JPH0724238A - Method for regenerating adsorber in argon refining equipment - Google Patents
Method for regenerating adsorber in argon refining equipmentInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、高純度アルゴンの精製
設備に関し、特に、粗アルゴンガス中の酸素を除去する
ためのプロセスにおいて用いられる吸着装置の再生方法
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-purity argon refining facility, and more particularly to a method for regenerating an adsorption device used in a process for removing oxygen in crude argon gas.
【０００２】[0002]
【従来の技術】高純度のアルゴンを精製する場合、粗ア
ルゴン塔で少量の窒素と酸素を含む粗アルゴンガスを製
造した後、この粗アルゴンガス中の酸素を水素と反応さ
せて除去し、更に純アルゴン塔において精溜して高純度
のアルゴンを採取するという方法が一般的に採られてい
る。When purifying high-purity argon, a crude argon gas containing a small amount of nitrogen and oxygen is produced in a crude argon column, and then oxygen in the crude argon gas is removed by reacting it with hydrogen. A method of rectifying and collecting high-purity argon in a pure argon column is generally adopted.
【０００３】粗アルゴンガス中の酸素を除去するプロセ
スを図２に沿って簡単に説明すると、まず、粗アルゴン
塔１から取り出された粗アルゴンガスをアルゴンガス圧
縮機２により圧縮した後、粗アルゴンガス中の酸素に対
して幾分過剰気味に水素ガスを添加する。次いで、デオ
キソ塔３において粗アルゴンガス中の酸素と水素とを反
応させて水に転化した後、この粗アルゴンガスを複数の
冷却機４，５，６で冷却し、吸着装置７に導入して水を
除去する。このようにして酸素が除去された少量の窒素
と水素を含む粗アルゴンガスは純アルゴン塔８に導入さ
れ、精溜の原理により液化高純度アルゴンに分離され
る。The process of removing oxygen in the crude argon gas will be briefly described with reference to FIG. 2. First, the crude argon gas taken out from the crude argon column 1 is compressed by the argon gas compressor 2 and then the crude argon gas is compressed. Hydrogen gas is added with a slight excess of oxygen in the gas. Next, after oxygen and hydrogen in the crude argon gas are reacted in the deoxo column 3 to be converted into water, the crude argon gas is cooled by a plurality of coolers 4, 5, 6 and introduced into the adsorption device 7. Remove water. The crude argon gas containing a small amount of nitrogen and hydrogen from which oxygen has been removed in this manner is introduced into the pure argon column 8 and separated into liquefied high-purity argon by the principle of rectification.
【０００４】ここで、前記吸着装置７は、アルミナゲル
やシリカゲル等の吸着剤を用いた吸着塔７ａ，７ｂから
構成されている。また、アルゴン精製設備の連続運転を
可能とするために、吸着装置７は、図示するように２基
以上の吸着塔７ａ，７ｂを備え、一方の吸着塔が粗アル
ゴンガス中の水の吸着を行っている間、他方の吸着塔に
対しては再生処理を施すようになっている。Here, the adsorption device 7 is composed of adsorption towers 7a and 7b using an adsorbent such as alumina gel or silica gel. Further, in order to enable continuous operation of the argon refining equipment, the adsorption device 7 is provided with two or more adsorption towers 7a and 7b as shown in the drawing, one adsorption tower adsorbing water in the crude argon gas. During the process, the other adsorption tower is regenerated.
【０００５】このような吸着装置７の再生は、従来一般
には次のようにして行われている。吸着塔７ａが吸着工
程にあり、他方の吸着塔７ｂが再生工程となる場合、ま
ず、再生用の窒素ガスをヒーター１０で加熱し、吸着塔
７ｂに導入して吸着塔７ｂ内の水分を追い出し、次いで
吸着塔７ａからの脱酸ドライの粗アルゴンガスの一部を
弁１３ｂを通して吸着塔７ｂ内に導入し、吸着塔７ｂ内
に残存する酸素分を追い出し再生する。この酸素分は、
再生用窒素ガスに含まれているものである。そして、一
定の時間（８〜１２時間）経過したならば、弁１２ａ，
１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１
５ｂを切り換えて、吸着塔７ｂにより吸着を開始し、吸
着塔７ａの再生を上記と同様の手順で行うのである。Regeneration of the adsorption device 7 as described above has been generally performed as follows. When the adsorption tower 7a is in the adsorption step and the other adsorption tower 7b is in the regeneration step, first, the nitrogen gas for regeneration is heated by the heater 10 and introduced into the adsorption tower 7b to expel the water in the adsorption tower 7b. Then, a part of the deoxidized dry crude argon gas from the adsorption tower 7a is introduced into the adsorption tower 7b through the valve 13b, and the oxygen content remaining in the adsorption tower 7b is expelled and regenerated. This oxygen content is
It is contained in the nitrogen gas for regeneration. When a certain time (8 to 12 hours) has elapsed, the valves 12a,
12b, 13a, 13b, 14a, 14b, 15a, 1
5b is switched, adsorption is started by the adsorption tower 7b, and the adsorption tower 7a is regenerated by the same procedure as above.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の吸着装置の再生方法によれば、再生用の
窒素ガスを供給するシステムが必要となり、アルゴン精
製設備の複雑化、大型化を招くという問題点がある。However, according to the conventional method of regenerating the adsorption device as described above, a system for supplying the regenerating nitrogen gas is required, and the argon refining equipment becomes complicated and large in size. There is a problem.
【０００７】また、水の吸着を終えた粗アルゴンガスの
一部も吸着装置の再生に使用するが、再生使用後の粗ア
ルゴンガスには再生用窒素ガスに含まれていた酸素等の
不純物が混入するため、この粗アルゴンガスは廃棄しな
ければならず、よって製品アルゴンの収率が低下すると
いう問題も生じていた。[0007] A part of the crude argon gas that has completed the adsorption of water is also used for regenerating the adsorption device, but the crude argon gas after the regenerating and using contains impurities such as oxygen contained in the regenerating nitrogen gas. Since the crude argon gas is mixed in, the crude argon gas must be discarded, which causes a problem that the yield of product argon decreases.
【０００８】従って、本発明の目的は、上記問題点を解
決することのできる吸着装置の再生方法を提供すること
にある。Therefore, an object of the present invention is to provide a method for regenerating an adsorption device which can solve the above problems.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上記目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明によれば、粗アルゴン塔か
ら取り出した少量の窒素と酸素を含む粗アルゴンガスに
水素を添加して酸素と反応させて水に転化し、交互に吸
着・再生を切り換えて使用する複数基の吸着塔から成る
吸着装置により水を除去した後、純アルゴン塔にて精溜
して高純度アルゴンを採取するアルゴン精製設備におい
て、吸着装置の吸着側の吸着塔を通って水が除去された
粗アルゴンガスの一部を、再生側の吸着塔の圧力を減圧
することによりこの再生側の吸着塔に導入して、再生側
の吸着塔の脱着再生を行うことを特徴としている。In order to achieve the above object, according to the invention of claim 1, hydrogen is added to a crude argon gas containing a small amount of nitrogen and oxygen taken out from the crude argon column. After reacting with oxygen to be converted to water, water is removed by an adsorption device consisting of multiple adsorption towers that are alternately used for adsorption / regeneration, and then purified by a pure argon tower to collect high-purity argon. In the argon refining equipment, part of the crude argon gas from which water has been removed through the adsorption side adsorption tower of the adsorption device is introduced into this regeneration side adsorption tower by reducing the pressure in the regeneration side adsorption tower. Then, the adsorption tower on the regeneration side is desorbed and regenerated.
【００１０】また、請求項２に記載の発明では、吸着装
置の再生側の吸着塔から排出された水を含む粗アルゴン
ガスを、水分離器で水分を分離した後、粗アルゴン塔か
ら取り出したアルゴンガスに合流させることを特徴とし
ている。According to the second aspect of the invention, crude argon gas containing water discharged from the regeneration side adsorption tower of the adsorption device is taken out from the crude argon tower after water is separated by a water separator. It is characterized by being joined with argon gas.
【００１１】[0011]
【作用】上述したように、請求項１に記載の発明におい
ては、水分が除去された粗アルゴンガスのみを使用して
吸着塔の再生を図っているので、再生用窒素ガスが不要
となる。従って、再生用窒素ガスに含まれている不純物
が、再生に使用した粗アルゴンガスに混入することがな
く、請求項２に記載したように、使用済みの粗アルゴン
ガスの再利用が可能となる。As described above, in the invention described in claim 1, since the adsorption tower is regenerated by using only the crude argon gas from which water is removed, the regeneration nitrogen gas is not required. Therefore, the impurities contained in the nitrogen gas for regeneration do not mix with the crude argon gas used for regeneration, and the used crude argon gas can be reused as described in claim 2. .
【００１２】[0012]
【実施例】以下、図１に沿って本発明の好適な実施例に
ついて詳細に説明するが、図１の構成は、吸着装置７の
再生系を除き、基本的には図２に示した従来構成と同様
であり、同一又は相当部分には同一符号を用いることと
する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A preferred embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to FIG. 1. The configuration of FIG. 1 is basically the same as that of the conventional one shown in FIG. The configuration is the same, and the same or corresponding parts will be denoted by the same reference symbols.
【００１３】図示するように、粗アルゴン塔１から導管
１６により取り出された粗アルゴンガスは、アルゴンガ
ス圧縮機２により、吸着装置７での吸着に適した吸着圧
力、例えば約５ｋｇ／ｃｍ2 Ｇにまで圧縮される。この
後、アルゴンガス圧縮機２から導出された粗アルゴンガ
スに、少量の高純度の水素ガスが導管１７を経て添加さ
れる。この水素ガスは、粗アルゴンガスに含まれている
酸素を水に転化して除去するためのものである。例え
ば、粗アルゴンガスにアルゴンの他、窒素約３％、酸素
約２％が含まれている場合、酸素を完全に水に転化する
ために、約５％程度の水素ガスを粗アルゴンガスに添加
する。As shown in the figure, the crude argon gas taken from the crude argon column 1 through the conduit 16 is subjected to an adsorption pressure suitable for adsorption in the adsorption device 7 by the argon gas compressor 2, for example, about 5 kg / cm 2 G Compressed up to. Then, a small amount of high-purity hydrogen gas is added to the crude argon gas discharged from the argon gas compressor 2 via the conduit 17. This hydrogen gas is for converting oxygen contained in the crude argon gas into water and removing it. For example, when the crude argon gas contains about 3% nitrogen and about 2% oxygen in addition to argon, about 5% hydrogen gas is added to the crude argon gas in order to completely convert oxygen into water. To do.
【００１４】水素ガスが添加された粗アルゴンガスは導
管１８を経てデオキソ塔３に導入される。このデオキソ
塔３内で、粗アルゴンガス中の酸素は全て水素と反応し
て水に転化される。デオキソ塔３から導出された窒素、
水素及び水を含む粗アルゴンガスは、約４００℃の高温
となっているため、空冷式冷却機４、水冷式冷却機５及
びフレオン冷却機５を順次通って、約１０℃まで冷却さ
れる。そして、この冷却された粗アルゴンガスは、吸着
装置７に導入される前に、前処理としてウォーターセパ
レーター１９において水の一部が除去される。The crude argon gas added with hydrogen gas is introduced into the deoxo column 3 via the conduit 18. In this deoxo column 3, all oxygen in the crude argon gas reacts with hydrogen and is converted into water. Nitrogen derived from the deoxo column 3,
Since the crude argon gas containing hydrogen and water has a high temperature of about 400 ° C., it is cooled to about 10 ° C. by sequentially passing through the air cooling type cooling device 4, the water cooling type cooling device 5 and the Freon cooling device 5. Then, before the cooled crude argon gas is introduced into the adsorption device 7, part of the water is removed in the water separator 19 as a pretreatment.
【００１５】今、弁１２ａ，１３ａ，１４ｂ，２０ｂが
開放され、弁１２ｂ，１３ｂ，１４ａ，２０ａが閉鎖さ
れることによって、吸着装置７の一方の吸着塔７ａが吸
着工程、他方の吸着塔７ｂが再生工程となっているとす
ると、ウォーターセパレーター１９からの粗アルゴンガ
スは導管２１から弁１２ａを経て吸着塔７ａに導入さ
れ、そこで粗アルゴンガス中の水が吸着除去される。そ
して、吸着塔７ａにて水が完全に除去された粗アルゴン
ガスは、導管２２から弁１３ａを経て、更に導管２３を
通ってアルゴンリボイラー９に導入される。Now, the valves 12a, 13a, 14b, 20b are opened and the valves 12b, 13b, 14a, 20a are closed, so that one adsorption tower 7a of the adsorption device 7 is in the adsorption step and the other adsorption tower 7b. Is the regeneration step, the crude argon gas from the water separator 19 is introduced from the conduit 21 through the valve 12a into the adsorption tower 7a, where the water in the crude argon gas is adsorbed and removed. Then, the crude argon gas from which water has been completely removed in the adsorption tower 7a is introduced into the argon reboiler 9 from the conduit 22 through the valve 13a and further through the conduit 23.
【００１６】アルゴンリボイラー９に導入された脱酸ド
ライの粗アルゴンガスは、純アルゴン塔８からの液化高
純度アルゴンにより冷却されて液化された後、導管２４
を通って純アルゴン塔８の中部に導入される。純アルゴ
ン塔８は、アルゴン精製設備の最終精製塔であり、気液
接触による精溜の原理に従って液化粗アルゴンに含まれ
ている窒素ガス及び水素ガスを分離し、廃ガスとして塔
頂部から導管２５により大気中に放出する。また、精製
された液化高純度アルゴンは純アルゴン塔８の底部に貯
溜され、導管２６によりアルゴンリボイラー９に送られ
た後、導管２７によりそのまま製品アルゴンとして取り
出される。The deoxidized dry crude argon gas introduced into the argon reboiler 9 is cooled and liquefied by the liquefied high-purity argon from the pure argon column 8, and then the conduit 24 is provided.
Is introduced into the central part of the pure argon column 8. The pure argon column 8 is the final purification column of the argon purification facility, and separates the nitrogen gas and hydrogen gas contained in the liquefied crude argon according to the principle of rectification by gas-liquid contact, and uses the conduit 25 from the top of the column as waste gas. Released into the atmosphere. Further, the purified liquefied high-purity argon is stored at the bottom of the pure argon column 8, sent to the argon reboiler 9 by the conduit 26, and then taken out as product argon as it is by the conduit 27.
【００１７】一方、吸着装置７の吸着塔７ｂは前述した
ように再生工程となっているが、本発明の再生方法によ
れば、従来の方法とは異なり、再生用ガスとして再生用
窒素ガスは用いず、吸収塔７ａから導出された脱酸ドラ
イの粗アルゴンガスの一部を用いることとしている。On the other hand, although the adsorption tower 7b of the adsorption device 7 is in the regeneration step as described above, according to the regeneration method of the present invention, unlike the conventional method, the regeneration nitrogen gas is the regeneration nitrogen gas. Instead of using it, a part of the crude deoxidized crude argon gas derived from the absorption tower 7a is used.
【００１８】即ち、図示するように、導管２３の途中に
は分岐管２８が接続され、この分岐管２８により脱酸ド
ライの粗アルゴンガスの一部（例えば１５Ｎｍ3 ／ｈ）
を取り出して吸着塔７ｂに送るようになっている。分岐
管２８中に設けられている弁２０ａ，２０ｂは減圧弁で
あり、この弁２０ａ，２０ｂを開放すると、その下流側
は約１ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ程度に減圧される。導管２３内の
圧力は約５ｋｇ／ｃｍ2 弱であるので、この圧力差によ
り導管２３中の脱酸ドライの粗アルゴンガスの一部が吸
引されて、吸着塔７ｂに導入されるのである。勿論、粗
アルゴンガスの大部分は前述したように純アルゴン塔８
に送られる。吸着塔７ｂに導入された脱酸ドライの粗ア
ルゴンガスは、そのガス圧により、吸着塔７ｂ内の吸着
剤に付着している水を追い出し再生する。That is, as shown in the drawing, a branch pipe 28 is connected in the middle of the conduit 23, and a part of the crude deoxidized crude argon gas (for example, 15 Nm 3 / h) is connected by the branch pipe 28.
Is taken out and sent to the adsorption tower 7b. The valves 20a and 20b provided in the branch pipe 28 are pressure reducing valves, and when the valves 20a and 20b are opened, the pressure on the downstream side is reduced to about 1 kg / cm 2 G. Since the pressure in the conduit 23 is about 5 kg / cm 2 or less, a part of the deoxidized dry crude argon gas in the conduit 23 is sucked by the pressure difference and introduced into the adsorption tower 7b. Of course, most of the crude argon gas is the pure argon column 8 as described above.
Sent to. The deoxidized dry crude argon gas introduced into the adsorption tower 7b expels and regenerates water adhering to the adsorbent in the adsorption tower 7b by its gas pressure.
【００１９】このように吸着塔７ｂの再生に使用され排
出された粗アルゴンガスは水分を含んでいるものの、成
分的にはデオキシ塔３から導出された粗アルゴンガスと
実質的に同一である。従って、この実施例では、吸着塔
７ｂからの粗アルゴンガスを再利用するために、この粗
アルゴンガスを導管２９からウォーターセパレーター３
０に導入して水をある程度除去した後、導管３１を通し
て導管１６に戻し、再度吸着塔７ａに送ることとしてい
る。Although the crude argon gas used for the regeneration of the adsorption tower 7b and discharged in this way contains water, the composition is substantially the same as the crude argon gas derived from the deoxy tower 3. Therefore, in this embodiment, in order to reuse the crude argon gas from the adsorption tower 7b, this crude argon gas is supplied from the conduit 29 to the water separator 3
After being introduced to 0 to remove water to some extent, it is returned to the conduit 16 through the conduit 31 and sent again to the adsorption tower 7a.
【００２０】以上の処理が一定時間続けられ、吸着塔７
ｂの再生が終了したならば、吸着塔７ａ，７ｂの再生・
吸着を切り換えるべく、弁１２ａ，１３ａ，１４ｂ，２
０ｂを閉じ、弁１２ｂ，１３ｂ，１４ａ，２０ａを開放
する。尚、吸着塔７ａを再生工程とし、吸着塔７ｂを吸
着工程とした場合も処理内容は上記と実質的に同様であ
るので、説明は省略する。The above treatment is continued for a certain period of time, and the adsorption tower 7
When the regeneration of b is completed, the adsorption towers 7a and 7b are regenerated.
The valves 12a, 13a, 14b, 2 are used to switch the adsorption.
0b is closed and valves 12b, 13b, 14a and 20a are opened. Note that the processing contents are substantially the same as above even when the adsorption tower 7a is used as the regeneration step and the adsorption tower 7b is used as the adsorption step, and therefore a description thereof is omitted.
【００２１】以上、本発明の好適な実施例について詳細
に説明したが、本発明は上記実施例に限定されないこと
は言うまでもない。例えば、上記実施例における吸着装
置７は２基の吸着塔７ａ，７ｂから成るものであるが、
３基以上の吸着塔から成る吸着装置に対しても本発明を
適用できることは当業者ならば容易に理解されよう。The preferred embodiments of the present invention have been described above in detail, but it goes without saying that the present invention is not limited to the above embodiments. For example, the adsorption device 7 in the above embodiment is composed of two adsorption towers 7a and 7b,
Those skilled in the art will readily understand that the present invention can be applied to an adsorption device composed of three or more adsorption towers.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、一
方の吸着塔から排出された脱酸ドライの粗アルゴンガス
を利用して他方の吸着塔の再生を行うので、従来のよう
に、再生用窒素ガスが不要となる。従って、再生用窒素
ガスを供給するためのシステムを設ける必要がなくなる
ので、アルゴン精製設備の単純化、小型化を図ることが
できる。As described above, according to the present invention, since the deoxidized dry crude argon gas discharged from one of the adsorption towers is used to regenerate the other adsorption tower, the conventional method is used. , Nitrogen gas for regeneration becomes unnecessary. Therefore, it is not necessary to provide a system for supplying the regenerating nitrogen gas, so that the argon refining equipment can be simplified and downsized.
【００２３】また、再生用窒素ガスに含まれている酸素
等の不純物が吸着装置の再生に使用した粗アルゴンガス
に混入することもないので、この使用済み粗アルゴンガ
スの再利用が可能となり、製品アルゴンの収率が向上す
るという効果もある。Further, since impurities such as oxygen contained in the regenerating nitrogen gas are not mixed with the crude argon gas used for regenerating the adsorption device, this used crude argon gas can be reused. There is also an effect that the yield of product argon is improved.
【図１】本発明による吸着装置の再生方法を説明するた
めのアルゴン精製設備の一部を示す系統図である。FIG. 1 is a system diagram showing a part of argon purification equipment for explaining a method for regenerating an adsorption device according to the present invention.
【図２】従来の吸着装置の再生方法を説明するためのア
ルゴン精製設備の一部を示す系統図である。FIG. 2 is a system diagram showing a part of an argon purification facility for explaining a conventional method for regenerating an adsorption device.
１…粗アルゴン塔、２…アルゴンガス圧縮機、３…デオ
キソ塔、４，５，６…冷却機、７…吸着装置、７ａ，７
ｂ…吸着塔、８…純アルゴン塔、９…アルゴンリボイラ
ー、１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４
ｂ，１５ａ，１５ｂ，２０ａ，２０ｂ…弁、１９，３０
…ウォーターセバレーター。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Crude argon tower, 2 ... Argon gas compressor, 3 ... Deoxo tower, 4,5, 6 ... Cooler, 7 ... Adsorption device, 7a, 7
b ... Adsorption tower, 8 ... Pure argon tower, 9 ... Argon reboiler, 12a, 12b, 13a, 13b, 14a, 14
b, 15a, 15b, 20a, 20b ... Valve, 19, 30
… Water severs.
Claims (2)
と酸素を含む粗アルゴンガスに水素を添加して酸素と反
応させて水に転化し、交互に吸着・再生を切り換えて使
用する複数基の吸着塔から成る吸着装置により前記水を
除去した後、純アルゴン塔にて精溜して高純度アルゴン
を採取するアルゴン精製設備において、前記吸着装置の
吸着側の吸着塔を通って水が除去された粗アルゴンガス
の一部を、再生側の吸着塔の圧力を減圧することにより
該再生側の吸着塔に導入して、該再生側の吸着塔の脱着
再生を行うことを特徴とするアルゴン精製設備における
吸着装置の再生方法。1. A crude argon gas containing a small amount of nitrogen and oxygen taken out from a crude argon column is added with hydrogen to react with oxygen to be converted into water, and a plurality of groups to be used by alternately switching adsorption and regeneration. After removing the water by an adsorption device composed of an adsorption tower, in an argon refining facility for rectifying in a pure argon column to collect high-purity argon, water is removed through the adsorption tower on the adsorption side of the adsorption device. Part of the crude argon gas is introduced into the regeneration-side adsorption tower by reducing the pressure in the regeneration-side adsorption tower, and desorption regeneration of the regeneration-side adsorption tower is carried out. Regeneration method of adsorption device in equipment.
排出された水を含む粗アルゴンガスを、水分離器で水分
を分離した後、粗アルゴン塔から取り出した粗アルゴン
ガスに合流させることを特徴とする請求項１記載のアル
ゴン精製設備における吸着装置の再生方法。2. A crude argon gas containing water discharged from the adsorption tower on the regeneration side of the adsorption device is combined with crude argon gas taken out from the crude argon tower after water is separated by a water separator. The method for regenerating an adsorption device in an argon refining facility according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5170327A JPH0724238A (en) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | Method for regenerating adsorber in argon refining equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5170327A JPH0724238A (en) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | Method for regenerating adsorber in argon refining equipment |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0724238A true JPH0724238A (en) | 1995-01-27 |
Family
ID=15902900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5170327A Pending JPH0724238A (en) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | Method for regenerating adsorber in argon refining equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0724238A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112494993A (en) * | 2020-12-28 | 2021-03-16 | 大连福佳·大化石油化工有限公司 | Adsorption tower stripping system and stripping method thereof |
-
1993
- 1993-07-09 JP JP5170327A patent/JPH0724238A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112494993A (en) * | 2020-12-28 | 2021-03-16 | 大连福佳·大化石油化工有限公司 | Adsorption tower stripping system and stripping method thereof |
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