JPH07225206A - Odor sensor and gas sensor using the same - Google Patents
Odor sensor and gas sensor using the sameInfo
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- JPH07225206A JPH07225206A JP1674794A JP1674794A JPH07225206A JP H07225206 A JPH07225206 A JP H07225206A JP 1674794 A JP1674794 A JP 1674794A JP 1674794 A JP1674794 A JP 1674794A JP H07225206 A JPH07225206 A JP H07225206A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、匂いセンサおよびガ
スセンサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an odor sensor and a gas sensor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の有機材料を用いた匂いセンサとし
て、例えば、特開平１−２５９２５０号公報に、β−カ
ロチン等の有機半導体を用いた匂いセンサの例が開示さ
れている。また、特開昭６３−２２２２４８号公報には
ＮａＣｌ溶液中の二分子膜に匂い物質が吸着されたとき
の、この二分子膜の膜電位あるいは膜抵抗の変化を電気
化学的に検出する方法が開示されている。これら有機材
料からなる感応膜（有機感応膜）は、有機物からなる匂
い物質に対する感応性が高いと考えられる。2. Description of the Related Art As a conventional odor sensor using an organic material, for example, JP-A-1-259250 discloses an odor sensor using an organic semiconductor such as β-carotene. Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-222248 discloses a method of electrochemically detecting a change in membrane potential or membrane resistance of an odor substance when the odor substance is adsorbed on the bilayer membrane in a NaCl solution. It is disclosed. It is considered that the sensitive film made of these organic materials (organic sensitive film) has high sensitivity to odor substances made of organic substances.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、匂いセンサ
の有機感応膜として通常用いている有機半導体材料は、
光電導性を示す。このため、有機半導体材料を有機感応
膜として用いると、匂いセンサの周囲の明るさの変化に
よって匂いセンサの出力が影響を受ける。例えば室内用
の匂いセンサとして用いた場合には、蛍光灯等の照明の
点灯や消灯による明るさの変化によって出力が影響を受
け、また、懐中電灯等で匂いセンサを照らした場合にも
出力が影響を受ける。その結果、明るさの変化を匂いの
発生と誤って検知してしまう場合がある。従って、周囲
の明るさの影響を受けない匂いセンサの実現が望まれて
いた。The organic semiconductor material usually used as the organic sensitive film of the odor sensor is
It exhibits photoconductivity. Therefore, when the organic semiconductor material is used as the organic sensitive film, the output of the odor sensor is affected by the change in brightness around the odor sensor. For example, when used as an indoor odor sensor, the output is affected by changes in brightness due to turning on and off of lighting such as fluorescent lights, and when the odor sensor is illuminated with a flashlight, etc. to be influenced. As a result, the change in brightness may be erroneously detected as the occurrence of odor. Therefore, it has been desired to realize an odor sensor that is not affected by ambient brightness.
【０００４】また、有機半導体材料を有機感応膜として
用いたガスセンサも、匂いセンサと同様に明るさの影響
を受けるため、明るさの影響を受けないガスセンサの実
現が望まれていた。Further, a gas sensor using an organic semiconductor material as an organic sensitive film is also affected by brightness like an odor sensor, and therefore it has been desired to realize a gas sensor which is not affected by brightness.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この出願に係る第１の発
明によれば、匂いに感応して電気特性が変化する有機半
導体材料からなる有機感応膜およびこの有機感応膜の電
気特性を測定するための電極を具えた匂いセンサ素子
と、この匂いセンサ素子を格納する容器とを有してい
る。そして、この容器は、この容器の内外の通気性を確
保しており、かつ、この容器の外部からの光が匂いセン
サ素子に到達することを抑制する遮光構造を具えている
ことを特徴とする。According to the first invention of the present application, an organic sensitive film made of an organic semiconductor material whose electrical property changes in response to an odor and the electrical property of the organic sensitive film are measured. It has an odor sensor element provided with an electrode for this purpose, and a container for storing this odor sensor element. Further, this container is characterized by ensuring air permeability inside and outside of this container and having a light-shielding structure for suppressing light from the outside of the container from reaching the odor sensor element. .
【０００６】また、例えば遮光構造として、複数枚の遮
光板を重ねて設け、その際に、この遮光板同士の間の隙
間と、この遮光板の両面の隙間同士の通気性を図るため
の開口部とを設けて、かつ、この開口部から光が直接入
らないようにするために、この開口部が少なくとも１枚
の遮光板と重なっていることが望ましい。言い換えれ
ば、容器の外部いかなる場所からも感応膜を直視できな
いように遮光板を配置していることが望ましく、さら
に、遮光板には反射防止処理を施してあることが望まし
い。Further, for example, as a light-shielding structure, a plurality of light-shielding plates are provided in an overlapping manner, and at that time, openings for achieving air permeability between the gaps between the light-shielding plates and the gaps on both sides of the light-shielding plate. It is desirable that the opening be overlapped with at least one light shielding plate in order to provide a portion and prevent light from directly entering through the opening. In other words, it is desirable to dispose the light shielding plate so that the sensitive film cannot be directly viewed from any place outside the container, and further it is desirable that the light shielding plate is subjected to antireflection treatment.
【０００７】また、例えば遮光構造として、通気性を有
する遮光フィルタを具えても良い。また、この出願に係
る第２の発明の匂いセンサによれば、匂いに感応して電
気特性が変化する有機半導体材料からなる有機感応膜
と、この有機感応膜の電気特性を出力するための電極と
を有する匂いセンサ素子（以下、単にセンサ素子とも称
する）を具えている。そして、この匂いセンサ素子と同
一の電気特性を有し、光透過性を有する大気遮断構造で
覆われたダミー匂いセンサ素子（以下、ダミー素子とも
称する）を具えている。さらに、センサ素子の出力とダ
ミー素子の出力との差分を取るための差分回路を具えて
いる。また、センサ素子とダミー素子とは、同じように
周辺光を受けるように、互いに充分近くに配置されてい
ることが望ましい。Further, for example, as the light shielding structure, a light shielding filter having air permeability may be provided. Further, according to the odor sensor of the second invention related to this application, an organic sensitive film made of an organic semiconductor material whose electrical characteristics change in response to an odor, and an electrode for outputting the electrical characteristics of this organic sensitive film It has an odor sensor element (hereinafter, also simply referred to as a sensor element) having and. The odor sensor element has a dummy odor sensor element (hereinafter, also referred to as a dummy element) that has the same electric characteristics as this odor sensor element and is covered with an air-shielding structure having a light transmitting property. Further, it has a difference circuit for obtaining a difference between the output of the sensor element and the output of the dummy element. It is also desirable that the sensor element and the dummy element are arranged sufficiently close to each other to receive ambient light as well.
【０００８】また、この出願に係る発明のガスセンサ
は、第１または第２の発明の匂いセンサを無臭のガスの
検出に用いたものである。この場合、有機感応膜には、
ガスに対する感応性を有する材料を用いる。The gas sensor of the invention according to this application uses the odor sensor of the first or second invention for detecting odorless gas. In this case, the organic sensitive film
Use a material that is sensitive to gas.
【０００９】[0009]
【作用】この出願に係る第１の発明の匂いセンサによれ
ば、匂いセンサを格納する容器の内外の通気性を確保し
ており、かつ、この容器の外部からの光が匂いセンサ素
子に到達することを抑制する遮光構造を具えている。こ
のため、この発明の匂いセンサは明るさ影響を受けるこ
となく、匂いを検出することができる。According to the odor sensor of the first aspect of the present application, the air permeability inside and outside the container storing the odor sensor is ensured, and the light from the outside of the container reaches the odor sensor element. It is equipped with a light-shielding structure that suppresses this. Therefore, the odor sensor of the present invention can detect an odor without being affected by brightness.
【００１０】また、この出願に係る第２の発明の匂いセ
ンサによれば、匂いセンサ素子（センサ素子）と、ダミ
ー匂いセンサ素子（ダミー素子）とを具えている。この
ダミー素子は、センサ素子と同一の電気特性を有し、光
透過性を有する大気遮断構造で覆われている。このた
め、ダミー素子は、明るさの変化による電気特性の変化
のみを出力し、匂いによる電気特性の変化は出力しな
い。一方、センサ素子は、明るさおよび匂いによる電気
特性の変化を出力する。従って、センサ素子とダミー素
子との出力の差分を差分回路でとることによって、明る
さの変化による電気特性の変化分を取り除き、匂いによ
る電気特性の変化のみを検出することができる。その結
果、この発明の匂いセンサは明るさの影響を受けること
なく、匂いを検出することができる。Further, according to the odor sensor of the second aspect of the present application, the odor sensor element (sensor element) and the dummy odor sensor element (dummy element) are provided. This dummy element has the same electrical characteristics as the sensor element, and is covered with an air-shielding structure having light transmittance. Therefore, the dummy element outputs only the change in the electric characteristic due to the change in brightness, and does not output the change in the electric characteristic due to the odor. On the other hand, the sensor element outputs changes in electrical characteristics due to brightness and odor. Therefore, by taking the difference between the outputs of the sensor element and the dummy element by the difference circuit, it is possible to remove the change in the electric characteristic due to the change in brightness and detect only the change in the electric characteristic due to the odor. As a result, the odor sensor of the present invention can detect an odor without being affected by brightness.
【００１１】また、この出願に係るガスセンサによれ
ば、第１または第２発明の匂いセンサの有機感応膜とし
て、無臭のガスに感応する有機感応膜を用いることによ
り、第１または第２発明の匂いセンサと同様の構成でガ
スを検出することができる。このため、この発明のガス
センサも明るさの影響を受けることなくガスを検出する
ことができる。Further, according to the gas sensor of this application, by using an organic sensitive film sensitive to odorless gas as the organic sensitive film of the odor sensor of the first or second invention, The gas can be detected with the same configuration as the odor sensor. Therefore, the gas sensor of the present invention can also detect gas without being affected by brightness.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。尚、図はこの発明が理解できる程度に
各構成成分の大きさ、形状および配置関係を概略的に示
してあるにすぎない。従って、この発明はこの図示例に
のみ限定されるものでないことは明らかである。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. It should be noted that the drawings merely schematically show the sizes, shapes, and positional relationships of the respective constituent components to the extent that the present invention can be understood. Therefore, it is clear that the present invention is not limited to this illustrated example.
【００１３】１．第１実施例 第１実施例では、第１の発明の匂いセンサの一例につい
て説明する。1. First Example In a first example, an example of the odor sensor of the first invention will be described.
【００１４】図１の（Ａ）および（Ｂ）は、第１実施例
の匂いセンサの構造の説明に供する図であり、図１の
（Ａ）は、第１実施例の斜視図であり、図１の（Ｂ）は
図１の（Ａ）の縦断面図である。FIGS. 1A and 1B are views for explaining the structure of the odor sensor of the first embodiment, and FIG. 1A is a perspective view of the first embodiment. 1B is a vertical cross-sectional view of FIG.
【００１５】第１の発明の匂いセンサは、匂いに感応し
て電気特性が変化する有機半導体材料からなる有機感応
膜およびこの有機感応膜の電気特性を測定するための電
極を具えた匂いセンサ素子１０と、この匂いセンサ素子
１０を格納する容器１２とを有する。そして、この容器
１２は、この容器１２の内外の通気性を確保しており、
かつ、この容器１２の外部からの光が匂いセンサ素子１
０に到達することを抑制する遮光構造１４を具えてい
る。この実施例では容器１２は、下面に匂いセンサ素子
が固定された上板１２ａおよび円筒形の側板１２ｂを具
え、遮光構造１４として、上板１２ａと対向し、側板１
２ｂに内接した３枚の遮光板１４ａ、１４ｂおよび１４
ｃを重ねて設けている。The odor sensor according to the first aspect of the invention is an odor sensor element comprising an organic sensitive film made of an organic semiconductor material whose electrical characteristics change in response to an odor, and electrodes for measuring the electrical characteristics of this organic sensitive film. It has 10 and the container 12 which stores this odor sensor element 10. And this container 12 ensures the air permeability inside and outside of this container 12,
In addition, light from the outside of the container 12 emits the odor sensor element 1
It comprises a light blocking structure 14 which suppresses reaching 0. In this embodiment, the container 12 comprises an upper plate 12a having an odor sensor element fixed to the lower surface and a cylindrical side plate 12b. The light shielding structure 14 faces the upper plate 12a and the side plate 1
3 baffles 14a, 14b and 14 inscribed in 2b
c is overlapped and provided.
【００１６】そして、容器１２の内外の通気性を確保す
るため、この遮光板１４同士の間には隙間１６を設けて
あり、また、この遮光板１４の両面の隙間１６同士の通
気性を図るために開口部１８を設けている。さらに、こ
の開口部１８から光が直接入らないようにするために、
この開口部１８が少なくとも１つの遮光板１４と重なっ
てなる。この実施例では、図１の（Ｂ）の断面図で見る
と互い違いとなるように遮光板１４を間隔を空けて３枚
平行に重ねている。ここでは、上から１枚目と３枚目の
遮光板１４ａおよび１４ｃの開口部１８ａおよび１８ｃ
は、２枚目の遮光板１４ｂと重なっている。また、上か
ら２枚目の遮光板１４ｂの開口部１８ｂは、その上下の
遮光板１４ａおよび１４ｃと重なっている。このため、
容器１２の外部の光が開口部１８から直接匂いセンサ素
子１０に差し込むことはない。また、遮光板１４はアル
ミニウム板よりなり、その表面につや消しの黒色塗料を
塗布することで反射防止処理を施している。In order to ensure air permeability inside and outside the container 12, a gap 16 is provided between the light shield plates 14 and the air gap between the gaps 16 on both sides of the light shield plate 14 is improved. Therefore, the opening 18 is provided. Furthermore, in order to prevent light from directly entering through this opening 18,
The opening 18 overlaps with at least one light shielding plate 14. In this embodiment, three light shielding plates 14 are arranged in parallel so as to be staggered when viewed in the sectional view of FIG. Here, the openings 18a and 18c of the first and third light shielding plates 14a and 14c from the top are shown.
Overlaps with the second light shielding plate 14b. Further, the opening 18b of the second light shielding plate 14b from the top overlaps with the upper and lower light shielding plates 14a and 14c. For this reason,
Light outside the container 12 does not directly enter the odor sensor element 10 through the opening 18. The light-shielding plate 14 is made of an aluminum plate, and its surface is coated with a matte black paint to perform antireflection treatment.
【００１７】尚、上板１２ａ部分にも通気性を有する遮
光構造を設ければ、容器１２の内外の通気性をより向上
させることができるので、匂いに対する匂いセンサの迅
速な応答が期待できる。If the upper plate 12a is also provided with a light-shielding structure having air permeability, the air permeability inside and outside the container 12 can be further improved, so that a quick response of the odor sensor to an odor can be expected.
【００１８】また、第１実施例では３枚の遮光板を平行
に重ねたが、遮光板の枚数、間隔、形状および開口部の
大きさは特に限定されない。また、遮光板は、より光が
入りにくくするために側壁に対して斜めに設けても良
く、また、遮光板同士は平行に設けなくとも良い。Further, in the first embodiment, the three light shielding plates are stacked in parallel, but the number of light shielding plates, the interval, the shape and the size of the opening are not particularly limited. Further, the light shielding plate may be provided obliquely with respect to the side wall in order to make it harder for light to enter, and the light shielding plates may not be provided in parallel with each other.
【００１９】また、この実施例の容器の外観形状は、概
ね円柱状であるが、容器の形状は特に限定されるもので
はない。The outer shape of the container of this embodiment is generally cylindrical, but the shape of the container is not particularly limited.
【００２０】次に、第１の発明の匂いセンサを構成する
匂いセンサ素子の一例について説明する。図２は、第１
実施例の匂いセンサ素子の説明に供する構造図で、匂い
センサ素子を感応膜の上方から見て示した平面図および
この平面図のＩーＩに沿った切り口における断面図であ
る。Next, an example of the odor sensor element constituting the odor sensor of the first invention will be described. FIG. 2 shows the first
FIG. 1 is a structural view for explaining an odor sensor element of an example, and is a plan view showing the odor sensor element as seen from above a sensitive film, and a cross-sectional view taken along a line I-I of this plan view.
【００２１】第１実施例の匂いセンサ素子は、絶縁性の
基板２０の上に、第１電極部２２ａおよび第２電極部２
２ｂで構成される櫛形電極２２を具えており、これら両
電極部２２ａおよび２２ｂ間をわたるように有機感応膜
（以下、感応膜とも称する）２４を設けた構造となって
いる。この匂いセンサ素子の感応膜２４中に匂い物質が
拡散すると、感応膜２４のコンダクタンス即ち電気伝導
度、電気容量等の電気的特性が変化する。この電気的特
性の変化は櫛形電極２２を介して検出することができ
る。検出にあたっては、例えば、櫛形電極２２間に直流
定電圧を印加し、そのときに流れる電流を測定すること
によって、感応膜２４の電気抵抗を検出するニ端子法に
よる測定法を用いることができる。The odor sensor element of the first embodiment has a first electrode portion 22a and a second electrode portion 2 on an insulating substrate 20.
It has a comb-shaped electrode 22 composed of 2b, and has a structure in which an organic sensitive film (hereinafter also referred to as a sensitive film) 24 is provided so as to extend between the two electrode portions 22a and 22b. When an odor substance diffuses into the sensitive film 24 of the odor sensor element, the conductance of the sensitive film 24, that is, the electrical characteristics such as electric conductivity and electric capacity change. This change in electrical characteristic can be detected via the comb-shaped electrode 22. For the detection, for example, a two-terminal measurement method can be used in which a constant DC voltage is applied between the comb electrodes 22 and the current flowing at that time is measured to detect the electric resistance of the sensitive film 24.
【００２２】次に、第１実施例で用いる匂いセンサ素子
の製造方法の一例について説明する。Next, an example of a method of manufacturing the odor sensor element used in the first embodiment will be described.
【００２３】先ず、有機感応膜２４の電気特性の変化を
測定するための電極２２を形成した基板２０上に、有機
感応膜２４を成膜する。この実施例では、１０×２０ｍ
ｍ、厚さ１ｍｍのアルミナセラミック基板２０上に、ス
クリーン印刷法で金の櫛形のパターンの厚膜電極（以
下、櫛形電極）２２を印刷し焼成して形成する。櫛形電
極２２は電極間の距離を２００μｍ、櫛の歯の幅を２０
０μｍとした。以下、基板２０と櫛形電極２２とを併せ
て櫛形電極基板２６と称する。次に、この櫛形電極基板
２６上に銅フタロシアニンを真空蒸着することにより感
応膜２４を形成する。真空蒸着を行なうにあたっては、
銅フタロシアニン（コダック社製）１００ｍｇをアルミ
ナ製のるつぼに入れ、そのるつぼを真空チャンバ中で抵
抗線加熱する。蒸着時の真空度は１０-3Ｐａ以下とし、
櫛形電極基板２６の加熱あるいは冷却は行なわず、蒸着
速度１．０〜２．０Å／秒で厚さ０．４μｍの感応膜２
４を形成した。First, the organic sensitive film 24 is formed on the substrate 20 on which the electrode 22 for measuring the change in the electrical characteristics of the organic sensitive film 24 is formed. In this example, 10 × 20 m
A thick film electrode (hereinafter, comb-shaped electrode) 22 having a gold comb-shaped pattern is printed on a alumina ceramic substrate 20 having a thickness of m and a thickness of 1 mm by a screen printing method and baked to form the film. The comb electrodes 22 have a distance between the electrodes of 200 μm and a width of the comb teeth of 20.
It was set to 0 μm. Hereinafter, the substrate 20 and the comb-shaped electrode 22 will be collectively referred to as a comb-shaped electrode substrate 26. Next, the sensitive film 24 is formed on the comb-shaped electrode substrate 26 by vacuum-depositing copper phthalocyanine. When performing vacuum deposition,
100 mg of copper phthalocyanine (manufactured by Kodak) is placed in an alumina crucible, and the crucible is heated by a resistance wire in a vacuum chamber. The degree of vacuum during vapor deposition should be 10 -3 Pa or less,
The comb-shaped electrode substrate 26 is not heated or cooled, and the sensitive film 2 has a vapor deposition rate of 1.0 to 2.0 Å / sec and a thickness of 0.4 μm.
4 was formed.
【００２４】尚、この実施例で感応膜２４として用いた
銅フタロシアニンを初めとするフタロシアニン類は、耐
熱性、耐候性、耐薬品性に優れた有機材料であり、電子
写真感光体、光電変換素子および非線形光学材料とし
て、エレクトロニクス分野や光エレクトロニクス分野で
広く用いられている。従って、フタロシアニン類はその
安定性および信頼性について保証された材料であると言
える。また、フタロシアニン類としては、無金属フタロ
シアニンを初め、例えば文献：「The Phthalocyanines,
著者F.H.Moser,A.L.Thomas, 出版社ＣＲＣ Press,Inc.
（１９８３）」に開示されている各種の金属フタロシア
ニンを用いることができる。The phthalocyanines such as copper phthalocyanine used as the sensitive film 24 in this embodiment are organic materials excellent in heat resistance, weather resistance and chemical resistance, and are electrophotographic photoreceptors and photoelectric conversion elements. It is widely used as a nonlinear optical material in the fields of electronics and optoelectronics. Therefore, it can be said that the phthalocyanines are materials guaranteed for their stability and reliability. The phthalocyanines include metal-free phthalocyanines, for example, the literature: "The Phthalocyanines,
Author FHMoser, ALThomas, Publisher CRC Press, Inc.
(1983) ”, various metal phthalocyanines can be used.
【００２５】次に、第１実施例の匂いセンサの応答特性
（匂いに対する電気特性）の評価結果について説明す
る。評価に用いた測定系を図３に示す。測定にあたって
は暗室内に設置した容積が６リットルのガラス製チャン
バ３０を用いる。このガラス製チャンバ３０はその壁の
一部に匂い物質を投入するための開閉自在の窓３０ａお
よび換気用ファン３０ｃを具え、かつ、チャンバ３０の
内部に攪拌用ファン３０ｂを具えている。匂いセンサ１
０の電極２２はリード線３２を介してチャンバ３０外の
検出回路３６と接続している。この実験では、感応膜２
４の応答特性として、感応膜の電気抵抗値を測定する。
また、チャンバ３０の内部には、匂い物質を置くための
ろ紙３８が入れてあり、このろ紙３８にマクロシリンジ
４０を用いて匂い物質４２を供給する。ここでは、匂い
物質として、揮発後のチャンバ３０内での濃度が１００
ｐｐｍとなる分量のトリエチルアミンを注入する。尚、
測定にあたっては、注入開始１．５分後に暗室内の蛍光
灯を点灯し、３．５分後に蛍光灯を消灯し、５分後に換
気用ファン３０ｃを回してチャンバの換気を開始した。Next, the evaluation results of the response characteristics (electrical characteristics with respect to odor) of the odor sensor of the first embodiment will be described. The measurement system used for evaluation is shown in FIG. For the measurement, a glass chamber 30 having a volume of 6 liters installed in a dark room is used. The glass chamber 30 has a window 30a that can be opened and closed for introducing an odor substance and a ventilation fan 30c on a part of the wall of the glass chamber 30, and a stirring fan 30b inside the chamber 30. Odor sensor 1
The electrode 0 of 0 is connected to a detection circuit 36 outside the chamber 30 via a lead wire 32. In this experiment, the sensitive membrane 2
As the response characteristic of No. 4, the electric resistance value of the sensitive film is measured.
Further, a filter paper 38 for placing an odor substance is put inside the chamber 30, and the odor substance 42 is supplied to the filter paper 38 by using a macro syringe 40. Here, as the odor substance, the concentration in the chamber 30 after volatilization is 100
Inject triethylamine in an amount of ppm. still,
In the measurement, 1.5 minutes after the start of injection, the fluorescent lamp in the dark room was turned on, after 3.5 minutes, the fluorescent lamp was turned off, and after 5 minutes, the ventilation fan 30c was rotated to start ventilation of the chamber.
【００２６】図４に、匂い物質を注入した後の匂いセン
サの電気特性（応答特性）を示す。図４のグラフの横軸
は、匂い物質注入時刻からの経過時間（分）を表し、縦
軸はセンサ素子の櫛形電極間にの抵抗値を匂い発生前の
初期抵抗値で規格化した相対値を対数で表している。
尚、初期抵抗値は１．５×１０9 Ωであった。グラフ中
の曲線Ｉは、第１実施例の匂いセンサに匂い物質注入し
た場合の応答特性を示している。一方、破線ＩＩは、比
較例として、遮光構造を具えていない匂いセンサを用い
て同一の評価を行なったときの応答特性を示している。FIG. 4 shows the electrical characteristics (response characteristics) of the odor sensor after injecting the odor substance. The horizontal axis of the graph in FIG. 4 represents the elapsed time (minutes) from the odor substance injection time, and the vertical axis represents the relative value of the resistance value between the comb-shaped electrodes of the sensor element normalized by the initial resistance value before odor generation. Is expressed in logarithm.
The initial resistance value was 1.5 × 10 9 Ω. Curve I in the graph shows the response characteristic when an odor substance is injected into the odor sensor of the first embodiment. On the other hand, the broken line II indicates the response characteristic when the same evaluation is performed using an odor sensor that does not have a light shielding structure as a comparative example.
【００２７】曲線Ｉに示すように、第１実施例の匂いセ
ンサは、蛍光灯の点灯および消灯による明るさの変化の
影響をほとんど受けていない。一方、破線ＩＩに示すよ
うに、遮光構造を具えていない匂いセンサは、蛍光灯が
点灯している間、抵抗値の低下が見られ、明るさの変化
によって電気特性の出力が影響を受けている。従って、
第１実施例の匂いセンサでは、明るさの影響を受けずに
匂いを検出できることが確認できた。As shown by the curve I, the odor sensor of the first embodiment is hardly affected by the change in brightness caused by turning on and off the fluorescent lamp. On the other hand, as shown by the broken line II, in the odor sensor without the light shielding structure, the resistance value is decreased while the fluorescent lamp is turned on, and the change in the brightness affects the output of the electrical characteristics. There is. Therefore,
It was confirmed that the odor sensor of the first embodiment can detect odor without being affected by brightness.
【００２８】２．第２実施例 第２実施例の匂いセンサは、遮光構造として通気性を有
する遮光フィルタ４４を遮光板の代わりにを用いた点以
外は、第１実施例と同一の構造を有する。図５に、第２
実施例の匂いセンサの構造断面図を示す。2. Second Example The odor sensor of the second example has the same structure as the first example except that a light-shielding filter 44 having air permeability is used as a light-shielding structure instead of the light-shielding plate. In FIG.
The structural sectional drawing of the odor sensor of an Example is shown.
【００２９】この実施例の匂いセンサの容器１２は、下
面に匂いセンサ素子１０が固定された上板１２ａおよび
円筒形の側板１２ｂを具え、遮光構造として、通気性を
有する遮光フィルタ４４で容器の下面を覆っている。こ
の遮光フィルタ４４としては、例えば、塵やたばこの煙
に含まれるヤニの付着によるセンサ素子の特性の劣化を
防ぐために設けられているフィルタを用いることができ
る。第２実施例では、平均孔径２００μｍ、厚さ３ｍｍ
のガラスフィルタを、黒色塗料を溶かした有機溶媒中に
浸漬した後取り出し、乾燥させて遮光フィルタ４４とし
た。The container 12 of the odor sensor of this embodiment is provided with an upper plate 12a and a cylindrical side plate 12b to which the odor sensor element 10 is fixed on the lower surface. It covers the underside. As the light-shielding filter 44, for example, a filter provided to prevent deterioration of the characteristics of the sensor element due to adhesion of tars contained in dust or cigarette smoke can be used. In the second embodiment, the average pore diameter is 200 μm and the thickness is 3 mm.
The glass filter of No. 1 was immersed in an organic solvent in which black paint was dissolved, taken out, and dried to obtain a light-shielding filter 44.
【００３０】第２実施例の匂いセンサについて、第１実
施例の匂いセンサについて行なった評価と同様の評価を
行なったところ、明かりの影響を受けることなく匂いを
検出できることが分かった。When the odor sensor of the second embodiment was evaluated in the same manner as the odor sensor of the first embodiment, it was found that the odor could be detected without being affected by the light.
【００３１】尚、第２実施例では、遮光フィルタ４４の
素材としてガラスフィルタを用いたが、例えば紙製のフ
ィルタ、金網等の金属製フィルタを用いても良い。ま
た、フィルタを遮光性にするための処理方法は黒色塗料
による染色に限定されず、通気性を損なわない方法であ
れば、特に限定されるものではない。In the second embodiment, the glass filter is used as the material of the light shielding filter 44, but a paper filter or a metal filter such as a wire mesh may be used. Further, the treatment method for making the filter light-shielding is not limited to dyeing with a black paint, and is not particularly limited as long as it does not impair the air permeability.
【００３２】３．第３実施例 第３実施例では、第２の発明の匂いセンサの一例につい
て説明する。3. Third Example In a third example, an example of the odor sensor of the second invention will be described.
【００３３】図６は、第３実施例の匂いセンサの構成の
説明に供する図であり、匂いセンサ素子１０およびダミ
ー匂いセンサ素子５０を断面で示している。FIG. 6 is a diagram for explaining the structure of the odor sensor of the third embodiment, and shows the odor sensor element 10 and the dummy odor sensor element 50 in cross section.
【００３４】第２の発明の匂いセンサは、匂いに感応し
て電気特性が変化する有機半導体材料からなる有機感応
膜とこの有機感応膜の電気特性を出力するための電極と
を有する匂いセンサ素子（センサ素子）１０と、この匂
いセンサ素子１０と同一の電気特性を有し、光透過性を
有する大気遮断構造で覆われたダミー匂いセンサ素子
（ダミー素子）５０とを具えている。この実施例では、
第１実施例で用いたセンサ素子と同一のセンサ素子１０
とダミー素子５０とを、同じように周辺光を受けるよう
に、素子固定部５２の同一表面上、充分近くに並べて固
定している。また、センサ素子１０およびダミー素子５
０いずれも光を遮蔽する構造は設けられていない。そし
て、この実施例では大気遮断構造として、ガラス製の箱
形構造体５４でダミー素子５０を覆っている。このよう
に、ダミー素子５０は、素子固定部５２およびガラス製
の箱形構造体５４によって大気から遮断され密封されて
いる。The odor sensor of the second invention is an odor sensor element having an organic sensitive film made of an organic semiconductor material whose electrical characteristics change in response to an odor, and an electrode for outputting the electrical characteristics of this organic sensitive film. It comprises a (sensor element) 10 and a dummy odor sensor element (dummy element) 50 which has the same electric characteristics as the odor sensor element 10 and is covered with an air-shielding structure having a light transmitting property. In this example,
The same sensor element 10 as that used in the first embodiment
The dummy element 50 and the dummy element 50 are arranged and fixed sufficiently close to each other on the same surface of the element fixing portion 52 so as to receive the ambient light in the same manner. In addition, the sensor element 10 and the dummy element 5
No structure is provided to block light. In addition, in this embodiment, the dummy element 50 is covered with a box-shaped structure 54 made of glass as an atmosphere blocking structure. Thus, the dummy element 50 is sealed from the atmosphere by the element fixing portion 52 and the glass box-shaped structure 54.
【００３５】この実施例では箱型のガラス構造体５４を
用いたが、大気遮断構造体は全てガラス製にする必要は
なく、少なくとも、感応膜の上面に光透過性があれば良
く、他の部分は光非透過性の材料で構成されても良い。
また、周辺光として、紫外線の影響が強い場合には、大
気遮断構造体に合成石英ガラスや石英ガラスといった紫
外線の透過性に優れた素材を用いることが望ましい。Although the box-shaped glass structure 54 is used in this embodiment, it is not necessary that all the atmosphere blocking structures are made of glass, and it is sufficient if at least the upper surface of the sensitive film has a light-transmitting property. The portion may be made of a light non-transmissive material.
Further, when the influence of ultraviolet rays as the ambient light is strong, it is desirable to use a material having excellent ultraviolet ray permeability such as synthetic quartz glass or quartz glass for the atmosphere blocking structure.
【００３６】また、センサ素子およびダミー素子は、信
号線３４ａおよび３４ｂを介して、センサ素子１０の出
力とこのダミー素子５０の出力との差分を取るための差
分回路５６に繋がっている。The sensor element and the dummy element are connected to a difference circuit 56 for obtaining the difference between the output of the sensor element 10 and the output of the dummy element 50 via the signal lines 34a and 34b.
【００３７】次に、第３実施例の匂いセンサの応答特性
（匂いに対する電気特性）の評価結果について説明す
る。評価にあたっては、第１実施例で用いた測定系と同
一の測定系を用いた。但し、第３実施例では、チャンバ
３０内に、素子固定部５２に固定したセンサ素子１０お
よびダミー素子５０を設置した。そして、第３実施例で
は、第１実施例の評価方法と同様に匂い物質として、揮
発後のチャンバ３０内での濃度が１００ｐｐｍとなる分
量のトリエチルアミンを注入する。尚、測定にあたって
は、注入開始１．５分後に暗室内の蛍光灯を点灯し、
３．５分後に蛍光灯を消灯し、５分後にチャンバの換気
を開始した。Next, the evaluation results of the response characteristics (electrical characteristics with respect to odor) of the odor sensor of the third embodiment will be described. In the evaluation, the same measurement system as that used in the first example was used. However, in the third embodiment, the sensor element 10 and the dummy element 50 fixed to the element fixing portion 52 are installed in the chamber 30. Then, in the third embodiment, as in the evaluation method of the first embodiment, triethylamine is injected as an odor substance in an amount such that the concentration in the chamber 30 after volatilization is 100 ppm. For measurement, turn on the fluorescent lamp in the dark room 1.5 minutes after the start of injection.
After 3.5 minutes, the fluorescent lamp was turned off, and after 5 minutes, ventilation of the chamber was started.
【００３８】図７の（Ａ）および（Ｂ）のグラフに、匂
い物質を注入した後の匂いセンサの電気特性（応答特
性）を示す。図７（Ａ）および（Ｂ）のグラフの横軸
は、匂い物質注入時刻からの経過時間（分）を表してい
る。図７の（Ａ）のグラフの縦軸はセンサ素子およびダ
ミー素子それぞれの櫛形電極間に１０Ｖの直流電圧を印
加したときの電気抵抗値（×１０9 Ω）の差分を取った
出力を表している。一方、図７の（Ｂ）のグラフの縦軸
は、差分をとらずに匂いセンサ素子１０のみの抵抗値
（×１０9 Ω）をそのまま示している。（Ａ）のグラフ
中の曲線ＩＩＩに示すように、差分回路で差分をとった
出力値としての応答特性は、周囲に明るさの影響をほと
んど受けないことが分かる。一方、（Ｂ）のグラフ中の
曲線ＩＶに示すように、匂いセンサ素子だけからの出力
は、蛍光灯が点灯している間抵抗値の低下が見られ、明
るさの変化によって出力が変化していることが分かる。
従って、第３実施例の匂いセンサでは、差分をとること
により明るさの影響をほとんど受けずに匂いを検出でき
ることが分かる。The graphs of FIGS. 7A and 7B show the electrical characteristics (response characteristics) of the odor sensor after the odor substance is injected. The horizontal axes of the graphs of FIGS. 7A and 7B represent the elapsed time (minutes) from the odor substance injection time. The vertical axis of the graph in FIG. 7A represents the output obtained by taking the difference in the electric resistance value (× 10 9 Ω) when a DC voltage of 10 V is applied between the comb electrodes of the sensor element and the dummy element. There is. On the other hand, the vertical axis of the graph of FIG. 7B shows the resistance value (× 10 9 Ω) of the odor sensor element 10 alone without taking the difference. As shown by the curve III in the graph of (A), it can be seen that the response characteristic as the output value obtained by the difference in the difference circuit is hardly affected by the brightness in the surroundings. On the other hand, as shown by the curve IV in the graph of (B), the output from only the odor sensor element shows a decrease in the resistance value while the fluorescent lamp is on, and the output changes due to the change in brightness. I understand that.
Therefore, it can be seen that the odor sensor of the third embodiment can detect odors with little effect of brightness by taking the difference.
【００３９】ところで、光透過性を有する大気遮断構造
体の材料としてガラスを用いた場合、ガラス表面での反
射等により、匂いセンサ素子の光導電性とダミー素子の
光導電性との間に僅かな差が生じるが、この差は出力の
数％程度であり差分回路で補正することができる。ま
た、差分回路は、アナログ的にセンサ素子およびダミー
素子の出力の差をとる回路であっても良いし、また、セ
ンサ素子およびダミー素子の出力をＡ／Ｄ変換器によっ
てそれぞれデジタル信号に変換し、マイクロコンピュー
タ等による演算によってデジタル的に差分をとる回路で
あっても良い。By the way, when glass is used as the material of the air-shielding structure having a light-transmitting property, due to reflection on the glass surface, there is a slight difference between the photoconductivity of the odor sensor element and the photoconductivity of the dummy element. However, this difference is about several% of the output and can be corrected by the difference circuit. Further, the difference circuit may be a circuit which takes the difference between the outputs of the sensor element and the dummy element in an analog manner, or converts the outputs of the sensor element and the dummy element into digital signals by an A / D converter. Alternatively, it may be a circuit that digitally obtains a difference by calculation by a microcomputer or the like.
【００４０】また、第１または第２発明の匂いセンサ
は、火災を検出するためのセンサの一つとして用いた防
災システムも考えられ、特に燻煙状態（燃焼前期の未だ
燻っている状態）の火災即ち初期状態の火災を検出する
ための防災システムに用いて好適である。また、火災に
検出にあたっては、検出の信頼性をより高くするため
に、例えば、煙、温度、無機ガスを検出する他のセンサ
と組み合わせて用いることが望ましい。Further, the odor sensor of the first or second invention may be a disaster prevention system which is used as one of the sensors for detecting a fire, especially in a smoked state (still in a smoked state in the first half of combustion). It is suitable for use in a disaster prevention system for detecting a fire, that is, a fire in an initial state. In addition, when detecting a fire, it is desirable to use it in combination with another sensor that detects smoke, temperature, or inorganic gas, for example, in order to increase the reliability of detection.
【００４１】また、この出願に係るガスセンサによれ
ば、第１または第２発明の匂いセンサの有機感応膜とし
て、例えばＮＯ2 ，Ｏ2 ，ＣＯといった無臭のガスに感
応する有機感応膜を用いることにより、第１または第２
発明の匂いセンサと同様の構成でガスを検出することが
できる。このため、匂いセンサと同様に周囲の明るさの
影響を受けることなくガスを検出することができるガス
センサとして用いることができる。例えば、有機感応膜
として銅フタロシアニンを用いた場合は、第１または第
２実施例の匂いセンサと同じ構成でガスの検出にも用い
ることができる。According to the gas sensor of this application, the organic sensitive film of the odor sensor of the first or second invention is, for example, an organic sensitive film sensitive to an odorless gas such as NO 2 , O 2 or CO. Depending on the first or second
The gas can be detected with the same configuration as the odor sensor of the invention. Therefore, like the odor sensor, it can be used as a gas sensor capable of detecting gas without being affected by the ambient brightness. For example, when copper phthalocyanine is used as the organic sensitive film, it can be used for gas detection with the same configuration as the odor sensor of the first or second embodiment.
【００４２】上述した各実施例では、特定の材料を使用
し、また、特定の条件で形成したこの発明の例について
説明したが、この発明は多くの変更および変形を行なう
ことができる。例えば、上述した実施例では、感応膜の
電気特性の検出にあたっては、二端子法を用いたが、こ
の発明では、例えば電圧を印加する電極と電流を測定す
る電極とを別にした四端子法で測定を行なっても良い。
また、電極に交流電圧を印加して電気特性を測定しても
良い。In each of the above-described embodiments, an example of the present invention in which a specific material is used and which is formed under specific conditions has been described, but the present invention can be subjected to many modifications and variations. For example, in the above-described embodiments, the two-terminal method was used to detect the electrical characteristics of the sensitive film, but in the present invention, for example, a four-terminal method in which an electrode for applying a voltage and an electrode for measuring a current are separately provided. You may measure.
Alternatively, an AC voltage may be applied to the electrodes to measure the electrical characteristics.
【００４３】また、上述した実施例では基板の材料とし
てアルミナセラミック板を用いたが、この発明では、基
板の材料は電極および感応膜を担持出来るものであれば
何でも良い。例えばアルミナ等のセラミックやポリカー
ボネイトなどのプラスチックあるいはポリイミド等の可
撓性を有する材料を用いても良い。Further, although the alumina ceramic plate is used as the material of the substrate in the above-mentioned embodiment, any material can be used as the substrate as long as it can carry the electrode and the sensitive film. For example, ceramics such as alumina, plastics such as polycarbonate, or flexible materials such as polyimide may be used.
【００４４】また、上述した実施例では電極の材料とし
て金を用いたが、この発明では、電極の材料は、感応膜
の電気特性の測定に支障がない程度の電気伝導度とを示
すものであれば良く、例えば、銅、アルミニウム等の金
属や導電性高分子等の有機材料を用いても良い。また、
電極の形状は、櫛形電極に限定されるものではない。Further, although gold was used as the material of the electrode in the above-mentioned embodiments, the material of the electrode in the present invention exhibits an electric conductivity that does not hinder the measurement of the electrical characteristics of the sensitive film. Any material may be used, and for example, a metal such as copper or aluminum or an organic material such as a conductive polymer may be used. Also,
The shape of the electrode is not limited to the comb-shaped electrode.
【００４５】また、上述した実施例では真空蒸着法によ
り感応膜を形成したが、この発明では、感応膜の形成に
あたって、有機分子線蒸着法やラングミュア・ブロジェ
ット法、ミセル電解法等、各種の薄膜形成法を用いるこ
とができる。Further, although the sensitive film is formed by the vacuum deposition method in the above-mentioned embodiments, in the present invention, various kinds of methods such as the organic molecular beam deposition method, the Langmuir-Blodgett method, the micelle electrolysis method, etc. are used for forming the sensitive film. A thin film forming method can be used.
【００４６】また、上述した実施例では感応膜の材料と
して銅フタロシアニン用いたが、この発明では、この他
に、例えばインジウム・フタロシアニンといったフタロ
シアニン類を用いることができる。また、フタロシアニ
ン類に限らず、匂い物質やガスに対する感応性があるも
のであれば有機感応膜の材料として用いることができ
る。Although copper phthalocyanine was used as the material of the sensitive film in the above-mentioned embodiments, other phthalocyanines such as indium phthalocyanine can be used in the present invention. Further, not only phthalocyanines but also those having sensitivity to odor substances and gases can be used as the material of the organic sensitive film.
【００４７】また、この発明の匂いセンサおよびガスセ
ンサは、空気環境測定用、食品工業用、各種工程管理
用、医療用、健康用として用いて好適である。The odor sensor and gas sensor of the present invention are suitable for use in air environment measurement, food industry, process control, medical treatment, and health treatment.
【００４８】[0048]
【発明の効果】この出願に係る第１の発明の匂いセンサ
によれば、匂いセンサを格納する容器の内外の通気性を
確保しており、かつ、この容器の外部からの光が匂いセ
ンサ素子に到達することを抑制する遮光構造を具えてい
る。このため、この発明の匂いセンサは明るさの影響を
受けることなく、匂いを検出することができる。According to the odor sensor of the first invention of this application, the air permeability inside and outside the container for storing the odor sensor is ensured, and the odor sensor element is provided by the light from the outside of the container. It is equipped with a light-shielding structure that suppresses reaching. Therefore, the odor sensor of the present invention can detect an odor without being affected by the brightness.
【００４９】また、この出願に係る第２の発明の匂いセ
ンサによれば、匂いセンサ素子と、ダミー匂いセンサ素
子とを具えている。このダミー匂いセンサ素子は、匂い
センサ素子と同一の電気特性を有し、光透過性を有する
大気遮断構造で覆われている。このため、ダミー匂いセ
ンサ素子は、明るさの変化による電気特性の変化のみを
出力し、匂いによる電気特性の変化は出力しない。一
方、匂いセンサ素子は、明るさおよび匂いによる電気特
性の変化を出力する。従って、匂いセンサ素子とダミー
匂いセンサ素子との出力の差分を差分回路でとることに
よって、明るさの変化による電気特性の変化分を取り除
き、匂いによる電気特性の変化のみを検出することがで
きる。その結果、この発明の匂いセンサは明るさの影響
を受けることなく匂いを検出することができる。Further, according to the odor sensor of the second invention of this application, the odor sensor element and the dummy odor sensor element are provided. This dummy odor sensor element has the same electrical characteristics as the odor sensor element and is covered with an air-shielding structure having a light transmitting property. Therefore, the dummy odor sensor element outputs only the change in the electrical characteristics due to the change in brightness, and does not output the change in the electrical characteristics due to the odor. On the other hand, the odor sensor element outputs changes in electrical characteristics due to brightness and odor. Therefore, by taking the difference between the outputs of the odor sensor element and the dummy odor sensor element by the difference circuit, it is possible to remove the change in the electrical characteristic due to the change in brightness and detect only the change in the electrical characteristic due to the odor. As a result, the odor sensor of the present invention can detect odors without being affected by brightness.
【００５０】従って、第１および第２の発明の匂いセン
サによれば、周囲の明るさが変化する場所においても、
容易かつ正確に匂いの検出をすることが可能となる。Therefore, according to the odor sensors of the first and second inventions, even in a place where the ambient brightness changes,
It is possible to detect odor easily and accurately.
【図１】（Ａ）および（Ｂ）は、第１実施例の匂いセン
サの構造の説明に供する図である。1A and 1B are diagrams for explaining a structure of an odor sensor according to a first embodiment.
【図２】第１実施例で用いる匂いセンサ素子の構造の説
明に供する平面図および断面図である。2A and 2B are a plan view and a cross-sectional view for explaining the structure of the odor sensor element used in the first embodiment.
【図３】第１実施例の匂いセンサの応答特性の評価に用
いた測定系の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a measurement system used for evaluation of response characteristics of the odor sensor of the first embodiment.
【図４】第１実施例の匂いセンサの電気特性（応答特
性）を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing electrical characteristics (response characteristics) of the odor sensor of the first embodiment.
【図５】第２実施例の匂いセンサの構造断面図である。FIG. 5 is a structural sectional view of an odor sensor of a second embodiment.
【図６】第３実施例の匂いセンサの構成の説明に供する
図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the configuration of the odor sensor of the third embodiment.
【図７】（Ａ）および（Ｂ）は第３実施例の匂いセンサ
の電気特性（応答特性）を示し、（Ａ）は差分をとった
出力、（Ｂ）は差分をとらない出力を示す。7A and 7B show electric characteristics (response characteristics) of the odor sensor of the third embodiment, (A) showing a difference output, and (B) showing a difference-free output. .
１０：匂いセンサ素子 １２：容器 １２ａ：上板 １２ｂ：側板 １４：遮光板 １４ａ：上から１枚目の遮光板 １４ｂ：上から２枚目の遮光板 １４ｃ：上から３枚目の遮光板 １６：隙間 １８：開口部 １８ａ：上から１枚目の遮光板の開口部 １８ｂ：上から２枚目の遮光板の開口部 １８ｃ：上から３枚目の遮光板の開口部 ２０：基板 ２２：櫛形電極 ２２ａ：第１電極部 ２２ｂ：第２電極部 ２４：有機感応膜（感応膜） ２６：櫛形電極基板 ３０：チャンバ ３０ａ：窓 ３０ｂ：攪拌用ファン ３０ｃ：換気用ファン ３２：リード線 ３４ａ、３４ｂ：信号線 ３６：検出回路 ３８：ろ紙 ４０：マイクロシリンジ ４２：匂い物質 ４４：遮光フィルタ ５０：ダミー匂いセンサ素子（ダミー素子） ５２：素子固定部 ５４：箱形構造体（大気遮断構造体） ５６：差分回路 10: Odor sensor element 12: Container 12a: Upper plate 12b: Side plate 14: Light-shielding plate 14a: First light-shielding plate from above 14b: Second light-shielding plate from above 14c: Third light-shielding plate from above 16 : Gap 18: Opening 18a: First light-blocking plate opening from the top 18b: Second light-blocking plate opening from the top 18c: Third light-blocking plate opening from the top 20: Substrate 22: Comb-shaped electrode 22a: first electrode part 22b: second electrode part 24: organic sensitive film (sensitive film) 26: comb-shaped electrode substrate 30: chamber 30a: window 30b: stirring fan 30c: ventilation fan 32: lead wire 34a, 34b: signal line 36: detection circuit 38: filter paper 40: microsyringe 42: odor substance 44: light-shielding filter 50: dummy odor sensor element (dummy element) 52: element fixing portion 54: box-shaped structure (air cutoff) Zotai) 56: differential circuit
Claims (6)
半導体材料からなる有機感応膜および該有機感応膜の電
気特性を測定するための電極を具えた匂いセンサ素子
と、該匂いセンサ素子を格納する容器とを有する匂いセ
ンサであって、 該容器は、当該容器の内外の通気性を確保しており、か
つ、当該容器の外部からの光が前記匂いセンサ素子に到
達することを抑制する遮光構造を具えてなることを特徴
とする匂いセンサ。1. An odor sensor element comprising an organic sensitive film made of an organic semiconductor material whose electrical characteristics change in response to an odor, and an electrode for measuring the electrical characteristics of the organic sensitive film; and the odor sensor element. An odor sensor having a container for storing, the container ensuring air permeability inside and outside the container, and suppressing light from the outside of the container reaching the odor sensor element. An odor sensor characterized by comprising a light-shielding structure.
光板同士の間の隙間と、該遮光板の両面の前記隙間同士
の通気性を図るための開口部とを設けてなり、該開口部
が少なくとも１枚の前記遮光板と重なってなることを特
徴とする匂いセンサ。2. The odor sensor according to claim 1, wherein a plurality of light shielding plates are stacked as the light shielding structure, and the gap between the light shielding plates and the ventilation between the gaps on both sides of the light shielding plate are provided. An odor sensor, characterized in that it has an opening for improving the property, and the opening overlaps with at least one of the light shielding plates.
えてなることを特徴とする匂いセンサ。3. The odor sensor according to claim 1, wherein the light shielding structure comprises a light shielding filter having air permeability.
半導体材料からなる有機感応膜と該有機感応膜の電気特
性を出力するための電極とを有する匂いセンサ素子を具
え、 前記匂いセンサ素子と同一の電気特性を有し、光透過性
を有する大気遮断構造で覆われたダミー匂いセンサ素子
を具え、 前記匂いセンサ素子の出力と該ダミー匂いセンサ素子の
出力との差分を取るための差分回路を具えてなることを
特徴とする匂いセンサ。4. An odor sensor element comprising an organic sensitive film made of an organic semiconductor material whose electrical characteristics change in response to an odor, and an electrode for outputting the electrical characteristics of the organic sensitive film. A dummy odor sensor element having the same electrical characteristics as the above and covered with an air-shielding structure having light transparency, and a difference for obtaining a difference between the output of the odor sensor element and the output of the dummy odor sensor element An odor sensor characterized by comprising a circuit.
おいて、 有機感応膜としてフタロシアニン類を用いることを特徴
とする匂いセンサ。5. The odor sensor according to claim 1, wherein phthalocyanines are used as the organic sensitive film.
無臭のガスの検出に用いてなることを特徴とするガスセ
ンサ。6. A gas sensor using the odor sensor according to claim 1 or 4 for detecting odorless gas.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1674794A JPH07225206A (en) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | Odor sensor and gas sensor using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1674794A JPH07225206A (en) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | Odor sensor and gas sensor using the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07225206A true JPH07225206A (en) | 1995-08-22 |
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ID=11924871
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|---|---|---|---|
| JP1674794A Withdrawn JPH07225206A (en) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | Odor sensor and gas sensor using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH07225206A (en) |
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