JPH0720562Y2 - Actuator - Google Patents

Actuator

Info

Publication number
JPH0720562Y2
JPH0720562Y2 JP1985166935U JP16693585U JPH0720562Y2 JP H0720562 Y2 JPH0720562 Y2 JP H0720562Y2 JP 1985166935 U JP1985166935 U JP 1985166935U JP 16693585 U JP16693585 U JP 16693585U JP H0720562 Y2 JPH0720562 Y2 JP H0720562Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rod
piston
fixed electrode
cylinder tube
movable rod
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1985166935U
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS6275405U (en
Inventor
幹夫 堀川
輝次 松原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP1985166935U priority Critical patent/JPH0720562Y2/en
Publication of JPS6275405U publication Critical patent/JPS6275405U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0720562Y2 publication Critical patent/JPH0720562Y2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Actuator (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本考案は、油圧シリンダ等のアクチュエータに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial field of application) The present invention relates to an actuator such as a hydraulic cylinder.

(従来の技術) アクチュエータの変位を検出するために従来使用されて
きた装置として、第6図に示すような検出装置がある。
この検出装置は、油圧シリンダ2のピストン5の両側に
シリンダチューブから突出するピストンロッドを一体に
設け、一方のピストンロッドの突出部には、シリンダチ
ューブと同芯の筒体50をシリンダチューブに固定して設
け、その内部に差動トランス51のコイル52を取り付ける
とともに、前記ピストンロッドには前記コイル内に挿入
されるコア53を取り付けたものである。
(Prior Art) As a device conventionally used to detect the displacement of an actuator, there is a detection device as shown in FIG.
In this detection device, piston rods projecting from a cylinder tube are integrally provided on both sides of a piston 5 of a hydraulic cylinder 2, and a cylindrical body 50 concentric with the cylinder tube is fixed to the cylinder tube at the projecting portion of one piston rod. The coil 52 of the differential transformer 51 is attached to the inside thereof, and the core 53 inserted into the coil is attached to the piston rod.

シリンダチューブ内に供給される油圧によってピストン
が移動すると、差動トランス51のコイルに対するコアの
嵌合長さが変化するため、その変位量を電気的に検出す
ることができる。
When the piston moves due to the hydraulic pressure supplied into the cylinder tube, the fitting length of the core with respect to the coil of the differential transformer 51 changes, so that the displacement amount can be electrically detected.

[考案が解決しようとする問題点] しかしながら、上記従来の差動トランス式変位検出装置
は、コイルの長さをピストンストロークに充分見合うだ
けの長いものとしなければならないので、ピストンスト
ロークが長くなると装置全体の長さが長くなるという問
題点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-mentioned conventional differential transformer type displacement detection device, the length of the coil must be long enough to correspond to the piston stroke. There was a problem that the whole length became long.

[問題点を解決するための手段] 上記問題点を解決するために、本考案は次のような構成
を採用した。
[Means for Solving Problems] In order to solve the above problems, the present invention employs the following configuration.

すなわち、本考案にかかるアクチュエータは、シリンダ
チューブ内に設けられたピストンの両側に該ピストンと
ともに移動するロッドを設け、一方のロッドを他の物体
を駆動するピストンロッドとするとともに、他方のロッ
ドの外周部に該ロッドよりも若干径の大きい筒状の固定
電極を該シリンダチューブとは別に設け、該ロッドを該
固定電極に対する他方の電極とすることで該ロッドの移
動によって生じる静電容量の変化を検出するようにした
ことを特徴とする。
That is, in the actuator according to the present invention, rods that move with the piston are provided on both sides of the piston provided in the cylinder tube, and one rod is used as a piston rod for driving another object, and the other rod has an outer circumference. A cylindrical fixed electrode having a diameter slightly larger than that of the rod is provided separately from the cylinder tube at the portion, and the rod is used as the other electrode with respect to the fixed electrode, thereby changing the capacitance caused by the movement of the rod. The feature is that it is detected.

[作用] アクチュエータのピストンが移動すれば、可動ロッドが
一体となって移動するため、筒状の固定電極に対する可
動ロッドの嵌合長さが変化し、この部分の静電容量が変
化する。このため、ピストンの移動量を電気的に検出す
ることができる。
[Operation] When the piston of the actuator moves, the movable rod moves integrally, so that the fitting length of the movable rod with respect to the cylindrical fixed electrode changes, and the capacitance of this portion changes. Therefore, the amount of movement of the piston can be electrically detected.

[実施例] 第1図および第2図は本考案の実施例をあらわすもの
で、この変位検出装置1は、アクチュエータである油圧
シリンダ2に一体に組み付けられている。油圧シリンダ
2のシリンダチューブ4内に保持されているピストン5
には前後方向に突出する1対のロッド7,8が一体に取り
付けられている。前側のロッド7は他の物体を駆動する
ピストンロッドであり、後側のロッド8は変位検出装置
1を構成する可動ロッドである。シリンダチューブ4の
両端開口部には蓋板10,11がボルトで固着されており、
これら蓋板の内側にはブッシュ13とシール材14とが設け
られている。前側のシール材の前端部は蓋板10にボルト
止めされた当金16によって押えられ、後側のシール材の
後端部は同様に蓋板11にボルト止めされた押え板18と絶
縁リング19のよって押えられている。後側の蓋板11の外
側には変位検出装置1の基板20が密着させて設けられて
おり、長寸のボルト22によって蓋板11とともにシリンダ
チューブ4に固定されている。
[Embodiment] FIGS. 1 and 2 show an embodiment of the present invention, in which the displacement detecting device 1 is integrally assembled to a hydraulic cylinder 2 which is an actuator. Piston 5 held in cylinder tube 4 of hydraulic cylinder 2
A pair of rods 7 and 8 protruding in the front-rear direction are integrally attached to the. The front rod 7 is a piston rod that drives another object, and the rear rod 8 is a movable rod that constitutes the displacement detection device 1. Lid plates 10 and 11 are fixed to the openings of both ends of the cylinder tube 4 with bolts,
A bush 13 and a sealing material 14 are provided inside these cover plates. The front end of the front seal material is pressed by a metal plate 16 bolted to the cover plate 10, and the rear end of the rear seal material is similarly pressed to the cover plate 11 by a press plate 18 and an insulating ring 19. Being held down by. A substrate 20 of the displacement detecting device 1 is provided in close contact with the outside of the lid plate 11 on the rear side, and is fixed to the cylinder tube 4 together with the lid plate 11 by a long bolt 22.

基板20には保護筒24が溶着され、該保護筒の反対側には
端部部材26が溶着されている。保護筒24の内側には円筒
状の絶縁体29が嵌装されており、該絶縁体の内面部には
同様に円筒状の固定電極30が嵌装されている。固定電極
30は、可動ロッド8と同芯で該可動ロッドよりも若干大
径に形成されており、その両端部は前側の絶縁リング19
と前記端部部材26の内側に嵌着した後側の絶縁リング32
とによって固定されている。後側の絶縁リング32には通
孔33が穿設されており、端部部材26の半径方向の通孔34
を通じて外気とつながっている。なお、絶縁リング32の
後端部にはスナップリング36が設けられ、その外側に円
板状のキャップ38が螺着されている。前記固定電極30に
は、通孔39を通して挿入されるリード線40が接続され、
さらに、前記シリンダチューブ4には、取付穴41,…を
利用してマニホールドが取り付けられ、ピストン5の前
後に設けられた給排孔43,44を通してシリンダチューブ
内に作動油が供給される。
A protective cylinder 24 is welded to the substrate 20, and an end member 26 is welded to the opposite side of the protective cylinder. A cylindrical insulator 29 is fitted inside the protective cylinder 24, and a cylindrical fixed electrode 30 is likewise fitted on the inner surface of the insulator. Fixed electrode
The movable rod 8 is concentric with the movable rod 8 and has a diameter slightly larger than that of the movable rod 8.
And the rear side insulating ring 32 fitted inside the end member 26.
It is fixed by and. A through hole 33 is formed in the rear insulating ring 32, and a through hole 34 in the radial direction of the end member 26 is formed.
Is connected to the outside air through. A snap ring 36 is provided at the rear end of the insulating ring 32, and a disc-shaped cap 38 is screwed on the outside thereof. A lead wire 40 inserted through the through hole 39 is connected to the fixed electrode 30,
Further, a manifold is attached to the cylinder tube 4 using the attachment holes 41, ..., And working oil is supplied into the cylinder tube through supply / discharge holes 43, 44 provided in front of and behind the piston 5.

このアクチュエータ(油圧シリンダ)2の後側の給排孔
44からピストン5の後側のシリンダ室内へ油圧を供給
し、前側の給排孔43からピストン5の前側の油を排出す
れば、ピストン5は前進するので、ピストンロッド7に
よって他の物体を駆動することができる。油圧の給排を
逆にすれば、ピストン5は後退する。ピストン5が移動
すれば、後側の可動ロッド8も一体となって移動し、固
定電極30との間の静電容量が変化するので、この変化量
を検出することにより、ピストン5の変位を電気的に検
出することができるのである。すなわち、可動ロッド8
と固定電極30とで可変容量コンデンサが形成され、その
コンデンサ容量の変化によって変位が検出される。この
変位検出装置1は、アクチュエータ2と固定電極30にリ
ード線を接続し、例えば実公昭49-25340号記載の静電容
量型変位検出回路のような検出回路に接続して使用する
ことができる。
Supply / discharge holes on the rear side of this actuator (hydraulic cylinder) 2.
If the hydraulic pressure is supplied from 44 to the cylinder chamber on the rear side of the piston 5 and the oil on the front side of the piston 5 is discharged from the supply / discharge hole 43 on the front side, the piston 5 moves forward, so that another object is driven by the piston rod 7. can do. If the supply and discharge of the hydraulic pressure is reversed, the piston 5 moves backward. When the piston 5 moves, the movable rod 8 on the rear side also moves integrally, and the capacitance between the movable electrode 8 and the fixed electrode 30 changes. Therefore, the displacement of the piston 5 can be detected by detecting the amount of change. It can be detected electrically. That is, the movable rod 8
The variable capacitor is formed by the fixed electrode 30 and the fixed electrode 30, and the displacement is detected by the change in the capacitance of the capacitor. The displacement detecting device 1 can be used by connecting a lead wire to the actuator 2 and the fixed electrode 30 and connecting to a detecting circuit such as the capacitance type displacement detecting circuit described in JP-B-49-25340. .

この変位測定装置は、ピストン5に一体に設けられた可
動ロッド8そのものを静電容量型変位検出器の構成部材
として利用するので、従来の差動トランス式のものに較
べて全長を短くすることができる。固定電極30と可動ロ
ッド8との間には隙間が設けられており、両者が接触し
ないので、可動ロッド8の回転は自由であり、しかも摩
耗する部分がないので保守等が簡単である。
Since this displacement measuring device uses the movable rod 8 itself provided integrally with the piston 5 as a constituent member of the capacitance type displacement detector, the total length of the displacement measuring device should be shorter than that of the conventional differential transformer type. You can Since a gap is provided between the fixed electrode 30 and the movable rod 8 and they do not come into contact with each other, the movable rod 8 is free to rotate, and since there is no wear portion, maintenance and the like is easy.

[考案の効果] 以上の説明から明らかなように、本考案にかかるアクチ
ュエータは、ピストンの両側に設けた可動ロッドの一方
を他の物体駆動用のピストンロッドとして利用し、他方
の可動ロッドの外周部に固定電極を設け、この可動ロッ
ドを固定電極に対応する電極とすることで、この可動ロ
ッドの移動によって生じる静電容量の変化を検出するよ
うにしたので、簡単な構造でアクチュエータの変位を検
出することが可能となり、コンパクトで実用的に便利な
ものとなった。
[Effects of the Invention] As is clear from the above description, the actuator according to the present invention uses one of the movable rods provided on both sides of the piston as a piston rod for driving another object, and the outer periphery of the other movable rod. By providing a fixed electrode on the part and using this movable rod as an electrode corresponding to the fixed electrode, the change in the electrostatic capacitance caused by the movement of this movable rod is detected. It became possible to detect it, and it became compact and practically convenient.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本考案の原理図、第2図、第3図、第4図、第
5図は実施例の断面図、A矢視図、部分平面図およびB
矢視図、第6図は従来例の説明図である。 1……変位検出装置、2……アクチュエータ(油圧シリ
ンダ)、5……ピストン、7……ピストンロッド、8…
…可動ロッド、29……絶縁体、30……固定電極
FIG. 1 is a principle view of the present invention, FIG. 2, FIG. 3, FIG. 4, and FIG.
FIG. 6 and FIG. 6 are explanatory views of a conventional example. 1 ... Displacement detection device, 2 ... Actuator (hydraulic cylinder), 5 ... Piston, 7 ... Piston rod, 8 ...
… Movable rod, 29… Insulator, 30… Fixed electrode

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭53−131858(JP,A) 特開 昭60−4803(JP,A) 実開 昭57−8909(JP,U) 実開 昭59−45505(JP,U)Continuation of the front page (56) References JP-A-53-131858 (JP, A) JP-A-60-4803 (JP, A) Actual opening 57-8909 (JP, U) Actual opening 59-45505 (JP , U)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】シリンダチューブ内に設けられたピストン
の両側に該ピストンとともに移動するロッドを設け、一
方のロッドを他の物体を駆動するピストンロッドとする
とともに、他方のロッドの外周部に該ロッドよりも若干
径の大きい筒状の固定電極を該シリンダチューブとは別
に設け、該ロッドを該固定電極に対する他方の電極とす
ることで該ロッドの移動によって生じる静電容量の変化
を検出するようにしたことを特徴とするアクチュエー
タ。
1. A rod which moves together with a piston provided on both sides of a piston provided in a cylinder tube, wherein one rod is a piston rod for driving another object, and the other rod is provided on an outer peripheral portion of the other rod. A cylindrical fixed electrode having a diameter slightly larger than that of the cylinder tube is provided separately from the cylinder tube, and by using the rod as the other electrode with respect to the fixed electrode, a change in capacitance caused by the movement of the rod can be detected. An actuator characterized in that
JP1985166935U 1985-10-30 1985-10-30 Actuator Expired - Lifetime JPH0720562Y2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1985166935U JPH0720562Y2 (en) 1985-10-30 1985-10-30 Actuator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1985166935U JPH0720562Y2 (en) 1985-10-30 1985-10-30 Actuator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6275405U JPS6275405U (en) 1987-05-14
JPH0720562Y2 true JPH0720562Y2 (en) 1995-05-15

Family

ID=31098388

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1985166935U Expired - Lifetime JPH0720562Y2 (en) 1985-10-30 1985-10-30 Actuator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0720562Y2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2768961B2 (en) * 1988-12-26 1998-06-25 東陶機器株式会社 Piezoelectric actuator with position detection function
JP5578898B2 (en) * 2009-03-18 2014-08-27 株式会社小林製作所 Chuck device with measuring function and robot chuck device
JP5610901B2 (en) * 2010-07-29 2014-10-22 株式会社小林製作所 Chuck device with measuring function and robot chuck device

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH614042A5 (en) * 1977-04-20 1979-10-31 Hans Ulrich Meyer
JPS617371Y2 (en) * 1980-06-18 1986-03-06
JPS5945505U (en) * 1982-09-17 1984-03-26 株式会社小松製作所 Cylinder stroke detection device
DE3321510C1 (en) * 1983-06-15 1984-10-04 Boge Gmbh, 5208 Eitorf Device for determining the displacement of a plunger

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6275405U (en) 1987-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4644976A (en) Hydropneumatic floating-piston accumulator
JPH0720562Y2 (en) Actuator
US4413245A (en) Inductive measuring transducer for a fluidic adjusting member
US5138934A (en) Cylinder with a built-in stroke sensor having an eccentric member
JPH0583541U (en) Sealing device
CN209539535U (en) A kind of pump inductance type signal supervisory instrument and its connection structure
US3613517A (en) Tension load cell
JPH03225203A (en) Electrostatic capacity type expanded position detector for cylinder
JPH0630791Y2 (en) Hydraulic jack
US4086557A (en) Variable resistance pressure transducer
JP3703152B2 (en) Actuator operable with pressure medium
CN109763973A (en) Pump inductance type signal supervisory instrument and its connection structure
JPH0752566Y2 (en) Position detection device for moving member in fluid pressure equipment
CN2206953Y (en) Fluid pressure sensor
JPS5848404Y2 (en) hydraulic cylinder
JPH0434275Y2 (en)
JPH08326B2 (en) Piston rod operation detection mechanism of rotating fluid pressure cylinder for check
SU1679227A1 (en) Pressure differential sensor
JPS61114105U (en)
JPH0731896Y2 (en) Spot welding gun cylinder
JP3066934B2 (en) Dust seal press fitting device for king pin
JPS6210967U (en)
JP2534904Y2 (en) Antistatic structure of cylinder device
JPH0625364Y2 (en) Suspension stroke sensor
JP2732786B2 (en) Opposing hydraulic press molding method