JPH10154351A - Optical recording medium and its production - Google Patents

Optical recording medium and its production

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JPH10154351A
JPH10154351A JP9029389A JP2938997A JPH10154351A JP H10154351 A JPH10154351 A JP H10154351A JP 9029389 A JP9029389 A JP 9029389A JP 2938997 A JP2938997 A JP 2938997A JP H10154351 A JPH10154351 A JP H10154351A
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JP
Japan
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substrate
layer
recording medium
information recording
optical recording
Prior art date
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Abandoned
Application number
JP9029389A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koichi Yasuda
宏一 保田
Motohiro Furuki
基裕 古木
Minoru Takeda
実 武田
Toshiyuki Kashiwagi
俊行 柏木
Noriyuki Arakawa
宣之 荒川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Publication of JPH10154351A publication Critical patent/JPH10154351A/en
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an optical recording medium ensuring high recording density and rigidity by laminating an information recording layer having a fine rugged structure on a substrate having a specified modulus of bending elasticity and forming a light transmitting layer having a specified thickness on the recording layer. SOLUTION: An information recording layer 15 having a fine rugged structure is laminate on a substrate 20 having >=7×10<9> Pa (7GPa) modulus of bending elasticity and a light transmitting layer 100 reading information and having sufficiently high transmissivity to laser beam for recording and <=0.3mm uniform thickness is formed on the recording layer 15 by applying a liq. photosetting resin on the layer 15, spinning the substrate 10 at a high rate and setting the spread resin by irradiation with UV.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光学記録媒体とそ
の製造方法に係わる。
The present invention relates to an optical recording medium and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】オーディオ用、ビデオ用その他の各種情
報を記録する光学記録媒体として、その記録もしくは再
生を光照射によって行う光ディスク、光カード、光磁気
ディスク、相変化光学記録媒体等のROM(Read
Only Memory)型、追記型、書換え型等の光
学記録媒体があるが、例えばコンパクトディスクにおけ
るようなROM型においてその情報記録層にデータ情
報、トラッキングサーボ信号等の記録がなされる位相ピ
ット、プリグルーフ等の微細凹凸は、また、追記型、書
換え型等の光磁気あるいは相変化等による光磁気媒体に
おいてもプリグループ等の微細凹凸の形成がなされる。
2. Description of the Related Art As an optical recording medium for recording various information for audio, video, and the like, a ROM (Read) such as an optical disk, an optical card, a magneto-optical disk, and a phase change optical recording medium for recording or reproducing by light irradiation.
There are optical recording media such as an only memory (rewritable) type, a write-once type, and a rewritable type. For example, in a ROM type such as a compact disk, phase pits, pregrooves, etc., in which data information, tracking servo signals, and the like are recorded on an information recording layer thereof. Also, in the magneto-optical medium of a write-once type, a rewritable type or the like, or a magneto-optical medium by phase change or the like, the fine irregularities such as a pre-group are formed.

【0003】図21は、従来のCD等の光ディスクの概
略断面図を示す。
FIG. 21 is a schematic sectional view of a conventional optical disk such as a CD.

【0004】この光学記録媒体は、例えばポリカーボネ
ート等の透明な1.2mm厚の基板1の射出成形と同時
に微細凹凸2を形成し、この微細凹凸2にAl蒸着膜等
による反射膜4を厚さ数十nmに形成し、情報記録層5
とする。さらにこの情報記録層5に例えば紫外線硬化性
樹脂の保護膜6を数μm積層した構成としたものであ
る。
In this optical recording medium, fine irregularities 2 are formed simultaneously with the injection molding of a transparent substrate 1 having a thickness of 1.2 mm such as polycarbonate, and a reflective film 4 such as an Al vapor-deposited film is formed on the fine irregularities 2. The information recording layer 5
And Further, a protective film 6 made of, for example, an ultraviolet curable resin is laminated on the information recording layer 5 by several μm.

【0005】この光学記録媒体に対する情報記録層5か
らの情報の読み出しは、図21中、例えば基板1個から
の読み出し光Lの光照射によって行う。
The reading of information from the information recording layer 5 with respect to this optical recording medium is performed by, for example, irradiating the reading light L from one substrate in FIG.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、記録情
報量の大容量化に伴い、高記録密度化を図る必要があ
り、これによって光ピックアップの対物レンズの開口数
N.Aをできるだけ大きくする必要が生じる。このよう
に対物レンズの開口数N.Aを大きくする場合、対物レ
ンズと情報記録層5との間隔は小さく選定される必要が
あり、また、この場合、光学記録媒体の傾き許容度が減
少することから、情報記録層5と光入射面との距離、す
なわち光透過層の厚さは充分小に、例えば0.3mm以
下とする必要が生じている。
However, with the increase in the amount of recorded information, it is necessary to increase the recording density, thereby increasing the numerical aperture of the objective lens of the optical pickup. A needs to be as large as possible. Thus, the numerical aperture of the objective lens, N.P. When A is increased, the distance between the objective lens and the information recording layer 5 needs to be selected to be small. In this case, since the inclination tolerance of the optical recording medium is reduced, the information recording layer 5 and the light incident The distance from the surface, that is, the thickness of the light transmitting layer needs to be sufficiently small, for example, 0.3 mm or less.

【0007】上述した従来の光学記録媒体においては、
透明な基板1側から光照射がなされるものである。すな
わち従来構造においては基板1が光透過層となる。した
がって、基板1を薄く作製すればよいのであるが、この
基板を薄くすることに関しては限界がある。
In the above-mentioned conventional optical recording medium,
Light is emitted from the transparent substrate 1 side. That is, in the conventional structure, the substrate 1 becomes a light transmitting layer. Therefore, it is only necessary to make the substrate 1 thin, but there is a limit in making this substrate thin.

【0008】すなわち、基板1はポリカーボネート等の
光透過性樹脂により作製するが、これは基板製造直後に
おいては、情報記録層を形成する際に使用する紫外線硬
化性樹脂の硬化収縮により基板1に反りが残存し易く、
また、経時変化においては、基板の空気中水分の吸脱着
による反り等の変形が生じてしまい、基板1を薄く作製
した場合、基板1の剛性が不充分であるため、これらの
原因による基板1の変形がより一層発生し易くなるので
ある。
That is, the substrate 1 is made of a light transmissive resin such as polycarbonate, which is warped immediately after the substrate is produced due to the curing shrinkage of the ultraviolet curable resin used for forming the information recording layer. Is likely to remain,
In addition, in the course of aging, deformation such as warpage due to the adsorption and desorption of moisture in the air of the substrate occurs. When the substrate 1 is manufactured to be thin, the rigidity of the substrate 1 is insufficient. Is more likely to occur.

【0009】上述した原因による基板1に発生した変形
は、光学記録媒体に対する記録再生のエラー発生原因と
なる。
The deformation that occurs on the substrate 1 due to the above-described causes causes an error in recording and reproduction on the optical recording medium.

【0010】また、光ディスクをプレイヤーで記録再生
する際の光ディスクの回転速度(rpm)は今後増大す
る傾向にあり、光学記録媒体の剛性が低いと高速回転時
のディスクの面振れが深刻な問題となる。
In addition, the rotational speed (rpm) of the optical disk when recording and reproducing the optical disk by the player tends to increase in the future, and if the rigidity of the optical recording medium is low, the runout of the disk during high-speed rotation is a serious problem. Become.

【0011】そこで、本発明は、記録情報量の大容量化
に伴い、高記録密度化を図るため、光透過層を情報記録
層上に薄く、均一な厚さに形成し、さらに基板の剛性を
確保する。
Accordingly, the present invention provides a light-transmitting layer having a thin and uniform thickness on the information recording layer and a rigidity of the substrate in order to increase the recording density in accordance with the increase in the amount of recorded information. To secure.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明による光学記録媒
体は、曲げ弾性率7×109(Pa)以上の支持基板
と、微細凹凸構造を有する情報記録層が積層し、情報記
録層上に厚さ0.3mm以下の均一な厚さの光透過層が
積層した構造とする。
The optical recording medium according to the present invention comprises a support substrate having a flexural modulus of 7 × 10 9 (Pa) or more and an information recording layer having a fine uneven structure laminated on the information recording layer. A structure in which light transmitting layers having a uniform thickness of 0.3 mm or less are laminated.

【0013】また、本発明による光学記録媒体は、曲げ
弾性率7×109(Pa)以上の支持基板上に、微細凹
凸構造を有する情報記録層を形成するか、支持基板自体
に情報記録層を形成し、情報記録層に、厚さ0.3mm
以下の均一な厚さの光透過層を積層して製造する。
In the optical recording medium according to the present invention, an information recording layer having a fine uneven structure is formed on a supporting substrate having a flexural modulus of 7 × 10 9 (Pa) or more, or the information recording layer is formed on the supporting substrate itself. Is formed on the information recording layer to a thickness of 0.3 mm.
It is manufactured by laminating a light transmitting layer having the following uniform thickness.

【0014】本発明によれば、光学記録媒体の剛性を高
く保持することができるので、将来の記録密度の高度化
に対応して、記録情報の読み取り、あるいは情報の記録
を行う両側の光透過層の厚さを一層薄くすることがで
き、これにより、基板作製後に基板の反りや、変形を効
果的に回避することができる。
According to the present invention, since the rigidity of the optical recording medium can be maintained high, the light transmission on both sides for reading the recorded information or recording the information can be performed in accordance with the future increase in the recording density. The thickness of the layer can be further reduced, whereby the substrate can be effectively prevented from warping or deforming after the substrate is manufactured.

【0015】また、記録情報の記録、または再生あるい
はその双方において、光学記録媒体を高速回転させたと
きの面振れを抑制することができ、高記録密度の光学記
録媒体の安定な記録再生を図ることができる。
In recording and / or reproduction of recording information, surface deflection when the optical recording medium is rotated at a high speed can be suppressed, and stable recording and reproduction of an optical recording medium with a high recording density can be achieved. be able to.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明の具体的な実施の形態につ
いて説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments of the present invention will be described.

【0017】以下において、ディスク状、いわゆる円板
状の光ディスクに適用する場合について説明するが、本
発明は、このような光ディスクや、形状に限られるもの
ではなく、光磁気ディスク、相変化ディスク、その他カ
ード状、シート状等の微細凹凸を情報記録層に有する各
種光学記録媒体に適用することができる。
In the following, a case where the present invention is applied to a disk-shaped optical disk, that is, a disk-shaped optical disk, will be described. However, the present invention is not limited to such an optical disk and a shape. In addition, the present invention can be applied to various optical recording media having fine irregularities such as a card shape and a sheet shape in the information recording layer.

【0018】本発明方法の一実施例を説明する。An embodiment of the method of the present invention will be described.

【0019】この例は、図1にその概略断面図を示すよ
うに、曲げ弾性率7×109(7G(ギガ))(Pa)
以上の支持基板20と、微細凹凸構造を有する情報記録
層15を積層し、情報記録層上に情報を読み取り、かつ
記録するレーザー光に対して充分な透過率を有する厚さ
0.3mm以下の均一な厚さの光透過層100を積層し
た構造の光学記録媒体を得る場合である。
This example has a flexural modulus of elasticity of 7 × 10 9 (7 G (giga)) (Pa) as shown in FIG.
The support substrate 20 described above and the information recording layer 15 having a fine uneven structure are laminated, and information having a thickness of 0.3 mm or less that has a sufficient transmittance to a laser beam for reading and recording information on the information recording layer is provided. This is a case where an optical recording medium having a structure in which light transmitting layers 100 having a uniform thickness are stacked is obtained.

【0020】この図1に示す光学記録媒体用の基板10
は、その一主面にデータ記録ピットや、プリグループ等
の微細凹凸12が形成されている。
The substrate 10 for an optical recording medium shown in FIG.
On one main surface, fine irregularities 12 such as data recording pits and pre-groups are formed.

【0021】これは、基板10が図2に示すように、均
一な膜厚、例えば0.1mm厚の、例えばポリカーボネ
ート等の光透過性樹脂よりなるシート90からの打ち抜
きによって形成され、その打ち抜き前において、シート
90に微細凹凸12がスタンパー18によるプレスによ
って形成される。
As shown in FIG. 2, the substrate 10 is formed by punching a sheet 90 having a uniform thickness, for example, 0.1 mm in thickness and made of a light-transmitting resin such as polycarbonate, for example. In the above, the fine irregularities 12 are formed on the sheet 90 by pressing with the stamper 18.

【0022】この場合、図2に示すように、ガイドロー
ラ91間に案内移行させた帯状のシート90を、ガイド
ローラ91間に移行させ、その移行途上において、シー
ト90の上から加熱したスタンパー18を圧着し、デー
タ記録ピット、グルーブ等の微細凹凸12を転写形成す
る。
In this case, as shown in FIG. 2, the belt-shaped sheet 90 that has been guided and transferred between the guide rollers 91 is transferred between the guide rollers 91, and the stamper 18 heated from above the sheet 90 during the transfer. Is pressed to transfer and form fine irregularities 12 such as data recording pits and grooves.

【0023】その後、シート打ち抜き機93により、例
えばディスク形状に打ち抜き、一主面に微細凹凸12が
形成された基板10を作製する。
Thereafter, a substrate 10 having fine irregularities 12 formed on one principal surface is manufactured by, for example, punching into a disk shape by a sheet punching machine 93.

【0024】そして、図3に示すように、微細凹凸12
上に、Al等の反射膜、あるいは相変化材料または光磁
気材料等の材料膜14を成膜して、情報記録層15を形
成する。
Then, as shown in FIG.
An information recording layer 15 is formed thereon by forming a reflective film such as Al or a material film 14 such as a phase change material or a magneto-optical material.

【0025】このようにして情報記録層15を形成した
基板10を、図4に示すように、例えばAl、Ni等の
金属、ガラス、あるいは強化プラスチック等の曲げ弾性
率7×109(Pa)以上の材料からなる、厚さが例え
ば1.0mmの例えば円盤状の支持基板20に接着す
る。
As shown in FIG. 4, the substrate 10 on which the information recording layer 15 is formed is made of a metal such as Al or Ni, a glass, or a reinforced plastic having a flexural modulus of 7 × 10 9 (Pa). It is bonded to, for example, a disc-shaped support substrate 20 having a thickness of, for example, 1.0 mm and made of the above material.

【0026】その後、情報記録層15上に液状光硬化性
樹脂(紫外線硬化性樹脂)を塗布し、基板10を高速回
転することにより液状光硬化性樹脂を延伸させる。
Thereafter, a liquid photocurable resin (ultraviolet curable resin) is applied on the information recording layer 15 and the liquid photocurable resin is stretched by rotating the substrate 10 at a high speed.

【0027】そして、例えば紫外線照射を行い、液状光
硬化性樹脂を硬化させて、厚さ0.3mm以下の光透過
層100を形成し、目的とする光学記録媒体を得る。
Then, for example, ultraviolet irradiation is performed to cure the liquid photo-curable resin to form a light transmitting layer 100 having a thickness of 0.3 mm or less, thereby obtaining a desired optical recording medium.

【0028】また、上述のようにして光透過性樹脂より
なるシート90により作製した基板10を、図5に示す
ように、情報記録層15を支持基板20に対向させて、
すなわち情報記録層15を内側にして、液状光硬化性樹
脂3を介して貼り合わせた構成とすることもできる。
Further, as shown in FIG. 5, the substrate 10 formed by the sheet 90 made of the light-transmitting resin as described above is placed such that the information recording layer 15 is opposed to the supporting substrate 20.
That is, a configuration in which the information recording layer 15 is placed inside and the liquid photocurable resin 3 is interposed therebetween may be adopted.

【0029】以下、他の実施例について説明する。Hereinafter, another embodiment will be described.

【0030】本発明の光学記録媒体は、透明シートの圧
着により基板10を成形する場合に限定されるものでは
なく、図6に示す射出成形装置60による射出成形によ
り基板10を形成することもできる。
The optical recording medium of the present invention is not limited to the case where the substrate 10 is formed by pressing a transparent sheet, but the substrate 10 can be formed by injection molding using an injection molding apparatus 60 shown in FIG. .

【0031】この場合、例えばポリカーボネート等の光
透過性樹脂の射出成形によって、基板10の成形と同時
に基板10の一主面に微細凹凸12を形成するものであ
る。図6に示す射出成形装置60は、基板10を成形す
るためのキャビティ70を構成する、例えばステンテス
系金属よりなる一対の金型80より成る。
In this case, fine irregularities 12 are formed on one main surface of the substrate 10 simultaneously with the molding of the substrate 10 by injection molding of a light-transmitting resin such as polycarbonate. The injection molding apparatus 60 shown in FIG. 6 includes a pair of molds 80 made of, for example, a stainless steel, which constitute a cavity 70 for molding the substrate 10.

【0032】基板10の成形において使用する一対の金
型80には、情報記録層15を構成する微細凹凸12を
転写するスタンパー28が、例えば真空チャック(図示
せず)により配置、保持される。
A stamper 28 for transferring the fine irregularities 12 constituting the information recording layer 15 is arranged and held on a pair of dies 80 used in molding the substrate 10 by, for example, a vacuum chuck (not shown).

【0033】先ず、光透過性樹脂例えば溶融ポリカーボ
ネートをキャビティ70内に流し込み放熱させると同時
にスタンパー28により微細凹凸12を転写し、固化さ
せる。
First, a light-transmissive resin, for example, molten polycarbonate is poured into the cavity 70 to dissipate heat, and at the same time, the fine irregularities 12 are transferred and solidified by the stamper 28.

【0034】このようにすると、図7に示すように一主
面に情報記録層15を構成する微細凹凸12が形成され
た基板10を得ることができる。
In this way, the substrate 10 having the fine irregularities 12 constituting the information recording layer 15 formed on one main surface as shown in FIG. 7 can be obtained.

【0035】そして、上述した方法と同様に、微細凹凸
12上に、例えばAl等の反射膜、あるいは相変化材料
または光磁気材料等の材料膜14を成膜して、情報記録
層15を形成する。
Then, in the same manner as described above, a reflective film such as Al or a material film 14 such as a phase change material or a magneto-optical material is formed on the fine irregularities 12 to form an information recording layer 15. I do.

【0036】このようにして情報記録層15を形成した
基板10を、例えばAl、Ni等の金属、ガラス、ある
いは強化プラスチック等の曲げ弾性率7×109(P
a)以上の材料からなる、厚さが例えば1.0mmの例
えば円盤状の支持基板20に接着する。
The substrate 10 on which the information recording layer 15 is formed in this way is made of a metal such as Al or Ni, a glass, or a reinforced plastic having a flexural modulus of 7 × 10 9 (P
a) Adhesion is made to, for example, a disc-shaped support substrate 20 having a thickness of, for example, 1.0 mm and made of the above-mentioned materials.

【0037】その後、情報記録層15上に液状光硬化性
樹脂を塗布し、基板10を高速回転することにより液状
光硬化性樹脂を延伸させる。
Thereafter, a liquid photocurable resin is applied on the information recording layer 15, and the liquid photocurable resin is stretched by rotating the substrate 10 at a high speed.

【0038】紫外線照射を行い、液状光硬化性樹脂を硬
化させて、厚さ0.3mm以下の光透過層100を形成
し、目的とする光学記録媒体を得ることができる。
The liquid photo-curable resin is cured by irradiating ultraviolet rays to form a light-transmitting layer 100 having a thickness of 0.3 mm or less, so that a desired optical recording medium can be obtained.

【0039】上述した例においては、情報記録層15を
形成する微細凹凸12の転写を行った基板10と、曲げ
弾性率7×109(Pa)以上の材料からなる、厚さが
例えば1.0mmの例えば円盤状の支持基板20とを、
貼り合わせる構成の光学記録媒体について説明したが、
本発明はこの例に限定されることなく、曲げ弾性率7×
109(Pa)以上の材料からなる、厚さが例えば1.
0mmの例えば円盤状の支持基抜20上に、いわゆるフ
ォトポリマリゼーション(Photo Polymerization:2
P)法により、直接情報記録層15を形成した場合につ
いても適用することができる。
In the above-described example, the substrate 10 on which the fine irregularities 12 forming the information recording layer 15 have been transferred and the material having a flexural modulus of elasticity of 7 × 10 9 (Pa) or more, for example, having a thickness of 1 × 10 9 (Pa). 0 mm, for example, a disk-shaped support substrate 20
Although the optical recording medium of the configuration to be bonded has been described,
The present invention is not limited to this example.
It is made of a material of 10 9 (Pa) or more and has a thickness of, for example, 1.
A so-called photopolymerization (Photo Polymerization: 2)
The present invention can be applied to a case where the information recording layer 15 is directly formed by the P) method.

【0040】この2P法によって光学記録媒体を製造す
る方法は、先ず、図8に示すように、一方主面上に微細
凹凸が形成されたスタンパー110と、光学記録媒体の
基材となるベースプレート111とを用意する。ここ
で、スタンパー110は、例えばニッケル等の金属から
なるものを使用している。また、このスタンパー110
は、一方主面に形成されている微細凹凸を所望の信号と
したものを使用する。一方、ベースプレート111は、
光透過性を有する合成樹脂材料からなり、厚さ寸法が約
0.1mm程度のものを使用する。なお、本実施の形態
においては、ベースプレート111の材料としてポリカ
ーボネートを使用しているが、これに限らず、ポリメタ
クリル酸メチル(PMMA)等でも良い。
As shown in FIG. 8, a method for manufacturing an optical recording medium by the 2P method is as follows. First, as shown in FIG. 8, a stamper 110 having fine irregularities formed on one main surface and a base plate 111 serving as a base material of the optical recording medium are provided. And prepare. Here, the stamper 110 is made of a metal such as nickel, for example. Also, this stamper 110
Is used in which fine irregularities formed on one main surface are used as a desired signal. On the other hand, the base plate 111
A light-transmitting synthetic resin material having a thickness of about 0.1 mm is used. In the present embodiment, polycarbonate is used as the material of the base plate 111, but the material is not limited to this, and polymethyl methacrylate (PMMA) or the like may be used.

【0041】次に、図8に示すように、上述のスタンパ
ー110上に、2Pレジン112を滴下する。このと
き、2Pレジン112は、スタンパー110上に円周状
に滴下する。なお、この2Pレジン112は、スタンパ
ー110上に滴下して塗布しても良いが、スタンパー1
10とベースプレート111とを所定の間隔を介して配
設し、このスタンパー110とベースプレート111と
の間に2Pレジン112を充填させるようにしても良
い。なお、この2Pレジン112としては、紫外線領域
の波長の光が照射されることによって硬化される紫外線
硬化性樹脂を使用している。
Next, as shown in FIG. 8, a 2P resin 112 is dropped on the stamper 110 described above. At this time, the 2P resin 112 is dropped on the stamper 110 in a circumferential shape. The 2P resin 112 may be applied by dripping onto the stamper 110.
10 and the base plate 111 may be arranged at a predetermined interval, and the space between the stamper 110 and the base plate 111 may be filled with the 2P resin 112. As the 2P resin 112, an ultraviolet curable resin that is cured by irradiation with light having a wavelength in the ultraviolet region is used.

【0042】次に、図9に示すように、2Pレジン11
2が滴化されたスタンパー110上にベースプレート1
11を載せ、ローラー113等で所定の圧力を加えて圧
着させる。その後、紫外線照射装置114により紫外線
光をベースプレート111側から照射することによっ
て、2Pレジン112を硬化させる。このように、例え
ばローラー113等の圧着手段によって圧力をかけ、紫
外線照射を行って2Pレジン112を硬化させることに
よって、厚さが約5〜10μm程度の2Pレジン層11
2を形成する。
Next, as shown in FIG.
The base plate 1 is placed on the stamper 110 where
11 is placed, and a predetermined pressure is applied by a roller 113 or the like to be pressed. After that, the 2P resin 112 is cured by irradiating the base plate 111 with ultraviolet light by an ultraviolet irradiation device 114. In this manner, the 2P resin layer 11 having a thickness of about 5 to 10 μm is formed by applying pressure by, for example, a roller 113 or the like and applying ultraviolet light to cure the 2P resin 112.
Form 2

【0043】次に、図10に示すように、上述の工程に
よってスタンパー110に形成されている微細凹凸が転
写された2Pレジン層112と、ベースプレート111
とを、スタンパー110から剥離する。そして、ベース
プレート111とスタンパー110とからなるレプリカ
を完成させる。
Next, as shown in FIG. 10, the 2P resin layer 112 to which the fine irregularities formed on the stamper 110 are transferred by the above-described steps, and the base plate 111
Are removed from the stamper 110. Then, a replica including the base plate 111 and the stamper 110 is completed.

【0044】次に、図11に示すように、このレプリカ
の2Pレジン層112が形成されている面側に機能層1
15を形成し、この機能層115上に保護膜116を形
成する。なお、この機能層115は、情報信号の再生専
用の光学記録媒体を構成する場合には、反射膜を形成す
る。また、この機能層115は、情報信号の記録再生を
可能とする光学記録媒体を構成する場合には、2Pレジ
ン層112上に誘電体膜、記録膜、誘電体膜、反射膜の
順に形成する。なお、この記録膜は、光磁気材料であっ
ても良く、相変化材料であっても良い。
Next, as shown in FIG. 11, the functional layer 1 is placed on the side of the replica where the 2P resin layer 112 is formed.
15 and a protective film 116 is formed on the functional layer 115. In the case where an optical recording medium exclusively for reproducing information signals is formed, the functional layer 115 forms a reflective film. When an optical recording medium capable of recording and reproducing information signals is formed, the functional layer 115 is formed on the 2P resin layer 112 in the order of a dielectric film, a recording film, a dielectric film, and a reflective film. . The recording film may be a magneto-optical material or a phase change material.

【0045】次に、図11に示すように、上述の工程に
より機能層115及び保護層116が形成されたレプリ
カと、支持基板117とを接着させることによって、光
学記録媒体を得る。なお、この支持基板117は、レプ
リカを接着する面が平坦となっていても良い。
Next, as shown in FIG. 11, the replica on which the functional layer 115 and the protective layer 116 are formed by the above-described steps is bonded to the support substrate 117 to obtain an optical recording medium. The support substrate 117 may have a flat surface to which the replica is adhered.

【0046】また、本発明は、支持基板117と情報記
録層を形成する基板とを別に形成せず、予め、曲げ弾性
率7×109(Pa)以上の材料を用いて基板を情報記
録層を形成する微細凹凸の転写と同時に形成する場合に
ついても適用することができる。
Further, according to the present invention, the support substrate 117 and the substrate on which the information recording layer is formed are not separately formed, and the substrate is previously formed using a material having a flexural modulus of 7 × 10 9 (Pa) or more. This can be applied to the case where the fine irregularities are formed simultaneously with the transfer.

【0047】すなわち、図8に示すように、射出成形装
置62により、基板10を作製する。
That is, as shown in FIG. 8, the substrate 10 is manufactured by the injection molding apparatus 62.

【0048】これは、曲げ弾性率7×109(Pa)以
上の強化プラスチック樹脂の射出成形によって、基板4
0の成形と同時に基板40の一主面に微細凹凸42を形
成するものである。
This is because the substrate 4 is formed by injection molding of a reinforced plastic resin having a flexural modulus of 7 × 10 9 (Pa) or more.
At the same time as the molding of 0, fine irregularities 42 are formed on one main surface of the substrate 40.

【0049】図12に示す基板作製装置62は、基板4
0を成形するためのキャビティ70を構成する、例えば
ステンテス系金属よりなる一対の金型82が、対向され
てなる。
The substrate manufacturing apparatus 62 shown in FIG.
A pair of molds 82, which are made of, for example, a stainless steel, constituting the cavity 70 for molding the O are opposed to each other.

【0050】基板40の成形において使用する一対の金
型82には、情報記録層45を構成する微細凹凸42を
転写するスタンパー38が、例えば真空チャック(図示
せず)により配置、保持される。
On a pair of dies 82 used for molding the substrate 40, a stamper 38 for transferring the fine irregularities 42 constituting the information recording layer 45 is arranged and held by, for example, a vacuum chuck (not shown).

【0051】先ず、溶融された強化プラスチック樹脂を
キャビティ70内に流し込み放熱させると同時にスタン
パー38により微細凹凸42を転写し、固化させる。
First, the molten reinforced plastic resin is poured into the cavity 70 to radiate heat, and at the same time, the fine irregularities 42 are transferred and solidified by the stamper 38.

【0052】このようにすると、図13に示すように一
主面に情報記録層45を構成する微細凹凸42が形成さ
れた基板40を得ることができる。
In this manner, a substrate 40 having fine irregularities 42 constituting an information recording layer 45 formed on one main surface as shown in FIG. 13 can be obtained.

【0053】そして、上述した方法と同様に、微細凹凸
42上に、例えばAl等の反射膜、あるいは相変化材料
またほ光磁気材料等の材料膜44を成膜して、情報記録
層45を形成する。
Then, in the same manner as described above, a reflective film such as Al or a material film 44 such as a phase change material or a magneto-optical material is formed on the fine unevenness 42 to form the information recording layer 45. Form.

【0054】その後、情報記録層45上に液状光硬化性
樹脂を塗布し、基板40を高速回転することにより液状
光硬化性樹脂を延伸させる。
Thereafter, a liquid photocurable resin is applied on the information recording layer 45, and the liquid photocurable resin is stretched by rotating the substrate 40 at a high speed.

【0055】紫外線照射を行い、液状光硬化性樹脂を硬
化させて、図14に示すように厚さ0.3mm以下の光
透過層100を形成し、目的とする光学記録媒体を得る
ことができる。
By irradiating ultraviolet rays to cure the liquid photocurable resin, a light transmitting layer 100 having a thickness of 0.3 mm or less is formed as shown in FIG. 14 to obtain a desired optical recording medium. .

【0056】また、同様に、支持基板と情報記録層を形
成する基板とを別に形成せずに一体として形成させる他
の例としては、曲げ弾性率7×109(Pa)以上の材
料からなる支持基板に、情報記録層を形成する微細凹凸
をフォトレジストを用いたエッチングにより形成させる
方法が挙げられる。
Similarly, another example in which the supporting substrate and the substrate on which the information recording layer is formed is integrally formed without being separately formed is made of a material having a flexural modulus of 7 × 10 9 (Pa) or more. There is a method in which fine asperities for forming an information recording layer are formed on a supporting substrate by etching using a photoresist.

【0057】図15に示すように、例えば厚さ1.2m
mの、曲げ弾性率7×109(Pa)以上のガラス基板
30上に、例えば紫外線に感光するフォトレジスト31
を均一な厚さで塗布する。
As shown in FIG. 15, for example, a thickness of 1.2 m
m on a glass substrate 30 having a flexural modulus of 7 × 10 9 (Pa) or more, for example, a photoresist 31 sensitive to ultraviolet rays.
Is applied in a uniform thickness.

【0058】その後、図16に示すようにレーザー記録
露光装置(図示せず)により露光、現像を行って、フォ
トレジスト31に所定のピット、グループ等のパターン
50を形成する。
Thereafter, as shown in FIG. 16, exposure and development are performed by a laser recording and exposure apparatus (not shown) to form a pattern 50 such as predetermined pits and groups on the photoresist 31.

【0059】次に、図17に示すように、このパターン
50をマスクにして、ガラス基板30をエッチングし、
ピット、グループ等のパターン50を転写する。
Next, as shown in FIG. 17, using the pattern 50 as a mask, the glass substrate 30 is etched.
The pattern 50 such as pits and groups is transferred.

【0060】その後、図18に示すようにフォトレジス
ト31を除去すると、ガラス基板30上に、情報記録層
を構成する微細凹凸52が形成される。
Thereafter, as shown in FIG. 18, when the photoresist 31 is removed, fine irregularities 52 constituting the information recording layer are formed on the glass substrate 30.

【0061】そして、上述した方法と同様に、微細凹凸
52上に、例えばAl等の反射膜、あるいは相変化材料
または光磁気材料等の材料膜54を成膜して、情報記録
層55を形成する。
Then, in the same manner as described above, a reflective film such as Al or a material film 54 such as a phase change material or a magneto-optical material is formed on the fine unevenness 52 to form the information recording layer 55. I do.

【0062】その後、情報記録層55上に液状光硬化性
樹脂を塗布し、基板40を高速回転することにより液状
光硬化性樹脂を延伸させる。
Thereafter, a liquid photocurable resin is applied on the information recording layer 55, and the liquid photocurable resin is stretched by rotating the substrate 40 at a high speed.

【0063】紫外線照射を行い、液状光硬化性樹脂を硬
化させて、図19に示すように厚さ0.3mm以下の光
透過層100を形成し、目的とする光学記録媒体を得る
ことができる。
By irradiating ultraviolet rays to cure the liquid photo-curable resin, a light transmitting layer 100 having a thickness of 0.3 mm or less is formed as shown in FIG. 19, and a desired optical recording medium can be obtained. .

【0064】また、光透過層100を形成する方法につ
いても、上述した方法に限定されるものではない。例え
ば、情報記録層15上に、液状光硬化性樹脂を塗布し、
これを延伸し、さらにその上に、ピット、グループ等の
微細凹凸を埋め込むように、均一な厚さ例えば0.1m
mの光透過性樹脂からなる透明シートを圧着して、その
背面から光照射を行って、光硬化性樹脂を光硬化するこ
とによって、透明シートの接着を行って、光透過層10
0を形成することもできる。
The method for forming the light transmitting layer 100 is not limited to the above-described method. For example, a liquid photocurable resin is applied on the information recording layer 15,
This is stretched, and a uniform thickness of, for example, 0.1 m is further embedded thereon so as to bury fine irregularities such as pits and groups.
m, a transparent sheet made of a light-transmissive resin is pressed, light is irradiated from the back side, and the light-curable resin is light-cured, whereby the transparent sheet is bonded to the light-transmissive layer 10.
0 can also be formed.

【0065】この場合、透明シートは、光学的に均一で
透明性が充分高く、複屈折が極めて低い材料によって構
成するものとする。
In this case, the transparent sheet is made of a material that is optically uniform, has sufficiently high transparency, and has extremely low birefringence.

【0066】上述した例においては、いわゆる片面読み
出し型の単層構造の光学記録媒体について説明したが、
本発明はこの例に限定されるものではない。
In the above-described example, the so-called single-sided reading type optical recording medium having a single-layer structure has been described.
The present invention is not limited to this example.

【0067】例えば、図20に示すように、上述した支
持基板20の両主面において、情報記録層15を形成し
た基板10を積層した構成の、いわゆる両面読み出し型
の2層構造の光学記録媒体を得ることができる。
For example, as shown in FIG. 20, an optical recording medium having a so-called double-sided reading type two-layer structure in which a substrate 10 on which an information recording layer 15 is formed is laminated on both main surfaces of the support substrate 20 described above. Can be obtained.

【0068】すなわち、図20に示すような構成の2層
構造の光学記録媒体においては、両面からの光Lの照射
によって情報の読み出しが行われる。
That is, in an optical recording medium having a two-layer structure having a structure as shown in FIG. 20, information is read by irradiation of light L from both sides.

【0069】上述した実施例では、主としてROM型構
成の光学記録媒体について説明したが、情報記録層15
に相変化材料を有する書換え型、その他追記型等、ある
いはWO(write 0nce)型の光学記録媒体に
も本発明を適用することができる。
In the above-described embodiment, the optical recording medium having the ROM type configuration has been mainly described.
The present invention can be applied to a rewritable type, a write-once type, or a WO (write 0nce) type optical recording medium having a phase change material.

【0070】また、上述した2層構造の光学記録媒体
は、少なくとも一主面においては情報記録層を形成させ
るものであるが、他の一主面は、情報記録に限定される
ものではなく、キャラクターやラベルの微細凹凸面を形
成するものであってもよい。
The above-described optical recording medium having a two-layer structure has an information recording layer formed on at least one main surface, but the other main surface is not limited to information recording. A fine uneven surface of a character or a label may be formed.

【0071】上述したように、本発明においては、曲げ
弾性率7×109(Pa)以上の支持基板と、微細凹凸
構造を有する情報記録面からなる情報記録層とを積層
し、情報記録層に、情報を読み取るレーザー光に対して
充分な透過率を有する厚さ0.3mm以下の均一な厚さ
の光透過層を積層するようにしたものである。
As described above, in the present invention, a support substrate having a flexural modulus of 7 × 10 9 (Pa) or more and an information recording layer having an information recording surface having a fine uneven structure are laminated. Further, a light-transmitting layer having a uniform thickness of 0.3 mm or less and having a sufficient transmittance to a laser beam for reading information is laminated.

【0072】これにより、光学記録媒体の剛性を高く保
持することができるので、将来の記録密度の高度化に対
応して、記録情報の読み取り、あるいは情報の記録を行
う面側の光透過層100の厚さを一層薄くすることがで
きた。
As a result, the rigidity of the optical recording medium can be kept high, so that the light-transmitting layer 100 on the side of reading the recorded information or recording the information can be used in accordance with the future increase in recording density. Could be further reduced in thickness.

【0073】これにより、基板作製後に基板の反りや、
変形を効果的に回避することができる。また、記録情報
の再生時において、光学記録媒体を高速回転させたとき
の面振れを抑制することができ、高記録密度の光学記録
媒体の安定な記録再生を図ることができた。
Thus, after the substrate is manufactured, the warpage of the substrate,
Deformation can be effectively avoided. Further, during the reproduction of the recorded information, the surface runout when the optical recording medium was rotated at a high speed could be suppressed, and the stable recording and reproduction of the optical recording medium with a high recording density could be achieved.

【0074】[0074]

【発明の効果】本発明により、光学記録媒体の剛性を高
く保持することができたので、将来の記録密度の高度化
に対応して、記録情報の読み取り、あるいは情報の記録
を行う面側の光透過層100の厚さを一層薄くすること
ができたため、光学記録媒体のチルトマージンを確保す
ることができた。
According to the present invention, the rigidity of the optical recording medium can be kept high, so that the recording information can be read or the information recorded on the surface side can be recorded in accordance with the future increase in recording density. Since the thickness of the light transmission layer 100 could be further reduced, the tilt margin of the optical recording medium could be secured.

【0075】これにより、基板作製後に基板の反りや、
変形を効果的に回避することができる。また、記録情報
の再生時において、光学記録媒体を高速回転させたとき
の面振れを抑制することができ、高記録密度の光学記録
媒体の安定な記録再生を図ることができた。
Thus, after the substrate is manufactured, the warpage of the substrate,
Deformation can be effectively avoided. Further, during the reproduction of the recorded information, the surface runout when the optical recording medium was rotated at a high speed could be suppressed, and the stable recording and reproduction of the optical recording medium with a high recording density could be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光学記録媒体の概略断面図を示す。FIG. 1 is a schematic sectional view of an optical recording medium of the present invention.

【図2】本発明の光学記録媒体の基板作製装置の一例の
概略図を示す。
FIG. 2 is a schematic view showing an example of an optical recording medium substrate manufacturing apparatus according to the present invention.

【図3】基板に情報記録層を形成した状態の概略断面図
を示す。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing a state where an information recording layer is formed on a substrate.

【図4】基板と支持基板とを積層した状態の概略断面図
を示す。
FIG. 4 is a schematic sectional view showing a state in which a substrate and a support substrate are stacked.

【図5】本発明の光学記録媒体の、一例の概略断面図を
示す。
FIG. 5 shows a schematic cross-sectional view of an example of the optical recording medium of the present invention.

【図6】本発明の光学記録媒体の基板作製装置の一例の
概略図を示す。
FIG. 6 is a schematic view showing an example of an optical recording medium substrate manufacturing apparatus of the present invention.

【図7】本発明の光学記録媒体の基板の概略断面図を示
す。
FIG. 7 is a schematic sectional view of a substrate of the optical recording medium of the present invention.

【図8】ベースプレートと、2Pレジンが滴下された状
態のスタンパーの一例を示す図である。
FIG. 8 is a diagram illustrating an example of a base plate and a stamper in which 2P resin is dropped.

【図9】ベースプレートとスタンパーを2Pレジンを介
して対向させ、ローラで圧着して、紫外線照射装置によ
り紫外線を照射している様子の一例を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing an example of a state in which a base plate and a stamper are opposed to each other via a 2P resin, pressed with a roller, and irradiated with ultraviolet rays by an ultraviolet irradiation device.

【図10】スタンパーからベースプレート及び硬化され
て、微細凹凸が転写された2Pレジンを剥離する様子の
一例を示す図である。
FIG. 10 is a view showing an example of a state in which a base plate and a cured 2P resin on which fine irregularities have been transferred are peeled from a stamper.

【図11】2Pレジン層状に機能膜と保護膜を形成した
レプリカと、支持基板とを示す図である。
FIG. 11 is a view showing a replica in which a functional film and a protective film are formed on a 2P resin layer, and a support substrate.

【図12】本発明の光学記録媒体の基板の一作製工程図
を示す。
FIG. 12 is a view showing a manufacturing process of the substrate of the optical recording medium of the present invention.

【図13】本発明の光学記録媒体の基板の概略断面図を
示す。
FIG. 13 is a schematic sectional view of a substrate of the optical recording medium of the present invention.

【図14】本発明の光学記録媒体の一例の概略断面図を
示す。
FIG. 14 is a schematic sectional view of an example of the optical recording medium of the present invention.

【図15】ガラス基板上にフォトレジストを塗布した状
態の概略断面図を示す。
FIG. 15 is a schematic sectional view showing a state where a photoresist is applied on a glass substrate.

【図16】フォトレジストを露光処理する工程図を示
す。
FIG. 16 shows a process chart of exposing a photoresist.

【図17】ガラス基板上にフォトレジストの所定パター
ンが形成された状態の概略断面図を示す。
FIG. 17 is a schematic sectional view showing a state where a predetermined pattern of a photoresist is formed on a glass substrate.

【図18】ガラス基板をエッチングし、微細凹凸を形成
した状態図を示す。
FIG. 18 shows a state diagram in which fine irregularities are formed by etching a glass substrate.

【図19】本発明の光学記録媒体の一例の概略断面図を
示す。
FIG. 19 is a schematic sectional view of an example of the optical recording medium of the present invention.

【図20】本発明の2層構造の光学記録基体の一例の概
略断面図を示す。
FIG. 20 is a schematic sectional view of an example of an optical recording substrate having a two-layer structure according to the present invention.

【図21】従来の光学記録媒体の概略断面図を示す。FIG. 21 shows a schematic sectional view of a conventional optical recording medium.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、10、40 基板、2、12、42、52 微細凹
凸、3 液状光硬化性樹脂、4 反射膜、5、15、4
5、55 情報記録層、6 保護膜、14、44、54
材料膜、18、28、38 スタンパー、20 支持
基板、30 ガラス基板、31 フォトレジスト、50
パターン、60、62 射出成形装置、70 キャビ
ティ、80、82 金型、90 シート、91 ガイド
ローラ、93 シート打ち抜き機、100 光透過層
1, 10, 40 substrate, 2, 12, 42, 52 fine irregularities, 3 liquid photocurable resin, 4 reflective film, 5, 15, 4
5, 55 information recording layer, 6 protective film, 14, 44, 54
Material film, 18, 28, 38 stamper, 20 support substrate, 30 glass substrate, 31 photoresist, 50
Pattern, 60, 62 injection molding device, 70 cavity, 80, 82 mold, 90 sheet, 91 guide roller, 93 sheet punching machine, 100 light transmitting layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柏木 俊行 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 荒川 宣之 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Toshiyuki Kashiwagi 6-35, Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Inventor Noriyuki Arakawa 6-35, Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 曲げ弾性率7×109(Pa)以上の支
持基板と、 微細凹凸構造を有する情報記録層が積層され、 上記情報記録層に、厚さ0.3mm以下の均一な厚さの
光透過層が積層形成された構造からなることを特徴とす
る光学記録媒体。
1. A support substrate having a flexural modulus of 7 × 10 9 (Pa) or more and an information recording layer having a fine uneven structure are laminated, and the information recording layer has a uniform thickness of 0.3 mm or less. An optical recording medium characterized in that the optical recording medium has a structure in which the light transmitting layers are laminated.
【請求項2】 上記微細凹凸構造を有する情報記録層
が、シート状薄膜の一主面に形成されたことを特徴とす
る請求項1に記載の光学記録媒体。
2. The optical recording medium according to claim 1, wherein the information recording layer having the fine uneven structure is formed on one main surface of a sheet-like thin film.
【請求項3】 上記支持基板の一主面に微細凹凸構造を
有する情報記録層が形成されたことを特徴とする請求項
1に記載の光学記録媒体。
3. The optical recording medium according to claim 1, wherein an information recording layer having a fine uneven structure is formed on one main surface of the support substrate.
【請求項4】 上記情報記録層上に、厚さ0.3mm以
下の光透過層を有することを特徴とする請求項1に記載
の光学記録媒体。
4. The optical recording medium according to claim 1, further comprising a light transmitting layer having a thickness of 0.3 mm or less on the information recording layer.
【請求項5】 曲げ弾性率7×109(Pa)以上の支
持基板上に、微細凹凸構造を有する情報記録層を形成す
るか、上記支持基板自体に情報記録層を形成し、 上記
情報記録層に、厚さ0.3mm以下の均一な厚さの光透
過層を積層することを特徴とする光学記録媒体の製造方
法。
5. An information recording layer having a fine concavo-convex structure on a supporting substrate having a flexural modulus of 7 × 10 9 (Pa) or more, or an information recording layer formed on the supporting substrate itself. A method for manufacturing an optical recording medium, comprising: laminating a light transmitting layer having a uniform thickness of 0.3 mm or less on a layer.
【請求項6】 フォトポリマリゼーション法により、上
記情報記録層を形成することを特徴とする請求項5に記
載の光学記録媒体の製造方法。
6. The method for manufacturing an optical recording medium according to claim 5, wherein the information recording layer is formed by a photopolymerization method.
【請求項7】 上記支持基板上に、微細凹凸構造を有す
る情報記録層が形成されたシート状薄膜を積層すること
を特徴とする請求項5に記載の光学記録媒体の製造方
法。
7. The method according to claim 5, wherein a sheet-like thin film on which an information recording layer having a fine uneven structure is formed is laminated on the support substrate.
【請求項8】 上記支持基板上に、射出成形により微細
凹凸構造を形成した情報記録層を有する基板を積層する
ことを特徴とする請求項5に記載の光学記録媒体の製造
方法。
8. The method for manufacturing an optical recording medium according to claim 5, wherein a substrate having an information recording layer in which a fine uneven structure is formed by injection molding is laminated on the support substrate.
【請求項9】 上記支持基板をガラス基板とし、これに
フォトレジストを積層し、 該フォトレジストを露光することにより所定のバターン
を形成し、このパターンをマスクにしてガラス基板のエ
ッチングを行なうことにより形成される微細凹凸構造を
有する情報記録面を形成することを特徴とする請求項5
に記載の光学記録媒体の製造方法。
9. A glass substrate is used as the support substrate, a photoresist is laminated on the glass substrate, a predetermined pattern is formed by exposing the photoresist, and the glass substrate is etched using the pattern as a mask. 6. An information recording surface having a fine uneven structure to be formed is formed.
3. The method for producing an optical recording medium according to item 1.
【請求項10】 上記情報記録層上に、液状光硬化性樹
脂を塗布、延伸し、該液状光硬化性樹脂を露光硬化させ
ることにより、厚さ0.3mm以下の光透過層を形成さ
せることを特徴とする請求項5に記載の光学記録媒体の
製造方法。
10. A light-transmitting layer having a thickness of 0.3 mm or less is formed by applying and stretching a liquid photocurable resin on the information recording layer and exposing and curing the liquid photocurable resin. The method for manufacturing an optical recording medium according to claim 5, wherein:
【請求項11】 上記情報記録層上に、透明光硬化性樹
脂よりなるシートを接着し、厚さ0.3mm以下の光透
過層を形成させることを特徴とする請求項5に記載の光
学記録媒体の製造方法。
11. The optical recording according to claim 5, wherein a sheet made of a transparent photo-curable resin is adhered on the information recording layer to form a light transmitting layer having a thickness of 0.3 mm or less. The method of manufacturing the medium.
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Cited By (5)

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