective view thereof, and FIG. 11 is a side sectional view including an axis EE. In FIG. 9 to FIG. 11, 21 is a mirror, 22
Is a pair of H-shaped conductive leaf springs, 23 is a mirror holder made of an insulating resin, and 26 is a rectangular flat plate-shaped conductive resin member for fixing the conductive leaf springs. Are formed.

【0048】ミラーホルダー23は、コイル23dの外
周面と一方の開口とを被覆することでコイル23dを埋
め込んで凹リング状に構成されている。ミラーホルダー
23のコイル開口被覆面23eの中央部には凸状のミラ
ー接着部23cが設けられている。また、コイル開口被
覆面23e上の軸E−E(図10参照)の両端部位には
突出部23aが設けられている。さらには、コイル開口
被覆面23eには、コイル23dの線端部23bが引き
出されている。そして、導電性板バネ22の両端にはそ
れぞれ穴22aが形成されている。
The mirror holder 23 is formed in a concave ring shape by embedding the coil 23d by covering the outer peripheral surface of the coil 23d and one opening. A convex mirror bonding portion 23c is provided at the center of the coil opening covering surface 23e of the mirror holder 23. Further, protrusions 23a are provided on both end portions of the axis EE (see FIG. 10) on the coil opening covering surface 23e. Further, the wire end portion 23b of the coil 23d is drawn out from the coil opening covering surface 23e. Holes 22a are formed at both ends of the conductive leaf spring 22, respectively.

【0049】導電性板バネ22のミラーホルダー23へ
の取り付けは次のようにしてなされている。すなわち、
導電性板バネ22は、穴22aを突出部23aに挿入し
た状態で、図示しない外部治具により、軸E−E上に沿
って位置決めされる。そして、穴22aから突出する突
出部23aの先端部に導電性樹脂部材26の穴26aを
挿入することで、導電性板バネ22をミラーホルダー2
3と導電性樹脂部材26とで挟み込む。このとき、コイ
ル23dの線端部23bを導電性板バネ22と導電性樹
脂部材26との間に挟持するようにする。さらに、この
状態でミラーホルダー23と樹脂部材26とを加熱溶着
または超音波溶着等の溶着手段で固定して導電性板バネ
22を挟持固定する。そのため、導電性板バネ22はミ
ラーホルダー23に固定されるとともに、コイル23d
の線端部23bは導電性板バネ22に電気的に接続され
ることになる。
The conductive leaf spring 22 is attached to the mirror holder 23 as follows. That is,
The conductive leaf spring 22 is positioned along the axis E-E by an external jig (not shown) with the hole 22a inserted in the protrusion 23a. Then, by inserting the hole 26a of the conductive resin member 26 into the tip end of the protruding portion 23a protruding from the hole 22a, the conductive leaf spring 22 is attached to the mirror holder 2.
3 and the conductive resin member 26. At this time, the wire end portion 23b of the coil 23d is sandwiched between the conductive leaf spring 22 and the conductive resin member 26. Further, in this state, the mirror holder 23 and the resin member 26 are fixed by welding means such as heat welding or ultrasonic welding, and the conductive leaf spring 22 is clamped and fixed. Therefore, the conductive leaf spring 22 is fixed to the mirror holder 23 and the coil 23d
The wire end portion 23b of is electrically connected to the conductive leaf spring 22.

【0050】なお、この実施例では、導電性樹脂部材2
6から第1接着樹脂部が構成されている。
In this embodiment, the conductive resin member 2
The first adhesive resin portion is composed of 6.

【0051】一方、ミラーホルダー23が突出する導電
性板バネ22の先端側の取り付けは次のようにしてなさ
れている。すなわち、導電性板バネ22の先端側は、も
う一方の穴22aを固定部25に設けた突出部25aに
挿入した状態で、図示しない外部治具によって位置決め
される。そして、突出部25aに光硬化性樹脂28を滴
下して光を照射することで光硬化性樹脂28を硬化さ
せ、この光硬化性樹脂28の硬化部分と固定部25とで
導電性板バネ22を挟持することによって、導電性板バ
ネ22の先端側を固定部25に取り付けている。なお、
本実施例では、この光硬化性樹脂28から第2接着樹脂
部が構成されている。
On the other hand, the conductive leaf spring 22 from which the mirror holder 23 projects is attached to the front end side in the following manner. That is, the tip end side of the conductive leaf spring 22 is positioned by an external jig (not shown) in a state where the other hole 22a is inserted into the protruding portion 25a provided in the fixing portion 25. Then, the photo-curable resin 28 is dropped onto the protruding portion 25 a and is irradiated with light to cure the photo-curable resin 28, and the conductive leaf spring 22 is cured by the cured portion of the photo-curable resin 28 and the fixing portion 25. The end of the conductive leaf spring 22 is attached to the fixed portion 25 by sandwiching the. In addition,
In this embodiment, the photo-curable resin 28 constitutes a second adhesive resin portion.

【0052】また、固定部25には永久磁石24が取り
付けられている。永久磁石24は、ミラーホルダー23
の開口部側に位置して、かつ磁極方向が軸E−Eに垂直
かつミラー反射面に対して平行(コイル巻き線軸に垂
直)な方向になるように配置されており、接着剤等の手
段で固定部25に固されている。
A permanent magnet 24 is attached to the fixed portion 25. The permanent magnet 24 is a mirror holder 23.
Is located on the side of the opening and the magnetic pole direction is perpendicular to the axis E-E and parallel to the mirror reflection surface (perpendicular to the coil winding axis). It is fixed to the fixed portion 25 at.

【0053】ミラー21は接着剤等の手段によりミラー
ホルダー23のミラー接着部23cに固定されている。
The mirror 21 is fixed to the mirror bonding portion 23c of the mirror holder 23 by means of adhesive or the like.

【0054】以上のように構成された第3の実施例と第
2の実施例との差異は導電性板バネ22をミラーホルダ
ー23に固定する手段として導電性樹脂部材26を用
い、この導電性樹脂部材26とミラーホルダー23とで
導電性板バネ22を挟持溶着すると同時に、コイル23
の線端部23bを導電性板バネ22に導通させている点
である。
The difference between the third embodiment and the second embodiment configured as described above is that the conductive resin member 26 is used as a means for fixing the conductive leaf spring 22 to the mirror holder 23. The conductive leaf spring 22 is sandwiched and welded by the resin member 26 and the mirror holder 23, and at the same time, the coil 23 is welded.
This is the point where the wire end portion 23b of the above is electrically connected to the conductive leaf spring 22.

【0055】以上のように構成された第3の実施例のミ
ラー駆動装置では、コイル23dに通電したときの動作
は従来例の図16においてコイル54に通電したときの
動作と同一なので詳細な説明を省略する。
In the mirror driving device of the third embodiment constructed as described above, the operation when the coil 23d is energized is the same as the operation when the coil 54 is energized in FIG. 16 of the conventional example, so a detailed description will be given. Is omitted.

【0056】従来例と第3の実施例との差異は、コイル
23dを絶縁性樹脂で埋設するとともに、ミラーホルダ
ー23と導電性樹脂部材26とで導電性板バネ22を挟
持溶着することにより、ミラーホルダー23に対して導
電性板バネ22およびコイル23dを固定するのに、従
来使用していた接着剤を無くして、このような接着剤に
起因する温度ドリフトを低減した点であり、また、コイ
ル23dの線端部23bを導電性板バネ22と導電性樹
脂部材26とで挟持することにより板バネ22に導通さ
せることで、従来行っていたコイル23dの線端部23
bと導電性板バネ22との半田付け作業をなくして、こ
のような半田付け箇所が起因となる共振と残留応力の問
題を解決するとともに、組立性を向上した点である。
The difference between the conventional example and the third embodiment is that the coil 23d is embedded with an insulating resin, and the conductive leaf spring 22 is sandwiched and welded between the mirror holder 23 and the conductive resin member 26. This is the point that the adhesive used conventionally for fixing the conductive leaf spring 22 and the coil 23d to the mirror holder 23 is eliminated, and the temperature drift caused by such an adhesive is reduced. The wire end portion 23b of the coil 23d is sandwiched between the conductive leaf spring 22 and the conductive resin member 26 so as to be electrically connected to the leaf spring 22.
This eliminates the soldering work between the b and the conductive leaf springs 22 to solve the problems of resonance and residual stress caused by such soldering points and improve the assemblability.

【0057】なお、従来例では、コイル54と板バネ5
4とは半田付け作業が行える材質のものに限られていた
が、本実施例の構成によれば、これらは導電性材料であ
ればよくなり、その分、設計の自由度が大きくなってい
る。
In the conventional example, the coil 54 and the leaf spring 5 are
Although 4 is limited to materials that can be soldered, according to the configuration of the present embodiment, these need only be conductive materials, and the degree of freedom in design is correspondingly increased. .

【0058】従来例のミラー駆動装置と本発明のミラー
駆動装置、具体的には第1実施例のミラー駆動装置との
温度ドリフトを比較した結果を図12に示す。この比較
結果から明らかなように、室温から40度上昇したとき
のミラー回動量は従来例では1.4ミリラジアンあった
のに対し、本発明では0.4ミリラジアンまで低減さ
れ、従来の3分の1以下になっているのがわかる。
FIG. 12 shows the results of comparing the temperature drifts of the conventional mirror driving device and the mirror driving device of the present invention, specifically, the mirror driving device of the first embodiment. As is clear from this comparison result, the mirror rotation amount when the temperature rises from room temperature by 40 degrees is 1.4 milliradians in the conventional example, while in the present invention, it is reduced to 0.4 milliradians, which is 3/3 of the conventional value. You can see that it is less than 1.

【0059】[0059]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、コイル
をミラーホルダーに埋設するとともに、このミラーホル
ダーと第1接着樹脂部とで、弾性体を挟持することでこ
の弾性体をミラーホルダーに固定しているので、ムービ
ングコイル型ミラー駆動装置の欠点であった温度ドリフ
トを低減でき、その分ミラー駆動装置の反射精度の向上
が図れた。
As described above, according to the present invention, the coil is embedded in the mirror holder, and the elastic body is sandwiched between the mirror holder and the first adhesive resin portion, so that the elastic body is held by the mirror holder. The temperature drift, which is a drawback of the moving coil type mirror driving device, can be reduced because of being fixed to, and the reflection accuracy of the mirror driving device can be improved accordingly.

【0060】また、弾性体を導電性部材から構成すると
ともに、コイルの線端部をこの弾性体と導電性樹脂部材
との間に挟持することにより、弾性体をミラーホルダー
に固定すれば、コイルを外部に引き出すのに半田付けを
行う必要がなくなった、そのため、半田付け部位が存在
することによる質量分布の不均一がなくなり、このよう
な質量分布の不均一が起因となる高次の共振や共振モー
ドの周波数のばらつきがなくなるうえ、半田付け作業が
要らなくなる分、組立性も向上した。
If the elastic body is made of a conductive member and the wire end of the coil is clamped between the elastic body and the conductive resin member, the elastic body is fixed to the mirror holder. It is no longer necessary to perform soldering in order to pull out to the outside.Therefore, there is no unevenness in mass distribution due to the presence of soldering parts, and higher-order resonance or Since there is no variation in the frequency of the resonance mode and the soldering work is not required, the assemblability is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例におけるミラー駆動装置の
分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view of a mirror driving device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同実施例における完成斜視図である。FIG. 2 is a completed perspective view of the same embodiment.

【図3】同実施例における図1の軸A−Aを含む側断面
図である。
3 is a side sectional view including the axis AA of FIG. 1 in the embodiment. FIG.

【図4】同実施例における図3のC部の部分拡大図であ
る。
FIG. 4 is a partially enlarged view of portion C of FIG. 3 in the same embodiment.

【図5】同実施例における動作を説明した図3のB−B
断面図である。
FIG. 5 is a sectional view taken along line BB of FIG. 3 for explaining the operation in the embodiment.
FIG.

【図6】本発明の第2の実施例におけるミラー駆動装置
の分解斜視図である。
FIG. 6 is an exploded perspective view of a mirror driving device according to a second embodiment of the present invention.

【図7】同実施例における完成斜視図である。FIG. 7 is a completed perspective view of the example.

【図8】同実施例における図6の軸D−Dを含む側断面
図である。
FIG. 8 is a side sectional view including the axis D-D of FIG. 6 in the example.

【図9】本発明の第3の実施例におけるミラー駆動装置
の分解斜視図である。
FIG. 9 is an exploded perspective view of a mirror driving device according to a third embodiment of the present invention.

【図10】同実施例における完成斜視図である。FIG. 10 is a completed perspective view of the example.

【図11】同実施例における図10の軸E−Eを含む側
断面図である。
FIG. 11 is a side sectional view including the axis EE of FIG. 10 in the example.

【図12】本発明と従来例との温度ドリフトを比較した
線図である。
FIG. 12 is a diagram comparing the temperature drifts of the present invention and the conventional example.

【図13】従来例のミラー駆動装置の分解斜視図であ
る。
FIG. 13 is an exploded perspective view of a conventional mirror driving device.

【図14】従来例のミラー駆動装置の完成斜視図であ
る。
FIG. 14 is a completed perspective view of a conventional mirror drive device.

【図15】従来例における図14の軸F−Fを含む側断
面図である。
FIG. 15 is a side sectional view including the axis FF of FIG. 14 in the conventional example.

【図16】従来例における図14の軸G−Gを含む側断
面図である。
FIG. 16 is a side sectional view including the axis G-G of FIG. 14 in the conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ミラー 2 導電性板バネ 3 ミラーホルダー 4 永久磁石 5 固定部 6 導通手段 7A 光硬化性樹脂(第1接着樹脂部) 11 ミラー 12 導電性板バ
ネ 13 ミラーホルダー 14 永久磁石 15 固定部 16 樹脂部材
(第1接着樹脂部) 17 導通手段 18 光硬化性樹
脂(第2接着樹脂部) 21 ミラー 22 導電性板バ
ネ 23 ミラーホルダー 24 永久磁石 25 固定部 26 導電性樹脂
部材(第1接着樹脂部) 28 光硬化性樹脂(第2接着樹脂部)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mirror 2 Conductive leaf spring 3 Mirror holder 4 Permanent magnet 5 Fixing part 6 Conducting means 7A Photocurable resin (first adhesive resin part) 11 Mirror 12 Conductive leaf spring 13 Mirror holder 14 Permanent magnet 15 Fixing part 16 Resin member (First adhesive resin portion) 17 Conducting means 18 Photocurable resin (second adhesive resin portion) 21 Mirror 22 Conductive leaf spring 23 Mirror holder 24 Permanent magnet 25 Fixing portion 26 Conductive resin member (first adhesive resin portion) 28 Photocurable resin (second adhesive resin part)

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ミラー駆動用のコイルと、 前記コイルの外周面と一方の開口とを覆って当該コイル
を埋め込むとともに、前記一方の開口を被覆した面に凸
状のミラー接着部を有するミラーホルダーと、 前記ミラー接着部に面着されたミラーと、 前記ミラーホルダーの両側それぞれに設けられてミラー
回動軸となる弾性体と、 前記ミラーホルダーとの間で前記板状弾性体を挟持する
ことで当該弾性体をミラーホルダーに固定する第1接着
樹脂部と、 前記板状弾性体の先端側を支持固定する固定部と、 前記ミラー回動軸に対して垂直にかつ前記ミラーの反射
面に対して平行に着磁されるとともに、前記コイルの他
方の開口に近接するよう前記固定部に設けられた磁石と
を有することを特徴とするミラー駆動装置。
1. A mirror driving coil, a mirror holder having an outer peripheral surface of the coil and one opening covered with the coil and having a convex mirror bonding portion on a surface covering the one opening. Holding the plate-shaped elastic body between the mirror that is faced to the mirror bonding portion, elastic bodies that are provided on both sides of the mirror holder and serve as mirror rotation axes, and the mirror holder. A first adhesive resin portion for fixing the elastic body to the mirror holder, a fixing portion for supporting and fixing the tip end side of the plate-like elastic body, and a reflection surface of the mirror perpendicular to the mirror rotation axis. And a magnet provided in the fixed portion so as to be magnetized in parallel with each other and close to the other opening of the coil.
【請求項2】 前記第1接着樹脂部が光硬化性樹脂から
なることを特徴とする請求項1記載のミラー駆動装置。
2. The mirror driving device according to claim 1, wherein the first adhesive resin portion is made of a photocurable resin.
【請求項3】 前記ミラーホルダーを樹脂から構成する
とともに、当該ミラーホルダーと前記第1接着樹脂部と
を溶着することを特徴とする請求項1記載のミラー駆動
装置。
3. The mirror driving device according to claim 1, wherein the mirror holder is made of resin, and the mirror holder and the first adhesive resin portion are welded to each other.
【請求項4】 前記ミラーホルダーと前記第1接着樹脂
部とを超音波溶着することを特徴とする請求項3記載の
ミラー駆動装置。
4. The mirror driving device according to claim 3, wherein the mirror holder and the first adhesive resin portion are ultrasonically welded to each other.
【請求項5】 前記ミラーホルダーを絶縁体から構成す
る一方、前記弾性体と前記第1接着樹脂部とを導電材か
ら構成し、第1接着樹脂部とミラーホルダーとを前記コ
イルの線端部を挟持した状態で溶着することを特徴とす
る請求項3記載のミラー駆動装置。
5. The mirror holder is made of an insulating material, while the elastic body and the first adhesive resin portion are made of a conductive material, and the first adhesive resin portion and the mirror holder are line end portions of the coil. The mirror driving device according to claim 3, wherein the welding is performed in a state of sandwiching.
【請求項6】 前記固定部との間で前記弾性体の先端側
を挟持することで当該弾性体の先端側を固定部に取り付
ける第2接着樹脂部を有することを特徴とする請求項1
記載のミラー駆動装置。
6. The second adhesive resin portion for attaching the tip side of the elastic body to the fixing section by sandwiching the tip side of the elastic body between the fixing section and the fixing section.
The described mirror driving device.
【請求項7】 前記第2接着樹脂部が光硬化性樹脂から
なることを特徴とする請求項6記載のミラー駆動装置。
7. The mirror driving device according to claim 6, wherein the second adhesive resin portion is made of a photocurable resin.
【請求項8】 前記固定部を樹脂から構成するととも
に、当該固定部と前記第2接着樹脂部とを溶着すること
を特徴とする請求項6記載のミラー駆動装置。
8. The mirror driving device according to claim 6, wherein the fixing portion is made of resin, and the fixing portion and the second adhesive resin portion are welded to each other.
JP8324594A 1994-04-21 1994-04-21 Mirror driving device Pending JPH07296406A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8324594A JPH07296406A (en) 1994-04-21 1994-04-21 Mirror driving device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8324594A JPH07296406A (en) 1994-04-21 1994-04-21 Mirror driving device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07296406A true JPH07296406A (en) 1995-11-10

Family

ID=13796953

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8324594A Pending JPH07296406A (en) 1994-04-21 1994-04-21 Mirror driving device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07296406A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016212133A (en) * 2015-04-30 2016-12-15 アルプス電気株式会社 Lens drive device
JP2018101152A (en) * 2018-03-08 2018-06-28 アルプス電気株式会社 Lens drive device
EP2730540B1 (en) * 2012-11-09 2018-12-19 Hokuyo Automatic Co., Ltd. Miniature machine and method of manufacturing the miniature machine
CN111381328A (en) * 2018-12-27 2020-07-07 台湾东电化股份有限公司 Driving mechanism

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2730540B1 (en) * 2012-11-09 2018-12-19 Hokuyo Automatic Co., Ltd. Miniature machine and method of manufacturing the miniature machine
JP2016212133A (en) * 2015-04-30 2016-12-15 アルプス電気株式会社 Lens drive device
JP2018101152A (en) * 2018-03-08 2018-06-28 アルプス電気株式会社 Lens drive device
CN111381328A (en) * 2018-12-27 2020-07-07 台湾东电化股份有限公司 Driving mechanism
EP3674769A3 (en) * 2018-12-27 2020-09-16 Tdk Taiwan Corp. Driving mechanism

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4442505B2 (en) Deformable mirror device, deformable mirror plate
US6791802B2 (en) Magnetic head device having suspension with microactuator bonded thereto
JPH0373426A (en) Optical system supporting device
JP2004334966A (en) Mems mirror device and optical disk device
JPH07296406A (en) Mirror driving device
JPS63311225A (en) Galvanomirror device
JPS6057569B2 (en) movable mirror device
JP2002197718A (en) Optical pickup
US20040130812A1 (en) Mirror support device of simple construction that can be formed at low cost and that is of excellent stability
JP2712088B2 (en) Leaf spring mechanism and optical disk device using the same
JP3999143B2 (en) Micro position adjustment device
JP3110854B2 (en) Optical system drive
JP3521540B2 (en) Optical pickup device
JP4002355B2 (en) Objective lens driving device and optical pickup with the same
JP2888343B2 (en) Adjusting the optical axis of the optical pickup lens
JPH08180422A (en) Method for adjusting position of objective lens
JP3851229B2 (en) Actuator suspension installation device
JPS61264528A (en) Objective lens driving device
JPH01179122A (en) Vibration mirror device
JPH1027352A (en) Optical head and its manufacture
KR20000012259U (en) Silicon Gel Holding Structure of Optical Pickup Actuator
JPH064876A (en) System for fixing rotatable planar mirror
JPH0359823A (en) Objective lens driving device
JPS6098530A (en) Supporting and driving device of objective lens
JP2001351260A (en) Optical system drive device