JPH0719982A - Inspection method for force sensor - Google Patents

Inspection method for force sensor

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JPH0719982A
JPH0719982A JP5187332A JP18733293A JPH0719982A JP H0719982 A JPH0719982 A JP H0719982A JP 5187332 A JP5187332 A JP 5187332A JP 18733293 A JP18733293 A JP 18733293A JP H0719982 A JPH0719982 A JP H0719982A
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JP
Japan
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force sensor
load
force
center
posture
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JP5187332A
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Japanese (ja)
Inventor
Takami Kusaki
貴巳 草木
Tooru Kurenuma
榑沼  透
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Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Construction Machinery Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L25/00Testing or calibrating of apparatus for measuring force, torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency

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Abstract

PURPOSE:To judge the performance of a sensor by obtaining the offset quantity from the first load vector determined from the known mass and the center of gravity position in the first attitude and the first load data detected by the sensor, and obtaining the error between the second load vector determined likewise in the second attitude and the second load data subtracted with the offset quantity after detection. CONSTITUTION:A robot main body 1 fitted with a member 10 is set to one attitude, and the center of gravity position and the mass of the member 10 are known. A controller 6 calculates the load vector passing through the center of gravity position of the member 10 from the information, receives the load data detected by a force sensor 5, and determines the offset quantity of the sensor 5 from both data. The robot main body 1 is set to another attitude, the load vector is likewise calculated, and the previously determined offset quantity is subtracted from the load data detected by the sensor 5. The error between it and the load vector is obtained, and the error value is displayed on the display device 9a of an operation section 9. The detecting performance of the sensor 5 can be inspected by this magnitude.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は力センサの検査方法に関
し、特に、各種姿勢をとってバリ取り、ワークの曲面研
磨、曲面の倣い動作などを行う多自由度作業機械に適用
される位置と力の制御装置において、作業工具に加わる
力を検出する手段として設けられた力センサの検出性能
を診断するための検査方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting a force sensor, and more particularly to a position applied to a multi-degree-of-freedom working machine for taking deburring in various postures, polishing a curved surface of a work, and copying a curved surface. The present invention relates to an inspection method for diagnosing the detection performance of a force sensor provided as means for detecting a force applied to a work tool in a force control device.

【0002】[0002]

【従来の技術】バリ取り等の力を伴う作業を行う多自由
度作業機械(以下ロボットという)では、ロボットアー
ムの先部に形成した手首部に力センサを設け、さらにこ
の力センサを介して作業工具を取り付けている。力を伴
う作業を行うロボットの動作の制御には、位置と力に関
する制御指令を生成する制御装置が使用される。この位
置と力の制御装置では、前記力センサから作業工具に加
わる力に関する情報を得て、位置に関する検出データと
共に力に関する情報を用いて制御方程式に基づいて位
置、姿勢、力に関する制御指令を作成する。従って、力
に関する制御を正確に行うためには、力に関する情報を
生成する力センサの検出性能すなわちセンサ精度を高い
状態に保持することが要求される。
2. Description of the Related Art In a multi-degree-of-freedom work machine (hereinafter referred to as a robot) for performing work with a force such as deburring, a force sensor is provided on a wrist formed at the tip of a robot arm, and the force sensor Work tools are attached. A control device that generates a control command relating to position and force is used to control the operation of a robot that performs work involving force. In this position and force control device, information regarding the force applied to the work tool is obtained from the force sensor, and a control command regarding the position, posture, and force is created based on a control equation using the detected data regarding the position and the information regarding the force. To do. Therefore, in order to accurately control the force, it is required to maintain the detection performance of the force sensor that generates information on the force, that is, the sensor accuracy in a high state.

【0003】上記のごとく力制御に基づいて動作するロ
ボットでは、メンテナンス上、力センサの検出性能を確
認することが必要であり、従来ではその確認方法として
3つの方法が存在した。第1の方法は、製造現場におい
て人間の手で作業工具に荷重を加えて力センサによる力
およびモーメントの検出値を求め、検出性能を確認する
方法であり、第2の方法は、予め質量が分かっている重
りを作業工具の任意の位置につるして力センサによる検
出値を求めて力センサの検出性能を確認する方法であ
り、第3の方法は、センサメーカに検査を依頼し、力セ
ンサの検出性能を高精度に調べる方法である。
In the robot which operates based on force control as described above, it is necessary to confirm the detection performance of the force sensor for maintenance. Conventionally, there are three confirmation methods. The first method is a method in which a load is manually applied to a work tool at a manufacturing site to obtain detection values of force and moment by a force sensor, and the detection performance is confirmed. There is a method of confirming the detection performance of a force sensor by hanging a known weight on an arbitrary position of a work tool and obtaining a detection value by the force sensor. The third method is to request an inspection from a sensor maker and This is a method for accurately detecting the detection performance of.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前述の従来の各方法は
次のような問題を有する。第1の方法によれば、検査を
行う人間すなわち作業者の手で荷重を作用させるので、
作業者の感覚による主観的な判断となり、検査の精度と
しては不十分である。第2の方法によれば、重りが取付
けられた箇所と力センサにおける荷重検出基準点との間
の距離を正確に管理することができないので、モーメン
トに関する検査が精度的に不十分である。モーメントに
関しては、第1の方法と同様に人間の感覚で判定するこ
とになる。第3の方法によれば、力センサの各軸方向の
力とモーメントの検出性能に関して高い精度の情報を得
ることができるが、検出性能を確認するために時間や費
用を必要とし、実際上問題である。
The above-mentioned conventional methods have the following problems. According to the first method, since the load is applied by the hand of the person who performs the inspection, that is, the operator,
This is a subjective judgment based on the operator's sense, which is insufficient as inspection accuracy. According to the second method, the distance between the place where the weight is attached and the load detection reference point in the force sensor cannot be managed accurately, so the inspection regarding the moment is insufficient in accuracy. As for the moment, it is determined by the human sense as in the first method. According to the third method, it is possible to obtain highly accurate information regarding the detection performance of the force and moment in each axial direction of the force sensor, but it takes time and cost to confirm the detection performance, which is a practical problem. Is.

【0005】本発明の目的は、製造現場において簡単で
かつ高精度に検出性能を検査することができる力センサ
の検査方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a force sensor inspection method capable of inspecting the detection performance easily and highly accurately at a manufacturing site.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明に係る力センサの
検査方法は、力センサを介して作業工具を取り付けた本
体部と、少なくとも力センサの検出信号を入力して位置
と力の制御を実行するために必要な演算を行うと共に制
御指令を生成する制御手段とを含み、制御手段の制御に
基づき本体部に任意の姿勢をとらせ、作業工具を任意の
位置に移動させる多自由度作業機械に適用される方法で
あり、力センサに前記作業工具の代わりに質量と重心位
置が知られた部材を取付けると共に制御手段の記憶装置
に質量と重心位置に関するデータを格納し、本体部に第
1の姿勢をとらせ、この姿勢で、質量と重心位置に関す
るデータを用いて第1の荷重ベクトルを計算すると共に
力センサで第1の荷重データを検出し、第1荷重ベクト
ルと第1荷重データでオフセット量を求め、次いで本体
部に第2の姿勢をとらせ、この姿勢で、質量と重心位置
に関するデータを用いて第2の荷重ベクトルを計算する
と共に力センサで第2の荷重データを検出し、第2の荷
重データからオフセット量を減算し、第2荷重ベクトル
と減算が行われた第2荷重データとの誤差を求めて力セ
ンサの検出性能を判定するようにしたことを特徴とす
る。またオフセット量が最初から分かっている場合に
は、1つの姿勢をとるだけで前記の誤差を求めることも
できる。
SUMMARY OF THE INVENTION A force sensor inspection method according to the present invention controls a position and force by inputting at least a detection signal of the force sensor and a main body portion to which a work tool is attached via the force sensor. A multi-degree-of-freedom operation that includes a control unit that performs a calculation necessary for execution and generates a control command, and causes the main body unit to take an arbitrary posture under the control of the control unit to move the work tool to an arbitrary position. This is a method applied to a machine, in which a member whose mass and center of gravity position are known is attached to the force sensor instead of the work tool, and data relating to the position of mass and center of gravity is stored in the storage device of the control means, and the main body part is In this posture, the first load vector is calculated by using the data regarding the mass and the position of the center of gravity, and the first load data is detected by the force sensor, and the first load vector and the first load data are taken. To obtain the offset amount, and then to let the main body take the second posture, and in this posture, calculate the second load vector using the data regarding the mass and the position of the center of gravity, and detect the second load data with the force sensor. Then, the offset amount is subtracted from the second load data, and the detection performance of the force sensor is determined by obtaining the error between the second load vector and the subtracted second load data. . Further, when the offset amount is known from the beginning, the error can be obtained by taking only one posture.

【0007】[0007]

【作用】本発明では、ロボット本体に設けられた力セン
サに対して、質量と重心位置の分かっている検査用の部
材を取付け、この状態でロボット本体に2つの姿勢をと
らせ、力センサの検出性能を検査することが可能とな
る。第1の姿勢では、計算で求めた荷重ベクトルと力セ
ンサで検出された荷重データとに基づいてまず力センサ
の有する零点オフセット量を求める。第2の姿勢では、
同様にして計算で求めた荷重ベクトルと力センサで検出
された荷重データとに基づいて、さらに前記の零点オフ
セット量を利用して計算で得られる荷重ベクトルと力セ
ンサで検出される最終的な力データとの間の誤差を求
め、この誤差の大きさ程度によって力センサの検出性能
を判定する。
In the present invention, an inspection member whose mass and center of gravity are known is attached to the force sensor provided on the robot main body, and in this state, the robot main body is allowed to assume two postures. It is possible to check the detection performance. In the first posture, the zero point offset amount of the force sensor is first obtained based on the load vector calculated and the load data detected by the force sensor. In the second position,
Similarly, based on the load vector calculated by the calculation and the load data detected by the force sensor, the load vector obtained by the calculation using the above zero offset amount and the final force detected by the force sensor. An error from the data is obtained, and the detection performance of the force sensor is determined based on the magnitude of this error.

【0008】[0008]

【実施例】以下に、本発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

【0009】図1は、力センサが適用される力制御ロボ
ットの全体的な構成を示す。図1で1はロボット本体で
あり、複数の関節部を有するアーム2が基台3に取り付
けられる。各関節部にはモータ等の駆動装置が配設さ
れ、各関節部は所定方向に可動する機能を有する。アー
ム2の各関節部の可動機能により、アーム全体の姿勢は
作業上必要な姿勢に変化し、アーム2の先部は作業上必
要とされる位置に移動する。ロボット本体1は少なくと
も2つ以上の各種の姿勢をとる。アーム2の先端のリス
ト部4には6軸の力センサ5が取り付けられる。力セン
サ5の先には、通常の作業時、ワーク(図示せず)に対
し研削作業等を行う作業工具(図示せず)が取り付けら
れる。6はコントローラであり、コントローラ6は例え
ばコンピュータで構成される。コントローラ6は、位置
と力の制御のための予め設定された演算式等を計算する
制御プログラムをその記憶装置に備えており、当該制御
プログラムと与えられた作業条件に関するパラメータと
教示内容を用いて、ロボット本体1の動作を制御するも
のである。
FIG. 1 shows the overall structure of a force control robot to which a force sensor is applied. In FIG. 1, reference numeral 1 is a robot body, and an arm 2 having a plurality of joints is attached to a base 3. A drive device such as a motor is arranged in each joint, and each joint has a function of moving in a predetermined direction. Due to the movable function of each joint portion of the arm 2, the posture of the entire arm changes to a posture required for work, and the tip of the arm 2 moves to a position required for work. The robot body 1 takes at least two or more various postures. A 6-axis force sensor 5 is attached to the wrist portion 4 at the tip of the arm 2. At the tip of the force sensor 5, a work tool (not shown) for performing a grinding work or the like on a work (not shown) during normal work is attached. Reference numeral 6 denotes a controller, and the controller 6 is composed of, for example, a computer. The controller 6 has a control program for calculating preset arithmetic expressions for controlling position and force in its storage device, and uses the control program and parameters and teaching contents relating to given working conditions. , Which controls the operation of the robot body 1.

【0010】コントローラ6は、信号ライン7で、ロボ
ット本体1に対してその動作を制御するための指令を与
える。またコントローラ6は、力センサ5で検出された
力およびモーメントに関する信号、すなわち力信号8が
与えられる。9は、コントローラ6に対し、実行すべき
作業に関する諸条件を付与し、そのメモリにセットする
ための教示用操作器である。操作器9は、テンキーおよ
び各種の指令を与えるための操作スイッチと、表示装置
9aとを有する。この操作器9によって、例えば、研削
動作の教示、研削作業条件の設定等の教示が行われる。
The controller 6 gives a command for controlling its operation to the robot body 1 through the signal line 7. Further, the controller 6 is provided with a signal relating to the force and moment detected by the force sensor 5, that is, a force signal 8. Reference numeral 9 is a teaching operation device for giving various conditions regarding work to be executed to the controller 6 and setting the conditions in the memory. The operation device 9 has a ten-key pad, operation switches for giving various commands, and a display device 9a. With this operating device 9, for example, teaching of a grinding operation, setting of grinding work conditions, and the like are performed.

【0011】図1に示される構成では、ロボット本体1
のメンテナンス上の必要性から力センサ5の検出性能を
確認する目的で、力センサ5の先には質量と重心位置が
予め分かっている部材10をボルト等で固着して取り付
けられている。この部材10は、力センサの性能を検査
するための部材である。図1に示された状態にて、本発
明に係る力センサの検査方法が次のように行われる。
In the configuration shown in FIG. 1, the robot body 1
For the purpose of confirming the detection performance of the force sensor 5 from the need for maintenance, a member 10 whose mass and center of gravity position are known in advance is fixed to the tip of the force sensor 5 with bolts or the like. The member 10 is a member for inspecting the performance of the force sensor. In the state shown in FIG. 1, the force sensor inspection method according to the present invention is performed as follows.

【0012】力センサ5の検査方法を図2を参照して説
明する。図2(A)に示すように、力センサ5に部材1
0を取り付けたロボット本体1において任意の1つの姿
勢をとらせる。図中、Pは部材10の重心位置を意味
し、Oは力センサ5の荷重検出基準点を意味する。重心
位置Pおよび荷重検出基準点Oの各位置は予め分かって
いる。図2(A)に示された第1の姿勢をロボット本体
1がとる場合において、コントローラ6は、その記憶装
置に格納された予め分かっている部材10の質量と重心
位置Pの位置に関する情報を用いて部材10の重心位置
Pを通る荷重ベクトルL1を計算する。ここで荷重ベク
トルとは、物体の質量によってその重心位置に作用する
鉛直方向の力ベクトルの意味である。次いでコントロー
ラ6は、力センサ5の荷重検出基準点Oで検出される部
材10の荷重に関するデータ(荷重データまたは力デー
タ)を力センサ5から入力し、当該荷重データと上記計
算で求めた荷重ベクトルとの差を求め、これによって力
センサ5の零点でのオフセット量を求める。求められた
オフセット量は、コントローラ6の記憶装置に格納され
る。
A method of inspecting the force sensor 5 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 2A, the force sensor 5 has a member 1
The robot body 1 to which 0 is attached takes one arbitrary posture. In the figure, P means the position of the center of gravity of the member 10, and O means the load detection reference point of the force sensor 5. The positions of the center of gravity P and the load detection reference point O are known in advance. When the robot body 1 takes the first posture shown in FIG. 2 (A), the controller 6 stores the information about the mass of the member 10 and the position of the center of gravity P known in advance stored in the storage device. The load vector L1 passing through the position P of the center of gravity of the member 10 is calculated using the above. Here, the load vector means a vertical force vector that acts on the center of gravity of the object due to its mass. Next, the controller 6 inputs from the force sensor 5 data relating to the load of the member 10 detected at the load detection reference point O of the force sensor 5 (load data or force data), and the load data and the load vector obtained by the above calculation. And the offset amount at the zero point of the force sensor 5 is obtained. The calculated offset amount is stored in the storage device of the controller 6.

【0013】一般的に力センサ5では零点オフセットが
存在するので、力センサ5の検出性能を検査するために
は、上記のごとく第1の姿勢をとって当該零点オフセッ
ト量を求めておくことが必要である。
Generally, the force sensor 5 has a zero-point offset. Therefore, in order to inspect the detection performance of the force sensor 5, it is necessary to take the first posture and obtain the zero-point offset amount in advance as described above. is necessary.

【0014】次に図2(B)に示すように、ロボット本
体1の姿勢を変更して第2の姿勢をとらせる。第2の姿
勢に関する位置データ等は、予めコントローラ6の記憶
装置に格納されており、コントローラ6の側では分かっ
ているものとする。ロボット本体1が第2の姿勢をとる
場合においても、第1の姿勢の場合と同様にして、部材
10の重心位置Pを通る荷重ベクトルL2を計算する。
すなわち、部材10の質量と重心位置が分かっているの
で、これらのデータとロボット本体1の第2の姿勢に関
するデータとを用いることにより、図2(B)に示すご
とく重心位置Pを通る荷重ベクトルL2を求めることが
できる。一方、第2の姿勢において、力センサ5で検出
される荷重データを入力し、この荷重データから第1の
姿勢で求められた零点オフセット量を差し引くと、ロボ
ット本体1の姿勢が第1の姿勢から第2の姿勢に変わっ
たことにより発生する荷重データL2′が得られる。
Next, as shown in FIG. 2 (B), the posture of the robot body 1 is changed to take the second posture. It is assumed that the position data and the like regarding the second attitude are stored in advance in the storage device of the controller 6 and are known by the controller 6 side. Even when the robot body 1 takes the second posture, the load vector L2 passing through the center of gravity P of the member 10 is calculated in the same manner as in the first posture.
That is, since the mass and the position of the center of gravity of the member 10 are known, by using these data and the data regarding the second posture of the robot body 1, the load vector passing through the position of the center of gravity P as shown in FIG. 2B. L2 can be obtained. On the other hand, when the load data detected by the force sensor 5 is input in the second posture and the zero point offset amount obtained in the first posture is subtracted from this load data, the posture of the robot body 1 becomes the first posture. The load data L2 'generated by changing from the second posture to the second posture is obtained.

【0015】ここで、力センサ5の力検出性能が劣化す
ることなく設計通りの検出性能が保持されている場合に
は、計算で求められた荷重ベクトルL2と荷重データL
2′とは一致しているはずである。また力センサの検出
性能が劣化していると、荷重ベクトルL2と荷重データ
L2′との間には誤差が生じる。従って、荷重ベクトル
L2と荷重データL2′との誤差を求め、その大きさを
調べることによって力センサ5の検出性能を検査するこ
とができる。誤差の大きさの程度に応じて力センサ5の
故障を判断することができる。一般的に、求められた誤
差の数値は、操作器9の表示装置9aの画面に出力さ
れ、表示される。
Here, when the force detection performance of the force sensor 5 does not deteriorate and the detection performance as designed is maintained, the load vector L2 and the load data L calculated are obtained.
It should match 2 '. Further, when the detection performance of the force sensor is deteriorated, an error occurs between the load vector L2 and the load data L2 '. Therefore, the detection performance of the force sensor 5 can be inspected by obtaining the error between the load vector L2 and the load data L2 'and checking the magnitude thereof. The failure of the force sensor 5 can be determined according to the magnitude of the error. In general, the obtained numerical value of the error is output and displayed on the screen of the display device 9a of the operating device 9.

【0016】前記実施例では、最初に第1の姿勢をとっ
て力センサ5の零点オフセット量を求めるようにした
が、零点オフセット量が予め分かっているときには、第
1の姿勢に関する工程を省略することができるのは勿論
である。
In the above-described embodiment, the zero attitude offset amount of the force sensor 5 is first obtained by taking the first attitude, but when the zero attitude offset amount is known in advance, the steps relating to the first attitude are omitted. Of course you can.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、力制御ロボットの力センサの検出性能の良否に関
して、製造現場において、作業者自身が簡単に、短時間
に、かつ高い精度で検査することができ、さらには力セ
ンサの故障を判定することもできる。
As is clear from the above description, according to the present invention, regarding the quality of the detection performance of the force sensor of the force control robot, the worker himself / herself can easily, in a short time, and highly accurately at the manufacturing site. Can be inspected and even a failure of the force sensor can be determined.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】力センサが適用された力制御ロボットの一例を
示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an example of a force control robot to which a force sensor is applied.

【図2】力センサの検査方法を説明するための図であ
る。
FIG. 2 is a diagram for explaining an inspection method of a force sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ロボット本体 2 アーム 5 力センサ 6 コントローラ 9 教示用操作器 10 力センサを検査するための部材 1 Robot Main Body 2 Arm 5 Force Sensor 6 Controller 9 Teaching Operator 10 Member for Inspecting Force Sensor

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 力センサを介して作業工具を取り付けた
本体部と、少なくとも前記力センサの検出信号を入力し
て位置と力の制御を実行するために必要な演算を行うと
共に制御指令を生成する制御手段とを含み、前記制御手
段の制御に基づき前記本体部に任意の姿勢をとらせ、前
記作業工具を任意の位置に移動させる多自由度作業機械
に適用される前記力センサの検査方法であり、 前記力センサに前記作業工具の代わりに質量と重心位置
が知られた部材を取付けると共に前記制御手段の記憶装
置に前記質量と前記重心位置に関するデータを格納し、 前記本体部に第1の姿勢をとらせ、この姿勢で、前記質
量と前記重心位置に関するデータを用いて第1の荷重ベ
クトルを計算すると共に前記力センサで第1の荷重デー
タを検出し、前記第1荷重ベクトルと前記第1荷重デー
タでオフセット量を求め、 前記本体部に第2の姿勢をとらせ、この姿勢で、前記質
量と前記重心位置に関するデータを用いて第2の荷重ベ
クトルを計算すると共に前記力センサで第2の荷重デー
タを検出し、前記第2の荷重データから前記オフセット
量を減算し、前記第2荷重ベクトルと前記減算が行われ
た前記第2荷重データとの誤差を求めて前記力センサの
検出性能を判定するようにしたことを特徴とする力セン
サの検査方法。
1. A body part to which a work tool is attached via a force sensor, and at least a detection signal of the force sensor is input to perform a calculation necessary to execute position and force control and generate a control command. And a control means for controlling the force sensor according to the present invention, wherein the force sensor is applied to a multi-degree-of-freedom work machine that moves the work tool to an arbitrary position by causing the main body portion to assume an arbitrary posture under the control of the control means. A member whose mass and center of gravity position are known is attached to the force sensor instead of the work tool, and data relating to the mass and center of gravity position is stored in a storage device of the control means, In this posture, the first load vector is calculated by using the data relating to the mass and the position of the center of gravity, and the first load data is detected by the force sensor. The offset amount is obtained from the cutout and the first load data, the main body portion is set to the second posture, and in this posture, the second load vector is calculated by using the data regarding the mass and the center of gravity position. The force sensor detects the second load data, subtracts the offset amount from the second load data, obtains an error between the second load vector and the subtracted second load data, and calculates the error. An inspection method for a force sensor, characterized in that the detection performance of the force sensor is determined.
【請求項2】 力センサを介して作業工具を取り付けた
本体部と、少なくとも前記力センサの検出信号を入力し
て位置と力の制御を実行するために必要な演算を行うと
共に制御指令を生成する制御手段とを含み、前記制御手
段の制御に基づき前記本体部に任意の姿勢をとらせ、前
記作業工具を任意の位置に移動させる多自由度作業機械
に適用される前記力センサの検査方法であり、 質量と重心位置が知られた部材を利用し、前記本体部に
任意の姿勢をとらせ、この姿勢で、前記質量と前記重心
位置に関するデータを用いて荷重ベクトルを計算すると
共に前記力センサで荷重データを検出し、前記荷重ベク
トルと前記荷重データの誤差を求めて前記力センサの検
出性能を判定するようにしたことを特徴とする力センサ
の検査方法。
2. A body part to which a work tool is attached via a force sensor, and at least a detection signal of the force sensor is inputted to perform a calculation necessary for executing position and force control and generate a control command. And a control means for controlling the force sensor according to the present invention, wherein the force sensor is applied to a multi-degree-of-freedom work machine that moves the work tool to an arbitrary position by causing the main body portion to assume an arbitrary posture under the control of the control means. Using a member whose mass and center of gravity position are known, the main body part is allowed to assume an arbitrary posture, and in this posture, the load vector is calculated using the data relating to the mass and the center of gravity position, and the force A method of inspecting a force sensor, wherein load data is detected by a sensor, and an error between the load vector and the load data is obtained to determine the detection performance of the force sensor.
JP5187332A 1993-06-30 1993-06-30 Inspection method for force sensor Pending JPH0719982A (en)

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