JPH07225150A - Laser beam detector - Google Patents
Laser beam detectorInfo
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- JPH07225150A JPH07225150A JP1756494A JP1756494A JPH07225150A JP H07225150 A JPH07225150 A JP H07225150A JP 1756494 A JP1756494 A JP 1756494A JP 1756494 A JP1756494 A JP 1756494A JP H07225150 A JPH07225150 A JP H07225150A
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- laser light
- integrating sphere
- outside air
- laser
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光のエネルギを
検出するレーザ光検出装置に関するもので、更に詳しく
は、レーザ光のエネルギを長期間安定して検出すること
が可能なレーザ光検出装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser beam detector for detecting laser beam energy, and more specifically, a laser beam detector capable of stably detecting laser beam energy for a long period of time. It is about.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図１１は、従来のレーザ光検出装置を示
す構成図である。図１１において、１はレーザ光、２は
レーザ光１の一部を透過し、その他を反射するビームス
プリッタ、３はビームスプリッタ２を透過した透過レー
ザ光、４はビームスプリッタ２で反射された反射レーザ
光、５は透過した透過レーザ光３を積分減衰させる積分
球、６は積分球５で積分減衰されたレーザ光のレーザエ
ネルギを検出する光センサ、７は光センサ６からの電気
信号を増幅・表示させる表示器、８は積分球５を冷却す
る冷却水、９は表示器７の出力電圧である。2. Description of the Related Art FIG. 11 is a block diagram showing a conventional laser light detector. In FIG. 11, 1 is a laser beam, 2 is a beam splitter that transmits a part of the laser beam 1 and reflects the other, 3 is a transmitted laser beam that is transmitted through the beam splitter 2, and 4 is a reflection reflected by the beam splitter 2. Laser light, 5 is an integrating sphere that integrates and attenuates the transmitted laser light 3, 6 is an optical sensor that detects the laser energy of the laser light that is integrated and attenuated by the integrating sphere 5, and 7 is an electric signal from the optical sensor 6. A display for displaying, 8 is cooling water for cooling the integrating sphere 5, and 9 is an output voltage of the display 7.
【０００３】次に、その動作について説明する。レーザ
発振器で発生されたレーザ光１は、ビームスプリッタ２
に入射される。ビームスプリッタ２では入射されたレー
ザ光１の一部が透過レーザ光３として積分球５に入射さ
れる。積分球５内面では、透過レーザ光３が多重の散乱
反射され、積分減衰され、その一部のレーザ光が光セン
サ６に入射される。この入射されたレーザ光が光センサ
６で電気的な信号に変換される。この電気信号は、表示
器７で表示可能な値に増幅し表示される。ここで、例え
ば、レーザ光１のレーザエネルギが１ｋＷ、ビームスプ
リッタ２の透過率が１％、反射率が９９％、積分球５の
減衰率が１／１０００、光センサ６の感度が１ｍＶ／ｍ
Ｗ、表示器７の増幅率が１００倍であれば、透過レーザ
光３は１０Ｗ、光センサ６に入射されるレーザエネルギ
は１０ｍＷ、光センサ６の出力電圧が１０ｍＶ、表示器
７の出力電圧９は１Ｖとなる。また、反射レーザ光４の
レーザエネルギは９９０Ｗとなる。即ち、表示器７の出
力電圧９が１Ｖであれば、レーザ光１のレーザエネルギ
は１ｋＷで、反射レーザ光４のレーザエネルギは９９０
Ｗであると判る。なお、積分球５で吸収されるレーザエ
ネルギによる発熱は冷却水８により冷却され、積分球５
の発熱が防止されている。また、表示器７の表示値によ
り反射レーザ光４のレーザエネルギ値を知ることができ
ると共に、その出力電圧９に基づいてレーザ光１を発生
させる図示しないレーザ発振器等を制御することができ
る。Next, the operation will be described. A laser beam 1 generated by a laser oscillator is a beam splitter 2
Is incident on. In the beam splitter 2, a part of the incident laser light 1 is incident on the integrating sphere 5 as the transmitted laser light 3. On the inner surface of the integrating sphere 5, the transmitted laser light 3 is multiple-scattered and reflected, integratedly attenuated, and a part of the laser light is incident on the optical sensor 6. The incident laser light is converted into an electric signal by the optical sensor 6. This electric signal is amplified to a value that can be displayed on the display 7 and displayed. Here, for example, the laser energy of the laser beam 1 is 1 kW, the transmittance of the beam splitter 2 is 1%, the reflectance is 99%, the attenuation rate of the integrating sphere 5 is 1/1000, and the sensitivity of the optical sensor 6 is 1 mV / m.
W, if the amplification factor of the display 7 is 100 times, the transmitted laser light 3 is 10 W, the laser energy incident on the optical sensor 6 is 10 mW, the output voltage of the optical sensor 6 is 10 mV, and the output voltage 9 of the display 7 is 9 Is 1V. The laser energy of the reflected laser light 4 is 990W. That is, if the output voltage 9 of the display 7 is 1 V, the laser energy of the laser beam 1 is 1 kW and the laser energy of the reflected laser beam 4 is 990.
It turns out to be W. The heat generated by the laser energy absorbed by the integrating sphere 5 is cooled by the cooling water 8 and
Fever is prevented. Further, it is possible to know the laser energy value of the reflected laser light 4 from the display value of the display 7 and to control a laser oscillator or the like (not shown) that generates the laser light 1 based on the output voltage 9 thereof.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のレー
ザ光検出装置は、上述のように動作されることで、積分
球５内の大気が透過レーザ光３の内面散乱反射で温度上
昇すると共に体積膨張する。一方、透過レーザ光３が停
止されたときには、積分球５内の膨張した大気の体積が
収縮する。このことにより、積分球５内に対する大気の
流入・流出が生じ、積分球５内面に大気の汚れ等が付着
してその内面での反射率を低下させ、積分球５の内面光
強度を低下させ出力表示を変化させるという不具合があ
った。積分球５の内面光強度Ｈは、一般に次式で表わせ
る。 Ｈ＝（Ｐo ／Ａs ）・｛ρ／（１−ρ）｝ 但し、Ｐo ：入射パワー、Ａs ：内面表面積、ρ：反射
率とする。 したがって、例えば、反射率ρが９８％から９７％に１
％低下したときには、内面光強度Ｈは３４％低下するこ
ととなる。つまり、積分球内面の反射率ρが１％程度低
下するだけで検出されるレーザエネルギが３４％も低下
するために、出力表示が積分球内面の反射率に大きく依
存されるのである。By the way, the conventional laser light detecting device is operated as described above, whereby the atmosphere in the integrating sphere 5 rises in temperature due to the inner surface scattering reflection of the transmitted laser light 3 and the volume thereof increases. Expands. On the other hand, when the transmitted laser beam 3 is stopped, the volume of the expanded atmosphere inside the integrating sphere 5 contracts. As a result, inflow and outflow of the atmosphere into the integrating sphere 5 occurs, and dirt on the atmosphere adheres to the inner surface of the integrating sphere 5 to reduce the reflectance on the inner surface of the integrating sphere 5 and reduce the light intensity on the inner surface of the integrating sphere 5. There was a problem that the output display was changed. The inner surface light intensity H of the integrating sphere 5 can be generally expressed by the following equation. H = (Po / As) · {ρ / (1-ρ)} where Po is the incident power, As is the inner surface area, and ρ is the reflectance. Therefore, for example, the reflectance ρ from 98% to 97% is 1
%, The inner surface light intensity H is reduced by 34%. That is, since the laser energy detected is reduced by 34% when the reflectance ρ on the inner surface of the integrating sphere is reduced by about 1%, the output display is largely dependent on the reflectance on the inner surface of the integrating sphere.
【０００５】レーザ光検出装置に関連する先行技術文献
としては、特開平１−２５９２２３号公報にて開示され
たものが知られている。このものでは、積分球の入力側
を外気から閉塞しているが、光センサと積分球との間が
閉塞されていないため、環境の悪い場所では長期間安定
してレーザ光のレーザエネルギを検出することが期待で
きないという不具合があった。また、特開昭６１−２５
６２２７号公報にて開示されたものが知られている。こ
のものにおいても、光センサ側をセラミックス等で閉塞
しているが、積分球と光センサ取付部との間の閉塞が未
対策、即ち、積分球内の温度変化に対する膨張・収縮対
策ができていないため、環境の悪い場所では長期間安定
してレーザ光のレーザエネルギを検出することが期待で
きないという不具合があった。As a prior art document relating to a laser light detecting device, one disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 1-259223 is known. With this product, the input side of the integrating sphere is blocked from the outside air, but since the space between the optical sensor and the integrating sphere is not blocked, the laser energy of the laser beam can be detected stably for a long time in a bad environment. There was a problem that I could not expect to do it. Also, JP-A-61-25
The one disclosed in Japanese Patent No. 6227 is known. In this product as well, the optical sensor side is closed with ceramics or the like, but the blocking between the integrating sphere and the optical sensor mounting part has not been taken, that is, expansion and contraction measures against temperature changes in the integrating sphere have been taken. Therefore, it is not possible to expect stable detection of the laser energy of the laser light for a long period of time in a poor environment.
【０００６】そこで、この発明は、かかる不具合を解決
するためになされたもので、環境の悪い場所に設置され
ても、長期間安定してレーザ光のレーザエネルギを検出
することが可能なレーザ光検出装置の提供を課題として
いる。Therefore, the present invention has been made in order to solve such a problem, and it is possible to stably detect the laser energy of laser light for a long period of time even if the laser light is installed in a place where the environment is bad. The challenge is to provide a detection device.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項１にかかるレーザ
光検出装置は、レーザ光の一部を透過し、その他を反射
するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタを透過
したレーザ光を積分減衰する積分球と、前記積分球で積
分減衰されたレーザ光のエネルギを検出する光センサ
と、前記ビームスプリッタと前記積分球との間及び前記
積分球と前記光センサとの間を外気から閉塞する閉塞部
材とを具備するものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a laser light detecting device, a beam splitter which transmits a part of laser light and reflects the other, and an integral which integrates and attenuates the laser light which has passed through the beam splitter. A sphere, an optical sensor for detecting energy of laser light integrated and attenuated by the integrating sphere, and a blocking member for blocking between the beam splitter and the integrating sphere and between the integrating sphere and the optical sensor from outside air. And is equipped with.
【０００８】請求項２にかかるレーザ光検出装置は、請
求項１の具備する手段に加えて、前記閉塞部材が、その
接続部分を弾性を有する柔質材とするものである。According to a second aspect of the present invention, in addition to the means provided in the first aspect, the laser beam detecting device is such that the connecting portion of the closing member is a soft material having elasticity.
【０００９】請求項３にかかるレーザ光検出装置は、請
求項１の具備する手段に加えて、前記閉塞部材が、その
一部分に貫通穴を設け、前記穴がフィルタを介して外気
と連通するものである。According to a third aspect of the present invention, in addition to the means provided for in the first aspect, the laser beam detecting device is such that the closing member has a through hole in a part thereof, and the hole communicates with the outside air through a filter. Is.
【００１０】請求項４にかかるレーザ光検出装置は、請
求項１の具備する手段に加えて、前記閉塞部材が、その
一部分を多孔質材とするものである。According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the means provided for in the first aspect, the blocking member has a part thereof made of a porous material.
【００１１】請求項５にかかるレーザ光検出装置は、請
求項１の具備する手段に加えて、前記閉塞部材が、その
接続部分を弾性を有する柔多孔質材とするとするもので
ある。According to a fifth aspect of the present invention, in addition to the means provided in the first aspect, the laser light detecting device is such that the connecting portion of the closing member is made of a flexible porous material having elasticity.
【００１２】請求項６にかかるレーザ光検出装置は、請
求項１の具備する手段に加えて、前記閉塞部材が、その
一部分に貫通穴を設け、前記穴がその穴の中に配設され
た多孔質材を介して外気と連通するものである。According to a sixth aspect of the laser beam detecting apparatus, in addition to the means of the first aspect, the closing member is provided with a through hole in a part thereof, and the hole is arranged in the hole. It communicates with the outside air through the porous material.
【００１３】[0013]
【作用】請求項１においては、ビームスプリッタと積分
球との間及び積分球と光センサとの間が閉塞部材で外気
から閉塞されるため、積分球内での大気が膨張／収縮し
ても外気が積分球内に侵入せず、外気の汚れが積分球内
に侵入し積分球内面が汚れることが防止され積分球の減
衰率を長期間安定に保つことが可能である。According to the first aspect of the present invention, since the space between the beam splitter and the integrating sphere and between the integrating sphere and the optical sensor are closed from the outside air by the closing member, even if the atmosphere in the integrating sphere expands / contracts. The outside air does not enter the integrating sphere, dirt of the outside air enters the integrating sphere, and the inside surface of the integrating sphere is prevented from becoming dirty, so that the attenuation rate of the integrating sphere can be kept stable for a long period of time.
【００１４】請求項２のレーザ光検出装置の閉塞部材
は、請求項１の作用に加えて、その接続部分が弾性を有
する柔質材とされるため、ビームスプリッタと積分球と
の相対位置及び積分球と光センサとの相対位置が多少変
化しても、柔軟構造で吸収できることにより、確実に外
気から閉塞することができる。In addition to the function of the first aspect, the connecting member of the closing member of the laser light detecting device according to the second aspect is made of a flexible material, so that the relative position between the beam splitter and the integrating sphere and Even if the relative position between the integrating sphere and the optical sensor changes to some extent, the flexible structure can absorb the change, so that the outside air can be reliably blocked.
【００１５】請求項３のレーザ光検出装置の閉塞部材
は、請求項１の作用に加えて、その一部分に貫通穴を設
け、即ち、外気から閉塞されたビームスプリッタと積分
球と光センサとの間の一部に故意に穴をあけ、その穴が
フィルタを介して外気と連通されるもので、積分球内へ
外気は侵入するが、侵入する外気はフィルタにてろ過さ
れ、積分球の内面の汚れが防止される。In addition to the function of the first aspect, the obstruction member of the laser light detecting device of the third aspect is provided with a through hole in a part thereof, that is, the beam splitter, the integrating sphere and the optical sensor which are obstructed from the outside air. A hole is intentionally made in a part of the space, and the hole communicates with the outside air through a filter.The outside air enters the integrating sphere, but the entering outside air is filtered by the filter and the inner surface of the integrating sphere. The dirt of the is prevented.
【００１６】請求項４のレーザ光検出装置の閉塞部材
は、請求項１の作用に加えて、その一部分を多孔質材と
されるため、閉塞部材自体がフィルタを兼ねることとな
り、外気と連通されるもので、積分球内へ外気は侵入す
るが、侵入する外気はフィルタにてろ過され、積分球の
内面の汚れが防止される。In addition to the function of the first aspect, the blocking member of the laser light detecting device according to the fourth aspect is partly made of a porous material, so that the blocking member itself also serves as a filter and is communicated with the outside air. Although the outside air enters the integrating sphere, the entering outside air is filtered by the filter to prevent the inner surface of the integrating sphere from being contaminated.
【００１７】請求項５のレーザ光検出装置の閉塞部材
は、請求項１の作用に加えて、その接続部分を弾性を有
する柔多孔質材とされるため、ビームスプリッタと積分
球との相対位置及び積分球と光センサとの相対位置が多
少変化しても柔軟構造で吸収でき、更に、閉塞部材自体
がフィルタを兼ねることとなり、外気と連通されるもの
で、積分球内へ外気は侵入するが、侵入する外気はフィ
ルタにてろ過され、積分球の内面の汚れが防止される。In addition to the function of the first aspect, the connecting member of the blocking member of the laser light detecting device of the fifth aspect is made of a flexible porous material, and therefore the relative position of the beam splitter and the integrating sphere. Also, even if the relative position of the integrating sphere and the optical sensor changes to some extent, it can be absorbed by the flexible structure, and the blocking member itself also serves as a filter, which communicates with the outside air, and the outside air enters the integrating sphere. However, the invading outside air is filtered by the filter, and the inner surface of the integrating sphere is prevented from being contaminated.
【００１８】請求項６のレーザ光検出装置の閉塞部材
は、請求項１の作用に加えて、その一部分に貫通穴を設
け、即ち、外気から閉塞されたビームスプリッタと積分
球と光センサとの間の一部に故意に穴をあけ、その穴の
中に配設された多孔質材を介して外気と連通されるもの
で、積分球内へ外気は侵入するが、侵入する外気はフィ
ルタにてろ過され、積分球の内面の汚れが防止される。In addition to the function of the first aspect, the closing member of the laser light detecting device of the sixth aspect is provided with a through hole in a part thereof, that is, the beam splitter, the integrating sphere and the optical sensor which are blocked from the outside air. A hole is intentionally made in a part of the space, and it communicates with the outside air through a porous material arranged in the hole.The outside air enters the integrating sphere, but the entering outside air enters the filter. And is filtered to prevent the inner surface of the integrating sphere from being soiled.
【００１９】[0019]
【実施例】以下、本発明にかかるレーザ光検出装置の具
体的な実施例に基づいて説明する。 〈第一実施例〉図１は本発明の第一実施例にかかるレー
ザ光検出装置を示す構成図である。なお、前述の従来装
置と同様の構成または相当部分からなるものについては
同一符号及び同一記号を付して示す。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A laser light detecting device according to the present invention will be described below based on specific embodiments. <First Embodiment> FIG. 1 is a block diagram showing a laser light detector according to a first embodiment of the present invention. It should be noted that the same reference numerals and symbols are given to those having the same configuration or corresponding portions as those of the above-described conventional apparatus.
【００２０】図１において、１はレーザ光、２はレーザ
光１の一部を透過し、その他を反射するビームスプリッ
タ、３はビームスプリッタ２を透過した透過レーザ光、
４はビームスプリッタ２で反射された反射レーザ光、１
０はビームスプリッタ２が所定の取付角度となるように
受けるブロック、１１はビームスプリッタ２を挟んでブ
ロック１０に押付け固定する押え板、１２ａ，１２ｂ，
１２ｃはＯリングである。１５は透過した透過レーザ光
を積分減衰させる積分球、１６は取付面がフランジ形状
のフランジ部１６ａからなる積分球１５で積分減衰され
た透過レーザ光のレーザエネルギを検出する光センサで
あり、積分球１５は透過レーザ光３の入射側がフランジ
形状のフランジ部１５ａ及び光センサ１６の取付面側が
フランジ形状のフランジ部１５ｂとされている。そし
て、ビームスプリッタ２とブロック１０との間がＯリン
グ１２ａを介して閉塞されている。また、ブロック１０
と積分球１５のフランジ部１５ａとの間がＯリング１２
ｂを介して閉塞されている。更に、積分球１５のフラン
ジ部１５ｂと光センサ１６のフランジ部１６ａとの間が
Ｏリング１２ｃを介して閉塞されている。このため、ビ
ームスプリッタ２の裏面側から積分球１５内を介して光
センサ１６の検出部位までの透過レーザ光３が通る空間
が閉塞されており、積分球１５内面は完全に外気と遮断
されている。更にまた、７は光センサ１６からの電気信
号を増幅・表示させる表示器、９は表示器７の出力電圧
である。In FIG. 1, 1 is a laser beam, 2 is a beam splitter which transmits a part of the laser beam 1 and reflects the other, 3 is a transmitted laser beam which is transmitted through the beam splitter 2,
Reference numeral 4 denotes a reflected laser beam reflected by the beam splitter 2, 1
Reference numeral 0 is a block that receives the beam splitter 2 at a predetermined mounting angle, 11 is a holding plate that presses and fixes the beam splitter 2 on the block 10, and 12a, 12b,
12c is an O-ring. Reference numeral 15 is an integrating sphere that integrates and attenuates the transmitted laser light, and 16 is an optical sensor that detects the laser energy of the transmitted laser light that is integrated and attenuated by the integrating sphere 15 having a flange-shaped flange portion 16a on the mounting surface. The sphere 15 has a flange-shaped flange portion 15a on the incident side of the transmitted laser light 3 and a flange-shaped flange portion 15b on the mounting surface side of the optical sensor 16. The beam splitter 2 and the block 10 are closed by an O-ring 12a. Also, block 10
And the flange 15a of the integrating sphere 15 between the O-ring 12
It is blocked via b. Further, the flange portion 15b of the integrating sphere 15 and the flange portion 16a of the optical sensor 16 are closed by an O-ring 12c. Therefore, the space through which the transmitted laser light 3 passes from the back surface side of the beam splitter 2 through the inside of the integrating sphere 15 to the detection site of the optical sensor 16 is blocked, and the inner surface of the integrating sphere 15 is completely shielded from the outside air. There is. Furthermore, 7 is an indicator for amplifying and displaying an electric signal from the optical sensor 16, and 9 is an output voltage of the indicator 7.
【００２１】このように、本発明の第一実施例のレーザ
光検出装置は、レーザ光の一部を透過し、その他を反射
するビームスプリッタ２と、ビームスプリッタ２を透過
したレーザ光を積分減衰する積分球１５と、積分球１５
で積分減衰されたレーザ光のエネルギを検出する光セン
サ１６と、ビームスプリッタ２と積分球１５との間及び
積分球１５と光センサ１６との間を外気から閉塞するブ
ロック１０及びＯリング１２ａ，１２ｂ，１２ｃからな
る閉塞部材とを具備するものである。As described above, the laser light detector of the first embodiment of the present invention integrates and attenuates the beam splitter 2 which transmits a part of the laser beam and reflects the other and the laser beam which has passed through the beam splitter 2. Integrating sphere 15 and integrating sphere 15
The optical sensor 16 for detecting the energy of the laser light integrated and attenuated by the block 10, the block 10 and the O-ring 12a for blocking the space between the beam splitter 2 and the integrating sphere 15 and between the integrating sphere 15 and the optical sensor 16 from the outside air, And a closing member composed of 12b and 12c.
【００２２】したがって、ビームスプリッタ２から積分
球１５を介して光センサ１６までのビームスプリッタ２
を透過したレーザ光が通過・反射される空間の空気がブ
ロック１０及びＯリング１２ａ，１２ｂ，１２ｃからな
る閉塞部材にて外気と遮断される。故に、本実施例のレ
ーザ光検出装置は、環境の悪い場所に設置された状態
で、積分球１５内面の大気が透過レーザ光３の内面散乱
反射により温度上昇し体積が膨張し、また、透過レーザ
光３が停止したときにその膨張した大気が収縮しても、
積分球１５内の気圧が上下するだけで外気の流入が生じ
ることなく、長期間安定してレーザ光のレーザエネルギ
を検出することが可能となる。Therefore, the beam splitter 2 from the beam splitter 2 to the optical sensor 16 via the integrating sphere 15
The air in the space through which the laser light that has passed through is reflected / reflected is blocked from the outside air by the blocking member including the block 10 and the O-rings 12a, 12b, 12c. Therefore, in the laser light detection apparatus of this embodiment, the atmosphere on the inner surface of the integrating sphere 15 rises in temperature due to the inner surface scattering reflection of the transmitted laser light 3 and the volume thereof expands while being installed in a place where the environment is bad. Even if the expanded atmosphere contracts when the laser light 3 is stopped,
It is possible to stably detect the laser energy of the laser light for a long period of time without the inflow of outside air only by the rise and fall of the atmospheric pressure in the integrating sphere 15.
【００２３】図２は、上記実施例のレーザ光検出装置を
レーザ発振器に取りつけた状態を示す構成図である。な
お、図１と同様の構成または相当部分からなるものにつ
いては同一符号及び同一記号を付してその詳細な説明を
省略する。６１はレーザ光の一部を透過し、その他を反
射するミラー、６２はレーザ光の一部を透過し、その他
を反射し、且つ、透過したレーザ光をレーザ加工等に用
いる部分反射鏡であり、部分反射鏡６２とミラー６１と
で光共振器を構成している。６３は励起可能なレーザ媒
質、６４はミラー６１を固定する共振器基板、６５は部
分反射鏡６２を固定する共振器基板、６６はミラー６１
を押え、且つ、積分球１５の入射側フランジ部１５ａを
取着け固定するミラー押え、６７は部分反射鏡６２を押
え固定する部分反射鏡押え、６８はミラー６１と部分反
射鏡６２から成る光共振器で励起されたレーザ媒質６３
から取出されたレーザ光である。このように、図１のレ
ーザ光検出装置からブロック１０を取去り、発振器に積
分球１５等を直接取付けた構造でも、同様の作用・効果
が期待できることは言うまでもない。FIG. 2 is a block diagram showing a state in which the laser light detecting device of the above embodiment is attached to a laser oscillator. It should be noted that the same reference numerals and symbols are given to those having the same configurations or corresponding portions as those in FIG. 1, and detailed description thereof will be omitted. Reference numeral 61 is a mirror that transmits a part of the laser beam and reflects the other, and 62 is a partial reflecting mirror that transmits a part of the laser beam and reflects the other and uses the transmitted laser beam for laser processing or the like. The partial reflection mirror 62 and the mirror 61 form an optical resonator. Reference numeral 63 is an excitable laser medium, 64 is a resonator substrate for fixing the mirror 61, 65 is a resonator substrate for fixing the partial reflecting mirror 62, and 66 is a mirror 61.
And a mirror retainer for fixing and fixing the entrance side flange portion 15a of the integrating sphere 15, 67 is a partial reflector retainer for retaining and fixing the partial reflecting mirror 62, and 68 is an optical resonance consisting of the mirror 61 and the partial reflecting mirror 62. Medium 63 pumped by the device
It is the laser light extracted from. As described above, it is needless to say that the same action and effect can be expected even with the structure in which the block 10 is removed from the laser light detecting device of FIG. 1 and the integrating sphere 15 or the like is directly attached to the oscillator.
【００２４】〈第二実施例〉図３は本発明の第二実施例
にかかるレーザ光検出装置を示す構成図である。なお、
前述の従来装置及び上述の第一実施例と同様の構成また
は相当部分からなるものについては同一符号及び同一記
号を付してその詳細な説明を省略する。２１はブロック
１０の出口径を積分球１５Ａの入口径と同一にするため
のフランジ部材、２２は柔質材で作られ、積分球１５Ａ
の入口径とフランジ部材２１の口径の外周面に密着して
弾性的に閉塞するゴム輪、２３はゴム輪２２と同様に柔
質材で作られ、積分球１５Ａの光センサ取付口径と光セ
ンサ６の外周面に密着して弾性的に閉塞するゴム輪であ
る。<Second Embodiment> FIG. 3 is a block diagram showing a laser light detector according to a second embodiment of the present invention. In addition,
The same reference numerals and symbols are given to those having the same configurations or corresponding portions as those of the above-mentioned conventional apparatus and the above-described first embodiment, and detailed description thereof will be omitted. Reference numeral 21 is a flange member for making the outlet diameter of the block 10 the same as the inlet diameter of the integrating sphere 15A, and 22 is made of a soft material.
The rubber ring 23, which is in close contact with the outer peripheral surface of the inlet diameter of the flange member 21 and the outer diameter of the flange member 21 and is elastically closed, is made of a soft material like the rubber ring 22. The optical sensor mounting diameter of the integrating sphere 15A and the optical sensor 6 is a rubber ring that closely adheres to the outer peripheral surface of 6 and elastically closes.
【００２５】ビームスプリッタ２と積分球１５Ａ及び積
分球１５Ａと光センサ６との接続は、それらの外周面に
密着して弾性的に閉塞するゴム輪２２，２３で達成され
ており、それらのゴム輪２２，２３は柔質材とされてい
る。このため、積分球１５Ａの入口径とフランジ部材２
１の口径との相対位置及び積分球１５Ａの光センサ取付
口径と光センサ６の外周面との相対位置に若干ずれが生
じても容易に積分球１５Ａの内面を外気に対し閉塞する
ことができる。The connection between the beam splitter 2 and the integrating sphere 15A and between the integrating sphere 15A and the optical sensor 6 is accomplished by rubber rings 22 and 23 which are in close contact with their outer peripheral surfaces and elastically close. The rings 22 and 23 are made of soft material. Therefore, the inlet diameter of the integrating sphere 15A and the flange member 2
The inner surface of the integrating sphere 15A can be easily closed to the outside air even if the relative position with respect to the diameter of 1 and the relative position between the optical sensor mounting diameter of the integrating sphere 15A and the outer peripheral surface of the optical sensor 6 are slightly displaced. .
【００２６】このように、本発明の第二実施例のレーザ
光検出装置は、閉塞部材の構成において、更に、その接
続部分を弾性を有する柔質材であるゴム輪２２，２３に
て構成したものである。したがって、ビームスプリッタ
２から積分球１５Ａを介して光センサ６までのビームス
プリッタ２を透過した透過レーザ光３が通過・反射され
る空間の空気がブロック１０、Ｏリング１２ａ，１２ｂ
及びゴム輪２２，２３からなる閉塞部材にて外気と遮断
される。故に、本実施例のレーザ光検出装置は、環境の
悪い場所に設置された状態で、積分球１５Ａ内面の大気
が透過レーザ光３の内面散乱反射により温度上昇し体積
が膨張し、また、透過レーザ光３が停止したときにその
膨張した大気が収縮しても、積分球１５Ａ内の気圧が上
下するだけで外気の流入が生じることなく、長期間安定
してレーザ光のレーザエネルギを検出することが可能と
なる。As described above, in the laser light detecting apparatus according to the second embodiment of the present invention, in the constitution of the closing member, the connecting portion is further constituted by the rubber rings 22 and 23 which are elastic soft materials. It is a thing. Therefore, the air in the space where the transmitted laser light 3 that has passed through the beam splitter 2 from the beam splitter 2 to the optical sensor 6 via the integrating sphere 15A passes through and is reflected is the block 10 and the O-rings 12a, 12b.
And, it is blocked from the outside air by the closing member composed of the rubber rings 22 and 23. Therefore, in the laser light detection device of the present embodiment, the atmosphere inside the integrating sphere 15A rises in temperature due to the inner surface scattering reflection of the transmitted laser light 3 and the volume thereof expands while being installed in a place where the environment is bad, and Even if the expanded atmosphere contracts when the laser light 3 is stopped, the atmospheric pressure in the integrating sphere 15A only rises and falls, and the inflow of outside air does not occur, and the laser energy of the laser light is detected stably for a long period of time. It becomes possible.
【００２７】〈第三実施例〉図４は本発明の第三実施例
にかかるレーザ光検出装置を示す構成図である。なお、
上述の第一実施例と同様の構成または相当部分からなる
ものについては同一符号及び同一記号を付してその詳細
な説明を省略する。１０Ａは穴のあいたブロック、３１
はその穴３０Ａに結合された継手、３２は継手３１と結
合されたチューブ、３３はチューブ３２と結合されたダ
ストフィルタであり、ダストフィルタ３３は外気をろ過
してブロック１０Ａの穴３０Ａ内、即ち、積分球１５内
面側の閉塞された空間内に導入する。<Third Embodiment> FIG. 4 is a block diagram showing a laser light detector according to a third embodiment of the present invention. In addition,
The same reference numerals and symbols are given to those having the same configurations or corresponding portions as those of the first embodiment described above, and detailed description thereof will be omitted. 10A is a block with holes, 31
Is a joint connected to the hole 30A, 32 is a tube connected to the joint 31, 33 is a dust filter connected to the tube 32, and the dust filter 33 filters the outside air to dispose in the hole 30A of the block 10A, that is, , Is introduced into the closed space on the inner surface side of the integrating sphere 15.
【００２８】ビームスプリッタ２と積分球１５と光セン
サ１６とＯリング１２ａ，１２ｂ，１２ｃ及びブロック
１０Ａからなる積分球１５内面側の閉塞された空間と連
通するようにブロック１０Ａに穴３０Ａをあけ、チュー
ブ３２及びチューブ３２とブロック１０Ａの穴３０Ａと
を結合する継手３１を介して外気をろ過するダストフィ
ルタ３３が設けられている。A hole 30A is formed in the block 10A so as to communicate with the closed space on the inner surface side of the integrating sphere 15, which is composed of the beam splitter 2, the integrating sphere 15, the optical sensor 16, the O-rings 12a, 12b, 12c and the block 10A. A dust filter 33 that filters outside air through the tube 32 and the joint 31 that connects the tube 32 and the hole 30A of the block 10A is provided.
【００２９】このように、本発明の第三実施例のレーザ
光検出装置は、閉塞部材の構成において、更に、その一
部分であるブロック１０Ａに貫通穴３０Ａを設け、その
穴３０Ａがダストフィルタ３３からなるフィルタを介し
て外気と連通するものである。したがって、ビームスプ
リッタ２から積分球１５を介して光センサ１６までのビ
ームスプリッタ２を透過した透過レーザ光３が通過・反
射される空間に外気がダストフィルタ３３にてろ過され
て出入りすることとなる。故に、本実施例のレーザ光検
出装置は、環境の悪い場所に設置された状態で、積分球
１５内面の大気が透過レーザ光３の内面散乱反射により
温度上昇し体積が膨張したときには、積分球１５内面の
大気は、ダストフィルタ３３を介して外気へと放出さ
れ、また、透過レーザ光３が停止したときには、その膨
張した大気が収縮してダストフィルタ３３を介してろ過
された外気が流入する。このときに流入する外気はダス
トフィルタ３３にてろ過されており、積分球１５内面を
汚すことなく積分球１５内の気圧を上下することもな
い。これにより、本実施例のレーザ光検出装置は、長期
間安定してレーザ光のレーザエネルギを検出することが
可能となる。As described above, in the laser light detecting device of the third embodiment of the present invention, in the construction of the closing member, the block 10A which is a part thereof is further provided with the through hole 30A, and the hole 30A extends from the dust filter 33. It communicates with the outside air through the filter. Therefore, the outside air is filtered by the dust filter 33 and enters and leaves the space where the transmitted laser light 3 that has passed through the beam splitter 2 from the beam splitter 2 to the optical sensor 16 through the integrating sphere 15 passes and is reflected. . Therefore, the laser light detecting apparatus of the present embodiment is installed in an environment where the environment is bad, and when the temperature of the atmosphere inside the integrating sphere 15 rises due to the internal scattering reflection of the transmitted laser light 3 and the volume expands, the integrating sphere 15 The atmosphere on the inner surface of 15 is discharged to the outside air through the dust filter 33, and when the transmitted laser light 3 is stopped, the expanded atmosphere contracts and the outside air filtered through the dust filter 33 flows in. . The outside air that flows in at this time is filtered by the dust filter 33, and the atmospheric pressure inside the integrating sphere 15 does not rise or fall without polluting the inside surface of the integrating sphere 15. As a result, the laser light detection device of this embodiment can stably detect the laser energy of the laser light for a long period of time.
【００３０】〈第四実施例〉図５は本発明の第四実施例
にかかるレーザ光検出装置を示す構成図である。なお、
上述の第一実施例及び第三実施例と同様の構成または相
当部分からなるものについては同一符号及び同一記号を
付してその詳細な説明を省略する。４３はダスト除去と
共にレーザ光を吸収する有害な気体を取除くダストフィ
ルタである。ここで、レーザ光を吸収する気体として
は、例えば、有機溶剤ガス，ハロゲン系ガス，オイルミ
スト，水蒸気等がある。<Fourth Embodiment> FIG. 5 is a block diagram showing a laser light detecting apparatus according to the fourth embodiment of the present invention. In addition,
The same reference numerals and symbols are given to those having the same configurations or corresponding portions as those of the above-described first and third embodiments, and detailed description thereof will be omitted. A dust filter 43 removes dust and removes harmful gas that absorbs laser light. Here, examples of the gas that absorbs the laser light include organic solvent gas, halogen-based gas, oil mist, and water vapor.
【００３１】このように、本発明の第四実施例のレーザ
光検出装置は、閉塞部材の構成において、更に、その一
部分であるブロック１０Ａに貫通穴３０Ａを設け、その
穴３０Ａがダストフィルタ４３からなるフィルタを介し
て外気と連通するものである。したがって、ビームスプ
リッタ２から積分球１５を介して光センサ１６までのビ
ームスプリッタ２を透過した透過レーザ光３が通過・反
射される空間に外気中のレーザ光を吸収する有害な気体
がダストフィルタ４３にて取除かれて出入りすることと
なる。As described above, in the laser beam detector of the fourth embodiment of the present invention, in the construction of the closing member, the block 10A, which is a part thereof, is further provided with the through hole 30A, and the hole 30A extends from the dust filter 43. It communicates with the outside air through the filter. Therefore, the harmful gas that absorbs the laser light in the outside air is a dust filter 43 in the space where the transmitted laser light 3 that has passed through the beam splitter 2 from the beam splitter 2 to the optical sensor 16 through the integrating sphere 15 passes and is reflected. It will be removed and moved in and out.
【００３２】故に、本実施例のレーザ光検出装置は、環
境の悪い場所に設置された状態で、レーザ光を吸収する
気体が雰囲気中に有るときにも、積分球１５内面の大気
が透過レーザ光３の内面散乱反射により温度上昇し体積
が膨張したときには、積分球１５内面の大気は、ダスト
フィルタ４３を介して外気へと放出され、また、透過レ
ーザ光３が停止したときには、その膨張した大気が収縮
してダストフィルタ４３を介してろ過された外気が流入
する。このときに流入する外気はダストフィルタ４３に
てろ過されており、積分球１５内面を汚すことなく、レ
ーザ光を吸収することなく、また、積分球１５内の気圧
を上下することもない。これにより、本実施例のレーザ
光検出装置は、長期間安定してレーザ光のレーザエネル
ギを検出することが可能となる。Therefore, in the laser light detecting apparatus of the present embodiment, the atmosphere on the inner surface of the integrating sphere 15 is a transparent laser even when a gas absorbing the laser light is present in the atmosphere when installed in a place where the environment is bad. When the temperature rises due to the inner surface scattering reflection of the light 3 and the volume expands, the atmosphere on the inner surface of the integrating sphere 15 is released to the outside air through the dust filter 43, and when the transmitted laser light 3 is stopped, it expands. The atmosphere contracts and the outside air filtered through the dust filter 43 flows in. The outside air flowing at this time is filtered by the dust filter 43, does not stain the inner surface of the integrating sphere 15, does not absorb the laser light, and does not raise or lower the atmospheric pressure in the integrating sphere 15. As a result, the laser light detection device of this embodiment can stably detect the laser energy of the laser light for a long period of time.
【００３３】〈第五実施例〉図６は本発明の第五実施例
にかかるレーザ光検出装置を示す構成図である。なお、
上述の第一実施例と同様の構成または相当部分からなる
ものについては同一符号及び同一記号を付してその詳細
な説明を省略する。１０Ｂはビームスプリッタ２が所定
の取付角度となるように受けるブロック、４１は多孔材
質材（例えば、焼結金属等）で作られた中間板であり、
中間板４１はブロック１０Ｂと積分球１５の透過レーザ
光３の入射側のフランジ部１５ａとの間に挟設されてい
る。４２は中間板４１と同様の多孔質材で作られた中間
板であり、積分球１５の光センサ１６の取付面側のフラ
ンジ部１５ｂと光センサ１６のフランジ部１６ｂとの間
に挟設されている。<Fifth Embodiment> FIG. 6 is a block diagram showing a laser light detecting apparatus according to the fifth embodiment of the present invention. In addition,
The same reference numerals and symbols are given to those having the same configurations or corresponding portions as those of the first embodiment described above, and detailed description thereof will be omitted. 10B is a block that receives the beam splitter 2 at a predetermined mounting angle, 41 is an intermediate plate made of a porous material (for example, sintered metal, etc.),
The intermediate plate 41 is sandwiched between the block 10B and the flange portion 15a of the integrating sphere 15 on the incident side of the transmitted laser light 3. Reference numeral 42 is an intermediate plate made of a porous material similar to the intermediate plate 41, and is sandwiched between the flange portion 15b of the integrating sphere 15 on the mounting surface side of the optical sensor 16 and the flange portion 16b of the optical sensor 16. ing.
【００３４】このように、本発明の第五実施例のレーザ
光検出装置は、閉塞部材の構成において、更に、その一
部分を多孔質材である中間板４１，４２にて構成したも
のである。したがって、ビームスプリッタ２から積分球
１５を介して光センサ１６までのビームスプリッタ２を
透過した透過レーザ光３が通過・反射される空間に外気
が中間板４１，４２にてろ過されて出入りすることとな
る。As described above, in the laser light detecting apparatus of the fifth embodiment of the present invention, in addition to the constitution of the closing member, a part thereof is constituted by the intermediate plates 41 and 42 which are porous materials. Therefore, the outside air is filtered by the intermediate plates 41 and 42 and enters and leaves the space from the beam splitter 2 through the integrating sphere 15 to the optical sensor 16 where the transmitted laser light 3 transmitted through the beam splitter 2 passes and is reflected. Becomes
【００３５】故に、本実施例のレーザ光検出装置は、環
境の悪い場所に設置された状態で、積分球１５内面の大
気が透過レーザ光３の内面散乱反射により温度上昇し体
積が膨張したときには、積分球１５内面の大気は、中間
板４１，４２を介して外気へと放出され、また、透過レ
ーザ光３が停止したときには、その膨張した大気が収縮
して中間板４１，４２を介してろ過された外気が流入す
る。このときに流入する外気は中間板４１，４２にてろ
過されており、積分球１５内面を汚すことなく積分球１
５内の気圧を上下することもない。これにより、本実施
例のレーザ光検出装置は、長期間安定してレーザ光のレ
ーザエネルギを検出することが可能となる。Therefore, when the laser light detecting apparatus of the present embodiment is installed in a place where the environment is bad, when the atmosphere inside the integrating sphere 15 rises in temperature due to the inner surface scattering reflection of the transmitted laser light 3 and the volume expands. The atmosphere on the inner surface of the integrating sphere 15 is emitted to the outside air through the intermediate plates 41 and 42, and when the transmitted laser beam 3 is stopped, the expanded atmosphere contracts and the intermediate plates 41 and 42 are passed through. The filtered outside air flows in. The outside air that flows in at this time is filtered by the intermediate plates 41 and 42, and the inside of the integrating sphere 15 is not polluted.
There is no need to raise or lower the atmospheric pressure within 5. As a result, the laser light detection device of this embodiment can stably detect the laser energy of the laser light for a long period of time.
【００３６】〈第六実施例〉図７は本発明の第六実施例
にかかるレーザ光検出装置を示す構成図である。なお、
上述の第一実施例と同様の構成または相当部分からなる
ものについては同一符号及び同一記号を付してその詳細
な説明を省略する。図１のブロック１０を多孔質ブロッ
ク１０Ｃとし、図４に示すダストフィルタ３３と同様の
働きをさせるようにしたものである。このような構成と
することで、ブロック１０Ｃ自体がフィルタの働きをす
るため、新たにダストフィルタを取付けるスペースが必
要なく、また、部品点数削減が可能となる。一般に、こ
の多孔質ブロック１０Ｃの材質は焼結金属またはセラミ
ックス等が用いられる。<Sixth Embodiment> FIG. 7 is a block diagram showing a laser light detector according to a sixth embodiment of the present invention. In addition,
The same reference numerals and symbols are given to those having the same configurations or corresponding portions as those of the first embodiment described above, and detailed description thereof will be omitted. The block 10 shown in FIG. 1 is a porous block 10C, and the same function as the dust filter 33 shown in FIG. 4 is obtained. With such a configuration, since the block 10C itself functions as a filter, there is no need to newly install a dust filter, and the number of parts can be reduced. Generally, a sintered metal, ceramics, or the like is used as the material of the porous block 10C.
【００３７】このように、本発明の第六実施例のレーザ
光検出装置は、閉塞部材の構成において、更に、その一
部分を多孔質材であるブロック１０Ｃにて構成したもの
である。したがって、ビームスプリッタ２から積分球１
５を介して光センサ１６までのビームスプリッタ２を透
過した透過レーザ光３が通過・反射される空間に外気が
ブロック１０Ｃにてろ過されて出入りすることとなる。As described above, in the laser light detector of the sixth embodiment of the present invention, in addition to the constitution of the closing member, a part thereof is constituted by the block 10C which is a porous material. Therefore, from the beam splitter 2 to the integrating sphere 1
The outside air is filtered by the block 10C and enters and leaves the space through which the transmitted laser light 3 that has passed through the beam splitter 2 up to the optical sensor 16 passes and is reflected.
【００３８】故に、本実施例のレーザ光検出装置は、環
境の悪い場所に設置された状態で、積分球１５内面の大
気が透過レーザ光３の内面散乱反射により温度上昇し体
積が膨張したときには、積分球１５内面の大気は、ブロ
ック１０Ｃを介して外気へと放出され、また、透過レー
ザ光３が停止したときには、その膨張した大気が収縮し
てブロック１０Ｃを介してろ過された外気が流入する。
このときに流入する外気はブロック１０Ｃにてろ過され
ており、積分球１５内面を汚すことなく積分球１５内の
気圧を上下することもない。これにより、本実施例のレ
ーザ光検出装置は、長期間安定してレーザ光のレーザエ
ネルギを検出することが可能となる。Therefore, in the laser light detecting apparatus of this embodiment, when the atmosphere on the inner surface of the integrating sphere 15 rises in temperature due to the inner surface scattering reflection of the transmitted laser light 3 and the volume expands in a state where it is installed in a place where the environment is bad. The atmosphere on the inner surface of the integrating sphere 15 is released to the outside air through the block 10C, and when the transmitted laser beam 3 is stopped, the expanded atmosphere contracts and the outside air filtered through the block 10C flows in. To do.
The outside air flowing in at this time is filtered by the block 10C, and the atmospheric pressure in the integrating sphere 15 is not increased or decreased without polluting the inner surface of the integrating sphere 15. As a result, the laser light detection device of this embodiment can stably detect the laser energy of the laser light for a long period of time.
【００３９】〈第七実施例〉図８は本発明の第七実施例
にかかるレーザ光検出装置を示す構成図である。なお、
上述の第一実施例及び第二実施例と同様の構成または相
当部分からなるものについては同一符号及び同一記号を
付してその詳細な説明を省略する。５１は柔多孔質材
（例えば、発泡ウレタンゴム等）で作られ、積分球１５
Ａの入口径とフランジ部材２１の口径の外周面に密着し
て弾性的に閉塞する輪、５２は輪５１と同様に柔多孔質
材で作られ、積分球１５Ａの光センサ取付口径と光セン
サ６の外周面に密着して弾性的に閉塞する輪である。<Seventh Embodiment> FIG. 8 is a block diagram showing a laser beam detector according to the seventh embodiment of the present invention. In addition,
The same reference numerals and symbols are given to those having the same configurations or corresponding portions as those of the above-described first and second embodiments, and detailed description thereof will be omitted. 51 is made of a flexible porous material (for example, urethane foam rubber) and has an integrating sphere 15
A ring that tightly adheres to the outer peripheral surface of the inlet diameter of A and the diameter of the flange member 21 and elastically closes, 52 is made of a flexible porous material like the ring 51, and has an optical sensor mounting diameter of the integrating sphere 15A and an optical sensor. It is a ring that is in close contact with the outer peripheral surface of 6 and is elastically closed.
【００４０】ビームスプリッタ２と積分球１５Ａ及び積
分球１５Ａと光センサ６との接続は、それらの外周面に
密着して弾性的に閉塞する輪５１，５２で達成されてお
り、それらの輪５１，５２は柔多孔質材とされている。
このため、積分球１５Ａの入口径とフランジ部材２１の
口径との相対位置及び積分球１５Ａの光センサ取付口径
と光センサ６の外周面との相対位置に若干ずれが生じて
も容易に積分球１５Ａの内面を外気に対し閉塞すること
ができる。更に、輪５１，５２は柔多孔質材であるの
で、部材を通過して積分球１５Ａ内部に流入する外気に
対しダストフィルタと同様の働きを有する。The connection between the beam splitter 2 and the integrating sphere 15A and between the integrating sphere 15A and the optical sensor 6 is achieved by the rings 51 and 52 which are in close contact with their outer peripheral surfaces and elastically close. , 52 are soft porous materials.
Therefore, even if the relative position between the inlet diameter of the integrating sphere 15A and the diameter of the flange member 21 and the relative position between the optical sensor mounting diameter of the integrating sphere 15A and the outer peripheral surface of the optical sensor 6 are slightly deviated, the integrating sphere is easily formed. The inner surface of 15A can be closed to the outside air. Further, since the wheels 51 and 52 are made of a soft porous material, they have a function similar to that of a dust filter with respect to the outside air that passes through the members and flows into the inside of the integrating sphere 15A.
【００４１】このように、本発明の第七実施例のレーザ
光検出装置は、閉塞部材の構成において、更に、その接
続部分を弾性を有する柔多孔質材である輪５１，５２に
て構成したものである。As described above, in the laser light detecting device of the seventh embodiment of the present invention, in the constitution of the closing member, the connecting portion is further constituted by the rings 51 and 52 which are elastic and flexible materials. It is a thing.
【００４２】したがって、ビームスプリッタ２から積分
球１５Ａを介して光センサ６までのビームスプリッタ２
を透過した透過レーザ光３が通過・反射される空間に外
気が輪５１，５２にてろ過されて出入りすることとな
る。Therefore, the beam splitter 2 from the beam splitter 2 to the optical sensor 6 via the integrating sphere 15A.
The outside air is filtered by the wheels 51 and 52 and enters and leaves the space where the transmitted laser light 3 that has passed through is transmitted and reflected.
【００４３】故に、本実施例のレーザ光検出装置は、環
境の悪い場所に設置された状態で、積分球１５Ａ内面の
大気が透過レーザ光３の内面散乱反射により温度上昇し
体積が膨張したときには、積分球１５Ａ内面の大気は、
輪５１，５２を介して外気へと放出され、また、透過レ
ーザ光３が停止したときには、その膨張した大気が収縮
して輪５１，５２を介してろ過された外気が流入する。
このときに流入する外気は輪５１，５２にてろ過されて
おり、積分球１５Ａ内面を汚すことなく積分球１５Ａ内
の気圧を上下することもない。これにより、本実施例の
レーザ光検出装置は、長期間安定してレーザ光のレーザ
エネルギを検出することが可能となる。Therefore, in the laser light detecting apparatus of this embodiment, when the atmosphere on the inner surface of the integrating sphere 15A rises in temperature due to the inner surface scattering reflection of the transmitted laser light 3 and the volume expands in a state where it is installed in a place where the environment is bad. , The atmosphere inside the integrating sphere 15A is
When the transmitted laser beam 3 is stopped and is emitted to the outside air through the wheels 51 and 52, the expanded atmosphere contracts and the filtered outside air flows in through the wheels 51 and 52.
The outside air flowing in at this time is filtered by the wheels 51 and 52, and the atmospheric pressure in the integrating sphere 15A does not rise or fall without polluting the inner surface of the integrating sphere 15A. As a result, the laser light detection device of this embodiment can stably detect the laser energy of the laser light for a long period of time.
【００４４】〈第八実施例〉図９は本発明の第八実施例
にかかるレーザ光検出装置を示す構成図である。なお、
上述の第一実施例と同様の構成または相当部分からなる
ものについては同一符号及び同一記号を付してその詳細
な説明を省略する。図９では、ブロック１０Ｄに所定形
状の穴をあけて、その穴に多孔質板８１が組込まれ中央
に穴のあいた押え板８２で固定されている。この多孔質
板８１の材質は、図７のブロック１０Ｃの材質と同様な
焼結金属またはセラミックスが用いられる。ブロック１
０Ｄの多孔質板８１が取付けられる穴の部分が所定の容
器化された形状であることにより、多孔質板８１の材質
を、ガラス繊維、金属繊維等の無定形材質とすることも
できる。<Eighth Embodiment> FIG. 9 is a block diagram showing a laser light detector according to an eighth embodiment of the present invention. In addition,
The same reference numerals and symbols are given to those having the same configurations or corresponding portions as those of the first embodiment described above, and detailed description thereof will be omitted. In FIG. 9, a hole having a predetermined shape is formed in the block 10D, and a porous plate 81 is incorporated in the hole and is fixed by a holding plate 82 having a hole in the center. As the material of the porous plate 81, the same sintered metal or ceramic as the material of the block 10C of FIG. 7 is used. Block 1
Since the hole portion to which the 0D porous plate 81 is attached has a predetermined container shape, the porous plate 81 can be made of an amorphous material such as glass fiber or metal fiber.
【００４５】このように、本発明の第八実施例のレーザ
光検出装置は、閉塞部材の構成において、更に、その一
部分であるブロック１０Ｄに貫通穴を設け、その穴の中
に配設された多孔質板８１からなる多孔質材を介して外
気と連通するものである。As described above, in the laser beam detector of the eighth embodiment of the present invention, in the construction of the closing member, a through hole is further provided in the block 10D which is a part of the closing member, and the blocking member is arranged in the hole. It communicates with the outside air through a porous material composed of the porous plate 81.
【００４６】したがって、ビームスプリッタ２から積分
球１５Ａを介して光センサ１６までのビームスプリッタ
２を透過した透過レーザ光３が通過・反射される空間に
外気が多孔質板８１にてろ過されて出入りすることとな
る。Therefore, the outside air is filtered by the porous plate 81 to enter and leave the space where the transmitted laser light 3 transmitted from the beam splitter 2 through the beam splitter 2 through the integrating sphere 15A passes through the beam splitter 2. Will be done.
【００４７】故に、本実施例のレーザ光検出装置は、環
境の悪い場所に設置された状態で、積分球１５内面の大
気が透過レーザ光３の内面散乱反射により温度上昇し体
積が膨張したときには、積分球１５内面の大気は、多孔
質板８１を介して外気へと放出され、また、透過レーザ
光３が停止したときには、その膨張した大気が収縮して
多孔質板８１を介してろ過された外気が流入する。この
ときに流入する外気は多孔質板８１にてろ過されてお
り、積分球１５内面を汚すことなく積分球１５内の気圧
を上下することもない。これにより、本実施例のレーザ
光検出装置は、長期間安定してレーザ光のレーザエネル
ギを検出することが可能となる。Therefore, in the laser light detecting apparatus of this embodiment, when the atmosphere in the inner surface of the integrating sphere 15 rises in temperature due to the inner surface scattering reflection of the transmitted laser light 3 and the volume expands in a state where it is installed in a place where the environment is bad. The atmosphere on the inner surface of the integrating sphere 15 is emitted to the outside air through the porous plate 81, and when the transmitted laser beam 3 is stopped, the expanded atmosphere contracts and is filtered through the porous plate 81. Fresh air flows in. The outside air that flows in at this time is filtered by the porous plate 81, and the atmospheric pressure inside the integrating sphere 15 does not rise or fall without polluting the inside surface of the integrating sphere 15. As a result, the laser light detection device of this embodiment can stably detect the laser energy of the laser light for a long period of time.
【００４８】〈第九実施例〉図１０は本発明の第九実施
例にかかるレーザ光検出装置を示す構成図である。な
お、上述の第一実施例及び第八実施例と同様の構成また
は相当部分からなるものについては同一符号及び同一記
号を付してその詳細な説明を省略する。ブロック１０Ｄ
に所定形状の穴をあけて、その穴に活性炭吸着材９１が
組込まれている。この活性炭吸着材９１は、図５に示す
ダストフィルタ４３と同様に、レーザ光を吸収する有害
な気体を取除く機能と塵埃などを取除くフィルタ機能を
有するものである。一般に、活性炭吸着材９１は、オイ
ル蒸気、有機溶剤ガスの吸着除去に有効であるが、吸着
したい気体に合わせて、この吸着材の材質を選定するこ
とにより、例えば、ゼオライト系吸着材であるモレキュ
ラシーブ３Ａの場合にはＨ2 Ｏ，ＮＨ3 等の吸着除去、
また、モレキュラシーブ４Ａの場合にはＨ2 Ｓ，ＣＯ
2 ，Ｃ2 Ｈ6 等の吸着除去を行うことができ、本実施例
の適用範囲を広げることができる。また、図９と同様
に、活性炭吸着材９１を取り付ける部分が容器化されて
いるので無定形の吸着材でも適用することができる。<Ninth Embodiment> FIG. 10 is a block diagram showing a laser light detector according to the ninth embodiment of the present invention. The same reference numerals and symbols are given to those having the same configurations or corresponding portions as those of the above-described first and eighth embodiments, and detailed description thereof will be omitted. Block 10D
A hole having a predetermined shape is drilled in, and the activated carbon adsorbent 91 is incorporated in the hole. Like the dust filter 43 shown in FIG. 5, the activated carbon adsorbent 91 has a function of removing harmful gas that absorbs laser light and a filter function of removing dust and the like. Generally, the activated carbon adsorbent 91 is effective for adsorption and removal of oil vapor and organic solvent gas, but by selecting the material of this adsorbent in accordance with the gas to be adsorbed, for example, a molecular sieve which is a zeolite-based adsorbent is used. In the case of 3 A, adsorption removal of H 2 O, NH 3 etc.,
In the case of molecular sieve 4A, H 2 S, CO
Adsorption and removal of 2 , C 2 H 6 and the like can be performed, and the range of application of this embodiment can be expanded. Further, as in the case of FIG. 9, the portion to which the activated carbon adsorbent 91 is attached is made into a container, so that an amorphous adsorbent can also be applied.
【００４９】このように、本発明の第九実施例のレーザ
光検出装置は、閉塞部材の構成において、更に、その一
部分であるブロック１０Ｄに貫通穴を設け、その穴の中
に配設された活性炭吸着材９１からなる多孔質材を介し
て外気と連通するものである。As described above, in the laser beam detector of the ninth embodiment of the present invention, in the construction of the closing member, a through hole is further provided in the block 10D which is a part of the closing member, and it is arranged in the hole. The activated carbon adsorbent 91 communicates with the outside air through a porous material.
【００５０】したがって、ビームスプリッタ２から積分
球１５Ａを介して光センサ１６までのビームスプリッタ
２を透過した透過レーザ光３が通過・反射される空間に
外気が活性炭吸着材９１にてろ過されて出入りすること
となる。Therefore, outside air is filtered by the activated carbon adsorbent 91 and enters and leaves the space where the transmitted laser light 3 transmitted from the beam splitter 2 to the optical sensor 16 through the integrating sphere 15A passes and is reflected. Will be done.
【００５１】故に、本実施例のレーザ光検出装置は、環
境の悪い場所に設置された状態で、積分球１５内面の大
気が透過レーザ光３の内面散乱反射により温度上昇し体
積が膨張したときには、積分球１５内面の大気は、活性
炭吸着材９１を介して外気へと放出され、また、透過レ
ーザ光３が停止したときには、その膨張した大気が収縮
して活性炭吸着材９１を介してろ過された外気が流入す
る。このときに流入する外気は活性炭吸着材９１にてろ
過されており、積分球１５内面を汚すことなく積分球１
５内の気圧を上下することもない。これにより、本実施
例のレーザ光検出装置は、長期間安定してレーザ光のレ
ーザエネルギを検出することが可能となる。Therefore, in the laser light detecting apparatus of this embodiment, when the atmosphere inside the integrating sphere 15 rises in temperature due to the inner surface scattering reflection of the transmitted laser light 3 and the volume expands in a state of being installed in a bad environment. The atmosphere inside the integrating sphere 15 is released to the outside air through the activated carbon adsorbent 91, and when the transmitted laser beam 3 is stopped, the expanded atmosphere contracts and is filtered through the activated carbon adsorbent 91. Fresh air flows in. The outside air flowing at this time is filtered by the activated carbon adsorbent 91, and the integrating sphere 1 does not stain the inner surface of the integrating sphere 15.
There is no need to raise or lower the atmospheric pressure within 5. As a result, the laser light detection device of this embodiment can stably detect the laser energy of the laser light for a long period of time.
【００５２】[0052]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１のレーザ
光検出装置によれば、ビームスプリッタと積分球との間
及び積分球と光センサとの間を閉塞部材で外気から閉塞
したので、環境の悪い場所に設置された状態で、積分球
内面の大気が透過レーザ光の内面散乱反射により温度上
昇し体積が膨張し、また、透過レーザ光が停止したとき
にその膨張した大気が収縮しても、積分球内の気圧が上
下するだけで外気の流入が生じることなく、長期間安定
してレーザ光のレーザエネルギを検出することが可能で
あるという効果がある。As described above, according to the laser light detecting device of the first aspect, the space between the beam splitter and the integrating sphere and between the integrating sphere and the optical sensor are closed from the outside air by the closing member. When installed in a poor environment, the atmosphere inside the integrating sphere rises in temperature due to internal scattering reflection of the transmitted laser light, causing the volume to expand, and when the transmitted laser light stops, the expanded atmosphere contracts. However, there is an effect that it is possible to stably detect the laser energy of the laser light for a long period of time without the inflow of outside air only by the rise and fall of the atmospheric pressure in the integrating sphere.
【００５３】請求項２のレーザ光検出装置によれば、請
求項１の効果に加えて、閉塞部材の接続部分を弾性を有
する柔質材としたので、ビームスプリッタと積分球との
間及び積分球と光センサとの間の取付性が容易になると
いう効果が生じる。According to the laser light detecting device of the second aspect, in addition to the effect of the first aspect, since the connecting portion of the closing member is made of a soft material having elasticity, it is possible to perform integration between the beam splitter and the integrating sphere and integration. The effect is that the mountability between the sphere and the optical sensor is facilitated.
【００５４】請求項３のレーザ光検出装置によれば、請
求項１の効果に加えて、閉塞部材の一部分に貫通穴を設
け、その穴がフィルタを介して外気と連通するようにし
たので、環境の悪い場所に設置された状態で、積分球内
面の大気が透過レーザ光の内面散乱反射により温度上昇
し体積が膨張したときには、積分球内面の大気は、フィ
ルタを介して外気へと放出され、また、透過レーザ光が
停止したときには、その膨張した大気が収縮してフィル
タを介してろ過された外気が流入する。このときに流入
する外気はフィルタにてろ過されており、積分球内面を
汚すことなく積分球内の気圧を上下することもない。こ
れにより、本実施例のレーザ光検出装置は、長期間安定
してレーザ光のレーザエネルギを検出することが可能で
あるという効果がある。According to the laser beam detector of claim 3, in addition to the effect of claim 1, a through hole is provided in a part of the closing member, and the hole communicates with the outside air through the filter. When the atmosphere inside the integrating sphere rises in temperature and the volume expands due to the internal scattering reflection of the transmitted laser light in a state where it is installed in a bad environment, the atmosphere inside the integrating sphere is released to the outside air through the filter. Also, when the transmitted laser light stops, the expanded atmosphere contracts and the outside air filtered through the filter flows in. The outside air flowing at this time is filtered by the filter, and the atmospheric pressure in the integrating sphere is not increased or decreased without polluting the inner surface of the integrating sphere. As a result, the laser light detection apparatus of this embodiment has an effect of being able to stably detect the laser energy of the laser light for a long period of time.
【００５５】請求項４のレーザ光検出装置によれば、請
求項１の効果に加えて、閉塞部材の一部分を多孔質材と
するようにしたので、ろ過された外気が流入出できるた
め積分球内面が汚れることなく、また、その積分球内の
気圧が上下することなく、長期間安定してレーザ光のレ
ーザエネルギを検出することが可能であるという効果が
ある。According to the laser light detecting device of the fourth aspect, in addition to the effect of the first aspect, since a part of the blocking member is made of a porous material, filtered outside air can flow in and out, so that an integrating sphere is provided. There is an effect that the laser energy of the laser light can be stably detected for a long period of time without the inner surface becoming dirty and the atmospheric pressure in the integrating sphere rising and falling.
【００５６】請求項５のレーザ光検出装置によれば、請
求項１の効果に加えて、閉塞部材の接続部分を弾性を有
する柔多孔質材とするようにしたので、ビームスプリッ
タと積分球との間及び積分球と光センサとの間の取付性
が容易であると共に、ろ過された外気が流入出できるた
め積分球内面が汚れることなく、また、その積分球内の
気圧が上下することなく、長期間安定してレーザ光のレ
ーザエネルギを検出することが可能であるという効果が
ある。According to the laser light detecting device of the fifth aspect, in addition to the effect of the first aspect, since the connecting portion of the closing member is made of a flexible porous material having elasticity, a beam splitter and an integrating sphere are provided. Between them and between the integrating sphere and the optical sensor are easy, and since the filtered outside air can flow in and out, the inside surface of the integrating sphere does not become dirty and the air pressure inside the integrating sphere does not rise or fall. There is an effect that it is possible to stably detect the laser energy of the laser light for a long period of time.
【００５７】請求項６のレーザ光検出装置によれば、請
求項１の効果に加えて、閉塞部材の一部分に貫通穴を設
け、前記穴がその穴の中に配設された多孔質材を介して
外気と連通するようにしたので、ろ過された外気が流入
出できるため積分球内面が汚れることなく、また、その
積分球内の気圧が上下することなく、長期間安定してレ
ーザ光のレーザエネルギを検出することが可能であると
いう効果がある。According to the laser beam detector of claim 6, in addition to the effect of claim 1, a through hole is provided in a part of the closing member, and the porous material is provided in the hole. Since it communicates with the outside air via the filter, the filtered outside air can flow in and out, so that the inside surface of the integrating sphere does not become dirty and the atmospheric pressure inside the integrating sphere does not fluctuate, and the laser light can be stably supplied for a long period of time. There is an effect that it is possible to detect laser energy.
【図１】図１は本発明の第一実施例にかかるレーザ光検
出装置を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a laser light detection device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図２は本発明の第一実施例にかかるレーザ光検
出装置をレーザ発振器に取りつけた状態を示す構成図で
ある。FIG. 2 is a configuration diagram showing a state in which the laser light detection device according to the first embodiment of the present invention is attached to a laser oscillator.
【図３】図３は本発明の第二実施例にかかるレーザ光検
出装置を示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing a laser light detection device according to a second embodiment of the present invention.
【図４】図４は本発明の第三実施例にかかるレーザ光検
出装置を示す構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram showing a laser light detection device according to a third embodiment of the present invention.
【図５】図５は本発明の第四実施例にかかるレーザ光検
出装置を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram showing a laser light detection device according to a fourth embodiment of the present invention.
【図６】図６は本発明の第五実施例にかかるレーザ光検
出装置を示す構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram showing a laser light detection device according to a fifth embodiment of the present invention.
【図７】図７は本発明の第六実施例にかかるレーザ光検
出装置を示す構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram showing a laser light detection device according to a sixth embodiment of the present invention.
【図８】図８は本発明の第七実施例にかかるレーザ光検
出装置を示す構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram showing a laser light detection device according to a seventh embodiment of the present invention.
【図９】図９は本発明の第八実施例にかかるレーザ光検
出装置を示す構成図である。FIG. 9 is a configuration diagram showing a laser light detection device according to an eighth embodiment of the present invention.
【図１０】図１０は本発明の第九実施例にかかるレーザ
光検出装置を示す構成図である。FIG. 10 is a configuration diagram showing a laser light detection device according to a ninth embodiment of the present invention.
【図１１】図１１は従来のレーザ光検出装置を示す構成
図である。FIG. 11 is a configuration diagram showing a conventional laser light detection device.
１ レーザ光 ２ ビームスプリッタ ３ 透過レーザ光 １０ ブロック（閉塞部材） １２ａ，１２ｂ，１２ｃ Ｏリング（閉塞部材） １５ 積分球 １６ 光センサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 laser beam 2 beam splitter 3 transmitted laser beam 10 block (blocking member) 12a, 12b, 12c O-ring (blocking member) 15 integrating sphere 16 optical sensor
Claims (6)
するビームスプリッタと、 前記ビームスプリッタを透過したレーザ光を積分減衰す
る積分球と、 前記積分球で積分減衰されたレーザ光のエネルギを検出
する光センサと、 前記ビームスプリッタと前記積分球との間及び前記積分
球と前記光センサとの間を外気から閉塞する閉塞部材と
を具備することを特徴とするレーザ光検出装置。1. A beam splitter that transmits a part of laser light and reflects the other, an integrating sphere that integrates and attenuates the laser light that passes through the beam splitter, and energy of the laser light that is integrated and attenuated by the integrating sphere. A laser light detection device, comprising: a light sensor for detecting the above; and a closing member for closing the space between the beam splitter and the integrating sphere and the space between the integrating sphere and the optical sensor from the outside air.
弾性を有する柔質材とすることを特徴とする請求項１に
記載のレーザ光検出装置。2. The laser light detecting device according to claim 1, wherein the connecting member of the closing member is made of a flexible material having elasticity.
通穴を設け、前記穴がフィルタを介して外気と連通する
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ光検出装置。3. The laser light detection device according to claim 1, wherein the closing member further has a through hole in a part thereof, and the hole communicates with the outside air through a filter.
孔質材とすることを特徴とする請求項１に記載のレーザ
光検出装置。4. The laser light detection device according to claim 1, wherein a part of the blocking member is made of a porous material.
弾性を有する柔多孔質材とすることを特徴とする請求項
１に記載のレーザ光検出装置。5. The laser light detecting device according to claim 1, wherein the connecting member of the closing member is made of a flexible material having elasticity.
通穴を設け、前記穴がその穴の中に配設された多孔質材
を介して外気と連通することを特徴とする請求項１に記
載のレーザ光検出装置。6. The closure member is further provided with a through hole in a part thereof, and the hole communicates with the outside air through a porous material disposed in the hole. The laser light detection device according to.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1756494A JPH07225150A (en) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | Laser beam detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1756494A JPH07225150A (en) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | Laser beam detector |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07225150A true JPH07225150A (en) | 1995-08-22 |
Family
ID=11947416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1756494A Pending JPH07225150A (en) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | Laser beam detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07225150A (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005345904A (en) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Sony Corp | Image generation apparatus |
| CN100401026C (en) * | 2005-09-27 | 2008-07-09 | 中国计量科学研究院 | Laser energy meter |
| CN102853904A (en) * | 2012-06-27 | 2013-01-02 | 浙江大学 | High-power laser parameter measuring device |
| JP2014146671A (en) * | 2013-01-29 | 2014-08-14 | Arufakusu Kk | Method for measuring laser beam profile |
| JP2015014590A (en) * | 2013-06-07 | 2015-01-22 | 本田技研工業株式会社 | Integrating sphere |
| JP2016183969A (en) * | 2010-12-22 | 2016-10-20 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． | Method and apparatus for testing luminescent film |
| JP2021525898A (en) * | 2018-05-28 | 2021-09-27 | ビーム | Equipment and methods for detecting the position of the laser beam |
-
1994
- 1994-02-14 JP JP1756494A patent/JPH07225150A/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005345904A (en) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Sony Corp | Image generation apparatus |
| CN100401026C (en) * | 2005-09-27 | 2008-07-09 | 中国计量科学研究院 | Laser energy meter |
| JP2016183969A (en) * | 2010-12-22 | 2016-10-20 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． | Method and apparatus for testing luminescent film |
| CN102853904A (en) * | 2012-06-27 | 2013-01-02 | 浙江大学 | High-power laser parameter measuring device |
| JP2014146671A (en) * | 2013-01-29 | 2014-08-14 | Arufakusu Kk | Method for measuring laser beam profile |
| JP2015014590A (en) * | 2013-06-07 | 2015-01-22 | 本田技研工業株式会社 | Integrating sphere |
| JP2021525898A (en) * | 2018-05-28 | 2021-09-27 | ビーム | Equipment and methods for detecting the position of the laser beam |
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