JPH07286955A - 分光測定用試料回転ホルダー - Google Patents
分光測定用試料回転ホルダーInfo
- Publication number
- JPH07286955A JPH07286955A JP8194194A JP8194194A JPH07286955A JP H07286955 A JPH07286955 A JP H07286955A JP 8194194 A JP8194194 A JP 8194194A JP 8194194 A JP8194194 A JP 8194194A JP H07286955 A JPH07286955 A JP H07286955A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holder
- incident angle
- center
- board
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、試料を回転させることによって入
射角度を変えて試料の分光特性を行う場合に、測定光束
を絞ることなく、十分なエネルギーを得ることができる
試料ホルダーを提供する。 【構成】 回転ステージに取り付ける試料台の両側のガ
イド取付部を試料台の中心部より低くし、ガイド取付部
を試料台の対角線上のコーナー部に取り付けることによ
り、大きな入射角でもホルダーの構成部が測定光束を妨
げず、試料の照射面を大きく取ることができる。 【効果】 偏光子と組み合わせることによって試料の光
透過率を高め、試料内部の多重反射による干渉縞を低減
することによりＳ／Ｎ比の高いスペクトルを得ることが
できる。
射角度を変えて試料の分光特性を行う場合に、測定光束
を絞ることなく、十分なエネルギーを得ることができる
試料ホルダーを提供する。 【構成】 回転ステージに取り付ける試料台の両側のガ
イド取付部を試料台の中心部より低くし、ガイド取付部
を試料台の対角線上のコーナー部に取り付けることによ
り、大きな入射角でもホルダーの構成部が測定光束を妨
げず、試料の照射面を大きく取ることができる。 【効果】 偏光子と組み合わせることによって試料の光
透過率を高め、試料内部の多重反射による干渉縞を低減
することによりＳ／Ｎ比の高いスペクトルを得ることが
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、入射角度を変化させ
て材料の透過／吸収特性、反射特性及びその角度依存性
を測定し、評価する分光測定用の試料ホルダーに関す
る。
て材料の透過／吸収特性、反射特性及びその角度依存性
を測定し、評価する分光測定用の試料ホルダーに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】材料の分光特性を評価することは、材料
を工業的に利用する上で重要である。分光特性の評価は
材料の透過率、反射率の他に、吸収スペクトルによる成
分分析などにも応用されている。半導体材料でもフーリ
エ変換赤外分光計（ＦＴ−ＩＲ）を用いた評価技術が検
討され、シリコンウェハー中の不純物の分析などが行わ
れている。シリコンウェハー中の不純物元素としては、
一般に酸素、炭素、窒素が問題にされており、応用物
理、第５３巻、第６号、Ｐ５０４（１９８４）に赤外吸
収法で分析する際に必要な情報がまとめられている。
を工業的に利用する上で重要である。分光特性の評価は
材料の透過率、反射率の他に、吸収スペクトルによる成
分分析などにも応用されている。半導体材料でもフーリ
エ変換赤外分光計（ＦＴ−ＩＲ）を用いた評価技術が検
討され、シリコンウェハー中の不純物の分析などが行わ
れている。シリコンウェハー中の不純物元素としては、
一般に酸素、炭素、窒素が問題にされており、応用物
理、第５３巻、第６号、Ｐ５０４（１９８４）に赤外吸
収法で分析する際に必要な情報がまとめられている。
【０００３】一方、シリコンウェハーは平滑性、平行性
の高い基板であり、このような材料に光を入射すると、
材料内部の多重反射によってスペクトルに干渉縞の影響
が現われることが知られている。干渉縞がスペクトル上
に現われると、正確なピーク高さや面積の測定が難しく
なる。そこで、試料内部の多重反射を防ぐために、最近
では、単一直線偏光した光をブリュースター角を利用し
て試料に入射し、反射率を極限まで低減する評価技術が
検討されている。ブリュースター角θB は、大気の屈折
率をｎ1 、試料の屈折率をｎ2 とすると、 θB ＝arctan（ｎ2 ／ｎ1 ） （１） で表わされ、材料の屈折率によってその角度が決まる。
Ｓｉの屈折率は、波長１０μｍでは約３．４であり、ブ
リュースター角は約７３．６°となる。ブリュースター
角で入射面と平行に偏光された光を試料に入射すると、
光の反射率はほぼ０％（透過率１００％）となる。従っ
て、偏光子とブリュースター角を組み合わせてシリコン
ウェハーを測定すると、内部での多重反射による影響が
なくなり、定量精度の高いスペクトルを得ることができ
る。
の高い基板であり、このような材料に光を入射すると、
材料内部の多重反射によってスペクトルに干渉縞の影響
が現われることが知られている。干渉縞がスペクトル上
に現われると、正確なピーク高さや面積の測定が難しく
なる。そこで、試料内部の多重反射を防ぐために、最近
では、単一直線偏光した光をブリュースター角を利用し
て試料に入射し、反射率を極限まで低減する評価技術が
検討されている。ブリュースター角θB は、大気の屈折
率をｎ1 、試料の屈折率をｎ2 とすると、 θB ＝arctan（ｎ2 ／ｎ1 ） （１） で表わされ、材料の屈折率によってその角度が決まる。
Ｓｉの屈折率は、波長１０μｍでは約３．４であり、ブ
リュースター角は約７３．６°となる。ブリュースター
角で入射面と平行に偏光された光を試料に入射すると、
光の反射率はほぼ０％（透過率１００％）となる。従っ
て、偏光子とブリュースター角を組み合わせてシリコン
ウェハーを測定すると、内部での多重反射による影響が
なくなり、定量精度の高いスペクトルを得ることができ
る。
【０００４】しかしながら、試料を回転して入射光に対
して傾けると、平行光束の場合、測定光束の照射面は回
転方向の長さが回転軸方向の長さの約３．５倍（１／co
s θB ）となる楕円となる。また一般のＦＴ−ＩＲの試
料室内の光束は、試料室の中心で焦点を結ぶように設計
されているため、試料を回転すると部分的には回転軸方
向も光束の照射部分が大きくなり、試料を保持するホル
ダーの構成部が光束を一部遮断してしまうという問題が
あった。また回転した際にホルダーが光束を遮断しない
ように、スリットを通して測定光束を絞る方法もある
が、この方法では測定光束のエネルギーが不足し、十分
なＳ／Ｎ比及び安定性を得ることができないという問題
があった。
して傾けると、平行光束の場合、測定光束の照射面は回
転方向の長さが回転軸方向の長さの約３．５倍（１／co
s θB ）となる楕円となる。また一般のＦＴ−ＩＲの試
料室内の光束は、試料室の中心で焦点を結ぶように設計
されているため、試料を回転すると部分的には回転軸方
向も光束の照射部分が大きくなり、試料を保持するホル
ダーの構成部が光束を一部遮断してしまうという問題が
あった。また回転した際にホルダーが光束を遮断しない
ように、スリットを通して測定光束を絞る方法もある
が、この方法では測定光束のエネルギーが不足し、十分
なＳ／Ｎ比及び安定性を得ることができないという問題
があった。
【０００５】図３に市販されている赤外分光分析用のホ
ルダーの一例を示す。市販のホルダーは回転軸を床面に
対し水平にしており、試料は試料台４上に乗せて試料押
え６で固定する。試料台４は円形で、中央に５mmφ程度
の赤外光束透過用の孔１５が開けられている。この様な
ホルダーでは、試料台４及び試料押え６の厚みにより入
射角θを大きく取れない（現状では最大４５°）。また
赤外光束に対して試料台４の赤外透過用の孔が小さいた
め、ホルダーの回転によって赤外光量が変化する。その
変化を抑制するためにスリットが必要となるが、光量が
減少するためにＳ／Ｎが悪くなり、積算回数（測定時
間）が増大する。
ルダーの一例を示す。市販のホルダーは回転軸を床面に
対し水平にしており、試料は試料台４上に乗せて試料押
え６で固定する。試料台４は円形で、中央に５mmφ程度
の赤外光束透過用の孔１５が開けられている。この様な
ホルダーでは、試料台４及び試料押え６の厚みにより入
射角θを大きく取れない（現状では最大４５°）。また
赤外光束に対して試料台４の赤外透過用の孔が小さいた
め、ホルダーの回転によって赤外光量が変化する。その
変化を抑制するためにスリットが必要となるが、光量が
減少するためにＳ／Ｎが悪くなり、積算回数（測定時
間）が増大する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、非平行光束
に対し、試料を回転することによって入射角度を変えて
試料の分光特性を測定する場合に、測定光束を絞ること
なく、十分なエネルギーが得られる状態で試料を回転さ
せて、高Ｓ／Ｎ比で安定性を維持し、定量性の高いスペ
クトルを測定するための試料ホルダーを提供することに
ある。
に対し、試料を回転することによって入射角度を変えて
試料の分光特性を測定する場合に、測定光束を絞ること
なく、十分なエネルギーが得られる状態で試料を回転さ
せて、高Ｓ／Ｎ比で安定性を維持し、定量性の高いスペ
クトルを測定するための試料ホルダーを提供することに
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明の分光測定用試料回転ホルダーでは、試料
台の両側のガイド取付部を回転軸となる試料台の中心部
より低くし、さらにガイド取付部を回転方向に対して試
料台の中心より逆側に取り付けることによって、大きな
入射角をとってもホルダーの構成部が試料光束を妨げ
ず、かつ試料の照射面を大きく取れるようにしている。
めに、本発明の分光測定用試料回転ホルダーでは、試料
台の両側のガイド取付部を回転軸となる試料台の中心部
より低くし、さらにガイド取付部を回転方向に対して試
料台の中心より逆側に取り付けることによって、大きな
入射角をとってもホルダーの構成部が試料光束を妨げ
ず、かつ試料の照射面を大きく取れるようにしている。
【０００８】
【作用】図１は本発明の一例を示す装置図である。ホル
ダーは回転ステージ１、ロッドスタンド２、ロッド３、
試料を乗せる試料台４、試料台の両側に取り付けた２本
のガイド５、ガイドによって上下に自由に移動できる試
料押え６によって構成される。回転ステージ１は市販品
で良く、ロッドスタンド２とロッド３は分光器の光軸の
高さに合わせて市販品の長さを変えたものである。試料
の高さはロッドスタンド２とロッド３によって自由に調
節できる。試料８の大きさは、分光器の試料室１３の大
きさによる試料押え６の大きさの制約があるが、一般の
ＦＴ−ＩＲでは直径７inchまでは測定できる。試料は試
料台４の上に垂直に立て、スプリング７を利用して試料
押え６で固定する。ガイド５は試料台及び試料押えの中
心より離れた位置に取り付け、試料回転方向に合わせて
取り付け位置９を変えると、入射角を大きくとっても赤
外光束の妨げにならない。すなわち、図１の側面図でガ
イド間ｌがＦＴ−ＩＲの光束よりも大きければ、水平入
射（入射角９０°）でもガイドが光束を妨げることはな
い。また光束は試料室の中央で最小、中央から離れるに
従って大きくなるため、ガイド間ｌはホルダーの大きさ
を考慮して決定する。
ダーは回転ステージ１、ロッドスタンド２、ロッド３、
試料を乗せる試料台４、試料台の両側に取り付けた２本
のガイド５、ガイドによって上下に自由に移動できる試
料押え６によって構成される。回転ステージ１は市販品
で良く、ロッドスタンド２とロッド３は分光器の光軸の
高さに合わせて市販品の長さを変えたものである。試料
の高さはロッドスタンド２とロッド３によって自由に調
節できる。試料８の大きさは、分光器の試料室１３の大
きさによる試料押え６の大きさの制約があるが、一般の
ＦＴ−ＩＲでは直径７inchまでは測定できる。試料は試
料台４の上に垂直に立て、スプリング７を利用して試料
押え６で固定する。ガイド５は試料台及び試料押えの中
心より離れた位置に取り付け、試料回転方向に合わせて
取り付け位置９を変えると、入射角を大きくとっても赤
外光束の妨げにならない。すなわち、図１の側面図でガ
イド間ｌがＦＴ−ＩＲの光束よりも大きければ、水平入
射（入射角９０°）でもガイドが光束を妨げることはな
い。また光束は試料室の中央で最小、中央から離れるに
従って大きくなるため、ガイド間ｌはホルダーの大きさ
を考慮して決定する。
【０００９】図２は、分光器に本発明を設置した状態を
示す図である。２本のガイド５は赤外光束に対して離れ
た位置に取り付けてあるため、入射角θを大きく取って
も光束の妨げにならず、試料面の大きさも十分確保する
ことができる。また光束の上下に対しても、試料台４が
水平であれば、回転したときに試料光束を一部遮断して
しまうが、試料台４の両側を中央より下げているため、
試料押え６を光束よりも十分高くしておけば光束を妨げ
ることはない。試料に対する光の入射角θは、分光器に
付属している試料位置調整用のＨｅ−Ｎｅレーザ光１３
を利用して決定する。すなわち、試料室の入射口にＨｅ
−Ｎｅレーザ光が通るようにピンホールを開けた方眼紙
を取り付け、ピンホールを通った光を試料に当て、その
反射光が再びピンホールに戻る時の入射角を０°とし、
所定の入射角θは回転ステージ１の角度で調節する。
示す図である。２本のガイド５は赤外光束に対して離れ
た位置に取り付けてあるため、入射角θを大きく取って
も光束の妨げにならず、試料面の大きさも十分確保する
ことができる。また光束の上下に対しても、試料台４が
水平であれば、回転したときに試料光束を一部遮断して
しまうが、試料台４の両側を中央より下げているため、
試料押え６を光束よりも十分高くしておけば光束を妨げ
ることはない。試料に対する光の入射角θは、分光器に
付属している試料位置調整用のＨｅ−Ｎｅレーザ光１３
を利用して決定する。すなわち、試料室の入射口にＨｅ
−Ｎｅレーザ光が通るようにピンホールを開けた方眼紙
を取り付け、ピンホールを通った光を試料に当て、その
反射光が再びピンホールに戻る時の入射角を０°とし、
所定の入射角θは回転ステージ１の角度で調節する。
【００１０】
【実施例】図４〜図８に波数分解能０．５cm-1で測定し
た厚さｔ＝０．２mmのシリコンウェハーの赤外吸収スペ
クトルを示す。使用した装置は日本電子（株）製ＪＩＲ
５５００型ＦＴ−ＩＲで、ホルダーは図１に示すホルダ
ーを試作した。入射角０°のスペクトルには波数１１０
０cm-1近傍にＳｉ−Ｏの振動に基づく吸収（表面酸化
膜）が見られ、スペクトル全体には干渉によるフリンジ
が大きく現われる。入射角がブリュースター角に近づく
につれて、干渉によるフリンジが減少するとともに、吸
収のない波数の透過率が上昇し、ブリュースター角を超
えると、フリンジが増大し透過率も減少する。図９およ
び図１０に分解能４cm-1で測定した入射角０°と７３．
５°（ブリュースター角）の赤外吸収スペクトルを示
す。分解能４cm-1では干渉によるフリンジは現われない
が、実際にはスペクトル上に干渉の影響がある。図３に
示した市販のホルダーでは、入射角を最大４５°までし
か取れないため、図５に示す程度のフリンジが残る。従
って、本発明の試料回転ホルダーを用いることにより、
入射角の大きなブリュースター角での測定が可能とな
り、干渉による影響が低減されたスペクトルを測定する
ことができる。
た厚さｔ＝０．２mmのシリコンウェハーの赤外吸収スペ
クトルを示す。使用した装置は日本電子（株）製ＪＩＲ
５５００型ＦＴ−ＩＲで、ホルダーは図１に示すホルダ
ーを試作した。入射角０°のスペクトルには波数１１０
０cm-1近傍にＳｉ−Ｏの振動に基づく吸収（表面酸化
膜）が見られ、スペクトル全体には干渉によるフリンジ
が大きく現われる。入射角がブリュースター角に近づく
につれて、干渉によるフリンジが減少するとともに、吸
収のない波数の透過率が上昇し、ブリュースター角を超
えると、フリンジが増大し透過率も減少する。図９およ
び図１０に分解能４cm-1で測定した入射角０°と７３．
５°（ブリュースター角）の赤外吸収スペクトルを示
す。分解能４cm-1では干渉によるフリンジは現われない
が、実際にはスペクトル上に干渉の影響がある。図３に
示した市販のホルダーでは、入射角を最大４５°までし
か取れないため、図５に示す程度のフリンジが残る。従
って、本発明の試料回転ホルダーを用いることにより、
入射角の大きなブリュースター角での測定が可能とな
り、干渉による影響が低減されたスペクトルを測定する
ことができる。
【００１１】
【発明の効果】以上のごとく本発明の分光測定用試料回
転ホルダーによれば、偏光子と組み合わせることによっ
て試料の光透過率を高め、試料内部の多重反射による干
渉縞を低減することによりＳ／Ｎ比の高いスペクトルを
得ることができる。
転ホルダーによれば、偏光子と組み合わせることによっ
て試料の光透過率を高め、試料内部の多重反射による干
渉縞を低減することによりＳ／Ｎ比の高いスペクトルを
得ることができる。
【図１】本発明の装置図である。
【図２】本発明をＦＴ−ＩＲに組み込んだ構成図であ
る。
る。
【図３】市販の試料ホルダーの一例である。
【図４】シリコンウェハーの波数分解能０．５cm-1の赤
外吸収スペクトルであって、入射角０°の場合を示す。
外吸収スペクトルであって、入射角０°の場合を示す。
【図５】入射角５０°の場合の赤外吸収スペクトルを示
す。
す。
【図６】入射角７０°の場合の赤外吸収スペクトルを示
す。
す。
【図７】入射角７５°の場合の赤外吸収スペクトルを示
す。
す。
【図８】入射角８０°の場合の赤外吸収スペクトルを示
す。
す。
【図９】シリコンウェハーの波数分解能４cm-1の赤外吸
収スペクトルであって、入射角０°の場合を示す。
収スペクトルであって、入射角０°の場合を示す。
【図１０】入射角７３．５°の場合の赤外吸収スペクト
ルを示す。
ルを示す。
１ 回転ステージ ２ ロッドスタンド ３ ロッド ４ 試料台 ５ ガイド ６ 試料押え ７ スプリング ８ 試料（シリコンウェハー） ９ ガイド取付位置 １０ 偏光子 １１ 入射口 １２ 出射口 １３ Ｈｅ−Ｎｅレーザ光軸 １４ ＦＴ−ＩＲ試料室
Claims (2)
- 【請求項１】 回転ステージに取り付けて試料を光軸上
で固定するホルダーであって、回転ステージとロッド及
びロッドスタンド、試料を乗せる試料台、試料台の両側
に取り付けた２本のガイドとガイド上を上下に自由に移
動できる試料押えによって構成され、試料台の両側のガ
イド取付部が試料台の中心部より下がっていることを特
徴とする分光測定用試料回転ホルダー。 - 【請求項２】 試料台の両側のガイドが試料台の対角線
上のコーナー部に取り付けられていることを特徴とする
請求項１記載の分光測定用試料回転ホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8194194A JPH07286955A (ja) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | 分光測定用試料回転ホルダー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8194194A JPH07286955A (ja) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | 分光測定用試料回転ホルダー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07286955A true JPH07286955A (ja) | 1995-10-31 |
Family
ID=13760527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8194194A Withdrawn JPH07286955A (ja) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | 分光測定用試料回転ホルダー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07286955A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101300124B1 (ko) * | 2011-09-29 | 2013-08-30 | 주식회사 루트로닉 | 컨택트 렌즈 홀더어셈블리 및 이를 포함하는 안과용 치료장치 |
| CN103674670A (zh) * | 2013-10-31 | 2014-03-26 | 奇瑞汽车股份有限公司 | 火花直读光谱仪一种简易的样品中心定位装置及其样品制备方法和定位方法 |
| CN111137628A (zh) * | 2020-01-03 | 2020-05-12 | 嘉兴百盛光电有限公司 | 一种旋转放置平台机构 |
-
1994
- 1994-04-20 JP JP8194194A patent/JPH07286955A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101300124B1 (ko) * | 2011-09-29 | 2013-08-30 | 주식회사 루트로닉 | 컨택트 렌즈 홀더어셈블리 및 이를 포함하는 안과용 치료장치 |
| CN103674670A (zh) * | 2013-10-31 | 2014-03-26 | 奇瑞汽车股份有限公司 | 火花直读光谱仪一种简易的样品中心定位装置及其样品制备方法和定位方法 |
| CN103674670B (zh) * | 2013-10-31 | 2016-09-14 | 奇瑞汽车股份有限公司 | 一种火花直读光谱仪的样品中心定位装置及其样品定位方法 |
| CN111137628A (zh) * | 2020-01-03 | 2020-05-12 | 嘉兴百盛光电有限公司 | 一种旋转放置平台机构 |
| CN111137628B (zh) * | 2020-01-03 | 2021-07-27 | 浙江百盛光电股份有限公司 | 一种旋转放置平台机构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010703 |