JPH07225615A - Full closed loop position control servo driver - Google Patents

Full closed loop position control servo driver

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Publication number
JPH07225615A
JPH07225615A JP6017192A JP1719294A JPH07225615A JP H07225615 A JPH07225615 A JP H07225615A JP 6017192 A JP6017192 A JP 6017192A JP 1719294 A JP1719294 A JP 1719294A JP H07225615 A JPH07225615 A JP H07225615A
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JP
Japan
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driver
position control
control
full closed
motor
Prior art date
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Application number
JP6017192A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasuhide Hisamoto
安英 久本
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To speed up full closed position control by the full closed position control servo driver and simplify a controller. CONSTITUTION:A position loop is formed by feeding the full closed position signal from a position detector on the side of a load such as a linear scale 11 back to the deviation counter of the driver 15. Speed feedback is provided to the driver 15 by using a rotary encoder 9 fitted to a motor 8 as a detector to form a speed loop. While a conventional position control driver uses the position feedback signal of the rotary encoder fitted to the motor as a speed feedback signal in common, this full closed position control driver 15 requires both the signals individually and has input parts corresponding to both the signals. The full closed loop position control is performed only by the driver 15 and semiclosed loop control is not performed at the time of signal processing, so the full closed loop control is speeded up and controller software and hardware are simplified.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業用の利用分野】本発明は、位置決め制御を行うモ
ータ駆動制御用ドライバ(以下ドライバと略す)で、負
荷側の位置検出器の信号を検知しフルクローズドループ
制御を行うことが可能なフルクローズドループ位置制御
サーボドライバに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a motor drive control driver (hereinafter abbreviated as driver) for performing positioning control, which is capable of detecting a signal from a position detector on the load side and performing full closed loop control. The present invention relates to a closed loop position control servo driver.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、位置制御サーボドライバ/モータ
は部品実装機,ロボット,半導体製造装置をはじめ、F
A分野にてモータによる位置制御を行う様々な用途に用
いられている。
2. Description of the Related Art In recent years, position control servo drivers / motors have been used in component mounting machines, robots, semiconductor manufacturing equipment, F
It is used in various fields in the field A for position control by a motor.

【0003】負荷の位置決め制御をモータにて行うに
は、ステッピングモータ(パルスモータともいう)ある
いは、同期型モータまたは誘導型モータに位置検出器を
取り付けたサーボモータをコントローラの指令にしたが
いドライバにて駆動制御する方法が一般的である。
To perform load positioning control by a motor, a stepping motor (also referred to as a pulse motor) or a servo motor in which a position detector is attached to a synchronous motor or an induction motor is used by a driver according to a command from a controller. A drive control method is generally used.

【0004】モータにて位置制御を行う場合はコントロ
ーラより正転/逆転の位置指令パルスをドライバに入力
し、ドライバにて電流増幅して指令パルスに相当する角
度分モータを駆動させる。
When position control is performed by a motor, a forward / reverse rotation position command pulse is input to the driver from the controller, the driver amplifies the current, and the motor is driven by an angle corresponding to the command pulse.

【0005】以下、図面を参照しながら上述した従来の
モータによる位置制御の一例について説明する。
An example of the conventional position control by the above-mentioned motor will be described below with reference to the drawings.

【0006】図2はステッピングモータにて位置制御を
行う場合の一例である。図2において1はコントローラ
で指令パルスを出力する。2はステッピングドライバ、
3はステッピングモータ、4は位置制御の対象であるテ
ーブル、5はボールネジ、6は正転/逆転の位置指令パ
ルスである。
FIG. 2 shows an example in which position control is performed by a stepping motor. In FIG. 2, reference numeral 1 is a controller that outputs a command pulse. 2 is a stepping driver,
Reference numeral 3 is a stepping motor, 4 is a table to be subjected to position control, 5 is a ball screw, and 6 is a forward / reverse position command pulse.

【0007】ステッピングモータは元来パルスにて駆動
する位置制御用モータであるので、位置検出器による位
置検出を必要としないオープンループにて制御すること
ができる。
Since the stepping motor is a position control motor which is originally driven by a pulse, it can be controlled by an open loop which does not require position detection by a position detector.

【0008】図3はサーボモータにて位置制御を行う場
合の一例である。図3において1はコントローラで指令
パルスを出力する。4は位置制御の対象であるテーブ
ル、5はボールネジ、6は正転/逆転の位置指令パル
ス、7は位置制御サーボドライバ、8はサーボモータ、
9はロータリーエンコーダ、10はセミクローズ位置フ
ィードバック信号である。
FIG. 3 shows an example in which position control is performed by a servo motor. In FIG. 3, reference numeral 1 is a controller that outputs a command pulse. 4 is a table to be position controlled, 5 is a ball screw, 6 is a forward / reverse position command pulse, 7 is a position control servo driver, 8 is a servo motor,
Reference numeral 9 is a rotary encoder, and 10 is a semi-closed position feedback signal.

【0009】サーボモータにて位置制御を行うには位置
検出器からの位置検出信号をドライバにフィードバック
するクローズドループ制御を行う必要がある。位置検出
器にはロータリーエンコーダを用い、モータ軸の反負荷
側に取り付けるものが一般的である。
In order to perform position control by the servo motor, it is necessary to perform closed loop control in which the position detection signal from the position detector is fed back to the driver. A rotary encoder is used as the position detector and is generally mounted on the opposite side of the motor shaft.

【0010】ステッピングモータの位置分解能はモータ
の着磁により制限され高分解能が望めないが、サーボモ
ータの位置分解能はロータリーエンコーダの分解能に依
存するため、ステッピングモータに比べ高分解能であ
る。
The position resolution of the stepping motor cannot be expected to be high because it is limited by the magnetization of the motor. However, the position resolution of the servo motor depends on the resolution of the rotary encoder, and is therefore higher than that of the stepping motor.

【0011】したがって、数十μまたはそれ以下の高精
度位置決め制御を行う場合はサーボモータが使用され
る。
Therefore, a servo motor is used for high-precision positioning control of several tens of μ or less.

【0012】ただし、このモータに取り付けたロータリ
ーエンコーダでの位置検出では厳密には負荷側の機械誤
差などの影響で最終目標である負荷の位置制御になって
いない。よってこの制御はクローズドループ制御ではあ
るが、セミクローズドループ制御と呼ばれる。
However, in the position detection by the rotary encoder attached to this motor, strictly speaking, the final position control of the load is not performed due to the influence of mechanical errors on the load side. Therefore, although this control is closed loop control, it is called semi-closed loop control.

【0013】数μまたはそれ以下の高精度位置決め制御
を行う場合には機械のバックラッシュなどの誤差に加
え、摩擦による温度上昇のためのボールネジの伸びなど
の影響で高精度位置決めを実現することは難しく、この
場合は最終位置決め制御の対象となる負荷に位置検出器
を取り付け位置制御を行うフルクローズドループ制御が
必要となる。この位置検出器にはリニアスケールまたは
レーザースケールなどが使用されるものが一般的であ
る。
When performing high-accuracy positioning control of several μ or less, it is impossible to realize high-accuracy positioning not only due to backlash of the machine but also due to elongation of the ball screw due to temperature rise due to friction. It is difficult, and in this case, full-closed loop control is required in which a position detector is attached to the load subject to final positioning control and position control is performed. A linear scale or a laser scale is generally used for this position detector.

【0014】図4にサーボモータにてフルクローズドル
ープ位置制御を行う場合の一例を示す。図4において1
はコントローラで指令パルスを出力し、また補正制御を
行う。4は位置制御の対象であるテーブル、5はボール
ネジ、6は正転/逆転の位置指令パルス、7は位置制御
サーボドライバ、8はサーボモータ、9はロータリーエ
ンコーダ、10はセミクローズ位置フィードバック信
号、11はテーブルに取り付けられたリニアスケール、
12はフルクローズ位置フィードバック信号、13は位
置決め完了信号である。
FIG. 4 shows an example in which full-closed loop position control is performed by a servo motor. 1 in FIG.
Outputs a command pulse with the controller and performs correction control. 4 is a table to be position controlled, 5 is a ball screw, 6 is a position command pulse for forward / reverse rotation, 7 is a position control servo driver, 8 is a servo motor, 9 is a rotary encoder, 10 is a semi-closed position feedback signal, 11 is a linear scale attached to the table,
Reference numeral 12 is a full-closed position feedback signal, and 13 is a positioning completion signal.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】フルクローズドループ
位置制御を行う場合は、コントローラ内に位置カウンタ
を持ち、まず位置制御用のモータを目標移動量分のパル
ス指令をドライバに入力することにより駆動する。位置
決め完了後コントローラが最終位置決め制御の対象とな
る負荷に取り付けられた位置検出器の位置情報を読みと
り目標位置に対する誤差分の補正パルスを再度ドライバ
に入力する。この制御を繰り返し負荷の高精度位置決め
制御を実現している。
When performing full-closed loop position control, a position counter is provided in the controller and the position control motor is first driven by inputting a pulse command corresponding to the target movement amount to the driver. . After the positioning is completed, the controller reads the position information of the position detector attached to the load to be subjected to the final positioning control, and inputs the correction pulse for the error with respect to the target position to the driver again. By repeating this control, high-precision positioning control of the load is realized.

【0016】しかしながら、この補正時にかなり長い時
間を要しており高速化をはかることは困難であり、また
コントローラのソフト/ハードともに複雑であるという
問題を有していた。
However, this correction requires a considerably long time, making it difficult to increase the speed, and the software / hardware of the controller is complicated.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点に鑑
み、サーボモータでのセミクローズドループ制御時に位
置制御ループを持つことに着目し、また市販のリニアス
ケール,レーザースケールの出力信号のフォーマットが
モータに取り付けているロータリーエンコーダの出力信
号と同じであることを利用し、コントローラでの補正作
業の必要のないフルクローズドループ位置制御を実現
し、位置決めの高速化,コントローラの簡素化を提供す
るものである。
In view of the above problems, the present invention focuses on having a position control loop at the time of semi-closed loop control by a servomotor, and the format of output signals of commercially available linear scales and laser scales. Is used as the output signal of the rotary encoder attached to the motor, realizing full-closed loop position control without the need for correction work in the controller, providing faster positioning and simplification of the controller. It is a thing.

【0018】[0018]

【作用】サーボモータのセミクローズドループ制御で
は、ドライバ内に偏差カウンタを持ちカウンタ値を0に
制御することにより位置決め制御を行っている。この場
合の指令はコントローラよりの正転/逆転位置パルス指
令であり、フィードバックはモータのロータリーエンコ
ーダの検出パルス信号である。
In the semi-closed loop control of the servo motor, the driver is provided with a deviation counter and the counter value is controlled to 0 to perform the positioning control. The command in this case is a forward / reverse position pulse command from the controller, and the feedback is a detection pulse signal of the rotary encoder of the motor.

【0019】ここで、フィードバック信号は負荷に取り
付けられた位置検出器の検出パルス信号とすることによ
り、コントローラによる補正制御を必要としないでドラ
イバのみでフルクローズド位置制御を実現することが可
能となる。
Here, by making the feedback signal a detection pulse signal of the position detector attached to the load, it becomes possible to realize the fully closed position control only by the driver without the need for correction control by the controller. .

【0020】また、コントローラによる補正制御では補
正分の指令パルス量は数パルスと少なくモータのトルク
を出しにくい。よってコントローラの補正制御時間に加
え、より位置決めに長い時間を要していた。本発明では
コントローラによる補正時間がないことに加え補正パル
スのような少ないパルス指令もなくなるため、フルクロ
ーズドループ制御による位置決め時間をセミクローズド
ループと同等に速くすることが実現できる。
Further, in the correction control by the controller, the command pulse amount for the correction is only a few pulses and it is difficult to output the torque of the motor. Therefore, in addition to the correction control time of the controller, a longer time is required for positioning. In the present invention, since there is no correction time by the controller and a small pulse command such as a correction pulse is also eliminated, it is possible to realize the positioning time by full closed loop control as fast as a semi-closed loop.

【0021】[0021]

【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
ながら説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0022】図1に本発明の一実施例を示す。図1にお
いて1はコントローラで指令パルスを出力する。4は位
置制御の対象であるテーブル、5はボールネジ、6は正
転/逆転の位置指令パルス、8はサーボモータ、9はロ
ータリーエンコーダ、11はテーブルに取り付けられた
リニアスケール、12はフルクローズ位置フィードバッ
ク信号、13は位置決め完了信号、14は速度フィード
バック信号、15はフルクローズド位置制御サーボドラ
イバである。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 is a controller that outputs a command pulse. 4 is a table to be position controlled, 5 is a ball screw, 6 is a position command pulse for forward / reverse rotation, 8 is a servo motor, 9 is a rotary encoder, 11 is a linear scale attached to the table, and 12 is a fully closed position. A feedback signal, 13 is a positioning completion signal, 14 is a velocity feedback signal, and 15 is a fully closed position control servo driver.

【0023】位置検出はテーブルに取り付けられた11
の位置検出器で行い、2相90°位相差のパルス信号を
出力する。サーボモータの位置制御には速度ループが必
要であるので9の速度検出器が必要となる。速度検出器
はモータに取り付けロータリーエンコーダあるいはタコ
ジェネレータとする。ロータリーエンコーダの場合は2
相90°位相差のパルス信号を出力する。タコジェネレ
ータの場合は出力はアナログ電圧となる。1のコントロ
ーラから見ると本発明ではオープンループで制御でき、
正転/逆転位置パルス指令を出力するのみである。15
のフルクローズドループ位置制御サーボドライバの入力
信号は、6の指令パルス,12のフルクローズ位置フィ
ードバック信号,14の速度フィードバック信号が必要
である。従来のセミクローズドループ位置決め制御用ド
ライバでは、ロータリーエンコーダの位置検出パルス信
号を速度検出信号にも兼用しているため14の速度フィ
ードバック信号の入力部が存在しない。
Position detection is mounted on the table 11
Position detector to output a pulse signal with a two-phase 90 ° phase difference. Since a speed loop is necessary for position control of the servo motor, a speed detector 9 is required. The speed detector is a rotary encoder or tacho-generator attached to the motor. 2 for rotary encoders
A pulse signal with a 90 ° phase difference is output. In the case of a tacho generator, the output will be an analog voltage. When viewed from the controller of No. 1, in the present invention, it can be controlled by an open loop,
It only outputs the forward / reverse position pulse command. 15
The input signal of the full-closed loop position control servo driver is required to have 6 command pulses, 12 full-closed position feedback signals, and 14 velocity feedback signals. In the conventional driver for semi-closed loop positioning control, since the position detection pulse signal of the rotary encoder is also used as the speed detection signal, there are no 14 speed feedback signal input sections.

【0024】動作的にはセミクローズドループのサーボ
モータとなんら変わりはない。コントローラから指令パ
ルスがドライバ内の偏差カウンタに入力されるとドライ
バはテーブル負荷を駆動するに必要なトルクを発生させ
るため電流増幅を行い、指令パルス分モータを回転させ
負荷(テーブル)を移動させる。テーブル負荷が移動す
ると、テーブルに取り付けられた11の位置検出器から
位置検出フィードバックパルスがドライバ内の偏差カウ
ンタに入力される。15のドライバはカウンタ値を0に
制御することにより、フルクローズドループでの位置決
め制御を完了する。位置決めが完了すると15のドライ
バは13の位置決め完了信号をコントローラに出力し、
コントローラが位置決め完了を判断する。
Operationally, it is no different from a semi-closed loop servo motor. When the command pulse is input from the controller to the deviation counter in the driver, the driver performs current amplification to generate the torque necessary to drive the table load, and rotates the motor for the command pulse to move the load (table). When the table load moves, position detection feedback pulses from 11 position detectors mounted on the table are input to a deviation counter in the driver. The driver of 15 controls the counter value to 0 to complete the positioning control in the fully closed loop. When the positioning is completed, the 15 driver outputs the 13 positioning completion signal to the controller,
The controller determines the positioning completion.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上のように本発明は、サーボドライバ
のみにてフルクローズドループの位置制御を可能とし、
かつ従来のコントローラによる補正方式に比べ高速での
位置決めを可能としている。また、コントローラからは
オープンループ制御となるため、コントローラのソフト
/ハード両面の簡素化を実現することができるものであ
る。
As described above, the present invention enables full-closed loop position control only by the servo driver.
In addition, positioning is possible at a higher speed than the conventional controller-based correction method. Further, since the controller performs open loop control, simplification of both software and hardware of the controller can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す説明図FIG. 1 is an explanatory diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】従来のステッピングモータにて位置制御を行う
場合の一例の説明図
FIG. 2 is an explanatory diagram of an example in which position control is performed by a conventional stepping motor.

【図3】従来のサーボモータにて位置制御を行う場合の
一例の説明図
FIG. 3 is an explanatory diagram of an example in which position control is performed by a conventional servo motor.

【図4】従来のサーボモータにてフルクローズドループ
位置制御を行う場合の一例の説明図
FIG. 4 is an explanatory diagram of an example of a case where full-closed loop position control is performed by a conventional servo motor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 コントローラ 2 ステッピングドライバ 3 ステッピングモータ 4 テーブル 5 ボールネジ 6 正転/逆転位置指令パルス 7 位置制御サーボドライバ 8 サーボモータ 9 ロータリーエンコーダ 10 セミクローズ位置フィードバック信号 11 リニアスケール 12 フルクローズ位置フィードバック信号 13 位置決め完了信号 14 速度フィードバック信号 15 フルクローズド位置制御サーボドライバ 1 Controller 2 Stepping Driver 3 Stepping Motor 4 Table 5 Ball Screw 6 Forward / Reverse Position Command Pulse 7 Position Control Servo Driver 8 Servo Motor 9 Rotary Encoder 10 Semi-closed Position Feedback Signal 11 Linear Scale 12 Full-closed Position Feedback Signal 13 Positioning Completion Signal 14 Speed feedback signal 15 Fully closed position control servo driver

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // H02P 5/00 G ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location // H02P 5/00 G

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】少なくともロータリーエンコーダを備えた
サーボモータと、前記サーボモータを制御する位置制御
ドライバとコントローラとリニアスケールを備えたフル
クローズドループ位置制御サーボドライバにおいて、リ
ニアスケールからの位置検出信号とロータリーエンコー
ダからの速度検出信号を位置制御ドライバにフィードバ
ックして位置決め制御を行い、位置決め完了後に位置制
御ドライバが位置決め完了信号をコントローラに出力す
ることを特徴とするフルクローズドループ位置制御サー
ボドライバ。
1. A servo motor including at least a rotary encoder, a position control driver for controlling the servo motor, a full-closed loop position control servo driver including a controller and a linear scale, and a position detection signal from the linear scale and a rotary. A full-closed loop position control servo driver, characterized in that the speed detection signal from the encoder is fed back to the position control driver to perform positioning control, and after the positioning is completed, the position control driver outputs a positioning completion signal to the controller.
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