JPH07231029A - Device transfer mechanism - Google Patents

Device transfer mechanism

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JPH07231029A
JPH07231029A JP4519194A JP4519194A JPH07231029A JP H07231029 A JPH07231029 A JP H07231029A JP 4519194 A JP4519194 A JP 4519194A JP 4519194 A JP4519194 A JP 4519194A JP H07231029 A JPH07231029 A JP H07231029A
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axis
tray
holders
arm
devices
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Toshikazu Kawakami
敏二 川上
Tokuo Karasawa
徳男 唐沢
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Abstract

PURPOSE:To transfer a plurality of devices arranged in a line as a unit, by moving the devices between one of trays and a linear trajectory rail while device holders are moved up and down and an arm is rotated, and by releasing the devices from the device holders in a predetermined position. CONSTITUTION:In a device carrying mechanism, trays 10 are moved to a devices taking-out position by an X shaft 15 for the trays, and a plurality of device holders 12 are moved downward by a device-holders elevating mechanism 14, and further, the device holders are moved upward in the state wherein the devices are held by them. Then, an arm 16 is rotated while a shaft (Q) is centered on the rotation, and the device holders 12 are moved onto a linear trajectory rail 13, and concurrently, the trays 10 are started to move along the X shaft. Subsequently, the device-holders elevating mechanism 14 is moved downward, and the devices held thereby are so released from the device holders as to be put on the linear trajectory rail 13. Then, the device-holders elevating mechanism 14 is moved upward, and the arm 16 is rotated reversely to be moved onto the trays 10 while the shaft Q is centered on the rotation, and further, the foregoing operations are repeated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、デバイスを搭載するト
レイと、デバイスを直列に移動させる直線軌道レールと
の間で、複数のデバイスを搬送するデバイス搬送機構に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device carrying mechanism for carrying a plurality of devices between a tray on which the devices are mounted and a linear track rail for moving the devices in series.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5に従来のデバイス搬送機構を示す。
デバイス搬送機構は、デバイスを搭載するX方向Y方向
に固定されたトレイ10と、トレイ10の上でX軸方向
Y軸方向にデバイス保持器12を移動するデバイス搬送
器11と、デバイスを直列に移動させる直線軌道レール
13と、デバイスを保持し解放するデバイス保持器12
と、デバイス保持器12を上下させるデバイス搬送器1
1に固定されたデバイス保持器上下機構とで構成され
る。トレイ10上の縦横の升目に区切られた溝に置かれ
たデバイスを直線軌道レール13上に搬送する場合、デ
バイス搬送機11は次のように動作する。 デバイス保持器12をデバイス保持器上下機構によ
り上方向に持ち上げた状態で、デバイス搬送機11によ
りX軸Y軸方向に動かし、搬送しようとするトレイ上に
あるデバイスの上方に移動させる。 デバイス保持器12を、例えばエアシリンダのよう
なデバイス保持器上下機構により下方に動かし、デバイ
ス保持器12の先端についている例えば吸着パッドのよ
うなデバイス保持器12で、目的とするデバイスを保持
する。 デバイス保持器12をデバイス保持器上下機構によ
り上方に動かし、保持したデバイスを持ち上げる。 デバイス保持器12を、デバイス搬送機11により
X軸Y軸方向に動かし、直線軌道レール13上の目的と
する上方に移動させる。 デバイス保持器12を、デバイス保持器上下機構に
より下方に動かし、デバイス保持器12の先端に保持し
ているデバイスを直線軌道レール13上に解放する。 デバイス保持器12をデバイス保持器上下機構によ
り上方に動かし、の動作が可能な状態にする。
2. Description of the Related Art FIG. 5 shows a conventional device transport mechanism.
The device transfer mechanism includes a tray 10 on which a device is mounted, which is fixed in the X direction and the Y direction, a device transfer device 11 which moves a device holder 12 on the tray 10 in the X axis direction and the Y axis direction, and devices in series. A straight track rail 13 for moving and a device holder 12 for holding and releasing the device.
And the device carrier 1 for moving the device holder 12 up and down
1 and the device holder up-and-down mechanism fixed to 1. When the devices placed in the grooves divided into the vertical and horizontal squares on the tray 10 are carried on the linear track rail 13, the device carrier 11 operates as follows. With the device holder 12 lifted upward by the device holder up-and-down mechanism, the device carrier 11 moves the device holder 12 in the X-axis and Y-axis directions to move it above the device on the tray to be carried. The device holder 12 is moved downward by a device holder raising / lowering mechanism such as an air cylinder, and the target device is held by the device holder 12 such as a suction pad attached to the tip of the device holder 12. The device holder 12 is moved upward by the device holder up / down mechanism to lift the held device. The device holder 12 is moved in the X-axis and Y-axis directions by the device carrier 11 and moved upward on the straight track rail 13 as desired. The device holder 12 is moved downward by the device holder up-and-down mechanism, and the device held at the tip of the device holder 12 is released on the linear track rail 13. The device holder 12 is moved upward by the device holder up-and-down mechanism to enable the operation of.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】以上のように、トレイ
上に搭載されているデバイスを直線軌道レール上に搬送
することができ、逆に、直線軌道レール上にあるデバイ
スをトレイ上に搬送することも、同じように可能であ
る。しかし、1回の搬送で搬送できるデバイスが1個で
あること、又、デバイス保持器12をX軸Y軸に移動さ
せるため、必要とする搬送時間が長いという欠点があ
る。本発明は、デバイスを1列複数個単位で搬送し、無
駄な動きを少なくして搬送時間を短縮することを目的と
している。
As described above, the device mounted on the tray can be carried on the straight track rail, and conversely, the device on the straight track rail can be carried on the tray. The same is possible. However, there are disadvantages that only one device can be transported in one transport and that the device holder 12 is moved in the X-axis and Y-axis, so that the required transport time is long. An object of the present invention is to transport devices in a unit of a plurality of rows, reduce unnecessary movement, and shorten transport time.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

(請求項1について)上記目的を達成するために、トレ
イをX軸方向に移動可能にするトレイ用X軸を設ける。
一方、直線軌道レールは固定されている。トレイと直線
軌道レール間でデバイスを移動するため、軸Qを中心と
した時計回転方向、逆時計回転方向に回転可能なアーム
を設け、アームの下側に、複数のデバイス保持器を同時
に上下するデバイス保持器上下機構を設ける。複数のデ
バイス保持器がデバイスを保持し、デバイス保持器上下
機構でデバイス保持器を上下し、アームを時計回転方
向、逆時計回転方向に回転することでトレイと直線軌道
レール間を移動し、デバイス保持器が目的とする位置に
デバイスを解放することで、デバイスを1列複数個単位
で搬送することができる。
(Claim 1) In order to achieve the above object, a tray X-axis is provided to allow the tray to move in the X-axis direction.
On the other hand, the straight track rail is fixed. In order to move the device between the tray and the linear track rail, an arm rotatable in the clockwise and counterclockwise directions about the axis Q is provided, and a plurality of device holders are simultaneously moved up and down on the lower side of the arm. A device holder up / down mechanism is provided. Multiple device holders hold the device, and the device holder up-and-down mechanism moves the device holder up and down, and the arm moves between the tray and the linear track rail by rotating the arm in the clockwise and counterclockwise directions. By releasing the device to the intended position by the holder, the device can be transported in a unit of a plurality of rows.

【0005】(請求項2について)トレイと直線軌道レ
ールは固定される。軸Qを中心として時計回転方向、逆
時計回転方向に回転可能なアームには、X軸方向に移動
できるよう軸Q用X軸が設けられる。アームの下側に
は、複数のデバイス保持器を同時に上下するデバイス保
持器上下機構を設ける。複数のデバイス保持器がデバイ
スを保持し、デバイス保持器上下機構でデバイス保持器
を上下し、アームを時計回転方向、逆時計回転方向に回
転することでトレイと直線軌道レール間を移動し、デバ
イス保持器が目的とする位置にデバイスを解放すること
で、デバイスを1列複数個単位で搬送することができ
る。X方向の移動は、軸Q用X軸により行われる。
(Claim 2) The tray and the linear track rail are fixed. An X-axis for the axis Q is provided on the arm that can rotate in the clockwise and counterclockwise directions about the axis Q so that the arm can move in the X-axis direction. A device holder raising / lowering mechanism for simultaneously raising and lowering a plurality of device holders is provided below the arm. Multiple device holders hold the device, and the device holder up-and-down mechanism moves the device holder up and down, and the arm moves between the tray and the linear track rail by rotating the arm in the clockwise and counterclockwise directions. By releasing the device to the intended position by the holder, the device can be transported in a unit of a plurality of rows. The movement in the X direction is performed by the X axis for the axis Q.

【0006】(請求項3について)トレイをX軸方向に
移動可能にするトレイ用X軸を設ける。一方、直線軌道
レールは固定されている。トレイと直線軌道レール間で
デバイスを移動するため、軸Qを中心とした回転可能な
アームを設ける。アームの下側に、複数のデバイス保持
器を同時に上下するデバイス保持器上下機構を、放射状
に複数個設ける。複数のデバイス保持器がデバイスを保
持し、デバイス保持器上下機構でデバイス保持器を上下
し、アームを一方向に回転することで、次々とデバイス
を保持する。デバイスを保持したデバイス保持器上下機
構が、デバイスを解放するトレイ又は直線軌道レールに
達した時、デバイス保持器上下機構が下方にデバイス保
持器を移動し、保持器がデバイスを解放する。以上の手
段で、デバイスを1列複数個単位で搬送することができ
る。
(Claim 3) An X-axis for a tray is provided to make the tray movable in the X-axis direction. On the other hand, the straight track rail is fixed. A rotatable arm about axis Q is provided to move the device between the tray and the linear track rail. A plurality of device holder raising / lowering mechanisms for simultaneously raising and lowering a plurality of device holders are provided radially below the arm. A plurality of device holders hold the devices, and the device holder raising / lowering mechanism moves the device holders up and down, and the arms are rotated in one direction to hold the devices one after another. When the device holder up-and-down mechanism holding the device reaches the tray or the linear track rail for releasing the device, the device holder up-and-down mechanism moves the device holder downward, and the holder releases the device. By the above means, the devices can be transported in a unit of a plurality of lines.

【0007】[0007]

【実施例】【Example】

(実施例1)図1に本発明の一実施例を示す。この搬送
機構は、X軸方向に移動可能なトレイ10と、トレイ1
0をX軸方向に移動するトレイ用X軸15と、固定され
た直線軌道レール13と、軸Qを中心として時計回転方
向、逆時計回転方向に回転可能なアーム16と、複数の
デバイス保持器12を同時に上下する、アーム16に固
定されたデバイス保持器上下機構14と、デバイスを保
持し解放する複数のデバイス保持器12とで構成され
る。この搬送機構の動作を図2に示す。 トレイ用X軸15で、トレイ10をデバイス取り出
し位置に移動させる。 デバイス保持器上下機構14により、複数のデバイ
ス保持器12を下方向に移動し、デバイスを保持する。 デバイスを保持した状態で、デバイス保持器上下機
構14によりデバイス保持器12を上方向に移動する。
軸Qを中心にアーム16を回転させ、デバイス保持器1
2を直線軌道レール13上に移動させる。同時に、トレ
イ10のX軸移動を開始する。 デバイス保持器上下機構14を下方向に移動し、直
線軌道レール13上に、保持していたデバイスを解放す
る。 デバイス保持器上下機構14を上方向に移動し、軸
Qを中心にアーム16を逆回転させ、トレイ10上に移
動させる。 でと同じ状態になり、からを繰り返し行
う。 同じ機構を使用して、直線軌道レール13上にある複数
のデバイスをトレイ10上に移すことができる。
(Embodiment 1) FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. This transport mechanism includes a tray 10 movable in the X-axis direction and a tray 1.
0 for the tray in the X-axis direction, the fixed linear track rail 13, the arm 16 rotatable in the clockwise and counterclockwise directions about the axis Q, and a plurality of device holders. A device holder raising / lowering mechanism 14 fixed to an arm 16 for simultaneously raising and lowering 12 and a plurality of device holders 12 for holding and releasing devices. The operation of this transport mechanism is shown in FIG. The tray X is moved to the device removal position by the X-axis 15 for tray. The device holder up / down mechanism 14 moves the plurality of device holders 12 downward to hold the devices. With the device held, the device holder up / down mechanism 14 moves the device holder 12 upward.
The device holder 1 is rotated by rotating the arm 16 about the axis Q.
2 is moved onto the straight track rail 13. At the same time, the X-axis movement of the tray 10 is started. The device holder up-and-down mechanism 14 is moved downward to release the held device on the straight track rail 13. The device holder up-and-down mechanism 14 is moved upward, and the arm 16 is rotated in the reverse direction about the axis Q and moved onto the tray 10. It becomes the same state as in and repeats from. The same mechanism can be used to transfer multiple devices on the linear track rail 13 onto the tray 10.

【0008】(実施例2)図3に本発明の別の実施例を
示す。この搬送機構は、X軸Y軸方向に固定されたトレ
イ10と、固定された直線軌道レール13と、軸Qを中
心として回転可能なアーム18と、軸Qを構成する構造
物と、複数のデバイス保持器12と、デバイス保持器上
下機構14と、アーム18を一体としてX軸方向に移動
する軸Q用X軸17と、複数のデバイス保持器12を同
時に上下する、アーム18に固定されたデバイス保持器
上下機構14と、デバイスを保持し解放する複数のデバ
イス保持器12とで構成される。この搬送機構の動作を
説明する。 軸Q用X軸17で、トレイ10からデバイスを取り
出す位置にデバイス保持器12が位置するよう軸Qを移
動させる。 デバイス保持器上下機構14により、複数のデバイ
ス保持器12を下方向に移動し、デバイスを保持する。 デバイスを保持した状態で、デバイス保持器上下機
構14によりデバイス保持器12を上方向に移動する。
軸Qを中心にアーム18を回転させ、デバイス保持器1
2を直線軌道レール13上に移動させる。 デバイス保持器上下機構14を下方向に移動し、直
線軌道レール13上に、保持していたデバイスを解放す
る。 デバイス保持器上下機構14を上方向に移動し、軸
Qを中心にアーム18を逆回転させ、トレイ10上に移
動させる。同時に、軸Q用X軸17上での軸Qの移動に
より、アーム18のX軸方向の移動を行い、トレイ10
から次のデバイスを取り出す位置にデバイス保持器12
を移動する。 でと同じ状態になり、からを繰り返し行
う。 同じ機構を使用して、直線軌道レール13上にある複数
のデバイスをトレイ10上に移すことができる。
(Embodiment 2) FIG. 3 shows another embodiment of the present invention. This transport mechanism includes a tray 10 fixed in the X-axis and Y-axis directions, a fixed linear track rail 13, an arm 18 rotatable about an axis Q, a structure forming the axis Q, and a plurality of structures. The device holder 12, the device holder up-and-down mechanism 14, the X axis 17 for the axis Q that moves the arm 18 integrally in the X-axis direction, and the plurality of device holders 12 are vertically moved and fixed to the arm 18. The device holder raising / lowering mechanism 14 and a plurality of device holders 12 for holding and releasing the device. The operation of this transport mechanism will be described. On the X-axis 17 for axis Q, the axis Q is moved so that the device holder 12 is located at the position where the device is taken out from the tray 10. The device holder up / down mechanism 14 moves the plurality of device holders 12 downward to hold the devices. With the device held, the device holder up / down mechanism 14 moves the device holder 12 upward.
The device holder 1 is rotated by rotating the arm 18 about the axis Q.
2 is moved onto the straight track rail 13. The device holder up-and-down mechanism 14 is moved downward to release the held device on the straight track rail 13. The device holder up-and-down mechanism 14 is moved upward, and the arm 18 is reversely rotated about the axis Q to move it onto the tray 10. At the same time, the movement of the axis Q on the X-axis 17 for the axis Q causes the arm 18 to move in the X-axis direction, and the tray 10
Device holder 12 at the position to take out the next device from
To move. It becomes the same state as in and repeats from. The same mechanism can be used to transfer multiple devices on the linear track rail 13 onto the tray 10.

【0009】(実施例3)図4に本発明の別の実施例を
示す。この搬送機構は、X軸方向に移動可能なトレイ1
0と、トレイ10をX軸方向に移動するトレイ用X軸1
5と、固定された直線軌道レール13と、軸Qを中心と
して回転可能なアーム19と、アーム19に放射状に複
数構成された、複数のデバイス保持器12を同時に上下
するデバイス保持器上下機構14と、デバイスを保持し
解放する複数のデバイス保持器12とで構成される。こ
の搬送機構の動作を説明する。 トレイ用X軸15で、トレイ10をデバイス取り出
し位置に移動させる。 デバイス保持器上下機構14により、複数のデバイ
ス保持器12を下方向に移動し、デバイスを保持する。 デバイスを保持した状態で、デバイス保持器上下機
構14によりデバイス保持器12を上方向に移動する。
軸Qを中心にアーム19を回転させ、同時に、トレイ1
0のX軸移動をさせる。 アーム19に放射状に複数構成された、次のデバイ
ス保持器上下機構14がデバイス取り出し位置になった
時点でアーム19の回転を停止し、を繰り返す。 デバイスを保持したデバイス保持器上下機構14
が、直線軌道レール13上に来たとき、デバイス保持器
上下機構14を下方向に移動し、直線軌道レール13上
に保持していたデバイスを解放する。 デバイスを解放したデバイス保持器上下機構14を
上方向に移動し、軸Qを中心にアーム19を回転させ
る。 アーム19に放射状に複数構成された、次のデバイ
ス保持器上下機構14が直線軌道レール13上に来たと
きアーム19の回転を停止し、を繰り返す。 からと、からは同期して繰り返し行われ、
軸Qを中心としたアーム19は、とで同時に回転を
開始し、とで同時に回転を停止する。 同じ機構を使用して、直線軌道レール13上にある複数
のデバイスを次々とトレイ10上に移すことができる。
(Embodiment 3) FIG. 4 shows another embodiment of the present invention. This transport mechanism is a tray 1 that is movable in the X-axis direction.
0 and the tray X-axis 1 for moving the tray 10 in the X-axis direction
5, a fixed linear track rail 13, an arm 19 rotatable about an axis Q, and a device holder raising / lowering mechanism 14 that simultaneously moves up and down a plurality of device holders 12 radially arranged on the arm 19. And a plurality of device holders 12 for holding and releasing the device. The operation of this transport mechanism will be described. The tray X is moved to the device removal position by the X-axis 15 for tray. The device holder up / down mechanism 14 moves the plurality of device holders 12 downward to hold the devices. With the device held, the device holder up / down mechanism 14 moves the device holder 12 upward.
The arm 19 is rotated about the axis Q, and at the same time, the tray 1
Move 0 on the X-axis. The rotation of the arms 19 is stopped when the next device holder up-and-down mechanism 14 radially arranged on the arm 19 reaches the device take-out position, and is repeated. Device holder up-and-down mechanism 14 holding a device
However, when it comes on the straight track rail 13, the device holder up-and-down mechanism 14 is moved downward to release the device held on the straight track rail 13. The device holder up-and-down mechanism 14 that has released the device is moved upward, and the arm 19 is rotated about the axis Q. When the next device holder up-and-down mechanism 14 radially arranged on the arm 19 comes on the straight track rail 13, the rotation of the arm 19 is stopped, and the above is repeated. It is repeated in synchronization from and,
The arm 19 centered on the axis Q starts rotating simultaneously with and and stops simultaneously with and. The same mechanism can be used to transfer multiple devices on the linear track rail 13 one after another onto the tray 10.

【0010】[0010]

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、デバイスを1列単位で搬送できる。又、ア
ームの回転と、デバイス保持器上下機構の上下移動の時
間のみで、トレイと直線軌道レール間のデバイスの移動
が可能であり、搬送時間を短縮できる。
Since the present invention is constructed as described above, the devices can be transported in one row unit. Further, the device can be moved between the tray and the linear track rail only by the time of rotating the arm and the vertical movement of the device holder raising / lowering mechanism, and the transfer time can be shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のデバイス搬送機構の斜視図と側面図で
ある。
FIG. 1 is a perspective view and a side view of a device carrying mechanism of the present invention.

【図2】実施例1の搬送の動きを表した説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing the movement of conveyance in the first embodiment.

【図3】実施例2のデバイス搬送機構の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a device carrying mechanism according to a second embodiment.

【図4】実施例3のデバイス搬送機構の斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a device carrying mechanism according to a third embodiment.

【図5】従来のデバイス搬送機構の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a conventional device transport mechanism.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 トレイ 11 デバイス搬送器 12 デバイス保持器 13 直線軌道レール 14 デバイス保持器上下機構 15 トレイ用X軸 16、18、19 アーム 17 軸Q用X軸 10 Tray 11 Device Carrier 12 Device Holder 13 Linear Track Rail 14 Device Holder Vertical Mechanism 15 Tray X Axis 16, 18, 19 Arms 17 Axis Q Q Axis

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 デバイスを搭載するトレイと、デバイス
を直列に移動させる直線軌道レールとの間のデバイス搬
送において、 X軸方向に移動可能なデバイスを搭載するトレイ(1
0)と、 トレイ(10)をX軸方向に移動するトレイ用X軸(1
5)と、 固定された、デバイスを直列に移動させる直線軌道レー
ル(13)と、 軸Qを中心として時計回転方向、逆時計回転方向の両方
向に回転可能なアーム(16)と、 複数のデバイス保持器(12)を同時に上下する、アー
ム(16)に固定されたデバイス保持器上下機構(1
4)と、 デバイスを保持し解放する複数のデバイス保持器(1
2)と、 以上を具備することを特徴とするデバイス搬送機構。
1. A tray (1) for mounting a device movable in the X-axis direction in device transportation between a tray for mounting the device and a linear track rail for moving the device in series.
0) and the tray X-axis (1) that moves the tray (10) in the X-axis direction.
5), a fixed linear track rail (13) for moving the devices in series, an arm (16) rotatable about the axis Q in both clockwise and counterclockwise directions, and a plurality of devices A device holder raising / lowering mechanism (1) fixed to an arm (16) for raising and lowering the holder (12) at the same time.
4) and a plurality of device holders (1) for holding and releasing the device.
2) and a device transport mechanism comprising the above.
【請求項2】 デバイスを搭載するトレイと、デバイス
を直列に移動させる直線軌道レールとの間のデバイス搬
送において、 X軸Y軸方向に固定されたデバイスを搭載するトレイ
(10)と、 固定された、デバイスを直列に移動させる直線軌道レー
ル(13)と、 軸Qを中心として時計回転方向、逆時計回転方向の両方
向に回転可能なアーム(18)と、 軸Qを構成する構造物と、複数のデバイス保持器(1
2)と、デバイス保持器上下機構(14)と、アーム
(18)を一体として、X軸方向に移動する軸Q用X軸
(17)と、 複数のデバイス保持器(12)を同時に上下する、アー
ム(18)に固定されたデバイス保持器上下機構(1
4)と、 デバイスを保持し解放する複数のデバイス保持器(1
2)と、 以上を具備することを特徴とするデバイス搬送機構。
2. A device mounting tray fixed to the X-axis and Y-axis directions in device transportation between a device mounting tray and a straight track rail for moving the device in series. Also, a linear track rail (13) for moving the devices in series, an arm (18) rotatable about the axis Q in both clockwise and counterclockwise directions, and a structure forming the axis Q, Multiple device holders (1
2), the device holder up-and-down mechanism (14), the arm (18) as a unit, and the X-axis (17) for the axis Q that moves in the X-axis direction and the plurality of device holders (12) are moved up and down at the same time. , A device holder lifting mechanism (1) fixed to the arm (18)
4) and a plurality of device holders (1) for holding and releasing the device.
2) and a device transport mechanism comprising the above.
【請求項3】 デバイスを搭載するトレイと、デバイス
を直列に移動させる直線軌道レールとの間のデバイス搬
送において、 X軸方向に移動可能なデバイスを搭載するトレイ(1
0)と、 トレイ(10)をX軸方向に移動するトレイ用X軸(1
5)と、 固定された、デバイスを直列に移動させる直線軌道レー
ル(13)と、 軸Qを中心として回転可能な、複数のデバイス保持器
(12)を同時に上下する、複数のデバイス保持器上下
機構(14)を放射状に取り付けたアーム(19)と、 アーム(19)に放射状に複数個固定された、複数のデ
バイス保持器(12)を同時に上下するデバイス保持器
上下機構(14)と、 デバイスを保持し解放する複数のデバイス保持器(1
2)と、 以上を具備することを特徴とするデバイス搬送機構。
3. A tray (1) for mounting a device movable in the X-axis direction in device transportation between a tray for mounting the device and a linear track rail for moving the device in series.
0) and the tray X-axis (1) that moves the tray (10) in the X-axis direction.
5), a fixed linear track rail (13) for moving the devices in series, and a plurality of device holders (12) that are rotatable about an axis Q and that move up and down at the same time. An arm (19) to which the mechanism (14) is attached in a radial manner; and a device holder raising / lowering mechanism (14) fixed to the arm (19) in a radial manner to move up and down a plurality of device holders (12) at the same time. A plurality of device holders for holding and releasing devices (1
2) and a device transport mechanism comprising the above.
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