JPH07270441A - Wind speed sensor - Google Patents

Wind speed sensor

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Publication number
JPH07270441A
JPH07270441A JP6088030A JP8803094A JPH07270441A JP H07270441 A JPH07270441 A JP H07270441A JP 6088030 A JP6088030 A JP 6088030A JP 8803094 A JP8803094 A JP 8803094A JP H07270441 A JPH07270441 A JP H07270441A
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JP
Japan
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resistor
wind speed
hybrid
substrate
speed sensor
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP6088030A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shinichi Osada
慎一 長田
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide a wind speed sensor with its smaller number of parts, thereby being capable of being miniaturized, and also being low in manufacturing cost, and having high precision. CONSTITUTION:Temperature sensitive resistors RH and RT are connected to electrodes 6a, 6b, 7a, and 7b conductive to the signal processing circuit, arranged on the board 1 of a hybrid IC (hybrid IC board) constituting a signal processing circuit. A hybrid IC board 1 is shaped so that the electrodes 6a, 6b, and 7a, 7b to which load wires 8a, 8b, 9a, and 9b are connected can be arranged at their opposite positions via a space 11, and the lead wires 8a, 8b, 9a, and 9b of the temperature sensitive resistors RH and RT are connected to the electrodes 6a, 6b, 7a, and 7b arranged at their opposite positions via the space 11.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、風速センサに関し、
詳しくは、気体の流速に対応した発熱体の放熱を利用し
て風速を検知する風速センサに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wind speed sensor,
More specifically, the present invention relates to a wind velocity sensor that detects the wind velocity by utilizing the heat radiation of a heating element corresponding to the flow velocity of gas.

【0002】[0002]

【従来の技術】気体の流速(風速)を検知するための風
速センサとしては、風車(プロペラ)または風杯の回転
数を発電機や回転計で検出する風車式の風速センサ、カ
ルマン渦の発生数を計数する風速センサ、発熱体の放熱
現象を利用する熱式の風速センサなどがある。
2. Description of the Related Art As a wind speed sensor for detecting the flow velocity (wind speed) of a gas, a wind turbine type wind speed sensor for detecting the number of revolutions of a wind turbine (propeller) or a cup with a generator or tachometer, generation of Karman vortex There are a wind speed sensor that counts the number, a thermal wind speed sensor that uses the heat radiation phenomenon of a heating element, and the like.

【0003】上記風速センサのうち、風車式の風速セン
サは、最も直接的なものであり、従来より広く用いられ
ているが、回転という機械的ストレスが常に加わるため
特性劣化が早くメンテナンスが必要になるばかりでな
く、小型化が困難で、しかも高価であるという問題点が
ある。
Among the above wind speed sensors, the wind turbine type wind speed sensor is the most direct one and has been widely used from the past. However, mechanical stress such as rotation is always applied to the wind speed sensor, and the characteristic deterioration is rapid and maintenance is required. However, there is a problem in that it is difficult to miniaturize and is expensive.

【0004】また、カルマン渦式の風速センサは、カル
マン渦をカウントする装置が比較的大がかりになるとと
もに、コスト、応答性の点でも必ずしも満足なものが得
られていないのが実情である。
Further, in the Karman vortex type wind velocity sensor, a device for counting the Karman vortex is relatively large in scale, and the cost and responsiveness are not always satisfactory.

【0005】これらに対して、抵抗体を発熱させ、発熱
した抵抗体に対する気流の放熱作用の大きさから風速を
検出する熱式の風速センサがある。
On the other hand, there is a thermal type wind speed sensor for detecting the wind speed from the magnitude of the heat radiating action of the air flow on the resistor which heats the resistor.

【0006】この熱式の風速センサは、高精度、高信頼
性を低コストで実現することが可能であることから、近
年、特に注目されており、自動車の電子制御ガソリン噴
射装置用のエアフローセンサや空調システムの空気量セ
ンサなどに広く用いられている。
[0006] This thermal wind speed sensor has been particularly attracting attention in recent years because it can realize high accuracy and high reliability at low cost, and an air flow sensor for an electronically controlled gasoline injection device of an automobile. It is widely used as an air quantity sensor for air conditioning systems.

【0007】図4は従来の熱式の風速センサの一例を示
す斜視図である。この風速センサは、センサ部と信号処
理電気回路部が一体となった風速センサであり、エポキ
シ樹脂などからなる基板54上に配設されたヒータ用抵
抗体RH、温度補償用抵抗体RTなどを備えてなるセンサ
部と、ハイブリッドIC52、半固定抵抗53などを備
えてなる信号処理電気回路部とを具備してなるセンサ本
体51を、窓55が形成された上部ケース部材56aと
下部ケース部材56bからなるケース56に収納するこ
とにより形成されている。なお、特に図示しないが、セ
ンサ部と信号処理電気回路部が分離された構造の風速セ
ンサも実用化されている。
FIG. 4 is a perspective view showing an example of a conventional thermal wind speed sensor. This wind speed sensor is a wind speed sensor in which a sensor unit and a signal processing electric circuit unit are integrated, and is provided with a heater resistor R H and a temperature compensation resistor R T provided on a substrate 54 made of epoxy resin or the like. A sensor main body 51 including a sensor section including a hybrid IC 52, a semi-fixed resistor 53, and the like, an upper case member 56a having a window 55, and a lower case. It is formed by being housed in a case 56 composed of a member 56b. Although not particularly shown, a wind speed sensor having a structure in which the sensor unit and the signal processing electric circuit unit are separated is also in practical use.

【0008】そして、この風速センサ(図4)におい
て、ヒータ用抵抗体RHは風が当たる位置に配設され、
風速に対応した放熱により風速を検知する抵抗体として
用いられ、温度補償用抵抗体RTはヒータ用抵抗体RH
周囲温度の影響を打ち消す役割を担っている。
In this wind speed sensor (FIG. 4), the heater resistor R H is arranged at a position hit by the wind,
The temperature compensating resistor R T is used as a resistor for detecting the wind velocity by radiating heat corresponding to the wind velocity, and the temperature compensating resistor R T has a role of canceling the influence of the ambient temperature of the heater resistor R H.

【0009】そして、これらの抵抗体RH、RTとして、
同一性能の抵抗体が用いられており、周囲温度が変化し
た場合、ヒータ用抵抗体RHと温度補償用抵抗体RT
は、周囲温度に対応して同じ抵抗値になり、温度補償用
抵抗体RTによって周囲温度の影響がキャンセルされる
ため、周囲温度の影響を受けることなく、ヒータ用抵抗
体RHの放熱から、風速を正確に検知することができ
る。
As the resistors R H and R T ,
When resistors having the same performance are used and the ambient temperature changes, the heater resistor R H and the temperature compensating resistor R T have the same resistance value in accordance with the ambient temperature. Since the influence of the ambient temperature is canceled by the resistor R T , the wind speed can be accurately detected from the heat radiation of the heater resistor R H without being influenced by the ambient temperature.

【0010】また、図5は、上記従来の熱式の風速セン
サの回路構成の一例を示す。図5に示すように、ヒータ
用抵抗体RHの一方側の接続端子はグランド側に接続さ
れ、他方側の接続端子は抵抗体R1と直列接続されて第
1の抵抗回路62が形成されている。また、温度補償用
抵抗体RTの一方側の接続端子はグランド側に接続さ
れ、他方側の接続端子は可変抵抗VR1と直列接続さ
れ、さらにこの可変抵抗VR1と抵抗体R2が直列接続さ
れて第2の抵抗回路63が形成されている。
FIG. 5 shows an example of the circuit configuration of the conventional thermal wind speed sensor. As shown in FIG. 5, the connection terminal on one side of the heater resistor R H is connected to the ground side, and the connection terminal on the other side is connected in series with the resistor R 1 to form the first resistance circuit 62. ing. The connection terminal of one side of the temperature compensation resistor R T is connected to the ground, connecting terminal of the other side is connected a variable resistor VR 1 and the series, further the variable resistor VR 1 and the resistor R 2 in series The second resistance circuit 63 is formed by being connected.

【0011】そして、第1の抵抗回路62の出力側が第
1のブリッジ出力平衡端Aとなり、第2の抵抗回路63
の出力側が第2のブリッジ出力平衡端Bとなるように構
成されており、第1のブリッジ出力平衡端Aには抵抗体
3が接続され、第2のブリッジ出力平衡端Bには抵抗
体R4、可変抵抗VR2が接続されて抵抗ブリッジ回路が
形成されている。
The output side of the first resistance circuit 62 serves as the first bridge output balancing terminal A, and the second resistance circuit 63
Is connected to the first bridge output balanced end A, and the resistor R 3 is connected to the second bridge output balanced end B. A resistor bridge circuit is formed by connecting R 4 and the variable resistor VR 2 .

【0012】第1のブリッジ出力平衡端Aは差動演算回
路として機能する差動増幅器(演算増幅器)64のマイ
ナス側入力端子66に接続され、第2のブリッジ出力平
衡端Bは差動増幅器64のプラス側入力端子67と接続
されている。そして、差動増幅器64は電流増幅用のト
ランジスタ65と接続されている。なお、抵抗体R1
2、R3、R4としては、上記のヒータ用抵抗体RHや温
度補償用抵抗体RTと比べて1桁以上小さい抵抗温度係
数(±100ppm/℃)を有する抵抗体が用いられてお
り、これらの抵抗体R1、R2、R3、R4の抵抗値を適切
に選定することによりバランスのとれたブリッジ回路が
形成されている。したがって、周囲温度が変化したとき
に、ヒータ用抵抗体RHと温度補償用抵抗体RTによって
周囲温度の影響がキャンセルされるので、風速センサの
温度特性をフラットにすることが可能になる。なお、第
2の抵抗回路63内の可変抵抗VR1は、温度特性の微
調整を行うために用いられ、第2の抵抗回路63に接続
された可変抵抗VR2は、風速センサの出力レベルを調
整するために用いられている。
The first bridge output balanced end A is connected to the negative side input terminal 66 of the differential amplifier (operational amplifier) 64 functioning as a differential operation circuit, and the second bridge output balanced end B is connected to the differential amplifier 64. Is connected to the positive side input terminal 67 of. The differential amplifier 64 is connected to the transistor 65 for current amplification. The resistor R 1 ,
As R 2 , R 3 and R 4 , resistors having a resistance temperature coefficient (± 100 ppm / ° C.) smaller than that of the heater resistor R H and the temperature compensation resistor R T by one digit or more are used. Therefore, a well-balanced bridge circuit is formed by appropriately selecting the resistance values of the resistors R 1 , R 2 , R 3 , and R 4 . Therefore, when the ambient temperature changes, the influence of the ambient temperature is canceled by the heater resistor R H and the temperature compensating resistor R T , so that the temperature characteristics of the wind speed sensor can be made flat. The variable resistance VR 1 in the second resistance circuit 63 is used for fine adjustment of the temperature characteristic, and the variable resistance VR 2 connected to the second resistance circuit 63 changes the output level of the wind speed sensor. It is used to adjust.

【0013】そして、この風速センサにおいては、風速
センサに当たる風の速度(風速)が増大するとヒータ用
抵抗体RHの温度が低下する。一方、温度補償用抵抗体
Tは発熱していないので、温度変化を生じない。した
がって、前記A点電位は低下するが、B点電位は変化せ
ず、差動増幅器64の出力端子電圧Voutが増大し、風
速増大を示す信号が出力される。一方、風速センサに当
たる風の速度(風速)が低下すると、上記の風速センサ
に当たる風の速度(風速)が増大した場合とは逆のメカ
ニズムでヒータ用抵抗体RHの温度が上昇してA点電位
が上昇することにより、差動増幅器64の出力端子電圧
outが低下して風速減少を示す信号が出力される。
In this wind velocity sensor, the temperature of the heater resistor R H decreases as the velocity of the wind hitting the wind velocity sensor (wind velocity) increases. On the other hand, since the temperature compensating resistor R T does not generate heat, the temperature does not change. Therefore, the potential at the point A decreases, but the potential at the point B does not change, the output terminal voltage V out of the differential amplifier 64 increases, and a signal indicating an increase in wind speed is output. On the other hand, when the velocity of the wind hitting the wind velocity sensor (wind velocity) decreases, the temperature of the heater resistor R H rises by the mechanism reverse to that when the velocity of the wind hitting the wind velocity sensor (wind velocity) increases and the point A As the potential rises, the output terminal voltage V out of the differential amplifier 64 drops and a signal indicating a wind speed decrease is output.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の風
速センサにおいては、ヒータ用抵抗体RH及び温度補償
用抵抗体RTが基板54上に配設されており、機械的な
接続(取付け)とは別に、ヒータ用抵抗体RH及び温度
補償用抵抗体RTを基板54上の配線(図示せず)に電
気的に接続することにより電気信号を取り出し、ハイブ
リッドIC52などから構成された信号処理回路へ導い
ていた。
However, in the above-described conventional wind speed sensor, the heater resistor R H and the temperature compensation resistor R T are arranged on the substrate 54, and mechanical connection (mounting) is performed. In addition to the above), the heater resistor R H and the temperature compensating resistor R T are electrically connected to a wiring (not shown) on the substrate 54 to extract an electric signal, and are composed of the hybrid IC 52 and the like. It led to the signal processing circuit.

【0015】そのため、 ヒータ用抵抗体RH及び温度補償用抵抗体RTの機械的
保持と電気信号の取出しが別工程となり、製造工程が複
雑になるとともに製造コストが増大する 信号処理をハイブリッドICを用いて行う場合、少な
くともヒータ用抵抗体RH及び温度補償用抵抗体RTから
なるセンサ部、その保持部(基板)、ハイブリッドIC
などが必要となり、製品が大型化するとともに部品数が
多くなって製造コストが増大する、というような問題点
がある。
Therefore, the mechanical holding of the heater resistor R H and the temperature compensating resistor R T and the extraction of the electric signal are separate steps, which complicates the manufacturing process and increases the manufacturing cost. In the case of using a sensor, a sensor unit including at least a heater resistor R H and a temperature compensating resistor R T , a holding unit (substrate) thereof, a hybrid IC
However, there is a problem in that the size of the product is increased and the number of parts is increased to increase the manufacturing cost.

【0016】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、部品数が少なく小型化が可能であるとともに製造
コストの小さい風速センサ、さらにはこれらの特徴を有
し、かつ、精度が高く信頼性に優れた風速センサを提供
することを目的とする。
The present invention solves the above-mentioned problems, has a small number of parts, can be miniaturized, and has a low manufacturing cost, and further has these characteristics, and is highly accurate and reliable. An object of the present invention is to provide a wind speed sensor having excellent properties.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の風速センサは、気体の流速に対応した発
熱体の放熱を利用して風速を検知する風速センサにおい
て、信号処理回路を構成するハイブリッドICと、前記
ハイブリッドICの基板(ハイブリッドIC基板)上に
配設された、前記信号処理回路と導通する電極に接続さ
れた少なくとも一つの感温抵抗体とを具備することを特
徴とする。
In order to achieve the above object, the wind speed sensor of the present invention uses a signal processing circuit in a wind speed sensor that detects the wind speed by utilizing the heat radiation of a heating element corresponding to the flow velocity of gas. A hybrid IC which constitutes the hybrid IC; and at least one temperature-sensitive resistor which is arranged on a substrate of the hybrid IC (hybrid IC substrate) and which is connected to an electrode electrically connected to the signal processing circuit. To do.

【0018】また、前記感温抵抗体として、抵抗体本体
にリード線が取り付けられたリード線型の感温抵抗体を
用い、ハイブリッドIC基板の形状を、感温抵抗体のリ
ード線が接続される、一対をなす電極が空間を介して対
向する位置に配設されるような形状とし、感温抵抗体の
リード線を、前記空間を介して対向する位置に配設され
た電極に接続することにより、感温抵抗体を基板に保持
させるとともに、信号処理回路に電気的に接続したこと
を特徴とする。
Further, as the temperature sensitive resistor, a lead wire type temperature sensitive resistor having lead wires attached to the resistor body is used, and the shape of the hybrid IC substrate is connected to the lead wires of the temperature sensitive resistor. , A shape in which a pair of electrodes are arranged at positions facing each other through a space, and connecting the lead wire of the temperature sensitive resistor to the electrodes arranged at positions facing each other through the space. Thus, the temperature sensitive resistor is held on the substrate and electrically connected to the signal processing circuit.

【0019】なお、ハイブリッドIC基板の形状に関
し、「一対をなす電極が空間を介して対向する位置に配
設されるような形状」とは、例えば、図1に示すよう
に、ハイブリッドIC基板1の上端側に2つの突出部1
a,1bを設けた形状、図2に示すように、ハイブリッ
ドIC基板1の所定の位置に穴(略正方形の穴)12を
設けた形状、あるいは図3に示すように、ハイブリッド
IC基板1の上下の両端側にそれぞれ2つの突出部1
a,1b、及び1c,1dを設けた形状など、一対をな
す電極6a,6b、及び7a,7bの間にハイブリッド
IC基板が存在しない部分(空間)が形成されるような
種々の形状を意味するものであり、上記の形状以外の形
状とすることも可能である。
Regarding the shape of the hybrid IC substrate, "a shape in which a pair of electrodes are arranged at positions facing each other through a space" means, for example, as shown in FIG. Two protrusions 1 on the upper end side of
a, 1b are provided, as shown in FIG. 2, a hole (substantially square hole) 12 is provided at a predetermined position of the hybrid IC substrate 1, or as shown in FIG. Two protrusions 1 on each of the upper and lower ends
It means various shapes such as a shape where a, 1b and 1c, 1d are provided, such that a portion (space) where the hybrid IC substrate does not exist is formed between the pair of electrodes 6a, 6b and 7a, 7b. However, a shape other than the above shapes can be used.

【0020】[0020]

【作用】感温抵抗体を接続するための電極をハイブリッ
ドIC基板上に配設し、感温抵抗体をこの電極に接続す
るようにしているため、感温抵抗体の機械的接続(保
持)と電気的接続を同時に行うことが可能になり、従来
の風速センサのように、感温抵抗体を別の基板に保持さ
せることにより、機械的接続を行った後、ハイブリッド
ICからなる信号処理回路へ導くことにより、機械的接
続と電気的接続(電気信号の取出し)を別々に行う必要
がなくなる。
[Function] Since the electrode for connecting the temperature sensitive resistor is arranged on the hybrid IC substrate and the temperature sensitive resistor is connected to this electrode, the mechanical connection (holding) of the temperature sensitive resistor is performed. It becomes possible to perform electrical connection at the same time, and a signal processing circuit including a hybrid IC after mechanical connection is made by holding the temperature sensitive resistor on another substrate like a conventional wind speed sensor. By introducing to, it becomes unnecessary to make a mechanical connection and an electrical connection (picking up an electric signal) separately.

【0021】したがって、感温抵抗体を保持するための
別の基板や該基板上への配線などが不要になり、製品を
小型化することが可能になるとともに、部品点数を減ら
して製造工程を簡略化し、全体としての製造コストを低
減することが可能になる。
Therefore, a separate substrate for holding the temperature sensitive resistor, wiring on the substrate, etc. are not required, the product can be downsized, and the number of parts can be reduced to reduce the manufacturing process. It is possible to simplify and reduce the manufacturing cost as a whole.

【0022】さらに、ハイブリッドIC基板の形状を、
感温抵抗体のリード線が接続される電極を空間を介して
対向するように配設することが可能な形状とし、感温抵
抗体のリード線を該空間を介して電極に接続することに
より、感温抵抗体を基板に保持させるとともに信号処理
回路に電気的に接続するようにした場合には、感温抵抗
体と信号処理回路の間の熱的な分離、あるいは、感温抵
抗体として、ヒータ用抵抗体RHと温度補償用抵抗体RT
とを用いる場合には、ヒータ用抵抗体RH、温度補償用
抵抗体RT及び信号処理回路の三者の熱的な分離を確実
に行うことが可能になり、小型で精度の高い風速センサ
を得ることが可能になる。
Further, the shape of the hybrid IC substrate is
By forming the electrodes to which the lead wires of the temperature sensitive resistor are connected so as to be opposed to each other through a space, and connecting the lead wires of the temperature sensitive resistor to the electrodes through the space. , If the temperature sensitive resistor is held on the substrate and electrically connected to the signal processing circuit, thermal isolation between the temperature sensitive resistor and the signal processing circuit, or as a temperature sensitive resistor , Heater resistor R H and temperature compensation resistor R T
In the case of using, the thermal resistance of the heater resistor R H , the temperature compensation resistor R T, and the signal processing circuit can be surely thermally separated, and the small and highly accurate wind speed sensor can be used. It will be possible to obtain.

【0023】[0023]

【実施例】以下、この発明の実施例を図に基づいて説明
する。図1は、この発明の一実施例にかかる風速センサ
を示す図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a wind speed sensor according to an embodiment of the present invention.

【0024】この実施例の風速センサは、信号処理回路
として機能するハイブリッドICを構成するアルミナか
らなる基板(ハイブリッドIC基板)1、ハイブリッド
IC基板1上に配設された、オペアンプ2、電流増幅用
トランジスタ3、温度特性調整用トリミング抵抗4、オ
フセット調整用トリミング抵抗5、信号処理回路と導通
する電極6a,6b,7a,7b、ヒータ用抵抗体RH
及び温度補償用抵抗体RTとを備えて構成されている。
なお、ハイブリッドIC基板1の左右両端側には信号取
出ピン10が配設されている。
The wind speed sensor of this embodiment comprises a substrate (hybrid IC substrate) 1 made of alumina which constitutes a hybrid IC functioning as a signal processing circuit, an operational amplifier 2 arranged on the hybrid IC substrate 1, and an amplifier for current amplification. Transistor 3, temperature characteristic adjusting trimming resistor 4, offset adjusting trimming resistor 5, electrodes 6a, 6b, 7a, 7b electrically connected to the signal processing circuit, heater resistor R H
And a temperature compensating resistor R T.
It should be noted that signal extraction pins 10 are arranged on both left and right ends of the hybrid IC substrate 1.

【0025】この実施例において、ヒータ用抵抗体RH
としては、円筒形状で両端側にリード線8a,8bを備
えたアキシャルリード型の抵抗体(抵抗値10〜100
Ω)が、また、温度補償用抵抗体RTとしては、同じく
円筒形状で両端側にリード線9a,9bを備えたアキシ
ャルリード型の抵抗体(抵抗値500Ω〜10kΩ)が
それぞれ用いられている。
In this embodiment, the heater resistor R H
Is an axial lead type resistor (having a resistance value of 10 to 100) having a cylindrical shape and lead wires 8a and 8b on both end sides.
Ω), and as the temperature compensating resistor R T , an axial lead type resistor (having a resistance value of 500 Ω to 10 kΩ) similarly having a cylindrical shape and having lead wires 9a and 9b at both ends is used. .

【0026】また、ヒータ用抵抗体RHと温度補償用抵
抗体RTとは、周囲温度が急激に変化した場合における
風速センサとしての温度補償遅れを最小限とするため
に、同一形状、同一寸法に形成されている。
Further, the heater resistor R H and the temperature compensating resistor R T have the same shape and the same shape in order to minimize the temperature compensation delay as the wind speed sensor when the ambient temperature changes abruptly. It is dimensioned.

【0027】ハイブリッドIC基板1としては、上端部
に2つの突出部1a,1bを設けた形状の基板が用いら
れており、電極6a,6b、及び7a,7bはこの突出
部1a,1bの先端側に配設されている。そして、ヒー
タ用抵抗体RHと温度補償用抵抗体RTは、それぞれの両
端側に取り付けられたリード線8a,8b及び9a,9
bを、空間11を介して電極6a,6b、及び7a,7
bに半田付けなどの方法で接続することにより、ハイブ
リッドIC基板1に機械的に保持されるとともに信号処
理回路に電気的に接続されている。
As the hybrid IC substrate 1, a substrate having a shape in which two projecting portions 1a and 1b are provided on the upper end portion is used, and the electrodes 6a, 6b and 7a, 7b have tips of the projecting portions 1a and 1b. It is arranged on the side. The heater resistor R H and the temperature compensating resistor R T are connected to the lead wires 8a, 8b and 9a, 9 respectively attached to both ends thereof.
b through the space 11 to the electrodes 6a, 6b and 7a, 7
It is mechanically held on the hybrid IC substrate 1 and electrically connected to the signal processing circuit by being connected to b by a method such as soldering.

【0028】なお、この実施例では、ヒータ用抵抗体R
Hを上側、温度補償用抵抗体RTを下側に配設している
が、両者の位置が逆になるように配設してもよい。
In this embodiment, the heater resistor R is used.
Although H is arranged on the upper side and the temperature compensating resistor R T is arranged on the lower side, they may be arranged so that their positions are reversed.

【0029】また、上記の風速センサの回路構成は、前
述した従来の風速センサの回路構成(図5)と同等であ
るため、従来の風速センサの回路構成についての説明を
援用してその説明を省略する。
Further, since the circuit configuration of the wind speed sensor described above is equivalent to the circuit configuration of the conventional wind speed sensor described above (FIG. 5), the description of the circuit configuration of the conventional wind speed sensor will be incorporated by reference. Omit it.

【0030】この実施例の風速センサにおいては、ヒー
タ用抵抗体RH,温度補償用抵抗体RTが接続される電極
6a,6b、及び7a,7bをハイブリッドIC基板1
上に配設し、ヒータ用抵抗体RH,温度補償用抵抗体RT
のリード線8a,8b及び9a,9bをこの電極6a,
6b、及び7a,7bに接続するようにしているため、
ヒータ用抵抗体RH,温度補償用抵抗体RTの機械的接続
と信号処理回路への電気的接続を同時に行うことが可能
になる。したがって、従来の風速センサのように、感温
抵抗体を保持するための別の基板や該基板上への配線な
どが不要になり、製品の小型化が可能になるとともに部
品点数を減らして部品コストを低減することができるよ
うになる。さらに、製造工程を簡略化することが可能に
なるため、全体としてのコストを低減することができ
る。
In the wind velocity sensor of this embodiment, the electrodes 6a, 6b and 7a, 7b to which the heater resistor R H and the temperature compensation resistor R T are connected are connected to the hybrid IC substrate 1.
The heater resistor R H and the temperature compensating resistor R T are arranged on the upper side.
The lead wires 8a, 8b and 9a, 9b of the electrodes 6a,
6b and 7a, 7b are connected,
It is possible to simultaneously perform the mechanical connection of the heater resistor R H and the temperature compensation resistor R T and the electrical connection to the signal processing circuit. Therefore, unlike the conventional wind speed sensor, it is not necessary to provide another substrate for holding the temperature sensitive resistor or wiring on the substrate, which makes it possible to downsize the product and reduce the number of components. The cost can be reduced. Further, since the manufacturing process can be simplified, the cost as a whole can be reduced.

【0031】さらに、感温抵抗体として抵抗体本体の両
端側にリード線8a,8b及び9a,9bが取り付けら
れたアキシャルリード型のヒータ用抵抗体RH及び温度
補償用抵抗体RTを用い、ハイブリッドIC基板1の形
状を、ヒータ用抵抗体RH,温度補償用抵抗体RTのリー
ド線8a,8b及び9a,9bが接続される電極6a,
6b、及び7a,7bを空間11を介して対向する位置
に配設することが可能な突出部1a,1bを備えた形状
とし、この空間11を介して対向する位置に配設された
電極6a,6b、及び7a,7bに、ヒータ用抵抗体R
H,温度補償用抵抗体RTのリード線8a,8b及び9
a,9bを接続することにより、ヒータ用抵抗体RH
温度補償用抵抗体RTと信号処理回路の間の熱的な分離
を確実に行うことが可能になる。
Further, as the temperature sensitive resistor, an axial lead type heater resistor R H and temperature compensation resistor R T having lead wires 8a, 8b and 9a, 9b attached to both ends of the resistor body are used. , The shape of the hybrid IC substrate 1 is changed to an electrode 6a to which the lead wires 8a, 8b and 9a, 9b of the heater resistor R H and the temperature compensation resistor R T are connected.
6b and 7a, 7b are provided with protrusions 1a, 1b which can be arranged at positions facing each other through the space 11, and electrodes 6a which are arranged at positions facing each other through this space 11 , 6b, and 7a, 7b, heater resistor R
H , lead wires 8a, 8b and 9 of the temperature compensating resistor R T
By connecting a and 9b, the heater resistor R H ,
It becomes possible to surely perform thermal isolation between the temperature compensating resistor R T and the signal processing circuit.

【0032】すなわち、上記実施例の風速センサにおい
ては、ヒータ用抵抗体RH及び温度補償用抵抗体RTのリ
ード線8a,8b及び9a,9bとして、直径0.1〜
0.3mm程度、より好ましくは、0.1〜0.2mm程度
の細線を使用したり、白金線やニッケル線のような熱伝
導率の低い金属細線を使用することにより、発熱したヒ
ータ用抵抗体RHの熱がリード線8a,8bを介してハ
イブリッドIC基板1から温度補償用抵抗体RTに伝わ
ることを抑制することができる。さらに、信号処理回路
の電流増幅用トランジスタ3で発生する熱がヒータ用抵
抗体RH及び温度補償用抵抗体RTに伝わって誤差となる
ことを防止することが可能になる。
That is, in the wind speed sensor of the above embodiment, the lead wires 8a, 8b and 9a, 9b of the heater resistor R H and the temperature compensating resistor R T have a diameter of 0.1-0.1.
The resistance for the heater that has generated heat by using a thin wire of about 0.3 mm, more preferably about 0.1 to 0.2 mm, or a metal wire with low thermal conductivity such as platinum wire or nickel wire. The heat of the body R H can be suppressed from being transferred from the hybrid IC substrate 1 to the temperature compensating resistor R T via the lead wires 8a and 8b. Further, it is possible to prevent the heat generated in the current amplification transistor 3 of the signal processing circuit from being transferred to the heater resistor R H and the temperature compensation resistor R T to cause an error.

【0033】このことを数式を用いて説明すると以下の
ようになる。単位時間に微小断面積dAを通過する熱量
dQはフーリエの法則により、 dQ=−λ(dθ/dx)dA (1) (但し、λ:熱伝導率,dθ/dx:長さ方向の温度勾
配)となる。
This will be described below by using mathematical expressions. The heat quantity dQ passing through the minute cross-sectional area dA in a unit time is dQ = −λ (dθ / dx) dA (1) (where λ: thermal conductivity, dθ / dx: temperature gradient in the longitudinal direction) according to Fourier's law. ).

【0034】例えば、実施例1(図1)に示した風速セ
ンサの、突出部1a,1bの幅Wが3mm、ハイブリッド
IC基板1の厚みが0.3mm、リード線8a,8b及び
9a,9bの直径が0.2mmの場合;突出部1a,1b
の断面積S1は、 S1=0.3mm(厚み)×3mm(幅W)=0.9mm2H,RTのリード線8a,8b及び9a,9bの断面積
2は、 S2=π×0.1mm2=0.031mm2 となる。一方アルミナからなるハイブリッドIC基板1
の熱伝導率は、20W/m・℃、リード線8a,8b、
及び9a,9bに使用される材質が白金線とするとその
熱伝導率は72W/m・℃である。
For example, in the wind speed sensor shown in Embodiment 1 (FIG. 1), the width W of the protrusions 1a and 1b is 3 mm, the thickness of the hybrid IC substrate 1 is 0.3 mm, and the lead wires 8a, 8b and 9a, 9b. Diameter of 0.2 mm; protrusions 1a, 1b
The cross-sectional area S 1 of S 1 = 0.3 mm (thickness) × 3 mm (width W) = 0.9 mm 2 The cross-sectional area S 2 of the lead wires 8 a, 8 b and 9 a, 9 b of R H , R T is S 2 = π becomes × 0.1mm 2 = 0.031mm 2. On the other hand, a hybrid IC substrate 1 made of alumina
Has a thermal conductivity of 20 W / m · ° C, lead wires 8a, 8b,
If the material used for 9a and 9a is a platinum wire, its thermal conductivity is 72 W / m · ° C.

【0035】したがって、温度勾配を一定とするとハイ
ブリッドIC基板1を伝わる熱量dQ1及びリード線8
a,8b、及び9a,9bを伝わる熱量dQ2の関係
は、次式のようになる。 dQ1/dQ2=(20×0.9)/(72×0.031)=8.06 (2)
Therefore, when the temperature gradient is constant, the amount of heat dQ 1 transmitted through the hybrid IC substrate 1 and the lead wire 8
The relationship between the heat quantities dQ 2 transmitted through a, 8b and 9a, 9b is as follows. dQ 1 / dQ 2 = (20 × 0.9) / (72 × 0.031) = 8.06 (2)

【0036】すなわち、この場合には、単位時間当りの
リード線8a,8b、及び9a,9bでの熱伝導はハイ
ブリッドIC基板1のそれに比べて1/8以下となる。
That is, in this case, the heat conduction in the lead wires 8a, 8b and 9a, 9b per unit time is ⅛ or less as compared with that of the hybrid IC substrate 1.

【0037】しがたって、上記実施例の構造をとること
により、従来の風速センサのように、エポキシ樹脂など
の熱伝導率の低い基板を用いたりすることなく、アルミ
ナなどからなるハイブリッドIC基板上に感温抵抗体を
形成して、実用上支障のないレベルでそれぞれを熱的に
分離することが可能になる。
Therefore, by adopting the structure of the above embodiment, a hybrid IC substrate made of alumina or the like can be used without using a substrate having a low thermal conductivity such as epoxy resin unlike the conventional wind velocity sensor. It is possible to form a temperature-sensitive resistor on each of them and thermally separate them at a level that does not hinder practical use.

【0038】また、上記実施例では、風速センサの温度
特性調整用トリミング抵抗4、オフセット調整用トリミ
ング抵抗5として、アルミナからなるハイブリッドIC
基板1に印刷された抵抗体を用いており、ハイブリッド
IC基板1上に全部品を搭載した後、レーザトリミング
などの方法によりトリミングして風速センサとしての最
終調整を行うことが可能になる。したがって、トリマ抵
抗を用い、シャフトを回転させて抵抗の調整を行う従来
の風速センサに比べて、トリマ抵抗が不要になることに
よるコストの削減、トリミング作業の効率化、抵抗の長
期安定性向上などを図ることが可能になる。
In the above embodiment, the trimming resistor 4 for adjusting the temperature characteristic and the trimming resistor 5 for adjusting the offset of the wind speed sensor are made of a hybrid IC made of alumina.
The resistors printed on the substrate 1 are used. After all the components are mounted on the hybrid IC substrate 1, it is possible to perform trimming by a method such as laser trimming to perform final adjustment as a wind speed sensor. Therefore, compared to the conventional wind speed sensor that uses a trimmer resistor to adjust the resistance by rotating the shaft, the trimmer resistor is not required, which reduces costs, improves trimming work efficiency, and improves long-term stability of the resistor. Can be achieved.

【0039】なお、上記実施例では、ハイブリッドIC
基板1をその一方の端部に2つの突出部1a,1bを設
けた形状とし、空間11を介して対向する位置に配設さ
れた電極6a,6b、及び7a,7bにヒータ用抵抗体
H,温度補償用抵抗体RTの両端側のリード線8a,8
b、及び9a,9bを接続した場合について説明した
が、ハイブリッドIC基板の形状は上記実施例の形状に
限られるものではなく、例えば、図2に示すように、ハ
イブリッドIC基板1の所定の位置に穴(略正方形の
穴)12を設けた形状とし、空間(穴12)を介して対
向する位置に配設された電極6a,6b、及び7a,7
bにヒータ用抵抗体RH,温度補償用抵抗体RTの両端側
のリード線8a,8b、及び9a,9bを接続したり、
あるいは図3に示すように、ハイブリッドIC基板1の
上下の両端側にそれぞれ2つの突出部1a,1b、及び
1c,1dを設け、ヒータ用抵抗体RHと温度補償用抵
抗体RTを上下に分離して配設したりすることも可能で
ある。なお、図2及び図3において、各符号は図1と同
一または相当部分を示している。また、ハイブリッドI
C基板の形状は、空間を介して対向する位置に配設され
た電極に感温抵抗体のリード線を接続することが可能な
限りにおいて、さらに他の形状とすることも可能であ
る。
In the above embodiment, the hybrid IC is used.
The substrate 1 has a shape in which two projecting portions 1a and 1b are provided at one end thereof, and electrodes 6a and 6b and 7a and 7b, which are opposed to each other with a space 11 in between, have a heater resistor R. H , lead wires 8a, 8 on both ends of the temperature compensating resistor R T
However, the shape of the hybrid IC substrate is not limited to the shape of the above embodiment, and for example, as shown in FIG. Electrodes (6a, 6b) and 7a, 7 which are formed in a shape having a hole (substantially square hole) 12 in the
The lead wires 8a, 8b and 9a, 9b on both ends of the heater resistor R H and the temperature compensation resistor R T are connected to b,
Alternatively, as shown in FIG. 3, two protrusions 1a, 1b and 1c, 1d are provided on both upper and lower ends of the hybrid IC substrate 1, and the heater resistor R H and the temperature compensating resistor R T are placed on the upper and lower sides. It is also possible to arrange them separately. 2 and 3, each reference numeral indicates the same or corresponding portion as in FIG. Also, hybrid I
The shape of the C substrate may be any other shape as long as it is possible to connect the lead wire of the temperature sensitive resistor to the electrodes arranged at the positions opposed to each other through the space.

【0040】また、上記実施例では、アキシャルリード
型の感温抵抗体を用いた場合について説明したが、この
発明の風速センサにおいては、アキシャルリード型の感
温抵抗体に限らず、いわゆるラジアルリード型の感温抵
抗体を用いることも可能である。
Further, in the above embodiment, the case where the axial lead type temperature sensitive resistor is used has been described, but the wind velocity sensor of the present invention is not limited to the axial lead type temperature sensitive resistor, and so-called radial lead type. It is also possible to use a mold type temperature sensitive resistor.

【0041】この発明は、その他の点においても、上記
実施例に限定されるものではなく、ハイブリッドIC基
板への電極の配設位置、ハイブリッド基板の厚みやリー
ド線の太さ、リード線と電極の接続方法、リード線やハ
イブリッドIC基板の材質、信号処理回路の構成などに
関し、発明の要旨の範囲において、種々の応用、変形を
加えることができる。
In other respects, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and the positions of the electrodes on the hybrid IC substrate, the thickness of the hybrid substrate and the thickness of the lead wire, the lead wire and the electrode With respect to the connection method, the material of the lead wire and the hybrid IC substrate, the configuration of the signal processing circuit, and the like, various applications and modifications can be made within the scope of the invention.

【0042】[0042]

【発明の効果】上述のように、この発明の風速センサ
は、信号処理回路を構成するハイブリッドICの基板
(ハイブリッドIC基板)上に配設された電極に、感温
抵抗体を接続するようにしているので、感温抵抗体の機
械的接続(保持)と電気的接続を同時に行うことが可能
になり、従来の風速センサのように、感温抵抗体を保持
するための別の基板や該基板上への配線などが不要にな
る。
As described above, in the wind speed sensor of the present invention, the temperature sensitive resistor is connected to the electrodes arranged on the substrate (hybrid IC substrate) of the hybrid IC that constitutes the signal processing circuit. Therefore, it becomes possible to perform mechanical connection (holding) and electrical connection of the temperature sensitive resistor at the same time, and another substrate for holding the temperature sensitive resistor or the same as the conventional wind velocity sensor can be used. Wiring on the board is unnecessary.

【0043】したがって、製品を小型化することが可能
になるとともに、部品点数を減らして製造工程を簡略化
し、全体としての製造コストを低減することができる。
Therefore, the product can be downsized, the number of parts can be reduced, the manufacturing process can be simplified, and the manufacturing cost as a whole can be reduced.

【0044】さらに、ハイブリッドIC基板の形状を、
感温抵抗体のリード線が接続される電極を空間を介して
対向する位置に配設することが可能な形状とし、感温抵
抗体のリード線を該空間を介して電極に接続することに
より、感温抵抗体を基板に保持させるとともに信号処理
回路に電気的に接続するようにした場合には、感温抵抗
体と信号処理回路の間の、あるいは、感温抵抗体とし
て、ヒータ用抵抗体と温度補償用抵抗体とを用いる場合
には、ヒータ用抵抗体、温度補償用抵抗体及び信号処理
回路の三者を熱的に確実に分離することが可能になり、
小型で精度の高い風速センサを得ることができる。
Furthermore, the shape of the hybrid IC substrate is
By forming the electrodes to which the lead wires of the temperature sensitive resistor are connected to each other at positions facing each other through a space, and connecting the lead wires of the temperature sensitive resistor to the electrodes through the space. , When the temperature sensitive resistor is held on the substrate and electrically connected to the signal processing circuit, a resistor for the heater may be provided between the temperature sensitive resistor and the signal processing circuit or as a temperature sensitive resistor. When the body and the temperature compensating resistor are used, it becomes possible to thermally and reliably separate the heater resistor, the temperature compensating resistor and the signal processing circuit.
A small and highly accurate wind speed sensor can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例にかかる風速センサを示す
図である。
FIG. 1 is a diagram showing a wind speed sensor according to an embodiment of the present invention.

【図2】この発明の他の実施例にかかる風速センサを示
す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a wind speed sensor according to another embodiment of the present invention.

【図3】この発明のさらに他の実施例にかかる風速セン
サを示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a wind speed sensor according to still another embodiment of the present invention.

【図4】従来の風速センサを示す分解斜視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view showing a conventional wind speed sensor.

【図5】風速センサの回路構成を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a circuit configuration of a wind speed sensor.

【符号の説明】 1 基板(ハイブリッドI
C基板) 1a,1b,1c,1d 突出部 2 オペアンプ 3 電流増幅用トランジス
タ 4 温度特性調整用トリミ
ング抵抗 5 オフセット調整用トリ
ミング抵抗 6a,6b,7a,7b 電極 8a,8b,9a,9b リード線 10 信号取出ピン 11 空間 12 穴 RH ヒータ用抵抗体 RT 温度補償用抵抗体
[Explanation of Codes] 1 Substrate (Hybrid I
C substrate) 1a, 1b, 1c, 1d protruding portion 2 operational amplifier 3 current amplification transistor 4 temperature characteristic adjusting trimming resistor 5 offset adjusting trimming resistor 6a, 6b, 7a, 7b electrode 8a, 8b, 9a, 9b lead wire 10 Signal extraction pin 11 Space 12 hole RH Heater resistor RT Temperature compensating resistor

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 気体の流速に対応した発熱体の放熱を利
用して風速を検知する風速センサにおいて、 信号処理回路を構成するハイブリッドICと、 前記ハイブリッドICの基板(ハイブリッドIC基板)
上に配設された、前記信号処理回路と導通する電極に接
続された少なくとも一つの感温抵抗体とを具備すること
を特徴とする風速センサ。
1. A wind speed sensor for detecting a wind speed by utilizing heat radiation of a heating element corresponding to a gas flow velocity, a hybrid IC constituting a signal processing circuit, and a substrate of the hybrid IC (hybrid IC substrate).
A wind speed sensor, comprising: at least one temperature-sensitive resistor, which is connected to an electrode electrically connected to the signal processing circuit provided above.
【請求項2】 前記感温抵抗体として、抵抗体本体にリ
ード線が取り付けられたリード線型の感温抵抗体を用
い、 ハイブリッドIC基板の形状を、感温抵抗体のリード線
が接続される、一対をなす電極が空間を介して対向する
位置に配設されるような形状とし、 感温抵抗体のリード線を、前記空間を介して対向する位
置に配設された電極に接続することにより、感温抵抗体
を基板に保持させるとともに、信号処理回路に電気的に
接続したことを特徴とする請求項1記載の風速センサ。
2. The temperature sensitive resistor is a lead wire type temperature sensitive resistor having a lead wire attached to a resistor body, and the shape of the hybrid IC substrate is connected to the lead wire of the temperature sensitive resistor. , A shape such that a pair of electrodes are arranged at positions facing each other through a space, and connecting the lead wire of the temperature sensitive resistor to the electrodes arranged at positions facing each other through the space. The wind speed sensor according to claim 1, wherein the temperature sensitive resistor is held by the substrate and electrically connected to the signal processing circuit.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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