JPH07245445A - 波長安定化光源 - Google Patents

波長安定化光源

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Publication number
JPH07245445A
JPH07245445A JP3236194A JP3236194A JPH07245445A JP H07245445 A JPH07245445 A JP H07245445A JP 3236194 A JP3236194 A JP 3236194A JP 3236194 A JP3236194 A JP 3236194A JP H07245445 A JPH07245445 A JP H07245445A
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JP
Japan
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wavelength
light source
light
frequency
signal output
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Withdrawn
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JP3236194A
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Inventor
Yoshito Furuyama
義人 古山
Yoshibumi Nakajima
義文 中島
Takeshi Atami
健 熱海
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は波長安定化光源に関し、無変調光及
び変調光についての共鳴信号を同時に出力してレーザ光
をオフセットロックすることを目的とする。 【構成】 レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、レ
ーザ光を無変調光と変調光とに分けて出力するレーザ光
変調手段と、該レーザ光変調手段から出射された無変調
光及び変調光を同時に受け、予め決められた吸収特性に
従う吸収作用を受けた変調光と無変調光の共鳴信号を同
時に出力する共鳴信号出力手段と、共鳴周波数からのず
れ量を表す信号を変調光と無変調光毎に同時に出力する
ずれ量出力手段と、両ずれ量の差に応じた波長制御信号
をレーザ光出射手段へ帰還してレーザ光出射手段から出
射されるレーザ光の波長を帰還量に応じた値だけ変更さ
せる波長制御信号出力手段とを設けたことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光の周波数を共
鳴周波数からずれた周波数で安定し得る波長安定化光源
に関する。
【0002】レーザ光源を通信、レーザ冷却、原子発振
器などに用いる場合、その周波数が安定していることが
要求される。その安定化を得るのに吸収セルを用いたレ
ーザから出射されるレーザ光の周波数を安定化させる波
長安定化光源があるが、その波長安定化光源の周波数
は、吸収セルの共鳴周波数で安定化される。しかし、前
記レーザ冷却、原子発振器などでは、周波数の安定化を
前記共鳴周波数以外の周波数での安定化を要求される場
合もある。
【0003】
【従来の技術】従来の吸収セルを用いた波長安定化光源
を図5に示す。図5において、52は半導体レーザダイ
オード(以下、LDという。)で、このLD52の温度
は、温度コントローラ54により一定に保持される。
【0004】LD52から出射されるレーザ光は、合成
器56から供給される電流によって位相変調される。位
相変調されたレーザ光58は、吸収セル60へ入射され
る。吸収セル60から出射される共鳴信号は、光検知器
62で検知され、前置増幅器64で増幅される。共鳴信
号は、発振器66からの発振信号に応答して同期検波器
68で同期検波され、同期検波された共鳴周波数からの
ずれ量を示す信号は、積分器70を経て電流源72へ供
給されて電流源72から合成器56を経てLD52へ注
入される電流を変えてLD52から出射されるレーザ光
の周波数を共鳴周波数の方へ変更させる。これにより、
LD52から出射されるレーザ光の周波数は、吸収セル
の共鳴周波数にロックされる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】この波長安定化光源に
は、次のような問題がある。即ち、LD52は、一般に
図6に示すような電流対光出力レベル特性を有する。そ
のため、注入電流を変化させると、光出力レベルも変化
する。結果として、LD52の出力パワーは、非制御時
に比べて不安定となる。このような光パワーの揺らぎ
は、又LD52の周波数の不安定化の原因となる。この
周波数不安定化の原因は、次の理由による。即ち、吸収
セルは、そこに入射される光パワーに揺らぎが生ずる
と、この光パワーの揺らぎに同調して吸収セル60の共
鳴周波数にも揺らぎが生ずるためである。
【0006】そのため、周波数標準光源として用いる場
合、前記レーザ光源の周波数安定度は悪くなってしま
う。又、前述のように、前記レーザ光源は、吸収セルの
共鳴周波数にロックする方式であるから、吸収セルの共
鳴周波数以外の周波数を用いてLDから出射されるレー
ザ光の周波数を安定化したいという要求を満たすことは
できない。例えば、レーザ光により原子、イオン等を冷
却するレーザ冷却においては、レーザ光の周波数を前記
共鳴周波数からずらす必要があるが、前記LDを用いて
構成される波長安定化光源では、前記共鳴周波数からず
れた周波数でLDの周波数を安定化することができない
からである。又、レーザ光の周波数を前記共鳴周波数か
らずらしてレーザ光を用いたいという要求は、光とマイ
クロ波の二重共鳴の原理を利用したRb原子発振器や、
Cs原子発振器である。即ち、Rb原子発振器や、Cs
原子発振器では、マイクロ波の周波数安定度が一番良好
となるときのレーザ光の周波数が、必ずしも吸収セルの
共鳴周波数に合致するわけではないので、2つの吸収セ
ルを設け、レーザ光の周波数とマイクロ波の周波数を別
々に制御し、レーザ光については吸収セルの共鳴周波数
からずれた周波数にロックする(オフセットロックす
る)ことが必要になるからである。
【0007】本発明は、斯かる技術的課題に鑑みて創作
されたもので、無変調光及び変調光についての共鳴信号
を同時に出力してレーザ光のオフセットロックを達成し
得る波長安定化光源を提供することをその目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】図1は、請求項1乃至請
求項11記載の発明の原理ブロック図を示す。請求項1
記載の発明は、図1に示すように、レーザ光を出射する
レーザ光出射手段2と、該レーザ光出射手段2から出射
されたレーザ光を無変調光と変調光とに分けて出力する
レーザ光変調手段4と、該レーザ光変調手段4から出射
された無変調光及び変調光を同時に受け、予め決められ
た吸収特性に従う吸収作用を受けた変調光と無変調光の
共鳴信号を同時に出力する共鳴信号出力手段6と、該共
鳴信号出力手段6の共鳴周波数からのずれ量を表す信号
を変調光と無変調光毎に同時に出力するずれ量出力手段
8と、該ずれ量出力手段8から出力された両ずれ量の差
に応じた波長制御信号を前記レーザ光出射手段2へ帰還
して該レーザ光出射手段2から出射されるレーザ光の波
長を帰還量に応じた値だけ変更させる波長制御信号出力
手段10とを設けたことを特徴とする。
【0009】請求項2記載の発明は、図1に示すよう
に、請求項1記載の波長安定化光源において、レーザ光
変調手段4は、AOMを有し、該AOMへ供給されるマ
イクロ波が無変調波であることを特徴とする。
【0010】請求項3記載の発明は、図1に示すよう
に、請求項1記載の波長安定化光源において、レーザ光
変調手段4は、共鳴信号出力手段6に入射する無変調光
及び変調光の光量をほぼ等しくする制御手段を有するこ
とを特徴とする。
【0011】請求項4記載の発明は、図1に示すよう
に、請求項3記載の波長安定化光源において、制御手段
は、NDフィルタであることを特徴とする。請求項5記
載の発明は、図1に示すように、請求項3記載の波長安
定化光源において、制御手段は、レーザ光変調手段4へ
入射されるレーザ光の入射角の設定を行う手段であるこ
とを特徴とする。
【0012】請求項6記載の発明は、図1に示すよう
に、請求項1記載の波長安定化光源において、波長制御
信号出力手段10によるレーザ光の波長変更は、共鳴信
号出力手段6から出力される無変調光及び変調光を等し
くさせるようにして制御することを特徴とする。
【0013】請求項7記載の発明は、図1に示すよう
に、請求項6記載の波長安定化光源において、波長制御
信号出力手段10にサンプリング周期を設定可能なサン
プルホールド回路を設け、該サンプルホールド回路のサ
ンプリング周期を制御することを特徴とする。
【0014】請求項8記載の発明は、図1に示すよう
に、請求項6記載の波長安定化光源において、ずれ量出
力手段8は、利得を無限大に設定された差動増幅回路を
有して構成され、波長制御信号出力手段10は、サンプ
ルホールド回路、及びアップダウンカウンタを有して構
成され、該サンプルホールド回路から出力される2進信
号に応答してアップダウンカウンタを動作させることを
特徴とする。
【0015】請求項9記載の発明は、図1に示すよう
に、請求項6乃至請求項8記載の波長安定化光源におい
て、レーザ光出射手段2を構成するレーザ光源へ電流を
注入する電流源へ波長制御信号出力手段10から出力さ
れる波長制御信号を帰還することを特徴とする。
【0016】請求項10記載の発明は、図1に示すよう
に、請求項6乃至請求項8記載の波長安定化光源におい
て、レーザ光出射手段2を構成するレーザ光源の温度を
調整する温度コントローラへ波長制御信号出力手段10
から出力される波長制御信号を帰還することを特徴とす
る。
【0017】請求項11記載の発明は、図1に示すよう
に、請求項6乃至請求項8記載の波長安定化光源におい
て、レーザ光出射手段2を構成するレーザ光源の外部共
振器の共振器長を制御するPZTコントローラへ波長制
御信号出力手段10から出力される波長制御信号を帰還
することを特徴とする。
【0018】
【作用】請求項1記載の発明は、レーザ光出射手段2か
ら出射されたレーザ光をレーザ光変調手段4で無変調光
及び変調光にする。その無変調光及び変調光は、共鳴信
号出力手段6から各変調光毎の共鳴信号として出力され
る。その両共鳴信号は、ずれ量出力手段8で共鳴周波数
からのずれ量を表す信号を変調光と無変調光毎に出力す
るのに用いられる。ずれ量出力手段8から出力された各
変調光毎の信号は、波長制御信号出力手段10で前記両
信号の差に応じた波長制御信号の発生に用いられ、その
波長制御信号は、レーザ光出射手段2へ帰還されて前記
差を零にするようにレーザ光出射手段2の波長を変更す
る。
【0019】従って、レーザ光出射手段2から出射され
るレーザ光の周波数は、前記共鳴周波数からのずれ量が
等しくなる周波数の差の2分の1の値だけ前記共鳴周波
数から変位した周波数で安定化される(オフセットロッ
クされる)。
【0020】請求項2記載の発明は、AOMへ供給され
るマイクロ波を無変調波としたのでAOMから出射され
るレーザ光の出射方向がマイクロ波の周波数により変え
られてしまうのを防ぐことができる。
【0021】請求項3記載の発明は、共鳴信号出力手段
6へ入射される無変調光及び変調光の光量を等しくして
共鳴信号に生ずる偏差を無くしてオフセットロックを正
確にする。
【0022】請求項4及び請求項5は、共鳴信号出力手
段6へ入射される無変調光及び変調光の光量を等しくさ
せる手段として、それぞれNDフィルタ、及びレーザ光
変調手段4へ入射されるレーザ光の入射角の設定を用い
た。
【0023】請求項6記載の発明は、共鳴信号出力手段
6から出力される無変調光及び変調光を等しくさせるよ
うに、レーザ光出射手段2から出射されるレーザ光の波
長を波長制御信号出力手段10により制御してオフセッ
トロックを正確に制御する。
【0024】請求項7記載の発明は、波長制御信号出力
手段10のサンプルホールド回路のサンプリング周期を
制御してレーザ光出射手段2の時定数を変更する。請求
項8記載の発明は、ずれ量出力手段8を構成する差動増
幅回路からずれ量を表す各信号の差を出力させ、波長制
御信号出力手段を構成するサンプルホールド回路及びア
ップダウンカウンタから波長制御信号を出力させてオフ
セットロックを生じさせる。
【0025】請求項9記載の発明は、レーザ光出射手段
2を構成するレーザ光源へ電流を注入する電流源へ波長
制御信号出力手段10から波長制御信号を帰還させてオ
フセットロックを生じさせる。
【0026】請求項10記載の発明は、レーザ光出射手
段2を構成するレーザ光源の温度を調整する温度コント
ローラへ波長制御信号出力手段10から波長制御信号を
帰還させてオフセットロックを生じさせる。
【0027】請求項11記載の発明は、レーザ光出射手
段2を構成するレーザ光源の外部共振器の共振器長を制
御するPZTコントローラへ波長制御信号出力手段10
から波長制御信号を帰還させてオフセットロックを生じ
させる。
【0028】
【実施例】図2は、請求項1乃至請求項11に記載の発明
の一実施例を示す。図2において、100はLD、10
2はレンズ、104はアイソレータ、106はハーフミ
ラー、110はマイクロ波発振器、112はAOM、1
18は吸収セル、123,125は太陽電池、127,
129は前置増幅器(PA1 ,PA2)、131は差動
増幅器、133はサンプルホールド回路(SH)、13
5は低域通過フィルタ(LPF)である。このうち、L
D100、レンズ102、アイソレータ104、ハーフ
ミラー106、マイクロ波発振器110、AOM112
及び吸収セル118は、本出願人が先に提案した波長安
定化光源について説明した構成要素と同一の構成要素を
示すので、その詳細な説明は、必要に応じて説明するこ
とにし、その他の構成要素の説明は省略する。
【0029】AOM112は、前述のように無変調光1
13及び変調光115を出力するものであるが、その無
変調光113は、図3に示すように、レーザ光109の
周波数をfL としたとき、レーザ光109の周波数fL
と同一の周波数のレーザ光である。又、変調光115の
周波数は、fL ±NMの周波数である。ここで、Mはマ
イクロ波発振器110から出力され変調されていないマ
イクロ波の単一の周波数で、Nは次数である。この単一
の周波数とするのは、AOM112から出力されるレー
ザ光の出射方向が、AOM112へ印加されるマイクロ
波の周波数によって変えられてしまうのを防ぐためであ
る。
【0030】又、AOM112から出射されて吸収セル
118へ入射されるレーザ光の光量を同じにして置く。
その手段は、NDフィルタを用いるか、又はAOM11
2ヘ入射されるレーザ光の入射角度の調整を用いること
ができる。
【0031】太陽電池123は、吸収セル118からの
無変調光113を電気信号に変換して前置増幅器127
へ供給し、太陽電池125は、吸収セル118からの変
調光115を電気信号に変換して前置増幅器129へ供
給する。太陽電池123,125からの電気信号は、そ
れぞれ前置増幅器127,129で増幅される。前置増
幅器127,129からの電気信号は、それぞれ差動増
幅器131へ供給される。
【0032】無変調光に対する光−電気変換部、即ち太
陽電池(又はPINホトダイオード)123、前置増幅
器127の利得と、変調光に対する光−電気変換部、即
ち太陽電池(又はPINホトダイオード)125、前置
増幅器129の利得とを同じに設定して各光−電気変換
部の総合増幅率を同じにする。その細かい調整は、前置
増幅器127,129や、差動増幅器131の利得の調
整を用いる。
【0033】差動増幅器131から出力される、無変調
光113及び変調光115の差に相当する電気信号(以
下、誤差信号という。)は、サンプルホールド回路13
3へ供給されるが、サンプルホールド回路133は、誤
差信号を予め決められるサンプリング周期でサンプリン
グするものである。これにより、波長安定化光源の時定
数を変更することができる。従って、サンプルホールド
回路133は、必要に応じて設けらればよい。
【0034】差動増幅器131から出力される信号、又
はサンプルホールド回路133から出力される信号を低
域通過フィルタ135を経て平滑して波長制御信号とし
て電流源130、又は温度コントローラ132へ供給す
る。
【0035】このように構成される請求項1乃至請求項
11に記載れる発明の動作を以下に、明する。LD100
から出射され、レンズ102、アイソレータ104、そ
してハーフミラー106を経てAOM112へ入射され
たレーザ光は、マイクロ波発振器110からAOM11
2へ印加されるマイクロ波111によって周波数(位
相)変調される。この変調により、入射されたレーザ光
は、無変調光113及び変調光115としてAOM11
2から出射される(図3参照)。無変調光113は、前
述のように周波数をfL とするレーザ光であり、変調光
115は、周波数をfL±NMとするレーザ光である。
【0036】これらの変調光は、それぞれ吸収セル11
8へ同時に入射されてそこから変調光と無変調光の共鳴
信号がそれぞれ出射される。それらの共鳴信号は、吸収
セル118の吸収特性に従った信号となる。それら2つ
の共鳴信号は、それぞれ太陽電池123,125へ入射
されて電気信号に変換され、前置増幅器127,129
で増幅された後、差動増幅器131へ供給されて誤差信
号が差動増幅器131から出力される。
【0037】図2において、LD100は、図1のレー
ザ光出射手段2に対応し、マイクロ波発振器110、A
OM112は、図1のレーザ光変調手段4に対応する。
吸収セル118は、図1の共鳴信号出力手段6に対応
し、太陽電池123,125、前置増幅器127,12
9、差動増幅器131は、図1のずれ量出力手段8に対
応する。サンプルホールド回路133、LPF135
は、図1の波長制御信号出力手段10に対応する。
【0038】誤差信号の発生態様を図4を参照しながら
以下に説明する。前述のように、LD100から出射さ
れたレーザ光109は、AOM112において無変調光
113及び変調光115に変換され、吸収セル118で
それぞれ共鳴信号として出力される。それらの信号の周
波数は、それぞれ周波数fL と、周波数fL ±NMであ
る。
【0039】前記2つの共鳴信号の各周波数が、図4で
参照番号51で示すように、共鳴周波数f0 から丁度同
一周波数値だけ隔たった周波数値であるとすると、太陽
電池123,125、前置増幅器127,129を経て
差動増幅器131へ入力される電気信号値は、同一にな
る。この関係を図4の吸収特性曲線でいうと、参照番号
61aが、変調光115に対する共鳴信号として吸収セ
ル118から出射された信号成分に対応し、参照番号6
1bが、無変調光113に対する共鳴信号として吸収セ
ル118から出射された信号成分に対応する。図4の参
照番号113fは、無変調光113の周波数に対応し、
参照番号115fは、変調光115の周波数に対応す
る。
【0040】従って、差動増幅器131からの出力信号
はなく、サンプリングされ、又はされずして低域通過フ
ィルタ135へ供給される信号値は零となる。それ故、
電流源130、又は温度コントローラ132へ供給され
る波長制御信号は無く、LD100から出射される周波
数の制御はされない。つまり、Nが1次であるとする
と、周波数(波長)制御としては、無変調光113の周
波数が、共鳴周波数f0からfL −M/2だけ隔たった
周波数にあって、変調光115の周波数が、共鳴周波数
0 からfL +M/2だけ隔たった周波数にある状態
で、LD100の周波数が安定化される。LD100の
周波数はオフセットロックされる。
【0041】又、前記2つの共鳴信号の各周波数が、図
4で参照番号52で示すように、共鳴周波数より高い周
波数側に変位した状態になると、太陽電池123,12
5、前置増幅器127,129を経て差動増幅器131
へ入力される電気信号値の各々は、異なって来る。この
関係を図4の吸収特性曲線でいうと、参照番号62a
が、変調光115に対する共鳴信号として吸収セル11
8から出射された信号成分に対応し、参照番号62b
が、無変調光113に対する共鳴信号として吸収セル1
18から出射された信号成分に対応する。
【0042】従って、差動増幅器131から出力される
出力信号の値は、図4に示す参照番号62aと、参照番
号62bとの差に相当する信号値となる。この信号値
が、サンプリングされ、又はされずして低域通過フィル
タ135で平滑されて波長制御信号として電流源13
0、又は温度コントローラ132へ供給され、LD10
0から出射されるレーザ光の周波数を低下させるように
作用する。
【0043】これにより、参照番号52で示される2つ
の共鳴信号の周波数は、参照番号51で示す2つの共鳴
信号の周波数の方へ推移させられてLD100の周波数
は安定化される。つまり、Nが1次であるとすると、周
波数(波長)制御としては、無変調光113の周波数
が、共鳴周波数f0 からfL −M/2だけ隔たった周波
数にあって、且つ変調光115の周波数が、共鳴周波数
0 からfL +M/2だけ隔たった周波数にある状態
で、LD100の周波数が安定化されてLD100の周
波数がオフセットロックされる。
【0044】これとは逆に、前記2つの共鳴信号の各周
波数が、図4で参照番号53で示すように、共鳴周波数
より低い周波数側に変位した状態になると、太陽電池1
23,125、前置増幅器127,129を経て差動増
幅器131へ入力される電気信号値の各々は、前記2つ
の共鳴信号の各周波数が高い周波数側へ変位した場合と
逆になる。この関係を図4の吸収特性曲線でいうと、参
照番号63aが、変調光115に対する共鳴信号として
吸収セル118から出射される信号成分に対応し、参照
番号63bが、無変調光113に対する共鳴信号として
吸収セル118から出射される信号成分に対応する。
【0045】従って、差動増幅器131から出力される
出力信号の値は、図4に示す参照番号63aと、参照番
号63bとの差に相当する信号値となる。この信号値
が、サンプリングされ、又はされずして低域通過フィル
タ135で平滑されて波長制御信号として電流源13
0、又は温度コントローラ132へ供給され、LD10
0から出射されるレーザ光の周波数を高めるように作用
する。
【0046】これにより、参照番号53で示される2つ
の共鳴信号の周波数は、参照番号51で示す2つの共鳴
信号の周波数の方へ推移させられてLD100の周波数
は安定化される。つまり、Nが1次であるとすると、周
波数(波長)制御としては、無変調光113の周波数
が、共鳴周波数f0 からfL −M/2だけ隔たった周波
数にあって、変調光115の周波数が、共鳴周波数f0
からfL +M/2だけ隔たった周波数にある状態で、L
D100の周波数が安定化されてLD100の周波数は
オフセットロックされる。
【0047】このオフセットロック状態にして周波数の
安定化を得るために、LD100から出射されるレーザ
光を従来のうよに変化させなくてもよいから、出力レー
ザ光として用い得るレーザ光は無変調光となり、しかも
周波数安定性に優れている。従って、前述のように構成
される波長安定化光源は、周波数標準光源として用いる
ことが可能になる。
【0048】又、前述のようなオフセットロックを達成
し得るので、そのマイクロ波の周波数を任意に設定する
ことにより、オフセット位置を任意に設定し得る。又、
サンプルホールド回路133のサンプリング周期を変え
ることにより、波長安定化光源の時定数を任意に設定し
得る。
【0049】前記実施例においては、波長制御信号を得
るのに、低域通過フィルタ(積分器)を用いているが、
アップダウンカウンタを用いて積分器を構成するように
してもよい。このアップダウンカウンタは、前記サンプ
ルホールド回路133のサンプリング周期に同期してカ
ウント動作をする。例えば、差動増幅器131から出力
される差の信号がプラスのとき、サンプルホールド回路
133から高レベルの信号を出力し、差動増幅器131
から出力される差の信号がマイナスのとき、サンプルホ
ールド回路133から低レベルの信号を出力ようにす
る。これら両信号に応答してアップダウンカウンタのカ
ウント動作をするようにして積分機能を生ぜしめる。こ
の場合に、差動増幅器131の利得は無限大に設定され
る。微小信号の判別を容易にするためである。
【0050】又、レーザが外部共振器を用いて周波数調
整をしている形式のレーザの場合には、その共振器の長
さを調整しているPZTコントローラへ波長制御信号を
帰還するようにする。
【0051】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、無
変調光及び変調光を発生し、共鳴信号出力手段の共鳴周
波数に対してオフセットした周波数において共鳴信号出
力手段から出射される両変調光の成分を同一にするよう
に構成して優れた位相弁別特性を得て周波数制御を行う
ようにしたので、周波数安定度が良くなる。その際にレ
ーザは、周波数変調を行わないから、出力レーザ光は無
変調光となる。そして、単一の周波数のマイクロ波信号
で無変調光及び変調光を発生するようにしたので、オフ
セット量を定量的に設定することが可能になる。従っ
て、原子、イオンの吸収線に対してレーザ光の周波数を
オフセットした周波数で周波数を安定にしたいという要
求を満たすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1乃至請求項11記載の発明の原理ブロッ
ク図である。
【図2】請求項1乃至請求項11記載の発明の一実施例を
示す図である。
【図3】レーザ光を変調する構成を示す図である。
【図4】波長制御信号の発生を説明する図である。
【図5】従来の波長安定化光源を示す図である。
【図6】LDの注入電流対光出力レベルの特性を示す図
である。
【符号の説明】
2 レーザ光出射手段 4 レーザ光変調手段 6 共鳴信号出力手段 8 ずれ量出力手段 10 波長制御信号出力手段 100 LD 110 マイクロ波発振器 112 AOM 118 吸収セル 123 太陽電池 125 太陽電池 127 前置増幅器 129 前置増幅器 131 差動増幅器 133 サンプルホールド回路 135 LPF

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光を出射するレーザ光出射手段
    (2)と、 該レーザ光出射手段(2)から出射されたレーザ光を無
    変調光と変調光とに分けて出力するレーザ光変調手段
    (4)と、 該レーザ光変調手段(4)から出射された無変調光及び
    変調光を同時に受け、予め決められた吸収特性に従う吸
    収作用を受けた変調光と無変調光の共鳴信号を同時に出
    力する共鳴信号出力手段(6)と、 該共鳴信号出力手段(6)の共鳴周波数からのずれ量を
    表す信号を変調光と無変調光毎に同時に出力するずれ量
    出力手段(8)と、 該ずれ量出力手段(8)から出力された両ずれ量の差に
    応じた波長制御信号を前記レーザ光出射手段(2)へ帰
    還して該レーザ光出射手段(2)から出射されるレーザ
    光の波長を帰還量に応じた値だけ変更させる波長制御信
    号出力手段(10)とを設けたことを特徴とする波長安
    定化光源。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の波長安定化光源におい
    て、 レーザ光変調手段(4)は、AOMを有し、該AOMへ
    供給されるマイクロ波が無変調波であることを特徴とす
    る波長安定化光源。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の波長安定化光源におい
    て、 レーザ光変調手段(4)は、共鳴信号出力手段(6)に
    入射する無変調光及び変調光の光量をほぼ等しくする制
    御手段を有することを特徴とする波長安定化光源。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の波長安定化光源におい
    て、 制御手段は、NDフィルタであることを特徴とする波長
    安定化光源。
  5. 【請求項5】 請求項3記載の波長安定化光源におい
    て、 制御手段は、レーザ光変調手段(4)へ入射されるレー
    ザ光の入射角の設定を行う手段であることを特徴とする
    波長安定化光源。
  6. 【請求項6】 請求項1記載の波長安定化光源におい
    て、 波長制御信号出力手段(10)によるレーザ光の波長変
    更は、共鳴信号出力手段(6)から出力される無変調光
    及び変調光を等しくさせるようにして制御することを特
    徴とする波長安定化光源。
  7. 【請求項7】 請求項6記載の波長安定化光源におい
    て、 波長制御信号出力手段(10)にサンプリング周期を設
    定可能なサンプルホールド回路を設け、該サンプルホー
    ルド回路のサンプリング周期を制御することを特徴とす
    る波長安定化光源。
  8. 【請求項8】 請求項6記載の波長安定化光源におい
    て、 ずれ量出力手段(8)は、利得を無限大に設定された差
    動増幅回路を有して構成され、波長制御信号出力手段
    (10)は、サンプルホールド回路、及びアップダウン
    カウンタを有して構成され、該サンプルホールド回路か
    ら出力される2進信号に応答してアップダウンカウンタ
    を動作させることを特徴とする波長安定化光源。
  9. 【請求項9】 請求項6乃至請求項8記載の波長安定化
    光源において、 レーザ光出射手段(2)を構成するレーザ光源へ電流を
    注入する電流源へ波長制御信号出力手段(10)から出
    力される波長制御信号を帰還することを特徴とする波長
    安定化光源。
  10. 【請求項10】 請求項6乃至請求項8記載の波長安定
    化光源において、 レーザ光出射手段(2)を構成するレーザ光源の温度を
    調整する温度コントローラへ波長制御信号出力手段(1
    0)から出力される波長制御信号を帰還することを特徴
    とする波長安定化光源。
  11. 【請求項11】 請求項6乃至請求項8記載の波長安定
    化光源において、 レーザ光出射手段(2)を構成するレーザ光源の外部共
    振器の共振器長を制御するPZTコントローラへ波長制
    御信号出力手段(10)から出力される波長制御信号を
    帰還することを特徴とする波長安定化光源。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020198340A (ja) * 2019-05-31 2020-12-10 国立研究開発法人産業技術総合研究所 光周波数・位相の自動安定化装置

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