JPH07232037A - Membrane separation apparatus - Google Patents

Membrane separation apparatus

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JPH07232037A
JPH07232037A JP2711394A JP2711394A JPH07232037A JP H07232037 A JPH07232037 A JP H07232037A JP 2711394 A JP2711394 A JP 2711394A JP 2711394 A JP2711394 A JP 2711394A JP H07232037 A JPH07232037 A JP H07232037A
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Japan
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membrane
fluid
water
raw
membrane separation
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JP2711394A
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Yushi Matsuoka
雄史 松岡
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Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd
Hitachi Ltd
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  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a membrane separation technology which can extend the life of a separation membrane and reduce administration costs. CONSTITUTION:In a membrane separation apparatus, RO modules 3a-3d are placed in a container main body l, both ends of which are closed by main body covers 2a, 2b, multistagewise in the axial direction through brine seals 4a-4d, raw water 20 which is pressurized from a raw water inlet pipe 13 to a concentrated water outlet pipe 15 is passed, and permeated water 20b is recovered through water collecting pipes 16a-16d and a permeated water outlet pipe 14. Pipe seats 6a-6e communicating with the front and rear of each of the RO modules 3a-3d, a pressure equalizer 11 which makes the pipe seats 6a-6e communicate, a constant flow valve 7, control valves 8a-8d, partition valves 10a-10d, and pressure gauges 9a-9e are installed on the periphery of the container main body 1, enabling monitoring the pressure differences between the front and rear of each of the RO modules 3a-3d and operations to reduce the pressure differences by adjusting the openings of the control valves 8a-8d.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は膜分離技術に関し、特
に、超純水製造設備等において使用される逆浸透膜(R
O)モジュール等に適用して有効な技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a membrane separation technique, and more particularly to a reverse osmosis membrane (R
O) A technology effective when applied to a module or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】ROモジュールは、海水から淡水を得る
方法として技術開発が進められ、現在では、半導体製造
分野における超純水製造設備には不可欠な構成要素とな
っている。また、医療分野においても、人工透析等に使
用され、利用分野は増大しつつある。
2. Description of the Related Art RO modules have undergone technological development as a method for obtaining fresh water from seawater, and are now an indispensable constituent element for ultrapure water production equipment in the field of semiconductor production. Also, in the medical field, it is used for artificial dialysis and the like, and the field of application is increasing.

【0003】超純水製造設備におけるROモジュール
は、設備内での設置位置により前段型および後段型に大
別される。すなわち、イオン交換塔の前段に設置する前
段型、後段に設置する後段型がある。
The RO module in the ultrapure water production facility is roughly classified into a front stage type and a rear stage type depending on the installation position in the facility. That is, there are a pre-stage type installed in the front stage of the ion exchange tower and a post-stage type installed in the rear stage.

【0004】たとえば、後段型については、工業用水等
の原水中のコロイダル状のシリカ、微細な浮遊物および
懸濁物質等が一定の割合で前処理装置で除去されるが、
残存分については原水中に溶解した状態でROモジュー
ル内へ侵入する。ROモジュールは脱イオン機能を有す
るRO膜、RO膜を支持する支持機構、支持機構とRO
膜間に原水の流路を確保するためのスペーサとにより構
成されている。
For example, in the latter-stage type, colloidal silica, fine suspended matter, suspended matter and the like in raw water such as industrial water are removed by a pretreatment device at a constant ratio.
The remaining portion enters the RO module while being dissolved in the raw water. The RO module is an RO membrane having a deionization function, a support mechanism for supporting the RO membrane, a support mechanism and the RO membrane.
It is composed of a spacer for securing a flow path of raw water between the membranes.

【0005】ROモジュールにおける原水流入側と濃縮
水流出側の差圧発生の原因は、原水流入側のスペーサ部
の閉塞によるものであり、特に原水負荷の大きい前段型
のROモジュールの場合、原水中のシリカ、カルシュー
ムなどのスケール成分、及びバクテリア、懸濁物質等の
スライムにより原水流入側通路が閉塞する。特に、原水
流入側通路のスペースを確保しているスペーサは、RO
膜上にて透過水の拡散を促進する目的で網目状となって
いるため、一旦、スケールやスライム等が付着、蓄積し
た場合、薬品洗浄等を施しても初期状態に回復するのは
困難である。
The cause of the differential pressure between the raw water inflow side and the concentrated water outflow side in the RO module is that the spacer part on the raw water inflow side is blocked. Especially, in the case of the front stage RO module having a large raw water load, The raw water inflow side passage is blocked by the scale components such as silica and calcium, and slime such as bacteria and suspended substances. Especially, the spacer that secures the space of the raw water inflow side passage is RO
Since it has a mesh shape for the purpose of promoting diffusion of permeated water on the membrane, once scale or slime adheres and accumulates, it is difficult to recover the initial state even if chemical cleaning is performed. is there.

【0006】ROモジュールの運転時の差圧は、膜構造
などに応じて違いはあるが、一定基準値が設定されてお
り、その範囲内で操作することが重要であるが、基準値
を越えた操作運転を行った場合、ROモジュールの不可
逆的な座屈破壊を招き再使用不能となる。
Although the differential pressure during operation of the RO module varies depending on the membrane structure and the like, a fixed reference value is set, and it is important to operate within that range, but it exceeds the reference value. If such an operation operation is performed, the RO module will be irreversibly buckled, and cannot be reused.

【0007】ROモジュールの延命を図るためには、脱
イオン、TOC(全有機性炭素)、パーティクルの除去
性能等の水質面と、透過水量に関係する膜面管理に加え
て、前述した原水流入側の差圧管理が重要となる。
In order to prolong the life of the RO module, in addition to water quality control such as deionization, TOC (total organic carbon) and particle removal performance, and film surface control related to the amount of permeated water, the inflow of raw water described above is performed. The differential pressure control on the side is important.

【0008】従来の技術では、差圧の上昇が発生した場
合、薬品洗浄を実施する以外に有効な方法がなく、さら
に、洗浄による効果もほとんど期待できない。したがっ
て、定期的な洗浄を実施し、差圧の発生を極力回避する
ことが管理上重要となる。
In the prior art, when an increase in the differential pressure occurs, there is no effective method other than chemical cleaning, and the cleaning effect can hardly be expected. Therefore, it is important for management to carry out regular cleaning to avoid the occurrence of differential pressure as much as possible.

【0009】なお、従来の超純水設備等に組み込まれる
ROモジュールについては、たとえば、株式会社工業調
査会、昭和59年11月20日発行、「電子材料」19
84年11月号別刷、P135〜P139、等の文献に
記載されている。
Regarding the RO module incorporated in the conventional ultrapure water facility, etc., for example, "Electronic Materials" 19 published by Industrial Research Institute Co., Ltd., November 20, 1984.
No. 1984, reprint, P135-P139, etc.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】前述のように、特に、
前段型のROモジュールでは、脱イオン、TOC及び微
粒子除去操作の負荷が大きく、ROモジュールの原水流
入側の閉塞を生じやすいため、従来のように、単に、薬
品洗浄等の対策で回復を図る方法では、原水流量の減少
およびROモジュールの出入口における差圧の増大が避
けられず、過大な差圧によってROモジュールの不可逆
的な座屈破壊を招き、再使用不能となる懸念があった。
また、この座屈破壊を避けるためには、必要以上に頻繁
にROモジュールの洗浄を行う必要があった。
As mentioned above, in particular,
In the pre-stage RO module, the load of deionization, TOC, and particulate removal operations is large, and the raw water inflow side of the RO module is likely to be blocked. Therefore, as in the conventional method, recovery is simply performed by measures such as chemical cleaning. However, there is a concern that the reduction of the flow rate of raw water and the increase of the differential pressure at the inlet and outlet of the RO module are unavoidable, and the excessive differential pressure causes the irreversible buckling failure of the RO module, making it unusable.
Further, in order to avoid this buckling failure, it is necessary to wash the RO module more frequently than necessary.

【0011】本発明の目的は、分離膜の洗浄頻度を必要
以上に増加させることなく、分離膜の前後における差圧
の過大な上昇を回避して、分離膜の寿命の延長および管
理運用に要する費用の削減を実現することが可能な膜分
離技術を提供することにある。
An object of the present invention is to extend the life of the separation membrane and manage the operation without increasing the cleaning frequency of the separation membrane more than necessary and avoiding an excessive increase in the differential pressure before and after the separation membrane. It is to provide a membrane separation technology capable of realizing cost reduction.

【0012】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
Of the inventions disclosed in the present application, a representative one will be briefly described below.
It is as follows.

【0014】すなわち、本発明の膜分離装置は、原流体
流入側と濃縮流体流出側とを接続する管路と、この管路
を介して原流体流入側から濃縮流体流出側に移動する原
流体の圧および流量の少なくとも一方を制御する流路制
御手段とを備えたものである。
That is, in the membrane separation device of the present invention, a pipe connecting the raw fluid inflow side and the concentrated fluid outflow side, and the raw fluid moving from the raw fluid inflow side to the concentrated fluid outflow side via this pipe. And a flow path control means for controlling at least one of the pressure and the flow rate.

【0015】また、本発明の膜分離装置は、前段の濃縮
流体流出側が次段の原流体流入側に接続される多段構成
を呈し、管路を介して各段の原流体流入側および最終段
の濃縮流体流出側を共通に接続し、各段毎に流路制御手
段を配したものである。
Further, the membrane separation apparatus of the present invention has a multi-stage structure in which the concentrated fluid outflow side of the preceding stage is connected to the raw fluid inflow side of the next stage, and the raw fluid inflow side and the final stage of each stage are connected via the pipeline. The concentrated fluid outflow side is connected in common, and the flow path control means is arranged for each stage.

【0016】さらに、本発明の膜分離装置において、原
流体は原水であり、分離膜は逆浸透膜モジュールであ
り、原水を多段に配置された複数の逆浸透膜モジュール
を順次通過させることによって生産流体として純水を得
るものである。
Further, in the membrane separation apparatus of the present invention, the raw fluid is raw water, the separation membrane is a reverse osmosis membrane module, and the raw water is produced by sequentially passing through a plurality of reverse osmosis membrane modules arranged in multiple stages. Pure water is obtained as the fluid.

【0017】また、本発明の膜分離装置において、超純
水製造設備におけるイオン交換塔の前段に配置されるよ
うにしたものである。
Further, in the membrane separation apparatus of the present invention, the membrane separation apparatus is arranged before the ion exchange tower in the ultrapure water production facility.

【0018】また、本発明の膜分離装置は、複数の逆浸
透膜モジュールを収納する圧力容器の外周上に、逆浸透
膜モジュールの原水流入側および濃縮水流出側に連通す
る管座を設置し、各管座を管路を介して相互に接続し、
管路上には、各々の逆浸透膜モジュールの原水流入側お
よび濃縮水流出側の差圧を制御する圧力制御弁を配置し
たものである。
Further, in the membrane separation apparatus of the present invention, pipe seats communicating with the raw water inflow side and the concentrated water outflow side of the reverse osmosis membrane module are installed on the outer circumference of the pressure vessel accommodating the plurality of reverse osmosis membrane modules. , Connect each pipe seat to each other via a pipe,
A pressure control valve for controlling the differential pressure between the raw water inflow side and the concentrated water outflow side of each reverse osmosis membrane module is arranged on the pipeline.

【0019】さらに、本発明の膜分離装置において、超
純水製造設備におけるイオン交換塔の前段に配置される
ようにしたものである。
Further, in the membrane separation apparatus of the present invention, it is arranged at the front stage of the ion exchange column in the ultrapure water production facility.

【0020】[0020]

【作用】上記した本発明の膜分離装置によれば、稼動中
において、分離膜の前後、すなわち原流体流入側および
濃縮流体流出側の差圧を監視し、当該差圧が一定の値を
超過した場合に、原流体流入側と濃縮流体流出側を接続
している管路に設けられた流路制御手段を作動させ、分
離膜を迂回する原流体の圧および量を加減し、前記差圧
が所定の規定値以下に保たれるように制御する。
According to the above-described membrane separation apparatus of the present invention, the differential pressure before and after the separation membrane, that is, the raw fluid inflow side and the concentrated fluid outflow side are monitored during operation, and the differential pressure exceeds a certain value. In this case, the flow path control means provided in the pipe connecting the raw fluid inflow side and the concentrated fluid outflow side is operated to adjust the pressure and amount of the raw fluid that bypasses the separation membrane, Is controlled so as to be maintained below a predetermined specified value.

【0021】これにより、前述のような差圧増大を回避
するための分離膜の洗浄操作を必要以上に頻繁に行うこ
となく、また過大な差圧発生に起因する分離膜の不可逆
的な損傷等を招くことなく、分離膜の寿命の延長および
管理運用に要する費用の削減を実現することができる。
As a result, the separation membrane cleaning operation for avoiding the increase in the differential pressure as described above is not performed more frequently than necessary, and the separation membrane is irreversibly damaged due to excessive differential pressure. It is possible to extend the life of the separation membrane and reduce the cost required for management and operation without incurring the problem.

【0022】[0022]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0023】図1は本発明の一実施例である膜分離装置
の構成を示す略断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing the structure of a membrane separation apparatus which is an embodiment of the present invention.

【0024】収納容器本体1は、中空の円筒形状を呈し
ており、両端は、本体カバー2a、本体カバー2bによ
って覆われている。本体カバー2a,2bは、図示しな
いボルトやナットにより収納容器本体1の両端面に締結
されており、本体カバー2aには、原水入口管13が、
また本体カバー2bには透過水出口管14および濃縮水
出口管15が、それぞれ一体に突設されている。
The storage container body 1 has a hollow cylindrical shape, and both ends thereof are covered with a body cover 2a and a body cover 2b. The main body covers 2a and 2b are fastened to both end surfaces of the storage container main body 1 with bolts and nuts (not shown), and the raw water inlet pipe 13 is attached to the main body cover 2a.
Further, a permeated water outlet pipe 14 and a concentrated water outlet pipe 15 are integrally projected on the main body cover 2b.

【0025】収納容器本体1の内部には、複数のROモ
ジュール3a〜3dが軸方向に多段に収納されており、
ROモジュール3a〜3dの各々の外周面と、収納容器
本体1の内周面との間隙には、当該間隙における原水2
0の漏洩を阻止するブラインシール4a〜4dが装着さ
れている。
Inside the storage container body 1, a plurality of RO modules 3a to 3d are stored in multiple stages in the axial direction.
In the gap between the outer peripheral surface of each of the RO modules 3a to 3d and the inner peripheral surface of the storage container body 1, the raw water 2 in the gap is provided.
Brine seals 4a to 4d for preventing the leakage of 0 are attached.

【0026】この複数のブラインシール4a〜4dと複
数のROモジュール3a〜3dによって収納容器本体1
の内部空間は当該各ROモジュール3a〜3d毎に区切
られており、各段のROモジュールを原水20が通過す
ることによって形成される濃縮水20aは、強制的に原
水20として次段のROモジュールへと流入する構造と
なっている。
By the plurality of brine seals 4a to 4d and the plurality of RO modules 3a to 3d, the storage container body 1 is formed.
Of the RO modules 3a to 3d are divided, and the concentrated water 20a formed by the raw water 20 passing through the RO modules of each stage is forcibly used as the raw water 20 in the RO module of the next stage. It has a structure that flows into.

【0027】各々のROモジュール3a〜3dは、中央
部に、多孔状の集水管16a〜16dを有しており、集
水管16a〜16dの各々は、コネクタ5a〜5cに圧
入されることによって相互に気密に接続されているとと
もに、本体カバー2aに臨む端部はエンドキャップ12
によって閉塞され、本体カバー2b側の端部は、当該本
体カバー2bを貫通する透過水出口管14に接続されて
いる。
Each of the RO modules 3a to 3d has a porous water collecting pipe 16a to 16d at the center thereof, and each of the water collecting pipes 16a to 16d is press-fitted into the connectors 5a to 5c so as to be mutually connected. Is air-tightly connected to the end cap 12
The main body cover 2b side end is connected to the permeated water outlet pipe 14 penetrating the main body cover 2b.

【0028】脱イオン、さらにはTOCおよび微粒子等
の不純物の除去対象としての原水20は、図示しない与
圧機構によって強制的に、原水入口管13を介して収納
容器本体1に流入する。収納容器本体1の内周面とRO
モジュール3aの外周面の間隙はブラインシール4aに
よって閉塞されているため、収納容器本体1内に流入し
た原水20は、強制的にROモジュール3a内を通過
し、一部は、脱イオンやTOCおよび微粒子等の不純物
の除去操作が行われることによって清浄な透過水20b
となり、多孔状の集水管16aの内部へ入り、コネクタ
5aによって連結されている次段の集水管16b側へ移
動する。
Raw water 20 as a target of deionization and further removal of impurities such as TOC and fine particles is forced to flow into the storage container body 1 via the raw water inlet pipe 13 by a pressurizing mechanism (not shown). Inner peripheral surface of storage container body 1 and RO
Since the gap on the outer peripheral surface of the module 3a is closed by the brine seal 4a, the raw water 20 flowing into the storage container body 1 is forcedly passed through the RO module 3a, and a part of the raw water 20 is deionized or TOC Clean permeated water 20b is obtained by removing impurities such as fine particles.
Then, it enters the inside of the porous water collection pipe 16a and moves to the side of the next-stage water collection pipe 16b connected by the connector 5a.

【0029】一方、ROモジュール3aに供給された原
水20のうち、当該ROモジュール3aを透過して集水
管16aに流入しなかった分、すなわち透過水20bと
ならなかった分は、透過水20bの生成量分だけイオン
や不純物等が濃縮された濃縮水20aとなってROモジ
ュール3aを軸方向に通過し、次段のROモジュール3
bに対して原水20となって流入する。
On the other hand, of the raw water 20 supplied to the RO module 3a, the part that did not permeate the RO module 3a and flow into the water collection pipe 16a, that is, the part that did not become the permeated water 20b, is the permeated water 20b. The concentrated water 20a in which ions, impurities, etc. are concentrated by the generated amount becomes the concentrated water 20a that passes through the RO module 3a in the axial direction, and the RO module 3 of the next stage
Raw water 20 flows into b.

【0030】そして、上述の操作がROモジュール3b
〜3dで順次繰り返され、透過水20bは透過水出口管
14を通って後段の装置に送水される。また濃縮水20
aは、濃縮水出口管15を通じて系外に排出される。
The above-mentioned operation is performed by the RO module 3b.
The permeated water 20b is sent through the permeated water outlet pipe 14 to the device at the subsequent stage. Also concentrated water 20
The a is discharged out of the system through the concentrated water outlet pipe 15.

【0031】この場合、収納容器本体1の外周面には、
軸方向に多段に配列収納された複数のROモジュール3
a〜3dの境界部、および両端に位置するROモジュー
ル3aと本体カバー2aの間、およびROモジュール3
dと本体カバー2bの間、の各々の位置に連通する複数
の管座6a〜6eが配置されている。
In this case, on the outer peripheral surface of the storage container body 1,
A plurality of RO modules 3 arranged and stored in multiple stages in the axial direction
a to 3d, between the RO module 3a and the main body cover 2a located at both ends, and the RO module 3
A plurality of pipe seats 6a to 6e that communicate with respective positions between d and the main body cover 2b are arranged.

【0032】複数の管座6a〜6eは、共通の均圧管1
1に接続されており、管座6a〜6eの各々は、均圧管
11の経路に設けられた複数の仕切り弁10a〜10d
によって相互の連通および遮断が行われる構成となって
いる。また、複数の仕切り弁10a〜10dによって区
切られた各領域には、圧力計9a〜9eが設けられてお
り、ROモジュール3a〜3dにおける原水20(濃縮
水20a)の流入側および流出側の圧が測定可能になっ
ている。
The plurality of pipe seats 6a to 6e are common to the equalizing pipe 1.
1, and each of the pipe seats 6a to 6e is provided with a plurality of sluice valves 10a to 10d provided in the path of the pressure equalizing pipe 11.
It is configured such that mutual communication and disconnection are performed by. Further, pressure gauges 9a to 9e are provided in the respective areas partitioned by the plurality of sluice valves 10a to 10d, and pressures on the inflow side and the outflow side of the raw water 20 (concentrated water 20a) in the RO modules 3a to 3d are provided. Is measurable.

【0033】最上流側の管座6aには、原水入口管13
から収納容器本体1内に流入する原水20の一部を均圧
管11に導く定流量弁7が設けられており、それより下
流側の管座6b〜6eには、均圧管11内の原水20を
ROモジュール3b〜3dの前後に導入する流量調節弁
8a〜8dが設けられている。
The raw water inlet pipe 13 is provided on the pipe seat 6a on the most upstream side.
A constant flow valve 7 is provided for guiding a part of the raw water 20 flowing into the storage container body 1 to the pressure equalizing pipe 11. The raw water 20 in the pressure equalizing pipe 11 is provided at the pipe seats 6b to 6e on the downstream side thereof. Flow rate control valves 8a to 8d are provided for introducing the above and below the RO modules 3b to 3d.

【0034】以下、本実施例の作用の一例について説明
する。
An example of the operation of this embodiment will be described below.

【0035】原水入口管13を介して与圧された原水2
0を収納容器本体1の内部に流入させ、複数のROモジ
ュール3a〜3dを順次強制的に通過させ、脱イオン、
TOC除去操作等を行うことによって透過水20bを生
産し透過水出口管14を介して外部に供給するととも
に、一部を濃縮水20aとして濃縮水出口管15から排
出する操作を継続すると、ROモジュール3a〜3dの
各々における原水20(濃縮水20a)の入口側が、ス
ケール、スライム等によって閉塞状態となり、各ROモ
ジュール3a〜3d間に圧力損失が生じ、個々のROモ
ジュール3a〜3dの前後で差圧が発生する。
Raw water 2 pressurized through the raw water inlet pipe 13
0 into the storage container main body 1 and forcefully pass through the plurality of RO modules 3a to 3d in order to perform deionization,
When the permeated water 20b is produced by performing the TOC removal operation and the like and is supplied to the outside through the permeated water outlet pipe 14, and when a part of the concentrated water 20a is discharged from the concentrated water outlet pipe 15, the RO module The inlet side of the raw water 20 (concentrated water 20a) in each of 3a to 3d is blocked due to scale, slime, etc., and a pressure loss occurs between the RO modules 3a to 3d, which causes a difference between before and after the individual RO modules 3a to 3d. Pressure is generated.

【0036】この差圧は、放置すると増大し、ついに
は、ROモジュール3a〜3dの回復不能な座屈損傷に
至る。そこで、本実施例の場合には、以下のようにし
て、前記差圧の制御操作を行う。
This differential pressure increases if left unattended, and eventually leads to irreversible buckling damage of the RO modules 3a to 3d. Therefore, in the case of the present embodiment, the differential pressure control operation is performed as follows.

【0037】まず、ROモジュール3a〜3dにおける
差圧を測定し、各々が、基準値内となっているか否かを
監視する。すなわち、通常運転時では、定流量弁7は所
定の開度に設定されているとともに、仕切り弁10a〜
10dは全閉、流量調節弁8a〜8dは全開の状態であ
り、この状態で、圧力計9a〜9eを観察することによ
り、ROモジュール3a〜3dの各々の前後における原
水20と濃縮水20aの圧を測定する。
First, the differential pressure in the RO modules 3a to 3d is measured, and it is monitored whether or not each is within the reference value. That is, at the time of normal operation, the constant flow valve 7 is set to a predetermined opening, and the sluice valves 10a ...
10d is fully closed, and the flow rate control valves 8a to 8d are fully open. In this state, by observing the pressure gauges 9a to 9e, the raw water 20 and the concentrated water 20a before and after each of the RO modules 3a to 3d are observed. Measure the pressure.

【0038】たとえば、ROモジュール3bの差圧は、
圧力計9bと9cの圧力差で監視し、基準値以上の場
合、当該ROモジュール3bの差圧調整を行う。まず、
現在全開としている流量調節弁8a〜8dを全閉とし、
仕切り弁10a,10bのみを全開とする。均圧管11
内の管内圧力は、ROモジュール3aの入口側の原水2
0の圧となり、圧力計9a〜9cが同圧を指示する。R
Oモジュール3bの差圧については、流量調節弁8bを
徐々に開け、均圧管11内の高圧の原水20をROモジ
ュール3bの出口側に導入し、入口側と出口側の圧力差
を減少させる。
For example, the differential pressure of the RO module 3b is
The pressure difference between the pressure gauges 9b and 9c is monitored, and when the pressure difference is equal to or higher than the reference value, the differential pressure of the RO module 3b is adjusted. First,
The flow rate control valves 8a-8d that are currently fully open are fully closed,
Only the gate valves 10a and 10b are fully opened. Pressure equalizing pipe 11
The pressure inside the pipe is equal to the raw water 2 on the inlet side of the RO module 3a
The pressure becomes 0, and the pressure gauges 9a to 9c indicate the same pressure. R
Regarding the differential pressure of the O module 3b, the flow rate control valve 8b is gradually opened and the high-pressure raw water 20 in the pressure equalizing pipe 11 is introduced to the outlet side of the RO module 3b to reduce the pressure difference between the inlet side and the outlet side.

【0039】また、最後段のROモジュール3dの差圧
上昇時においては、まず、仕切り弁10a〜10dを全
開とし、流量調節弁8a〜8dを全閉とする。その後、
流量調節弁8dを圧力計9dと9eの指示値の差を測定
しながら徐々に開き、均圧管11内の高圧の原水20を
管座6eからROモジュール3dの流出側に流入させ
る。こうして高圧の原水20がROモジュール3dの流
出側に導入したことにより、ROモジュール3dの前後
における差圧は減少する。
When the differential pressure of the RO module 3d at the final stage is increased, first, the partition valves 10a to 10d are fully opened and the flow rate control valves 8a to 8d are fully closed. afterwards,
The flow control valve 8d is gradually opened while measuring the difference between the indicated values of the pressure gauges 9d and 9e, and the high-pressure raw water 20 in the pressure equalizing pipe 11 is allowed to flow into the outflow side of the RO module 3d from the pipe seat 6e. By introducing the high-pressure raw water 20 to the outflow side of the RO module 3d in this way, the differential pressure before and after the RO module 3d is reduced.

【0040】このように、本実施例の膜分離装置によれ
ば、収納容器本体1の内部に多段に収容されている複数
のROモジュール3a〜3dにおいて、原水通路側の閉
塞等によって任意のROモジュールまたは全てのROモ
ジュール3a〜3dにおいて差圧が発生した場合、稼働
停止や洗浄等の煩瑣な対策によることなく、稼動状態の
ままで、随時、複数の仕切り弁10a〜10dや流量調
節弁8a〜8dなどの操作によって、ROモジュール3
a〜3dの破損等の障害を確実に回避することができ
る。この結果、ROモジュール3a〜3dの寿命の延長
や、洗浄作業の頻度削減により、膜分離装置の管理運用
に要する費用の削減を実現できる。
As described above, according to the membrane separation apparatus of this embodiment, in the plurality of RO modules 3a to 3d that are stored in the storage container main body 1 in multiple stages, any RO is provided by blocking the raw water passage side or the like. When a differential pressure is generated in the modules or all the RO modules 3a to 3d, the plurality of sluice valves 10a to 10d and the flow rate control valve 8a are always kept in the operating state without any troublesome measures such as operation stop and cleaning. The RO module 3 is operated by the operation such as ~ 8d.
It is possible to reliably avoid failures such as breakage of a to 3d. As a result, by extending the life of the RO modules 3a to 3d and reducing the frequency of cleaning work, it is possible to reduce the cost required for the management operation of the membrane separation device.

【0041】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
The invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.

【0042】たとえば、原流体としては水以外の流体で
もよい。また、分離膜としては逆浸透膜に限らず、限外
濾過膜等でもよい。また、圧力計と流量調節弁や仕切り
弁をマイクロコンピュータ等に接続し、上述のような一
連の差圧制御操作を自動的に行う構成としてもよい。
For example, the raw fluid may be a fluid other than water. The separation membrane is not limited to the reverse osmosis membrane, and may be an ultrafiltration membrane or the like. Further, the pressure gauge, the flow rate control valve, and the sluice valve may be connected to a microcomputer or the like to automatically perform a series of differential pressure control operations as described above.

【0043】[0043]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
The effects obtained by the typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
It is as follows.

【0044】すなわち、本発明の膜分離装置によれば、
分離膜の洗浄頻度を必要以上に増加させることなく、分
離膜の前後における差圧の過大な上昇を回避して、分離
膜の寿命の延長および管理運用に要する費用の削減を実
現することができる、という効果が得られる。
That is, according to the membrane separation apparatus of the present invention,
Without increasing the frequency of cleaning the separation membrane more than necessary, it is possible to avoid an excessive rise in the differential pressure before and after the separation membrane, extend the life of the separation membrane, and reduce the cost required for management and operation. The effect of, is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例である膜分離装置の構成を示
す略断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a membrane separation device that is an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 収納容器本体 2a 本体カバー 2b 本体カバー 3a〜3d ROモジュール(分離膜) 4a〜4d ブラインシール 5a〜5c コネクタ 6a〜6e 管座(管路) 7 定流量弁(流路制御手段)(圧力制御弁) 8a〜8d 流量調節弁(流路制御手段)(圧力制御
弁) 9a〜9e 圧力計 10a〜10d 仕切り弁(流路制御手段)(圧力制御
弁) 11 均圧管(管路) 12 エンドキャップ 13 原水入口管 14 透過水出口管 15 濃縮水出口管 16a〜16d 集水管 20 原水(原流体) 20a 濃縮水(濃縮流体) 20b 透過水(生産流体)
1 Storage container main body 2a Main body cover 2b Main body cover 3a to 3d RO module (separation membrane) 4a to 4d Brine seal 5a to 5c Connector 6a to 6e Pipe seat (pipe line) 7 Constant flow valve (flow passage control means) (pressure control) Valve) 8a-8d Flow rate control valve (flow path control means) (pressure control valve) 9a-9e Pressure gauge 10a-10d Gate valve (flow path control means) (pressure control valve) 11 Pressure equalizing pipe (pipe line) 12 End cap 13 Raw Water Inlet Pipe 14 Permeate Outlet Pipe 15 Concentrated Water Outlet Pipe 16a to 16d Water Collection Pipe 20 Raw Water (Raw Fluid) 20a Concentrated Water (Concentrated Fluid) 20b Permeated Water (Production Fluid)

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 原流体を与圧して分離膜を通過させるこ
とにより、前記原流体中の不純物およびイオンの少なく
とも一方が除去された生産流体を得る膜分離装置であっ
て、前記原流体流入側と濃縮流体流出側とを接続する管
路と、この管路を介して前記原流体流入側から前記濃縮
流体流出側に移動する前記原流体の圧および流量の少な
くとも一方を制御する流路制御手段とを備えたことを特
徴とする膜分離装置。
1. A membrane separation apparatus for obtaining a production fluid from which at least one of impurities and ions in the raw fluid is removed by pressurizing the raw fluid through a separation membrane, wherein the raw fluid inflow side And a flow path control means for controlling at least one of a pressure and a flow rate of the raw fluid moving from the raw fluid inflow side to the concentrated fluid outflow side via the pipeline. A membrane separation device comprising:
【請求項2】 前段の前記濃縮流体流出側が次段の前記
原流体流入側に接続される多段構成を呈し、前記管路を
介して各段の原流体流入側および最終段の前記濃縮流体
流出側を共通に接続し、各段毎に前記流路制御手段を配
したことを特徴とする請求項1記載の膜分離装置。
2. The concentrated fluid outflow side of the preceding stage has a multi-stage structure in which it is connected to the original fluid inflow side of the next stage, and the concentrated fluid outflow side of each stage and the concentrated fluid outflow side of the final stage are provided via said conduit. 2. The membrane separation apparatus according to claim 1, wherein the sides are connected in common and the flow path control means is arranged for each stage.
【請求項3】 前記原流体は原水であり、前記分離膜は
逆浸透膜モジュールであり、前記原水を多段に配置され
た複数の前記逆浸透膜モジュールを順次通過させること
によって前記生産流体として純水を得ることを特徴とす
る請求項1または2記載の膜分離装置。
3. The raw fluid is raw water, the separation membrane is a reverse osmosis membrane module, and the raw water is passed through a plurality of the reverse osmosis membrane modules arranged in multiple stages in sequence to produce a pure production fluid. Water is obtained, The membrane separation apparatus of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned.
【請求項4】 超純水製造設備におけるイオン交換塔の
前段に配置されることを特徴とする請求項1,2または
3記載の膜分離装置。
4. The membrane separation apparatus according to claim 1, wherein the membrane separation apparatus is arranged before the ion exchange tower in the ultrapure water production facility.
【請求項5】 複数の逆浸透膜モジュールを収納する圧
力容器の外周上に、前記逆浸透膜モジュールの原水流入
側および濃縮水流出側に連通する管座を設置し、前記管
座を管路を介して相互に接続し、前記管路上には、各々
の前記逆浸透膜モジュールの前記原水流入側および前記
濃縮水流出側の差圧を制御する圧力制御弁を配置したこ
とを特徴とする膜分離装置。
5. A pipe seat communicating with a raw water inflow side and a concentrated water outflow side of the reverse osmosis membrane module is installed on the outer periphery of a pressure vessel accommodating a plurality of reverse osmosis membrane modules, and the pipe seat is provided with a pipe line. And a pressure control valve for controlling the differential pressure between the raw water inflow side and the concentrated water outflow side of each of the reverse osmosis membrane modules, which is connected to each other via a membrane. Separation device.
【請求項6】 超純水製造設備におけるイオン交換塔の
前段に配置されることを特徴とする請求項5記載の膜分
離装置。
6. The membrane separation apparatus according to claim 5, wherein the membrane separation apparatus is arranged in a stage before the ion exchange tower in the ultrapure water production facility.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL1019565C2 (en) * 2001-12-14 2003-06-17 Norit Membraan Tech Bv Membrane filter housing and method that it uses.
KR101471418B1 (en) * 2013-07-05 2014-12-11 재단법인 포항산업과학연구원 Seawater desalinating apparatus and method of the same

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