JPH0725015A - Ink jet printer and manufacture thereof - Google Patents

Ink jet printer and manufacture thereof

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Publication number
JPH0725015A
JPH0725015A JP16941093A JP16941093A JPH0725015A JP H0725015 A JPH0725015 A JP H0725015A JP 16941093 A JP16941093 A JP 16941093A JP 16941093 A JP16941093 A JP 16941093A JP H0725015 A JPH0725015 A JP H0725015A
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JP
Japan
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ink
film
fluorine
repellent film
ink jet
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Application number
JP16941093A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasushi Karasawa
康史 柄沢
Mitsutaka Nishikawa
光貴 西川
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP16941093A priority Critical patent/JPH0725015A/en
Publication of JPH0725015A publication Critical patent/JPH0725015A/en
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To cover with excellent adhesive properties, to reduce pinholes, to enhance water-repellent performance and to obtain long-term reliability by forming an ink-repellent film of fluorine-containing polyimide resin in an ink jet printer in which the ink-repellent film is deposited on a surface of a nozzle of an ink jet recording head. CONSTITUTION:When a fluorine-containing polyimide film is formed of an ink-repellent film 12, excellent adhesive properties with a nozzle plate 11 are obtained, and ink can be simultaneously repelled by an operation of fluorine. The film 12 is laminated on a surface of a nozzle of the plate 11 by a deposition polymerizing method. The method comprises the steps of depositing respective monomers, and then imidizing it and can hence make stable polyimide film uniform and easily laminate it. Carbon tetrafluoride resin is laminated on the fluorine-containing polyimide resin thereby to enhance fluorine density on a surface of the film 12, thereby improving more ink repellency.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータ機器の記
録装置に用いるインクジェットプリンター及びその製造
方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet printer used in a recording device of computer equipment and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェットプリンターの心臓部分で
あるインクジェット記録ヘッドは、ガラス、金属、樹脂
などの材料が用いられていた。
2. Description of the Related Art Ink jet recording heads, which are the heart of ink jet printers, use materials such as glass, metal, and resin.

【0003】しかし、インクジェット記録ヘッドにおい
て水性インクを用いる場合、ノズル表面の撥水性が不十
分であるとインクの液滴が付着し易くなり、そのため吐
出するインク滴の直進性が損なわれ、印字乱れなどのト
ラブルによって記録不能となる事があった。
However, when a water-based ink is used in an ink jet recording head, if the water repellency of the nozzle surface is insufficient, ink droplets tend to adhere, which impairs the straightness of the ejected ink droplets and disturbs printing. Due to such troubles, it was sometimes impossible to record.

【0004】そこで従来、インクが吐出する部分である
ノズルの表面を、油性や水性インクの付着をなくすため
に撥水化処理する事が行われており、たとえば特開昭6
0−183161号公報、特開昭59−176059号
公報のように真空蒸着、プラズマ重合によりノズル表面
に撥水性材料粒子を付着させ撥水化するという方法が提
案されていた。
Therefore, conventionally, the surface of the nozzle, which is the portion where the ink is ejected, has been treated to be water repellent in order to eliminate the adhesion of oily or water-based ink.
As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 0-183161 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-176059, there has been proposed a method of attaching water-repellent material particles to the surface of a nozzle to make it water-repellent by vacuum deposition or plasma polymerization.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の技
術は、次のような課題を有した。
However, the conventional technique has the following problems.

【0006】まずこれらの撥水処理では、ピンホール等
の欠陥のない平滑な撥水化表面を得る事は必ずしも容易
ではない。そのため個々の製品間の特性にばらつきが生
じ、さらに経時的にも特性が変化するという課題があっ
た。
First, with these water repellent treatments, it is not always easy to obtain a smooth water repellent surface without defects such as pinholes. Therefore, there is a problem in that the characteristics of individual products vary, and the characteristics also change over time.

【0007】また従来の真空蒸着法を用いた方法は、イ
ンクジェット記録ヘッドの材料との密着性が不十分であ
るため、耐久性の低いものしか得られないという課題も
あった。
Further, the conventional method using the vacuum vapor deposition method has a problem that only a material having low durability can be obtained because of insufficient adhesion to the material of the ink jet recording head.

【0008】本発明は前記課題を解決するものでありそ
の目的は、各種インクジェット記録ヘッドの材料に密着
性良く被覆でき、また撥インク膜のピンホールが少な
く、撥水性能の高い長期信頼性のある撥インク材料及び
その積層方法を提供するものである。
The present invention is intended to solve the above-mentioned problems, and an object thereof is to cover materials of various ink jet recording heads with good adhesiveness, to reduce the number of pinholes in the ink repellent film, and to provide high water repellent performance and long-term reliability. An ink repellent material and a method for laminating the same are provided.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
プリンターは、インクジェット記録ヘッドのノズル表面
に撥インク膜を積層したインクジェットプリンターにお
いて、前記撥インク膜が弗素含有ポリイミド樹脂である
ことを特徴とする。
The ink jet printer of the present invention is an ink jet printer in which an ink repellent film is laminated on the nozzle surface of an ink jet recording head, wherein the ink repellent film is a fluorine-containing polyimide resin.

【0010】弗素含有のポリイミド膜を撥インク膜とし
た場合、ヘッド材料であるガラス、金属などの基板と優
れた密着性が得られ、それと同時に弗素の作用によりイ
ンクをはじくことができる。
When the fluorine-containing polyimide film is used as the ink repellent film, excellent adhesion can be obtained with a substrate such as a head material such as glass or metal, and at the same time, the action of fluorine can repel the ink.

【0011】またインクジェットプリンターの製造方法
は、撥インク膜を蒸着重合法でノズル表面に積層するこ
とを特徴とする。
The method of manufacturing an ink jet printer is characterized in that an ink repellent film is laminated on the nozzle surface by vapor deposition polymerization.

【0012】ポリイミドのような樹脂材料は、通常プラ
ズマの高エネルギーによる励起により合成されていた。
しかしランダムな架橋構造になりやすく、制御するパラ
メータが多い問題を有した。蒸着重合法は、各モノマー
毎に蒸着し、後でイミド化するので、安定したポリイミ
ド膜を均一に、かつ、容易に積層できる。
A resin material such as polyimide is usually synthesized by exciting plasma with high energy.
However, it has a problem that it tends to form a random cross-linking structure and has many parameters to control. In the vapor deposition polymerization method, since each monomer is vapor-deposited and then imidized, a stable polyimide film can be uniformly and easily laminated.

【0013】また撥インク膜が弗素含有ポリイミド樹脂
に四弗化炭素樹脂を積層した構造であることを特徴とす
る。
Further, the ink repellent film has a structure in which a carbon tetrafluoride resin is laminated on a fluorine-containing polyimide resin.

【0014】弗素含有ポリイミド樹脂の上に四弗化炭素
樹脂を積層することにより、撥インク膜表面の弗素密度
が高められることができ、撥インク性を改善できる。
By laminating a carbon tetrafluoride resin on a fluorine-containing polyimide resin, the fluorine density on the surface of the ink repellent film can be increased and the ink repellency can be improved.

【0015】また本発明は、ノズル表面と撥インク膜と
の間に、クロム、二酸化珪素、シロキサン含有ポリイミ
ド樹脂を順にはさむこと、またはシロキサン含有ポリイ
ミド樹脂のみをはさむことを特徴とする。
Further, the present invention is characterized in that chromium, silicon dioxide and a siloxane-containing polyimide resin are sandwiched between the nozzle surface and the ink repellent film in this order, or only the siloxane-containing polyimide resin is sandwiched.

【0016】クロム、二酸化珪素、シロキサン含有ポリ
イミド樹脂は、金属からなるヘッド表面と弗素含有ポリ
イミドの密着性をより向上させ、耐久性を高める働きが
ある。またシロキサン含有ポリイミドは、ガラス類から
なるヘッド表面と弗素含有ポリイミドの密着性をより向
上させ、耐久性を高める働きがある。これらの膜の積層
方法には、スパッタリングまたは蒸着等がある。
The chromium, silicon dioxide, and siloxane-containing polyimide resin has a function of further improving the adhesion between the metal-containing head surface and the fluorine-containing polyimide and enhancing the durability. The siloxane-containing polyimide has a function of further improving the adhesion between the surface of the head made of glass and the fluorine-containing polyimide and enhancing the durability. The methods for laminating these films include sputtering and vapor deposition.

【0017】[0017]

【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する。The present invention will be described in detail with reference to the following examples.

【0018】(実施例1)図1は、本実施例のインクジ
ェットプリンターの心臓部であるインクジェット記録ヘ
ッドの撥インク処理前の斜視図である。インクジェット
記録ヘッドのインクは圧力室15で圧電素子等による圧
力、ヒーターによる熱、静電気等のエネルギーを与えら
れ、ノズルプレート11を通って吐出する。本実施例
は、ノズルプレート11上に撥インク膜を積層するもの
である。図2は、図1におけるa−a’間のノズルプレ
ートの断面図である。図3は、撥インク膜をノズルプレ
ートへ積層するための蒸着装置の概念図である。図4
は、図2のノズルプレート11のインク吐出面へ撥イン
ク膜12を積層した断面図である。これらの図を使い本
実施例を説明する。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a perspective view of an ink jet recording head, which is the heart of the ink jet printer of this embodiment, before ink repellent treatment. The ink of the ink jet recording head is supplied with energy such as pressure by a piezoelectric element or the like, heat by a heater, static electricity or the like in the pressure chamber 15, and is ejected through the nozzle plate 11. In this embodiment, an ink repellent film is laminated on the nozzle plate 11. FIG. 2 is a sectional view of the nozzle plate taken along the line aa ′ in FIG. FIG. 3 is a conceptual diagram of a vapor deposition device for laminating an ink repellent film on a nozzle plate. Figure 4
FIG. 3 is a cross-sectional view in which an ink repellent film 12 is laminated on the ink ejection surface of the nozzle plate 11 of FIG. This embodiment will be described with reference to these figures.

【0019】まず図2のようにステンレスからなるノズ
ルプレート11を溶剤または洗剤により洗浄した。次に
図3のように蒸着装置16によりノズルプレート11の
インク吐出面に、2,2−ビス(3,4−フェニルカル
ボキシル)ヘキサフルオロプロパンを含浸した多孔質体
27と4−4’ジアミノジフェニルエーテルを含浸した
多孔質体28を蒸着源として、蒸着物質が分解しない温
度に加熱し、真空度1×10-5トールの条件で同時に蒸
着した。
First, as shown in FIG. 2, the nozzle plate 11 made of stainless steel was washed with a solvent or a detergent. Next, as shown in FIG. 3, a porous body 27 in which 2,2-bis (3,4-phenylcarboxyl) hexafluoropropane is impregnated on the ink ejection surface of the nozzle plate 11 by the vapor deposition device 16 and 4-4'diaminodiphenyl ether. The porous body 28 impregnated with was used as a vapor deposition source and heated to a temperature at which the vapor deposition material was not decomposed, and vapor deposition was performed simultaneously under the conditions of a vacuum degree of 1 × 10 −5 Torr.

【0020】続いて真空中で230℃、10分の熱処理
を行ない、図4のように弗素含有ポリイミド膜からなる
撥インク膜12を完成させた。
Subsequently, heat treatment was performed in vacuum at 230 ° C. for 10 minutes to complete the ink repellent film 12 made of a fluorine-containing polyimide film as shown in FIG.

【0021】最後に本ノズルプレートを使いインクジェ
ット記録ヘッドを組立、プリンターを完成させた。
Finally, an ink jet recording head was assembled using this nozzle plate and a printer was completed.

【0022】撥インク膜12は、水に対する接触角が1
10゜と高く、プリンターの印字が鮮明であった。また
蒸着のため、ノズルプレートのインク供給側に撥インク
膜が回り込まなかった。そのためノズルプレートの接着
等に問題を起こすことなく、インクジェットプリンター
が製造できた。
The ink repellent film 12 has a contact angle with water of 1
It was as high as 10 ° and the printing on the printer was clear. Further, due to vapor deposition, the ink repellent film did not wrap around the ink supply side of the nozzle plate. Therefore, the inkjet printer could be manufactured without causing a problem in adhesion of the nozzle plate.

【0023】また長期にプリンターを使用しても、撥イ
ンク膜の剥離や性能低下による印字に曲がりが生ぜず、
優れた印字品質が維持できていた。プリンターとしての
耐久加速試験では、70℃、20日インクに漬けていて
も接触角の変化が見られず、ゴムにより10000回擦
り評価を行っても、撥インク性能が低下することがなか
った。
Even when the printer is used for a long period of time, the ink-repellent film is not peeled off or the printing is not warped due to performance deterioration.
Excellent print quality was maintained. In the durability acceleration test as a printer, no change in the contact angle was observed even when immersed in ink at 70 ° C. for 20 days, and the ink repellency was not deteriorated even when the rubbing was evaluated 10,000 times with rubber.

【0024】(実施例2)実施例1のノズルプレート基
板をニッケルに変更し、その上へ実施例1と同様の弗素
含有ポリイミド膜を積層し、さらに、四弗化炭素膜をア
ルゴンガス中でスパッタリングし、300℃の熱処理を
加え、ノズルプレートの上に撥インク膜を積層した。
(Example 2) The nozzle plate substrate of Example 1 was changed to nickel, and the same fluorine-containing polyimide film as in Example 1 was laminated thereon, and a carbon tetrafluoride film was further placed in argon gas. Sputtering was performed, and heat treatment at 300 ° C. was applied to form an ink repellent film on the nozzle plate.

【0025】本ノズルプレートを使いインクジェット記
録ヘッドを組立、プリンターを完成させた。
An ink jet recording head was assembled using this nozzle plate and a printer was completed.

【0026】本撥インク膜は、水に対する接触角が11
5゜と高く、プリンターの印字が鮮明であった。また長
期にプリンターを使用しても、撥インク膜の剥離や性能
低下による印字に曲がりが生ぜず、印字品質が優れてい
た。プリンターとしての耐久加速試験では、70℃、2
0日インクに漬けていても接触角の変化が見られず、ゴ
ムにより10000回擦り評価を行っても、撥インク性
能が低下することがなかった。
The ink repellent film has a contact angle with water of 11
It was as high as 5 °, and the printing on the printer was clear. Even when the printer was used for a long period of time, the print quality was excellent because the print did not bend due to peeling of the ink-repellent film and deterioration of performance. In the durability acceleration test as a printer, 70 ℃, 2
No change in contact angle was observed even when dipped in the ink for 0 days, and the ink repellency was not deteriorated even when the rubbing was evaluated 10,000 times with rubber.

【0027】(実施例3)図5は、本実施例のインクジ
ェット記録ヘッドの撥インク処理前の斜視図である。イ
ンクジェット記録ヘッドのインクは、実施例1のような
ノズルプレートを使わず、圧力室25からノズル孔23
を通って吐出する。本実施例は、ノズル表面21上に撥
インク膜を積層するものである。以下本実施例を説明す
る。
(Embodiment 3) FIG. 5 is a perspective view of the ink jet recording head of this embodiment before the ink repellent treatment. The ink of the ink jet recording head does not use the nozzle plate as in the first embodiment, but the pressure chamber 25 to the nozzle hole 23.
Discharge through. In this embodiment, an ink repellent film is laminated on the nozzle surface 21. This embodiment will be described below.

【0028】まず、図3のようにガラスまたはガラス及
びシリコンまたはシリコンを基板とするインクジェット
記録ヘッドを溶剤または洗剤により洗浄する。次に実施
例1と同様の蒸着装置によりノズル表面21に、2,2
−ビス(4−(4−アシノフェノキシ)フェニル)ヘキ
サフルオロプロパンを含浸した多孔質体とピロメリット
酸を含浸した多孔質体を蒸着源として真空度1×10-5
トールの条件で同時にノズル表面へ蒸着する。
First, as shown in FIG. 3, an ink jet recording head having glass or glass and silicon or silicon as a substrate is washed with a solvent or a detergent. Next, using a vapor deposition device similar to that of Example 1, 2, 2
A vacuum degree of 1 × 10 −5 is obtained by using a porous body impregnated with bis (4- (4-acinophenoxy) phenyl) hexafluoropropane and a porous body impregnated with pyromellitic acid as vapor deposition sources.
At the same time under the condition of Thor, vapor deposition is performed on the nozzle surface.

【0029】続いて真空中で230℃、10分の熱処理
を行ない、弗素含有ポリイミド膜からなる撥インク膜を
完成させた。
Subsequently, heat treatment was carried out in vacuum at 230 ° C. for 10 minutes to complete an ink repellent film made of a fluorine-containing polyimide film.

【0030】最後に本インクジェット記録ヘッドを組
立、プリンターを完成させた。
Finally, the ink jet recording head was assembled and the printer was completed.

【0031】以上の方法で製造した撥インク膜は、イン
クに対する接触角が90゜と高く、プリンターの印字が
鮮明であった。また長期にプリンターを使用しても、撥
インク膜の剥離や性能低下による印字に曲がりが生ぜ
ず、印字品質が優れていた。プリンターとしての耐久加
速試験では、70℃、20日インクに漬けていても接触
角の変化が見られず、ゴムにより10000回擦り評価
を行っても、撥インク性能が低下することがなかった。
The ink repellent film produced by the above method had a high contact angle with ink of 90 °, and the printing on the printer was clear. Even when the printer was used for a long period of time, the print quality was excellent because the print did not bend due to peeling of the ink-repellent film and deterioration of performance. In the durability acceleration test as a printer, no change in contact angle was observed even when immersed in ink at 70 ° C. for 20 days, and the ink repellency was not deteriorated even when the rubbing was evaluated 10,000 times with rubber.

【0032】(実施例4)実施例1のステンレスからな
るノズルプレートのインク吐出面へクロム膜を100オ
ングストローム、二酸化珪素膜500オングストローム
を積層し、300℃で熱処理した。この二酸化珪素膜の
上に、実施例1の蒸着源をピロメリット酸及びチッソ製
商品名「サイラプレーン」に変えた以外、実施例1と同
様の方法で蒸着しシロキサン含有ポリイミド膜を積層し
た。
Example 4 A chromium film of 100 Å and a silicon dioxide film of 500 Å were laminated on the ink ejection surface of the nozzle plate made of stainless steel of Example 1 and heat-treated at 300 ° C. On this silicon dioxide film, a siloxane-containing polyimide film was laminated by vapor deposition in the same manner as in Example 1 except that the vapor deposition source in Example 1 was changed to pyromellitic acid and Chisso's trade name “Silaplane”.

【0033】続いて実施例1と同様の方法で、弗素含有
ポリイミド膜をシロキサン含有ポリイミド膜の上に形成
し、撥インク膜を完成させた。
Subsequently, a fluorine-containing polyimide film was formed on the siloxane-containing polyimide film in the same manner as in Example 1 to complete the ink repellent film.

【0034】最後に本インクジェット記録ヘッドを組
立、プリンターを完成させた。
Finally, the ink jet recording head was assembled and the printer was completed.

【0035】以上の方法で製造した撥インク膜は、水に
対する接触角が110゜と高く、プリンターの印字が鮮
明であった。また長期にプリンターを使用しても、撥イ
ンク膜の剥離や性能低下による印字に曲がりが生ぜず、
印字品質が優れていた。プリンターとしての耐久加速試
験では、70℃、30日インクに漬けていても接触角の
変化が見られず、ゴムにより15000回擦り評価を行
っても、撥インク性能が低下することがなかった。
The ink repellent film produced by the above method had a high contact angle with water of 110 °, and the printing on the printer was clear. In addition, even if the printer is used for a long period of time, the ink-repellent film is not peeled off or the printing is not curved due to performance deterioration.
The print quality was excellent. In a durability acceleration test as a printer, no change in contact angle was observed even when immersed in ink at 70 ° C. for 30 days, and the ink repellency was not deteriorated even after rubbing 15,000 times with rubber.

【0036】(実施例5)実施例3のガラスまたはガラ
ス及びシリコンまたはシリコンから構成されるインクジ
ェット記録ヘッドのノズル表面に、実施例1の蒸着源を
ピロメリット酸及びチッソ製商品名「サイラプレーン」
に変えた以外、実施例1と同様の方法で蒸着して、シロ
キサン含有ポリイミド膜を積層した。
(Embodiment 5) The vapor deposition source of Embodiment 1 is pyromellitic acid and the product name "Cilaplane" manufactured by Chisso on the nozzle surface of the ink jet recording head composed of glass or glass and silicon or silicon of Embodiment 3.
A siloxane-containing polyimide film was laminated by vapor deposition in the same manner as in Example 1 except that

【0037】続いて実施例1と同様の方法で、弗素含有
ポリイミド膜をシロキサン含有ポリイミド膜の上に形成
し、撥インク膜を完成させた。
Then, a fluorine-containing polyimide film was formed on the siloxane-containing polyimide film in the same manner as in Example 1 to complete the ink repellent film.

【0038】最後に本インクジェット記録ヘッドを組
立、プリンターを完成させた。
Finally, the ink jet recording head was assembled and the printer was completed.

【0039】以上の方法で製造した撥インク膜は、水に
対する接触角が110゜と高く、プリンターの印字が鮮
明であった。また長期にプリンターを使用しても、撥イ
ンク膜の剥離や性能低下による印字に曲がりが生ぜず、
印字品質が優れていた。プリンターとしての耐久加速試
験では、70℃、30日インクに漬けていても接触角の
変化が見られず、ゴムにより15000回擦り評価を行
っても、撥インク性能が低下することがなかった。
The ink repellent film produced by the above method had a high contact angle with water of 110 °, and the printing on the printer was clear. In addition, even if the printer is used for a long period of time, the ink-repellent film is not peeled off or the printing is not curved due to performance deterioration.
The print quality was excellent. In a durability acceleration test as a printer, no change in contact angle was observed even when immersed in ink at 70 ° C. for 30 days, and the ink repellency was not deteriorated even after rubbing 15,000 times with rubber.

【0040】なお以上の実施例は、本発明の効果を示す
一部の実施例であり、基板が他の材料例えばポリサルフ
ォン、ポリカーボネイトのような樹脂に変わっても本実
施例と同様の効果が得られた。また蒸着条件は、本実施
例以外であっても効果に変わりがなかった。
The above examples are some examples showing the effect of the present invention. Even if the substrate is changed to another material such as resin such as polysulfone or polycarbonate, the same effect as this example can be obtained. Was given. Further, the vapor deposition conditions were the same as those in this example, and the effect was the same.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上記したように本発明は、撥インク膜
に弗素含有のポリイミドを採用したことにより、蒸着方
法でも金属、ガラス、シリコン、樹脂等のインクジェッ
ト記録ヘッドの材料に密着性良く被覆でき、また撥イン
ク膜の撥水性能が高いので長期信頼性のあるインクジェ
ットプリンターが製造できる効果を有した。
As described above, according to the present invention, by adopting the fluorine-containing polyimide for the ink repellent film, the material of the ink jet recording head such as metal, glass, silicon and resin can be coated with good adhesion even by the vapor deposition method. In addition, since the ink repellent film has high water repellency, it has an effect that an inkjet printer having long-term reliability can be manufactured.

【0042】また本発明は、各種基板を処理できるの
で、基板材料の異なる複数のインクジェットプリンター
のヘッドの撥インク処理を同時に実現できる。
Further, according to the present invention, since various substrates can be treated, it is possible to simultaneously realize the ink repellent treatment of the heads of a plurality of ink jet printers having different substrate materials.

【0043】また本発明は、蒸着法を採用したので、ノ
ズル穴を撥水膜でふさぐことがなく、ノズル表面を撥イ
ンク処理できる効果を有した。
Further, since the present invention employs the vapor deposition method, it has an effect that the nozzle surface can be ink-repellent treated without blocking the nozzle hole with the water-repellent film.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例1のインクジェット記録ヘッドの斜視
図。
FIG. 1 is a perspective view of an inkjet recording head according to a first exemplary embodiment.

【図2】実施例1のノズルプレートの断面図。FIG. 2 is a sectional view of the nozzle plate according to the first embodiment.

【図3】実施例1の蒸着機の概念図。FIG. 3 is a conceptual diagram of a vapor deposition machine of Example 1.

【図4】実施例1の撥インク膜を積層したノズルプレー
トの断面図。
FIG. 4 is a cross-sectional view of a nozzle plate in which the ink repellent film of Example 1 is laminated.

【図5】実施例3のインクジェット記録ヘッドの斜視
図。
FIG. 5 is a perspective view of an inkjet recording head according to a third embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 ノズルプレート 12 撥水膜 13,23 ノズル孔 15,25 圧力室 16 蒸着機 21 ノズル表面 27 多孔質体 28 多孔質体 11 Nozzle plate 12 Water-repellent film 13,23 Nozzle hole 15,25 Pressure chamber 16 Evaporator 21 Nozzle surface 27 Porous body 28 Porous body

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インクジェット記録ヘッドのノズル表面
に撥インク膜を積層したインクジェットプリンターにお
いて、前記撥インク膜が弗素含有ポリイミド樹脂である
ことを特徴とするインクジェットプリンター。
1. An ink jet printer in which an ink repellent film is laminated on a nozzle surface of an ink jet recording head, wherein the ink repellent film is a fluorine-containing polyimide resin.
【請求項2】 請求項1記載の撥インク膜を蒸着重合法
でノズル表面に積層することを特徴とするインクジェッ
トプリンターの製造方法。
2. A method for manufacturing an ink jet printer, comprising laminating the ink repellent film according to claim 1 on a nozzle surface by a vapor deposition polymerization method.
【請求項3】 インクジェット記録ヘッドのノズル表面
に撥インク膜を積層したインクジェットプリンターにお
いて、前記撥インク膜が弗素含有ポリイミド樹脂に四弗
化炭素樹脂を積層した構造であることを特徴とするイン
クジェットプリンター。
3. An ink jet printer in which an ink repellent film is laminated on a nozzle surface of an ink jet recording head, wherein the ink repellent film has a structure in which a tetrafluorocarbon resin is laminated on a fluorine-containing polyimide resin. .
【請求項4】 請求項1記載のノズル表面と撥インク膜
との間に、クロム、二酸化珪素、シロキサン含有ポリイ
ミド樹脂を順にはさむことを特徴とするインクジェット
プリンター。
4. An ink jet printer characterized in that chromium, silicon dioxide, and a siloxane-containing polyimide resin are sandwiched in this order between the nozzle surface and the ink repellent film according to claim 1.
【請求項5】 請求項1記載のノズル表面と撥インク膜
との間に、シロキサン含有ポリイミド樹脂をはさむこと
を特徴とするインクジェットプリンター。
5. An ink jet printer comprising a siloxane-containing polyimide resin sandwiched between the nozzle surface and the ink repellent film according to claim 1.
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