JPH07290008A - Washer - Google Patents

Washer

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Publication number
JPH07290008A
JPH07290008A JP11477294A JP11477294A JPH07290008A JP H07290008 A JPH07290008 A JP H07290008A JP 11477294 A JP11477294 A JP 11477294A JP 11477294 A JP11477294 A JP 11477294A JP H07290008 A JPH07290008 A JP H07290008A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tank
cleaning
pure water
basket
drying
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11477294A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuhiro Hirose
康弘 廣瀬
Takashi Saso
高 佐宗
Takeo Sumiyoshi
建夫 住吉
Masaru Arai
勝 新井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SABASU ENG KK
Sensor Technology Co Ltd Japan
Denyo Co Ltd
Original Assignee
SABASU ENG KK
Sensor Technology Co Ltd Japan
Denyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SABASU ENG KK, Sensor Technology Co Ltd Japan, Denyo Co Ltd filed Critical SABASU ENG KK
Priority to JP11477294A priority Critical patent/JPH07290008A/en
Publication of JPH07290008A publication Critical patent/JPH07290008A/en
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a washer by which the washing capability of ultrasonic washing with pure water is improved and rapid drying is attained. CONSTITUTION:A washing block 1 has a washing tank 11 for pure water contg. a surfactant, and rinse tanks 11, 12, 13 14 for storing pure water overflowing from the poststage to the prestage so that the temp. of pure water in the last stage 14 may be higher than that in the prestage. Baskets B in respective tanks except the last stage 14 are supported so as to be freely movable up and down, and ultrasonic oscillators 37 are installed in these respective tanks. A drying block 2 has a hot air drying vessels 21, 23 with an opening/closing cover and vacuum drying vessels 22, 24 with an opening/closing cover. First, ultrasonic washing is performed in pure water contg. surfactant. Next, while a rinse is given in the rinse tanks 11, 12, 13, further ultrasonic washing is repeated. Then, rapid drying is performed by a combination of hot air drying and vacuum drying.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、金属、非鉄金属、機械
加工部品又はプラスチック成形品などの洗浄物に対する
ポストフロンの洗浄機であって、純水と超音波洗浄とを
組み合わせて洗浄するものに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is a post CFC cleaning machine for cleaning objects such as metal, non-ferrous metal, machined parts or plastic molded parts, which is a combination of pure water and ultrasonic cleaning. Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】ボストフロンの溶剤としては、アルコー
ルや炭化水素などの揮発性溶剤を使用することも行われ
ているが、爆発の危険性がある。
2. Description of the Related Art As a solvent for Bostoflon, a volatile solvent such as alcohol or hydrocarbon has been used, but there is a risk of explosion.

【0003】そこで、純水と超音波洗浄を組み合わせて
洗浄し、乾燥工程に熱風乾燥を採用した安全性の高い洗
浄機を用いる場合がある。
Therefore, there is a case in which a highly safe cleaning machine which uses pure air and ultrasonic cleaning in combination and uses hot air drying in the drying step is used.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、純水と超音波
洗浄を組み合わせた場合であっても、洗浄効果は溶剤に
比較するとそれほど高くなく、純水の汚れを阻止しなが
ら、高い洗浄力を発揮するためには、充分とは言えなか
った。また、純水を用いた場合には、速やかに乾燥させ
る必要があるが、熱風乾燥では時間がかかりすぎ、乾燥
シミが発生する場合があった。
However, even when the pure water and the ultrasonic cleaning are combined, the cleaning effect is not so high as compared with the solvent, and a high cleaning power is obtained while preventing the pure water from being contaminated. It wasn't enough to show it. Further, when pure water is used, it is necessary to dry it quickly, but hot-air drying takes too much time, and drying stains may occur.

【0005】本発明は、従来の技術の有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、純水による超音波洗浄の洗浄力を向上させ、且
つ急速乾燥が可能な洗浄機を提供するところにある。
The present invention has been made in view of the above problems of the prior art. The object of the present invention is to improve the cleaning power of ultrasonic cleaning with pure water and to achieve rapid drying. There is a possible washing machine.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する請求
項1記載の洗浄機は、被洗浄物入りバスケットを順次浸
漬する洗浄ブロックと、洗浄後の被洗浄物を順次乾燥さ
せる乾燥ブロックとを含む洗浄装置において、前記洗浄
ブロックと乾燥ブロックとが共通のクリンーボックス内
に収容されており、前記洗浄ブロックは、界面活性剤入
り純水の洗浄槽と、後段から前段にオーバーフローする
純水を、最終段の純水温度が前段の純水高温より高くな
るようにして貯溜した2段以上のリンス槽とを有し、前
記洗浄ブロックの最後段以外の各槽内のバスケットは上
下動自在に支持され、これら各槽内に超音波発振器が付
設され、前記乾燥ブロックは、開閉蓋付の熱風乾燥槽
と、開閉蓋付の真空乾燥槽とを有し、前記各槽に対して
洗浄物入りバスケットを出し入れして次の槽に運ぶ搬送
手段を備えてなるものである。
A washing machine according to claim 1, which achieves the above object, comprises a washing block for successively immersing a basket containing an item to be washed, and a drying block for successively drying the item to be washed after washing. In the cleaning device, the cleaning block and the drying block are housed in a common clean box, and the cleaning block is a cleaning tank of pure water containing a surfactant, and pure water overflowing from the latter stage to the former stage, It has a rinse tank of two or more stages stored so that the temperature of pure water in the final stage is higher than the high temperature of pure water in the previous stage, and the baskets in each tank other than the last stage of the cleaning block are supported so as to be vertically movable. An ultrasonic oscillator is attached to each of these tanks, and the drying block has a hot air drying tank with an opening / closing lid and a vacuum drying tank with an opening / closing lid. The in and out is made by a transport means for conveying to the next tank.

【0007】洗浄ブロックの洗浄槽における純水は、界
面活性剤を純水に対して0.2重量%以下含んでいるも
のが好ましい。前記洗浄ブロックの最後段のリンス槽の
純水の温度は70°C以上に設定され、バスケットの引
き上げ速度が12mm/sec以下に設定されているも
のが好ましい。更に好ましくは、記洗浄ブロックの最後
段のリンス槽の純水の温度を75°C以上に設定し、バ
スケットの引き上げ速度を12mm/sec以下に設定
する。
The pure water in the cleaning tank of the cleaning block preferably contains a surfactant in an amount of 0.2% by weight or less based on the pure water. It is preferable that the temperature of the pure water in the rinse tank at the last stage of the cleaning block is set to 70 ° C. or higher, and the basket withdrawing speed is set to 12 mm / sec or lower. More preferably, the temperature of pure water in the rinse tank at the last stage of the cleaning block is set to 75 ° C or higher, and the basket lifting speed is set to 12 mm / sec or lower.

【0008】前記搬送手段は、前記バスケットを吊るハ
ングアームを槽の数より一つ多い数だけ前記クリーンボ
ックス内に突設し、前記ハングアームを昇降自在とする
手段と前記ハングアームを槽の配列ピッチだけスライド
自在とする手段とを前記クリーンボックス外に設たもの
が好ましい。前記ハングアームは別個に昇降自在に設け
られているものが好ましい。
[0008] In the transport means, a hang arm for suspending the basket is provided so as to project in the clean box by one more than the number of tanks, and means for vertically moving the hang arm and the hang arm are arranged in the tank. It is preferable that a means for making it slidable by the pitch is provided outside the clean box. It is preferable that the hang arms are separately provided so as to be vertically movable.

【0009】[0009]

【作用】洗浄槽の界面活性剤入り純水の中で超音波洗浄
し、つぎにリンス槽ですすぎながら更に超音波洗浄を繰
り返すが、リンス水槽が2段以上であって、オーバーフ
ローによって後段のリンス槽の高純度が確保され、特に
最終段の純水は高温であるため、すすぎ力も強力になっ
て、純水洗浄力が向上する。そして、熱風乾燥と真空乾
燥の組合せによって、水の沸点を下げた高速乾燥を行
う。また、洗浄ブロックと乾燥ブロックとが共通のクリ
ーンボックス内に収容させ、外部からのダストが入りに
くくなっている。
[Operation] Ultrasonic cleaning is performed in the cleaning tank with pure water containing surfactant, and then ultrasonic cleaning is repeated while rinsing in the rinsing tank. The high purity of the tank is secured, and since the final stage pure water is at a high temperature, the rinsing power is also strong and the pure water cleaning power is improved. Then, a combination of hot air drying and vacuum drying is used to perform high-speed drying with the boiling point of water lowered. Further, the washing block and the drying block are housed in a common clean box so that dust from the outside does not easily enter.

【0010】洗浄槽の界面活性剤を0.2重量%以下に
すると、後段のリンス槽への界面活性剤の持ち込み量が
少なくなる。最後段のリンス槽の純水の温度を70°C
以上にすると、すすぎ力が高くなり、その最終段のバス
ケットの引き上げ速度を12mm/sec以下にする
と、洗浄物の表面の水切れがよくなる。また、最後段の
リンス槽の純水の温度を75°C以上にし、その最終段
のバスケットの引き上げ速度を10mm/sec以下に
すると、上述した作用は一層良くなる。
When the amount of the surfactant in the cleaning tank is 0.2% by weight or less, the amount of the surfactant brought into the rinsing tank in the subsequent stage becomes small. The temperature of pure water in the last rinse tank is 70 ° C.
If the above is set, the rinsing force becomes high, and if the raising speed of the basket at the final stage is set to 12 mm / sec or less, the drainage of the surface of the washed product becomes good. Further, when the temperature of the pure water in the rinse tank in the final stage is set to 75 ° C. or higher and the pulling-up speed of the basket in the final stage is set to 10 mm / sec or less, the above-described action is further improved.

【0011】搬送手段は必要なハングアームだけがクリ
ーンボックス内であり、ハングアームの昇降自在手段や
スライド自在手段の汚れがクリーンボックスから遮断さ
れ、クリーンルーム内の最小限のハングアームでバスケ
ットの各槽への搬送が行われる。このハングアームの昇
降を各槽毎にすると、超音波洗浄での上下動や、最終段
での制御された引き上げや、熱風乾燥槽と真空乾燥槽へ
の蓋の開閉タイミングに一致した出し入れが個別にでき
る。
Only the necessary hang arms are in the clean box as the conveying means, and the dirt of the vertically movable means and the slidable means of the hang arm is shielded from the clean box. Is transported to. If the hang arm is raised and lowered for each tank, vertical movement during ultrasonic cleaning, controlled lifting at the final stage, and separate loading and unloading matching the opening and closing timing of the lid for the hot air drying tank and the vacuum drying tank are performed individually. You can

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図1のフロー図において、1は洗浄ブロック、
2は乾燥ブロック、3はクリーンボックスである。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the flow chart of FIG. 1, 1 is a cleaning block,
2 is a drying block and 3 is a clean box.

【0013】洗浄ブロック1は、洗浄槽11と、第1リ
ンス槽12と、第2リンス槽13と、第3リンス槽14
とを直列に配置し、更に洗浄槽11に対する入側コンベ
ア15と各槽11,12,13,14に対して搬送物入
りバスケットBを吊って運ぶための第1搬送手段16と
を配設したものである。
The cleaning block 1 includes a cleaning tank 11, a first rinse tank 12, a second rinse tank 13, and a third rinse tank 14.
Are arranged in series, and an inlet side conveyor 15 for the cleaning tank 11 and a first conveyor means 16 for suspending and carrying the basket B containing the object to be conveyed with respect to the respective tanks 11, 12, 13, 14 are arranged. Is.

【0014】乾燥ブロック2は、第1熱風乾燥槽21と
第1真空乾燥槽22との第1組と、第2熱風乾燥槽23
と第2真空乾燥槽24の第2組とを直列配置し、第2真
空乾燥槽24に対する出側コンベア25と各槽21,2
2,23,24に対して搬送物入りバスケットBを吊っ
て運ぶための第2搬送手段26とを配設したものであ
る。
The drying block 2 includes a first set of a first hot air drying tank 21 and a first vacuum drying tank 22, and a second hot air drying tank 23.
And the second set of the second vacuum drying tank 24 are arranged in series, and the outlet side conveyor 25 for the second vacuum drying tank 24 and the tanks 21 and 21 are arranged.
The second transport means 26 for suspending and transporting the basket B containing the transported objects is disposed with respect to 2, 23, and 24.

【0015】洗浄槽11にはリザーブタンク31内の純
水がポンプ31a、フィルター31b及びライン31c
を経て送り込まれる。洗浄槽11の堰31dからオーバ
ーフローした純水はライン31eを経てタンク31に戻
って循環する。この洗浄槽11内の純水には0.2重量
%以下の界面活性剤が混入され、純水の洗浄力を高めて
いる。そのためタンク31に戻る純水は泡を含んでお
り、タンク31に泡取り用スクリーン31fが設けら
れ、更にライン31gを経て純水が補給されるようにな
っている。界面活性剤は0.2%を越えると洗浄物に付
いて次のリンス槽に持ち込まれる量が多くなる割りには
洗浄力が増加せず、洗浄に必要な界面活性剤の量として
は、0.15±0.03重量%が好ましい。
In the cleaning tank 11, the pure water in the reserve tank 31 is pumped by a pump 31a, a filter 31b and a line 31c.
Sent through. The pure water overflowing from the weir 31d of the cleaning tank 11 returns to the tank 31 through the line 31e and circulates. 0.2% by weight or less of a surfactant is mixed in the pure water in the cleaning tank 11 to enhance the cleaning power of the pure water. Therefore, the pure water returning to the tank 31 contains bubbles, the tank 31 is provided with a bubble removing screen 31f, and the pure water is replenished through the line 31g. If the amount of the surfactant exceeds 0.2%, the cleaning power does not increase in spite of the large amount of the surfactant being brought into the next rinse tank, and therefore the amount of the surfactant required for cleaning is 0%. 0.15 ± 0.03% by weight is preferable.

【0016】最終段の第3リンス槽14には所定流量の
純水がフィルター32a、流量計32bを経て送り込ま
れ、傾斜板33からオーバーフローする純水は第2リン
ス槽13に流れ込む。第2リンス槽13の純水はポンプ
34a、フィルター34bにより循環しているととも
に、フィルター34c、流量計34dを経て所定量の純
水が補給されている。そして、第2リンス槽13から傾
斜板35を経てオーバーフローする純水は第1リンス槽
12に流れ込む。第1リンス槽12にはリザーブタンク
36内の純水がポンプ36a、フィルター36b及びラ
イン36cを経て送り込まれる。第1リンス槽12の堰
36dからオーバーフローした純水はライン36eを経
てタンク31に戻って循環する。
Pure water having a predetermined flow rate is fed into the third rinse tank 14 at the final stage through the filter 32a and the flow meter 32b, and the pure water overflowing from the inclined plate 33 flows into the second rinse tank 13. Pure water in the second rinse tank 13 is circulated by a pump 34a and a filter 34b, and a predetermined amount of pure water is supplied through the filter 34c and a flow meter 34d. Then, the pure water overflowing from the second rinse tank 13 through the inclined plate 35 flows into the first rinse tank 12. The pure water in the reserve tank 36 is sent to the first rinse tank 12 through the pump 36a, the filter 36b, and the line 36c. The pure water overflowing from the weir 36d of the first rinse tank 12 returns to the tank 31 through the line 36e and circulates.

【0017】図示のように、洗浄槽11と第1リンス槽
12と第2リンス槽13には超音波発振器4が取り付け
られ、超音波振動によって生じる細かい気泡のキャブレ
ーションで洗浄物の汚れを強力に剥離する。すなわち、
単に溶剤で洗い流すのではなく、ミクロン単位の細孔や
複雑に入り組んだ箇所まで高い精度で洗浄およびすすぎ
を行う。この超音波洗浄の作用がバスケット内の洗浄物
の全体に及ぶようにするために、後述する搬送手段16
によって、各槽11,12,13内のバスケットは上下
動される。
As shown in the drawing, an ultrasonic oscillator 4 is attached to the cleaning tank 11, the first rinse tank 12, and the second rinse tank 13, and the dirt of the cleaning object is strongly soiled by the fine air bubble cavitation generated by the ultrasonic vibration. Peel off. That is,
Rather than simply rinsing with a solvent, highly precise cleaning and rinsing are performed on micron-scale pores and intricately complicated areas. In order that the action of this ultrasonic cleaning extends to the entire cleaning items in the basket, the conveying means 16 to be described later.
Thus, the baskets in the tanks 11, 12, 13 are moved up and down.

【0018】さらに、図示のように、洗浄槽11のタン
ク31内と、第1リンス槽12のタンク36内と、第2
リンス槽13内と、第3リンス槽14内には、ヒータ3
7が設けられ、各槽の純水を加熱している。すなわち、
洗浄槽11→第1リンス槽12→第2リンス槽13→第
3リンス槽14の順に純水の温度が高くなっており、洗
浄度が上がるにつれて、すすぎ力も向上するようになっ
ている。特に、最終段の第3リンス槽14でのすすぎ力
を確実とするためには、70°C以上まで加熱した純水
を用いることが好ましい。更に好ましくは、75°C以
上の純水を用いる。
Further, as shown in the drawing, in the tank 31 of the cleaning tank 11, the tank 36 of the first rinse tank 12, and the second
The heater 3 is provided in the rinse tank 13 and the third rinse tank 14.
7 is provided to heat the pure water in each tank. That is,
The temperature of the pure water increases in the order of the cleaning tank 11 → the first rinse tank 12 → the second rinse tank 13 → the third rinse tank 14, and as the cleaning degree increases, the rinsing power also improves. Particularly, in order to ensure the rinsing force in the final third rinse tank 14, it is preferable to use pure water heated to 70 ° C. or higher. More preferably, pure water at 75 ° C or higher is used.

【0019】この第3リンス槽14は最終段であり、す
すぎ終わった後には、できるだけ純水の付着を少なくい
ほうがよい。そのため、第3リンス槽14内のバスケッ
トを後述する搬送手段16で引き上げる速度が12mm
/secを越えると、洗浄物の表面に付着する水滴が多
くなりすぎる。更に好ましくは、10mm/sec以下
の速度で引き上げる。また、第3リンス槽14の純水に
不純物がまじると、洗浄不良になるため、水質計32d
が取り付けられている。
This third rinse tank 14 is the final stage, and it is better to reduce the adhesion of pure water as much as possible after rinsing. Therefore, the speed at which the basket in the third rinse tank 14 is pulled up by the transfer means 16 described later is 12 mm.
If it exceeds / sec, too many water droplets adhere to the surface of the washed product. More preferably, it is pulled up at a speed of 10 mm / sec or less. Further, if impurities are mixed in the pure water in the third rinse tank 14, cleaning failure will occur.
Is attached.

【0020】第1熱風乾燥槽21のノズル40aからは
熱風発生装置40b、フィルター40cを経たクリーン
な熱風が吹き出し、バスケット内の洗浄物の表面に付着
した水滴を乾燥させる。吹き出した熱風は吸引口40d
を経て熱風発生装置40bに回収され循環する。水滴の
乾燥を早めるために、第1乾燥槽21内のバスケットに
対する揺動手段が設けられている。この揺動手段は、具
体的には空圧ライン41に接続されたアクチュエータの
伸縮動作をレバーを介して揺動動作に変換し、バスケッ
トが乗る台座を揺動させるものである。また、バスケッ
トを出し入れするために、蓋40eが観音開きで開閉す
る。
Clean hot air is blown from the nozzle 40a of the first hot air drying tank 21 through the hot air generator 40b and the filter 40c to dry the water droplets adhering to the surface of the washing object in the basket. Hot air blown out is suction port 40d
And is circulated through the hot air generator 40b. In order to accelerate the drying of the water droplets, rocking means for the basket in the first drying tank 21 is provided. Specifically, the swinging means converts the expansion / contraction operation of the actuator connected to the pneumatic line 41 into a swinging operation via a lever, and swings the pedestal on which the basket is placed. In addition, the lid 40e opens and closes in a double door structure to put the basket in and out.

【0021】第1真空乾燥槽22はスライド動作で開閉
する蓋41aを有する耐圧容器であり、内部にヒータ4
1bが配設されている。この第1真空乾燥槽22内は、
ライン41b、蒸気凝縮用のクラップ41c、真空ポン
プ41dを経て真空引きされる。前述した第1熱風乾燥
槽21と第1真空乾燥槽22とが第1組を形成してい
る。
The first vacuum drying tank 22 is a pressure resistant container having a lid 41a that opens and closes by a sliding operation, and has a heater 4 inside.
1b is provided. Inside the first vacuum drying tank 22,
Vacuum is drawn through the line 41b, the vapor condensing clap 41c, and the vacuum pump 41d. The first hot air drying tank 21 and the first vacuum drying tank 22 described above form a first set.

【0022】第2熱風乾燥槽23は第1熱風乾燥槽21
と同様に、ノズル42aから熱風発生装置42b、フィ
ルター42cを経たクリーンな熱風が吹き出し、吸引口
42dを経て熱風が熱風発生装置40bに回収され循環
するものである。第2真空乾燥装置24も第1真空乾燥
装置22と同様に、スライド動作で開閉する蓋43aを
有する耐圧容器であり、内部にヒータ43bが配設さ
れ、ライン43b、蒸気凝縮用のクラップ43c、真空
ポンプ43dを経て内部が真空引きされるものてある。
この第2熱風乾燥槽23と第2真空乾燥槽24とが前記
第1組に続く第2組を形成している。
The second hot air drying tank 23 is the first hot air drying tank 21.
Similarly, clean hot air that has passed through the hot air generator 42b and the filter 42c is blown from the nozzle 42a, and the hot air is collected and circulated by the hot air generator 40b through the suction port 42d. Similarly to the first vacuum drying device 22, the second vacuum drying device 24 is also a pressure resistant container having a lid 43a that opens and closes by a sliding operation, a heater 43b is provided inside, a line 43b, a vapor condensing clap 43c, The inside is evacuated through the vacuum pump 43d.
The second hot air drying tank 23 and the second vacuum drying tank 24 form a second set following the first set.

【0023】この第1組の温度設定は第2組に比較して
高温に設定されており、第1組における高温(100〜
70°C)の急速乾燥と、第2組における比較的低温
(70〜40°C)の乾燥とを組み合わせて、全体とし
て効率的な乾燥を実現している。第1組の第1熱風乾燥
槽21でバスケットを揺動させつつ高温熱風を吹き付
け、次に第1真空乾燥槽22で真空引きすると、常に沸
騰状態で水が気化するため、水滴を作りにくく不純物に
よる乾燥シミを大幅に抑える。この第1組でも乾燥を達
成することができるが、第2組を第1組に引き続いて設
けることにより、第1組の熱風の温度を100°Cに抑
えた乾燥が可能になり、高温で変形する恐れのあるプラ
スチック成形品の乾燥に適している。
The temperature of the first group is set higher than that of the second group.
The combination of the rapid drying at 70 ° C. and the relatively low temperature (70 to 40 ° C.) in the second set realizes efficient drying as a whole. When high-temperature hot air is blown while swinging the basket in the first hot air drying tank 21 of the first set, and then vacuum is drawn in the first vacuum drying tank 22, water is always vaporized in a boiling state, which makes it difficult to form water drops. Significantly suppresses dry spots caused by. Drying can be achieved even with this first set, but by providing the second set after the first set, it is possible to perform drying while suppressing the temperature of the hot air of the first set to 100 ° C. Suitable for drying plastic molded parts that may be deformed.

【0024】上述した各槽11〜14,21〜24は、
クリーンボックス3内に収納されている。このクリーン
ボックス3の入側コンベア15の部分にはシャッター5
1が設けられ、出側コンベア25の部分にもシャッター
52が設けられている。このクリーンボックス3内はク
リーンエアフルター53,54で浮遊物が除去されたク
リーンな空気が吹き込まれ、与圧換気が行われる。すな
わち、外気からの汚れた空気をクリーンボックス3内に
吸い込まないようになっている。
The above-mentioned tanks 11-14 and 21-24 are
It is stored in the clean box 3. A shutter 5 is provided on the entrance conveyor 15 of the clean box 3.
1 is provided, and the shutter 52 is also provided at the exit conveyor 25. Clean air from which suspended solids have been removed by the clean air filters 53 and 54 is blown into the clean box 3 to perform pressurized ventilation. That is, the dirty air from the outside air is not sucked into the clean box 3.

【0025】ところが、このクリーンボックス3の各槽
11〜14,21〜24間でバスケットBを移動させる
ための第1搬送手段16と第2搬送手段26が必要であ
り、この第1搬送手段16と第2搬送手段26から汚れ
が発生しないようにする必要がある。
However, the first transfer means 16 and the second transfer means 26 for moving the basket B between the tanks 11 to 14 and 21 to 24 of the clean box 3 are required, and the first transfer means 16 is required. Therefore, it is necessary to prevent the second transporting means 26 from being contaminated.

【0026】そのための、搬送手段16,17の構造を
図2及び図3により説明する。図2の全体上面図におい
て、クリーンボックス3の横に機器収納スペース4が設
けられ、スペース4からクリーンボックス3内にはバス
ケットBを吊るための必要最低限のハングアーム55だ
けが突出し、ハングアーム55の移動軌跡に沿ったスリ
ットだけが開口している。このスリットは必要に応じて
シールされている。そして、スペース4内には、第1熱
風乾燥槽22の蓋移動装置22a、第2熱風乾燥槽24
の蓋移動装置24a、タンク31,36、ポンプ31
a,36a,32a、熱風発生器22a,24a、真空
ポンプ41d,43dが収納されている。そして、必要
な配管だけがクリーンボックス3内に導入されている。
The structure of the conveying means 16 and 17 for that purpose will be described with reference to FIGS. In the overall top view of FIG. 2, a device storage space 4 is provided next to the clean box 3, and only the minimum necessary hang arm 55 for suspending the basket B projects from the space 4 into the clean box 3. Only the slits along the movement locus of 55 are open. This slit is sealed if necessary. Then, in the space 4, the lid moving device 22 a of the first hot air drying tank 22 and the second hot air drying tank 24.
Lid moving device 24a, tanks 31, 36, pump 31
a, 36a, 32a, hot air generators 22a, 24a, and vacuum pumps 41d, 43d are housed. Then, only the necessary piping is introduced into the clean box 3.

【0027】図3の全体側面図に示されるように、ハン
グアーム61は4本のハンガー61aに枝分かれしてお
り、バスケットBの側面の4本のピンを引っ掛けて吊る
ようになっている。このハングアーム61の基部61b
は枠体62の2本のバー62aで摺動自在に支持され、
更に図示されない駆動装置で回転駆動されるネジ軸62
bに螺合されて昇降自在に支持されている。この枠体6
2と同様の構造の枠体63〜70が列設され、その総数
9は各槽11〜14,21〜24の総数8より一つ多
い。
As shown in the overall side view of FIG. 3, the hang arm 61 is branched into four hangers 61a, and the four pins on the side surface of the basket B are hooked and hung. The base 61b of this hang arm 61
Is slidably supported by the two bars 62a of the frame 62,
Further, a screw shaft 62 which is rotationally driven by a driving device (not shown)
It is screwed to b and supported so as to be able to move up and down. This frame 6
Frames 63 to 70 having the same structure as that of 2 are arranged in a row, and the total number 9 thereof is one more than the total number 8 of the tanks 11 to 14 and 21 to 24.

【0028】そして、第1枠体62が入側コンベア15
から洗浄槽11へのバスケットBの搬送と洗浄槽11内
のバスケットBの上下動を担当している。第2枠体63
は洗浄槽11から第1リンス槽12へのバスケットBの
搬送と第1リンス槽12内のバスケットBの上下動を担
当している。第3枠体64は第1リンス槽12から第2
リンス槽13へのバスケットBの搬送と第2リンス槽1
3内のバスケットBの上下動を担当している。第4枠体
65は第2リンス槽13から第3リンス槽14へのバス
ケットBの搬送と第3リンス槽14内からの制御された
引き上げを担当している。第5枠体66は第3リンス槽
14から第1熱風乾燥槽21へのバスケットBを担当し
ている。第6枠体67は第1熱風乾燥槽21から第1真
空乾燥槽22へのバスケットBを担当している。第7枠
体68は第1真空乾燥槽22から第2熱風乾燥槽23へ
のバスケットBを担当している。第8枠体69は第2熱
風乾燥槽23から第2真空乾燥槽24へのバスケットB
を担当している。第9枠体70は第2真空乾燥槽24か
ら出側コンベア25へのバスケットBを担当している。
Then, the first frame 62 is attached to the entrance side conveyor 15
Is in charge of transporting the basket B from the cleaning tank 11 to the cleaning tank 11 and moving the basket B in the cleaning tank 11 up and down. Second frame 63
Is in charge of transporting the basket B from the cleaning tank 11 to the first rinse tank 12 and moving the basket B up and down in the first rinse tank 12. The third frame body 64 extends from the first rinse tank 12 to the second rinse tank 12.
Transfer of the basket B to the rinse tank 13 and the second rinse tank 1
It is in charge of vertical movement of basket B in 3. The fourth frame body 65 is in charge of carrying the basket B from the second rinse tank 13 to the third rinse tank 14 and controlling the raising of the basket B from the inside of the third rinse tank 14. The fifth frame 66 is in charge of the basket B from the third rinse tank 14 to the first hot air drying tank 21. The sixth frame 67 is in charge of the basket B from the first hot air drying tank 21 to the first vacuum drying tank 22. The seventh frame 68 is in charge of the basket B from the first vacuum drying tank 22 to the second hot air drying tank 23. The eighth frame 69 is a basket B from the second hot air drying tank 23 to the second vacuum drying tank 24.
Is in charge of. The ninth frame 70 is in charge of the basket B from the second vacuum drying tank 24 to the exit side conveyor 25.

【0029】洗浄ブロックにおける各槽11〜14と第
1熱風乾燥槽21の配列ピッチはP1で統一されてお
り、第1枠体62〜第5枠体66はコネクティングロッ
ド71によって連結され、一体となってスライド移動す
るようになっている。そのため、図2に示されるスライ
ド駆動手段72が収納スペース4内に配設されている。
乾燥ブロックにおける各槽21〜24は特に真空乾燥槽
の大きさに合わせてより大きなピッチP2で統一されて
おり、第6枠体67〜第9枠体70はコネクティングロ
ッド73によって連結され、一体となってスライド移動
するようになっている。そのため、図2に示されるスラ
イド駆動手段74が収納スペース4内に配設されてい
る。
The arrangement pitch of each of the tanks 11 to 14 and the first hot air drying tank 21 in the cleaning block is standardized as P1, and the first frame body 62 to the fifth frame body 66 are connected by the connecting rod 71 to form one body. It is designed to slide. Therefore, the slide drive means 72 shown in FIG. 2 is arranged in the storage space 4.
The respective tanks 21 to 24 in the drying block are unified with a larger pitch P2 particularly in accordance with the size of the vacuum drying tank, and the sixth frame 67 to the ninth frame 70 are connected by the connecting rod 73 to be integrated. It is designed to slide. Therefore, the slide driving means 74 shown in FIG. 2 is arranged in the storage space 4.

【0030】このような搬送手段によるバスケットBの
搬送例を図4により説明する。図4は入側コンベア11
から洗浄槽11への搬送を示している。図4(a)にお
いて、第1枠体62と第2枠体63の基部61bは別個
に下降(矢印a,b)し、バスケットBの下までハンガ
ー61aが下がる。第1枠体62と第2枠体63が一体
としてスライド移動(矢印c)し、バスケットBのピン
の真下にハンガー61aが入る。そして、第1枠体62
と第2枠体63の基部61bが別個に上昇(矢印d,
e)し、ハンガー61aでバスケットBを吊る。図4
(b)において、バスケットBが上限まで吊り上げられ
ると、スライド移動で洗浄槽11と干渉しなくなる。そ
して、図4(c)のように、ピッチP1より若干短い距
離だけスライド移動(矢印f)し、第1枠体62が洗浄
槽11の真上に来る。そして、基部61bが下降し(矢
印g)、バスケットBを洗浄槽11内とするが、下降の
途中で上下動(矢印h)して超音波洗浄がバスケットB
内の洗浄物の全体に行き渡るようにする。洗浄が終わる
と、基部61bが更に下降(矢印i)し、バスケットB
を洗浄槽11内の台部11aの移載する。そして、第1
枠体62の全体が僅かにスライド移動(矢印j)し、バ
スケットBからハンガー61aを外す。そして、基部6
1aが上限まで上昇(矢印l)し、第1枠体62の全体
がスライド移動(矢印m)し、基部61aが少し下降
(矢印n)し、図4(a)の状態に復帰する。なお、残
りの枠体も同様の動きをして、バスケットBを順送りす
る。
An example of carrying the basket B by the carrying means will be described with reference to FIG. FIG. 4 shows the entrance conveyor 11
The transfer from the cleaning tank to the cleaning tank 11 is shown. In FIG. 4A, the base portions 61b of the first frame body 62 and the second frame body 63 are individually lowered (arrows a and b), and the hanger 61a is lowered to the bottom of the basket B. The first frame body 62 and the second frame body 63 slide and move as a unit (arrow c), and the hanger 61a enters directly under the pin of the basket B. Then, the first frame body 62
And the base portion 61b of the second frame 63 rises separately (arrow d,
e) and hang the basket B with the hanger 61a. Figure 4
In (b), when the basket B is lifted to the upper limit, it does not interfere with the cleaning tank 11 due to the sliding movement. Then, as shown in FIG. 4C, the first frame 62 is moved directly above the cleaning tank 11 by sliding (arrow f) a distance slightly shorter than the pitch P1. Then, the base portion 61b descends (arrow g), and the basket B is placed in the cleaning tank 11, but it moves up and down (arrow h) in the middle of the descending operation to perform ultrasonic cleaning on the basket B.
Make sure to spread the entire wash inside. When the cleaning is completed, the base portion 61b is further lowered (arrow i), and the basket B
The base 11a in the cleaning tank 11 is transferred. And the first
The entire frame 62 slides slightly (arrow j), and the hanger 61a is removed from the basket B. And the base 6
1a rises to the upper limit (arrow l), the entire first frame 62 slides (arrow m), the base portion 61a slightly descends (arrow n), and returns to the state of FIG. 4 (a). The remaining frames also move in the same manner, and the basket B is fed in sequence.

【0031】各枠体62,63・・の基部61bは個別
に昇降自在であるため、洗浄槽11内における上下動
や、最終段の第3リンス槽14における制御された引き
上げや、熱風乾燥槽や真空乾燥槽の蓋の動きと連動した
速やかな昇降動作ができる。なお、ハンガー61aの前
後の高さに差があり、吊った状態のバスケットBが斜め
になって、水切りが良くなっている。このバスケットB
は洗浄物の形状に対応して角型や丸型があって、洗浄液
が通りやすいように金網を主体として形成されている。
Since the base portions 61b of the respective frame bodies 62, 63, ... Can be raised and lowered individually, they can be moved up and down in the cleaning tank 11, controlled lifting in the third rinse tank 14 at the final stage, and hot air drying tank. It is possible to quickly move up and down in conjunction with the movement of the lid of the vacuum drying tank. There is a difference in height between the front and rear of the hanger 61a, and the basket B in the suspended state is slanted to improve drainage. This basket B
Has a rectangular shape or a round shape corresponding to the shape of the cleaning object, and is formed mainly of a wire mesh so that the cleaning liquid can easily pass through.

【0032】つぎに、図1により前述した洗浄機による
洗浄の具体的手順を説明する。入側シャッター51が開
いてバスケットBがクリーンボックス3内に導入され
る。すると、第1搬送手段16がこのバスケットBを洗
浄槽11内に吊り下げ、界面活性剤0.15重量%が混
入された設定温度50°Cの純水が槽内を循環する状態
にして、この界面活性剤入り純水に浸したままバスケッ
トBを上下動させて超音波洗浄を施す。
Next, a specific procedure of cleaning by the above-mentioned cleaning machine will be described with reference to FIG. The entrance shutter 51 is opened and the basket B is introduced into the clean box 3. Then, the first transporting means 16 suspends the basket B in the cleaning tank 11 so that pure water having a set temperature of 50 ° C. in which 0.15% by weight of the surfactant is mixed is circulated in the tank. While immersed in this pure water containing a surfactant, the basket B is moved up and down to perform ultrasonic cleaning.

【0033】洗浄槽11から引き上げられたバスケット
Bは第1リンス槽11内に吊り下げられる。第1リンス
槽11内の純水は後段よりオーバーフローしてきたもの
を設定温度40°Cで循環させており、洗浄槽11から
持ち込まれる洗浄液を洗い流すと共に、超音波洗浄が施
される。
The basket B pulled up from the cleaning tank 11 is suspended in the first rinse tank 11. The pure water in the first rinse tank 11 is circulated at a preset temperature of 40 ° C., which has overflowed from the subsequent stage, so that the cleaning liquid brought in from the cleaning tank 11 is washed away and ultrasonic cleaning is performed.

【0034】第1リンス槽12から引き上げられたバス
ケットBは第2リンス槽13内に吊り下げられる。第2
リンス槽13内の純水は後段よりオーバーフローしてい
たものに新たな純水を補給しつつ、設定温度40°Cで
槽内循環を行っている。したがって、前段の第1リンス
槽12より純度が高く、より純度の高いすすぎを行うと
共に、超音波が施される。
The basket B pulled up from the first rinse tank 12 is suspended in the second rinse tank 13. Second
The pure water in the rinse tank 13 is circulated in the tank at a set temperature of 40 ° C. while supplying fresh pure water that had overflowed from the subsequent stage. Therefore, a higher-purity rinse than that of the first rinsing tank 12 in the previous stage is performed, and ultrasonic waves are applied.

【0035】第2リンス槽13から引き上げられたバス
ケットBは最終段の第3リンス槽14内に吊り下げられ
る。第3リンス槽14内の純水は新たな純水を補給しつ
つ、設定温度80°Cに加熱されている。高温で流動性
が高くなっており且つ純度の高い純水にひたすことによ
りって、最終のすすぎを行う。そして、この最終のすす
ぎが終わった後は、出来るだけ水切りすることが求めら
れる。そのため、高温の純水ほど水切りもよくなる。さ
らに、この第2リンス槽13からの引き上げ速度を12
mm/sec内に制限することにより、洗浄物表面の純
水に表面張力が作用し、残ろうとする水滴を表面張力で
引き落とす。これによって、洗浄物表面に残る純水が少
なくなって、その後の乾燥を素早く行うことができる。
The basket B pulled up from the second rinse tank 13 is suspended in the final third rinse tank 14. The pure water in the third rinse tank 14 is heated to a set temperature of 80 ° C. while supplying new pure water. Final rinsing is performed by dipping in pure water that has high flowability and high purity at high temperature. After the final rinse, it is required to drain as much as possible. Therefore, the higher the temperature of pure water, the better the drainage. Further, the pulling speed from the second rinse tank 13 is set to 12
By limiting to within mm / sec, the surface tension acts on the pure water on the surface of the cleaning product, and the water droplets to be left are pulled down by the surface tension. As a result, the amount of pure water remaining on the surface of the washed object is reduced, and the subsequent drying can be performed quickly.

【0036】第3リンス槽14から引き上げられたバス
ケットBは第1熱風乾燥槽21内に載置され、蓋が閉じ
られる。第1熱風乾燥槽21内には90°Cのクリーン
な熱風が吹き出すと共に循環しており、この熱風にさら
されるバスケットBは揺動している。揺動によって洗浄
物の広い範囲に熱風が行き渡って加熱され、表面に残っ
た純水は蒸発させられる。
The basket B pulled up from the third rinse tank 14 is placed in the first hot air drying tank 21 and the lid is closed. Clean hot air of 90 ° C. is blown out and circulates in the first hot air drying tank 21, and the basket B exposed to this hot air is rocking. Due to the rocking, hot air spreads over a wide range of the object to be heated and the pure water remaining on the surface is evaporated.

【0037】第1熱風乾燥槽21で加熱されたバスケッ
トBは第1真空乾燥槽22内に載置され、蓋が閉じられ
る。第1真空乾燥炉22は15torまで40〜50秒
かけて真空引きするものであり、沸騰状態の純水を気化
させるので、水滴を作りにくく、不純物によるシミを抑
える。この40〜50秒の間にバスケットB内の洗浄物
は35°Cぐらいまで冷える。
The basket B heated in the first hot air drying tank 21 is placed in the first vacuum drying tank 22 and the lid is closed. The first vacuum drying furnace 22 draws a vacuum up to 15 torr for 40 to 50 seconds and vaporizes pure water in a boiling state. Therefore, it is difficult to form water droplets and stains due to impurities are suppressed. During the 40 to 50 seconds, the cleaning material in the basket B is cooled to about 35 ° C.

【0038】第1熱風乾燥槽21と第1真空乾燥槽22
の組による乾燥でも充分な場合が多いが、乾燥を迅速且
つ低温で行うために、更に第2熱風乾燥槽23と第2真
空乾燥槽24の組を付加した乾燥を行う。
The first hot air drying tank 21 and the first vacuum drying tank 22
In many cases, the drying by the set of No. 2 is sufficient, but in order to perform the drying quickly and at a low temperature, the drying is further performed by adding the set of the second hot air drying tank 23 and the second vacuum drying tank 24.

【0039】第1真空乾燥槽22から引き上げられたバ
スケットBは第2熱風乾燥槽23内に載置され、蓋が閉
じられる。第2熱風乾燥槽23内には50°Cのクリー
ンな熱風が吹き出すと共に循環しており、残った純水が
加熱され蒸発させられる。
The basket B pulled up from the first vacuum drying tank 22 is placed in the second hot air drying tank 23 and the lid is closed. Clean hot air of 50 ° C. is blown out and circulated in the second hot air drying tank 23, and the remaining pure water is heated and evaporated.

【0040】第2熱風乾燥槽23で加熱されたバスケッ
トBは第2真空乾燥槽24内に載置され、蓋が閉じられ
る。第2真空乾燥炉24も15torまで40〜50秒
かけて真空引きする。この40〜50秒の間にバスケッ
トB内の洗浄物は25°Cぐらいまで冷える。このよう
に、第1組の熱風乾燥槽と真空乾燥槽及び第2組の熱風
乾燥槽と真空乾燥槽との組合せによって、短時間の乾燥
が実現でき、水滴乾燥によるシミの発生が殆どなくな
る。また、乾燥後の洗浄物の温度も適温まで降下してお
り、後処理に支障を生じることもない。
The basket B heated in the second hot air drying tank 23 is placed in the second vacuum drying tank 24 and the lid is closed. The second vacuum drying furnace 24 is also evacuated to 15 torr for 40 to 50 seconds. During the 40 to 50 seconds, the cleaning material in the basket B is cooled to about 25 ° C. Thus, by combining the first set of hot air drying tanks and vacuum drying tanks and the second set of hot air drying tanks and vacuum drying tanks, short-time drying can be realized, and spots due to water drop drying are almost eliminated. Further, the temperature of the washed product after drying is also lowered to an appropriate temperature, and there is no problem in post-treatment.

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明の洗浄機は、基本的には純水を用
いた超音波洗浄であるが、多段リンス槽の汚れを抑え、
後段のすすぎ力強化によって、洗浄力を向上させ、溶剤
に匹敵する洗浄力とし、ポストフロンの洗浄機としても
使えるという効果を奏する。ポストフロンの洗浄機とし
て使うためには、界面活性剤の上限を決め、最終段リン
ス槽の温度を引き上げ速度を制限することが有益であ
る。また、各槽への搬送手段に起因するクリーンボック
ス内の汚れを無くし、搬送手段を利用して超音波洗浄で
の上下動や最終段での制御された引き上げを行うと、搬
送構造を簡単にすることができる。
The cleaning machine of the present invention is basically an ultrasonic cleaning using pure water, but it prevents the multi-stage rinse tank from becoming dirty.
By strengthening the rinsing power at the latter stage, the cleaning power is improved, and the cleaning power is comparable to that of a solvent, and it can also be used as a post CFC cleaning machine. In order to use it as a post CFC washing machine, it is beneficial to determine the upper limit of the surfactant and raise the temperature of the final stage rinse tank to limit the speed. In addition, by removing the dirt in the clean box due to the transfer means to each tank and using the transfer means to perform vertical movement in ultrasonic cleaning and controlled lifting at the final stage, the transfer structure can be simplified. can do.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】洗浄機の全体フロー図である。FIG. 1 is an overall flow diagram of a washing machine.

【図2】洗浄機の全体上面図である。FIG. 2 is an overall top view of the washing machine.

【図3】洗浄機の全体側面図である。FIG. 3 is an overall side view of the washing machine.

【図4】洗浄物入りバスケットの搬送を示す作動図であ
る。
FIG. 4 is an operation diagram showing conveyance of a basket containing a wash item.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 洗浄ブロック 2 乾燥ブロック 3 クリーンボックス 11 洗浄槽 12 第1リンス槽 13 第2リンス槽 14 第3リンス槽 16 第1搬送手段 21 第1熱風乾燥槽 22 第1真空乾燥槽 23 第2熱風乾燥槽 24 第2真空乾燥槽 26 第2搬送手段 37 超音波発振器 61 ハンガーアーム 62b ネジ軸(昇降機構、上下動手段) 72,74 スライド機構 B バスケット 1 Cleaning Block 2 Drying Block 3 Clean Box 11 Cleaning Tank 12 First Rinse Tank 13 Second Rinse Tank 14 Third Rinse Tank 16 First Transfer Means 21 First Hot Air Drying Tank 22 First Vacuum Drying Tank 23 Second Hot Air Drying Tank 24 Second Vacuum Drying Tank 26 Second Conveying Means 37 Ultrasonic Oscillator 61 Hanger Arm 62b Screw Shaft (Elevating Mechanism, Vertical Moving Means) 72, 74 Sliding Mechanism B Basket

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐宗 高 茨城県新治郡千代田町上稲吉向原1764−1 センサー・テクノロジー株式会社内 (72)発明者 住吉 建夫 大阪府八尾市北久宝寺1−4−13−604 株式会社サバスエンジニアリング内 (72)発明者 新井 勝 大阪府大阪市都島区都島北町1−19−3 デンヨー株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takashi Sasou 1764-1, Kaminaichimukaihara, Chiyoda-cho, Shinji-gun, Ibaraki Sensor Technology Co., Ltd. −604 Sabas Engineering Co., Ltd. (72) Inventor Masaru Arai 1-19-3 Miyakojima Kitamachi, Miyakojima-ku, Osaka City, Osaka Prefecture Denyo Co., Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被洗浄物入りバスケットを順次浸漬する
洗浄ブロックと、洗浄後の被洗浄物を順次乾燥させる乾
燥ブロックとを含む洗浄装置において、 前記洗浄ブロックと乾燥ブロックとが共通のクリンーボ
ックス内に収容されており、 前記洗浄ブロックは、界面活性剤入り純水の洗浄槽と、
後段から前段にオーバーフローする純水を、最終段の純
水温度が前段の純水高温より高くなるようにして貯溜し
た2段以上のリンス槽とを有し、 前記洗浄ブロックの最後段以外の各槽内のバスケットは
上下動自在に支持され、これら各槽内に超音波発振器が
付設され、 前記乾燥ブロックは、開閉蓋付の熱風乾燥槽と、開閉蓋
付の真空乾燥槽とを有し、 前記各槽に対して洗浄物入りバスケットを出し入れして
次の槽に運ぶ搬送手段を備えてなる洗浄機。
1. A cleaning device comprising a cleaning block for sequentially immersing a basket containing an object to be cleaned, and a drying block for successively drying the object to be cleaned after cleaning, wherein the cleaning block and the drying block are in a common clean box. The cleaning block is a cleaning tank of pure water containing a surfactant,
The rinse block has two or more stages of rinse water in which pure water overflowing from the latter stage to the former stage is stored such that the temperature of the last stage pure water becomes higher than the high temperature of pure water of the preceding stage, and each rinse block other than the last stage. The basket in the tank is supported movably up and down, an ultrasonic oscillator is provided in each of these tanks, the drying block has a hot air drying tank with an opening and closing lid, and a vacuum drying tank with an opening and closing lid, A washing machine provided with a transporting means for carrying a basket containing the washings into and out of each of the tanks and carrying the basket to the next tank.
【請求項2】 前記洗浄ブロックの洗浄槽における純水
は、界面活性剤を純水に対して0.2重量%以下含んで
いる請求項1記載の洗浄機。
2. The cleaning machine according to claim 1, wherein the pure water in the cleaning tank of the cleaning block contains a surfactant in an amount of 0.2% by weight or less based on the pure water.
【請求項3】 前記洗浄ブロックの最後段のリンス槽の
純水の温度が70°C以上に設定され、バスケットの引
き上げ速度が12mm/sec以下に設定されている請
求項1記載の洗浄機。
3. The cleaning machine according to claim 1, wherein the temperature of the pure water in the rinse tank at the last stage of the cleaning block is set to 70 ° C. or higher, and the basket lifting speed is set to 12 mm / sec or lower.
【請求項4】 前記搬送手段が、前記バスケットを吊る
ハングアームを槽の数より一つ多い数だけ前記クリーン
ボックス内に突設し、前記ハングアームを昇降自在とす
る手段と前記ハングアームを槽の配列ピッチだけスライ
ド自在とする手段とを前記クリーンボックス外に設けた
ものである請求項1記載の洗浄機。
4. The means for transporting, wherein the number of hang arms for suspending the basket is set to be one more than the number of tanks in the clean box so that the hang arms can be moved up and down and the hang arms are tanks. 2. The washing machine according to claim 1, further comprising means for slidable by the arrangement pitch of 1. outside the clean box.
【請求項5】 前記ハングアームは、槽毎に昇降自在に
設けられている請求項4記載の洗浄機。
5. The washing machine according to claim 4, wherein the hang arm is provided so as to be vertically movable for each tank.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102806216A (en) * 2012-08-21 2012-12-05 安阳市凤凰光伏科技有限公司 Quasi-monocrystalline silicon wafer cleaning method
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