JPH0729537A - 後方散乱電子に対する高い識別を備えた高効率カソードルミネセンス検出器 - Google Patents
後方散乱電子に対する高い識別を備えた高効率カソードルミネセンス検出器Info
- Publication number
- JPH0729537A JPH0729537A JP5288430A JP28843093A JPH0729537A JP H0729537 A JPH0729537 A JP H0729537A JP 5288430 A JP5288430 A JP 5288430A JP 28843093 A JP28843093 A JP 28843093A JP H0729537 A JPH0729537 A JP H0729537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- optoelectronic
- photoelectric
- vacuum chamber
- supporting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/226—Optical arrangements for illuminating the object; optical arrangements for collecting light from the object
- H01J37/228—Optical arrangements for illuminating the object; optical arrangements for collecting light from the object whereby illumination and light collection take place in the same area of the discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2803—Scanning microscopes characterised by the imaging method
- H01J2237/2808—Cathodoluminescence
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】相対的に高い効率、および後方散乱電子に基づ
く信号に対する高い識別を示すカソードルミネセンス検
出器を提供する。 【構成】カソードルミネセンス（ＣＬ）装置内のパラボ
ラ状光反射装置１６は、支持板２１上に搭載された光電
固体装置１９と集積化され、電子顕微鏡真空チャンバ試
料ステージにおいてアダプター素子２７によって支持さ
れる。これらの素子は、互いに光学的に整列され、従っ
て、容易に交換可能なユニットが得られる。電子顕微鏡
内のＣＬ放出操作のために設計され、パラボラ状光反射
装置１６および光電固体検出装置１９は光学的に整列さ
れ、その後、光電固体装置１９の支持板２１上に搭載さ
れる。このようにして構成されたユニットは、試料ステ
ージアダプター素子２７によって支持されて、単一の集
積化されたユニットとして標準の電子顕微鏡真空チャン
バステージに容易に挿入および取り外しできる機械的素
子を与える。
く信号に対する高い識別を示すカソードルミネセンス検
出器を提供する。 【構成】カソードルミネセンス（ＣＬ）装置内のパラボ
ラ状光反射装置１６は、支持板２１上に搭載された光電
固体装置１９と集積化され、電子顕微鏡真空チャンバ試
料ステージにおいてアダプター素子２７によって支持さ
れる。これらの素子は、互いに光学的に整列され、従っ
て、容易に交換可能なユニットが得られる。電子顕微鏡
内のＣＬ放出操作のために設計され、パラボラ状光反射
装置１６および光電固体検出装置１９は光学的に整列さ
れ、その後、光電固体装置１９の支持板２１上に搭載さ
れる。このようにして構成されたユニットは、試料ステ
ージアダプター素子２７によって支持されて、単一の集
積化されたユニットとして標準の電子顕微鏡真空チャン
バステージに容易に挿入および取り外しできる機械的素
子を与える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的にはカソードル
ミネセンス装置に関し、特に、相対的に高い効率、およ
び後方散乱電子に基づく信号に対する高い識別を示すカ
ソードルミネセンス検出器に関する。
ミネセンス装置に関し、特に、相対的に高い効率、およ
び後方散乱電子に基づく信号に対する高い識別を示すカ
ソードルミネセンス検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】カソ
ードルミネセンス（ＣＬ）検出器は一般的に知られてお
り、検出素子として固体検出器を用いた従来のＣＬ検出
器においては、ホトダイオードは、電子顕微鏡の真空チ
ャンバ内において、試料の側方または上方に位置してい
る。ガラスカバーが、それは通常は酸化インジウム−錫
の非常に薄いスパッタ層によって被覆されているが、従
って、検出器の信号に寄与し得る後方散乱電子を退ける
ために、固体検出器の前方に配置されている。ガラス上
のスパッタされた導電性で光学的に透明な薄い層は、帯
電現象が生じるのを防ぐために使用されている。しかし
ながら、固体検出器前方のガラスカバーは、実は、それ
自身強力なＣＬエミッターとなり得る。このことは、ガ
ラスは、後方散乱電子の、固体ホトダイオードによって
検出されるであろう光への極端に効率的な変換器として
働き得ることを示している。しかしながら、従来技術の
装置における後方散乱は、観察下の試料とはほとんどま
たはまったく関係がなかった。さらに、そのような検出
器は、軽便さに欠け、それが使用される電子顕微鏡の真
空チャンバの特定の型にもっぱら適合するように一般的
には設計されてきた。本発明は上述した欠点を解決す
る。
ードルミネセンス（ＣＬ）検出器は一般的に知られてお
り、検出素子として固体検出器を用いた従来のＣＬ検出
器においては、ホトダイオードは、電子顕微鏡の真空チ
ャンバ内において、試料の側方または上方に位置してい
る。ガラスカバーが、それは通常は酸化インジウム−錫
の非常に薄いスパッタ層によって被覆されているが、従
って、検出器の信号に寄与し得る後方散乱電子を退ける
ために、固体検出器の前方に配置されている。ガラス上
のスパッタされた導電性で光学的に透明な薄い層は、帯
電現象が生じるのを防ぐために使用されている。しかし
ながら、固体検出器前方のガラスカバーは、実は、それ
自身強力なＣＬエミッターとなり得る。このことは、ガ
ラスは、後方散乱電子の、固体ホトダイオードによって
検出されるであろう光への極端に効率的な変換器として
働き得ることを示している。しかしながら、従来技術の
装置における後方散乱は、観察下の試料とはほとんどま
たはまったく関係がなかった。さらに、そのような検出
器は、軽便さに欠け、それが使用される電子顕微鏡の真
空チャンバの特定の型にもっぱら適合するように一般的
には設計されてきた。本発明は上述した欠点を解決す
る。
【０００３】
【課題を解決するための手段】従って、本発明の主目的
は、パラボラ状光反射装置を、電子顕微鏡の真空チャン
バ試料ステージに容易に搭載および取り外しできるカソ
ードルミネセンス検出器において、光電（photo-sensit
ive ）固体検出装置と組み合わせることにある。検出器
は、さらに、調査中の試料と同じ平面内に支持板上に搭
載された略平坦な光電素子を備えており、試料からの後
方散乱電子は光電素子の光電領域に打ち当たらず、効率
的にパラボラ状光反射器によって吸収される。
は、パラボラ状光反射装置を、電子顕微鏡の真空チャン
バ試料ステージに容易に搭載および取り外しできるカソ
ードルミネセンス検出器において、光電（photo-sensit
ive ）固体検出装置と組み合わせることにある。検出器
は、さらに、調査中の試料と同じ平面内に支持板上に搭
載された略平坦な光電素子を備えており、試料からの後
方散乱電子は光電素子の光電領域に打ち当たらず、効率
的にパラボラ状光反射器によって吸収される。
【０００４】
【実施例】図を集合的に参照すれば、電子顕微鏡が図１
に示されており、それは、電子エミッターすなわちカソ
ード１、ウェーネルト円筒電極２、アノード３、ビーム
調整系４、ビーム走査系５、最終レンズ６、最終レンズ
の下部極片７、調整装置９を有する試料ステージ８、電
子検出器１０、および本発明のカソードルミネセンス検
出器１１を備えている。すべての要素は、電子顕微鏡ハ
ウジング１２内に位置している。
に示されており、それは、電子エミッターすなわちカソ
ード１、ウェーネルト円筒電極２、アノード３、ビーム
調整系４、ビーム走査系５、最終レンズ６、最終レンズ
の下部極片７、調整装置９を有する試料ステージ８、電
子検出器１０、および本発明のカソードルミネセンス検
出器１１を備えている。すべての要素は、電子顕微鏡ハ
ウジング１２内に位置している。
【０００５】電子顕微鏡の通常の操作において、カソー
ド１によって放出された電子ビーム１３は、試料スタブ
（stub) 上に、図２に示すように、配置された試料１４
に照射されて、試料との間の相互作用による放射が検出
可能となる。試料１４は電子ビーム１３によって走査さ
れる。電子ビーム１３と試料１４との間の相互作用によ
って生成された透過、反射および／または２次電子また
は他の放射は、参照番号１０によって示した検出器によ
って典型的に検出される。検出器１０には、ビデオモニ
ター系が、図には示していないが、接続される。しかし
ながら、検出器１０は、次にその詳細を説明する本発明
においてはなんの役割も演じない。
ド１によって放出された電子ビーム１３は、試料スタブ
（stub) 上に、図２に示すように、配置された試料１４
に照射されて、試料との間の相互作用による放射が検出
可能となる。試料１４は電子ビーム１３によって走査さ
れる。電子ビーム１３と試料１４との間の相互作用によ
って生成された透過、反射および／または２次電子また
は他の放射は、参照番号１０によって示した検出器によ
って典型的に検出される。検出器１０には、ビデオモニ
ター系が、図には示していないが、接続される。しかし
ながら、検出器１０は、次にその詳細を説明する本発明
においてはなんの役割も演じない。
【０００６】図２においては、光の反射のための光沢の
ある（shiny ）内部凹表面１７を有するパラボラ状（pa
rabolic ）光反射器１６が示されている。これは、パラ
ボラ状カップ上のアルミニウム薄膜のコーティング、ア
ルミニウムパラボラ状カップの微細表面仕上、または、
光沢側をその内部表面としたパラボラ状ミラーの形態に
形成されたアルミニウム箔の工業級片、のいずれかによ
って達成され得る。中央開口１８が、走査電子ビーム１
３の通過のために、反射器１６の頂に設けられている。
光電固体装置１９は、環状形態を有しその中央に開口２
０を備えたホトダイオードか、または開口２０の回りに
位置した２以上の小さい装置、のいずれかから成ってい
る。光電装置１９は、例えばセラミック材料から製造さ
れた電気絶縁性中間片２２によって、中央開口２９を有
する平板を備える導電性セルホルダー２１上に座してい
る。光電固体装置１９は、試料１４の上表面と同じレベ
ルにまたはわずかに下に位置している。従って、試料１
４からの後方散乱電子は、装置１９の光電領域に直接的
には打ち当たらず、従って、それらの大部分は、パラボ
ラ状光反射器１６によって効率的に吸収される。
ある（shiny ）内部凹表面１７を有するパラボラ状（pa
rabolic ）光反射器１６が示されている。これは、パラ
ボラ状カップ上のアルミニウム薄膜のコーティング、ア
ルミニウムパラボラ状カップの微細表面仕上、または、
光沢側をその内部表面としたパラボラ状ミラーの形態に
形成されたアルミニウム箔の工業級片、のいずれかによ
って達成され得る。中央開口１８が、走査電子ビーム１
３の通過のために、反射器１６の頂に設けられている。
光電固体装置１９は、環状形態を有しその中央に開口２
０を備えたホトダイオードか、または開口２０の回りに
位置した２以上の小さい装置、のいずれかから成ってい
る。光電装置１９は、例えばセラミック材料から製造さ
れた電気絶縁性中間片２２によって、中央開口２９を有
する平板を備える導電性セルホルダー２１上に座してい
る。光電固体装置１９は、試料１４の上表面と同じレベ
ルにまたはわずかに下に位置している。従って、試料１
４からの後方散乱電子は、装置１９の光電領域に直接的
には打ち当たらず、従って、それらの大部分は、パラボ
ラ状光反射器１６によって効率的に吸収される。
【０００７】一対の小さな整列した開口２３が、セルホ
ルダー２１および絶縁材料２２の両方に形成され、そこ
を通って光電素子１９からの検出信号を運びそして増幅
回路（図示せず）に接続された２つのよくシールドされ
た電気信号リード２４が設けられている。セル１９は、
ホルダー２１の下の信号リード２４のところで、一対の
締めつけねじ（clamp/screw ）接続装置２５によって適
所に固着されている。
ルダー２１および絶縁材料２２の両方に形成され、そこ
を通って光電素子１９からの検出信号を運びそして増幅
回路（図示せず）に接続された２つのよくシールドされ
た電気信号リード２４が設けられている。セル１９は、
ホルダー２１の下の信号リード２４のところで、一対の
締めつけねじ（clamp/screw ）接続装置２５によって適
所に固着されている。
【０００８】パラボラ状光反射器１６およびセルホルダ
ー２１は、周囲クランプ２６によって堅固に共に保持さ
れて、機械的に集積化されたユニットを形成している。
パラボラ状反射器１６の頂開口１８は、直径が約５ｍｍ
の円からなっており、光電検出素子１９は、電子ビーム
１３とも一致する中央光軸に対して同心である。この搭
載配置は、反射光の光電素子１９による高い収集効率を
与える。
ー２１は、周囲クランプ２６によって堅固に共に保持さ
れて、機械的に集積化されたユニットを形成している。
パラボラ状反射器１６の頂開口１８は、直径が約５ｍｍ
の円からなっており、光電検出素子１９は、電子ビーム
１３とも一致する中央光軸に対して同心である。この搭
載配置は、反射光の光電素子１９による高い収集効率を
与える。
【０００９】また、特に加工された基部材である試料ス
テージアダプターユニット２７も含まれている。部材２
７は、中央のねじ穴２８を備えており、その中に試料１
４を保持するための試料スタブ１５を挿入可能であり締
め付け可能である。試料ステージアダプターユニット２
７および集積化されたパラボラ状光反射器／光電セルユ
ニット１１が、セルホルダー２１に形成されたねじ穴を
備えた中央開口２９によって相互接続され得、従って単
一の装置を提供する。そのような構成は、電子放電のた
めの適当な導電経路を有する装置を提供する。後方散乱
電子が導電性パラボラ状反射器１６によって収集された
なら、それらは、同じ放電経路を通って電子顕微鏡のグ
ラウンドに放電され得、帯電問題は除去される。このよ
うに形成された全ユニットは、単一のねじスタッド３０
によって、いかなる改修もなく、いかなる標準的な電子
顕微鏡真空チャンバハウジング１２に改装され得る。
テージアダプターユニット２７も含まれている。部材２
７は、中央のねじ穴２８を備えており、その中に試料１
４を保持するための試料スタブ１５を挿入可能であり締
め付け可能である。試料ステージアダプターユニット２
７および集積化されたパラボラ状光反射器／光電セルユ
ニット１１が、セルホルダー２１に形成されたねじ穴を
備えた中央開口２９によって相互接続され得、従って単
一の装置を提供する。そのような構成は、電子放電のた
めの適当な導電経路を有する装置を提供する。後方散乱
電子が導電性パラボラ状反射器１６によって収集された
なら、それらは、同じ放電経路を通って電子顕微鏡のグ
ラウンドに放電され得、帯電問題は除去される。このよ
うに形成された全ユニットは、単一のねじスタッド３０
によって、いかなる改修もなく、いかなる標準的な電子
顕微鏡真空チャンバハウジング１２に改装され得る。
【００１０】ここで説明した実施例のカソードルミネセ
ンス装置の搭載および取り外しは、通常の試料の装填ま
たは交換操作のためのそれと類似している。試料１４の
積み込みおよび積み降ろしは、単にセルホルダー２１か
ら基部材２７を取り去ることによって実現する。
ンス装置の搭載および取り外しは、通常の試料の装填ま
たは交換操作のためのそれと類似している。試料１４の
積み込みおよび積み降ろしは、単にセルホルダー２１か
ら基部材２７を取り去ることによって実現する。
【００１１】パラボラ状光反射器１６および光電検出器
１９を、機械的に堅固に接続された支持板２１と共に互
いに容易かつ正確に位置決めすることができる。パラボ
ラ状光反射器１６を特別に設計することにより、試料１
４から光デバイス１９に垂直に向かうＣＬ信号の効率的
な反射を可能にすることができる。さらに、パラボラ状
光反射器１６の頂の小さい孔１８は、これは電子エミッ
ター１からの入射電子ビーム１３用のさえぎられておら
ずかつ妨げのない通路を提供するが、２πステラジアン
のオーダーの光収集角を与える。
１９を、機械的に堅固に接続された支持板２１と共に互
いに容易かつ正確に位置決めすることができる。パラボ
ラ状光反射器１６を特別に設計することにより、試料１
４から光デバイス１９に垂直に向かうＣＬ信号の効率的
な反射を可能にすることができる。さらに、パラボラ状
光反射器１６の頂の小さい孔１８は、これは電子エミッ
ター１からの入射電子ビーム１３用のさえぎられておら
ずかつ妨げのない通路を提供するが、２πステラジアン
のオーダーの光収集角を与える。
【００１２】本発明の実施例は、従って、電子顕微鏡の
改修を要求することなく、繰り返して電子顕微鏡に搭載
および取り外しすることができる。試料を含む全ユニッ
トは、調整中は一緒に動くことに注意する必要がある。
組立段階中に一度調整されると、光学アライメントは問
題を生じない。その簡単さは、検出器を効果的にセット
アップするに要する時間を通常の試料の装填または交換
操作のために必要とされる時間と類似なものとする。こ
のような方法で、電子顕微鏡を、その通常の機能を落と
すことなく、迅速に他の用途に戻すことができる。
改修を要求することなく、繰り返して電子顕微鏡に搭載
および取り外しすることができる。試料を含む全ユニッ
トは、調整中は一緒に動くことに注意する必要がある。
組立段階中に一度調整されると、光学アライメントは問
題を生じない。その簡単さは、検出器を効果的にセット
アップするに要する時間を通常の試料の装填または交換
操作のために必要とされる時間と類似なものとする。こ
のような方法で、電子顕微鏡を、その通常の機能を落と
すことなく、迅速に他の用途に戻すことができる。
【００１３】このように、本発明を実行するための好ま
しい方法および実施例と思料されるものを説明したが、
これは例示のためになされたものであり、限定ではな
い。従って、付属する請求の範囲に記載された発明の精
神および範囲内におけるすべての修正、交替、変更はこ
こにおいて含まれるべきものである。
しい方法および実施例と思料されるものを説明したが、
これは例示のためになされたものであり、限定ではな
い。従って、付属する請求の範囲に記載された発明の精
神および範囲内におけるすべての修正、交替、変更はこ
こにおいて含まれるべきものである。
【図１】本発明のカソードルミネセンス検出器を含む電
子顕微鏡を概略的に示した図である。
子顕微鏡を概略的に示した図である。
【図２】図１に示した検出器の詳細を示す中央横断面図
である。
である。
【符号の説明】 １１…カソードルミネセンス検出器（パラボラ状光反射
器／光電セルユニット）、 １２…電子顕微鏡ハウジング、 １３…電子ビーム、 １４…試料、 １５…試料スタブ、 １６…パラボラ状光反射器、 １７…内部凹表面、 １８…中央開口、 １９…光電固体装置、 ２０…開口、 ２１…導電性セルホルダー（支持板）、 ２２…電気絶縁性中間片、 ２３…開口、 ２４…電気信号リード、 ２６…周囲クランプ、 ２７…試料ステージアダプターユニット、 ２８…ねじ穴、 ２９…中央開口、 ３０…ねじスタッド
器／光電セルユニット）、 １２…電子顕微鏡ハウジング、 １３…電子ビーム、 １４…試料、 １５…試料スタブ、 １６…パラボラ状光反射器、 １７…内部凹表面、 １８…中央開口、 １９…光電固体装置、 ２０…開口、 ２１…導電性セルホルダー（支持板）、 ２２…電気絶縁性中間片、 ２３…開口、 ２４…電気信号リード、 ２６…周囲クランプ、 ２７…試料ステージアダプターユニット、 ２８…ねじ穴、 ２９…中央開口、 ３０…ねじスタッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ダニエル シュー ハン チャン シンガポール国、シンガポール 0511、ケ ント リッジ クレッセント 10 ナショ ナル ユニバーシティ オブ シンガポー ルシー／オー パーソネル デパートメン ト (72)発明者 キン リョン ペイ シンガポール国、シンガポール 0511、ケ ント リッジ クレッセント 10 ナショ ナル ユニバーシティ オブ シンガポー ルシー／オー パーソネル デパートメン ト
Claims (15)
- 【請求項１】カソードルミネセンス顕微鏡法および分析
用に使用される電子顕微鏡の真空チャンバ試料ステージ
用のカソードルミネセンス検出器装置において、 ａ）前記真空チャンバ試料ステージに前記装置を搭載す
るための基部材と、 ｂ）電子顕微鏡の電子ビームによって走査されている試
料から放出される放射に応答する少なくとも１つの光電
部材と、 ｃ）前記基部材に固着された、前記少なくとも１つの光
電部材の支持手段と、 ｄ）前記少なくとも１つの光電部材からの検出信号の結
合手段と、 ｅ）前記基部材に固着された、前記試料の支持手段と、 ｆ）前記試料および前記少なくとも１つの光電部材に近
接して配置され、前記試料から放出された放射を前記光
電部材に反射し前記試料からの後方散乱を吸収するため
の凹状反射面を備えたパラボラ状反射器手段と、 を有することを特徴とするカソードルミネセンス顕微鏡
法および分析用に使用される電子顕微鏡の真空チャンバ
試料ステージ用のカソードルミネセンス検出器装置。 - 【請求項２】前記少なくとも１つの光電部材が、平面部
材を備えており、前記試料が前記光電部材と略同一平面
にあることを特徴とする請求項１記載の装置。 - 【請求項３】前記パラボラ状反射器手段が、前記試料上
に衝突する電子ビームを許容するアパーチャーを含んで
いることを特徴とする請求項２記載の装置。 - 【請求項４】前記アパーチャーが中央アパーチャーを備
えていることを特徴とする請求項３記載の装置。 - 【請求項５】前記少なくとも１つの光電部材と前記光電
部材の前記支持手段との間に配置された電気的絶縁体手
段を付加的に有することを特徴とする請求項４記載の装
置。 - 【請求項６】前記少なくとも１つの光電部材が、中央開
口を含む環状部材を有し、前記試料が前記中央開口内に
配置されることを特徴とする請求項５記載の装置。 - 【請求項７】前記少なくとも１つの光電部材が、複数の
同一平面内の光電部材を有していることを特徴とする請
求項２記載の装置。 - 【請求項８】前記基部材が、前記試料を支持するための
第１の本体部材と、前記少なくとも１つの光電部材の前
記支持手段を支持するための第２の本体部材と、前記真
空チャンバ試料ステージに取り付けるための前記第２の
本体部材から突出した第３の本体部材と、を含む試料ス
テージアダプターユニットを有していることを特徴とす
る請求項１記載の装置。 - 【請求項９】前記第１の本体部材が、前記試料を支持す
るように機能する試料スタブを受ける手段を含んでいる
ことを特徴とする請求項８記載の装置。 - 【請求項１０】前記試料スタブを受ける前記手段が、ね
じ穴を有していることを特徴とする請求項９記載の装
置。 - 【請求項１１】前記第３の本体部材が、ねじスタッドを
有していることを特徴とする請求項８記載の装置。 - 【請求項１２】前記少なくとも１つの光電部材の前記支
持手段が、それを通って前記第１の本体が突出する中央
穴を含む平坦な環状板を有していることを特徴とする請
求項８記載の装置。 - 【請求項１３】前記少なくとも１つの光電部材の前記支
持部材および前記電気的絶縁体手段が、検出信号を結合
する前記手段を前記少なくとも１つの光電部材の下面に
接続するための、少なくとも１つの相互整列された穴を
その中に含んでいることを特徴とする請求項５記載の装
置。 - 【請求項１４】前記パラボラ状反射器手段を前記少なく
とも１つの光電部材の前記支持手段に取り付けるための
手段を付加的に含んでいることを特徴とする請求項１記
載の装置。 - 【請求項１５】前記取り付け手段が、前記パラボラ状反
射器手段の周囲縁を前記少なくとも１つの光電手段の前
記支持手段に固着する手段を有していることを特徴とす
る請求項１４記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/977,840 US5264704A (en) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | High efficiency cathodoluminescence detector with high discrimination against backscattered electrons |
| US7/977840 | 1992-11-17 | ||
| US07/977840 | 1992-11-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0729537A true JPH0729537A (ja) | 1995-01-31 |
| JP2703719B2 JP2703719B2 (ja) | 1998-01-26 |
Family
ID=25525569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5288430A Expired - Lifetime JP2703719B2 (ja) | 1992-11-17 | 1993-11-17 | カソードルミネッセンス検出装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5264704A (ja) |
| EP (1) | EP0598569B1 (ja) |
| JP (1) | JP2703719B2 (ja) |
| DE (1) | DE69308485T2 (ja) |
| ES (1) | ES2099914T3 (ja) |
| SG (1) | SG70547A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019067749A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | 株式会社堀場製作所 | ルミネッセンス採光装置 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5468967A (en) * | 1994-08-26 | 1995-11-21 | National University Of Singapore | Double reflection cathodoluminescence detector with extremely high discrimination against backscattered electrons |
| US5536940A (en) * | 1995-02-27 | 1996-07-16 | Advanced Micro Devices, Inc. | Energy filtering for electron back-scattered diffraction patterns |
| US5569920A (en) * | 1995-06-14 | 1996-10-29 | National University Of Singapore | Retractable cathodoluminescence detector with high ellipticity and high backscattered electron rejection performance for large area specimens |
| US5724131A (en) * | 1995-06-14 | 1998-03-03 | The National University Of Singapore | Integrated emission microscope for panchromatic imaging, continuous wavelength spectroscopy and selective area spectroscopic mapping |
| US5741967A (en) * | 1996-04-15 | 1998-04-21 | Gas Research Institute | Method for determining optimum horizontal drilling direction and drilling horizon |
| US6046843A (en) * | 1998-10-15 | 2000-04-04 | Hewlett-Packard Company | Light collector for high magnification inspection |
| GB2478900A (en) | 2009-09-10 | 2011-09-28 | Univ Sheffield | Collection of electromagnetic radiation emitted from particle irradiated samples |
| DE102009046211B4 (de) * | 2009-10-30 | 2017-08-24 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Detektionsvorrichtung und Teilchenstrahlgerät mit Detektionsvorrichtung |
| US20140027632A1 (en) * | 2012-07-26 | 2014-01-30 | Gatan, Inc. | System and method for measuring angular luminescence in a charged particle microscope |
| US10018579B1 (en) | 2015-02-18 | 2018-07-10 | Kla-Tencor Corporation | System and method for cathodoluminescence-based semiconductor wafer defect inspection |
| JP2024504682A (ja) * | 2021-01-19 | 2024-02-01 | アットライト エージー | μＬＥＤの大量生産における費用対効果が高いプロービング |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4846265A (ja) * | 1971-10-05 | 1973-07-02 | ||
| JPS517072A (ja) * | 1974-07-08 | 1976-01-21 | Satsuki Kitani |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU982117A1 (ru) * | 1981-05-21 | 1982-12-15 | Московский Ордена Ленина,Ордена Октябрьской Революции,Ордена Трудового Красного Знамени Государственный Университет Им.М.В.Ломоносова | Коллектор светового излучени |
| DE3729846A1 (de) * | 1987-09-05 | 1989-03-23 | Zeiss Carl Fa | Kathodolumineszenzdetektor |
| IT1223998B (it) * | 1988-12-16 | 1990-09-29 | Sip | Sistema di rivelazione per analisi in catodoluminescenza |
-
1992
- 1992-11-17 US US07/977,840 patent/US5264704A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-11-12 SG SG1995000665A patent/SG70547A1/en unknown
- 1993-11-12 ES ES93309077T patent/ES2099914T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1993-11-12 EP EP93309077A patent/EP0598569B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-11-12 DE DE69308485T patent/DE69308485T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-11-17 JP JP5288430A patent/JP2703719B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4846265A (ja) * | 1971-10-05 | 1973-07-02 | ||
| JPS517072A (ja) * | 1974-07-08 | 1976-01-21 | Satsuki Kitani |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019067749A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | 株式会社堀場製作所 | ルミネッセンス採光装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2703719B2 (ja) | 1998-01-26 |
| EP0598569B1 (en) | 1997-03-05 |
| US5264704A (en) | 1993-11-23 |
| DE69308485T2 (de) | 1997-09-25 |
| ES2099914T3 (es) | 1997-06-01 |
| DE69308485D1 (de) | 1997-04-10 |
| SG70547A1 (en) | 2000-02-22 |
| EP0598569A1 (en) | 1994-05-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5468967A (en) | Double reflection cathodoluminescence detector with extremely high discrimination against backscattered electrons | |
| KR940009764B1 (ko) | 기체환경에서 사용되는 전자 검출기를 가진 환경 주사형 전자 현미경 | |
| JPH0729537A (ja) | 後方散乱電子に対する高い識別を備えた高効率カソードルミネセンス検出器 | |
| US5362964A (en) | Environmental scanning electron microscope | |
| EP0970503B1 (en) | Gaseous backscattered electron detector for an environmental scanning electron microscope | |
| JP2003229083A (ja) | 改良された環境型走査電子顕微鏡 | |
| US20130234032A1 (en) | High efficiency secondary and back scattered electron detector | |
| JP2002516018A (ja) | 電界放出環境走査型電子顕微鏡 | |
| US3819938A (en) | Opto-electronic transducers for object detection | |
| US5010253A (en) | Detection system for cathodoluminescence analysis | |
| JP2001143648A (ja) | 光励起電子線源および電子線応用装置 | |
| CN100397557C (zh) | 半导体晶片载体映射传感器 | |
| US4117323A (en) | Electron microscopes | |
| US6031230A (en) | Reflected electron detector and a scanning electron microscope device using it | |
| US11508548B2 (en) | Scanning electron microscope | |
| EP0196710A1 (en) | Electron beam apparatus comprising an anode which is included in the cathode/Wehnelt cylinder unit | |
| KR20000034962A (ko) | 하전입자의 이중-모드 검출 장치 및 방법 | |
| US20180100769A1 (en) | Infrared detection device | |
| US6833546B2 (en) | Scanning electron microscope | |
| CN217084755U (zh) | 带有椭球形反射器的同轴电子探测器及扫描电子显微镜 | |
| US6777678B1 (en) | Sample-stage for scanning electron microscope | |
| CN215812515U (zh) | 电子探测器 | |
| JPS60144646A (ja) | カソ−ドルミネツセンス観察・分析装置 | |
| JPS58115383A (ja) | 反射電子検出器 | |
| US6437337B1 (en) | X-ray detector shape |