JPH07262541A - Actuator arm assembly - Google Patents

Actuator arm assembly

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JPH07262541A
JPH07262541A JP6048711A JP4871194A JPH07262541A JP H07262541 A JPH07262541 A JP H07262541A JP 6048711 A JP6048711 A JP 6048711A JP 4871194 A JP4871194 A JP 4871194A JP H07262541 A JPH07262541 A JP H07262541A
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JP
Japan
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suspension
actuator arm
arm assembly
barrier layer
tip
Prior art date
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Withdrawn
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JP6048711A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsuyuki Fukuda
勝之 福田
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/486Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives with provision for mounting or arranging electrical conducting means or circuits on or along the arm assembly
    • GPHYSICS
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    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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    • G11B5/4833Structure of the arm assembly, e.g. load beams, flexures, parts of the arm adapted for controlling vertical force on the head

Abstract

PURPOSE:To obtain the actuator arm assembly with good connection workability between a wiring pattern formed on a suspension and an FPC. CONSTITUTION:The actuator arm assembly includes an actuator arm 20 fitted rotatably to a base and a suspension unit 30 fixed to a tip of the actuator arm. The suspension unit 30 has an upper suspension 22a and a lower suspension 22b formed integrally with the upper suspension 22a. The upper suspension 22a supports a 1st magnetic head 24 at its tip and has a 1st wiring pattern 34 connected with the 1st magnetic head. The lower suspension 22b supporting 2nd magnetic head 24 at its tip has a 2nd wiring pattern connected with the 2nd magnetic head. The actuator arm assembly is moreover includes a flexible printed wiring sheet 40 connected with its one end part to the 1st and 2nd wiring patterns. Further by integrally forming these upper and lower suspensions, the workability of wiring connection is improved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は一般的に磁気ディスク装
置のアクチュエータアームアセンブリに関し、特に磁気
ヘッドを支持するサスペンションの構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention generally relates to an actuator arm assembly for a magnetic disk drive, and more particularly to a suspension structure for supporting a magnetic head.

【0002】近年、コンピュータ用外部記憶装置の一種
である磁気ディスク装置の小型化、薄型化が進んでお
り、さらに低消費電力化が求められている。また、大容
量化のため磁気ディスクの記録密度の向上が要求され、
装置に搭載するディスクの枚数が増加している。
In recent years, magnetic disk devices, which are a type of external storage device for computers, have become smaller and thinner, and there is a demand for lower power consumption. In addition, it is required to improve the recording density of the magnetic disk to increase the capacity.
The number of disks mounted on the device is increasing.

【0003】[0003]

【従来の技術】コンピュータ用磁気ディスク装置では、
ヘッドとディスクとの関係はコンタクトスタートストッ
プ(CSS)方式が一般的に採用されている。この方式
では、磁気ディスク回転中においては、高速回転により
発生する空気流体による浮上力とヘッドをディスクに押
し付けるサスペンションの押し付け力のバランスで、ヘ
ッドがディスク上を微小な間隙を保って浮上する。
2. Description of the Related Art In a magnetic disk device for a computer,
The contact start stop (CSS) method is generally adopted for the relationship between the head and the disk. In this system, while the magnetic disk is rotating, the head floats above the disk with a small gap by the balance between the levitation force of the air fluid generated by high-speed rotation and the pressing force of the suspension that presses the head against the disk.

【0004】ディスクの回転が停止すると、ヘッドはデ
ィスク上の接触可能領域へ移動し、そこでヘッドとディ
スクが接触する。ディスクが回転停止中は、ヘッドとデ
ィスクは接触したままである。
When the rotation of the disk is stopped, the head moves to a contactable area on the disk, where the head and the disk come into contact with each other. The head and the disk remain in contact with each other while the disk stops rotating.

【0005】従来磁気ヘッドに書き込み信号を供給し、
又は磁気ヘッドから読み出し信号を取り出したりするた
めに、サスペンションに取り付けられたリード線が使用
されていた。
Conventionally, a write signal is supplied to a magnetic head,
Alternatively, a lead wire attached to the suspension has been used to extract a read signal from the magnetic head.

【0006】しかし磁気ディスク装置がダウンサイジン
グ化するにつれて、サスペンションの構造もリード線を
取り付けたタイプのものから、図10に示すような配線
パターン付サスペンションの採用へと移って来ている。
However, as the magnetic disk apparatus is downsized, the structure of the suspension is changed from the type in which the lead wire is attached to the suspension with a wiring pattern as shown in FIG.

【0007】図10を参照すると、アクチュエータアー
ム1の先端に上部サスペンション3a及び下部サスペン
ション3bがかしめ固定されている。上部サスペンショ
ン3aの折り曲げ部5aはアクチュエータアーム1の先
端部側面に接着され、下部サスペンション3bの折り曲
げ部5bもアクチュエータアーム1の先端部側面に接着
されている。
Referring to FIG. 10, an upper suspension 3a and a lower suspension 3b are caulked and fixed to the tip of an actuator arm 1. The bent portion 5a of the upper suspension 3a is adhered to the tip end side surface of the actuator arm 1, and the bent portion 5b of the lower suspension 3b is also adhered to the tip end side surface of the actuator arm 1.

【0008】上部サスペンション3aの先端部には磁気
ヘッド7が搭載されており、下部サスペンション3bの
先端部にも磁気ヘッド7が搭載されている。上部サスペ
ンション3a上にはその一端が磁気ヘッド7に接続され
た配線パターン9aが形成されており、配線パターン9
aの他端は折り曲げ部5aに伸長して複数のパッド11
aに接続されている。
A magnetic head 7 is mounted on the tip of the upper suspension 3a, and a magnetic head 7 is also mounted on the tip of the lower suspension 3b. A wiring pattern 9a, one end of which is connected to the magnetic head 7, is formed on the upper suspension 3a.
The other end of a extends to the bent portion 5a and a plurality of pads 11
connected to a.

【0009】同様に、下部サスペンション3bにもその
一端が磁気ヘッド7に接続された配線パターンが形成さ
れており、配線パターンの他端は折り曲げ部5bに形成
された複数のパッド11bに接続されている。
Similarly, a wiring pattern whose one end is connected to the magnetic head 7 is also formed on the lower suspension 3b, and the other end of the wiring pattern is connected to a plurality of pads 11b formed on the bent portion 5b. There is.

【0010】これらのパッド11a,11bにフレキシ
ブルプリント配線シート(FPC)の一端に形成した複
数のパッド15が接続される。FPCの他端は図示しな
い磁気ディスク装置の電子回路に接続される。
A plurality of pads 15 formed at one end of a flexible printed wiring sheet (FPC) are connected to these pads 11a and 11b. The other end of the FPC is connected to an electronic circuit of a magnetic disk device (not shown).

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
配線パターン付サスペンションでは、上部サスペンショ
ン3aと下部サスペンション3bとを別体で製作し、そ
れぞれアクチュエータアーム1の先端部にかしめ固定し
ていたため、上部サスペンション3aのパッド11a
と、下部サスペンション3bのパッド11bとが整列せ
ずに、両者間に高さ方向の位置ずれGが発生することが
あった。
In the conventional suspension with a wiring pattern as described above, the upper suspension 3a and the lower suspension 3b are separately manufactured and fixed to the tip end of the actuator arm 1 by caulking. Pad 11a of upper suspension 3a
Then, the pad 11b of the lower suspension 3b is not aligned with each other, and a positional deviation G in the height direction may occur between them.

【0012】このような位置ずれが発生すると、FPC
13のパッド15とサスペンション3a,3bのパッド
11a,11bとを完全に接合できないため、パッド1
1aとパッド11bとを整列させるような補正作業が必
要であり、アクチュエータアームアセンブリの組立性が
悪いという問題があった。
When such a position shift occurs, the FPC
Since the pad 15 of No. 13 and the pads 11a and 11b of the suspensions 3a and 3b cannot be completely joined, the pad 1
A correction work for aligning the 1a and the pad 11b is required, and there is a problem that the assemblability of the actuator arm assembly is poor.

【0013】また、配線パターン付サスペンションは、
導体を薄膜パターン化してサスペンション上に形成する
ため、温度、湿度等の環境変化及び振動に対してサスペ
ンションの信頼性を向上させる必要がある。
The wiring pattern suspension is
Since the conductor is formed into a thin film pattern on the suspension, it is necessary to improve the reliability of the suspension against environmental changes such as temperature and humidity and vibration.

【0014】よって本発明の目的は、信頼性を向上した
配線パターン付サスペンションを有するアクチュエータ
アームアセンブリを提供することである。本発明の他の
目的は、組立性を向上した配線パターン付サスペンショ
ンを有するアクチュエータアームアセンブリを提供する
ことである。
Accordingly, it is an object of the present invention to provide an actuator arm assembly having a wiring pattern suspension with improved reliability. Another object of the present invention is to provide an actuator arm assembly having a suspension with a wiring pattern which has an improved assembling property.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明は、上述した課題
を解決するために、アクチュエータアームアセンブリで
あって、ベースと;前記ベースに回転可能に取り付けら
れたアクチュエータアームと;前記アクチュエータアー
ムの先端部に固定された、上部サスペンションと該上部
サスペンションと一体的に形成された下部サスペンショ
ンとを含み、前記上部サスペンションは先端部に第1磁
気ヘッドを支持するとともに該第1磁気ヘッドに接続さ
れた第1配線パターンを有し、前記下部サスペンション
は先端部に第2磁気ヘッドを支持するとともに該第2磁
気ヘッドに接続された第2配線パターンを有するサスペ
ンションユニットと;前記第1及び第2配線パターンに
一端部で接続されたフレキシブルプリント配線シートと
を具備したことを特徴とするアクチュエータアームアセ
ンブリを提供する。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is an actuator arm assembly comprising: a base; an actuator arm rotatably attached to the base; a tip of the actuator arm. A lower suspension integrally formed with the upper suspension, the upper suspension supporting the first magnetic head at a tip portion thereof and being connected to the first magnetic head. A suspension unit having a first wiring pattern, the lower suspension supporting a second magnetic head at a tip portion thereof and having a second wiring pattern connected to the second magnetic head; Having a flexible printed wiring sheet connected at one end To provide an actuator arm assembly to symptoms.

【0016】連結部はサスペンションに対して概略直角
に折り曲げられており、連結部の長さはアクチュエータ
アームの先端部の高さ及びかしめ固定に使用する2個の
スペーサの厚さの和に等しい。
The connecting portion is bent substantially at right angles to the suspension, and the length of the connecting portion is equal to the height of the tip end portion of the actuator arm and the sum of the thicknesses of the two spacers used for caulking.

【0017】好ましくは、配線パターンは弾性を有する
金属製サスペンション上に形成された下部絶縁層と、下
部絶縁層上に形成された下部バリア層と、下部バリア層
上に形成された導体層と、導体層上に形成された上部バ
リア層と、上部バリア層上に形成された上部絶縁層とを
有している。
Preferably, the wiring pattern has a lower insulating layer formed on a metallic suspension having elasticity, a lower barrier layer formed on the lower insulating layer, and a conductor layer formed on the lower barrier layer. It has an upper barrier layer formed on the conductor layer and an upper insulating layer formed on the upper barrier layer.

【0018】[0018]

【作用】本発明では、上部サスペンションと下部サスペ
ンションとをサスペンションユニットとして一体的に形
成したため、FPCとの接合部で上部サスペンションの
パッドと下部サスペンションのパッドとが位置ずれを起
こすことなく常に整列しているため、サスペンション側
のパッドとFPCのパッドとの接続作業性を顕著に向上
することができる。
According to the present invention, since the upper suspension and the lower suspension are integrally formed as a suspension unit, the pads of the upper suspension and the pads of the lower suspension are always aligned at the joint with the FPC without any positional deviation. Therefore, the workability of connecting the pad on the suspension side and the pad of the FPC can be significantly improved.

【0019】また、配線パターンを上述したような積層
構造としたため、温度、湿度等の環境変化及び振動等に
対して配線パターンの信頼性を向上することができる。
Further, since the wiring pattern has the laminated structure as described above, the reliability of the wiring pattern can be improved against environmental changes such as temperature and humidity and vibration.

【0020】[0020]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図1を参照すると、本発明が適用可能な磁
気ディスク装置の斜視図が示されている。符号2はベー
ス4とカバー6とから構成されるハウジング(エンクロ
ージャ)を示している。ベース4上には図示しないイン
ナーハブモータによって回転駆動されるスピンドルハブ
8が設けられている。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. Referring to FIG. 1, there is shown a perspective view of a magnetic disk device to which the present invention can be applied. Reference numeral 2 indicates a housing (enclosure) including a base 4 and a cover 6. A spindle hub 8 which is rotationally driven by an inner hub motor (not shown) is provided on the base 4.

【0021】スピンドルハブ8には磁気ディスク10と
図示しないスペーサが交互に挿入され、複数枚の磁気デ
ィスク10が所定間隔離間してスピンドルハブ8に取り
付けられる。
Magnetic disks 10 and spacers (not shown) are alternately inserted into the spindle hub 8, and a plurality of magnetic disks 10 are attached to the spindle hub 8 with a predetermined space therebetween.

【0022】符号12はアクチュエータアームアセンブ
リ14と磁気回路16とから構成されるロータリー型ア
クチュエータアセンブリを示している。アクチュエータ
アームアセンブリ14はベース4に固定したシャフト1
5回りにベアリングを介して回転可能に取り付けられた
アクチュエータブロック18を含んでいる。アクチュエ
ータブロック18には複数のアクチュエータアーム20
が一体的に形成されている。
Reference numeral 12 indicates a rotary actuator assembly composed of an actuator arm assembly 14 and a magnetic circuit 16. The actuator arm assembly 14 is a shaft 1 fixed to a base 4.
It includes an actuator block 18 which is rotatably mounted about bearings 5 around a bearing. The actuator block 18 includes a plurality of actuator arms 20.
Are integrally formed.

【0023】各アクチュエータアーム20の先端には先
端部に磁気ヘッド24を支持するサスペンション22の
基端部が固定されている。ベース4の外周部には環状パ
ッキンアセンブリ26が設けられており、この環状パッ
キンアセンブリ26を間に挟んでカバー6をベース4に
締結することにより、磁気ディスク装置内が密閉され
る。
A base end of a suspension 22 for supporting a magnetic head 24 is fixed to the tip of each actuator arm 20. An annular packing assembly 26 is provided on the outer peripheral portion of the base 4, and the inside of the magnetic disk device is sealed by fastening the cover 6 to the base 4 with the annular packing assembly 26 interposed therebetween.

【0024】図2を参照すると、本発明のアクチュエー
タアームアセンブリの概略斜視図が示されている。アク
チュエータアーム20の先端部20aには上部サスペン
ション22a及び下部サスペンション22bがそれぞれ
上下からかしめ固定されている。
Referring to FIG. 2, there is shown a schematic perspective view of the actuator arm assembly of the present invention. An upper suspension 22a and a lower suspension 22b are caulked and fixed to the tip portion 20a of the actuator arm 20 from above and below, respectively.

【0025】上部サスペンション22aと下部サスペン
ション22bとは、折り曲げ連結部32で連結されたサ
スペンションユニット30として一体的に形成されてい
る。図3にサスペンションユニット30の展開図を示
す。
The upper suspension 22a and the lower suspension 22b are integrally formed as a suspension unit 30 connected by a bent connecting portion 32. FIG. 3 shows a development view of the suspension unit 30.

【0026】サスペンションユニット30は以下のよう
にして製造される。まず、ステンレス鋼板に複数の配線
パターンをパターニングする。次いで、エッチングによ
り図3に示す形状に打ち抜き、最後にプレスにより図2
に示されているように折り曲げる。
The suspension unit 30 is manufactured as follows. First, a plurality of wiring patterns are patterned on a stainless steel plate. Then, it is punched into the shape shown in FIG.
Bend as shown in.

【0027】連結部32は上部サスペンション22a及
び下部サスペンション22bに対して概略直角に折り曲
げられており、アクチュエータアーム20の先端部20
aの側面に接着固定される。上部及び下部サスペンショ
ン22a,22bは、例えばステンレス鋼等の弾性を有
する金属から形成される。
The connecting portion 32 is bent at a right angle to the upper suspension 22a and the lower suspension 22b, and the tip portion 20 of the actuator arm 20 is bent.
It is adhesively fixed to the side surface of a. The upper and lower suspensions 22a and 22b are made of elastic metal such as stainless steel.

【0028】上部サスペンション22aの先端部には磁
気ディスクに対してデータのリード/ライトを行う磁気
ヘッド24が搭載されており、同様に下部サスペンショ
ン22bの先端にも磁気ヘッド24が搭載されている。
A magnetic head 24 for reading / writing data from / to a magnetic disk is mounted on the tip of the upper suspension 22a, and similarly, a magnetic head 24 is mounted on the tip of the lower suspension 22b.

【0029】上部サスペンション22a上にはその一端
が磁気ヘッド24に接続された配線パターン34が形成
されており、配線パターン34の他端34aは連結部3
2まで伸長して複数の導体パッドに接続されている。
A wiring pattern 34, one end of which is connected to the magnetic head 24, is formed on the upper suspension 22a, and the other end 34a of the wiring pattern 34 is connected to the connecting portion 3.
It extends to 2 and is connected to a plurality of conductor pads.

【0030】同様に、下部サスペンション22b上にも
その一端が磁気ヘッド24に接続された配線パターン3
6が形成されており、配線パターンの他端36aは連結
部32まで伸長して複数の導体パッドに接続されてい
る。
Similarly, on the lower suspension 22b, one end of the wiring pattern 3 is connected to the magnetic head 24.
6 is formed, and the other end 36a of the wiring pattern extends to the connecting portion 32 and is connected to the plurality of conductor pads.

【0031】本実施例では、上部サスペンション22a
と下部サスペンション22bとはサスペンションユニッ
ト30として一体的に形成されているため、上部サスペ
ンション22aの導体パッドと下部サスペンション22
bの導体パッドは整列して形成されており、互いに位置
ずれを起こすことはない。
In this embodiment, the upper suspension 22a
Since the lower suspension 22b and the lower suspension 22b are integrally formed as a suspension unit 30, the conductor pad of the upper suspension 22a and the lower suspension 22b are formed.
The conductor pads of b are formed in alignment and do not cause misalignment with each other.

【0032】上部サスペンション22aと下部サスペン
ション22bはそれぞれスペーサ38にスポット溶接さ
れ、これらのスペーサ38がアクチュエータアーム20
の先端部20aに上下からかしめ固定される。
The upper suspension 22a and the lower suspension 22b are spot welded to the spacers 38, respectively, and these spacers 38 are attached to the actuator arm 20.
Is caulked from above and below to the tip portion 20a.

【0033】上下サスペンション22a,22bを連結
する折り曲げ連結部32の長さは、アクチュエータアー
ム20の先端部20aの高さと一対のスペーサ38の厚
さの和に等しい。連結部32は接着剤によりアクチュエ
ータアーム20の先端部20aの側面に固着される。
The length of the bent connecting portion 32 connecting the upper and lower suspensions 22a and 22b is equal to the sum of the height of the tip portion 20a of the actuator arm 20 and the thickness of the pair of spacers 38. The connecting portion 32 is fixed to the side surface of the tip portion 20a of the actuator arm 20 with an adhesive.

【0034】フレキシブルプリント配線シート(FP
C)40がアクチュエータアーム20の側面に接着され
ており、FPC40の一端部に形成された複数の導体パ
ッド40aが上下サスペンション22a,22bに形成
された配線パターンの導体パッドに接合される。この接
合は、例えば半田付けにより行われる。FPC40の他
端は図示しない磁気ディスク装置の電子回路に接続され
ている。
Flexible printed wiring sheet (FP
C) 40 is adhered to the side surface of the actuator arm 20, and the plurality of conductor pads 40a formed at one end of the FPC 40 are joined to the conductor pads of the wiring pattern formed on the upper and lower suspensions 22a and 22b. This joining is performed by, for example, soldering. The other end of the FPC 40 is connected to an electronic circuit of a magnetic disk device (not shown).

【0035】本実施例では、上部サスペンション22a
の導体パッドと下部サスペンション22bの導体パッド
とが常に整列しているため、FPC40の導体パッド4
0aとの接続作業性が非常に改善される。
In this embodiment, the upper suspension 22a
The conductor pad of the FPC 40 and the conductor pad of the lower suspension 22b are always aligned with each other.
The connection workability with 0a is greatly improved.

【0036】図4(A)は図2のA−A線断面図を示し
ている。配線パターン34は2本の信号線42と2本の
接地線44とを含んでいる。一対の信号線42と接地線
44はデータの書き込み用に使用され、他の一対の信号
線42と接地線44はデータの読み出しに使用される。
FIG. 4A is a sectional view taken along the line AA of FIG. The wiring pattern 34 includes two signal lines 42 and two ground lines 44. The pair of signal lines 42 and the ground line 44 are used for writing data, and the other pair of signal lines 42 and the ground line 44 are used for reading data.

【0037】各信号線42及び各接地線44は下部絶縁
層46上に導体層48を積層し、その上から上部絶縁層
50で覆って構成される。各信号線42と各接地線44
の間には導体シールド52が設けられており、これによ
り各ライン42,44間を電磁気的にシールドしてい
る。
Each signal line 42 and each ground line 44 is formed by laminating a conductor layer 48 on a lower insulating layer 46 and covering it with an upper insulating layer 50. Each signal line 42 and each ground line 44
A conductor shield 52 is provided between the lines 42 to electromagnetically shield the lines 42 and 44.

【0038】図4(B)は電磁シールド性をさらに向上
した実施例であり、ブリッジ54で各導電性シールド5
2が接続されている。この構造により、各信号線42及
び接地線44が隣接する信号線42又は接地線44から
電磁的に十分にシールドされる。
FIG. 4B shows an embodiment in which the electromagnetic shield property is further improved. The bridge 54 is used to form each conductive shield 5
2 is connected. With this structure, each signal line 42 and the ground line 44 are electromagnetically sufficiently shielded from the adjacent signal line 42 or ground line 44.

【0039】次に図5を参照して、信号線42の構造に
ついて説明する。接地線44の構造も信号線の構造と同
様である。ステンレス鋼又は燐青銅等から形成された上
部サスペンション22a上に例えばポリイミドをスピン
コートすることにより形成された下部絶縁層46が積層
されている。
Next, the structure of the signal line 42 will be described with reference to FIG. The structure of the ground line 44 is similar to that of the signal line. A lower insulating layer 46 formed by spin coating of, for example, polyimide is laminated on the upper suspension 22a formed of stainless steel, phosphor bronze, or the like.

【0040】上部サスペンション22aの厚さは10〜
70μm、好ましくは20〜40μmであり、下部絶縁
層46の厚さは0.5〜20μm、好ましくは1〜10
μmである。
The thickness of the upper suspension 22a is 10 to 10.
70 μm, preferably 20-40 μm, and the thickness of the lower insulating layer 46 is 0.5-20 μm, preferably 1-10.
μm.

【0041】下部絶縁層46上には例えばCrから形成
された下部バリア層56が例えばスパッタリングにより
積層されている。下部バリア層56はCrに代えて、A
l,Ti,Ni,Zr,W,Ta,Pd等から形成可能
である。下部バリア層56の厚さは100〜1000
Å、好ましくは300〜700Åである。
A lower barrier layer 56 made of, for example, Cr is laminated on the lower insulating layer 46 by, for example, sputtering. The lower barrier layer 56 is made of A instead of Cr.
It can be formed from 1, Ti, Ni, Zr, W, Ta, Pd or the like. The thickness of the lower barrier layer 56 is 100 to 1000.
Å, preferably 300 to 700 Å.

【0042】下部バリア層56上には導体層48が積層
されている。導体層48はCuから形成するのが好まし
いが、Al,Ag,W,Ta等も採用可能である。導体
層48の厚さは1〜10μm、好ましくは2〜8μmで
ある。下部バリア層56は導体層48のマイグレーショ
ン抑制のために設けられる。導体層48はCuをスパッ
タリングした後、エッチングして所定パターンに形成す
る。
A conductor layer 48 is laminated on the lower barrier layer 56. The conductor layer 48 is preferably formed of Cu, but Al, Ag, W, Ta or the like can also be used. The conductor layer 48 has a thickness of 1 to 10 μm, preferably 2 to 8 μm. The lower barrier layer 56 is provided to suppress migration of the conductor layer 48. The conductor layer 48 is formed into a predetermined pattern by etching Cu after sputtering.

【0043】導体層48上にはTiから形成された第1
上部バリア層58が蒸着により積層され、その上にAu
から形成された第2上部バリア層60が蒸着により積層
される。第1上部バリア層58の厚さは100Å〜1μ
m、好ましくは100〜500Åであり、第2上部バリ
ア層60の厚さは0.1〜5μm、好ましくは0.5〜
3μmである。
A first layer made of Ti is formed on the conductor layer 48.
An upper barrier layer 58 is deposited by vapor deposition, and Au is deposited thereon.
The second upper barrier layer 60 formed of is deposited by vapor deposition. The thickness of the first upper barrier layer 58 is 100Å to 1 μm.
m, preferably 100-500Å, and the thickness of the second upper barrier layer 60 is 0.1-5 μm, preferably 0.5-
It is 3 μm.

【0044】第1上部バリア層58は導体層48と第2
上部バリア層60との密着性向上のために設けられる。
第1及び第2上部バリア層58,60は導体層48のマ
イグレーションを抑制する。
The first upper barrier layer 58 includes the conductor layer 48 and the second upper barrier layer 58.
It is provided to improve the adhesion to the upper barrier layer 60.
The first and second upper barrier layers 58 and 60 suppress the migration of the conductor layer 48.

【0045】第1上部バリア層58としては、Tiの他
に、Cr,Al,Ni,Zr,Ta,Pd等が採用可能
であり、第2上部バリア層60としては、Auの他に、
Cr,Al,Ti,Ni,Zr,W,Pd等が採用可能
である。
As the first upper barrier layer 58, Cr, Al, Ni, Zr, Ta, Pd or the like can be adopted in addition to Ti, and as the second upper barrier layer 60, in addition to Au,
Cr, Al, Ti, Ni, Zr, W, Pd, etc. can be adopted.

【0046】第2上部バリア層60上には例えばポリイ
ミド等から形成された上部絶縁層50が積層される。上
部絶縁層50の厚さは0.5〜20μm、好ましくは1
〜10μmである。上部絶縁層50は蒸着により積層す
る。
On the second upper barrier layer 60, an upper insulating layer 50 made of, for example, polyimide is laminated. The thickness of the upper insulating layer 50 is 0.5 to 20 μm, preferably 1
10 to 10 μm. The upper insulating layer 50 is laminated by vapor deposition.

【0047】本実施例の配線パターンはこのような多層
構造を取るため、導体層48のマイグレーションを抑制
することができ、配線パターンの信頼性を向上すること
ができる。ポリイミドはガスを発生し、吸湿性を有して
いるためCuを腐食させ易い。よって、導体層48の腐
食を防止するためにバリヤ層56,58,60が必要で
ある。
Since the wiring pattern of this embodiment has such a multilayer structure, migration of the conductor layer 48 can be suppressed and the reliability of the wiring pattern can be improved. Since polyimide generates gas and has a hygroscopic property, it is easy to corrode Cu. Therefore, barrier layers 56, 58, 60 are required to prevent corrosion of the conductor layer 48.

【0048】好ましくは、下部絶縁層46はイオン結合
型ポリイミドから形成し、上部絶縁層50はエステル結
合型ポリイミドから形成する。このように上部絶縁層5
0をエステル結合型ポリイミドから形成することによ
り、Cu導体層48とポリイミド絶縁層50との反応を
抑制することができる。
Preferably, the lower insulating layer 46 is made of ionic bond type polyimide and the upper insulating layer 50 is made of ester bond type polyimide. Thus, the upper insulating layer 5
By forming 0 from the ester bond type polyimide, the reaction between the Cu conductor layer 48 and the polyimide insulating layer 50 can be suppressed.

【0049】次に図6乃至図9を参照して、振動に対す
るサスペンションの信頼性を向上した実施例について説
明する。図6はサスペンション22a表面の湾曲部62
に絶縁被覆64を形成したものである。
Next, an embodiment in which the reliability of the suspension against vibration is improved will be described with reference to FIGS. FIG. 6 shows a curved portion 62 on the surface of the suspension 22a.
An insulating coating 64 is formed on the surface.

【0050】湾曲部62はサスペンション22aにバネ
性を与えるために設けられるものであり、この部分に絶
縁被覆64を形成することにより、バネのへたりを防止
することができ、サスペンションの振動特性を向上する
ことができる。
The curved portion 62 is provided to give the suspension 22a a spring property, and by forming an insulating coating 64 on this portion, it is possible to prevent the spring from sagging and to improve the vibration characteristics of the suspension. Can be improved.

【0051】図7はサスペンション22a表面全面に絶
縁被覆66を形成した実施例であり、同様にサスペンシ
ョンの振動特性を向上することができる。図8はサスペ
ンション22aの裏面の湾曲部62に絶縁被覆68を形
成した実施例であり、同様にサスペンションの振動特性
を向上することができる。
FIG. 7 shows an embodiment in which an insulating coating 66 is formed on the entire surface of the suspension 22a, and similarly the vibration characteristics of the suspension can be improved. FIG. 8 shows an embodiment in which an insulating coating 68 is formed on the curved portion 62 on the back surface of the suspension 22a, and similarly, the vibration characteristics of the suspension can be improved.

【0052】図9はサスペンション22aの裏面全面に
絶縁被覆70を形成した実施例であり、同様にサスペン
ションの振動特性を向上することができる。
FIG. 9 shows an embodiment in which an insulating coating 70 is formed on the entire back surface of the suspension 22a, and similarly the vibration characteristics of the suspension can be improved.

【0053】[0053]

【発明の効果】本発明によると、上部サスペンション及
び下部サスペンションをユニットとして一体成形したた
めに、サスペンションの導体パッドとFPCとの接続作
業性を向上できるという効果を奏する。また、配線パタ
ーンをバリア層を含んだ多層構造とすることにより、導
体層のマイグレーションを防止することができ、配線パ
ターンの信頼性を向上できる。
According to the present invention, since the upper suspension and the lower suspension are integrally formed as a unit, the workability of connecting the conductor pad of the suspension and the FPC can be improved. In addition, since the wiring pattern has a multi-layer structure including the barrier layer, migration of the conductor layer can be prevented, and the reliability of the wiring pattern can be improved.

【0054】さらに、各信号線及び接地線の間に導体シ
ールドを設けたことにより、導体パターンの耐ノイズ性
を向上することができる。また、サスペンションの表面
又は裏面の一部又は全面を絶縁被覆することにより、バ
ネのへたりを防止することができ、サスペンションの振
動特性を向上することができる。
Furthermore, by providing the conductor shield between each signal line and the ground line, the noise resistance of the conductor pattern can be improved. Further, by partially or entirely covering the front surface or the back surface of the suspension with insulation, it is possible to prevent the fatigue of the spring and improve the vibration characteristics of the suspension.

【0055】また、サスペンションユニットの折り曲げ
連結部をかしめ固定の際の位置合わせに利用すること
で、上下ヘッド間の位置のばらつきや回転を防止でき、
ヘッド位置決め精度を向上することができる。さらに、
上部サスペンション及び下部サスペンションはサスペン
ションユニットとして一括して製造でき、しかも一度に
アクチュエータアームにかしめ固定できるため、製造工
数を半減することができる。
Further, by utilizing the bent connecting portion of the suspension unit for the positioning at the time of caulking and fixing, it is possible to prevent the position variation between the upper and lower heads and the rotation.
The head positioning accuracy can be improved. further,
The upper suspension and the lower suspension can be manufactured collectively as a suspension unit, and can be swaged and fixed to the actuator arm at a time, so that the number of manufacturing steps can be reduced by half.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明が適用可能な磁気ディスク装置の斜視図
である。
FIG. 1 is a perspective view of a magnetic disk device to which the present invention can be applied.

【図2】本発明実施例のアクチュエータアームアセンブ
リの概略斜視図である。
FIG. 2 is a schematic perspective view of an actuator arm assembly according to an embodiment of the present invention.

【図3】サスペンションユニットの展開図である。FIG. 3 is a development view of a suspension unit.

【図4】図2のA−A線断面図である。4 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【図5】信号線の拡大断面図である。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a signal line.

【図6】サスペンション表面の湾曲部に絶縁被覆を形成
した実施例である。
FIG. 6 is an example in which an insulating coating is formed on the curved portion of the suspension surface.

【図7】サスペンション表面の全面に絶縁被覆を形成し
た実施例である。
FIG. 7 shows an example in which an insulating coating is formed on the entire surface of the suspension.

【図8】サスペンション裏面の湾曲部に絶縁被覆を形成
した実施例である。
FIG. 8 is an example in which an insulating coating is formed on the curved portion on the back surface of the suspension.

【図9】サスペンション裏面の全面に絶縁被覆を形成し
た実施例である。
FIG. 9 shows an example in which an insulating coating is formed on the entire back surface of the suspension.

【図10】従来のアクチュエータアームアセンブリの概
略斜視図である。
FIG. 10 is a schematic perspective view of a conventional actuator arm assembly.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 アクチュエータアーム 22a 上部サスペンション 22b 下部サスペンション 24 磁気ヘッド 30 サスペンションユニット 32 連結部 34 配線パターン 40 FPC 62 湾曲部 64,66,68,70 絶縁被覆 20 Actuator Arm 22a Upper Suspension 22b Lower Suspension 24 Magnetic Head 30 Suspension Unit 32 Connection Part 34 Wiring Pattern 40 FPC 62 Curved Part 64, 66, 68, 70 Insulation Coating

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 アクチュエータアームアセンブリであっ
て、 ベース(4) と;前記ベースに回転可能に取り付けられた
アクチュエータアーム(20)と;前記アクチュエータアー
ムの先端部に固定された、上部サスペンション(22a)と
該上部サスペンションと一体的に形成された下部サスペ
ンション(22b) とを含み、前記上部サスペンション(22
a) は先端部に第1磁気ヘッド(24)を支持するとともに
該第1磁気ヘッドに接続された第1配線パターン(34)を
有し、前記下部サスペンション(22b) は先端部に第2磁
気ヘッド(24)を支持するとともに該第2磁気ヘッドに接
続された第2配線パターンを有するサスペンションユニ
ット(30)とを具備したことを特徴とするアクチュエータ
アームアセンブリ。
1. An actuator arm assembly, comprising: a base (4); an actuator arm (20) rotatably attached to the base; an upper suspension (22a) fixed to the tip of the actuator arm. And a lower suspension (22b) integrally formed with the upper suspension, the upper suspension (22b)
a) has a first wiring pattern (34) which supports the first magnetic head (24) at the tip and is connected to the first magnetic head, and the lower suspension (22b) has a second magnetic pattern at the tip. An actuator arm assembly comprising: a suspension unit (30) supporting a head (24) and having a second wiring pattern connected to the second magnetic head.
【請求項2】 前記第1及び第2配線パターンに一端部
で接続されたフレキシブルプリント配線シート(40)をさ
らに具備したことを特徴とする請求項1記載のアクチュ
エータアームアセンブリ。
2. The actuator arm assembly according to claim 1, further comprising a flexible printed wiring sheet (40) connected to the first and second wiring patterns at one end.
【請求項3】 前記上部サスペンション(22a) 及び下部
サスペンション(22b) は各サスペンションに対して概略
直角に折り曲げられた連結部(32)で一体的に連結されて
おり、該連結部(32)は前記アクチュエータアーム(20)の
先端部(20a)の側面に配置され、前記フレキシブルプリ
ント配線シートは前記連結部(32)で第1及び第2配線パ
ターンに接続されていることを特徴とする請求項2記載
のアクチュエータアームアセンブリ。
3. The upper suspension (22a) and the lower suspension (22b) are integrally connected to each suspension by a connecting portion (32) which is bent at a substantially right angle, and the connecting portion (32) is The flexible printed wiring sheet is arranged on a side surface of a tip portion (20a) of the actuator arm (20), and the flexible printed wiring sheet is connected to the first and second wiring patterns by the connecting portion (32). 2. The actuator arm assembly according to 2.
【請求項4】 前記上部サスペンション(22a) は第1ス
ペーサ(38)を介して前記アクチュエータアーム(20)の先
端部(20a) に固着され、前記下部サスペンション(22b)
は第2スペーサ(38)を介して前記アクチュエータアーム
(20)の先端部(20a) に固着されており、前記連結部(32)
の長さは前記アクチュエータアーム(20)側面の高さと前
記第1及び第2スペーサ(38)の厚さの和に概略等しいこ
とを特徴とする請求項3記載のアクチュエータアームア
センブリ。
4. The upper suspension (22a) is fixed to the tip end portion (20a) of the actuator arm (20) through a first spacer (38), and the lower suspension (22b).
Is the actuator arm through the second spacer (38)
It is fixed to the tip part (20a) of (20), and the connecting part (32)
4. The actuator arm assembly according to claim 3, wherein the length of the actuator arm is approximately equal to the height of the side surface of the actuator arm (20) and the thickness of the first and second spacers (38).
【請求項5】 前記サスペンションユニット(30)はバネ
性を有する金属プレートから形成されており、前記第1
及び第2配線パターンの各々は少なくとも1本の信号線
(42)と少なくとも1本の接地線(44)とを含んでおり、前
記信号線(42)及び前記接地線(44)の各々は前記金属プレ
ート上に形成された下部絶縁層(46)と、該下部絶縁層(4
6)上に形成された下部バリア層(56)と、該下部バリア層
(56)上に形成された導体層(48)と、該導体層(48)上に形
成された上部バリア層(60)と、該上部バリア層(60)上に
形成された上部絶縁層(50)とを含んでいることを特徴と
する請求項1記載のアクチュエータアームアセンブリ。
5. The suspension unit (30) is formed of a metal plate having a spring property,
And each of the second wiring patterns has at least one signal line
(42) and at least one ground wire (44), each of the signal wire (42) and the ground wire (44) includes a lower insulating layer (46) formed on the metal plate. , The lower insulating layer (4
6) a lower barrier layer (56) formed on the lower barrier layer
(56) a conductor layer (48) formed on the conductor layer (48), an upper barrier layer (60) formed on the conductor layer (48), and an upper insulating layer (60) formed on the upper barrier layer (60). 50. The actuator arm assembly of claim 1 including 50).
【請求項6】 前記下部絶縁層(46)はポリイミドから形
成され、前記下部バリア層(56)はクロームから形成さ
れ、前記導体層(48)は銅から形成され、前記上部バリア
層(60)は金から形成され、前記上部絶縁層(50)はポリイ
ミドから形成されることを特徴とする請求項5記載のア
クチュエータアームアセンブリ。
6. The lower insulating layer (46) is formed of polyimide, the lower barrier layer (56) is formed of chrome, the conductor layer (48) is formed of copper, and the upper barrier layer (60). 6. The actuator arm assembly of claim 5, wherein is made of gold and the upper insulating layer (50) is made of polyimide.
【請求項7】 前記導体層(48)と前記上部バリア層(60)
との間にチタニウムから形成された第2上部バリア層(5
8)を介装したことを特徴とする請求項6記載のアクチュ
エータアームアセンブリ。
7. The conductor layer (48) and the upper barrier layer (60)
And a second upper barrier layer (5
8. The actuator arm assembly according to claim 6, wherein 8) is interposed.
【請求項8】 前記信号線(42)と前記接地線(44)の間に
導電性シールド(52)が介装されていることを特徴とする
請求項5記載のアクチュエータアームアセンブリ。
8. The actuator arm assembly according to claim 5, wherein a conductive shield (52) is interposed between the signal line (42) and the ground line (44).
【請求項9】 前記上部サスペンション(22a) 及び下部
サスペンション(22b) はそれぞれサスペンションにバネ
性を付与する湾曲部(62)を有しており、該湾曲部(62)の
表面に絶縁被覆(64)を形成したことを特徴とする請求項
1記載のアクチュエータアームアセンブリ。
9. The upper suspension (22a) and the lower suspension (22b) each have a curved portion (62) for imparting springiness to the suspension, and an insulating coating (64) is provided on the surface of the curved portion (62). ) Is formed, the actuator arm assembly according to claim 1.
【請求項10】 前記上部サスペンション(22a) 及び下
部サスペンション(22b) はそれぞれサスペンションにバ
ネ性を付与する湾曲部(62)を有しており、該湾曲部(62)
の裏面に絶縁被覆(68)を形成したことを特徴とする請求
項1記載のアクチュエータアームアセンブリ。
10. The upper suspension (22a) and the lower suspension (22b) each have a curved portion (62) that imparts springiness to the suspension, and the curved portion (62).
The actuator arm assembly according to claim 1, wherein an insulating coating (68) is formed on a back surface of the actuator arm assembly.
【請求項11】 前記上部サスペンション(22a) の表面
全面及び前記下部サスペンション(22b) の表面全面に絶
縁被覆(66)を形成したことを特徴とする請求項1記載の
アクチュエータアームアセンブリ。
11. The actuator arm assembly according to claim 1, wherein an insulating coating (66) is formed on the entire surface of the upper suspension (22a) and the entire surface of the lower suspension (22b).
【請求項12】 前記上部サスペンション(22a) の裏面
全面及び前記下部サスペンション(22b) の裏面全面に絶
縁被覆(70)を形成したことを特徴とする請求項1記載の
アクチュエータアームアセンブリ。
12. The actuator arm assembly according to claim 1, wherein an insulating coating (70) is formed on the entire back surface of the upper suspension (22a) and the entire back surface of the lower suspension (22b).
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