JPH07261103A - Scanning optical device - Google Patents
Scanning optical deviceInfo
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- JPH07261103A JPH07261103A JP6056080A JP5608094A JPH07261103A JP H07261103 A JPH07261103 A JP H07261103A JP 6056080 A JP6056080 A JP 6056080A JP 5608094 A JP5608094 A JP 5608094A JP H07261103 A JPH07261103 A JP H07261103A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、レーザプリンタ、デジ
タル複写機、レーザファクシミリ等の画像形成装置の書
き込み部等に用いられる走査光学装置に関し、特に、倍
率誤差補正手段を備えた走査光学装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scanning optical device used in a writing section of an image forming apparatus such as a laser printer, a digital copying machine, a laser facsimile, etc., and more particularly to a scanning optical device having a magnification error correcting means. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体レーザ等の光源から射出した光ビ
ームをポリゴンミラー等の光偏向器及び結像素子を介し
て感光体等の被走査面上に導光し、該光ビームで被走査
面上を光走査する走査光学装置が知られており、レーザ
プリンタ、デジタル複写機、レーザファクシミリ等の画
像形成装置の書き込み部に応用されている。このような
走査光学装置において、走査中に走査速度の変動が生じ
た場合、各走査線の信号終了位置にずれが生じて所謂ジ
ッタエラーが発生する。そこで、走査毎の光ビームの走
査速度の周期的変動を測定する測定手段を設け、該測定
手段によって得られた測定結果に応じて同期用のクロッ
クを変化させることで短周期ジッタ（高周波ジッタ）を
補正する手段を備えた走査光学装置が提案されている
（特開平３−１１０５１２号）。ところで、走査光学装
置においては、結像素子の加工誤差や、組付誤差、温
度、湿度等の環境変動などによって倍率誤差が発生し、
これにより光ビームの走査幅が変化し、走査速度が変動
する場合がある。このため、上記と同様に走査毎の光ビ
ーム走査時間を測定し、ページ毎にクロックを倍率誤差
が最小になるように変化させ、倍率誤差を補正する手段
が考えられる。しかしながら、倍率誤差による走査速度
の変動は大きく、クロックの変化量が大きいと対応に限
界があり、クロックを変化させる方法では、電装系の負
担が大きくなる。2. Description of the Related Art A light beam emitted from a light source such as a semiconductor laser is guided onto a surface to be scanned such as a photoconductor through an optical deflector such as a polygon mirror and an image forming element, and the surface to be scanned is scanned with the light beam. 2. Description of the Related Art A scanning optical device that optically scans the top is known, and is applied to a writing unit of an image forming apparatus such as a laser printer, a digital copying machine, a laser facsimile. In such a scanning optical device, when the scanning speed fluctuates during scanning, a so-called jitter error occurs due to a shift in the signal end position of each scanning line. Therefore, measuring means for measuring the periodic fluctuation of the scanning speed of the light beam for each scanning is provided, and the synchronizing clock is changed in accordance with the measurement result obtained by the measuring means, whereby short-term jitter (high-frequency jitter) A scanning optical device provided with a means for correcting the above has been proposed (JP-A-3-110512). By the way, in the scanning optical device, a magnification error occurs due to a processing error of the imaging element, an assembly error, an environmental change such as temperature and humidity,
As a result, the scanning width of the light beam may change and the scanning speed may change. For this reason, it is conceivable to measure the light beam scanning time for each scanning in the same manner as described above, change the clock for each page so that the magnification error is minimized, and correct the magnification error. However, the fluctuation of the scanning speed due to the magnification error is large, and there is a limit to the correspondence when the amount of change of the clock is large, and the method of changing the clock puts a heavy burden on the electrical system.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事情に鑑
みてなされたものであって、その目的とするところは、
倍率誤差の補正手段として、走査毎の光ビーム走査時間
を検知し、クロックに負担をかけずに、ページ毎の倍率
誤差を最小に補正できるように光路長を変動させ、倍率
誤差による変動が大きくても対応できるようにした走査
光学装置を提供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and its object is to:
As a means for correcting the magnification error, the light beam scanning time for each scan is detected, and the optical path length is varied so that the magnification error for each page can be corrected to the minimum without imposing a burden on the clock. However, the present invention also provides a scanning optical device that can deal with the situation.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、光源手段から射出した光ビーム
を光偏向器を介して被走査面上に導光し、該光ビームで
被走査面上を光走査する走査光学装置において、被走査
面の有効露光域外の走査開始部と終端部に光ビーム検出
器を設け、該光ビーム検出器の検出信号から光ビームの
走査時間を測定する測定手段を設け、該測定手段によっ
て得られた測定結果に応じて、偏向器後の光ビーム結像
素子と被走査面との間に設けた光路変更ミラーを前記光
ビーム結像素子の光軸方向に変位させることを特徴とし
ている。In order to achieve the above object, the invention of claim 1 guides a light beam emitted from a light source means onto a surface to be scanned through an optical deflector, and the light beam In a scanning optical device that optically scans a surface to be scanned, a light beam detector is provided at the scanning start portion and the end portion outside the effective exposure area of the surface to be scanned, and the scanning time of the light beam is calculated from the detection signal of the light beam detector. A measuring means for measuring is provided, and an optical path changing mirror provided between the light beam imaging element after the deflector and the surface to be scanned is provided on the light beam imaging element according to the measurement result obtained by the measuring means. The feature is that it is displaced in the optical axis direction.
【０００５】請求項２の発明は、請求項１の走査光学装
置において、光ビーム結像素子がプラスチックからなる
ことを特徴としている。請求項３の発明は、請求項１の
走査光学装置において、光路変更ミラーがプラスチック
からなることを特徴としている。請求項４の発明は、請
求項１，２，３の走査光学装置において、光路変更ミラ
ーが副走査方向に傾き変位することを特徴としている。
請求項５の発明は、請求項１〜４の走査光学装置におい
て、光路変更ミラー後に光ビーム検出器が設けられ、走
査時間が一定となるように光路変更ミラーの変位を制御
することを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, in the scanning optical device according to the first aspect, the light beam imaging element is made of plastic. According to a third aspect of the invention, in the scanning optical device according to the first aspect, the optical path changing mirror is made of plastic. According to a fourth aspect of the present invention, in the scanning optical device according to the first, second and third aspects, the optical path changing mirror is tilted and displaced in the sub-scanning direction.
According to a fifth aspect of the present invention, in the scanning optical device according to the first to fourth aspects, a light beam detector is provided after the optical path changing mirror, and the displacement of the optical path changing mirror is controlled so that the scanning time becomes constant. There is.
【０００６】請求項６の発明は、光源手段から射出した
光ビームを光偏向器を介して被走査面上に導光し、該光
ビームで被走査面上を光走査する走査光学装置におい
て、被走査面の有効露光域外の走査開始部と終端部に光
ビーム検出器を設け、該光ビーム検出器の検出信号から
光ビームの走査時間を測定する測定手段が設けられ、該
測定手段によって得られた測定結果に応じて、偏向器後
の光ビーム結像素子が光軸方向に変位することを特徴と
している。請求項７の発明は、請求項１，４，６の走査
光学装置において、被走査面が副走査方向に曲率を有す
ることを特徴としている。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a scanning optical device for guiding a light beam emitted from a light source means onto a surface to be scanned through an optical deflector, and optically scanning the surface to be scanned with the light beam. A light beam detector is provided at the scanning start portion and the end portion outside the effective exposure area of the surface to be scanned, and a measuring means for measuring the scanning time of the light beam from the detection signal of the light beam detector is provided. It is characterized in that the light beam imaging element after the deflector is displaced in the optical axis direction according to the obtained measurement result. According to a seventh aspect of the present invention, in the scanning optical device according to the first, fourth and sixth aspects, the surface to be scanned has a curvature in the sub-scanning direction.
【０００７】請求項８の発明は、光源手段から射出した
光ビームを光偏向器を介して被走査面上に導光し、該光
ビームで被走査面上を光走査する走査光学装置におい
て、被走査面の有効露光域外の走査開始部と終端部に光
ビーム検出器を設け、該光ビーム検出器の検出信号から
光ビームの走査時間を測定する測定手段が設けられ、該
測定手段によって得られた測定結果に応じて、光源手段
と偏向器と光ビーム結像素子と光路変更ミラーが取付け
られたハウジング部が、ハウジングの一端を支点として
副走査方向に変位することを特徴としている。According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a scanning optical device in which a light beam emitted from a light source means is guided onto a surface to be scanned through an optical deflector and the light beam optically scans the surface to be scanned. A light beam detector is provided at the scanning start portion and the end portion outside the effective exposure area of the surface to be scanned, and a measuring means for measuring the scanning time of the light beam from the detection signal of the light beam detector is provided. It is characterized in that the housing portion, to which the light source means, the deflector, the light beam imaging element, and the optical path changing mirror are attached, is displaced in the sub-scanning direction with one end of the housing as a fulcrum according to the obtained measurement result.
【０００８】請求項９の発明は、請求項１，３の走査光
学装置において、前記測定手段の測定結果に応じて光路
変更ミラーの曲率を変化することを特徴としている。請
求項１０の発明は、請求項９の走査光学装置において、
光路変更ミラーが走査方向に長く、副走査方向に短い有
効径を有し、背面部に副走査方向に対する補強構造を有
していることを特徴としている。請求項１１の発明は、
請求項９の走査光学装置において、光路変更ミラーがあ
らかじめ曲率を有していることを特徴としている。According to a ninth aspect of the invention, in the scanning optical device according to the first and third aspects, the curvature of the optical path changing mirror is changed according to the measurement result of the measuring means. According to a tenth aspect of the invention, in the scanning optical device according to the ninth aspect,
The optical path changing mirror is characterized in that it has a long effective diameter in the scanning direction and a short effective diameter in the sub-scanning direction, and that it has a reinforcing structure in the sub-scanning direction on the back surface. The invention of claim 11 is
The scanning optical device according to claim 9 is characterized in that the optical path changing mirror has a curvature in advance.
【０００９】[0009]
【作用】請求項１の走査光学装置においては、走査毎の
光ビーム走査時間を検知し、ページ毎の倍率誤差を最小
に補正できるよう、光路変更ミラーを光ビーム結像素子
の光軸方向に変位させて光路長を変動させることによ
り、倍率誤差の変動が大きくても対応することが可能と
なり、クロックに負担をかけずに倍率誤差を補正するこ
とが可能となる。請求項２の走査光学装置においては、
光ビーム結像素子に、倍率誤差変動が大きいプラスチッ
ク材料を用いても、請求項１の構成を採用することによ
り倍率誤差の補正が可能となるため、使用光学部品のコ
ストの低減を図ることが可能となる。請求項３の走査光
学装置においては、光路変更ミラーの変位駆動時の負荷
を低減するため、光路変更ミラーにプラスチック材料を
用いることでミラーを軽量化し、負荷を低減することが
可能となる。請求項４の走査光学装置においては、光路
変更ミラーを副走査方向に傾き変位させることにより、
光路変更ミラーの変位量を光軸方向に変位させる場合よ
り小さくでき、駆動の負荷低減を行なうと共に、倍率誤
差を低減することが可能となる。請求項５の走査光学装
置においては、光路変更ミラー後に光ビーム検出器を設
け、走査時間が一定となるように光路変更ミラーの変位
を制御することにより、光路変更ミラーの変位量を検出
でき、倍率誤差を精度良く低減することが可能となる。In the scanning optical apparatus according to the present invention, the optical path changing mirror is arranged in the optical axis direction of the light beam imaging element so that the light beam scanning time for each scanning can be detected and the magnification error for each page can be corrected to the minimum. By displacing and varying the optical path length, it is possible to cope with a large variation in the magnification error, and it is possible to correct the magnification error without burdening the clock. In the scanning optical device according to claim 2,
Even if a plastic material having a large variation in magnification error is used for the light beam imaging element, the magnification error can be corrected by adopting the configuration of claim 1, so that the cost of optical components used can be reduced. It will be possible. In the scanning optical device of the third aspect, since the load at the time of displacement driving of the optical path changing mirror is reduced, the weight can be reduced and the load can be reduced by using a plastic material for the optical path changing mirror. In the scanning optical device according to claim 4, the optical path changing mirror is tilted and displaced in the sub-scanning direction,
The displacement amount of the optical path changing mirror can be made smaller than that in the case of displacing in the optical axis direction, so that it is possible to reduce the driving load and reduce the magnification error. In the scanning optical apparatus according to claim 5, a light beam detector is provided after the optical path changing mirror, and the displacement amount of the optical path changing mirror can be detected by controlling the displacement of the optical path changing mirror so that the scanning time becomes constant, It is possible to accurately reduce the magnification error.
【００１０】請求項６の走査光学装置においては、光ビ
ーム結像素子を変位させることで、変位量を検出すると
共に、倍率誤差を低減することが可能となる。請求項７
の走査光学装置においては、被走査面が副走査方向に曲
率を有することにより、光路変更ミラーあるいは結像素
子の変位量を低減し、倍率誤差を低減することが可能と
なる。請求項８の走査光学装置においては、ハウジング
を変位することにより、ハウジングにより発生する倍率
誤差を低減することが可能となる。請求項９の走査光学
装置においては、光路変更ミラーを変形させることによ
り、レンズ効果を持たせ、倍率誤差を低減することが可
能となる。請求項１０の走査光学装置においては、光路
変更ミラーが走査方向に長く、副走査方向に短い有効径
を有し、背面部に副走査方向に対する補強構造を有して
いることにより、副走査方向に光路変更ミラーの変形が
発生しないようにし、主走査方向における倍率誤差を低
減することが可能となる。請求項１１の走査光学装置に
おいては、光路変更ミラーがあらかじめ曲率を有してお
り、ミラーにあらかじめレンズ効果を持たせることで、
ミラーの加工精度を低減すると共に、倍率誤差を低減す
ることが可能となる。In the scanning optical apparatus according to the sixth aspect, by displacing the light beam imaging element, it is possible to detect the displacement amount and reduce the magnification error. Claim 7
In the scanning optical device, since the surface to be scanned has a curvature in the sub-scanning direction, it is possible to reduce the displacement amount of the optical path changing mirror or the image forming element and reduce the magnification error. In the scanning optical device according to the eighth aspect, by displacing the housing, it becomes possible to reduce a magnification error caused by the housing. In the scanning optical device according to the ninth aspect, by deforming the optical path changing mirror, it is possible to provide a lens effect and reduce a magnification error. The scanning optical device according to claim 10, wherein the optical path changing mirror has a long effective diameter in the scanning direction, an effective diameter short in the sub-scanning direction, and a rear surface having a reinforcing structure for the sub-scanning direction. It is possible to prevent the deformation of the optical path changing mirror and to reduce the magnification error in the main scanning direction. In the scanning optical device according to claim 11, wherein the optical path changing mirror has a curvature in advance, and the mirror has a lens effect in advance,
It is possible to reduce the processing accuracy of the mirror and the magnification error.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて詳細
に説明する。図１は本発明の一実施例を示す走査光学装
置の概略構成図であって、光源手段から被走査面に到る
光路を主走査方向の平面（偏向走査面）上に展開した状
態を表わす図である。図１において、符号１は半導体レ
ーザ等の光源手段、２はコリメータレンズ、３はシリン
ダレンズ、４はポリゴンミラー（光偏向器）、４ａはポ
リゴンミラーの偏向反射面、５はｆθレンズや面倒れ補
正光学系等の光ビーム結像素子、６は感光体、６ａは感
光体の被走査面上の走査位置、７，７’は同期検出用シ
リンダレンズ、８，８’は光ビーム検出器、９は光ビー
ムの走査時間を測定する測定手段、１０は光路変更ミラ
ー、Ａの矢印はポリゴンミラーの回転方向、Ｏはポリゴ
ンミラーの回転中心である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below based on the illustrated embodiments. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a scanning optical device showing an embodiment of the present invention, showing a state in which an optical path from a light source means to a scanned surface is developed on a plane (deflection scanning surface) in the main scanning direction. It is a figure. In FIG. 1, reference numeral 1 is a light source means such as a semiconductor laser, 2 is a collimator lens, 3 is a cylinder lens, 4 is a polygon mirror (optical deflector), 4a is a deflection reflection surface of the polygon mirror, and 5 is an fθ lens or a surface tilt. A light beam imaging element such as a correction optical system, 6 is a photoconductor, 6a is a scanning position on the surface to be scanned of the photoconductor, 7 and 7'is a cylinder lens for synchronous detection, 8 and 8'is a light beam detector, Reference numeral 9 is a measuring means for measuring the scanning time of the light beam, 10 is an optical path changing mirror, arrow A is the direction of rotation of the polygon mirror, and O is the center of rotation of the polygon mirror.
【００１２】光源手段１から射出されコリメータレンズ
２で平行光束とされた光ビームは、シリンダレンズ３を
通過した後、ポリゴンミラー４の偏向反射面４ａで偏向
走査される。この偏向された光ビームは、ｆθレンズ等
の光ビーム結像素子５を通って、感光体６の被走査面上
の走査位置６ａに微小なスポット光として結像され、被
走査面上を等速走査される。被走査面の有効露光域外の
光ビームの走査開始部と終端部には同期検出用シリンダ
レンズ７，７’及び光ビーム検出器８，８’が設けられ
ており、走査毎の走査開始時には光ビームが走査開始部
の同期検出用シリンダレンズ７を介して光ビーム検出器
８に照射され書込開始の同期信号の検出が行なわれる。
そして感光体６の被走査面上の走査位置６ａを等速走査
した後、終端部の同期検出用シリンダレンズ７’を介し
て光ビーム検出器８’により一走査の終了が検出され
る。この時、図４に示すように、基準クロックＡ0 に対
し、光ビーム検出器８，８’の信号から測定される一走
査の走査時間ａ0 は、倍率誤差が一定の時、走査幅の変
化が発生しないため、Ａ0−ａ0は一定である。しかし、
倍率誤差が結像素子の加工精度や組付誤差、温度、湿度
等の環境変動などにより発生した場合、図３に示すよう
に、走査幅がＬからＬ＋ΔＬに変化し、これに伴う被走
査面上での走査速度の変化によりＡ0−ａ0は変動する。
従って、この走査速度の変動の周期及び大きさから倍率
誤差（走査幅変動）の発生を検出することができる。
尚、図１の９はその変動を測定する測定手段である。The light beam emitted from the light source means 1 and made into a parallel light beam by the collimator lens 2 passes through the cylinder lens 3 and is deflected and scanned by the deflecting / reflecting surface 4a of the polygon mirror 4. The deflected light beam passes through a light beam imaging element 5 such as an fθ lens and is imaged as a minute spot light at a scanning position 6a on the surface to be scanned of the photoconductor 6 so as to form a small spot light on the surface to be scanned. It is scanned quickly. Synchronous detection cylinder lenses 7 and 7 ′ and light beam detectors 8 and 8 ′ are provided at the scanning start portion and the end portion of the light beam outside the effective exposure area of the surface to be scanned, and the light beams are detected at the start of each scan. The beam is applied to the light beam detector 8 through the synchronization detecting cylinder lens 7 at the scanning start portion to detect the writing start synchronizing signal.
After scanning the scanning position 6a on the surface to be scanned of the photoconductor 6 at a constant speed, the end of one scanning is detected by the light beam detector 8'through the synchronous detection cylinder lens 7 '. At this time, as shown in FIG. 4, with respect to the reference clock A 0 , the scanning time a 0 of one scan measured from the signals of the light beam detectors 8 and 8 ′ is equal to the scanning width when the magnification error is constant. Since no change occurs, A 0 −a 0 is constant. But,
When the magnification error occurs due to processing accuracy of the imaging element, assembly error, environmental changes such as temperature, humidity, etc., the scanning width changes from L to L + ΔL as shown in FIG. A 0 −a 0 changes due to the change in the scanning speed above.
Therefore, the occurrence of a magnification error (scanning width fluctuation) can be detected from the cycle and the magnitude of the fluctuation of the scanning speed.
Incidentally, 9 in FIG. 1 is a measuring means for measuring the fluctuation.
【００１３】ここで、請求項１の発明では、上記測定手
段９によって得られた測定結果に応じて、偏向器後の光
ビーム結像素子５と感光体６の被走査面との間に設けた
光路変更ミラー１０を光ビーム結像素子５の光軸方向に
変位させて倍率誤差を補正するものである。すなわち、
図２に示すように、Ａ0−ａ0の変動を測定した結果、走
査速度が通常より速い場合、倍率誤差が＋側に発生する
ため、感光体６の被走査面を結像素子５より離す方向
で、図示しない移動機構により光路変更ミラー１０を１
０’の破線で示す位置に移動する。この時の光路変更ミ
ラー１０の移動量をΔとすると、結像素子５と被走査面
の距離はΔだけ変化し、その変化により走査幅が変化す
るため倍率誤差が補正される。Here, according to the first aspect of the invention, depending on the measurement result obtained by the measuring means 9, it is provided between the light beam imaging element 5 after the deflector and the surface to be scanned of the photosensitive member 6. The optical path changing mirror 10 is displaced in the optical axis direction of the light beam imaging element 5 to correct the magnification error. That is,
As shown in FIG. 2, as a result of measuring the variation of A 0 −a 0 , when the scanning speed is faster than usual, a magnification error occurs on the + side. In the separating direction, the optical path changing mirror 10 is moved by the moving mechanism (not shown).
Move to the position indicated by the broken line of 0 '. Assuming that the movement amount of the optical path changing mirror 10 at this time is Δ, the distance between the imaging element 5 and the surface to be scanned changes by Δ, and the scanning width changes due to the change, so that the magnification error is corrected.
【００１４】次に、請求項２の発明では、上記光ビーム
結像素子５をプラスチックで形成したものである。光ビ
ーム結像素子５をプラスチックにした場合、図５に示す
ように、所定の環境に対し温度あるいは湿度の変動によ
り、走査幅はＬ0 からＬ1 に変化する。そのため、図５
のようにｙだけ走査位置をずらす必要があるが、これを
請求項１の実施例のように光路変更ミラー１０を変位さ
せることで行なうことにより、プラスチックを用いたこ
とによる倍率変動を低減することができる。したがっ
て、結像素子をプラスチックで形成しても、上記のよう
に倍率誤差の補正を行なうことができ、しかもプラスチ
ック材料は光学ガラスに比べてコストが安く、軽量であ
るというメリットがあるため、低コストで軽量で走査精
度の高い走査光学装置を実現できる。Next, in the invention of claim 2, the light beam imaging element 5 is formed of plastic. When the light beam imaging element 5 is made of plastic, as shown in FIG. 5, the scanning width changes from L 0 to L 1 due to a change in temperature or humidity with respect to a predetermined environment. Therefore,
As described above, it is necessary to shift the scanning position by y, but by performing this by displacing the optical path changing mirror 10 as in the embodiment of claim 1, it is possible to reduce the magnification variation due to the use of plastic. You can Therefore, even if the imaging element is made of plastic, the magnification error can be corrected as described above, and the plastic material has the advantages of lower cost and lighter weight than optical glass. It is possible to realize a scanning optical device that is lightweight and has high scanning accuracy.
【００１５】次に請求項３の発明は、上記光路変更ミラ
ー１０をプラスチックで形成したものである。ミラーは
通常ガラスにより作製されているが、変位するには質量
が大きいため、プラスチックで形成することにより軽量
化を図ることができ、変位時の駆動系の負担を軽減する
ことができる。Next, the invention of claim 3 is such that the optical path changing mirror 10 is formed of plastic. The mirror is usually made of glass, but since it has a large mass for displacement, it can be made lighter by being made of plastic, and the load on the drive system during displacement can be reduced.
【００１６】次に請求項４の発明は、光路変更ミラー１
０を副走査方向に傾き変位させるようにしたものであ
る。図６のように、光路変更ミラー１０をその一端１１
を支点として１０’の破線で示す位置に傾けることによ
り、感光体１２上の走査位置は１２ａから１２ａ’に変
化し、光路長が変化する。この傾き量により、倍率誤差
を補正することができる。この方式では、ミラーを光軸
方向に変位させる場合よりミラーの変位量を小さくで
き、駆動機構の負担を軽減することができる。図７は光
路変更ミラー１０を傾き変位させるための駆動機構の一
実施例であり、ミラー１０の一端側に設けたヒンジ部１
１’を支点として、ミラー１０を例えば圧電素子１３を
用いて変位させるものである。Next, a fourth aspect of the invention is an optical path changing mirror 1.
In this configuration, 0 is tilted and displaced in the sub-scanning direction. As shown in FIG. 6, the optical path changing mirror 10 is provided with one end 11 thereof.
By tilting to the position indicated by the broken line 10 'with the fulcrum as the fulcrum, the scanning position on the photoconductor 12 changes from 12a to 12a', and the optical path length changes. The magnification error can be corrected by this amount of inclination. With this method, the amount of displacement of the mirror can be made smaller than when the mirror is displaced in the optical axis direction, and the load on the drive mechanism can be reduced. FIG. 7 shows an embodiment of a drive mechanism for tilting and displacing the optical path changing mirror 10. The hinge unit 1 provided at one end of the mirror 10 is shown in FIG.
The mirror 10 is displaced by using, for example, the piezoelectric element 13 with 1'as a fulcrum.
【００１７】次に請求項５の発明は、図８の実施例に示
すように、光路変更ミラー１０の後に光ビーム検出器
８，８’を配置し、走査時間が一定となるように光路変
更ミラー１０の変位を制御するものである。すなわち、
光路変更ミラー１０以後に光ビーム検出器８，８’を配
置することで、光路変更後の光ビームを検知することが
できるため、倍率誤差の変化とミラー位置の変化が同時
に測定可能となる。そのため、倍率誤差の補正精度を向
上することができる。ここで、図９は光ビーム検出器
８，８’の配置位置の一例を示す図であり、感光体６の
両脇に光ビーム検出器８，８’を配置した例である。本
実施例では、光ビーム検出器８，８’の信号測定後、ミ
ラー変位駆動機構に結果をフィードバックすればよく、
精度良く倍率誤差が補正される。Next, in the invention of claim 5, as shown in the embodiment of FIG. 8, the light beam detectors 8 and 8'are arranged after the optical path changing mirror 10 and the optical path is changed so that the scanning time becomes constant. The displacement of the mirror 10 is controlled. That is,
By arranging the light beam detectors 8 and 8 ′ after the optical path changing mirror 10, the light beam after changing the optical path can be detected, so that the change in magnification error and the change in mirror position can be measured at the same time. Therefore, the correction accuracy of the magnification error can be improved. Here, FIG. 9 is a diagram showing an example of arrangement positions of the light beam detectors 8 and 8 ′, and is an example in which the light beam detectors 8 and 8 ′ are arranged on both sides of the photoconductor 6. In this embodiment, after measuring the signals of the light beam detectors 8 and 8 ′, the result may be fed back to the mirror displacement driving mechanism,
The magnification error is accurately corrected.
【００１８】次に請求項６の発明は、上記測定手段９に
よって得られた測定結果に応じて、偏向器後の光ビーム
結像素子５を光軸方向に変位させるものである。すなわ
ち、図１０に示すように、ミラー１０を変位させずに、
光ビーム結像素子５をｙ方向に変位させても同様な効果
が得られる。この場合、光ビーム結像素子５は光路変更
ミラー１０より小さい光学素子であるため、変位に対し
有利であり、駆動機構の負担を軽減することができる。Next, the invention of claim 6 is to displace the light beam imaging element 5 after the deflector in the optical axis direction according to the measurement result obtained by the measuring means 9. That is, as shown in FIG. 10, without displacing the mirror 10,
The same effect can be obtained by displacing the light beam imaging element 5 in the y direction. In this case, since the light beam imaging element 5 is an optical element smaller than the optical path changing mirror 10, it is advantageous for displacement and the load on the drive mechanism can be reduced.
【００１９】次に請求項７の発明は、感光体等の被走査
面が副走査方向に曲率を有する構成としたものである。
図２に示すように、感光体６がドラム状で副走査方向に
曲率を有する場合、光路変更ミラー１０を結像素子の光
軸方向に１０’の位置まで変位させると、感光体６上の
走査位置は６ａから６ａ’に変位し、ミラー変位量Δに
加え、δ分の変位も加わる。そのため、図３に示すΔ＋
δの変化に対し、走査幅ＬはＬ＋ΔＬに変化し、有効に
倍率誤差を補正することができる。Next, the invention of claim 7 is such that the surface to be scanned of the photosensitive member or the like has a curvature in the sub-scanning direction.
As shown in FIG. 2, when the photoconductor 6 has a drum shape and has a curvature in the sub-scanning direction, when the optical path changing mirror 10 is displaced to a position 10 ′ in the optical axis direction of the image forming element, the photoconductor 6 on the photoconductor 6 is displaced. The scanning position is displaced from 6a to 6a ', and a displacement of δ is added in addition to the mirror displacement amount Δ. Therefore, Δ + shown in FIG.
The scanning width L changes to L + ΔL with respect to the change of δ, and the magnification error can be effectively corrected.
【００２０】次に請求項８の発明は、上記測定手段によ
って得られた測定結果に応じて、光源手段１と偏向器４
と光ビーム結像素子５と光路変更ミラー１０等が取付け
られたハウジング部１４が、ハウジング１４の一端１
４’を支点として副走査方向に変位する構成としたもの
である。すなわち、図１１の実施例に示すように、ハウ
ジング１４の中には、偏向器４と結像素子５と光路変更
ミラー１０が有り（光源手段、コリメータレンズ等の図
示は省略した）、ハウジング１４の一端部１４’に設け
たヒンジを支点として副走査方向に変位し、感光体６と
の距離を変化させるものである。尚、図中の８，８’は
光ビーム検出器であり、ハウジング１４の変位による走
査時間の変化を検知することができる。本発明によれ
ば、倍率誤差の補正に加えて、ハウジングの加工誤差に
よる光路長のバラツキも吸収することが可能となる。Next, according to the invention of claim 8, the light source means 1 and the deflector 4 are responsive to the measurement result obtained by the measuring means.
The housing portion 14 to which the light beam imaging element 5, the optical path changing mirror 10 and the like are attached is the one end 1 of the housing 14.
4'is used as a fulcrum for displacement in the sub-scanning direction. That is, as shown in the embodiment of FIG. 11, the deflector 4, the imaging element 5, and the optical path changing mirror 10 are provided in the housing 14 (the light source means, the collimator lens and the like are omitted), and the housing 14 is provided. The hinge provided on the one end portion 14 'is displaced as a fulcrum in the sub-scanning direction to change the distance from the photoconductor 6. Reference numerals 8 and 8'in the figure denote light beam detectors, which can detect changes in scanning time due to displacement of the housing 14. According to the present invention, in addition to the correction of the magnification error, it is possible to absorb the variation of the optical path length due to the processing error of the housing.
【００２１】次に請求項９の発明は、上記測定手段の測
定結果に応じて光路変更ミラー１０の曲率を変化する構
成としたものである。図１２に光路変更ミラー１０を変
形させ曲率を変化する機構の一例を示す。図中１５は光
路変更ミラーの支持点であり、該支持点１５はミラー１
０の両端を支えるようにしてハウジング（図示せず）に
固定されている。ミラー１０の背面側中央部と図示しな
い支持部材との間には圧電素子１３が取り付けられてお
り、圧電素子１３を駆動して変位させることでミラー１
０を変形させ、曲率を変化することができる。ここで、
圧電素子１３の変位量をΔとすると、曲率Ｒは、 Ｒ＝（ｒ2＋Δ2）／２Δ （ｒは支持点１５の間隔の１／２）で近似できる。平面
に対し、ミラー１０が凸に変形すると、レンズとして凹
レンズのパワーを有するため、走査幅を拡げる方向とな
り、ミラー１０が凹に変形するとその逆となる。これに
より、倍率誤差を補正することができる。Next, the invention of claim 9 is such that the curvature of the optical path changing mirror 10 is changed according to the measurement result of the measuring means. FIG. 12 shows an example of a mechanism for changing the curvature by deforming the optical path changing mirror 10. In the figure, 15 is a support point of the optical path changing mirror, and the support point 15 is the mirror 1.
It is fixed to a housing (not shown) so as to support both ends of 0. A piezoelectric element 13 is attached between a central portion on the back side of the mirror 10 and a support member (not shown), and the piezoelectric element 13 is driven and displaced to move the mirror 1.
0 can be deformed to change the curvature. here,
When the displacement amount of the piezoelectric element 13 is Δ, the curvature R can be approximated by R = (r 2 + Δ 2 ) / 2Δ (r is 1/2 of the interval between the support points 15). When the mirror 10 is convexly deformed with respect to the plane, it has the power of a concave lens as a lens, so that the scanning width is widened, and vice versa when the mirror 10 is concavely deformed. Thereby, the magnification error can be corrected.
【００２２】次に請求項１０の発明は、光路変更ミラー
１０が走査方向（主走査方向）に長く、副走査方向に短
い有効径を有し、背面部に副走査方向に対する補強構造
を有する構成としたものである。図１３に光路変更ミラ
ー背面部の補強部材１６の一例を示す。倍率誤差は走査
方向の変化であるため、ミラーの曲率の変化も走査方向
になることが望ましい。そのため、ミラー１０の副走査
方向の変化を抑える必要があり、ミラー１０の背面部に
副走査方向に対する補強部材１６を設けることにより副
走査方向の変形が抑えられ、副走査方向の結像性を保つ
ことができる。In a tenth aspect of the invention, the optical path changing mirror 10 has a long effective diameter in the scanning direction (main scanning direction) and a short effective diameter in the sub-scanning direction, and a rear surface having a reinforcing structure for the sub-scanning direction. It is what FIG. 13 shows an example of the reinforcing member 16 on the rear surface of the optical path changing mirror. Since the magnification error is a change in the scanning direction, it is desirable that the curvature of the mirror also changes in the scanning direction. Therefore, it is necessary to suppress the change in the sub-scanning direction of the mirror 10, and by providing the reinforcing member 16 on the back surface of the mirror 10 in the sub-scanning direction, the deformation in the sub-scanning direction is suppressed and the image forming property in the sub-scanning direction is reduced. Can be kept.
【００２３】次に請求項１１の発明は、光路変更ミラー
１０があらかじめ曲率を有している構成としたものであ
る。図１４に一実施例を示す。図１４に示すように、例
えば光路変更ミラー１０をあらかじめ凹ミラーにするこ
とで、プラスチック化することに対し、加工の難度を低
減することができる。図中１５は光路変更ミラー１０の
支持点であり、ミラー１０の両端を支えるようにハウジ
ング（図示せず）に固定されている。ミラー１０の背面
側中央部と図示しない支持部材との間には圧電素子１３
が取り付けられており、ミラー１０を凹ミラーとしたこ
とでミラーの弾性による保持が可能となり、圧電素子１
３を駆動して変位させることでミラー１０の反射面の曲
率を、１０ｃの凹面、１０ｃ’の平面、１０ｃ”の凸面
と変化させることができ、必要に応じて倍率誤差（走査
幅変動）を補正することができる。Next, the invention of claim 11 is such that the optical path changing mirror 10 has a curvature in advance. FIG. 14 shows an embodiment. As shown in FIG. 14, for example, by forming the optical path changing mirror 10 into a concave mirror in advance, it is possible to reduce the difficulty of processing as compared with plasticization. Reference numeral 15 in the drawing denotes a support point of the optical path changing mirror 10, which is fixed to a housing (not shown) so as to support both ends of the mirror 10. The piezoelectric element 13 is provided between the central portion on the rear surface side of the mirror 10 and a support member (not shown).
Since the mirror 10 is a concave mirror, it can be held by the elasticity of the mirror.
By driving and displacing 3, the curvature of the reflection surface of the mirror 10 can be changed to a concave surface of 10c, a flat surface of 10c ', and a convex surface of 10c ", and a magnification error (scan width variation) can be obtained as necessary. Can be corrected.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の走査光
学装置においては、光路変更ミラーを光軸方向に変位さ
せて倍率誤差を補正することにより、クロックの変更を
必要としないため、電装系の負荷が低減すると共に、倍
率誤差の補正範囲が拡大し、画像品質を向上することが
できる。請求項２の走査光学装置においては、プラスチ
ックという変動が大きい材料を使用するが、請求項１の
装置構成とすることで倍率誤差の補正ができるため、材
料コストの低減が可能となると共に倍率誤差の小さい画
像を得ることができる。請求項３の走査光学装置におい
ては、光路変更ミラーをプラスチックを用いて作製する
ことで軽量化を実現することができ、変位のための駆動
機構の負荷を軽減することができる。請求項４の走査光
学装置においては、光路変更ミラーを副走査方向に傾き
変位させることにより、光路変更ミラーの変位量を光軸
方向に変位させる場合より小さくでき、変位のための駆
動機構の負荷を低減でき、倍率誤差の低減を図ることが
できる。請求項５の走査光学装置においては、光路変更
ミラーの変位量が走査時間の変化として光ビーム検出器
に表れるため、倍率誤差を精度良く補正することができ
る。As described above, in the scanning optical apparatus according to the first aspect, the clock is not required to be changed by displacing the optical path changing mirror in the optical axis direction to correct the magnification error. The load on the system is reduced, the correction range of the magnification error is expanded, and the image quality can be improved. In the scanning optical device according to the second aspect, a material having a large fluctuation, that is, plastic is used. However, since the magnification error can be corrected by using the device configuration according to the first aspect, it is possible to reduce the material cost and the magnification error. You can get a small image of. In the scanning optical device according to the third aspect, it is possible to reduce the weight by manufacturing the optical path changing mirror using plastic, and it is possible to reduce the load on the drive mechanism for displacement. In the scanning optical device according to claim 4, by displacing the optical path changing mirror in the sub-scanning direction, the displacement amount of the optical path changing mirror can be made smaller than in the case of displacing the optical path changing mirror in the optical axis direction. Can be reduced, and the magnification error can be reduced. In the scanning optical device according to the fifth aspect, since the displacement amount of the optical path changing mirror appears in the light beam detector as a change in scanning time, the magnification error can be accurately corrected.
【００２５】請求項６の走査光学装置においては、光ビ
ーム結像素子の変位量が走査時間の変化として光ビーム
検出器に現れるため、倍率誤差を精度良く補正すること
ができる。請求項７の走査光学装置においては、光路変
更ミラーや結像素子の変位量が小さくても、充分に光路
長が変化するため、倍率誤差の補正を効率良く行なうこ
とができる。請求項８の走査光学装置においては、走査
時間の測定結果に応じてハウジングが変位するため、ハ
ウジングの加工精度による倍率誤差をも吸収でき、環境
等の変動があっても倍率誤差を低減することができる。
請求項９の走査光学装置においては、走査時間の測定結
果に応じて光路変更ミラーの曲率を変化することによ
り、変位量が小さくても、倍率誤差を充分に補正するこ
とができる。請求項１０の走査光学装置においては、光
路変更ミラーの背面部に副走査方向に対する補強構造を
設けたことにより、光路変更ミラーが副走査方向に変形
しないため、光路変更ミラーの曲率を変化して倍率誤差
の補正を行なっても、副走査方向の結像性能が変化しな
い。プラスチック等で成形したミラーの平面精度の管理
は難しいが、請求項１１の走査光学装置においては、光
路変更ミラーにあらかじめ曲率を持たせているため加工
精度を低減することができ、さらにその曲面形状を変形
することにより倍率誤差を充分に低減することができ
る。In the scanning optical device of the sixth aspect, the displacement amount of the light beam imaging element appears in the light beam detector as a change in scanning time, so that the magnification error can be accurately corrected. In the scanning optical device according to the seventh aspect, even if the displacement amount of the optical path changing mirror or the imaging element is small, the optical path length is sufficiently changed, so that the magnification error can be efficiently corrected. In the scanning optical device according to claim 8, since the housing is displaced according to the measurement result of the scanning time, it is possible to absorb the magnification error due to the processing accuracy of the housing, and reduce the magnification error even if the environment changes. You can
In the scanning optical device of the ninth aspect, by changing the curvature of the optical path changing mirror according to the measurement result of the scanning time, it is possible to sufficiently correct the magnification error even if the displacement amount is small. In the scanning optical device according to claim 10, since the optical path changing mirror is not deformed in the sub scanning direction by providing the back structure of the optical path changing mirror with the reinforcing structure in the sub scanning direction, the curvature of the optical path changing mirror is changed. Even if the magnification error is corrected, the imaging performance in the sub-scanning direction does not change. It is difficult to control the plane accuracy of the mirror formed of plastic or the like, but in the scanning optical device according to claim 11, since the optical path changing mirror has a curvature in advance, it is possible to reduce the processing accuracy, and further the curved surface shape thereof. By deforming, it is possible to sufficiently reduce the magnification error.
【図１】本発明の一実施例を示す走査光学装置の概略構
成図であって、光源手段から被走査面に到る光路を主走
査方向の平面（偏向走査面）上に展開した状態を表わす
図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a scanning optical device showing an embodiment of the present invention, showing a state in which an optical path from a light source means to a surface to be scanned is developed on a plane (deflection scanning surface) in a main scanning direction. FIG.
【図２】本発明の一実施例を示す図であって、光路変更
ミラーの光軸方向の変位により倍率誤差を補正する場合
の説明図である。FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention and is an explanatory diagram for a case where a magnification error is corrected by displacement of an optical path changing mirror in the optical axis direction.
【図３】走査幅と走査位置の関係の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a relationship between a scanning width and a scanning position.
【図４】基準クロック（Ａ0）と、光ビーム検出器の検
出信号及びその信号から測定される走査時間（ａ0）の
関係を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a reference clock (A 0 ), a detection signal of the light beam detector and a scanning time (a 0 ) measured from the signal.
【図５】環境変化等による光ビーム結像素子の倍率変動
による走査幅の変化とその補正方法の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a change in scanning width due to a change in magnification of a light beam imaging element due to a change in environment or the like and a correction method thereof.
【図６】本発明の別の実施例を示す図であって、光路変
更ミラーの副走査方向への傾き変位により倍率誤差を補
正する場合の説明図である。FIG. 6 is a diagram showing another embodiment of the present invention, and is an explanatory diagram in the case of correcting a magnification error by tilt displacement of the optical path changing mirror in the sub-scanning direction.
【図７】光路変更ミラーの副走査方向への傾き変位を行
なうための駆動機構の一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an example of a drive mechanism for performing a tilt displacement of an optical path changing mirror in a sub scanning direction.
【図８】本発明のさらに別の実施例を示す図であって、
光ビーム検出器を光路変更ミラーの後に設けた例を示す
図である。FIG. 8 is a diagram showing still another embodiment of the present invention,
It is a figure which shows the example which provided the light beam detector after the optical path changing mirror.
【図９】光ビーム検出器を光路変更ミラーの後に設けた
場合の配置例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing an arrangement example when a light beam detector is provided after an optical path changing mirror.
【図１０】本発明のさらに別の実施例を示す図であっ
て、偏向器後の光ビーム結像素子を光軸方向に変位させ
て倍率誤差を補正する場合の説明図である。FIG. 10 is a diagram showing yet another embodiment of the present invention, and is an explanatory diagram in the case where a light beam imaging element after a deflector is displaced in the optical axis direction to correct a magnification error.
【図１１】本発明のさらに別の実施例を示す図であっ
て、ハウジングを副走査方向に変位させて倍率誤差を補
正する場合の説明図である。FIG. 11 is a view showing still another embodiment of the present invention, which is an explanatory view when the housing is displaced in the sub-scanning direction to correct the magnification error.
【図１２】本発明のさらに別の実施例を示す図であっ
て、光路変更ミラーの曲率を変化させて倍率誤差を補正
する場合の説明図である。FIG. 12 is a diagram showing still another embodiment of the present invention, and is an explanatory diagram in the case of correcting the magnification error by changing the curvature of the optical path changing mirror.
【図１３】本発明のさらに別の実施例を示す図であっ
て、光路変更ミラーの背面部に設けた補強構造の一例を
示す図である。FIG. 13 is a view showing still another embodiment of the present invention and is a view showing an example of the reinforcing structure provided on the back surface of the optical path changing mirror.
【図１４】本発明のさらに別の実施例を示す図であっ
て、あらかじめ曲率を有する光路変更ミラーの曲率を変
化させて倍率誤差を補正する場合の説明図である。FIG. 14 is a diagram showing yet another embodiment of the present invention, which is an explanatory diagram for correcting a magnification error by changing the curvature of an optical path changing mirror having a curvature in advance.
１：光源手段（半導体レーザ等） ２：コリメータレンズ ３：シリンダレンズ ４：光偏向器（ポリゴンミラー等） ４ａ：偏向反射面 ５：光ビーム結像素子 ６，１２：被走査媒体（感光体） ７，７’：同期検出用シリンダレンズ ８，８’：光ビーム検出器 ９：走査時間の測定手段 １０：光路変更ミラー １３：変位駆動手段（圧電素子等） １４：ハウジング １６：補強部材 1: Light source means (semiconductor laser etc.) 2: Collimator lens 3: Cylinder lens 4: Optical deflector (polygon mirror etc.) 4a: Deflection reflection surface 5: Light beam image forming element 6, 12: Scanned medium (photoreceptor) 7, 7 ': Synchronous detection cylinder lens 8, 8': Light beam detector 9: Scanning time measuring means 10: Optical path changing mirror 13: Displacement driving means (piezoelectric element etc.) 14: Housing 16: Reinforcing member
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０４Ｎ 1/113 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI technical indication H04N 1/113
Claims (11)
を介して被走査面上に導光し、該光ビームで被走査面上
を光走査する走査光学装置において、 被走査面の有効露光域外の走査開始部と終端部に光ビー
ム検出器を設け、該光ビーム検出器の検出信号から光ビ
ームの走査時間を測定する測定手段が設けられ、該測定
手段によって得られた測定結果に応じて、偏向器後の光
ビーム結像素子と被走査面との間に設けた光路変更ミラ
ーが前記光ビーム結像素子の光軸方向に変位することを
特徴とする走査光学装置。1. A scanning optical device for guiding a light beam emitted from a light source means onto a surface to be scanned through an optical deflector, and optically scanning the surface to be scanned with the light beam. The light beam detector is provided at the scanning start portion and the end portion outside the exposure area, and the measuring means for measuring the scanning time of the light beam from the detection signal of the light beam detector is provided, and the measurement result obtained by the measuring means is provided. Accordingly, the optical path changing mirror provided between the light beam imaging element after the deflector and the surface to be scanned is displaced in the optical axis direction of the light beam imaging element.
ビーム結像素子がプラスチックからなることを特徴とす
る走査光学装置。2. The scanning optical device according to claim 1, wherein the light beam imaging element is made of plastic.
路変更ミラーがプラスチックからなることを特徴とする
走査光学装置。3. The scanning optical device according to claim 1, wherein the optical path changing mirror is made of plastic.
いて、光路変更ミラーが副走査方向に傾き変位すること
を特徴とする走査光学装置。4. The scanning optical device according to claim 1, wherein the optical path changing mirror is tilted and displaced in the sub-scanning direction.
て、光路変更ミラー後に光ビーム検出器が設けられ、走
査時間が一定となるように光路変更ミラーの変位を制御
することを特徴とする走査光学装置。5. The scanning optical device according to claim 1, wherein a light beam detector is provided after the optical path changing mirror, and the displacement of the optical path changing mirror is controlled so that the scanning time becomes constant. Scanning optics.
を介して被走査面上に導光し、該光ビームで被走査面上
を光走査する走査光学装置において、 被走査面の有効露光域外の走査開始部と終端部に光ビー
ム検出器を設け、該光ビーム検出器の検出信号から光ビ
ームの走査時間を測定する測定手段が設けられ、該測定
手段によって得られた測定結果に応じて、偏向器後の光
ビーム結像素子が光軸方向に変位することを特徴とする
走査光学装置。6. A scanning optical device for guiding a light beam emitted from a light source means onto a surface to be scanned through an optical deflector, and optically scanning the surface to be scanned with the light beam. The light beam detector is provided at the scanning start portion and the end portion outside the exposure area, and the measuring means for measuring the scanning time of the light beam from the detection signal of the light beam detector is provided, and the measurement result obtained by the measuring means is provided. Accordingly, the light beam imaging element after the deflector is displaced in the optical axis direction.
いて、被走査面が副走査方向に曲率を有することを特徴
とする走査光学装置。7. The scanning optical device according to claim 1, 4, or 6, wherein the surface to be scanned has a curvature in the sub-scanning direction.
を介して被走査面上に導光し、該光ビームで被走査面上
を光走査する走査光学装置において、 被走査面の有効露光域外の走査開始部と終端部に光ビー
ム検出器を設け、該光ビーム検出器の検出信号から光ビ
ームの走査時間を測定する測定手段が設けられ、該測定
手段によって得られた測定結果に応じて、光源手段と偏
向器と光ビーム結像素子と光路変更ミラーが取付けられ
たハウジング部が、ハウジングの一端を支点として副走
査方向に変位することを特徴とする走査光学装置。8. A scanning optical device which guides a light beam emitted from a light source means onto a surface to be scanned through an optical deflector, and optically scans the surface to be scanned with the light beam. The light beam detector is provided at the scanning start portion and the end portion outside the exposure area, and the measuring means for measuring the scanning time of the light beam from the detection signal of the light beam detector is provided, and the measurement result obtained by the measuring means is provided. Accordingly, the scanning optical device is characterized in that the housing part to which the light source means, the deflector, the light beam imaging element, and the optical path changing mirror are attached is displaced in the sub-scanning direction with one end of the housing as a fulcrum.
て、前記測定手段の測定結果に応じて光路変更ミラーの
曲率を変化することを特徴とする走査光学装置。9. The scanning optical device according to claim 1, wherein the curvature of the optical path changing mirror is changed according to the measurement result of the measuring means.
光路変更ミラーが走査方向に長く、副走査方向に短い有
効径を有し、背面部に副走査方向に対する補強構造を有
していることを特徴とする走査光学装置。10. The scanning optical device according to claim 9, wherein
A scanning optical device, wherein the optical path changing mirror has an effective diameter which is long in the scanning direction and short in the sub-scanning direction, and has a reinforcing structure on the back surface in the sub-scanning direction.
光路変更ミラーがあらかじめ曲率を有していることを特
徴とする走査光学装置。11. The scanning optical device according to claim 9, wherein
A scanning optical device, wherein the optical path changing mirror has a curvature in advance.
Priority Applications (1)
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH07261103A true JPH07261103A (en) | 1995-10-13 |
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| JP3287945B2 (en) | 2002-06-04 |
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