JPH07287866A - Optical recording medium and its production - Google Patents

Optical recording medium and its production

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Publication number
JPH07287866A
JPH07287866A JP6076155A JP7615594A JPH07287866A JP H07287866 A JPH07287866 A JP H07287866A JP 6076155 A JP6076155 A JP 6076155A JP 7615594 A JP7615594 A JP 7615594A JP H07287866 A JPH07287866 A JP H07287866A
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JP
Japan
Prior art keywords
film
dry
recording medium
optical recording
photocurable film
Prior art date
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Pending
Application number
JP6076155A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kiyohide Ogasawara
清秀 小笠原
Takahiro Kobayashi
高広 小林
Kiyoaki Fujii
清朗 藤井
Naoto Ozasa
直人 小笹
Jiro Fujimori
二郎 藤森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pioneer Video Corp
Pioneer Corp
Original Assignee
Pioneer Video Corp
Pioneer Electronic Corp
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Publication date
Application filed by Pioneer Video Corp, Pioneer Electronic Corp filed Critical Pioneer Video Corp
Priority to JP6076155A priority Critical patent/JPH07287866A/en
Publication of JPH07287866A publication Critical patent/JPH07287866A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To provide an optical recording medium with high massproductivity in which thermal design is improved and high density recording is possible, and to obtain a production method of an optical recording medium by which the optical recording medium having these advantages can be efficiently obtd. CONSTITUTION:After a dry photosetting film 2 in an unhardened state is formed on a light-transmitting substrate 1, a projecting part 4 having enough height for thermal insulation or a recessed part 5 having enough depth is press formed in this dry photosetting film 2 by using a silicon stamper at room temp. Then the unhardened dry photosetting film 2 is irradiated with UV rays to harden the dry photosetting film 2. Then a recording layer 3 is formed on the top of each projecting part 4 or the bottom of each recessed part 5. Thus, the obtd. optical recording medium realizes thermal insulation among each unit information region.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光記録媒体に関し、さら
に詳しくは記録消去時の熱クロストークが抑制されてい
て高密度記録が可能であるとともに生産性に優れた光記
録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording medium, and more particularly to an optical recording medium which suppresses thermal crosstalk during recording and erasing, enables high density recording and is excellent in productivity.

【0002】[0002]

【従来の技術】集光されたレーザ光の熱により情報を記
録する光記録媒体において、記録密度を高めるためには
記録消去時の熱クロストークを抑制することが重要であ
る。
2. Description of the Related Art In an optical recording medium in which information is recorded by the heat of condensed laser light, it is important to suppress thermal crosstalk during recording and erasing in order to increase the recording density.

【0003】記録消去時の熱クロストークが抑制された
光記録媒体としては、たとえば図6に示すように、溝1
01およびランド102を具備する基板103と、可逆
性相変化を行うことができる活性層104と、この活性
層104の上および基板103と活性層104との間の
少なくとも一方に熱伝導性誘電体層105とを有し、隣
接する溝101とランド102との間の熱絶縁を行うの
に十分な深さ、具体的には5,000オングストローム
程度以上の深さをもって溝101が形成された光記録媒
体が提案されている(特開平4−141828号公報参
照)。
As an optical recording medium in which thermal crosstalk during recording / erasing is suppressed, for example, as shown in FIG.
01 and a land 102, an active layer 104 capable of performing a reversible phase change, and a heat conductive dielectric on the active layer 104 and / or at least between the substrate 103 and the active layer 104. Light having a layer 105 and having a depth sufficient to provide thermal insulation between the adjacent groove 101 and land 102, specifically, a groove 101 having a depth of about 5,000 angstroms or more. A recording medium has been proposed (see Japanese Patent Laid-Open No. 4-141828).

【0004】また、たとえば図7に示すように、基板1
10に円柱状のビット記録セル111を形成し、各ビッ
ト記録セル111の上面に記録層112を形成すること
により、各ビット記録セル111間の熱絶縁を図った光
記録媒体も知られている。
Further, for example, as shown in FIG.
There is also known an optical recording medium in which a columnar bit recording cell 111 is formed in 10 and a recording layer 112 is formed on the upper surface of each bit recording cell 111 to achieve thermal insulation between the bit recording cells 111. .

【0005】一方、光記録媒体を構成する基板における
溝や円柱状のビット記録セルの成形方法としては、一般
にニッケルスタンパーを使用する加圧成形法、溶融状態
の樹脂をスタンパーを含む金型内に高圧力で圧入してか
ら固化させる射出成形法、あるいは紫外線などの光のエ
ネルギーにより硬化する液状の樹脂を用いるいわゆる2
P(photo polymarization)法等が広く知られている。
On the other hand, as a method of molding a groove or a columnar bit recording cell in a substrate constituting an optical recording medium, generally, a pressure molding method using a nickel stamper, a molten resin in a mold including a stamper is used. Injection molding method in which it is solidified after being pressed under high pressure, or so-called 2 using a liquid resin that is cured by the energy of light such as ultraviolet rays.
The P (photo polymarization) method and the like are widely known.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
図6あるいは図7に示す光記録媒体の製造において、基
板における溝またはビット記録セルの成形に加圧成形法
を採用した場合、隣接する溝101とランド102との
間の熱絶縁を行うのに十分な深さあるいは各ビット記録
セル111間の熱絶縁を行うのに十分な高さをもって溝
101あるいはビット記録セル111を形成しようとす
ると、大きな加圧力を要するため基板に反りが生じ、基
板の機械特性が劣化するという問題がある。
However, when the pressure molding method is used to mold the grooves or the bit recording cells in the substrate in the manufacture of the optical recording medium shown in FIG. 6 or 7, for example, the adjacent grooves 101 are not formed. If it is attempted to form the groove 101 or the bit recording cell 111 with a depth sufficient to provide thermal insulation with the land 102 or with a height sufficient to provide thermal insulation between the bit recording cells 111, a large addition is required. Since pressure is required, the substrate warps, and the mechanical properties of the substrate deteriorate.

【0007】そこで、例えば図6あるいは図7に示す光
記録媒体の製造においては、基板における溝または円柱
状のビット記録セルの成形に射出成形法を採用すること
が考えられるのであるが、射出成形法を採用した場合に
は、成形直後の樹脂の硬化収縮により図6に示す光記録
媒体では平面性の良好な基板を得ることが困難であり、
また図7に示す光記録媒体では高密度記録のための小さ
なビット記録セルを形成することが困難であるという問
題が生じる。さらに、上記の2P法を採用した場合に
も、これに用いる樹脂の硬化収縮が大きいため平面性の
良好な基板を得ることができず、また成形に時間がかか
るため製造コスト及び量産性に改善の余地がある。
Therefore, for example, in manufacturing the optical recording medium shown in FIG. 6 or 7, it is conceivable to adopt the injection molding method for molding the groove or the columnar bit recording cell in the substrate. When the method is adopted, it is difficult to obtain a substrate having good flatness in the optical recording medium shown in FIG. 6 due to curing shrinkage of the resin immediately after molding.
Further, the optical recording medium shown in FIG. 7 has a problem that it is difficult to form a small bit recording cell for high density recording. Further, even when the above-mentioned 2P method is adopted, it is not possible to obtain a substrate having good flatness because the curing shrinkage of the resin used for the 2P method is large, and since it takes time to mold, the manufacturing cost and mass productivity are improved. There is room for

【0008】そこで、本発明者が溝とランドとの熱絶縁
を行うのに十分な深さをもった溝(凹部)あるいは各ビ
ット記録セル間の熱絶縁を行うのに十分な高さをもった
突起(凸部)を有する高密度記録が可能な光記録媒体に
ついて鋭意検討を重ねた結果、基板上に特定の樹脂フィ
ルムを積層し、これに凹部または凸部を成形すると、成
形精度および平面性に優れた基板を有する光記録媒体と
することができること、およびこのような利点を有する
光記録媒体は特定の製造方法により効率良く得られるこ
とを見い出した。
Therefore, the present inventor has a groove (recess) having a sufficient depth for thermal insulation between the groove and the land, or a height sufficient for thermal insulation between the bit recording cells. As a result of intensive studies on an optical recording medium having protrusions (projections) capable of high-density recording, when a specific resin film is laminated on a substrate and recesses or protrusions are formed on this, molding accuracy and flatness are improved. It has been found that an optical recording medium having a substrate having excellent properties can be obtained, and an optical recording medium having such an advantage can be efficiently obtained by a specific manufacturing method.

【0009】本発明はかかる事情に基づいてなされたも
のであり、本発明の目的は、熱設計が改善されていて高
密度記録が可能であるとともに、量産性の高い光記録媒
体およびそのような利点を有する光記録媒体を効率良く
得ることのできる光記録媒体の製造方法を提供すること
にある。
The present invention has been made under such circumstances, and an object of the present invention is an optical recording medium having an improved thermal design, capable of high-density recording, and having high mass productivity, and such a recording medium. An object of the present invention is to provide an optical recording medium manufacturing method capable of efficiently obtaining an optical recording medium having advantages.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに本発明の光記録媒体は、光透過性基板と、前記光透
過性基板上に積層されたドライ光硬化性フィルムと、前
記ドライ光硬化性フィルム上に積層された記録層とを有
する光記録媒体であって、前記ドライ光硬化性フィルム
にはそれぞれが単位情報領域を形成する複数の凹部また
は凸部が互いに熱絶縁される深さまたは高さをもって設
けられているとともに前記各凹部の底面または各凸部の
上面に記録層が形成されている構成とし、また、本発明
の光記録媒体の製造方法は、光透過性基板上にドライ光
硬化性フィルムを積層してドライ光硬化性フィルム付基
板を形成する工程と、前記ドライ光硬化性フィルム付基
板におけるドライ光硬化性フィルムの露出面にシリコン
スタンパーを重ね合わせて室温下で加圧成形することに
より該ドライ光硬化性フィルムの露出面にそれぞれが単
位情報領域となる複数の凹部または凸部を互いに熱絶縁
される深さまたは高さで形成する工程と、前記シリコン
スタンパーを重ね合わせたままの状態で前記ドライ光硬
化性フィルムに紫外線を照射して該ドライ光硬化性フィ
ルムを硬化させる工程と、前記シリコンスタンパーを硬
化したドライ光硬化性フィルムから分離する工程と、前
記各凹部の底面または前記各凸部の上面に記録層を形成
する工程とを有する構成とした。
In order to achieve the above object, an optical recording medium of the present invention comprises a light transmissive substrate, a dry photocurable film laminated on the light transmissive substrate, and the dry film. An optical recording medium having a recording layer laminated on a photo-curable film, wherein the dry photo-curable film has a depth in which a plurality of concave portions or convex portions each forming a unit information area are thermally insulated from each other. And a recording layer is formed on the bottom surface of each concave portion or the top surface of each convex portion, and the method for manufacturing an optical recording medium of the present invention is provided on a light-transmissive substrate. Forming a substrate with a dry photocurable film by laminating a dry photocurable film on the substrate, and stacking a silicon stamper on the exposed surface of the dry photocurable film in the substrate with the dry photocurable film. And forming a plurality of concave portions or convex portions, each of which serves as a unit information area, on the exposed surface of the dry photocurable film by pressure molding at room temperature in a depth or height such that they are thermally insulated from each other. A step of irradiating the dry photo-curable film with ultraviolet rays to cure the dry photo-curable film in a state where the silicon stamper is superposed, and separating the silicon stamper from the cured dry photo-curable film. The configuration includes a step and a step of forming a recording layer on the bottom surface of each concave portion or the upper surface of each convex portion.

【0011】[0011]

【作用】本発明の光記録媒体は、光透過性基板と、この
光透過性基板上に積層されたドライ光硬化性フィルム
と、このドライ光硬化性フィルム上に積層された記録層
とを有し、光透過性基板上に積層されたドライ光硬化性
フィルムにはそれぞれが単位情報領域を形成する複数の
凹部または凸部が互いに熱絶縁される深さまたは高さを
もって設けられているとともに各凹部の底面または各凸
部の上面に記録層が形成されている。このような凹部ま
たは凸部が形成されているドライ光硬化性フィルムは、
室温・未硬化状態での粘度が光透過性基板の室温下での
粘度よりも高く、かつ従来の2P法で使用されている液
状の紫外線硬化性樹脂の粘度よりも高い。したがって、
上記の熱絶縁を行った凹部または凸部を未硬化状態のド
ライ光硬化性フィルムに成形すれば、大きな加圧力を必
要としないため基板の機械特性の劣化を招くことがない
とともに、硬化収縮が小さいため基板の平面性が高い。
それゆえ、この光記録媒体では、それぞれが単位情報領
域を形成する複数の凹部または凸部が互いに熱絶縁され
る深さまたは高さをもって、しかも高い成形精度で形成
されているため、高密度記録が可能である。
The optical recording medium of the present invention comprises a light transmissive substrate, a dry photocurable film laminated on the light transmissive substrate, and a recording layer laminated on the dry photocurable film. However, the dry photo-curable film laminated on the light-transmissive substrate is provided with a plurality of concave portions or convex portions each forming a unit information area with a depth or height such that they are thermally insulated from each other. A recording layer is formed on the bottom surface of the concave portion or the top surface of each convex portion. The dry photocurable film having such a recess or protrusion is
The viscosity at room temperature and in the uncured state is higher than the viscosity of the light transmissive substrate at room temperature, and higher than the viscosity of the liquid UV curable resin used in the conventional 2P method. Therefore,
Molding the heat-insulated recesses or protrusions into an uncured dry photocurable film does not require a large pressing force and thus does not lead to deterioration of the mechanical properties of the substrate and also causes curing shrinkage. Since it is small, the flatness of the substrate is high.
Therefore, in this optical recording medium, since a plurality of concave portions or convex portions each forming a unit information area are formed with a depth or height at which they are thermally insulated from each other and with high molding precision, high density recording is possible. Is possible.

【0012】また、本発明の光記録媒体の製造方法にお
いては、光透過性基板に直接に互いに熱絶縁を行うのに
十分な深さまたは高さをもつ溝またはピットを形成せず
に、光透過性基板上に、未硬化状態のドライ光硬化性フ
ィルムを積層した後、このドライ光硬化性フィルムにシ
リコンスタンパーを重ね合わせて室温下で加圧成形する
ことにより該ドライ光硬化性フィルムに凹部または凸部
を形成するので、光透過性基板に直接に凹部または凸部
を形成する場合に比較して加圧に要する圧力が低く、光
透過性基板の機械特性の劣化を招くことがない。また、
ドライ光硬化性フィルムは硬化収縮が小さいので、平面
性が損なわれることもない。しかも、大型の加圧装置を
必要とせず、また加熱装置は不要である。
Further, in the method for manufacturing an optical recording medium of the present invention, the optical transmissive substrate is directly formed without forming grooves or pits having a depth or a height sufficient to provide thermal insulation to each other. After stacking an uncured dry photocurable film on a transparent substrate, a silicon stamper is overlaid on the dry photocurable film and pressure-molded at room temperature to form recesses in the dry photocurable film. Alternatively, since the convex portion is formed, the pressure required for pressurization is lower than that when the concave portion or the convex portion is directly formed on the light transmissive substrate, and the mechanical characteristics of the light transmissive substrate are not deteriorated. Also,
Since the dry photocurable film has a small curing shrinkage, the flatness is not impaired. Moreover, a large pressurizing device is not required, and a heating device is unnecessary.

【0013】さらに、本発明の光記録媒体の製造方法に
おいては、シリコンスタンパーを使用するので、未硬化
状態のドライ光硬化性フィルムに互いに熱絶縁を行うの
に十分な深さまたは高さをもつ凹部または凸部を精度良
く成形することができる。そして、このようなドライ光
硬化性フィルムに紫外線を照射して該ドライ光硬化性フ
ィルムを硬化させた後、各凹部の底面あるいは各凸部の
上面に記録層を形成して単位情報領域を形成するので、
得られる光記録媒体は記録消去時の熱クロストークの問
題が解消されており、高密度記録が可能である。したが
って、本発明の方法によれば、熱設計が改善されていて
高密度記録が可能な光記録媒体を効率良く製造すること
ができる。
Furthermore, in the method of manufacturing the optical recording medium of the present invention, since the silicon stamper is used, the uncured dry photocurable film has a sufficient depth or height for thermal insulation. It is possible to accurately form the concave portion or the convex portion. Then, after irradiating such a dry photocurable film with ultraviolet rays to cure the dry photocurable film, a recording layer is formed on the bottom surface of each concave portion or the upper surface of each convex portion to form a unit information area. Because
The resulting optical recording medium solves the problem of thermal crosstalk during recording and erasing, and enables high density recording. Therefore, according to the method of the present invention, it is possible to efficiently manufacture an optical recording medium having an improved thermal design and capable of high density recording.

【0014】[0014]

【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1および図2はいずれも本発明の光記録
媒体の一例を示す説明図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2 are explanatory views showing an example of the optical recording medium of the present invention.

【0015】図1に示す光記録媒体は、光透過性基板1
とドライ光硬化性フィルム2と記録層3との積層体であ
り、ドライ光硬化性フィルム2には円柱状の凸部4が互
いに熱絶縁を行うのに十分な高さをもって複数設けら
れ、各凸部4の上面には記録層3が形成されている。
The optical recording medium shown in FIG.
And a dry photo-curable film 2 and a recording layer 3. The dry photo-curable film 2 is provided with a plurality of columnar protrusions 4 having a height sufficient to perform thermal insulation. The recording layer 3 is formed on the upper surface of the convex portion 4.

【0016】一方、図2に示す光記録媒体も、光透過性
基板1とドライ光硬化性フィルム2と記録層3との積層
体であり、ドライ光硬化性フィルム2には凹部5が互い
に熱絶縁を行うのに十分な深さをもって複数設けられ、
各凹部の底面には記録層3が形成されている。
On the other hand, the optical recording medium shown in FIG. 2 is also a laminated body of the light transmissive substrate 1, the dry photocurable film 2 and the recording layer 3, and the recesses 5 are mutually heated in the dry photocurable film 2. There are several with sufficient depth to insulate,
The recording layer 3 is formed on the bottom surface of each recess.

【0017】すなわち、図1に示す光記録媒体において
は、凸部4およびその上面に設けられた記録層3により
単位情報領域が形成されており、図2に示す光記録媒体
においては、凹部5およびその底面に設けられた記録層
3により単位情報領域が形成されていることを除けば、
両者の構成は同様であるので、以下、両者についてまと
めて説明する。
That is, in the optical recording medium shown in FIG. 1, a unit information area is formed by the convex portion 4 and the recording layer 3 provided on the upper surface thereof, and in the optical recording medium shown in FIG. And except that the unit information area is formed by the recording layer 3 provided on the bottom surface thereof,
Since both configurations are the same, both will be collectively described below.

【0018】光透過性基板1の形成材料としては、光透
過性を有しているものであればよく、たとえばポリカー
ボネート(PC)、ポリメチルメタクリレート(PMM
A)等の樹脂、光学ガラスなどの透明材料が挙げられ
る。各種透明材料のなかでも、ポリカーボネート(P
C)は、耐環境性に優れ、また寸法安定性にも優れてい
ることから好適に用いられる。
As a material for forming the light-transmitting substrate 1, any material having light-transmitting property may be used. For example, polycarbonate (PC), polymethylmethacrylate (PMM).
Examples include resins such as A) and transparent materials such as optical glass. Among various transparent materials, polycarbonate (P
C) is preferably used because it has excellent environment resistance and dimensional stability.

【0019】この光透過性基板1は、その形成材料が樹
脂である場合には、たとえば射出成形により一体的に形
成されるが、そのような射出成形樹脂基板に限らず、た
とえば樹脂シートから所定形状に切り抜いたり、打ち抜
いたりして得られたものであってもよい。また、前記の
2P法で形成したものであってもよい。
This light transmissive substrate 1 is integrally formed by, for example, injection molding when the forming material is a resin, but is not limited to such an injection molding resin substrate, and is made of, for example, a resin sheet. It may be obtained by cutting or punching into a shape. Further, it may be formed by the 2P method.

【0020】光透過性基板1の形状および大きさは、こ
の光記録媒体の用途に応じて適宜に決定される。光透過
性基板1には、互いに熱絶縁を行うのに十分な高さをも
った凸部4または互いに熱絶縁を行うのに十分な深さを
もった凹部5が形成されたドライ光硬化性フィルム2が
積層されている。
The shape and size of the light transmissive substrate 1 are appropriately determined according to the application of this optical recording medium. The light transmissive substrate 1 is provided with a convex portion 4 having a height sufficient to perform thermal insulation with each other or a concave portion 5 having a depth sufficient to perform thermal insulation with respect to each other. The film 2 is laminated.

【0021】このドライ光硬化性フィルム2は、室温・
未硬化状態での粘度が光透過性基板1の室温下での粘度
よりも低く、かつ紫外線の照射により硬化する性質を有
し、実質的に溶剤を含まないものである。
This dry photocurable film 2 is used at room temperature
The viscosity in the uncured state is lower than the viscosity of the light transmissive substrate 1 at room temperature, and it has a property of being cured by irradiation of ultraviolet rays, and substantially contains no solvent.

【0022】具体的には、このドライ光硬化性フィルム
2の室温・未硬化状態での粘度は、通常、3,500〜
400,000ポイズ、好ましくは20,000〜4
0,000ポイズである。この粘度が3,500ポイズ
未満であると、ほぼ液体となりフィルム形状が維持され
なくなったり、硬化収縮が過大になる等の問題を生じる
ことがある。一方、この粘度が400,000ポイズを
超えると、熱絶縁を行うのに十分な高さをもった凸部4
または熱絶縁を行うのに十分な深さをもった凹部5の形
成に要する加圧力が数10t以上になり、光透過性基板
1の機械特性の劣化を招くことがあるとともに、光透過
性基板1への密着力が低下して実用に供せなくなること
がある。
Specifically, the viscosity of the dry photocurable film 2 at room temperature / uncured state is usually from 3,500 to
400,000 poise, preferably 20,000-4
It is 10,000 poise. If the viscosity is less than 3,500 poise, it may become almost liquid and the film shape may not be maintained, or curing shrinkage may become excessive. On the other hand, when the viscosity exceeds 400,000 poise, the convex portion 4 having a height sufficient for thermal insulation is provided.
Alternatively, the pressure required to form the recess 5 having a sufficient depth for thermal insulation may be several tens of tons or more, which may cause deterioration of the mechanical characteristics of the light transmissive substrate 1 and the light transmissive substrate. In some cases, the adhesion to No. 1 is reduced and it cannot be put to practical use.

【0023】このようなドライ光硬化性フィルム2は、
架橋および/または重合により高分子量ポリマーに変化
する光硬化性樹脂組成物により形成され、そのような光
硬化性樹脂組成物としては、例えば光重合型感光性樹脂
組成物が挙げられる。
Such a dry photocurable film 2 is
It is formed of a photocurable resin composition that is converted into a high molecular weight polymer by crosslinking and / or polymerization, and examples of such a photocurable resin composition include a photopolymerizable photosensitive resin composition.

【0024】この光重合型感光性樹脂組成物は、エチレ
ン性不飽和モノマー、光重合開始剤およびバインダーポ
リマーを含有する。ここで、エチレン性不飽和モノマー
としては、たとえばt−ブチルアクリレート、1,5−
ペンタンジオールジアクリレート、N,N−ジエチルア
ミノエチルアクリレート、エチレングリコールジアクリ
レート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、ジエ
チレングリコールジアクリレート、1,3−プロパンジ
オールジアクリレート、デカメチレングリコールジアク
リレート、デカメチレングリコールジメタクリレート、
1,4−シクロヘキセンジオールジアクリレート、2,
2−ジメチロールプロパンジアクリレート、グリセロー
ルジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリ
レート、グリセロールトリアクリレート、トリメチロー
ルプロパントリアクリレート、ペンタエリトリトールト
リアクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプ
ロパントリアクリレート、ポリオキシエチル化トリメチ
ロールプロパントリメタクリレート、2,2−ジ(p−
ヒドロキシフェニル)−プロパンジアクリレート、2,
2−ジ(p−ヒドロキシフェニル)−プロパンジメタク
リレート、ペンタエリトリトールテトラアクリレート、
トリエチレングリコールジアクリレート、ポリオキシエ
チル−2,2−ジ−(p−ヒドロキシフェニル)プロパ
ンジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタク
リレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパン
トリアクリレート、エチレングリコールジメタクリレー
ト、ブチレングリコールジメタクリレート、1,3−プ
ロパンジオールジメタクリレート、1,2,4−ブタン
トリオールトリメタクリレート、2,2,4−トリメチ
ル−1,3−ペンタンジオールジメタクリレート、ペン
タエリトリトールテトラメタクリレート、トリメチロー
ルプロパントリメタクリレート、1,5−ペンタンジオ
ールジメタクリレートなどが挙げられる。
The photopolymerizable photosensitive resin composition contains an ethylenically unsaturated monomer, a photopolymerization initiator and a binder polymer. Here, as the ethylenically unsaturated monomer, for example, t-butyl acrylate, 1,5-
Pentanediol diacrylate, N, N-diethylaminoethyl acrylate, ethylene glycol diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, 1,3-propanediol diacrylate, decamethylene glycol diacrylate, decamethylene glycol diacrylate Methacrylate,
1,4-cyclohexenediol diacrylate, 2,
2-dimethylolpropane diacrylate, glycerol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, glycerol triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, polyoxyethylated trimethylolpropane triacrylate, polyoxyethylated trimethylolpropane Trimethacrylate, 2,2-di (p-
Hydroxyphenyl) -propanediacrylate, 2,
2-di (p-hydroxyphenyl) -propane dimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate,
Triethylene glycol diacrylate, polyoxyethyl-2,2-di- (p-hydroxyphenyl) propane dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, polyoxypropyl trimethylolpropane triacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethacrylate 1,3-propanediol dimethacrylate, 1,2,4-butanetriol trimethacrylate, 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol dimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, 1 , 5-pentanediol dimethacrylate and the like.

【0025】たとえばこれらのエチレン性不飽和モノマ
ーは一種単独で、あるいは二種以上が組み合わせされて
用いられる。光重合型感光性樹脂組成物におけるエチレ
ン性不飽和モノマーの含有率は、通常、5〜90重量
%、好ましくは15〜50重量%である。
For example, these ethylenically unsaturated monomers may be used alone or in combination of two or more. The content of the ethylenically unsaturated monomer in the photopolymerizable photosensitive resin composition is usually 5 to 90% by weight, preferably 15 to 50% by weight.

【0026】光重合開始剤としては、たとえば9,10
−アントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−ク
ロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−
エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノ
ン、オクタメチルアントラキノン、1,4−ナフトキノ
ン、9,10−フェナントレキノン、1,2−ベンズア
ントラキノン、2,3−ベンズアントラキノン、2−メ
チル−1,4−ナフトキノン、2,3−ジクロロナフト
キノン、1,4−ジメチルアントラキノン、2,3−ジ
クロロナフトキノン、1,4−ジメチルアントラキノ
ン、2,3−ジメチルアントラキノン、2,3−ジフェ
ニルアントラキノン、2−フェニルアントラキノン、ア
ントラキノンα−スルホン酸のナトリウム塩、3−クロ
ロ−2−メチルアントラキノン、レテンキノン、7,
8,9,10−テトラヒドロナフタセンキノン等の多核
キノン類、ベンゾイン、ピバロイン、アシロインエーテ
ル、α−炭化水素置換芳香族アシロイン、フェナジン、
オキサジン、ミヒラーケトン、ベンゾフェノン、シクロ
ヘキサジエン化合物などが挙げられる。たとえばこれら
の光重合開始剤とともに増感剤を用いることも好まし
い。
Examples of the photopolymerization initiator include 9,10
-Anthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-
Ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenanthrequinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-benzanthraquinone, 2-methyl-1,4. -Naphthoquinone, 2,3-dichloronaphthoquinone, 1,4-dimethylanthraquinone, 2,3-dichloronaphthoquinone, 1,4-dimethylanthraquinone, 2,3-dimethylanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, Anthraquinone α-sulfonic acid sodium salt, 3-chloro-2-methylanthraquinone, retenquinone, 7,
Polynuclear quinones such as 8,9,10-tetrahydronaphthacenequinone, benzoin, pivaloin, acyloin ether, α-hydrocarbon-substituted aromatic acyloin, phenazine,
Examples thereof include oxazine, Michler's ketone, benzophenone and cyclohexadiene compound. For example, it is also preferable to use a sensitizer together with these photopolymerization initiators.

【0027】たとえばこれらの光重合開始剤は一種単独
で、あるいは二種以上が組み合わされて用いられる。光
重合型感光性樹脂組成物における光重合開始剤の含有率
は、通常、0.5〜30重量%、好ましくは1〜5重量
%である。
For example, these photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more. The content of the photopolymerization initiator in the photopolymerizable photosensitive resin composition is usually 0.5 to 30% by weight, preferably 1 to 5% by weight.

【0028】バインダーポリマーとしては、たとえばポ
リメチルメタクリレート、ポリエチルメタクリレート、
ポリビニルアセテート、ポリビニルアセテート/アクリ
レート、ポリビニルアセテート/メタクリレート、エチ
レン/ビニルアセテートコポリマー、ポリスチレンポリ
マーおよびコポリマー、ビニリデンクロリド/アクリロ
ニトリル、ビニリデンクロリド/メタクリレートとビニ
リデンクロリド/ビニリデンアセテートとのコポリマ
ー、ポリビニルクロリドおよびコポリマー、ブタジエン
/アクリロニトリル、アクリロニトリル/ブタジエン/
スチレン、メタクリレート/アクリロニトリル/ブタジ
エン/スチレンコポリマー、2−クロロブタジエン−
1,3−ポリマー、塩素化ゴム、スチレン/ブタジエン
/スチレン、スチレン/イソプレン/スチレンブロック
コポリマー、アクリレート基またはメタクリレート基を
含むエポキシド、コポリエステル、ポリアミド、セルロ
ースエステル、セルロースエーテル、ポリカーボネー
ト、ポリビニルアセタール、ポリホルムアルデヒドなど
が挙げられる。
As the binder polymer, for example, polymethyl methacrylate, polyethyl methacrylate,
Polyvinyl acetate, polyvinyl acetate / acrylate, polyvinyl acetate / methacrylate, ethylene / vinyl acetate copolymers, polystyrene polymers and copolymers, vinylidene chloride / acrylonitrile, copolymers of vinylidene chloride / methacrylate with vinylidene chloride / vinylidene acetate, polyvinyl chloride and copolymers, butadiene / butadiene Acrylonitrile, acrylonitrile / butadiene /
Styrene, methacrylate / acrylonitrile / butadiene / styrene copolymer, 2-chlorobutadiene-
1,3-polymer, chlorinated rubber, styrene / butadiene / styrene, styrene / isoprene / styrene block copolymer, epoxide containing acrylate group or methacrylate group, copolyester, polyamide, cellulose ester, cellulose ether, polycarbonate, polyvinyl acetal, poly Formaldehyde etc. are mentioned.

【0029】たとえばこれらのバインダーポリマーは一
種単独で、あるいは二種以上が組み合わせされて用いら
れる。光重合型感光性樹脂組成物におけるバインダーポ
リマーの含有率は、通常、5〜90重量%、好ましくは
15〜50重量%であるたとえばこれらの成分を含有す
る光重合型感光性樹脂組成物は、ドライ光硬化性フィル
ム2の室温・未硬化状態における粘度が前記の範囲を逸
脱しない範囲で他の成分、例えば可塑剤、増粘剤、紫外
線吸収剤、酸化防止剤、螢光漂白剤、熱安定剤、離型剤
等を含有していてもよい。
For example, these binder polymers may be used alone or in combination of two or more. The content of the binder polymer in the photopolymerizable photosensitive resin composition is usually 5 to 90% by weight, preferably 15 to 50% by weight. For example, the photopolymerizable photosensitive resin composition containing these components is Other components, such as a plasticizer, a thickener, an ultraviolet absorber, an antioxidant, a fluorescent bleaching agent, and a heat stability, within the range where the viscosity of the dry photocurable film 2 at room temperature / uncured state does not deviate from the above range. It may contain an agent, a release agent and the like.

【0030】光重合型感光性樹脂組成物におけるこれら
の成分の含有率は、可塑剤については、通常、0〜25
重量%、好ましくは5〜15重量%であり、その他の成
分については、通常、0〜5重量%、好ましくは1〜4
重量%である。
The content of these components in the photopolymerizable photosensitive resin composition is usually 0 to 25 for the plasticizer.
% By weight, preferably 5 to 15% by weight, and other components are usually 0 to 5% by weight, preferably 1 to 4%.
% By weight.

【0031】また、ドライ光硬化性フィルム2を形成す
る光硬化性組成物としては、前記光重合感光性樹脂組成
物のほかに、たとえば光二量型感光性樹脂組成物、光架
橋型感光性樹脂組成物が挙げられる。
As the photocurable composition for forming the dry photocurable film 2, in addition to the photopolymerizable photosensitive resin composition, for example, a photodimer type photosensitive resin composition or a photocrosslinking type photosensitive resin is used. A composition is mentioned.

【0032】ドライ光硬化性フィルム2は、未硬化状態
で光透過性基板1上に積層され、その後、この未硬化状
態のドライ光硬化性フィルム2にそれぞれが単位情報領
域を形成する凸部4または凹部5の形状が転写され、熱
絶縁を行うのに十分な高さをもつ凸部4または熱絶縁を
行うのに十分な深さをもつ凹部5が形成された後、紫外
線が照射されて硬化される。そして、ドライ光硬化性フ
ィルム2と光透過性基板1との接着は、このドライ光硬
化性フィルム2の粘着力を利用して行われる。したがっ
て、この光ディスクにおいて、ドライ光硬化性フィルム
2と光透過性基板1との間に接着剤層を設ける必要はな
い。
The dry photo-curable film 2 is laminated on the light-transmissive substrate 1 in an uncured state, and thereafter, the convex portions 4 each forming a unit information area on the dry photo-curable film 2 in an uncured state. Alternatively, after the shape of the concave portion 5 is transferred to form the convex portion 4 having a height sufficient for performing thermal insulation or the concave portion 5 having a depth sufficient for performing thermal insulation, ultraviolet rays are irradiated. Hardened. Then, the dry photocurable film 2 and the light transmissive substrate 1 are adhered to each other by utilizing the adhesive force of the dry photocurable film 2. Therefore, in this optical disc, it is not necessary to provide an adhesive layer between the dry photocurable film 2 and the light transmissive substrate 1.

【0033】ドライ光硬化性フィルム2の厚さは、通
常、5〜150μm、好ましくは10〜60μmであ
る。また、ドライ光硬化性フィルム2の光硬化後の屈折
率は、通常、1.40〜1.60であり、光透過性基板
1の屈折率との差が0.05以下であることが好まし
い。
The thickness of the dry photocurable film 2 is usually 5 to 150 μm, preferably 10 to 60 μm. Further, the refractive index of the dry photocurable film 2 after photocuring is usually 1.40 to 1.60, and the difference from the refractive index of the light transmissive substrate 1 is preferably 0.05 or less. .

【0034】このドライ光硬化性フィルム2に形成され
ている凸部4の高さおよび凹部5の深さはいずれも隣接
する凸部間または凹部間で互いに熱絶縁を行うのに十分
な高さまたは深さであることが重要である。
The height of the convex portions 4 and the depth of the concave portions 5 formed on the dry photocurable film 2 are both high enough to perform thermal insulation between adjacent convex portions or concave portions. Or depth is important.

【0035】具体的には、凸部4の高さは、通常、0.
3μm以上、好ましくは0.5μm以上であり、凹部5
の深さは、0.3μm以上、好ましくは0.5μm以上
である。凸部4の高さが0.3μm未満であったり、凹
部5の深さが0.5μm未満であったりすると、隣接す
る凸部4間または凹部5間の熱絶縁が十分に行われず、
光記録媒体の高密度記録適性が劣化することがある。
Specifically, the height of the convex portion 4 is usually 0.
3 μm or more, preferably 0.5 μm or more, and the recess 5
Has a depth of 0.3 μm or more, preferably 0.5 μm or more. If the height of the convex portion 4 is less than 0.3 μm or the depth of the concave portion 5 is less than 0.5 μm, thermal insulation between adjacent convex portions 4 or concave portions 5 is not sufficiently performed,
The high-density recording suitability of the optical recording medium may deteriorate.

【0036】また、隣接する凸部4の間隔および隣接す
る凹部5の間隔は、通常、0.1〜0.5μmであり、
好ましくは0.1〜0.3μmである。この間隔が0.
1μm未満であると、隣接する凸部4間または隣接する
凹部5間の熱絶縁が十分ではなくなることがある。一
方、この間隔が0.5μmを超えると、そのような光記
録媒体は高密度記録に適さなくなることがある。
The distance between the adjacent convex portions 4 and the distance between the adjacent concave portions 5 is usually 0.1 to 0.5 μm,
It is preferably 0.1 to 0.3 μm. This interval is 0.
If it is less than 1 μm, the thermal insulation between the adjacent convex portions 4 or the adjacent concave portions 5 may not be sufficient. On the other hand, if the distance exceeds 0.5 μm, such an optical recording medium may not be suitable for high density recording.

【0037】図1または図2に示すように、凸部4の上
面または凹部5の底面には記録層3が設けられ、これに
より単位情報領域が形成されている。記録層3の形成材
料としては、例えばTbFeCo、GdFeCo/Tb
Fe、Pt/Co、DyFeCo、BiまたはCe置換
ガーネット等の光磁気メモリ材料;Sn−Se−Te
系、Sb−Te系、In−Se系、Ga−Te系、Ge
−Te系等のいわゆる相変化材料;フタロシアニン系色
素膜、ナフタロシアニン系色素膜等の有機色素膜;Cu
TCNQ光記録膜;シアノビフェニル基をメソゲン基と
するアクリレート系ポリマー等の液晶ポリマーなどが挙
げられる。
As shown in FIG. 1 or FIG. 2, the recording layer 3 is provided on the upper surface of the convex portion 4 or the bottom surface of the concave portion 5, whereby a unit information area is formed. Examples of the material for forming the recording layer 3 include TbFeCo and GdFeCo / Tb.
Magneto-optical memory material such as Fe, Pt / Co, DyFeCo, Bi or Ce substituted garnet; Sn-Se-Te
System, Sb-Te system, In-Se system, Ga-Te system, Ge
-Te-based so-called phase change materials; organic dye films such as phthalocyanine-based dye films and naphthalocyanine-based dye films; Cu
TCNQ optical recording film; a liquid crystal polymer such as an acrylate polymer having a cyanobiphenyl group as a mesogen group.

【0038】各凸部4の上面または各凹部5の底面に設
けられる記録層3の厚さは、記録層3の形成材料等によ
り相違するので一様に決定することは困難であるが、た
とえば光磁気メモリ材料からなる記録層3の厚さは、通
常、0.02〜0.1μm、好ましくは0.02〜0.
08μm程度である。
The thickness of the recording layer 3 provided on the upper surface of each convex portion 4 or the bottom surface of each concave portion 5 differs depending on the forming material of the recording layer 3 and the like, so it is difficult to determine it uniformly. The thickness of the recording layer 3 made of a magneto-optical memory material is usually 0.02 to 0.1 μm, preferably 0.02 to 0.
It is about 08 μm.

【0039】この記録層3には、さらに必要に応じて誘
電体膜および保護膜(いずれも図示せず)を設けること
ができる。誘電体膜を設ける場合、その形成材料として
は、例えばZnS、SiN、AlN、SiO等が挙げら
れる。そのような誘電体膜の厚さは、例えば波長780
nmの記録・再生レーザ光を用いる場合、60〜90n
m程度である。また,保護膜を設ける場合、その形成材
料としては、例えばエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリ
コーン樹脂、ウレタン樹脂、エチレン・酢酸ビニル共重
合樹脂などが挙げられる。また、UV硬化性の樹脂であ
ってもよい。そのような保護膜の厚さは、通常、10〜
20μm程度である。
The recording layer 3 may be further provided with a dielectric film and a protective film (both not shown) if necessary. When the dielectric film is provided, examples of the material for forming the dielectric film include ZnS, SiN, AlN, and SiO. The thickness of such a dielectric film is, for example, at a wavelength of 780.
When using a recording / reproducing laser beam of nm, 60 to 90n
It is about m. When the protective film is provided, examples of its forming material include epoxy resin, acrylic resin, silicone resin, urethane resin, and ethylene / vinyl acetate copolymer resin. It may also be a UV curable resin. The thickness of such a protective film is usually 10 to 10.
It is about 20 μm.

【0040】以上の構成の光記録媒体においては、光過
性基板1に積層されたドライ光硬化性フィルム2に熱絶
縁を行うのに十分な高さをもった凸部4または凹部5が
形成され、この凸部4の上面または凹部5の底面に記録
層3が設けられて単位情報領域が形成されているので、
この光記録媒体は、基板の機械特性の劣化がなく、しか
も単位情報領域間の熱絶縁が十分に行われていて高密度
記録が可能であるという利点を有している。
In the optical recording medium having the above-mentioned structure, the convex portion 4 or the concave portion 5 having a height sufficient for thermal insulation is formed on the dry photocurable film 2 laminated on the phototransparent substrate 1. Since the recording layer 3 is provided on the upper surface of the convex portion 4 or the bottom surface of the concave portion 5 to form the unit information area,
This optical recording medium has the advantages that the mechanical characteristics of the substrate are not deteriorated, the thermal insulation between the unit information areas is sufficiently performed, and high density recording is possible.

【0041】このような利点を有する光記録媒体は、以
下に説明する本発明の方法により効率良く製造される。
図3および図4は本発明の製造方法の一例を示す工程図
であり、図5は本発明の製造方法において好適に使用さ
れるシリコンスタンパーの製造工程の一例を示す工程図
である。
The optical recording medium having such advantages is efficiently manufactured by the method of the present invention described below.
3 and 4 are process diagrams showing an example of the manufacturing method of the present invention, and FIG. 5 is a process diagram showing an example of a manufacturing process of a silicon stamper suitably used in the manufacturing method of the present invention.

【0042】図3(a)に示すように、この方法におい
ては、先ず、フィルム供給ロール51からドライ光硬化
性フィルム2を供給する。ここで、ドライ光硬化性フィ
ルム2は、例えばポリエチレンテレフタレート(PE
T)フィルムからなるベースフィルム21と例えばポリ
エチレン(PE)フィルムからなるカバーフィルム22
との積層体の形態でフィルム供給ロール51に巻き付け
られている。このドライ光硬化性フィルム2は、例えば
カバーフィルム巻取ロール52でカバーフィルム22を
巻取ることにより露出した未硬化のドライ光硬化性フィ
ルム2の一面が光透過性基板1と対向する状態でフィル
ム供給ロール51から引き出される。このようにして引
き出された未硬化のドライ光硬化性フィルム2は、オー
バーロール53とアンダーロール54とにより光透過性
基板1と重ね合わされた状態で押圧され、光透過性基板
1と未硬化のドライ光硬化性フィルム2板とが積層さ
れ、圧着される。なお、未硬化のドライ光硬化性フィル
ム2の一面に積層されているベースフィルム21は、こ
のドライ光硬化性フィルム2にシリコンスタンパー33
が重ね合わされる前のいずれかの段階で剥離除去され
る。
As shown in FIG. 3A, in this method, first, the dry photocurable film 2 is supplied from the film supply roll 51. Here, the dry photocurable film 2 is, for example, polyethylene terephthalate (PE
T) a base film 21 made of a film and a cover film 22 made of a polyethylene (PE) film, for example.
And is wound around the film supply roll 51 in the form of a laminated body of. This dry photocurable film 2 is a film in which one surface of the uncured dry photocurable film 2 exposed by winding the cover film 22 with the cover film take-up roll 52 faces the light transmissive substrate 1, for example. It is pulled out from the supply roll 51. The uncured dry photocurable film 2 thus drawn out is pressed by the overroll 53 and the underroll 54 in a state of being overlapped with the light transmissive substrate 1, and is uncured with the light transmissive substrate 1. Two dry photocurable films are laminated and pressure-bonded. The base film 21 laminated on one surface of the uncured dry photocurable film 2 has a silicon stamper 33 on the dry photocurable film 2.
Are peeled off at any stage before they are superposed.

【0043】ここで、使用に供されるドライ光硬化性フ
ィルム2は、室温・未硬化状態での粘度が光透過性基板
1の室温下での粘度よりも低く、かつ紫外線の照射によ
り硬化する性質を有し、実質的に溶剤を含まないもので
ある。具体的には、このドライ光硬化性フィルム2の室
温・未硬化状態での粘度は、通常、3,500〜40
0,000ポイズ、好ましくは20,000〜40,0
00ポイズである。この粘度が3,500ポイズ未満で
あると、ほぼ液体となりフィルム形状が維持されなくな
ったり、硬化収縮が過大になる等の問題を生じることが
ある。一方、この粘度が400,000ポイズを超える
と、それぞれが単位情報領域を構成する凸部4または凹
部5の形成に要する加圧力が数10t以上になり、光透
過性基板1の機械特性の劣化を招くことがあるととも
に、光透過性基板1への密着力が低下して実用に供せな
くなることがある。
Here, the dry photocurable film 2 to be used has a lower viscosity at room temperature and in an uncured state than that of the light transmissive substrate 1 at room temperature, and is cured by irradiation with ultraviolet rays. It has properties and is substantially free of solvent. Specifically, the viscosity of the dry photocurable film 2 at room temperature in an uncured state is usually 3,500 to 40.
10,000 poise, preferably 20,000-40,000
It is 00 poise. If the viscosity is less than 3,500 poise, it may become almost liquid and the film shape may not be maintained, or curing shrinkage may become excessive. On the other hand, when the viscosity exceeds 400,000 poise, the pressing force required to form the convex portion 4 or the concave portion 5 constituting each unit information area becomes several tens of tons or more, and the mechanical characteristics of the light transmissive substrate 1 deteriorate. In addition, the adhesive strength to the light-transmissive substrate 1 may be reduced and it may not be put to practical use.

【0044】次に、上記の工程で得られた光透過性基板
1と未硬化のドライ光硬化性フィルム2との積層体を、
例えば図3(b)に示す破線に沿ってカットすることに
より該積層体を光記録媒体の所定の形状とし、該積層体
の不要部分を除去する。
Next, the laminated body of the light transmissive substrate 1 and the uncured dry photocurable film 2 obtained in the above process is
For example, by cutting along the broken line shown in FIG. 3B, the laminated body is formed into a predetermined shape of the optical recording medium, and unnecessary portions of the laminated body are removed.

【0045】その後、図3(c)に示すように、上記の
工程で得られた所定形状の積層体を転写ベース31に載
置し、位置合わせ治具32を用いてシリコンスタンパー
33の位置合わせを行う。
After that, as shown in FIG. 3C, the laminate having the predetermined shape obtained in the above step is placed on the transfer base 31, and the position of the silicon stamper 33 is adjusted by using the position adjusting jig 32. I do.

【0046】ここで、本発明の方法においては、シリコ
ンスタンパー33が好適に使用される。シリコンスタン
パーは未硬化状態のドライ光硬化性フィルム2に対し、
熱絶縁を行うのに十分な高さをもつ凸部4または熱絶縁
を行うのに十分な深さをもつ凹部5の転写性が良好だか
らである。
Here, in the method of the present invention, the silicon stamper 33 is preferably used. Silicon stamper is used for dry photo-curable film 2 in uncured state.
This is because the transferability of the convex portion 4 having a sufficient height for thermal insulation or the concave portion 5 having a sufficient depth for thermal insulation is good.

【0047】このようなシリコンスタンパー33は、例
えば図5に示すような工程で次のようにして製造され
る。先ず、図5(a)に示すように、ガラス基板81上
にクロム(Cr)膜82を形成し、このCr膜82上に
フォトレジスト83を塗布してから露光処理を行なう。
次に、図5(b)に示すように、フォトレジストの現像
処理、Cr膜のエッチング処理を行ってフォトマスク8
4を作成する。次いで、図5(c)に示すように、フォ
トレジスト85を塗布したシリコンウェハ86上に上記
のフォトマスク84を載置した状態でUV光を照射し、
フォトレジスト85を露光した後、現像処理を行い、反
応性イオンエッチング処理を行うことにより、熱絶縁を
行うのに十分な高さをもつ凸部または熱絶縁を行なうの
に十分な深さをもつ凹部のネガ形を有するシリコンスタ
ンパー33を得る。
The silicon stamper 33 as described above is manufactured as follows, for example, in the steps shown in FIG. First, as shown in FIG. 5A, a chromium (Cr) film 82 is formed on a glass substrate 81, a photoresist 83 is applied on the Cr film 82, and then an exposure process is performed.
Next, as shown in FIG. 5B, a photoresist development process and a Cr film etching process are performed to perform photomask 8 etching.
Create 4. Next, as shown in FIG. 5C, UV light is irradiated with the photomask 84 placed on the silicon wafer 86 coated with the photoresist 85,
After exposing the photoresist 85, a developing process is performed and then a reactive ion etching process is performed, so that a convex portion having a height sufficient for thermal insulation or a depth sufficient for thermal insulation is provided. A silicon stamper 33 having a negative shape of a recess is obtained.

【0048】例えばこのようにして製造されるシリコン
スタンパー33は、図3(d)に示すように、転写ベー
ス31に載置した所定形状の積層体と位置合わせを行っ
て重ね合された状態で、オーバーロール61とアンダー
ロール62との間に送られる。オーバーロール61とア
ンダーロール62とは、所定形状の積層体とシリコンス
タンパー33とを押圧して未硬化のドライ光硬化性フィ
ルム2にシリコンスタンパー33に形成されたネガ形の
凸部形状または凹部形状を正確に転写して熱絶縁を行う
の十分な高さをもつ凸部4または熱絶縁を行うのに十分
な深さをもつ凹部5を形成する。この転写工程は、室温
下で行われ、加圧力は、通常、0.5〜50kg/cm
2 、好ましくは5〜20kg/cm2 である。
For example, as shown in FIG. 3D, the silicon stamper 33 manufactured in this manner is aligned with the laminated body of a predetermined shape placed on the transfer base 31 and overlapped with it. , Between the over roll 61 and the under roll 62. The over-roll 61 and the under-roll 62 are a negative convex shape or concave shape formed on the uncured dry photocurable film 2 on the silicon stamper 33 by pressing the laminated body of a predetermined shape and the silicon stamper 33. Is accurately transferred to form a convex portion 4 having a sufficient height for thermal insulation or a concave portion 5 having a sufficient depth for thermal insulation. This transfer step is performed at room temperature, and the pressure is usually 0.5 to 50 kg / cm.
2 , preferably 5 to 20 kg / cm 2 .

【0049】このようにして形成する凸部4の高さまた
は凹部5の深さおよび隣接する凸部4間または凹部5間
の間隔については前述の通りである。その後、図4
(a)に示すように、所定形状の積層体をシリコンスタ
ンパー33が重ねられたままの状態で転写ベース31か
ら取り出し、光透過性基板1側から未硬化のドライ光硬
化性フィルム2に紫外線を照射して該ドライ光硬化性フ
ィルム2を硬化させる。
The height of the convex portions 4 or the depth of the concave portions 5 thus formed and the distance between the adjacent convex portions 4 or the concave portions 5 are as described above. After that, FIG.
As shown in (a), the laminated body having a predetermined shape is taken out from the transfer base 31 with the silicon stamper 33 being overlaid thereon, and the uncured dry photocurable film 2 is exposed to ultraviolet rays from the light transmissive substrate 1 side. Irradiation is performed to cure the dry photocurable film 2.

【0050】次に、図4(b)に示すように、上記のよ
うにして紫外線を照射した所定形状の積層体からシリコ
ンスタンパー33を分離し、その後、図4(c)に示す
ように、各凸部4の上面または各凹部(図示せず)の底
面に記録層3を設けて単位情報領域を形成する。
Next, as shown in FIG. 4 (b), the silicon stamper 33 is separated from the laminate having a predetermined shape irradiated with ultraviolet rays as described above, and then, as shown in FIG. 4 (c). The recording layer 3 is provided on the upper surface of each convex portion 4 or the bottom surface of each concave portion (not shown) to form a unit information area.

【0051】この記録層3の形成方法は、記録層の形成
材料に応じて適宜に決定される。例えば光磁気メモリ材
料を用いる場合には、例えばスパッタ法、イオンプレー
ティング法、蒸着法等の真空成膜法が採用される。
The method of forming the recording layer 3 is appropriately determined according to the material for forming the recording layer. For example, when a magneto-optical memory material is used, a vacuum film forming method such as a sputtering method, an ion plating method, or a vapor deposition method is adopted.

【0052】その後、必要に応じて、記録層3上に誘電
体膜さらには保護膜等を常法にしたがって形成する。こ
のようにして製造される光記録媒体は、光透過性基板1
の機械特性の劣化がなく、また単位情報領域間の熱絶縁
が十分に行われ、高密度記録が可能である。したがっ
て、この方法によれば、基板の機械特性の劣化がなく、
しかも熱設計が改善されていて高密度記録が可能な光記
録媒体を効率良く製造することができる。
Thereafter, if necessary, a dielectric film, a protective film, etc. are formed on the recording layer 3 by a conventional method. The optical recording medium manufactured in this way has a light-transmissive substrate 1.
There is no deterioration in the mechanical characteristics of, and the thermal insulation between the unit information areas is sufficiently performed, so that high density recording is possible. Therefore, according to this method, there is no deterioration in the mechanical properties of the substrate,
Moreover, it is possible to efficiently manufacture an optical recording medium which has improved thermal design and enables high density recording.

【0053】[0053]

【発明の効果】本発明の光記録媒体は、光透過性基板に
ドライ光硬化性フィルムを積層し、このドライ光硬化性
フィルムに熱絶縁を行うのに十分な高さをもつ凸部また
は熱絶縁を行うのに十分な深さをもつ凹部を形成し、各
凸部の上面または各凹部の底面に記録層を設けて単位情
報領域を形成するように構成したので、量産性が高く、
基板の機械特性の劣化がなく、しかも記録消去時の単位
情報領域間の熱クロストークが抑制されていて高密度記
録が可能である。
The optical recording medium of the present invention comprises a dry photo-curable film laminated on a light-transmissive substrate, and the dry photo-curable film is provided with a convex portion or a heat-insulating film having a height sufficient for thermal insulation. Since a concave portion having a sufficient depth for insulation is formed and a recording layer is provided on the upper surface of each convex portion or the bottom surface of each concave portion to form a unit information area, mass productivity is high,
The mechanical characteristics of the substrate are not deteriorated, and thermal crosstalk between the unit information areas at the time of recording / erasing is suppressed, so that high density recording is possible.

【0054】また、本発明の光記録媒体の製造方法は、
光透過性基板上に未硬化状態のドライ光硬化性フィルム
にシリコンスタンパーを使用して熱絶縁を行うのに十分
な高さをもつ凸部または熱絶縁を行うのに十分な深さを
もつ凹部を転写した後、各凸部の上面または各凹部の底
面に記録層を形成する構成としたので、熱絶縁を行うの
に十分な高さをもつ凸部または熱絶縁を行うのに十分な
深さをもつ凹部の転写に要する加圧力が小さく、基板の
機械特性の劣化を招くことがないとともに硬化収縮によ
り平面性が損なわれることがない。しかも、凸部または
凹部の成形精度が高い。したがって、この発明の方法に
よれば、基板の機械特性の劣化がないとともに、熱絶縁
を行うのに十分な高さをもつ凸部または熱絶縁を行うの
に十分な深さをもつ凹部の成形精度が高くて高密度記録
が可能な光記録媒体を効率良く製造することができる。
The method of manufacturing the optical recording medium of the present invention is
Convex portion with sufficient height for thermal insulation or concave portion with sufficient depth for thermal insulation by using silicon stamper on uncured dry photocurable film on transparent substrate After transfer, the recording layer is formed on the upper surface of each convex portion or the bottom surface of each concave portion, so that the convex portion having a height sufficient for thermal insulation or the depth sufficient for thermal insulation is formed. The pressing force required to transfer the concave portion having a large thickness is small, the mechanical properties of the substrate are not deteriorated, and the flatness is not impaired by the curing shrinkage. Moreover, the molding accuracy of the convex portion or the concave portion is high. Therefore, according to the method of the present invention, there is no deterioration of the mechanical properties of the substrate, and a convex portion having a height sufficient for thermal insulation or a concave portion having a depth sufficient for thermal insulation is formed. It is possible to efficiently manufacture an optical recording medium having high accuracy and capable of high density recording.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光記録媒体の一例を示す説明図であ
る。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing an example of an optical recording medium of the present invention.

【図2】本発明の光記録媒体の他の一例を示す説明図で
ある。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing another example of the optical recording medium of the present invention.

【図3】本発明の製造方法の一例を示す工程図である。FIG. 3 is a process drawing showing an example of the manufacturing method of the present invention.

【図4】本発明の製造方法の一例を示す工程図である。FIG. 4 is a process drawing showing an example of the manufacturing method of the present invention.

【図5】本発明の製造方法において好適に使用可能なシ
リコンスタンパーの製造工程の一例を示す工程図であ
る。
FIG. 5 is a process drawing showing an example of a manufacturing process of a silicon stamper that can be suitably used in the manufacturing method of the present invention.

【図6】従来の光記録媒体のの一例を示す説明図であ
る。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing an example of a conventional optical recording medium.

【図7】従来の光記録媒体の他の一例を示す説明図であ
る。
FIG. 7 is an explanatory diagram showing another example of a conventional optical recording medium.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…光透過性基板 2…ドライ光硬化性フィルム 3…記録層 4…凸部 5…凹部 33…シリコンスタンパー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Light transmissive substrate 2 ... Dry photocurable film 3 ... Recording layer 4 ... Convex part 5 ... Recessed part 33 ... Silicon stamper

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G11B 11/10 541 A 9075−5D (72)発明者 藤井 清朗 山梨県中巨摩郡田富町西花輪2680番地 パ イオニアビデオ株式会社内 (72)発明者 小笹 直人 山梨県中巨摩郡田富町西花輪2680番地 パ イオニアビデオ株式会社内 (72)発明者 藤森 二郎 山梨県中巨摩郡田富町西花輪2680番地 パ イオニアビデオ株式会社内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location G11B 11/10 541 A 9075-5D (72) Inventor Kiyoro Fujii 2680 Nishihanawa, Tatomi-cho, Nakakoma-gun Yamanashi Address Pioneer Video Co., Ltd. (72) Inventor Naoto Kosasa 2680 Nishi Hanawa, Tatomi-cho, Nakakoma-gun Yamanashi Pioneer Video Co. Within the corporation

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光透過性基板と、前記光透過性基板上に
積層されたドライ光硬化性フィルムと、前記ドライ光硬
化性フィルム上に積層された記録層とを有する光記録媒
体であって、前記ドライ光硬化性フィルムにはそれぞれ
が単位情報領域を形成する複数の凹部または凸部が互い
に熱絶縁される深さまたは高さをもって設けられている
とともに前記各凹部の底面または各凸部の上面に記録層
が形成されていることを特徴とする光記録媒体。
1. An optical recording medium having a light transmissive substrate, a dry photocurable film laminated on the light transmissive substrate, and a recording layer laminated on the dry photocurable film. , The dry photocurable film is provided with a plurality of recesses or protrusions each forming a unit information area with a depth or height such that the recesses or protrusions are thermally insulated from each other. An optical recording medium having a recording layer formed on an upper surface thereof.
【請求項2】 光透過性基板上にドライ光硬化性フィル
ムを積層してドライ光硬化性フィルム付基板を形成する
工程と、 前記ドライ光硬化性フィルム付基板におけるドライ光硬
化性フィルムの露出面にシリコンスタンパーを重ね合わ
せて室温下で加圧成形することにより該ドライ光硬化性
フィルムの露出面にそれぞれが単位情報領域となる複数
の凹部または凸部を互いに熱絶縁される深さまたは高さ
で形成する工程と、 前記シリコンスタンパーを重ね合わせたままの状態で前
記ドライ光硬化性フィルムに紫外線を照射して該ドライ
光硬化性フィルムを硬化させる工程と、 前記シリコンスタンパーを硬化したドライ光硬化性フィ
ルムから分離する工程と、 前記各凹部の底面または前記各凸部の上面に記録層を形
成する工程とを有することを特徴とする光記録媒体の製
造方法。
2. A step of laminating a dry photocurable film on a light transmissive substrate to form a substrate with a dry photocurable film, and an exposed surface of the dry photocurable film in the substrate with the dry photocurable film. Depth or height at which a plurality of recesses or protrusions, each of which serves as a unit information area, are thermally insulated from each other on the exposed surface of the dry photocurable film by stacking a silicon stamper on and press forming at room temperature. And a step of irradiating the dry photo-curable film with ultraviolet rays in a state where the silicon stamper is superposed on the dry photo-curable film, and a dry photo-curing process in which the silicon stamper is cured. And a step of forming a recording layer on the bottom surface of each concave portion or the top surface of each convex portion. Process for producing an optical recording medium according to.
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