JPH07278898A - Method for controlling surface treating solution and device therefor - Google Patents

Method for controlling surface treating solution and device therefor

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JPH07278898A
JPH07278898A JP2978795A JP2978795A JPH07278898A JP H07278898 A JPH07278898 A JP H07278898A JP 2978795 A JP2978795 A JP 2978795A JP 2978795 A JP2978795 A JP 2978795A JP H07278898 A JPH07278898 A JP H07278898A
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JP
Japan
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plating
liquid
plating solution
bath
pretreatment
Prior art date
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Application number
JP2978795A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masayuki Watanabe
誠之 渡辺
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Yamaha Motor Co Ltd
Original Assignee
Yamaha Motor Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To automatically keep the quality of a surface treating solution optimal while operating a surface treating device and simultaneously to save the space of the surface treating device. CONSTITUTION:A supply means 21 is connected to a tank 4E storing a plating solution, a nickel carbonate powder is stored in a hopper 21c of the supply means 21 and is supplied to the tank 4E through a supply pipe 24 by operating a motor 21b. A pH sensor 30 is dipped into the tank 4E to constantly detect the pH of the plating solution, and when the pH of the plating solution which is detected by the sensor 30 becomes smaller than a prescribed proper ph value with the progress of plating, nickel carbonate in the hopper 21c is supplied to the tank 4E by working the motor 21b of the supply means 21.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ワークに対してめっき
やその前処理を施すためのめっき液や前処理液等の表面
処理液の液質を管理する表面処理液管理方法及びその装
置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface treatment liquid management method and apparatus for controlling the quality of a surface treatment liquid such as a plating liquid or a pretreatment liquid for plating a work or its pretreatment. It is a thing.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、ワークの被処理面にめっきを
施したり、その前工程として脱脂エッチング等の処理を
行ったりする表面処理の技術が種々知られている。例え
ば、このような技術として表面処理液(以下、処理液と
略す)を貯留した浴槽にワークを浸漬させて表面処理を
施すものが一般に知られている。また、最近では、ワー
クの被処理面に対して処理液を流動させながら表面処理
を行うことにより表面処理作業の高速化を図る技術も考
えられている。例えば、特開平5−222589号公報
には、エンジンのシリンダ等のワークを支持する支持体
に、めっき液の流路を構成する部材及び電極等を装備す
るとともに、この支持体をめっき液導入管を介してめっ
き液の浴槽に接続し、ポンプにより上記浴槽から上記支
持体にめっき液を送給してめっき液を流動させつつめっ
きを行うようにしためっき装置が示されている。この装
置によると、高速めっきを行うことができるとともに、
浴槽を小型化することができる。
2. Description of the Related Art Conventionally, various surface treatment techniques have been known in which a surface to be treated of a workpiece is plated and a pretreatment process such as degreasing etching is performed. For example, as such a technique, it is generally known that a work is immersed in a bath in which a surface treatment liquid (hereinafter abbreviated as a treatment liquid) is stored to perform the surface treatment. Further, recently, there has been considered a technique for increasing the speed of the surface treatment work by performing the surface treatment while flowing the treatment liquid onto the surface to be treated of the work. For example, in Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. Hei 5-222589, a support for supporting a work such as an engine cylinder is equipped with a member for forming a flow path of a plating solution, an electrode, etc. There is disclosed a plating apparatus which is connected to a bath of a plating solution via the above, and which carries out plating while feeding the plating solution from the bath to the support by a pump to cause the plating solution to flow. With this device, high-speed plating can be performed, and
The bathtub can be downsized.

【0003】ところで、このような表面処理において所
望の処理面を得ようとする場合には、処理液の液質を好
適に、かつ一定の液質に保つことが要求される。例え
ば、ワークの被処理面にめっきを施す場合では、めっき
作業に伴い処理液としてのめっき液中に含まれる鍍着物
質が減少するのでこれを補給する必要があり、また、前
工程を施す場合には、ワークを構成する金属の溶解等に
より処理液に不純物が混在する等して劣化するので処理
液の入替えを行う必要がある。
By the way, in order to obtain a desired treated surface in such a surface treatment, it is required that the quality of the treating liquid is kept to be suitable and constant. For example, in the case of plating the surface to be processed of the workpiece, the plating material contained in the plating solution as the processing solution decreases with the plating work, so it is necessary to replenish it, and in the case of performing the previous step In addition, since the processing liquid is deteriorated due to the inclusion of impurities in the processing liquid due to dissolution of the metal constituting the work, it is necessary to replace the processing liquid.

【0004】従って、従来、ワークの被処理面にめっき
を施す場合には、相当の期間をおいて、めっき作業停止
時等に作業者がめっき液の浴槽に鍍着物質を投入し、あ
るいは浴槽内に鍍着物質を入れた布製の袋を浸漬して鍍
着物質が溶け出すようにしている。また、前処理を施す
場合には、所定の作業時間の経過後に、前処理装置を一
旦停止させ、浴槽内に貯留された処理液をポンプ等によ
り排出して新たな処理液と入替えるようにしている。
Therefore, conventionally, when plating the surface to be treated of a work, an operator puts a plating material into a bath of the plating solution after a considerable period of time, such as when the plating operation is stopped, or the bath. The cloth-made bag containing the plating material is dipped therein so that the plating material is melted. In addition, when performing pretreatment, after a predetermined working time has elapsed, the pretreatment device is temporarily stopped so that the treatment liquid stored in the bathtub is discharged by a pump or the like and replaced with a new treatment liquid. ing.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ワークの被
処理面にめっきを施す場合、従来の方法ではめっき液の
液質を精度良く管理することが難しい。また、一般に
は、液質の変化や劣化を生じ難くするために、大型の浴
槽内に大量の処理液を貯留してめっき処理を行うように
しているが、このようにすると、鍍着物質の補給に際し
て大量の鍍着物質をめっき液に溶かす必要があって、鍍
着物質の補給に長時間を要することになるとともに、浴
槽自体が大型であるため、めっき装置自体の大型化を招
き、省スペース化を阻害するといった問題点もある。一
方、浴槽を小型化してめっき液貯留量を少なくすると、
短期間でめっき液の液質が変化し易くなるので、従来の
方法では、液質の管理が一層難しくなる。
By the way, it is difficult to accurately control the quality of the plating solution by the conventional method when plating the surface of the workpiece to be treated. In addition, generally, in order to prevent the change and deterioration of the liquid quality from occurring, a large amount of the processing liquid is stored in a large bath to perform the plating treatment. It is necessary to dissolve a large amount of the plating material in the plating solution at the time of replenishment, and it takes a long time to replenish the plating material, and the bath itself is large. There is also a problem that it hinders space. On the other hand, if the bath is downsized and the plating solution storage amount is reduced,
Since the quality of the plating solution is likely to change in a short period of time, it becomes more difficult to control the quality of the solution by the conventional method.

【0006】また、前処理を施す場合には、従来の方法
によると、処理液の劣化に伴う処理液の入替えに際し、
前処理装置の停止を余儀なくされるので、生産効率の面
で問題があるとともに、処理液の入替えを頻繁に行うわ
けにはいかないので、液質の変化を充分に抑制すること
が困難である。
Further, in the case of performing the pretreatment, according to the conventional method, when the treatment liquid is replaced due to deterioration of the treatment liquid,
Since the pretreatment device must be stopped, there is a problem in terms of production efficiency, and it is difficult to change the treatment liquid frequently, so it is difficult to sufficiently suppress changes in liquid quality.

【0007】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、表面処理装置を作動させながら、自動
的に表面処理液を適質に保ちつつ、しかも表面処理装置
の省スペース化を図ることができる表面処理液管理方法
及び装置を提供することを目的としている。
The present invention has been made in order to solve the above problems, and while operating the surface treatment apparatus, automatically keeps the surface treatment solution in a proper quality and saves space of the surface treatment apparatus. It is an object of the present invention to provide a surface treatment liquid management method and device that can be achieved.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
浴槽に貯留された表面処理液の管理方法であって、上記
表面処理液の機能低下を示す情報又は機能低下に相当す
る条件に基づいて、上記表面処理液の機能が復帰する方
向に作用する要素を表面処理作業中に連続的もしくは断
続的に浴槽内に供給するものである。
The invention according to claim 1 is
A method of managing a surface treatment liquid stored in a bath, which is an element that acts in a direction in which the function of the surface treatment liquid is restored based on information indicating the functional deterioration of the surface treatment liquid or a condition corresponding to the functional decrease. Is continuously or intermittently supplied into the bathtub during the surface treatment work.

【0009】請求項2に係る発明は、請求項1記載の表
面処理液管理方法において、上記表面処理液が鍍着物質
を含有するめっき液であって、めっき作業による鍍着物
質の消費に関連する情報に応じて、上記浴槽内に鍍着物
質を供給するものである。
According to a second aspect of the present invention, in the method for controlling a surface treatment liquid according to the first aspect, the surface treatment liquid is a plating liquid containing a plating substance, and is related to consumption of the plating substance by a plating operation. The plating substance is supplied into the bath according to the information.

【0010】請求項3に係る発明は、請求項2記載の表
面処理液管理方法において、上記めっき液がニッケルを
主な鍍着物質とするものであって、ニッケルの消費に関
連する情報として上記めっき液のpH値を検出して、そ
の変化に応じて炭酸ニッケルを浴槽内に供給するもので
ある。
According to a third aspect of the present invention, in the surface treatment solution management method according to the second aspect, the plating solution contains nickel as a main plating material, and the information relating to the consumption of nickel is as described above. The pH value of the plating solution is detected, and nickel carbonate is supplied into the bath according to the change.

【0011】請求項4に係る発明は、請求項3記載の表
面処理液管理方法において、上記めっき液は可溶性電極
と被めっき面との間を流動させられ、めっきが行われる
に伴い上記可溶性電極からめっき液中にニッケルが補給
されるものであって、めっき液のpH値が適正値以下と
なるように可溶性電極のニッケル溶出量が規制されてい
るものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in the surface treatment liquid management method according to the third aspect, the plating solution is caused to flow between a soluble electrode and a surface to be plated, and the soluble electrode is added as plating is performed. In this case, nickel is replenished in the plating solution, and the elution amount of nickel in the soluble electrode is regulated so that the pH value of the plating solution becomes an appropriate value or less.

【0012】請求項5に係る発明は、請求項1記載の表
面処理液管理方法において、上記表面処理液が処理溶質
と溶媒とからなる前処理液であって、前処理液の劣化に
よる機能低下に関係する条件としての前処理作業による
前処理液の使用につれて連続的に、上記浴槽内の前処理
液を所定量ずつ排出しながら、排出される前処理液量に
応じた所定量の処理溶質を浴槽内に供給するとともに、
浴槽内の液面が所定レベルとなるように溶媒を浴槽内に
供給するものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the surface treatment liquid management method according to the first aspect, the surface treatment liquid is a pretreatment liquid containing a treatment solute and a solvent, and the function is deteriorated due to deterioration of the pretreatment liquid. As the pretreatment liquid is used in the pretreatment work as a condition related to the above condition, the pretreatment liquid in the bath is continuously discharged in a predetermined amount at a predetermined amount, and a predetermined amount of the treatment solute corresponding to the discharged pretreatment liquid is discharged. While supplying to the bathtub,
The solvent is supplied into the bath so that the liquid level in the bath becomes a predetermined level.

【0013】請求項6に係る発明は、浴槽に貯留された
めっき液の管理装置であって、めっき液の鍍着物質を貯
蔵部から浴槽内に供給する供給手段と、めっき作業によ
る鍍着物質の消費に関連する情報を検出する検出手段
と、これにより検出された情報に基づいて鍍着物質を浴
槽内に供給するように上記供給手段を制御する制御手段
とを備えたものである。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a management device for a plating solution stored in a bath, which comprises a supplying means for supplying the plating material of the plating solution from the storage section into the bath, and the plating material by the plating operation. And a control means for controlling the supply means so as to supply the plating material into the bath based on the information detected by the detection means.

【0014】請求項7に係る発明は、請求項6記載の表
面処理液管理装置において、上記めっき液がニッケルを
主な鍍着物質とするものであって、上記検出手段として
pH計を設け、このpH計により検出される上記浴槽内
のめっき液のpH値に応じて、上記浴槽内に炭酸ニッケ
ルを供給するものである。
According to a seventh aspect of the present invention, in the surface treatment solution management apparatus according to the sixth aspect, the plating solution contains nickel as a main plating material, and a pH meter is provided as the detection means. Nickel carbonate is supplied into the bath according to the pH value of the plating solution in the bath detected by the pH meter.

【0015】請求項8に係る発明は、浴槽に貯留された
前処理液の管理装置であって、上記前処理液の処理溶質
及び水を供給するための供給源と、これらを浴槽内にそ
れぞれ供給する第1及び第2の供給手段と、浴槽内の前
処理液の液面レベルを検出する液面レベル検出手段と、
浴槽内の前処理液を所定量ずつ排出する排出手段と、こ
れにより排出された前処理液を貯留する排出タンクと、
前処理作業時に浴槽内の前処理液を排出しつつ、この排
出前処理液量に応じた所定量の処理溶質を浴槽内に供給
するとともに、上記液面レベル検出手段による検出結果
に基づいて、液面レベルが所定レベルとなるように水を
供給するべく上記第1、第2の供給手段及び上記排出手
段を制御する制御手段とを備えた備えたものである。
According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a management device for pretreatment liquid stored in a bath, which comprises a supply source for supplying treatment solute of the pretreatment liquid and water, and a supply source for each of them in the bath. First and second supplying means for supplying, liquid level detecting means for detecting a liquid level of the pretreatment liquid in the bath,
A discharge unit for discharging the pretreatment liquid in the bathtub by a predetermined amount, and a discharge tank for storing the pretreatment liquid discharged thereby,
While discharging the pretreatment liquid in the bath during the pretreatment work, while supplying a predetermined amount of treatment solute according to the discharge pretreatment liquid amount into the bath, based on the detection result by the liquid level detecting means, It is provided with a control means for controlling the first and second supply means and the discharge means so as to supply water so that the liquid level becomes a predetermined level.

【0016】[0016]

【作用】上記請求項1記載の発明によれば、表面処理作
業中の表面処理液の使用に伴う機能低下に応じて、これ
を復帰させる要素が浴槽内に供給されることにより、表
面処理液の機能低下が是正される。
According to the first aspect of the present invention, an element for restoring the function of the surface treatment liquid is supplied to the bath according to the deterioration of the function due to the use of the surface treatment liquid during the surface treatment work. Function deterioration is corrected.

【0017】上記請求項2記載の発明によれば、めっき
作業による鍍着物質の消費に関連する情報に応じて、浴
槽内に鍍着物質が供給されることにより、鍍着物質の消
費分が補われる。
According to the second aspect of the present invention, the amount of the plating material consumed is supplied by supplying the plating material into the bath according to the information related to the consumption of the plating material by the plating operation. Will be supplemented.

【0018】上記請求項3記載の発明によれば、めっき
液のpH値が検出され、その値の変化に応じて炭酸ニッ
ケルが供給される。
According to the third aspect of the invention, the pH value of the plating solution is detected, and nickel carbonate is supplied according to the change in the pH value.

【0019】上記請求項4記載の発明によれば、めっき
液に対するニッケルの過剰補給が抑えられ、ニッケルの
過剰補給是正のための処理が不用となる。
According to the invention described in claim 4, the excessive replenishment of nickel to the plating solution is suppressed, and the process for correcting the excessive replenishment of nickel becomes unnecessary.

【0020】上記請求項5記載の発明によれば、前処理
作業による前処理液の使用につれて連続的に、浴槽内の
前処理液が所定量ずつ排出される一方で、処理溶質及び
溶媒が供給されることにより、前処理液の劣化が補われ
る。
According to the fifth aspect of the present invention, as the pretreatment liquid is used in the pretreatment work, the pretreatment liquid in the bath is continuously discharged by a predetermined amount while the treatment solute and the solvent are supplied. By this, deterioration of the pretreatment liquid is compensated.

【0021】上記請求項6記載の発明によれば、貯蔵部
の鍍着物質が、検出手段により検出される鍍着物質の消
費に関連する情報に応じて浴槽内のめっき液に供給され
る。
According to the sixth aspect of the invention, the plating material in the storage portion is supplied to the plating solution in the bath according to the information related to the consumption of the plating material detected by the detecting means.

【0022】上記請求項7記載の発明によれば、pH計
により検出されるめっき液のpH値に応じて炭酸ニッケ
ルが浴槽内に供給される。
According to the seventh aspect of the invention, nickel carbonate is supplied into the bath according to the pH value of the plating solution detected by the pH meter.

【0023】上記請求項8記載の発明によれば、前処理
作業時に連続的に浴槽内の前処理液が所定量ずつ排出さ
れる一方で、排出前処理液量に応じた所定量の処理溶質
が浴槽内に供給される。また、これと同時に浴槽内に水
が供給されて前処理液の液面レベルが所定レベルに維持
される。
According to the invention described in claim 8, the pretreatment liquid in the bathtub is continuously discharged by a predetermined amount at the time of the pretreatment work, while a predetermined amount of the treatment solute corresponding to the discharge pretreatment liquid amount. Is supplied into the bathtub. At the same time, water is supplied into the bath to maintain the liquid level of the pretreatment liquid at a predetermined level.

【0024】[0024]

【実施例】本発明の実施例について図面に基づいて説明
する。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0025】図1は、めっき処理システム全体の概略を
示している。このめっき処理システムにおいては、各種
前処理のための処理部A〜Dと、めっき処理部Eと、乾
燥部Fとが作業順序に対応する配列でめっき処理ライン
に沿って配設されている。具体的には、脱脂処理部A、
アルカリエッチング処理部B、混酸エッチング処理部
C、アルマイト処理部D、高速めっき処理部E及び乾燥
部Fがこの順序に配設されている。さらに、各処理部A
〜Eの間及びめっき処理部Eと乾燥部Fとの間にそれぞ
れ水洗部Ga,Gb,Gc,Gd,Geが設けられてい
る。また、めっき処理ラインの始端側にはワーク投入部
2が設けられ、めっき処理ラインの終端側にはワーク搬
出部3が設けられている。
FIG. 1 shows the outline of the entire plating processing system. In this plating system, processing sections A to D for various pretreatments, a plating processing section E, and a drying section F are arranged along the plating processing line in an array corresponding to the work order. Specifically, the degreasing processing unit A,
The alkali etching processing section B, the mixed acid etching processing section C, the alumite processing section D, the high speed plating processing section E and the drying section F are arranged in this order. Furthermore, each processing unit A
To E and between the plating processing section E and the drying section F, water washing sections Ga, Gb, Gc, Gd and Ge are provided, respectively. Further, the work input part 2 is provided on the starting end side of the plating processing line, and the work unloading part 3 is provided on the end side of the plating processing line.

【0026】処理ラインの外方には、脱脂液貯蔵タンク
4A、アルカリ液貯蔵タンク4B、混酸液貯蔵タンク4
Cならびに混酸液排出タンク4C′、アルマイト液貯蔵
タンク4D及びめっき液貯蔵タンク4Eが配置されてい
る。各処理液のタンク(浴槽)4A〜4Eとそれそれ対
応する処理部A〜Eとの間には、処理液供給用のポンプ
5A,5B,5C,5D,5E及び処理液供給用の配管
が装備されている。
Outside the processing line, a degreasing liquid storage tank 4A, an alkaline liquid storage tank 4B, and a mixed acid liquid storage tank 4 are provided.
C, a mixed acid solution discharge tank 4C ', an alumite solution storage tank 4D, and a plating solution storage tank 4E are arranged. Pumps 5A, 5B, 5C, 5D, 5E for supplying the treatment liquid and pipes for supplying the treatment liquid are provided between the tanks (tubs) 4A to 4E for the treatment liquids and the corresponding processing units A to E. Equipped.

【0027】なお、図示を省略しているが、上記めっき
処理ラインの上方には、上記ワーク投入部2からワーク
搬出部3にわたってワーク搬送手段が移動自在に配設さ
れており、このワーク搬送手段によりワークが吊り下げ
られた状態で、順次めっき処理ラインに沿って搬送され
るようになっている。
Although not shown, a work transfer means is movably arranged above the plating processing line from the work input part 2 to the work transfer part 3, and the work transfer means is provided. Thus, the work is suspended and is sequentially transported along the plating processing line.

【0028】図2は、上記めっき処理部Eにおける高速
めっきのための配管系及び制御系を示しており、このめ
っき処理部Eにおいて本発明が適用されている。
FIG. 2 shows a piping system and a control system for high-speed plating in the plating processing section E, to which the present invention is applied.

【0029】この図において、めっき液を貯蔵するタン
ク4E及びこれに接続されたポンプ5Eと、めっき処理
部Eの処理装置本体10との間には、めっき液供給管1
1及びめっき液回収管12が配設されている。上記めっ
き液供給管11は、その上流端側がポンプ5Eに接続さ
れる一方、その下流端側が処理装置本体10の後述のめ
っき液導入通路19に接続されている。また、めっき液
供給管11には、めっき液供給量を調整するためのメイ
ン自動バルブ14及びメイン手動バルブ15が設けら
れ、さらに余剰液をタンク4Eに戻すため、上記バルブ
14,15よりも上流側でめっき液供給管11から分岐
してタンク4Eに至るバイパス管13が付設され、この
バイパス管13にバイパス自動バルブ16が設けられて
いる。
In this figure, the plating solution supply pipe 1 is provided between the tank 4E for storing the plating solution and the pump 5E connected to the tank 4E and the processing apparatus main body 10 of the plating processing section E.
1 and a plating solution recovery pipe 12 are provided. The plating solution supply pipe 11 has an upstream end connected to the pump 5E, and a downstream end connected to a plating solution introduction passage 19 of the processing apparatus body 10 described later. Further, the plating solution supply pipe 11 is provided with a main automatic valve 14 and a main manual valve 15 for adjusting the plating solution supply amount. Further, since the surplus solution is returned to the tank 4E, it is upstream of the valves 14 and 15. A bypass pipe 13 that branches off from the plating solution supply pipe 11 to reach the tank 4E is attached to the side, and a bypass automatic valve 16 is provided in the bypass pipe 13.

【0030】上記処理装置本体10には、例えば、自動
車のシリンダブロックのシリンダ等の筒状のワーク1が
支持されており、当該処理装置本体10においては、こ
のワーク1の内周面に対してめっきを施すようになって
いる。なお、本実施例においては、ワーク1にニッケル
(Ni)−リン(P)の複合めっきを施すようになって
おり、従って、上記タンク4Eには、ニッケル及びリン
を含有するめっき液が貯留されるとともに、高速めっき
に際してリンの析出を促進するためのナトリウムが上記
めっき液に含有されるようになっている。
The processing apparatus main body 10 supports a cylindrical work 1 such as a cylinder of a cylinder block of an automobile. In the processing apparatus main body 10, the inner peripheral surface of the work 1 is supported. It is designed to be plated. In the present embodiment, the work 1 is subjected to nickel (Ni) -phosphorus (P) composite plating. Therefore, the tank 4E stores a plating solution containing nickel and phosphorus. In addition, sodium is added to the plating solution to accelerate the precipitation of phosphorus during high speed plating.

【0031】上記ワーク1は、導電性材料から形成され
たシール治具17によりその上部開口縁部がシールされ
た状態で、処理装置本体10のホルダー18に支持され
るようになっている。このホルダー18には、横方向に
延びるめっき液導入通路19が形成され、このめっき液
導入通路19に上記めっき液供給管11が接続されてい
る。また、ホルダー18には、ワーク1の下部開口部分
に対応する位置に、上記めっき液導入通路19に連通す
る開口部が設けられており、ホルダー18に配設された
円筒状の可溶性電極20(以下、電極20と略す)がこ
の開口部を介して上方に突出している。そして、ホルダ
ー18にワーク1が支持された図示の状態では、電極2
0がワーク1の中空部分に突入してワーク1の上端付近
まで達するようになっている。
The work 1 is supported by the holder 18 of the processing apparatus main body 10 in a state where the upper opening edge is sealed by the sealing jig 17 formed of a conductive material. A plating solution introduction passage 19 extending in the lateral direction is formed in the holder 18, and the plating solution supply pipe 11 is connected to the plating solution introduction passage 19. In addition, the holder 18 is provided with an opening communicating with the plating solution introduction passage 19 at a position corresponding to the lower opening of the work 1, and the cylindrical soluble electrode 20 ( Hereinafter, abbreviated as electrode 20) is projected upward through this opening. Then, in the illustrated state in which the work 1 is supported by the holder 18, the electrode 2
0 rushes into the hollow portion of the work 1 and reaches near the upper end of the work 1.

【0032】上記電極20は、図3に示すように、内筒
部201と外筒部202とを有しており、その内外筒部
201,202の間に可溶性陽極物質として、ニッケル
からなる多数のペレットPaを収納した構成となってい
る。
As shown in FIG. 3, the electrode 20 has an inner tubular portion 201 and an outer tubular portion 202, and a large number of nickel, which is a soluble anode substance, is formed between the inner and outer tubular portions 201 and 202. The pellets Pa are stored.

【0033】上記電極20において、上記内筒部201
は、上端に金属ネット等のカバーが装着された金属パイ
プから構成されている。一方、外筒部202は、金属パ
イプ202aと多孔状金属板等からなるパイプ部材20
2bが上下一体に接続されるとともに、金属パイプ20
2aの外周面に白金めっき等からなる不溶性陽極部分2
0aが形成された構成とされ、後述のめっき処理の際に
は、外筒部202のパイプ部材202bの部分を介して
ペレットPaがめっき液内に溶出してめっき液中のニッ
ケルが補われるようになっている。しかも、上記外筒部
202においては、不溶性陽極部分20aとパイプ部材
202bの長さ方向の寸法比が、所定の寸法比とされて
おり、これによってニッケルの過剰な溶出が抑えられる
ようになっている。具体的には、電極20からめっき液
中へのニッケルの溶出によるだけでは、めっき液の検出
pH値が予め定められた適正pH値を越えることがない
ように上記寸法比が設定されている。
In the electrode 20, the inner cylindrical portion 201
Is composed of a metal pipe having a cover such as a metal net attached to the upper end. On the other hand, the outer cylinder portion 202 is a pipe member 20 including a metal pipe 202a and a porous metal plate or the like.
2b are connected to each other vertically, and the metal pipe 20
Insoluble anode part 2 made of platinum plating on the outer peripheral surface of 2a
0a is formed, and during the plating process described later, the pellet Pa is eluted into the plating solution through the pipe member 202b of the outer cylinder 202 so that nickel in the plating solution is supplemented. It has become. Moreover, in the outer cylinder portion 202, the dimensional ratio in the lengthwise direction between the insoluble anode portion 20a and the pipe member 202b is set to a predetermined dimensional ratio, whereby excessive elution of nickel can be suppressed. There is. Specifically, the above dimensional ratio is set such that the detected pH value of the plating solution does not exceed a predetermined appropriate pH value only by elution of nickel from the electrode 20 into the plating solution.

【0034】そして、この電極20では、外筒部202
の一部が金属パイプ202aにより形成されているが、
上述のように金属パイプ202aの表面に不溶性陽極部
分20aが形成されることにより、この部分が陽極とし
ての機能を果たし、この部分でも被めっき面に対するめ
っき析出作用が良好に発揮されるようになっている。
In this electrode 20, the outer cylinder portion 202
Part of is formed by the metal pipe 202a,
By forming the insoluble anode portion 20a on the surface of the metal pipe 202a as described above, this portion functions as an anode, and the plating deposition action on the surface to be plated is also excellently exhibited in this portion. ing.

【0035】なお、めっきの品質等の面から電極は可溶
性陽極を主体とすることが好ましく、このため、不溶性
陽極部分20aは、適正pH値を越えることがないよう
にニッケルの溶出を規制するこという条件を満足する必
要最小限の範囲に設けることが望ましい。
From the viewpoint of plating quality and the like, it is preferable that the electrode is mainly composed of a soluble anode. Therefore, the insoluble anode portion 20a regulates the elution of nickel so as not to exceed an appropriate pH value. It is desirable to provide it in the minimum necessary range that satisfies the condition.

【0036】また、上記電極20の中空部分(すなわ
ち、内筒部201の内側)は上記ホルダー18を介して
上記めっき液回収管12に接続されている。つまり、上
記処理装置本体10においては、めっき液供給管11に
よりめっき液導入通路19に導入されためっき液が同図
の矢印に示すように、ワーク1の内周面と上記電極20
の外周面との間を流動し、電極20の上端部からその中
空部分を介して上記めっき液回収管12に流れ込むよう
になっている。
The hollow portion of the electrode 20 (that is, the inner side of the inner cylindrical portion 201) is connected to the plating solution recovery pipe 12 via the holder 18. That is, in the processing apparatus main body 10, the plating solution introduced into the plating solution introduction passage 19 by the plating solution supply pipe 11 and the inner peripheral surface of the work 1 and the electrode 20 are indicated by an arrow in FIG.
And flows into the plating solution recovery pipe 12 from the upper end of the electrode 20 through the hollow portion.

【0037】更に、上記タンク4Eに対し、鍍着物質を
供給するための3基の供給手段21〜23が設けられて
いる。このうち、供給手段21は、炭酸ニッケル粉末供
給用のフィーダ21aを備えている。このフィーダ21
aは、モータ21bに駆動され、貯蔵部としてのホッパ
ー21cから炭酸ニッケル粉末を送出し、供給管24を
介してタンク4Eに供給するようになっている。また、
供給手段22,23はそれぞれタンク22a,23aを
備え、各タンク22a,23aに、次亜リン酸及びサッ
カリンナトリウムの各溶液がそれぞれ貯蔵されており、
これらがそれぞれ定量ポンプ22b,23bの作動によ
り供給管25を介してタンク4Eに供給されるようにな
っている。なお、実施例においては、上記各供給管2
4,25の下流端側が、図2に示すように、上記バイパ
ス管13の下流端側に並設されるとともに、タンク4E
内に形成された混合槽26に臨むように配置されてい
る。
Further, three supply means 21 to 23 for supplying a plating material to the tank 4E are provided. Of these, the supply means 21 includes a feeder 21a for supplying nickel carbonate powder. This feeder 21
The motor a is driven by the motor 21b, and the nickel carbonate powder is delivered from the hopper 21c as a storage unit and supplied to the tank 4E via the supply pipe 24. Also,
The supply means 22 and 23 are provided with tanks 22a and 23a, respectively, and the respective solutions of hypophosphorous acid and sodium saccharin are stored in the tanks 22a and 23a, respectively.
These are supplied to the tank 4E through the supply pipe 25 by the operation of the metering pumps 22b and 23b. In addition, in the embodiment, each of the supply pipes 2
As shown in FIG. 2, the downstream end sides of the tanks 4E and 4 are arranged in parallel with the downstream end side of the bypass pipe 13.
It is arranged so as to face the mixing tank 26 formed therein.

【0038】また、上記タンク4Eには、これに貯蔵さ
れためっき液のpH値を検出するための、例えば比例制
御式のpHセンサ30が浸漬されており、これによりタ
ンク4E内のめっき液のpH値が検出されるようになっ
ている。
A pH sensor 30, for example of a proportional control type, for detecting the pH value of the plating solution stored in the tank 4E is immersed in the tank 4E. The pH value is to be detected.

【0039】このように構成された上記めっき処理部E
には、めっき処理動作を統括制御するコントローラ31
が設けられており、上記配管系のメイン自動バルブ1
4,バイパス自動バルブ16、各供給手段21〜23の
モータ21b,ポンプ22b,23b及びpHセンサ3
0等は、全てこのコントローラ31に接続されている。
The plating treatment section E having the above structure
Is a controller 31 that controls the plating process operation.
Is provided and the main automatic valve 1 of the above piping system
4, bypass automatic valve 16, motor 21b of each supply means 21-23, pumps 22b, 23b and pH sensor 3
0 and the like are all connected to this controller 31.

【0040】また、上記処理装置本体10のシール治具
17及び電極20はそれぞれ図外の交流電源に接続され
た整流器32に接続されるとともに、この整流器32が
積算電流計33を介して上記コントローラ31に接続さ
れている。そして、めっき処理に際しては上記整流器3
2での整流量に応じた所定の電流が電極20を介して通
電されつつ、その通電電流量が積算電流計33で積算さ
れるようになっている。
The sealing jig 17 and the electrode 20 of the processing apparatus main body 10 are connected to a rectifier 32 connected to an AC power source (not shown), and the rectifier 32 is connected to the controller via an integrating ammeter 33. It is connected to 31. The rectifier 3 is used in the plating process.
A predetermined current corresponding to the amount of rectification at 2 is supplied through the electrode 20, and the supplied current amount is integrated by the integrating ammeter 33.

【0041】以上のように構成された上記のめっき処理
部Eによると、以下のようにめっき処理が行われれる。
According to the above-mentioned plating processing section E configured as described above, the plating processing is performed as follows.

【0042】すなわち、上記処理装置本体10にワーク
1が支持された図2に示す状態で、上記配管系によりめ
っき液の供給、循環が行われるとともに、電極20への
通電が行われ、これによりワーク1の内周面にめっきが
施される。より具体的には、めっき液供給管11からホ
ルダー18のめっき液導入通路19に供給されためっき
液は、図3中に矢印で示すように、電極20の外側面と
ワーク1の中空部分の壁面との間を通り、ワーク1の上
端部分を経て電極20の内側へ流れる。そしてさらに、
めっき液回収管12に流れ込みタンク4Eに戻される。
こうして、めっき液が循環され、ワーク1の被めっき面
である中空部分の壁面に沿ってめっき液が流動されつ
つ、上記電極20とワーク1との間に電流が通電される
ことにより、めっき液中のニッケル及びリンが被めっき
面に析出されてワーク1にニッケル(Ni)−リン
(P)の分散めっきが施されることになる。
That is, in the state shown in FIG. 2 in which the work 1 is supported by the processing apparatus main body 10, the plating solution is supplied and circulated through the piping system, and the electrodes 20 are energized. The inner peripheral surface of the work 1 is plated. More specifically, the plating solution supplied from the plating solution supply pipe 11 to the plating solution introduction passage 19 of the holder 18 is, as indicated by an arrow in FIG. 3, an outer surface of the electrode 20 and a hollow portion of the work 1. It flows between the wall surface and the inside of the electrode 20 through the upper end portion of the work 1. And further,
It flows into the plating solution recovery pipe 12 and is returned to the tank 4E.
In this way, the plating solution is circulated, and the plating solution is caused to flow along the wall surface of the hollow portion, which is the surface to be plated of the work 1, while the current is passed between the electrode 20 and the work 1, so that the plating solution is Nickel and phosphorus therein are deposited on the surface to be plated, and the work 1 is subjected to nickel (Ni) -phosphorus (P) dispersion plating.

【0043】ところで、上記めっき処理部Eにおいて
は、上述のようにめっき処理が進行すると、これ応じて
損失するめっき液中の鍍着物質が以下のようにして補給
されるようになっている。
By the way, in the plating treatment section E, when the plating treatment progresses as described above, the plating material in the plating solution which is lost accordingly is replenished as follows.

【0044】先ず、主たる鍍着物質であるニッケルにつ
いては、めっき液中のニッケルの析出に伴い電極20の
ペレットPaが溶出することによって補われる。
First, nickel, which is the main plating material, is supplemented by the elution of the pellet Pa of the electrode 20 with the precipitation of nickel in the plating solution.

【0045】さらに、このようなペレットPaの溶出だ
けでは充分でない場合には、上記供給手段21が作動さ
せられてめっき液中にニッケルが補給される。具体的に
は、上記pHセンサ30により検出されるめっき液のp
H値に応じて上記フィーダ11が駆動され、これにより
ホッパー21c内の炭酸ニッケル粉末がタンク4Eへ補
給されるようになっている。つまり、めっき処理の進行
に伴いニッケルが析出され、これによりめっき液中のニ
ッケルイオンが減少すると、めっき液中に酸イオンが残
留することにより、めっき液のpH値が、適量のニッケ
ルイオンを含んだ適正pH値(実施例ではpH4)に対
して、徐々に低くなる方向に変化することになる。
Further, when such elution of the pellet Pa alone is not sufficient, the supply means 21 is operated to replenish the plating solution with nickel. Specifically, p of the plating solution detected by the pH sensor 30 is
The feeder 11 is driven according to the H value, so that the nickel carbonate powder in the hopper 21c is replenished to the tank 4E. That is, as the plating process progresses, nickel is deposited, and when the nickel ions in the plating solution decrease, the acid ions remain in the plating solution, so that the pH value of the plating solution contains an appropriate amount of nickel ions. However, with respect to the appropriate pH value (pH 4 in the embodiment), the pH value gradually changes.

【0046】そこで、タンク4E中のめっき液のpH値
を常時pHセンサ30により検出し、図4に示すよう
に、その値が適正pH値よりも低い値となると、上記フ
ィーダ11を作動させて炭酸ニッケル粉末をタンク4E
内に供給し、これによりめっき液中のニッケルを適量に
保つようにしている。この際、炭酸ニッケル粉末の供給
量は予め設定された一定量を断続的に供給するようにし
てもよいが、例えば、検出されるpH値を適正pH値と
し得るような炭酸ニッケル粉末の供給量を演算し、その
演算値に応じた量の炭酸ニッケル粉末を供給するように
してもよい。この場合にはモータ21bの作動時間また
は駆動速度により炭酸ニッケル粉末の供給量を設定する
ことができる。
Therefore, the pH value of the plating solution in the tank 4E is constantly detected by the pH sensor 30, and when the value becomes lower than the proper pH value as shown in FIG. 4, the feeder 11 is operated. Nickel carbonate powder in tank 4E
It is supplied to the inside of the plating solution to keep an appropriate amount of nickel in the plating solution. At this time, the supply amount of the nickel carbonate powder may be intermittently supplied at a preset constant amount. For example, the supply amount of the nickel carbonate powder that can set the detected pH value to an appropriate pH value. May be calculated, and the amount of nickel carbonate powder corresponding to the calculated value may be supplied. In this case, the supply amount of the nickel carbonate powder can be set by the operating time or the driving speed of the motor 21b.

【0047】このように、めっき液のpH値を常時検出
し、その検出値に基づいて炭酸ニッケル粉末を供給する
ことにより、めっき液内のpH値をほぼ適正pH値に保
つことで、めっき液中のニッケルを適量に維持すること
ができる。
As described above, the pH value of the plating solution is constantly detected, and the nickel carbonate powder is supplied based on the detected value to maintain the pH value in the plating solution at a substantially proper pH value. A proper amount of nickel can be maintained.

【0048】特に、ニッケル複合めっきにおいては、め
っき液のpH値がめっき析出作用及びめっきの性状に大
きく影響することから、pH値の検出に基づいてこれを
適正範囲内に保つようにニッケルを補給することが効果
的となる。しかも、必要時、すなわちpH値が適正pH
値よりも低い値となるときに随時炭酸ニッケル粉末の供
給が行なわれるので、供給手段21により一度に供給さ
れる炭酸ニッケル粉末の量が比較的少なくてすみ、その
結果、炭酸ニッケル粉末のめっき液に対する溶解性が高
められ、迅速にめっき液中にニッケルを補給することが
できるという利点もある。なお、炭酸ニッケルは、めっ
き液中で溶解するとニッケル以外は炭酸ガスとなって放
出されるため、めっき液の変質をきたすことがなく、ニ
ッケル補給に適したものである。
Particularly in nickel composite plating, since the pH value of the plating solution has a great influence on the plating deposition action and the properties of the plating, nickel is replenished to keep the pH value within an appropriate range based on the detection of the pH value. It will be effective. Moreover, when necessary, that is, when the pH value is the proper pH.
Since the nickel carbonate powder is supplied at any time when the value becomes lower than the value, the amount of the nickel carbonate powder supplied at one time by the supply means 21 can be relatively small, and as a result, the plating solution of the nickel carbonate powder can be obtained. There is also an advantage that the solubility to nickel is enhanced and nickel can be quickly supplied to the plating solution. Since nickel carbonate is released as carbon dioxide gas other than nickel when dissolved in the plating solution, it is suitable for nickel replenishment without causing alteration of the plating solution.

【0049】また、電極20からペレットPaが溶出す
ることによるめっき液への影響、つまりpH値の変動
は、上述のように適正pH値以下の範囲で行われ、しか
も供給手段21によるニッケルの補給は、めっき液のp
H値が適正pH値よりも低い場合にこれを適正pH値と
するように行われるので、めっき液のpH値が適正pH
値を越えることがなく、めっき液の管理に有利である。
The influence of the elution of the pellet Pa from the electrode 20 on the plating solution, that is, the variation of the pH value is carried out within the range of the appropriate pH value or less as described above, and the supply means 21 supplies nickel. Is the plating solution p
When the H value is lower than the proper pH value, it is set to the proper pH value.
It does not exceed the value, which is advantageous for controlling the plating solution.

【0050】すなわち、ニッケルの過剰供給が行われて
めっき液のpH値が適正範囲を越えるような場合、これ
を是正する手段としては、めっき液に酸(例えば、スル
ファミン酸)を添加すればよいが、酸を多く添加すると
めっき液そのもの組成を変質させてしまうという弊害が
生じるため、このようなpH値是正の処理は極力避ける
方が望ましい。一方、pH値が適正範囲よりも低いよう
な場合にこれを是正すべく炭酸ニッケルを補充しても、
組成の変質を招くことがない。
That is, when nickel is excessively supplied and the pH value of the plating solution exceeds the appropriate range, an acid (for example, sulfamic acid) may be added to the plating solution as a means for correcting this. However, addition of a large amount of acid causes an adverse effect of altering the composition of the plating solution itself. Therefore, it is desirable to avoid such treatment for pH value correction as much as possible. On the other hand, if the pH value is lower than the proper range, nickel carbonate may be added to correct it,
It does not cause deterioration of the composition.

【0051】従って、めっき液のpH値が適正pH値を
越えることがない上記実施例のめっき液の管理方法によ
れば、組成の変質を招くことなくpH値を調整でき、め
っき液の管理面では極めて有利である。
Therefore, according to the method for controlling the plating solution of the above-mentioned embodiment in which the pH value of the plating solution does not exceed the proper pH value, the pH value can be adjusted without causing the composition to change, and the plating solution management Is extremely advantageous in.

【0052】さらに、上記めっき処理部Eにおいては、
ワーク1に対してニッケル(Ni)−リン(P)の複合
めっきを施すものであるから、めっき処理の進行に伴
い、ニッケル以外にも、めっき液中のリンやその析出促
進剤としてのナトリウムも同様に消費されることにな
る。そして、めっき液中のリン等の量は、めっきの性状
に影響を及ぼす。
Further, in the plating processing section E,
Since the work 1 is subjected to nickel (Ni) -phosphorus (P) composite plating, along with the progress of the plating treatment, in addition to nickel, phosphorus in the plating solution and sodium as a deposition accelerator thereof are also added. It will be consumed as well. The amount of phosphorus or the like in the plating solution affects the properties of plating.

【0053】そこで、上記めっき処理部Eでは、めっき
処理最中に次亜リン酸及びサッカリンナトリウムの各溶
液をタンク4Eに供給して溶解させることで、めっき液
中のリン及びナトリウムを適量に保つようにしている。
具体的には、図4に示すように、めっき処理に伴い上記
積算電流計33で積算される通電電流量の積算値が所定
値に達した時点で、上記供給手段22及び23の各定量
ポンプ22b,23bを作動して、次亜リン酸及びサッ
カリンナトリウムの各溶液を予め設定された一定量だけ
タンク4Eに供給するようにしている。そして、次亜リ
ン酸及びサッカリンナトリウムの各溶液の供給後は、上
記積算電流計33をリセットして、再度、通電電流量の
積算を行い、以後、図4に示すように、積算電流計33
の積算電流値が所定値に達する毎に、上記供給手段22
及び23の各定量ポンプ22b,23bを作動して次亜
リン酸及びサッカリンナトリウムの各溶液の供給を行う
ことにより、めっき液中のリン及びナトリウムを適量に
保つようにしている。
Therefore, in the plating treatment part E, the solutions of hypophosphorous acid and sodium saccharin are supplied to the tank 4E during the plating treatment to be dissolved, so that the phosphorus and sodium in the plating solution are maintained in appropriate amounts. I have to.
Specifically, as shown in FIG. 4, when the integrated value of the energizing current amount integrated by the integrating ammeter 33 in accordance with the plating process reaches a predetermined value, each of the metering pumps of the supplying means 22 and 23. 22b and 23b are actuated to supply the respective solutions of hypophosphorous acid and sodium saccharin to the tank 4E by a predetermined constant amount. After the supply of each solution of hypophosphorous acid and sodium saccharin, the integrated ammeter 33 is reset and the energization current amount is integrated again. Thereafter, as shown in FIG.
Each time the accumulated current value of
By operating each of the metering pumps 22b and 23b of Nos. 23 and 23 to supply the solutions of hypophosphorous acid and sodium saccharin, the phosphorus and sodium in the plating solution are maintained at appropriate amounts.

【0054】このように上記めっき処理部Eにおいて
は、炭酸ニッケル粉末,次亜リン酸及びサッカリンナト
リウムの各溶液をそれぞれ供給するためのフィーダ11
〜13を設け、これらにより炭酸ニッケル粉末、次亜リ
ン酸及びサッカリンナトリウムの各溶液をタンク4Eに
供給することで、めっき処理の進行に伴い損失するめっ
き液中のニッケル、リン及びナトリウムを自動的に補給
するようにしているので、長時間にわたるめっき処理に
際しても、めっき液を適質に、かつ一定に保つことがで
き、その結果、めっき処理部Eにおけるめっき処理を好
適に持続させることができる。
As described above, in the plating treatment section E, the feeder 11 for supplying the nickel carbonate powder, the hypophosphorous acid and the sodium saccharin solution, respectively.
13 to 13 and supply each solution of nickel carbonate powder, hypophosphorous acid and sodium saccharin to the tank 4E, the nickel, phosphorus and sodium in the plating solution which are lost as the plating process progresses automatically. Since the supply is replenished, the plating solution can be maintained at a proper quality and constant even during the plating treatment for a long time, and as a result, the plating treatment in the plating treatment section E can be favorably continued.

【0055】また、上記の実施例では、供給手段21〜
23の各供給管24,25の下流端側とバイパス管13
の下流端側とを並設して混合槽26に臨むようにしてい
るので、炭酸ニッケル粉末、次亜リン酸及びサッカリン
ナトリウムの各溶液の供給に際しては、バイパス管13
を介してタンク4Eに戻されるめっき液の液流によりこ
れらの各物質を効果的にめっき液に溶解させることがで
きるという利点がある。
In the above embodiment, the supply means 21-
23 and the downstream end of each of the supply pipes 24 and 25 and the bypass pipe 13.
Of the bypass pipe 13 at the time of supplying each solution of nickel carbonate powder, hypophosphorous acid and sodium saccharin.
There is an advantage that each of these substances can be effectively dissolved in the plating liquid by the liquid flow of the plating liquid returned to the tank 4E via the.

【0056】さらに、めっき液中にニッケル、リン及び
ナトリウムを供給しながら、自動的にめっき液を適質
に、かつ一定に保つようにした上記実施例のめっき処理
部Eでは、めっき液の液質が極端に変化したり劣化した
りすることがないので、従来例のように液質の変化や劣
化を生じ難くする目的から、大型の浴槽内に大量の処理
液を貯留して循環させる必要がなく、比較的少ないめっ
き液を循環させてめっき処理を行うことができる。従っ
て、タンク4Eの小型化を図ることができ、その結果、
めっき処理部Eの省スペース化を図ることができるとい
う利点もある。
Further, in the plating treatment part E of the above-mentioned embodiment in which nickel, phosphorus and sodium are supplied to the plating solution, the plating solution is automatically kept in a proper and constant condition. Since the quality does not change or deteriorate extremely, it is necessary to store and circulate a large amount of processing liquid in a large bath for the purpose of making it difficult to change or deteriorate the liquid quality as in the conventional example. Therefore, the plating treatment can be performed by circulating a relatively small amount of plating solution. Therefore, the tank 4E can be downsized, and as a result,
There is also an advantage that the space of the plating processing section E can be saved.

【0057】なお、上記実施例では、本発明の適用とし
て、ワーク1にニッケル(Ni)−リン(P)の複合め
っきを施す場合のめっき液の管理について説明したが、
ニッケル(Ni)−リン(P)−シリコンカーバイト
(SiC)の複合めっきを施す場合にも同様に適用でき
る。この場合には、めっき処理の進行に伴いめっき液中
のシリコンカーバイトも消費されるので、これに対する
供給手段を設けてシリコンカーバイトを補給するように
すればよい。特に、シリコンカーバイトを用いる場合に
は、めっき中でのシリコンカーバイトの分散を促進すべ
く、シリコンカーバイトの供給量に対して5%以上のフ
リーカーボンを添加するこが望ましい。従って、例え
ば、フリーカーボン用の供給手段を設け、シリコンカー
バイトの供給量に応じてフリーカーボンを供給するよう
にすればよい。
In the above embodiments, as application of the present invention, the control of the plating solution when the nickel plating of nickel (Ni) -phosphorus (P) is applied to the work 1 has been described.
The same can be applied to the case of performing nickel (Ni) -phosphorus (P) -silicon carbide (SiC) composite plating. In this case, since the silicon carbide in the plating solution is also consumed as the plating process progresses, a supply means for the same may be provided to replenish the silicon carbide. In particular, when using silicon carbide, it is desirable to add 5% or more of free carbon to the amount of silicon carbide supplied in order to promote the dispersion of silicon carbide during plating. Therefore, for example, a supply means for free carbon may be provided and the free carbon may be supplied according to the supply amount of silicon carbide.

【0058】また、本発明の構成は、上記めっき処理部
Eだけではなく、前処理部においても適用することがで
き、以下に、前処理部に適用した例について図5を用い
て説明する。なお、以下の説明においては、混酸エッチ
ング処理部Cに適用した場合を例として説明する。
Further, the structure of the present invention can be applied not only to the plating treatment section E but also to the pretreatment section. An example applied to the pretreatment section will be described below with reference to FIG. In addition, in the following description, the case where it is applied to the mixed acid etching processing section C will be described as an example.

【0059】同図は、混酸エッチング処理部C(以下、
前処理部Cと略す)における配管系及び制御系を示して
いる。この図に示すように、前処理部Cの配管系も基本
的には上記めっき処理部Eの配管系とほぼ同様の構成を
有している。具体的には、前処理液を貯蔵するタンク4
C及びこれに接続されたポンプ5Cと、前処理部Cの処
理装置本体50との間に、前処理液供給管51及び前処
理液回収管52が配設され、前処理液供給管51にメイ
ン自動バルブ53及びメイン手動バルブ54が設けられ
ている。また、タンク4Cにはポンプ66が接続され、
このポンプ66と上記混酸液排出タンク4C′との間に
前処理液排出管67が配設されている。
In the figure, the mixed acid etching processing part C (hereinafter,
The piping system and control system in the pretreatment part C are shown. As shown in this figure, the piping system of the pretreatment section C basically has substantially the same structure as the piping system of the plating treatment section E. Specifically, the tank 4 for storing the pretreatment liquid
A pretreatment liquid supply pipe 51 and a pretreatment liquid recovery pipe 52 are arranged between C and the pump 5C connected thereto and the treatment device body 50 of the pretreatment unit C, and the pretreatment liquid supply pipe 51 A main automatic valve 53 and a main manual valve 54 are provided. A pump 66 is connected to the tank 4C,
A pretreatment liquid discharge pipe 67 is arranged between the pump 66 and the mixed acid liquid discharge tank 4C '.

【0060】上記処理装置本体50も上記処理装置本体
10とほぼ同様に構成さている。すなわち、ワーク1を
支持するホルダー55と、支持されたワーク1の上部を
シールするシール治具56とを備え、上記ホルダー55
には、前処理液導入通路57が形成され、この前処理液
導入通路57に上記前処理液供給管51が接続されてい
る。また、ホルダー55には、前処理液導入通路57に
連通する開口部が設けられ、ホルダー55に配設された
流路構成部材58がこの開口部を介して上方に突出して
いる。この流路構成部材58は、上記めっき処理部Eに
おける電極20とほぼ同様の形状、配置とされ、その下
端部が上記前処理液回収管52に接続されている。従っ
て、上記処理装置本体50においても、上記処理装置本
体10同様に、処理装置本体50の前処理液導入通路5
7に導入されためっき液が、同図の矢印に示すように、
ワーク1の中空部分と流路構成部材58の外周面との間
を流動し、流路構成部材58の上端部からその中空部分
を介して前処理液回収管52に流れ込むようになってい
る。
The processing apparatus main body 50 is also constructed in substantially the same manner as the processing apparatus main body 10. That is, the holder 55 for supporting the work 1 and the sealing jig 56 for sealing the upper part of the supported work 1 are provided, and the holder 55
A pretreatment liquid introduction passage 57 is formed in the above, and the pretreatment liquid supply pipe 51 is connected to the pretreatment liquid introduction passage 57. Further, the holder 55 is provided with an opening communicating with the pretreatment liquid introduction passage 57, and the flow path forming member 58 disposed in the holder 55 projects upward through this opening. The flow path forming member 58 has substantially the same shape and arrangement as the electrode 20 in the plating treatment section E, and the lower end portion thereof is connected to the pretreatment liquid recovery pipe 52. Therefore, also in the processing apparatus main body 50, as in the processing apparatus main body 10, the pretreatment liquid introduction passage 5 of the processing apparatus main body 50.
As shown by the arrow in the figure, the plating solution introduced in
It flows between the hollow part of the work 1 and the outer peripheral surface of the flow path forming member 58, and flows into the pretreatment liquid recovery pipe 52 from the upper end of the flow path forming member 58 through the hollow part.

【0061】また、上記タンク4Cに対し、3基の供給
手段60〜62が接続されている。これらの供給手段6
0〜62はそれぞれタンク60a,61a,62aを備
え、各タンク60a,61a,62aには、前処理液を
構成する原液及び水がそれぞれ貯留されており、タンク
60a,61a,62aに接続された各ポンプ60b,
61b,62bが作動されることにより各原液及び水が
各供給管63〜65を介してタンク4Cに供給されるよ
うになっている。なお、実施例においては、混酸エッチ
ング処理を行うための前処理液として、硝酸、フッ化水
素酸、水がそれぞれ所定の割合(実施例では、硝酸:フ
ッ化水素酸:水=7:1:2)で混合された前処理液が
貯留されており、従って、上記各供給手段60〜62の
各タンク60a,61a,62aには、この順番で、硝
酸、フッ化水素酸、水がそれぞれ貯留されるようになっ
ている。
Further, three supply means 60 to 62 are connected to the tank 4C. These supply means 6
0 to 62 are provided with tanks 60a, 61a, 62a, respectively, and the stock solutions and water constituting the pretreatment liquid are stored in the tanks 60a, 61a, 62a, respectively, and connected to the tanks 60a, 61a, 62a. Each pump 60b,
The stock solutions and water are supplied to the tank 4C through the supply pipes 63 to 65 by operating the 61b and 62b. In the embodiment, nitric acid, hydrofluoric acid, and water are used as pretreatment liquids for performing the mixed acid etching treatment in predetermined ratios (in the embodiment, nitric acid: hydrofluoric acid: water = 7: 1: The pretreatment liquid mixed in 2) is stored. Therefore, nitric acid, hydrofluoric acid, and water are stored in this order in the tanks 60a, 61a, and 62a of the supply means 60 to 62, respectively. It is supposed to be done.

【0062】また、上記タンク4Cには、これに貯蔵さ
れた前処理液の液面レベル(高さ)を検出するためのレ
ベルセンサ68が浸漬されており、これによりタンク4
C内の前処理液の液面レベルが検出されるようになって
いる。
A level sensor 68 for detecting the liquid level (height) of the pretreatment liquid stored in the tank 4C is immersed in the tank 4C.
The liquid level of the pretreatment liquid in C is detected.

【0063】このように構成された上記前処理部Cに
は、前処理動作を統括制御するコントローラ70が設け
らており、上記配管系のメイン自動バルブ53,各供給
手段60〜62の各ポンプ60b,61b,62b及び
レベルセンサ68等は、全てこのコントローラ70に接
続されている。
The pretreatment section C thus constructed is provided with a controller 70 for integrally controlling the pretreatment operation. The main automatic valve 53 of the piping system and the pumps of the supply means 60 to 62 are provided. 60b, 61b, 62b, the level sensor 68, etc. are all connected to this controller 70.

【0064】そして、以上のように構成された前処理部
Cにおいても、上記めっき処理部Eと同様に、上記の配
管系により前処理液の循環が行われることによりワーク
1に対する前処理が施されることになる。つまり、同図
の矢印に示すように、タンク4Cの前処理液が処理装置
本体50供給され、流路構成部材58の外側面とワーク
1の中空部分の壁面との間を流動し、ワーク1の上端部
分を経て流路構成部材58の内側に流れ込み、前処理液
回収管52を介してタンク4Eに戻される。
In the pretreatment section C configured as described above, as in the case of the plating treatment section E, the pretreatment liquid is circulated through the above piping system to perform the pretreatment on the work 1. Will be done. That is, as shown by the arrow in the figure, the pretreatment liquid in the tank 4C is supplied to the treatment device main body 50, flows between the outer surface of the flow path forming member 58 and the wall surface of the hollow portion of the work 1, and the work 1 Flows into the inside of the flow path forming member 58 through the upper end portion of the above, and is returned to the tank 4E through the pretreatment liquid recovery pipe 52.

【0065】ところで、上述のように前処理が進行する
と、これ応じて前処理液中には、油分やワーク1の構成
金属イオン等が溶解、混在し、これにより前処理液が劣
化することになる。そこで、上記前処理部Cにおいて
は、以下に説明するようにして前処理液の劣化を回避し
てその液質を適質に、かつ一定に維持するようにしてい
る。
By the way, when the pretreatment progresses as described above, accordingly, oil components, constituent metal ions of the work 1 and the like are dissolved and mixed in the pretreatment liquid, which deteriorates the pretreatment liquid. Become. Therefore, in the pretreatment section C, the deterioration of the pretreatment liquid is avoided and its quality is kept constant and constant as described below.

【0066】すなわち、前処理部Cにおいては、前処理
動作が開始されると同時に、上記ポンプ66を作動させ
てタンク4C内の前処理液を排出しながら、その一方で
これにより失われる前処理液を補給するべく上記各供給
手段60〜62を作動させて硝酸、フッ化水素酸、水を
タンク4Cに供給するようになっている。
That is, in the pretreatment section C, at the same time when the pretreatment operation is started, the pump 66 is operated to discharge the pretreatment liquid in the tank 4C, while at the same time, the pretreatment lost thereby. In order to replenish the liquid, the supply means 60 to 62 are operated to supply nitric acid, hydrofluoric acid and water to the tank 4C.

【0067】より具体的には、ポンプ66により、タン
ク4C内の前処理液を一定量ずつ継続して上記混酸液排
出タンク4C′に排出する一方で、上記供給手段60及
び61を作動させて、排出される前処理液に含まれる量
に相当する硝酸及びフッ化水素酸を所定の比率で継続し
て定量供給するとともに、この最中に、上記レベルセン
サ68により検出されるタンク4C内の前処理液の液面
レベルを所定のレベルとするように供給手段62を作動
させて水を供給し、これにより処理液の濃度を保持する
ようにしている。
More specifically, the pump 66 continuously discharges the pretreatment liquid in the tank 4C by a fixed amount to the mixed acid liquid discharge tank 4C 'while operating the supply means 60 and 61. , Nitric acid and hydrofluoric acid corresponding to the amount contained in the discharged pretreatment liquid are continuously supplied in a fixed ratio at a predetermined ratio, and during this, the inside of the tank 4C detected by the level sensor 68 is detected. The supply means 62 is operated to supply water so that the liquid level of the pretreatment liquid becomes a predetermined level, thereby maintaining the concentration of the treatment liquid.

【0068】このようにタンク4C内の前処理液を継続
して排出しながら、硝酸、フッ化水素酸及び水を供給す
ることで、実質的に、タンク4C内の前処理液が、常に
新たな前処理液と入替えられるようになっている。従っ
て、上記前処理部Cにおいては、前処理液を適質に保つ
ことができるので、これによりエッチング等の前処理の
機能を適正に持続することができ、オーバエッチングや
エッチング不足等を生じることがない。しかも、前処理
液全体を入替える作業が不要となり、作業者の安全性の
面でも好ましい。また、前処理液の入替えに際し、前処
理部Cの停止を必要としないので、前処理液の入替えに
際して装置全体を停止させる必要があった従来のものと
比較すると、生産効率の面で極めて都合がよい。
By supplying nitric acid, hydrofluoric acid and water while continuously discharging the pretreatment liquid in the tank 4C as described above, the pretreatment liquid in the tank 4C is substantially always fresh. It can be replaced with a different pretreatment liquid. Therefore, in the pretreatment section C, since the pretreatment liquid can be kept in a proper quality, the function of pretreatment such as etching can be appropriately maintained, and overetching or insufficient etching can occur. There is no. Moreover, there is no need to replace the entire pretreatment liquid, which is preferable in terms of worker safety. Further, since it is not necessary to stop the pretreatment unit C when replacing the pretreatment liquid, it is extremely convenient in terms of production efficiency as compared with the conventional one in which the entire apparatus needs to be stopped when changing the pretreatment liquid. Is good.

【0069】なお、上記実施例は、本発明がめっき処理
部E及び混酸エッチング処理部Cにそれぞれ適用された
例について説明したが、その他の処理部においても適用
可能である。また、上記各実施例では、処理液を流動さ
せながら高速でめっき又は前処理を施すように処理部を
構成しているが、例えば、浴槽内に処理液を貯留してワ
ークを浸漬させることによりめっき又は前処理を施すタ
イプのめっき処理装部についても適用可能である。
In the above embodiments, the present invention is applied to the plating processing section E and the mixed acid etching processing section C, but the present invention can also be applied to other processing sections. Further, in each of the above embodiments, the processing unit is configured to perform plating or pretreatment at high speed while flowing the processing liquid, but for example, by storing the processing liquid in a bath and immersing the work The present invention is also applicable to a plating treatment unit of a type that performs plating or pretreatment.

【0070】このほかにも具体的構成は上記実施例に限
られるものではなく、適宜変更可能である。例えば、上
記めっき処理部E及び混酸エッチング処理部Cでは、3
基の供給手段21〜23及び60〜62をそれぞれ装備
して、所要の物質を個々にタンク4E、あるいはタンク
4Cに供給するようにしてるが、例えば、所要の物質を
所定の割合で混合した物質を予め生成しておき、これを
1つの供給手段から供給するようにしても構わない。
Besides this, the specific structure is not limited to the above-mentioned embodiment, but can be changed appropriately. For example, in the plating processing section E and the mixed acid etching processing section C, 3
The base supply means 21 to 23 and 60 to 62 are respectively provided to supply the required substances to the tank 4E or the tank 4C individually. For example, a substance obtained by mixing the required substances at a predetermined ratio. May be generated in advance and supplied from one supply means.

【0071】[0071]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、表面処
理液の機能低下を示す情報又は機能低下に相当する条件
に基づいて、上記表面処理液の機能が復帰する方向に作
用する要素を表面処理作業中に連続的もしくは断続的に
浴槽内に供給するようにしたので、表面処理液の機能が
常に確保され、これにより表面処理効果を好適に持続さ
せることができる。
As described above, according to the present invention, based on the information indicating the functional deterioration of the surface treatment liquid or the conditions corresponding to the functional deterioration, the elements acting in the direction in which the function of the surface treatment liquid is restored are provided. Since the surface treatment liquid is continuously or intermittently supplied into the bath during the surface treatment operation, the function of the surface treatment liquid is always ensured, and thereby the surface treatment effect can be favorably maintained.

【0072】この際、表面処理液がめっき液の場合に
は、めっき作業による鍍着物質の消費に関連する情報に
応じて浴槽内に鍍着物質を供給することで、めっき液を
適質に保つことができ、めっき処理を好適に持続させる
ことができる。特に、めっき液がニッケルを主な鍍着物
質とする場合には、めっき液のpH値を検出し、その値
の変化に応じて炭酸ニッケルを供給することで、めっき
液を適質に保つことができる。さらに、めっき液を可溶
性電極と被めっき面との間で流動させつつ、可溶性電極
の溶出によりめっき液のニッケルを補う場合には、めっ
き液のpH値が適正値以下で変動するように可溶性電極
の溶出を行わせるようにすれば、ニッケルの過剰供給是
正のための処理を行う必要がほとんどなくなる。
At this time, when the surface treatment solution is a plating solution, the plating solution is appropriately supplied by supplying the plating material into the bath according to the information related to the consumption of the plating material by the plating operation. It can be maintained, and the plating process can be appropriately continued. Especially when the plating solution uses nickel as the main plating material, the pH value of the plating solution is detected, and nickel carbonate is supplied according to the change in the value to keep the plating solution in an appropriate condition. You can Further, when the plating solution is made to flow between the soluble electrode and the surface to be plated and nickel of the plating solution is supplemented by elution of the soluble electrode, the soluble electrode is adjusted so that the pH value of the plating solution varies below an appropriate value. If the elution of nickel is carried out, there is almost no need to perform treatment for correcting the excessive nickel supply.

【0073】また、上記表面処理液が、処理溶質と溶媒
とからなる前処理液の場合には、前処理液の使用につれ
て連続的に、浴槽内の前処理液を所定量ずつ排出しなが
ら、同時に所定量の処理溶質を浴槽内に供給し、浴槽内
の液面が所定レベルとなるように溶媒を供給するよにす
れば、前処理液の液質を適質に保つことができ、前処理
を好適に持続させることができる。
When the surface treatment liquid is a pretreatment liquid comprising a treatment solute and a solvent, the pretreatment liquid in the bath is continuously discharged while the pretreatment liquid is continuously discharged as the pretreatment liquid is used. At the same time, by supplying a predetermined amount of treated solute into the bath and supplying the solvent so that the liquid level in the bath is at a predetermined level, the quality of the pretreatment liquid can be maintained at an appropriate level. The treatment can be suitably continued.

【0074】また、めっき液の鍍着物質を貯蔵部から浴
槽内に供給する供給手段と、めっき作業による鍍着物質
の消費に関連する情報を検出する検出手段と、これによ
り検出された情報に基づいて鍍着物質を浴槽内に供給す
るように上記供給手段を制御する制御手段とを備えるこ
とにより、浴槽に貯留されためっき液の管理装置を構成
すれば、貯蔵部の鍍着物質が、検出手段により検出され
る鍍着物質の消費に関連する情報に応じて浴槽内のめっ
き液に供給されるので、これによりめっき液を自動的に
適質に保つことができ、めっき処理を好適に持続させる
ことができる。
Further, a supplying means for supplying the plating material of the plating solution from the storage portion into the bath, a detecting means for detecting information relating to the consumption of the plating material by the plating operation, and the information detected by the detecting means. Based on the provision of the control means for controlling the supply means so as to supply the plating material into the bath based on the above, if the management device for the plating solution stored in the bath is configured, the plating material in the storage part is The plating solution is supplied to the plating solution in the bath according to the information related to the consumption of the plating material detected by the detection means, so that the plating solution can be automatically maintained in a proper quality, and the plating process is suitable. Can be sustained.

【0075】この際、めっき液がニッケルを主な鍍着物
質とするものであれば、上記検出手段としてpH計を適
用し、これにより浴槽内のpH値を検出しつつ、この検
出pH値に応じて炭酸ニッケルを浴槽内に供給すること
で、めっき液を適質に保ことができる。
At this time, if the plating solution contains nickel as the main plating material, a pH meter is applied as the above-mentioned detecting means, and the pH value in the bath is detected by the pH meter. Accordingly, by supplying nickel carbonate into the bath, the plating solution can be maintained in a proper quality.

【0076】また、前処理液の処理溶質及び水を供給す
るための供給源と、これらを浴槽内にそれぞれ供給する
第1及び第2の供給手段と、浴槽内の前処理液の液面レ
ベルを検出する液面レベル検出手段と、浴槽内の前処理
液を所定量ずつ排出する排出手段と、これにより排出さ
れた前処理液を貯留する排出タンクと、前処理作業時に
浴槽内の前処理液を排出しつつ、この排出前処理液量に
応じた所定量の処理溶質を浴槽内に供給するとともに、
上記液面レベル検出手段による検出結果に基づいて、液
面レベルが所定レベルとなるように水を供給するべく上
記第1、第2の供給手段及び上記排出手段を制御する制
御手段とを備えることにより、浴槽に貯留された前処理
液の管理装置を構成すれば、前処理作業時に浴槽内の前
処理液が所定量ずつ排出される一方で、排出される前処
理液量に応じた所定量の処理溶質が浴槽内に供給される
とともに、水が浴槽内に供給されて前処理液の液面レベ
ルが所定レベルに維持され、これにより前処理液を自動
的に適質に保つことができ、前処理を好適に持続させる
ことができる。
Further, supply sources for supplying the treatment solute and water of the pretreatment liquid, the first and second supply means for respectively supplying these into the bath, and the liquid level of the pretreatment liquid in the bath. Liquid level detecting means for detecting the pretreatment liquid, a discharging means for discharging the pretreatment liquid in the bathtub by a predetermined amount, a discharge tank for storing the pretreatment liquid discharged thereby, and a pretreatment in the bathtub during the pretreatment work. While discharging the liquid, while supplying a predetermined amount of treated solute according to the amount of this pre-discharge treatment liquid into the bath,
A control means for controlling the first and second supply means and the discharge means so as to supply water so that the liquid level becomes a predetermined level based on the detection result by the liquid level detection means. By configuring a management device for the pretreatment liquid stored in the bathtub, the pretreatment liquid in the bathtub is discharged by a predetermined amount at the time of the pretreatment work, and a predetermined amount according to the amount of the pretreatment liquid discharged. The treatment solute of (1) is supplied to the bath and water is supplied to the bath to maintain the liquid level of the pretreatment liquid at a predetermined level, which allows the pretreatment liquid to be automatically maintained in a proper quality. The pretreatment can be suitably continued.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明が適用されるめっき処理システム全体の
概略を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing an outline of an entire plating processing system to which the present invention is applied.

【図2】めっき処理部の配管系及び制御系を示す概略図
である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a piping system and a control system of a plating processing section.

【図3】めっき処理部の電極部分を示す拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view showing an electrode portion of a plating processing section.

【図4】めっき処理部における制御の一例を示すタイム
チャート図である。
FIG. 4 is a time chart showing an example of control in the plating processing section.

【図5】混酸エッチング処理部の配管系及び制御系を示
す概略図である。
FIG. 5 is a schematic diagram showing a piping system and a control system of a mixed acid etching treatment section.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

E めっき処理部 4E タンク 10 処理装置本体 21,22,23 供給手段 21a フィーダ 22a,23a タンク 21b モータ 22b,23b ポンプ 21c ホッパー 30 pHセンサ 31 コントローラ E plating processing part 4E tank 10 processing device main body 21,22,23 supply means 21a feeder 22a, 23a tank 21b motor 22b, 23b pump 21c hopper 30 pH sensor 31 controller

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 浴槽に貯留された表面処理液の管理方法
であって、上記表面処理液の機能低下を示す情報又は機
能低下に相当する条件に基づいて、上記表面処理液の機
能が復帰する方向に作用する要素を表面処理作業中に連
続的もしくは断続的に浴槽内に供給することを特徴とす
る表面処理液管理方法。
1. A method of managing a surface treatment liquid stored in a bath, wherein the function of the surface treatment liquid is restored based on information indicating a decrease in the function of the surface treatment liquid or a condition corresponding to the decrease in the function. A method for managing a surface treatment liquid, which comprises continuously or intermittently supplying an element acting in a direction to a bath during the surface treatment operation.
【請求項2】 上記表面処理液は鍍着物質を含有するめ
っき液であって、めっき作業による鍍着物質の消費に関
連する情報に応じて、上記浴槽内に鍍着物質を供給する
ことを特徴とする請求項1記載の表面処理液管理方法。
2. The surface treatment solution is a plating solution containing a plating material, and the plating material is supplied into the bath according to information related to consumption of the plating material by the plating operation. The surface treatment liquid management method according to claim 1, which is characterized in that.
【請求項3】 上記めっき液はニッケルを主な鍍着物質
とするものであって、ニッケルの消費に関連する情報と
して上記めっき液のpH値を検出して、その変化に応じ
て炭酸ニッケルを浴槽内に供給することを特徴とする請
求項2記載の表面処理液管理方法。
3. The plating solution is mainly composed of nickel as a plating material, and the pH value of the plating solution is detected as information relating to nickel consumption, and nickel carbonate is detected in accordance with the change. The surface treatment liquid management method according to claim 2, wherein the surface treatment liquid is supplied into the bathtub.
【請求項4】 上記めっき液は可溶性電極と被めっき面
との間を流動させられ、めっきが行われるに伴い上記可
溶性電極からめっき液中にニッケルが補給されるもので
あって、めっき液のpH値が適正値以下となるように可
溶性電極のニッケル溶出量が規制されていることを特徴
とする請求項3記載の表面処理液管理方法。
4. The plating solution is caused to flow between a soluble electrode and a surface to be plated, and nickel is replenished from the soluble electrode into the plating solution as plating is performed. The method for managing a surface treatment liquid according to claim 3, wherein the amount of nickel eluted from the soluble electrode is regulated so that the pH value is equal to or lower than an appropriate value.
【請求項5】 上記表面処理液は処理溶質と溶媒とから
なる前処理液であって、前処理液の劣化による機能低下
に関係する条件としての前処理作業による前処理液の使
用につれて連続的に、上記浴槽内の前処理液を所定量ず
つ排出しながら、排出される前処理液量に応じた所定量
の処理溶質を浴槽内に供給するとともに、浴槽内の液面
が所定レベルとなるように溶媒を浴槽内に供給すること
を特徴とする請求項1記載の表面処理液管理方法。
5. The surface treatment liquid is a pretreatment liquid consisting of a treatment solute and a solvent, and is continuously used as the pretreatment liquid is used by the pretreatment work as a condition related to the functional deterioration due to deterioration of the pretreatment liquid. In addition, while discharging the pretreatment liquid in the bathtub by a predetermined amount, a predetermined amount of treatment solute corresponding to the amount of the pretreatment liquid discharged is supplied into the bathtub, and the liquid level in the bathtub becomes a predetermined level. The method for managing a surface treatment liquid according to claim 1, wherein the solvent is supplied into the bath as described above.
【請求項6】 浴槽に貯留されためっき液の管理装置で
あって、めっき液の鍍着物質を貯蔵部から浴槽内に供給
する供給手段と、めっき作業による鍍着物質の消費に関
連する情報を検出する検出手段と、これにより検出され
た情報に基づいて鍍着物質を浴槽内に供給するように上
記供給手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴と
する表面処理液管理装置。
6. A management device for a plating solution stored in a bath, which is a supply means for supplying the plating material of the plating solution from the storage portion into the bath, and information relating to consumption of the plating material by the plating operation. A surface treatment liquid management apparatus comprising: a detection unit for detecting the above-mentioned condition; and a control unit for controlling the supply unit so as to supply the plating substance into the bath based on the information detected by the detection unit.
【請求項7】 上記めっき液はニッケルを主な鍍着物質
とするものであって、上記検出手段としてpH計を設
け、このpH計により検出される上記浴槽内のめっき液
のpH値に応じて、上記浴槽内に炭酸ニッケルを供給す
ることを特徴とする請求項6記載の表面処理液管理装
置。
7. The plating solution is mainly composed of nickel as a plating material, and a pH meter is provided as the detecting means, and the pH value of the plating solution in the bath is detected by the pH meter. 7. The surface treatment liquid management apparatus according to claim 6, wherein nickel carbonate is supplied into the bath.
【請求項8】 浴槽に貯留された前処理液の管理装置で
あって、上記前処理液の処理溶質及び水を供給するため
の供給源と、これらを浴槽内にそれぞれ供給する第1及
び第2の供給手段と、浴槽内の前処理液の液面レベルを
検出する液面レベル検出手段と、浴槽内の前処理液を所
定量ずつ排出する排出手段と、これにより排出された前
処理液を貯留する排出タンクと、前処理作業時に浴槽内
の前処理液を排出しつつ、この排出前処理液量に応じた
所定量の処理溶質を浴槽内に供給するとともに、上記液
面レベル検出手段による検出結果に基づいて、液面レベ
ルが所定レベルとなるように水を供給するべく上記第
1、第2の供給手段及び上記排出手段を制御する制御手
段とを備えたことを特徴とする表面処理液管理装置。
8. A management device for pretreatment liquid stored in a bathtub, comprising a supply source for supplying a treatment solute of the pretreatment liquid and water, and first and second supply sources for supplying these to the bathtub, respectively. 2 supply means, liquid level detecting means for detecting the liquid level of the pretreatment liquid in the bath, discharge means for discharging the pretreatment liquid in the bath by a predetermined amount, and pretreatment liquid discharged by the discharge means. And a discharge tank that stores the pretreatment liquid in the bathtub during the pretreatment work, while supplying a predetermined amount of treatment solute according to the amount of the discharge pretreatment liquid into the bathtub, and the liquid level detecting means. A surface provided with control means for controlling the first and second supply means and the discharge means so as to supply water so that the liquid level becomes a predetermined level based on the detection result by Processing liquid management device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2001234382A (en) * 2000-02-16 2001-08-31 Memory Tec Kk Method and device for electrocasting nickel
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