JPH0725624A - Production of soot preform - Google Patents

Production of soot preform

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JPH0725624A
JPH0725624A JP16579893A JP16579893A JPH0725624A JP H0725624 A JPH0725624 A JP H0725624A JP 16579893 A JP16579893 A JP 16579893A JP 16579893 A JP16579893 A JP 16579893A JP H0725624 A JPH0725624 A JP H0725624A
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soot preform
soot
clad
burner
burners
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Koji Kosaka
孝二 小坂
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering

Abstract

PURPOSE:To prevent the occurrence of cracking at the terminal end of a soot preform in the production of a soot preform with a number of clad-forming burners by VAD process. CONSTITUTION:In the production of a soot preform by a VAD process using two or more clad-forming burners 2, 3, the flame temperature of the clad- forming burners 2, 3 is raised at the end of the soot preform production process from the temperature of the normal production condition. A hardened layer 7 is formed on the surface at the terminal end of the soot preform 6 by this process.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、光ファイバの製造に
用いられるスートプリフォームをVAD法によって製造
する方法に関し、特に製造終了時点でのスートプリフォ
ームのひび割れを防止するようにしたものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a soot preform used for manufacturing an optical fiber by a VAD method, and particularly, to prevent cracking of the soot preform at the end of manufacturing. .

【0002】[0002]

【従来の技術】VAD法によるスートプリフォームの製
造には、図3に示すような1本のコア用バーナ1と2本
以上のクラッド用バーナ、例えば第1クラッド用バーナ
2および第2クラッド用バーナ3とを用いて、これらバ
ーナ1,2,3に、酸素、水素、アルゴン、四塩化シラ
ン、四塩化ゲルマンなどの燃料ガス、シールガス、ガラ
ス原料ガスを適宜供給し、コアとなるコア部4およびク
ラッドとなるクラッド部5の一部または全部を合成して
スートプリフォーム6とするものが知られている。
2. Description of the Related Art To manufacture soot preforms by the VAD method, one core burner 1 and two or more clad burners as shown in FIG. 3, for example, a first clad burner 2 and a second clad burner are used. Using the burner 3, a fuel gas such as oxygen, hydrogen, argon, silane tetrachloride, germanium tetrachloride, a seal gas, and a glass raw material gas are appropriately supplied to the burners 1, 2 and 3 to form a core portion which becomes a core. It is known that a soot preform 6 is obtained by synthesizing a part or all of the clad portion 4 and the clad portion 5 serving as a clad.

【0003】このようなスートプリフォーム6の製造に
おいて、スートプリフォーム6の合成を終了する場合に
は、すべてのバーナ1,2,3に上述のガス類の供給を
停止して作業を終了する方法と、バーナ1,2,3への
ガス類の供給はそのままにし、スートプリフォーム6を
高速で上方に引き上げて作業を終了するものがある。
In the production of the soot preform 6 as described above, when the synthesis of the soot preform 6 is finished, the supply of the above-mentioned gases to all the burners 1, 2, 3 is stopped and the work is finished. In some methods, the soot preform 6 is pulled up at a high speed and the work is completed while keeping the gas supply to the burners 1, 2 and 3 as it is.

【0004】ところが、このような終了方法によってス
ートプリフォーム6の製造を終了すると、スートプリフ
ォーム6の終端部、特にクラッド部5にひび割れが発出
しやすくなる。このひび割れの原因は、次のように考え
られる。すなわち、バーナの火炎の温度は、その中心部
と周辺部とで異なり、中心部の高温の炎でスートが堆積
する部分は高温(約700〜800℃)となって、嵩密
度の高い(約0.25g/cm3 )、硬いスートが形成
される。
However, when the manufacturing of the soot preform 6 is completed by such a finishing method, cracks are likely to be generated at the end portion of the soot preform 6, particularly the clad portion 5. The cause of this crack is considered as follows. That is, the temperature of the flame of the burner is different between the central part and the peripheral part, and the part where the soot is deposited by the high-temperature flame in the central part is at a high temperature (about 700 to 800 ° C.) and has a high bulk density (about 0.25 g / cm 3 ), a hard soot is formed.

【0005】一方、周辺部の低温の炎でスートが堆積し
ていく部分では、低温(約400℃)となって、嵩密度
の低い(約0.15g/cm3 )、軟らかいスートが形
成される。さらに、上述の製造例のようにクラッドバー
ナが2本以上になるにつれて、図2に示すようにスート
の硬い部分Aと軟らかい部分Bとの数が増加し、かつそ
の硬さの差が大きくなる。そして、このスートの硬い部
分Aと軟らかい部分Bとはスートの堆積終了によって、
スートプリフォーム6にそのまま残ることになる。
On the other hand, in the portion where the soot is deposited by the low temperature flame in the peripheral portion, the temperature becomes low (about 400 ° C.) and a soft soot having a low bulk density (about 0.15 g / cm 3 ) is formed. It Further, as the number of the clad burners becomes two or more as in the manufacturing example described above, the number of the hard portion A and the soft portion B of the soot increases and the difference in hardness increases as shown in FIG. . Then, the hard portion A and the soft portion B of the soot become
It will remain on the suit preform 6.

【0006】このため、スートプリフォーム6が製造終
了後に冷却されるにつれて、スートの硬い部分Aと軟ら
かい部分Bとの間で収縮率の差による大きな歪が発生
し、ここからひび割れが発生するものである。したがっ
て、クラッドバーナが多数本となる全合成VAD法によ
ってスートプリフォームを製造する際や大型スートプリ
フォームを製造する際には、このひび割れの発生比率が
増加し、一層良品が得られにくくなる。
For this reason, as the soot preform 6 is cooled after the production is completed, a large strain is generated between the hard portion A and the soft portion B of the soot due to the difference in shrinkage rate, and a crack is generated from this. Is. Therefore, when a soot preform is manufactured by the full-synthesis VAD method in which a large number of clad burners are used or when a large-sized soot preform is manufactured, the rate of occurrence of this crack increases, and it becomes more difficult to obtain a good product.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】よって、この発明にお
ける課題は、2本以上の多数本のクラッドバーナを用い
てVAD法によりスートプリフォームを製造する際に、
その終端部にひび割れのないスートプリフォームが得ら
れるようにすることにある。
Therefore, an object of the present invention is to produce a soot preform by the VAD method using a large number of two or more clad burners.
The purpose is to obtain a soot preform without cracks at its terminal end.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】かかる課題は、2本以上
のクラッド用バーナを用いたVAD法によってスートプ
リフォームを製造する際、スートプリフォームの製造終
了時点で、上記クラッド用バーナの火炎温度を通常製造
時よりも高くして、スートプリフォームの終端部の表面
に硬化層を形成する方法で解決される。この発明におけ
るスートプリフォームの終端部とは、図3において一点
鎖線で表示した下方の部分、すなわち最上方に位置する
クラッドバーナの火炎が当たるクラッド部5からコア部
4の先端部にかけての部分を指称する。
This problem is solved when the soot preform is manufactured by the VAD method using two or more clad burners, and when the soot preform is finished, the flame temperature of the clad burner is increased. Is higher than that at the time of normal manufacturing, and a cured layer is formed on the surface of the end portion of the soot preform. The end portion of the soot preform in the present invention means a lower portion indicated by a chain line in FIG. 3, that is, a portion from the clad portion 5 to which the flame of the clad burner located at the uppermost portion hits to the tip portion of the core portion 4. Call out.

【0009】以下、この発明の第1の例を図1に基づい
て詳しく説明する。コア用バーナ1には、水素、酸素、
アルゴン、四塩化シラン、四塩化ゲルマンなどが供給さ
れ、コアとなるスートが合成され、これが図示しない出
発基材上に堆積し、コア部4が形成される。一方、第1
クラッド用バーナ2およびこれの上方に配置された第2
クラッド用バーナ3にはともに水素、酸素、アルゴン、
四塩化シランなどが供給され、クラッドとなるスートが
合成され、これが同様に堆積し、クラッド部5が形成さ
れ、スートプリフォーム6が生成され、成長してゆく。
このスートプリフォーム6は、したがってその成長に応
じて自ら回転しながら徐々に上方に移送される。
Hereinafter, a first example of the present invention will be described in detail with reference to FIG. The core burner 1 includes hydrogen, oxygen,
Argon, tetrachlorosilane, germane tetrachloride, etc. are supplied to synthesize a soot as a core, which is deposited on a starting base material (not shown) to form the core portion 4. On the other hand, the first
Clad burner 2 and a second burner located above it
For the clad burner 3, hydrogen, oxygen, argon,
Silane tetrachloride or the like is supplied, soot to be a clad is synthesized, and this is similarly deposited to form a clad portion 5, a soot preform 6 is generated, and grows.
Therefore, the soot preform 6 is gradually transferred upward while rotating itself according to its growth.

【0010】所定の長さのスートプリフォーム6が得ら
れ、製造終了の時点となったとき、第1クラッド用バー
ナ2および第2クラッド用バーナ3への四塩化シランな
どのガラス原料ガスの供給を停止し、水素、酸素、アル
ゴンのみを供給する。四塩化シランのクラッド用バーナ
2,3への供給を停止すると、バーナの火炎温度は火炎
内での酸化ケイ素(SiO2 )生成反応がないため、通
常の酸水素炎に近い温度にまで上昇する。このガラス原
料ガスの供給停止の際にも、スートプリフォーム6は、
通常通り自ら回転しつつ、上方に移動している。
When the soot preform 6 having a predetermined length is obtained and the production is completed, a glass raw material gas such as silane tetrachloride is supplied to the first cladding burner 2 and the second cladding burner 3. And then supply only hydrogen, oxygen and argon. When the supply of silane tetrachloride to the cladding burners 2 and 3 is stopped, the flame temperature of the burner rises to a temperature close to that of a normal oxyhydrogen flame because there is no silicon oxide (SiO 2 ) formation reaction in the flame. . Even when the supply of the glass raw material gas is stopped, the soot preform 6 is
It is rotating as usual and moving upward.

【0011】第1および第2クラッド用バーナ2,3の
高温の火炎によって、スートプリフォーム6のクラッド
部5からコア部4にかけてその表面が加熱され、その表
面部分が焼き固められて硬くなり、表層が嵩密度0.3
〜0.5g/cm3 で、厚さが100〜500μmの硬
化層7となる。この第1および第2クラッド用バーナ
2,3の高温火炎による加熱は、スートプリフォーム6
が上昇してゆき、火炎がスートプリフォーム6に当らな
くなれば終了し、この時点で、酸素、水素、アルゴンの
供給を止めてスートプリフォームの製造が完了する。
The high temperature flames of the first and second cladding burners 2 and 3 heat the surface of the soot preform 6 from the cladding portion 5 to the core portion 4, and the surface portion is hardened by hardening. Surface layer has a bulk density of 0.3
At 0.5 g / cm 3 , the hardened layer 7 has a thickness of 100 to 500 μm. The heating of the first and second cladding burners 2 and 3 by the high temperature flame is performed by the soot preform 6
Rises, and the flame ends when the flame does not hit the soot preform 6, at which point the supply of oxygen, hydrogen, and argon is stopped, and the production of the soot preform is completed.

【0012】このような製法によれば、スートプリフォ
ーム6の表面の硬化層7があたかも卵殻のように機能
し、その内部を保護し、その内側にスートの硬い部分A
と軟らかい部分Bが存在していてもスートプリフォーム
6にひび割れが入ることがなくなる。
According to such a manufacturing method, the hardened layer 7 on the surface of the soot preform 6 functions as if it were an egg shell, protects the inside of the soot preform 6, and the hard portion A of the soot is inside thereof.
Even if there is a soft portion B, the soot preform 6 will not crack.

【0013】なお、コア部4については、コア用バーナ
1が第1クラッド用バーナ2から離れているため、コア
部4には硬い部分Aと軟らかい部分Bとが明確に形成さ
れず、かつコア部4はスートプリフォーム6の上昇によ
って、速やかにコア用バーナ1の火炎から離れるため、
コア部4にひび割れが生じることはほとんどない。この
ため、コア用バーナ1については、特にガラス原料ガス
の供給を停止する必要はなく、必要であれば、第1およ
び第2クラッド用バーナ2,3と同様に操作してもよ
い。
Regarding the core portion 4, since the core burner 1 is separated from the first cladding burner 2, the hard portion A and the soft portion B are not clearly formed in the core portion 4, and the core portion 4 is not formed. The part 4 quickly separates from the flame of the core burner 1 by the rise of the soot preform 6,
The core portion 4 is hardly cracked. Therefore, it is not particularly necessary to stop the supply of the glass raw material gas to the core burner 1, and the core burner 1 may be operated in the same manner as the first and second cladding burners 2 and 3 if necessary.

【0014】次に、この発明の製法の第2の例を説明す
る。この例の製法では、スートプリフォーム6の製造終
了時に、第1および第2クラッド用バーナ2,3への四
塩化シランなどのガラス原料ガスの供給量を例えば50
%程度に減量するか、あるいはガラス原料ガスの供給量
をそのままとし、酸素および水素の供給量を例えば2倍
程度に増加するか、またはガラス原料ガスの供給量を減
量し、かつ酸素および水素の供給量を増すことで、クラ
ッド用バーナ2,3の火炎温度を高めてスートの合成を
行い、スートの堆積を行うものである。
Next, a second example of the manufacturing method of the present invention will be described. In the production method of this example, when the production of the soot preform 6 is completed, the supply amount of the glass raw material gas such as silane tetrachloride to the first and second cladding burners 2 and 3 is set to, for example, 50.
%, Or the supply amount of the glass raw material gas is left as it is, and the supply amount of oxygen and hydrogen is doubled, for example, or the supply amount of the glass raw material gas is decreased and the supply amount of oxygen and hydrogen is reduced. By increasing the supply amount, the flame temperature of the cladding burners 2 and 3 is increased to synthesize the soot, and the soot is deposited.

【0015】この方法では、第1および第2クラッド用
バーナ2,3によって堆積されるスートは、嵩密度の高
い、硬いものとなり、このスートが硬く、かつ第1の例
のものより厚い(約300〜800μm)膜を形成して
スートプリフォームの表面、特にクラッド部5の表面を
覆うことになり、先のものと同様にこの膜が硬化層7と
なってスートプリフォームのひび割れを防止する。コア
用バーナ1については、第1の例と同様に、必要に応じ
て、第1、第2クラッドバーナ2,3と同様の操作を行
えばよい。
In this method, the soot deposited by the first and second cladding burners 2 and 3 has a high bulk density and is hard, and the soot is hard and thicker than that of the first example (about (300-800 μm) to form a film to cover the surface of the soot preform, particularly the surface of the clad portion 5, and this film becomes a hardened layer 7 to prevent cracking of the soot preform as in the previous case. . As with the first example, the core burner 1 may be operated in the same manner as the first and second clad burners 2 and 3, if necessary.

【0016】次に、この発明の第3の例を説明する。こ
の第3の例では、スートプリフォーム6の製造終了時
に、まずコア用バーナ1へのガラス原料ガスの供給を停
止し、酸素および水素の供給量を通常時と同様とし、コ
ア用バーナ1によってコア部4を加熱し、その表面に硬
化層7を形成する。この時、第1および第2クラッド用
バーナ2,3へのガスの供給は通常時と同様とされ、こ
れらクラッド用バーナ2,3によってクラッドとなるス
ートが堆積されてゆく。
Next, a third example of the present invention will be described. In the third example, when the soot preform 6 is manufactured, first, the supply of the glass raw material gas to the core burner 1 is stopped, the oxygen and hydrogen supply amounts are set to be the same as in the normal time, and the core burner 1 is used. The core portion 4 is heated to form the hardened layer 7 on the surface thereof. At this time, the gas is supplied to the first and second clad burners 2 and 3 in the same manner as in the normal state, and soot serving as a clad is deposited by these clad burners 2 and 3.

【0017】そして、スートプリフォーム6が上方に上
昇し、コア用バーナ1の火炎がスートプリフォーム6の
コア部4から離れると、コア用バーナ1を消火し、第1
のクラッド用バーナ2へのガラス原料ガスの供給を停止
するかあるいは供給量を減量して、先の例のように第1
クラッド用バーナ2の火炎が当る部分を焼き固めて硬化
層7を形成するかあるいは嵩密度の高いスートを堆積し
て硬化層7を形成する。この時、第2クラッド用バーナ
3へのガスの供給は通常時と同様であり、クラッドとな
るスートが堆積されてゆく。
When the soot preform 6 rises upward and the flame of the core burner 1 separates from the core portion 4 of the soot preform 6, the core burner 1 is extinguished, and
The glass raw material gas supply to the clad burner 2 is stopped or the supply amount is reduced to the first
The portion of the clad burner 2 that is exposed to the flame is hardened to form a hardened layer 7, or soot having a high bulk density is deposited to form the hardened layer 7. At this time, the gas is supplied to the second cladding burner 3 in the same manner as in the normal state, and soot to be the cladding is deposited.

【0018】ついで、スートプリフォーム6の上昇につ
れて、第1クラッド用バーナ2の火炎がスートプリフォ
ーム6から離れると、第1クラッド用バーナ2を消火
し、第2クラッド用バーナ3へのガラス原料ガスの供給
を停止するかあるいは減量して、第2クラッド用バーナ
3の火炎が当る部分に同様にして硬化層7を形成する。
第2クラッド用バーナ3の火炎がスートプリフォーム6
から離れれば、これを消火する。
Next, when the flame of the first cladding burner 2 separates from the soot preform 6 as the soot preform 6 rises, the first cladding burner 2 is extinguished, and the glass material for the second cladding burner 3 is extinguished. The supply of gas is stopped or the amount of gas is reduced, and the hardened layer 7 is similarly formed on the portion of the second cladding burner 3 where the flame hits.
The flame of the second cladding burner 3 is the soot preform 6
Extinguish it if you leave it.

【0019】このような方法では、スートプリフォーム
6のコア部4からクラッド部5にかけて順次クラッドと
なるスートが堆積されつつ硬化層7が形成されることに
なる。このため、この方法によれば、クラッド部5が最
終段階まで堆積されることになり、図2に示すように先
の二つの例に比べてコア部4を有効に使用できる利点が
ある。勿論、コア部4からクラッド部5にかけて硬化層
7が形成され、これによってスートプリフォーム6の割
れが防止できることは言うまでもない。なお、クラッド
用バーナを3本以上として、上述の第1〜第3の方法を
適用することもできる。
In such a method, the hardened layer 7 is formed while the soot to be the cladding is sequentially deposited from the core portion 4 to the cladding portion 5 of the soot preform 6. Therefore, according to this method, the cladding portion 5 is deposited up to the final stage, and as shown in FIG. 2, there is an advantage that the core portion 4 can be effectively used as compared with the above two examples. Of course, it goes without saying that the hardened layer 7 is formed from the core portion 4 to the clad portion 5, so that cracking of the soot preform 6 can be prevented. The above-mentioned first to third methods can be applied with three or more clad burners.

【0020】以下、具体例を示してこの発明の作用効果
を説明する。 (実施例1)第1クラッド用バーナと第2クラッド用バ
ーナの2本のクラッド用バーナと1本のコア用バーナを
用いるVAD法によってスートプリフォームを製造し
た。通常製造時の第1および第2クラッド用バーナへの
ガス類の供給量(単位;リットル/分)を以下の通りと
した。 第1クラッド用バーナ 第2クラッド用バーナ 水素 10 18 酸素 12 13 アルゴン 0.8 0.8 四塩化シラン 1.0 1.2
The operation and effect of the present invention will be described below with reference to specific examples. (Example 1) A soot preform was manufactured by a VAD method using two cladding burners, a first cladding burner and a second cladding burner, and one core burner. The supply amount (unit: liter / min) of the gases to the first and second clad burners at the time of normal production was set as follows. Burner for first clad Burner for second clad Hydrogen 10 18 Oxygen 12 13 Argon 0.8 0.8 Tetrachlorosilane 1.0 1.2

【0021】そして、製造終了時に、各クラッド用バー
ナへのガス類の供給量を以下の通りに変化させた。 第1クラッド用バーナ 第2クラッド用バーナ 水素 10 18 酸素 12 13 アルゴン 0.8 0.8 四塩化シラン 0 0 このようにして得られたスートプリフォームのひび割れ
発生率は、5%であった。
Then, at the end of the production, the supply amount of the gases to each clad burner was changed as follows. Burner for first clad Burner for second clad Hydrogen 10 18 Oxygen 12 13 Argon 0.8 0.8 Silane tetrachloride 0 0 The crack occurrence rate of the soot preform thus obtained was 5%.

【0022】(従来例1)一方、製造終了時のガス類の
供給量を通常製造時のそれと同じとしてスートプリフォ
ームを製造したところ、そのひび割れ率は11%となっ
た。 (従来例2)第1、第2クラッド用バーナに加えて第3
クラッド用バーナをさらに設置し、第3クラッド用バー
ナの通常製造時のガス類の供給量を次の通りとした。 第1、第2クラッド用バーナへの通常製造時のガス類の
供給は実施例1と同様とした。この条件で、そのまま製
造終了した時のスートプリフォームのひび割れ発生率は
34%であった。また、そのひび割れは、スートの軟ら
かい部分から発生したものが全体の95%であった。
(Conventional Example 1) On the other hand, when a soot preform was manufactured with the supply amount of gases at the end of manufacturing being the same as that at the time of normal manufacturing, the crack rate was 11%. (Prior Art 2) In addition to the first and second cladding burners, the third
A clad burner was further installed, and the gas supply amount during the normal manufacturing of the third clad burner was set as follows. The supply of gases to the first and second cladding burners during normal manufacturing was the same as in Example 1. Under these conditions, the crack occurrence rate of the soot preform was 34% when the production was finished as it was. Further, the cracks were generated from the soft part of the soot in 95% of the whole.

【0023】(実施例2)従来例2において、製造終了
時の各クラッド用バーナへのガス類の供給を下記の通り
にした以外は、同様にしてスートプリフォームを製造し
た。 第1クラット゛用ハ゛ーナ 第2クラット゛用ハ゛ーナ 第3クラット゛用ハ゛ーナ 水素 13 22 25 酸素 13 15 17 アルゴン 0.8 0.8 1.0 四塩化シラン 0.5 0.6 0.7 かくして得られたスートプリフォームのひび割れ率は、
1%以下であった。
Example 2 A soot preform was produced in the same manner as in Conventional Example 2, except that the gases were supplied to the cladding burners at the end of the production as follows. Banana for the first clad Banana for the second crat Banana for the third crat Hydrogen 13 22 25 Oxygen 13 15 17 Argon 0.8 0.8 0.8 1.0 Tetrachlorosilane 0.5 0.6 0.7 0.7 Soot thus obtained The crack rate of the preform is
It was 1% or less.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上説明したように、この発明のスート
プリフォームの製法によれば、クラッド用バーナを2本
以上用いてVAD法により製造されたスートプリフォー
ムの終了先端部分でのひび割れがほぼ完全に防止でき
る。このため、この発明の製法は、特に多数本のクラッ
ド用バーナを必要とするスートプリフォームの全合成や
大型スートプリフォームの製造に好適なものとなる。
As described above, according to the soot preform manufacturing method of the present invention, cracks at the end of the soot preform manufactured by the VAD method using two or more clad burners are almost eliminated. Can be completely prevented. Therefore, the manufacturing method of the present invention is particularly suitable for the total synthesis of soot preforms requiring a large number of cladding burners and for manufacturing large soot preforms.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 この発明の製法の一例を示す概略構成図であ
る。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a manufacturing method of the present invention.

【図2】 この発明の製法の他の例で得られたスートプ
リフォームを示す概略構成図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a soot preform obtained by another example of the production method of the present invention.

【図3】 従来の製法の例を示す概略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing an example of a conventional manufacturing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…コア用バーナ、2…第1クラッド用バーナ、3…第
2クラッド用バーナ、4…コア部、5…クラッド部、6
…スートプリフォーム、7…硬化層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Core burner, 2 ... 1st clad burner, 3 ... 2nd clad burner, 4 ... Core part, 5 ... Clad part, 6
… Soot preform, 7… Cured layer

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 2本以上のクラッド用バーナを用いたV
AD法によってスートプリフォームを製造する際、スー
トプリフォームの製造終了時点で、上記クラッド用バー
ナの火炎温度を通常製造時よりも高くして、スートプリ
フォームの終端部の表面に硬化層を形成することを特徴
とするスートプリフォームの製法。
1. A V using two or more cladding burners.
When the soot preform is manufactured by the AD method, the flame temperature of the burner for cladding is set to be higher than that in the normal manufacturing at the end of the manufacture of the soot preform to form a hardened layer on the surface of the end portion of the soot preform. A method for producing a soot preform characterized by:
【請求項2】 上記硬化層の形成が、スート表面の加熱
によって行われることを特徴とする請求項1記載のスー
トプリフォームの製法。
2. The method for producing a soot preform according to claim 1, wherein the hardened layer is formed by heating the surface of the soot.
【請求項3】 上記硬化層の形成が、スートの緻密な堆
積によって行われることを特徴とする請求項1記載のス
ートプリフォームの製法。
3. The method for producing a soot preform according to claim 1, wherein the hardened layer is formed by densely depositing soot.
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JP2016050152A (en) * 2014-09-01 2016-04-11 住友電気工業株式会社 Production method of glass preform for optical fiber
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105384332A (en) * 2014-08-21 2016-03-09 住友电气工业株式会社 A manufacturing method for a glass particle sedimentary body
JP2016044086A (en) * 2014-08-21 2016-04-04 住友電気工業株式会社 Method of manufacturing glass fine particle deposition body
CN105384332B (en) * 2014-08-21 2019-03-12 住友电气工业株式会社 The manufacturing method of glass microbead deposit
JP2016050152A (en) * 2014-09-01 2016-04-11 住友電気工業株式会社 Production method of glass preform for optical fiber
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