JPH07202629A - Crystal oscillator and manufacture of the same - Google Patents
Crystal oscillator and manufacture of the sameInfo
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- JPH07202629A JPH07202629A JP33778093A JP33778093A JPH07202629A JP H07202629 A JPH07202629 A JP H07202629A JP 33778093 A JP33778093 A JP 33778093A JP 33778093 A JP33778093 A JP 33778093A JP H07202629 A JPH07202629 A JP H07202629A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、水晶振動子に関し、特
に板状の振動部で構成される水晶振動子に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a crystal unit, and more particularly to a crystal unit including a plate-shaped vibrating section.
【0002】[0002]
【従来の技術】水晶振動子は、その高い安定性により、
情報通信に欠かせない重要なデバイスとして用いられて
いる。近年衛星通信や携帯電話などの発達にともない、
各デバイスの小型化、高性能化が一つの大きな目標とさ
れているが、水晶振動子も例外ではない。2. Description of the Related Art Crystal oscillators have high stability,
It is used as an important device indispensable for information communication. With the development of satellite communication and mobile phones in recent years,
One of the major goals is to reduce the size and increase the performance of each device, but crystal units are no exception.
【0003】水晶振動子には、厳しい周波数安定性が要
求される。通常このような目的で用いられる水晶振動子
は、その厚みに反比例する共振周波数を持つ厚み辷り振
動を主振動とするATカットと呼ばれるカット角の水晶
板を、円形、あるいは矩形に切り出し、その一組の主振
動面に互いに対向する励起電極を形成し振動子とする。
しかしながらこのカット角の場合、CT、あるいはDT
カット系の中波帯周波数の輪郭辷り振動も励振可能であ
る。これら厚み辷り(主振動)以外の振動は、主振動に
寄生するもので、寄生振動(スプリアス)と呼ばれてい
る。このスプリアスは、主振動の特性を悪化させる大き
な原因となっているために、その励振を抑制する努力が
なされている。通常、矩形の水晶ブランクを使用する場
合には、その幅や、長さをある一定の大きさにして、発
生するスプリアスの共振周波数が、厚み辷り振動の共振
周波数付近に生じないようにして主振動へ与える影響を
少なくし、更に水晶板の保持の方法などによってスプリ
アスの振動を抑制している。従来の水晶振動子の構造
を、図4に示す。この図において、11は水晶板、12
は周辺部、13は励起電極、14は保持部である。この
例の場合、水晶板10は矩形のATカット水晶ブランク
であり、この主振動面に形成された一組の対向する励起
電極11によって厚み辷り振動が励起される。Crystal oscillators are required to have strict frequency stability. A crystal unit usually used for such a purpose is a crystal plate with a cut angle called AT cut whose main vibration is a resonance frequency that is inversely proportional to the thickness and is cut out into a circular or rectangular shape. Exciting electrodes facing each other are formed on the main vibrating surfaces of the set to form a vibrator.
However, in the case of this cut angle, CT or DT
It is also possible to excite contour sway vibrations in the mid-frequency band of the cut system. Vibrations other than the thickness sway (main vibration) are parasitic to the main vibration and are called parasitic vibrations (spurious). Since this spurious is a major cause of deteriorating the characteristics of the main vibration, efforts have been made to suppress the excitation. Normally, when a rectangular crystal blank is used, its width and length are set to a certain size so that the spurious resonance frequency that occurs does not occur near the resonance frequency of thickness siding vibration. The effect on vibration is reduced, and the vibration of spurious is suppressed by holding the crystal plate. The structure of a conventional crystal unit is shown in FIG. In this figure, 11 is a crystal plate, 12
Is a peripheral part, 13 is an excitation electrode, and 14 is a holding part. In the case of this example, the quartz plate 10 is a rectangular AT-cut quartz blank, and thickness stagnation vibration is excited by a pair of opposing excitation electrodes 11 formed on the main vibrating surface.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の方
法では、ある共振周波数の振動子を新たに作る場合に
は、実際に様々な大きさの水晶ブランクを作成してその
共振特性を測定し、水晶ブランクの幅や長さを試行錯誤
を繰り返しながら主振動にスプリアスが影響しにくい大
きさに決定している。このため、各共振周波数ごとに主
振動にスプリアスが影響しにくい水晶ブランクの大きさ
は、その共振周波数固有のものである。このように、水
晶ブランクの大きさが各周波数ごとに各々微妙に異なっ
ているという状況は、このような水晶振動子を量産する
ための大きな障害となっていた。また、場合によっては
スプリアスの温度特性と主振動の温度特性の関係から、
室温付近では互いに影響しないような大きさに水晶ブラ
ンクの大きさを決定しても、ある温度ではスプリアスと
主振動が重なり合い、希望の特性が得られなくなること
もあった。However, according to the conventional method, when a resonator having a certain resonance frequency is newly prepared, crystal blanks of various sizes are actually prepared and the resonance characteristics thereof are measured to obtain a crystal. The width and length of the blank are determined by repeating trial and error to determine the size so that the main vibration is less affected by spurious. Therefore, the size of the crystal blank in which the spurious is less likely to affect the main vibration for each resonance frequency is unique to the resonance frequency. As described above, the situation in which the size of the crystal blank is slightly different for each frequency has been a major obstacle to mass production of such a crystal unit. In some cases, from the relationship between the temperature characteristics of spurious and the main vibration,
Even if the size of the crystal blank was determined so that they would not affect each other near room temperature, spurious and main vibration would overlap at a certain temperature, and the desired characteristics might not be obtained.
【0005】本発明は、上記のような問題点を解決し、
簡単な方法でスプリアスの発生を抑え、各共振周波数ご
とに主振動にスプリアスが影響しにくい水晶ブランクの
大きさを決定し直す必要をなくし、水晶振動子の共振特
性の向上を容易にし、なおかつその量産化も容易にする
ことを目的とするものである。The present invention solves the above problems,
It suppresses the generation of spurious by a simple method, eliminates the need to re-determine the size of the crystal blank for which the main vibration is less affected by spurious for each resonance frequency, and facilitates the improvement of the resonance characteristics of the crystal resonator. The purpose is to facilitate mass production.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の水晶振動子は、水晶振動子の振動部に用
いられる水晶板の、励起電極が形成されていない面のう
ち、少なくとも一つの面の粗さを主振動面よりも荒くし
たことを特徴とするものである。In order to achieve the above-mentioned object, the crystal resonator of the present invention is a crystal plate used for a vibrating part of a crystal resonator, of which the excitation electrode is not formed. It is characterized in that at least one surface is made rougher than the main vibration surface.
【0007】[0007]
【作用】上記のような構成とすることにより、スプリア
スを発生させる面は主振動を決定する面とは異なる面で
あるので、その表面を荒く荒くするという簡単な方法で
スプリアスの発生を効果的に抑えることができる。この
ため、各共振周波数ごとに主振動にスプリアスが影響し
にくい水晶ブランクの大きさを決定し直す必要がないた
め、水晶振動子の共振特性の向上を容易にでき、なおか
つその量産化も容易になる。With the above-described structure, the surface that generates spurious is different from the surface that determines the main vibration. Therefore, it is effective to generate spurious by a simple method of roughening the surface. Can be suppressed to For this reason, it is not necessary to re-determine the size of the crystal blank in which spurious is less likely to affect the main vibration for each resonance frequency, making it easy to improve the resonance characteristics of the crystal unit and also to mass-produce it. Become.
【0008】[0008]
(実施例1)以下、本発明の第1の実施例について、図
面を用いて詳しく説明する。図1(a)は本実施例にお
ける水晶振動子の内部の外観図である。この図におい
て、1は振動用水晶板、2は周辺部、3は励起電極、4
は保持部である。(Embodiment 1) Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1A is an external view of the inside of the crystal unit according to the present embodiment. In this figure, 1 is a vibrating crystal plate, 2 is a peripheral portion, 3 is an excitation electrode, 4
Is a holding unit.
【0009】本実施例の場合、振動用水晶板1は、12
MHz用のATカット水晶ブランクの、#4000仕上げ
によるラップを行った主振動面を、サンドブラスト用の
レジストで保護して、外形をサンドブラストによって2
mm×3mmに加工することによって主振動面以外の面の粗
さを主振動面よりも荒くした。このときの様子を、図1
(b)に示す。この図において、5はサンドブラスト用
のレジスト、6はサンドブラストの砥粒、7は補強用ガ
ラス板である。また、励起電極3は前記振動用水晶板1
の一組の主振動面上に、クロムを100Å、金を100
0Å真空蒸着して形成した。このようにして得られた振
動用水晶板を、導電ペーストによって保持部4に固定
し、図には示していないがケース中に真空封止して水晶
振動子とした。In the case of the present embodiment, the vibrating crystal plate 1 has 12
The main vibration surface of the AT-cut quartz crystal blank for MHz that has been wrapped with # 4000 finish is protected by a sandblasting resist, and the external shape is sandblasted to 2
By processing to mm × 3 mm, the roughness of the surfaces other than the main vibration surface was made rougher than that of the main vibration surface. The situation at this time is shown in FIG.
It shows in (b). In this figure, 5 is a resist for sandblasting, 6 is abrasive grains for sandblasting, and 7 is a reinforcing glass plate. The excitation electrode 3 is the vibrating crystal plate 1
100Å of chrome and 100 of gold on the main vibration surface
It was formed by vacuum vapor deposition. The vibrating crystal plate thus obtained was fixed to the holding portion 4 with a conductive paste, and was vacuum-sealed in a case (not shown) to obtain a crystal resonator.
【0010】このようにして得られた水晶振動子の共振
特性を、図1(c)に示す。また、比較のため、本実施
例と同じ形状であるが、ダイシングマシンによって外形
を加工したため、主振動面以外の面の粗さが荒くない従
来の水晶振動子の共振特性を、図1(d)に示す。これ
らの共振特性を比較すると、従来の水晶振動子の共振特
性には、主振動より高周波側にいくつかのスプリアスが
あるのがわかる。これに対し、本実施例による水晶振動
子の共振特性には、主振動以外の共振が見られず、主振
動面以外の面の粗さが主振動面よりも大きいためにスプ
リアスが抑制されている。The resonance characteristics of the crystal unit thus obtained are shown in FIG. 1 (c). In addition, for comparison, the resonance characteristics of a conventional crystal unit having the same shape as that of the present embodiment but the roughness of the surfaces other than the main vibration surface are not rough because the outer shape is processed by a dicing machine are shown in FIG. ). Comparing these resonance characteristics, it can be seen that in the resonance characteristics of the conventional crystal resonator, there are some spurs on the higher frequency side than the main vibration. On the other hand, in the resonance characteristics of the crystal unit according to the present example, resonance other than the main vibration is not seen, and spurious is suppressed because the roughness of the surfaces other than the main vibration surface is larger than that of the main vibration surface. There is.
【0011】(実施例2)以下、本発明の第2の実施例
について、図面を用いて詳しく説明する。図2(a)は
本実施例における水晶振動子の外観図である。この図に
おいて、図1と同じ番号は上で述べたものと同じもので
あるので、説明は省略する。(Second Embodiment) A second embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 2A is an external view of the crystal unit according to this embodiment. In this figure, the same reference numerals as those in FIG. 1 are the same as those described above, and the description thereof will be omitted.
【0012】本実施例の場合、振動用水晶板1は、多数
の12MHz用のATカット水晶ブランクの、#4000
仕上げによるラップを行った主振動面同士を、エレクト
ロンワックスで貼り合わせて柱状にし、その側面をサン
ドペーパー(#500)によって削り主振動面の形状が
2mm×3mmになるように加工することによって主振動面
以外の面の粗さを主振動面よりも荒くした。このときの
様子を、図2(b)に示す。この図において、8は接着
用のエレクトロンワックス、9はサンドペーパーであ
る。また、励起電極3は前記振動用水晶板1の一組の主
振動面上に、クロムを100Å、金を1000Å真空蒸
着して形成した。このようにして得られた振動用水晶板
を、導電ペーストによって保持部4に固定し、図には示
していないがケース中に真空封止して水晶振動子とし
た。In the case of the present embodiment, the vibrating crystal plate 1 is a large number of AT cut crystal blanks for 12 MHz, # 4000.
The main vibrating surfaces that have been wrapped by finishing are bonded together with electron wax to form a columnar shape, and the side surface is ground with sandpaper (# 500) so that the main vibrating surface has a shape of 2 mm x 3 mm. The roughness of the surfaces other than the vibration surface was made rougher than that of the main vibration surface. The state at this time is shown in FIG. In this figure, 8 is an electron wax for adhesion and 9 is a sandpaper. The excitation electrode 3 was formed by vacuum-depositing 100 l of chromium and 1000 l of gold on the main vibrating surface of the vibrating crystal plate 1 by vacuum vapor deposition. The vibrating crystal plate thus obtained was fixed to the holding portion 4 with a conductive paste, and was vacuum-sealed in a case (not shown) to obtain a crystal resonator.
【0013】このようにして得られた水晶振動子の共振
特性も、主振動以外の共振が見られず、主振動面以外の
面の粗さが主振動面よりも大きいためにスプリアスが抑
制されている。In the resonance characteristics of the crystal resonator thus obtained, resonance other than the main vibration is not observed, and spurious is suppressed because the roughness of the surfaces other than the main vibration surface is larger than that of the main vibration surface. ing.
【0014】(実施例3)以下、本発明の第3の実施例
について、図面を用いて詳しく説明する。図3(a)は
本実施例における水晶振動子の外観図である。この図に
おいて、図1と同じ番号は上で述べたものと同じもので
あるので、説明は省略する。(Embodiment 3) A third embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 3A is an external view of the crystal unit according to this embodiment. In this figure, the same reference numerals as those in FIG. 1 are the same as those described above, and the description thereof will be omitted.
【0015】本実施例の場合、振動用水晶板1は、12
MHz用のATカット水晶ブランクの、#1000仕上げ
によるラップを行った主振動面を、金属マスクで保護し
て、外形をサンドブラストによって2mm×3mmに加工
し、その後主振動面を研磨することによって主振動面以
外の面の粗さを主振動面よりも荒くした。このときの様
子を、図3(b)に示す。この図において、10は金属
マスクである。また、励起電極3は前記振動用水晶板1
の一組の主振動面上に、クロムを100Å、金を100
0Å真空蒸着して形成した。このようにして得られた振
動用水晶板を、導電ペーストによって保持部4に固定
し、図には示していないがケース中に真空封止して水晶
振動子とした。In the case of the present embodiment, the vibrating crystal plate 1 has 12
The main vibration surface of the AT-cut quartz blank for MHz that has been lapped with # 1000 finish is protected by a metal mask, the outer shape is processed by sandblasting to 2 mm × 3 mm, and then the main vibration surface is polished The roughness of the surfaces other than the vibration surface was made rougher than that of the main vibration surface. The state at this time is shown in FIG. In this figure, 10 is a metal mask. The excitation electrode 3 is the vibrating crystal plate 1
100Å of chrome and 100 of gold on the main vibration surface
It was formed by vacuum vapor deposition. The vibrating crystal plate thus obtained was fixed to the holding portion 4 with a conductive paste, and was vacuum-sealed in a case (not shown) to obtain a crystal resonator.
【0016】このようにして得られた水晶振動子の共振
特性も、主振動以外の共振が見られず、主振動面以外の
面の粗さが主振動面よりも大きいためにスプリアスが抑
制されている。With respect to the resonance characteristics of the crystal resonator thus obtained, resonance other than the main vibration is not observed, and spurious is suppressed because the roughness of the surfaces other than the main vibration surface is larger than that of the main vibration surface. ing.
【0017】[0017]
【発明の効果】以上の実施例からも明らかなように、本
発明の水晶振動子は、主振動に悪影響を与えるスプリア
スを発生させる面を主振動面よりも荒くするという非常
に簡便な方法によって、非常に効果的にスプリアスの発
生を抑えることができる。また、各共振周波数ごとに主
振動にスプリアスが影響しにくい水晶ブランクの大きさ
を決定し直す必要がない。このため、水晶振動子の共振
特性の向上が容易であり、なおかつその量産化も容易と
なるので、本発明の効果は非常に大きい。As is apparent from the above embodiments, the crystal resonator of the present invention is made by a very simple method in which the surface for generating spurious which adversely affects the main vibration is made rougher than the main vibration surface. , Can suppress spurious emission very effectively. Further, it is not necessary to redetermine the size of the crystal blank in which the spurious is less likely to affect the main vibration for each resonance frequency. Therefore, the resonance characteristics of the crystal unit can be easily improved, and the mass production thereof can be facilitated. Therefore, the effect of the present invention is very large.
【図1】(a)は第1の実施例における水晶振動子の内
部の外観図 (b)は第1の実施例の振動用水晶板の加工方法を示す
図 (c)は第1の実施例によって得られた水晶振動子の共
振特性図 (d)は第1の実施例と同じ形状の従来の水晶振動子の
共振特性図FIG. 1A is an external view of the inside of a crystal unit according to the first embodiment. FIG. 1B is a diagram showing a processing method of a vibrating crystal plate according to the first embodiment. FIG. Resonance characteristic diagram of the crystal unit obtained by the example (d) is a resonance characteristic diagram of the conventional crystal unit having the same shape as the first embodiment
【図2】(a)は第2の実施例における水晶振動子の外
観図 (b)は第2の実施例の振動用水晶板の加工方法を示す
図FIG. 2A is an external view of a crystal unit according to a second embodiment, and FIG. 2B is a diagram showing a method for processing a vibrating crystal plate according to the second embodiment.
【図3】(a)は第3の実施例における水晶振動子の外
観図 (b)は第3の実施例の振動用水晶板の加工方法を示す
図3A is an external view of a crystal unit according to a third embodiment, and FIG. 3B is a diagram showing a processing method of a vibrating crystal plate according to the third embodiment.
【図4】従来の水晶振動子の構造を示す図FIG. 4 is a diagram showing a structure of a conventional crystal unit.
1 振動用水晶板 2 周辺部 3 励起電極 4 保持部 5 レジスト 6 砥粒 7 補強用ガラス板 8 エレクトロンワックス 9 サンドペーパー 10 金属マスク 1 Vibration Quartz Plate 2 Peripheral Part 3 Excitation Electrode 4 Holding Part 5 Resist 6 Abrasive Grain 7 Reinforcing Glass Plate 8 Electron Wax 9 Sandpaper 10 Metal Mask
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 江田 和生 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kazuo Eda 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Claims (4)
の、主振動を励起するための面以外の面のうち、少なく
とも一つの面の粗さを主振動面よりも荒くしたことを特
徴とする水晶振動子。1. A crystal plate used for a vibrating portion of a crystal resonator, wherein at least one of the surfaces other than the surface for exciting the main vibration is made rougher than the main vibration surface. And a crystal unit.
の、主振動を励起するための面を保護材で覆い、主振動
を励起するための面以外の面のうち、少なくとも一つの
面の粗さを、砥粒によって主振動面よりも荒くしたこと
を特徴とする水晶振動子の製造方法。2. A quartz plate used for a vibrating portion of a quartz resonator, at least one surface of which is a surface other than the surface for exciting the main vibration, the surface for exciting the main vibration being covered with a protective material. The method for manufacturing a crystal unit is characterized in that the roughness of the crystal is made rougher than that of the main vibration surface by means of abrasive grains.
も2つ以上の水晶板の、主振動を励起するための面を互
いに接着し、その少なくとも一つの側面を、砥粒によっ
て主振動面よりも荒くしたことを特徴とする水晶振動子
の製造方法。3. A surface for exciting main vibration of at least two or more crystal plates used for a vibrating portion of a crystal resonator is adhered to each other, and at least one side surface of the crystal plate is separated from the main vibration surface by abrasive grains. A method for manufacturing a crystal unit, which is also characterized by roughening.
外形を砥粒によって加工した後に、主振動を励起するた
めの面を研磨することによって、主振動を励起するため
の面以外の面の粗さを主振動面よりも荒くしたことを特
徴とする水晶振動子の製造方法。4. A crystal plate used for a vibrating portion of a crystal resonator is machined with abrasive grains to polish the outer surface for exciting the main vibration, so that a surface other than the surface for exciting the main vibration is removed. A method for manufacturing a crystal unit, wherein the surface roughness is made rougher than that of the main vibrating surface.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33778093A JPH07202629A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Crystal oscillator and manufacture of the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33778093A JPH07202629A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Crystal oscillator and manufacture of the same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07202629A true JPH07202629A (en) | 1995-08-04 |
Family
ID=18311897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33778093A Pending JPH07202629A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Crystal oscillator and manufacture of the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07202629A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006194818A (en) * | 2005-01-17 | 2006-07-27 | Nec Tokin Corp | Tuning-fork type piezoelectric vibrating gyroscope and method for manufacturing the same |
JP2007189414A (en) * | 2006-01-12 | 2007-07-26 | Epson Toyocom Corp | Piezoelectric vibration piece and piezoelectric device |
JP2007189431A (en) * | 2006-01-12 | 2007-07-26 | Epson Toyocom Corp | Piezoelectric vibration piece and piezoelectric device |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP33778093A patent/JPH07202629A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006194818A (en) * | 2005-01-17 | 2006-07-27 | Nec Tokin Corp | Tuning-fork type piezoelectric vibrating gyroscope and method for manufacturing the same |
JP4671400B2 (en) * | 2005-01-17 | 2011-04-13 | Necトーキン株式会社 | Manufacturing method of tuning fork type piezoelectric vibration gyro |
JP2007189414A (en) * | 2006-01-12 | 2007-07-26 | Epson Toyocom Corp | Piezoelectric vibration piece and piezoelectric device |
JP2007189431A (en) * | 2006-01-12 | 2007-07-26 | Epson Toyocom Corp | Piezoelectric vibration piece and piezoelectric device |
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