JPH07198097A - Gas cylinder valve - Google Patents
Gas cylinder valveInfo
- Publication number
- JPH07198097A JPH07198097A JP34989793A JP34989793A JPH07198097A JP H07198097 A JPH07198097 A JP H07198097A JP 34989793 A JP34989793 A JP 34989793A JP 34989793 A JP34989793 A JP 34989793A JP H07198097 A JPH07198097 A JP H07198097A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- oxygen
- oxygen scavenger
- hydrogen chloride
- container valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、腐食性ガス用ガスボン
ベ容器に用いる容器弁に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a container valve used for a gas cylinder container for corrosive gas.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、ＬＳＩや超ＬＳＩ等の半導体製
造においては、化学薬品等の溶液中で処理を行うドライ
プロセスが主流となっている。例えば、シリコンウエハ
のドライエッチング工程においては、ドライエッチング
剤として塩化水素ガスが使用されている。この塩化水素
を例えば商品として販売する場合には、通常は塩化水素
ガスを濃硫酸を用いて乾燥して水分を除去した後、圧縮
して液化塩化水素とし、これを貯槽に貯え、この貯槽か
ら随時例えばステンレス製のガスボンベ容器に液化塩化
水素を詰め込むようにしている。2. Description of the Related Art For example, in the manufacture of semiconductors such as LSI and VLSI, a dry process in which treatment is carried out in a solution of a chemical or the like has become mainstream. For example, in the dry etching process of silicon wafers, hydrogen chloride gas is used as a dry etching agent. When this hydrogen chloride is sold as a product, for example, hydrogen chloride gas is usually dried using concentrated sulfuric acid to remove water, and then compressed into liquefied hydrogen chloride, which is stored in a storage tank and then stored from this storage tank. At any time, for example, a gas cylinder container made of stainless steel is filled with liquefied hydrogen chloride.
【０００３】ここで塩化水素は水分の存在下でステンレ
スと反応し、従ってステンレス製のガスボンベ容器内部
を腐食させることが知られているため、塩化水素等の腐
食性ガスをガスボンベ容器内に充填するにあたっては、
容器内部を乾燥し、次に真空引きを行って、容器内にお
ける水分、酸素等の腐食条件を可能な限り除いてから行
われている。Here, it is known that hydrogen chloride reacts with stainless steel in the presence of water, and thus corrodes the inside of a stainless steel gas cylinder container. Therefore, a corrosive gas such as hydrogen chloride is filled in the gas cylinder container. On the occasion,
The inside of the container is dried and then vacuumed to remove corrosion conditions such as moisture and oxygen in the container as much as possible.
【０００４】このようにして、塩化水素をガスボンベ容
器内に充填した後、アウトレットキャップを取り付ける
が、この際容器弁内に存在する塩化水素を例えば窒素や
乾燥空気により置換することにより除去している。In this way, after filling the gas cylinder container with hydrogen chloride, an outlet cap is attached. At this time, hydrogen chloride existing in the container valve is removed by replacing it with nitrogen or dry air, for example. .
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら上述
のガス置換を完全に行うことは困難であるため、容器弁
内に塩化水素ガスが残存する。従って塩化水素ガスを充
填したガスボンベ容器を商品として出荷し、これを消費
者が使用する段階で容器弁内の塩化水素ガスが周囲に拡
散し、人体や周辺環境に悪影響を与えるという問題があ
った。However, since it is difficult to completely perform the above gas replacement, hydrogen chloride gas remains in the container valve. Therefore, there is a problem in that a gas cylinder container filled with hydrogen chloride gas is shipped as a product, and when the consumer uses it, the hydrogen chloride gas in the container valve diffuses to the surroundings, adversely affecting the human body and the surrounding environment. .
【０００６】またアウトレットキャップを取り付ける際
には大気が容器弁内に侵入してしまうが、この大気中に
は水分及び酸素が含まれている。ここで塩化水素ガスは
吸水性の強いガスであるため、塩化水素ガスと大気とが
接触すると、塩化水素ガスは大気中の水分を吸収し、塩
酸ミストとなって飛散し、上述と同様の問題を生じてい
た。また容器弁内に酸素が存在すると、水分との共存で
容器弁が腐食するという問題があった。At the time of attaching the outlet cap, the atmospheric air enters the container valve, and the atmospheric air contains water and oxygen. Here, since hydrogen chloride gas is a highly water-absorbing gas, when the hydrogen chloride gas comes into contact with the atmosphere, the hydrogen chloride gas absorbs moisture in the atmosphere and scatters as hydrochloric acid mist, causing the same problem as described above. Was occurring. Further, when oxygen is present in the container valve, there is a problem that the container valve corrodes due to coexistence with water.
【０００７】さらに大気中の水分が原因となって、常温
下においてステンレス製の容器弁１１の内部が腐食する
という問題があった。この腐食は以下に示す化学式に従
って進行する。即ち、水分がステンレス中の鉄の表面上
に水和して薄い皮膜を形成すると電子（ｅ- ）を放出し
（（１）式）、一方、塩化水素が水に吸収された場合は
ほぼ完全に電離してプロトン（Ｈ+ ）を生ずる。そして
このプロトンが先に放出された電子と反応し水素ガスを
生成し（（２）式）、一方、電離した塩化物イオン（Ｃ
ｌ- ）は皮膜と反応して塩化第一鉄を不純物として生成
する（（３）式）。Further, there is a problem that the inside of the container valve 11 made of stainless steel is corroded at room temperature due to moisture in the atmosphere. This corrosion proceeds according to the chemical formula shown below. That is, when water hydrates on the surface of iron in stainless steel to form a thin film, electrons (e − ) are released (Equation (1)), while when hydrogen chloride is absorbed by water, it is almost complete. To produce a proton (H + ). This proton reacts with the previously released electron to generate hydrogen gas (equation (2)), while the ionized chloride ion (C
l − ) reacts with the film to produce ferrous chloride as an impurity (equation (3)).
【０００８】 Ｆｅ＋ｎＨ2 Ｏ → Ｆｅ2+・ｎＨ2 Ｏ＋２ｅ- … （１） ２ｅ- ＋２Ｈ+ → Ｈ2 ↑ …（２） Ｆｅ2+・ｎＨ2 Ｏ＋２Ｃｌ- →ＦｅＣｌ2 ＋ｎＨ2 ０…（３） 本発明は以上のような事情に基づいてなされたものであ
り、その目的は、ガスボンベ容器の容器弁内に残存する
腐食性ガス及び酸素ガス等を効果的に除去するガスボン
ベ容器弁を提供することにある。[0008] Fe + nH 2 O → Fe 2+ · nH 2 O + 2e - ... (1) 2e - + 2H + → H 2 ↑ ... (2) Fe 2+ · nH 2 O + 2Cl - → FeCl 2 + nH 2 0 ... (3) Books The invention has been made based on the above circumstances, and an object thereof is to provide a gas cylinder container valve for effectively removing corrosive gas, oxygen gas and the like remaining in the container valve of the gas cylinder container. is there.
【０００９】[0009]
【課題を解決するため手段】請求項１の発明は、腐食性
ガス用ガスボンベ容器に用いる容器弁において、当該容
器弁のガス流出口の内部空間と接するように、脱酸素剤
を設けたことを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, in a container valve used for a gas cylinder container for corrosive gas, an oxygen scavenger is provided so as to come into contact with an internal space of a gas outlet of the container valve. Characterize.
【００１０】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、脱酸素剤は、脱酸素剤成分を、ガス透過度が高くか
つ透湿度が低い材質からなる脱酸素剤包材に充填してな
ることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the oxygen scavenger is obtained by filling the oxygen scavenger component into a oxygen absorber packaging material made of a material having a high gas permeability and a low moisture permeability. It is characterized by
【００１１】請求項３の発明は、腐食性ガス用ガスボン
ベ容器に用いる容器弁において、脱酸素剤成分を混練し
た樹脂を、当該容器弁のガス流出口の内部空間と接する
ように設けたことを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, in a container valve used for a gas cylinder container for corrosive gas, a resin in which a deoxidizer component is kneaded is provided so as to come into contact with an internal space of a gas outlet of the container valve. Characterize.
【００１２】請求項４の発明は、腐食性ガス用ガスボン
ベ容器に用いる容器弁において、当該容器弁のガス流出
口の内部空間と接するように、脱酸素剤及び乾燥剤を設
けたことを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, in a container valve used for a gas cylinder container for corrosive gas, a deoxidizer and a desiccant are provided so as to be in contact with the internal space of the gas outlet of the container valve. To do.
【００１３】[0013]
【作用】請求項１記載の発明では、容器弁内に残存する
腐食性ガス例えば塩化水素ガスや酸素ガスは、例えば鉄
系脱酸素剤からなる脱酸素剤と反応する。即ち塩化水素
ガスは脱酸素剤に含まれる水分に溶解し、ほぼ完全に電
離してプロトンと塩素イオンとして存在し、この塩素イ
オンは脱酸素剤の成分の一つである鉄粉と反応して塩化
第一鉄を生成する。また酸素ガスは脱酸素剤の鉄粉との
反応により水酸化鉄を生成する。従ってこれらのガスは
脱酸素剤との反応により消費されて除去される。According to the first aspect of the invention, the corrosive gas remaining in the container valve, such as hydrogen chloride gas or oxygen gas, reacts with the oxygen scavenger made of, for example, an iron-based oxygen scavenger. That is, hydrogen chloride gas dissolves in the water contained in the oxygen scavenger, ionizes almost completely and exists as protons and chlorine ions, and these chlorine ions react with iron powder, which is one of the components of the oxygen scavenger. Produces ferrous chloride. Further, the oxygen gas produces iron hydroxide by the reaction with the iron powder of the oxygen scavenger. Therefore, these gases are consumed and removed by the reaction with the oxygen scavenger.
【００１４】また請求項２記載の発明は、容器弁内に残
存する塩化水素ガスや酸素ガスはガス透過度の高い脱酸
素剤包材を透過して脱酸素剤成分と反応するため、これ
により除去されると共に、脱酸素剤包材は透湿度が低い
ため、これらのガスと脱酸素剤成分との反応生成物が脱
酸素剤包材から透過して容器弁内に流出することが抑え
られる。According to the second aspect of the present invention, hydrogen chloride gas and oxygen gas remaining in the container valve pass through the oxygen absorber packaging material having a high gas permeability and react with the oxygen absorber component. In addition to being removed, since the oxygen scavenger packaging material has low moisture permeability, it is possible to prevent the reaction products of these gases and the oxygen scavenger components from permeating from the oxygen scavenger packaging material and flowing out into the container valve. .
【００１５】さらに請求項３記載の発明では、容器弁内
に残存する塩化水素ガスや酸素ガスはガス透過度の高い
樹脂に入り込み、この樹脂に分散する脱酸素剤成分と反
応するため、これにより除去される。また樹脂は透湿度
が低いため、これらのガスと脱酸素剤成分との反応生成
物が樹脂から容器弁内に流出することが抑えられる。Further, in the invention according to claim 3, hydrogen chloride gas and oxygen gas remaining in the container valve enter into the resin having a high gas permeability and react with the oxygen scavenger component dispersed in the resin. To be removed. Further, since the resin has a low moisture permeability, the reaction products of these gases and the oxygen scavenger components are prevented from flowing out of the resin into the container valve.
【００１６】さらにまた請求項４記載の発明では、容器
弁内に侵入した大気中に含まれる水分を乾燥剤が吸収し
て除去すると共に、容器弁内に残存する塩化水素ガスや
酸素ガスは脱酸素剤により除去される。Further, in the invention of claim 4, the desiccant absorbs and removes the moisture contained in the atmosphere that has entered the container valve, and the hydrogen chloride gas and oxygen gas remaining in the container valve are removed. It is removed by oxygen.
【００１７】[0017]
【実施例】本発明は、脱酸素剤を用いてガスボンベ容器
の容器弁内部に残存する腐食性ガス成分等を除去するも
のである。EXAMPLE The present invention uses an oxygen scavenger to remove corrosive gas components and the like remaining inside the container valve of a gas cylinder container.
【００１８】脱酸素剤例えば鉄脱酸素剤は、鉄粉、例え
ば塩化ナトリウムからなる塩化物、水、例えばゼオライ
トからなる保水剤を混合してなる脱酸素剤成分を、脱酸
素剤包材に充填して構成されるが、脱酸素剤としては、
鉄系脱酸素剤以外にもアスコルビン酸系脱酸素剤等に代
表される例えば食品等の防かび用に用いられる脱酸素剤
の他、単に還元性をもつ物質や、活性炭等の吸着性能を
有する物質を用いてもよい。An oxygen scavenger, such as an iron oxygen scavenger, is filled with an oxygen scavenger component obtained by mixing iron powder, for example, a chloride made of sodium chloride, and water, for example, a water retention agent made of zeolite. However, as an oxygen scavenger,
In addition to iron-based oxygen scavengers, ascorbic acid-based oxygen scavengers and other oxygen scavengers used for the prevention of mold such as food, etc. A substance may be used.
【００１９】また脱酸素剤包材は、ガス透過度が大き
く、かつ透湿度（水分透過度）が小さい材質、即ち酸素
ガスの透過度が１００ｃｃ／ｍ2 ｈｒ−ａｔｍ／２５μ
ｍ以上であり、かつ透湿度が１０００ｇ／ｍ2 −２４ｈ
ｒ／２５μｍ以下である材質、例えば２軸延伸ポリプロ
ピレン（ＯＰＰ）等を用いることが好ましい。腐食性ガ
ス例えば塩化水素ガスや酸素ガスを速やかに脱酸素剤包
材内部へ取り入れると共に、後述するこれらのガスと脱
酸素剤成分との反応により生成された、塩酸や水、水酸
化鉄や塩化鉄が脱酸素剤包材から流出することを防ぐた
めである。なお脱酸素剤包材として用いることができる
材質を表１に掲げる。The oxygen scavenger packaging material has a high gas permeability and a low moisture permeability (moisture permeability), that is, an oxygen gas permeability of 100 cc / m 2 hr-atm / 25 μm.
m or more and water vapor transmission rate is 1000 g / m 2 -24 h
It is preferable to use a material having a r / 25 μm or less, such as biaxially oriented polypropylene (OPP). A corrosive gas such as hydrogen chloride gas or oxygen gas is promptly taken into the interior of the oxygen absorber packaging material, and hydrochloric acid, water, iron hydroxide or chloride produced by the reaction between these gases and the oxygen absorber component described later is generated. This is to prevent iron from flowing out of the oxygen absorber packaging material. The materials that can be used as the oxygen absorber packaging material are listed in Table 1.
【００２０】[0020]
【表１】 このように構成された脱酸素剤は、例えば図１に示すよ
うに、塩化水素ガスを充填したガスボンベ容器の容器弁
のガス流出口付近に設けられる。即ち、図１にガスボン
ベ容器の容器弁部分の断面図を示すが、図中１はガスボ
ンベ容器、２は容器弁である。この容器弁２は、ガス流
出口２２を備えた容器弁本体２１と、ハンドル３１に取
り付けられたケレップ３２とから構成され、ガス流出口
２２にはアウトレットキャップ２３が配設されている。[Table 1] The oxygen scavenger thus configured is provided near the gas outlet of the container valve of the gas cylinder container filled with hydrogen chloride gas, as shown in FIG. 1, for example. That is, FIG. 1 shows a sectional view of a container valve portion of a gas cylinder container, in which 1 is a gas cylinder container and 2 is a container valve. The container valve 2 is composed of a container valve main body 21 having a gas outlet 22 and a kelp 32 attached to a handle 31, and an outlet cap 23 is arranged at the gas outlet 22.
【００２１】ここで容器弁のガス流出口２２の内部径は
例えば約１５ｍｍに設けられており、脱酸素剤４はガス
流出口２２の内部に入る大きさに形成されてガス流出口
２２内部に配設される。Here, the inside diameter of the gas outlet 22 of the container valve is set to, for example, about 15 mm, and the oxygen scavenger 4 is formed in such a size that it can enter the inside of the gas outlet 22. It is arranged.
【００２２】脱酸素剤４は、塩化水素ガスをガスボンベ
容器１に充填した後、アウトレットキャップ２３を取り
付ける前にガス流出口２２内に配設されるが、このよう
に脱酸素剤４をガス流出口２２の内部空間に接するよう
に設けると、ガス流出口２２内に残存する塩化水素ガス
あるいは酸素ガスがガス透過性を有する脱酸素剤包材を
透過して脱酸素剤包材内部の脱酸素剤成分と接触する。The oxygen scavenger 4 is disposed in the gas outlet 22 after filling the gas cylinder container 1 with hydrogen chloride gas and before attaching the outlet cap 23. When it is provided so as to be in contact with the inner space of the outlet 22, the hydrogen chloride gas or oxygen gas remaining in the gas outlet 22 permeates the oxygen permeable oxygen scavenger packaging material and deoxidizes inside the oxygen scavenger packaging material. Contact with the ingredients.
【００２３】ここで脱酸素剤では、酸素ガスとは以下の
（４）、（５）式に示す反応が進行し、また塩化水素ガ
スとは（６）、（７）、（８）、（９）式に示す反応が
進行する。 Ｆｅ＋１／２Ｏ2 ＋Ｈ2 Ｏ → Ｆｅ（ＯＨ）2 …（４） ２Ｆｅ（ＯＨ）2 ＋１／２Ｏ2 ＋Ｈ2 Ｏ→２Ｆｅ（ＯＨ）3 …（５） Ｆｅ → Ｆｅ2+＋２ｅ- …（６） ＨＣｌ＋Ｈ2 Ｏ → Ｈ3 Ｏ+ ＋Ｃｌ- …（７） Ｆｅ2+＋２Ｃｌ- → ＦｅＣｌ2 …（８） ２Ｈ3 Ｏ+ ＋２ｅ- → ２Ｈ2 Ｏ＋Ｈ2 …（９） 即ち酸素ガスは、脱酸素剤の鉄粉と反応して、水酸化鉄
（Ｆｅ（ＯＨ）2 、Ｆｅ（ＯＨ）3 ）を生成する。また
塩化水素ガスは、脱酸素剤に含まれる水分に溶解し、ほ
ぼ完全に電離してプロトン（Ｈ+ ）（または水と結合し
てＨ3 Ｏ+ ）と塩素イオン（Ｃｌ- ）として存在し、脱
酸素剤の鉄粉と反応して塩化第一鉄（ＦｅＣｌ2 ）を生
成する。Here, in the oxygen scavenger, the reactions shown by the following formulas (4) and (5) proceed with oxygen gas, and (6), (7), (8), () with hydrogen chloride gas. The reaction represented by the formula (9) proceeds. Fe + 1 / 2O 2 + H 2 O → Fe (OH) 2 ... (4) 2Fe (OH) 2 + 1 / 2O 2 + H 2 O → 2Fe (OH) 3 ... (5) Fe → Fe 2+ + 2e - ... (6) HCl + H 2 O → H 3 O + + Cl − (7) Fe 2+ + 2Cl − → FeCl 2 … (8) 2H 3 O + + 2e − → 2H 2 O + H 2 … (9) That is, the oxygen gas is the oxygen scavenger. Reacts with iron powder to produce iron hydroxide (Fe (OH) 2 , Fe (OH) 3 ). Further, hydrogen chloride gas is dissolved in water contained in the oxygen scavenger and is almost completely ionized to be present as protons (H + ) (or H 3 O + in combination with water) and chlorine ions (Cl − ). , Ferrous chloride (FeCl 2 ) is generated by reacting with the iron powder of the oxygen scavenger.
【００２４】従って塩化水素ガス及び酸素ガスは脱酸素
剤との反応により消費されるので、例えガス流出口２２
内にこれらのガスが残存する場合であっても、脱酸素剤
４により除去することができる。Therefore, since hydrogen chloride gas and oxygen gas are consumed by the reaction with the oxygen scavenger, for example, the gas outlet 22
Even if these gases remain inside, they can be removed by the oxygen scavenger 4.
【００２５】ここで脱酸素剤と塩化水素ガス、酸素ガス
との反応により生成した塩化第一鉄や水酸化鉄、水分等
は、脱酸素剤包材は透湿度が低いため、包材から透過し
て外部へ浸出することはなく、従ってこれらにより、容
器弁の内部が腐食されることはない。Here, ferrous chloride, iron hydroxide, water and the like produced by the reaction of the oxygen scavenger with hydrogen chloride gas and oxygen gas are permeated from the oxygen scavenger packaging material due to its low moisture permeability. And does not leach out to the outside, and thus they do not corrode the inside of the container valve.
【００２６】なお容器弁への脱酸素剤の設置方法として
は、上述の方法の他に、以下の方法を採ることも可能で
ある。As a method of installing the oxygen scavenger on the container valve, the following method can be adopted in addition to the above method.
【００２７】即ち例えば図２（ａ）に示すように、アウ
トレットキャップ２３の内側のガス流出口２２の内部空
間に接する面に脱酸素剤４を設け、これを押えるように
ガスケット２４を配設してもよい。なおガスケット２４
はガス透過性を有する材質、例えば２軸延伸ポリプロピ
レンやポリエチレン等により形成される。That is, for example, as shown in FIG. 2 (a), the oxygen absorber 4 is provided on the surface inside the outlet cap 23 which is in contact with the internal space of the gas outlet 22, and the gasket 24 is arranged so as to hold it. May be. Note that the gasket 24
Is formed of a material having gas permeability, such as biaxially oriented polypropylene or polyethylene.
【００２８】また図２（ｂ）に示すように、脱酸素剤４
を例えば両面テープ等の接着剤を用いてガスケット２４
に取り付け、このガスケット２４をアウトレットキャッ
プ２３の内側に配設することにより、脱酸素剤４をアウ
トレットキャップ２３に設けるようにしてもよい。Further, as shown in FIG. 2 (b), the oxygen absorber 4
The gasket 24 using an adhesive such as double-sided tape
The oxygen absorber 4 may be attached to the outlet cap 23 by disposing the gasket 24 inside the outlet cap 23.
【００２９】このように構成しても、脱酸素剤４はガス
流出口２２の内部空間と接しているため、ガス流出口２
２内部に残存する塩化水素ガスあるいは酸素ガスは、ガ
スケット２４や脱酸素剤包材を介して包材の内部へ入り
込み、脱酸素剤と反応することにより除去される。Even with this configuration, the oxygen scavenger 4 is in contact with the internal space of the gas outlet 22, so that the gas outlet 2
The hydrogen chloride gas or oxygen gas remaining inside 2 enters the inside of the packaging material through the gasket 24 and the oxygen absorber packaging material, and is removed by reacting with the oxygen absorber.
【００３０】次に本発明方法の効果を確認するために行
った実験例について説明する。 〈実験例１〉ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）コートし
た２軸延伸ポリプロピレン製のガスバリア袋に商品名バ
イタロンＰＤＡ（東亜合成（株）製）からなる脱酸素剤
２５０ｍｌサイズ２個を封入し、当該ガスバリア袋をバ
キュームシーラーにて密閉した後、これに５００ｍｌの
無水塩化水素ガスを注射筒にて注入した（試験区）。ま
た対照区として脱酸素剤を封入しない区を設定した。Next, an example of an experiment conducted to confirm the effect of the method of the present invention will be described. <Experimental Example 1> Two 250 ml size oxygen scavengers made of Vitalon PDA (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) are enclosed in a gas barrier bag made of biaxially oriented polypropylene coated with polyvinylidene chloride (PVDC), and the gas barrier bag. Was sealed with a vacuum sealer, and then 500 ml of anhydrous hydrogen chloride gas was injected into this with a syringe (test section). As a control group, a group in which the oxygen absorber was not enclosed was set.
【００３１】これを５日間室温にて放置後、ガスバリア
袋中の塩化水素、酸素並びに水分を分析した。なお分析
方法としては、塩化水素は、ＪＩＳ−１１０２塩化水素
の分析法に準じて行い、酸素はガスクロマトグラフ（Ｔ
ＣＤ）、また水分は結露法により行った。この結果を表
２に示す。After this was left at room temperature for 5 days, hydrogen chloride, oxygen and water in the gas barrier bag were analyzed. As an analysis method, hydrogen chloride was analyzed according to JIS 1102 hydrogen chloride analysis method, and oxygen was analyzed by a gas chromatograph (T
CD) and water were measured by the condensation method. The results are shown in Table 2.
【００３２】[0032]
【表２】 この結果より、対照区では塩化水素成分は変化しないの
に対し、試験区では塩化水素成分が初期濃度９９．９％
から６９．８％へ減少していることが認められ、脱酸素
剤を用いて塩化水素ガスを除去できることが確認され
た。なお、両区共初期時に無水塩化水素ガスで満たして
いるので、酸素成分、水分は共に０％であった。 〈実験例２〉商品名バイタロンＰＤＡからなる脱酸素剤
２５０ｍｌサイズ１個を縦４ｃｍ×横５ｃｍの大きさの
２軸延伸ポリプロピレン製の袋に封入しシールしたもの
を、ＰＶＤＣコートした２軸延伸ポリプロピレン製のガ
スバリア袋に入れ、当該ガスバリア袋をバキュームシー
ラーにて密閉した。このガスバリア袋に２５０ｍｌの無
水塩化水素ガスと２５０ｍｌの空気とを注射筒にて注入
した（試験区）。また対照区として脱酸素剤を封入しな
い区を設定した。これを５日間室温にて放置後ガスバリ
ア袋中の塩化水素、酸素並びに水分を〈実験例１〉と同
様の方法にて分析した。この結果を表３に示す。[Table 2] From these results, the hydrogen chloride component did not change in the control group, whereas the hydrogen chloride component in the test group had an initial concentration of 99.9%.
It was confirmed that the hydrogen chloride gas was reduced to 69.8%, and it was confirmed that the hydrogen chloride gas could be removed by using the oxygen scavenger. Since both of the sections were filled with anhydrous hydrogen chloride gas at the initial stage, both oxygen component and water content were 0%. <Experimental Example 2> One 250 ml size oxygen scavenger made of Vitalon PDA (trade name) is enclosed in a bag made of biaxially oriented polypropylene measuring 4 cm in length and 5 cm in width and sealed, and then PVDC-coated biaxially oriented polypropylene. The gas barrier bag was sealed with a vacuum sealer. 250 ml of anhydrous hydrogen chloride gas and 250 ml of air were injected into this gas barrier bag with a syringe (test section). As a control group, a group in which the oxygen absorber was not enclosed was set. After this was left at room temperature for 5 days, hydrogen chloride, oxygen and water in the gas barrier bag were analyzed by the same method as in <Experimental Example 1>. The results are shown in Table 3.
【００３３】[0033]
【表３】 この結果により試験区では、塩化水素成分が初期濃度５
２．４％から０．０％へと減少していること、及び酸素
成分が初期濃度９．４５％から８．６％へと減少してい
ることが認められ、これにより塩化水素ガス及び酸素ガ
スは２軸延伸ポリプロピレン製の袋を透過して脱酸素剤
と反応し、この反応により消費されて除去されることが
確認された。[Table 3] As a result, in the test area, the hydrogen chloride component had an initial concentration of 5
It was confirmed that the oxygen concentration decreased from 2.4% to 0.0% and the oxygen concentration decreased from the initial concentration of 9.45% to 8.6%. It was confirmed that the gas passed through the biaxially oriented polypropylene bag and reacted with the oxygen scavenger, and was consumed and removed by this reaction.
【００３４】なおＰＶＤＣコ−トした２軸延伸ポリプロ
ピレンは、酸素ガスの透過度は１６ｃｃ／ｍ2 ｈｒ−ａ
ｔｍ／２５μｍ以下と低いため、酸素ガスがガスバリア
袋から外部に透過していることはないと考えられ、酸素
ガスの減少率が小さいのは、塩化水素と脱酸素剤の鉄粉
との反応に伴い水素ガスが発生するものの、全体のガス
体積が初期時の２／３程度まで減少してしまうからであ
ると推察される。また塩化水素ガス、酸素ガスと脱酸素
剤との反応生成物である塩化第一鉄や水酸化鉄は、２軸
延伸ポリプロピレン袋の袋より流れ出さないことも確認
された。なお対照区においては、塩化水素成分と酸素成
分は共にほとんど変化しないことが確認された。The biaxially stretched polypropylene coated with PVDC has an oxygen gas permeability of 16 cc / m 2 hr-a.
Since it is as low as tm / 25 μm or less, it is considered that oxygen gas does not permeate from the gas barrier bag to the outside. The small decrease rate of oxygen gas is due to the reaction between hydrogen chloride and iron powder of the oxygen scavenger. Although hydrogen gas is generated along with it, it is presumed that the total gas volume is reduced to about 2/3 of the initial volume. It was also confirmed that ferric chloride and iron hydroxide, which are reaction products of hydrogen chloride gas, oxygen gas, and oxygen scavenger, did not flow out from the biaxially oriented polypropylene bag. In the control group, it was confirmed that both the hydrogen chloride component and the oxygen component hardly changed.
【００３５】以上のように本実施例では、脱酸素剤成分
を、ガス透過性が大きくかつ透湿度が小さい材質からな
る脱酸素剤包材に充填して脱酸素剤を構成し、これをガ
スボンベ容器の容器弁のガス流出口の内部空間と接触す
るように設け、ガスボンベ容器弁を構成しているので、
塩化水素ガスをガスボンベ容器に充填した際に、容器弁
内に塩化水素ガスや酸素ガスが残存しても、これらのガ
スは脱酸素剤包材を透過して脱酸素剤成分と反応するの
で、この反応により消費され除去される。As described above, in the present embodiment, the oxygen scavenger component is filled in the oxygen scavenger packaging material made of a material having a large gas permeability and a low water vapor transmission rate to form an oxygen scavenger. Since it is provided so as to come into contact with the internal space of the gas outlet of the container valve of the container and constitutes the gas cylinder container valve,
When hydrogen chloride gas is filled in a gas cylinder container, even if hydrogen chloride gas or oxygen gas remains in the container valve, since these gases pass through the oxygen absorber packaging material and react with the oxygen absorber component, It is consumed and removed by this reaction.
【００３６】従ってガスボンベ容器の使用時に容器弁内
の塩化水素ガスが周囲に拡散することを防止でき、人体
や周辺環境に対する安全性を高めることができる。また
腐食の原因となる塩化水素ガスを除去してしまうため、
容器弁内部の腐食を防止することができる。Therefore, when the gas cylinder container is used, hydrogen chloride gas in the container valve can be prevented from diffusing to the surroundings, and the safety for the human body and the surrounding environment can be improved. Also, since hydrogen chloride gas that causes corrosion is removed,
Corrosion inside the container valve can be prevented.
【００３７】次に本発明の第２実施例について説明す
る。本実施例は、図３に示すように脱酸素剤成分を分散
させた樹脂を用いてガスケット２５を構成し、これをア
ウトレットキャップ２３に配設することにより、容器弁
内に残存する塩化水素ガスや酸素ガスを除去するもので
ある。Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, a gasket 25 is made of a resin in which an oxygen scavenger component is dispersed, and the gasket 25 is disposed in the outlet cap 23, so that the hydrogen chloride gas remaining in the container valve is It also removes oxygen gas.
【００３８】即ち、ガスケットの材料としてガス透過度
が高くかつ透湿度の低い樹脂例えば２軸延伸ポリプロピ
レンを用いて、これに脱酸素剤成分を混練し、脱酸素剤
成分を樹脂に分散させた状態で、例えば溶融押出法、カ
レンダ−法等の方法でシ−ト状とし、これを成形してガ
スケット２５を構成する。このガスケット２５をアウト
レットキャップ２３の内側に、容器弁のガス流出口２２
内部空間と接触するように取り付ける。That is, a resin having a high gas permeability and a low water vapor permeability, for example, biaxially oriented polypropylene is used as a material of the gasket, and the oxygen scavenger component is kneaded with the resin to disperse the oxygen scavenger component in the resin. Then, for example, a sheet is formed by a method such as a melt extrusion method or a calendar method, and this is molded to form the gasket 25. This gasket 25 is placed inside the outlet cap 23 and is connected to the gas outlet 22 of the container valve.
Install it so that it contacts the internal space.
【００３９】このように構成すると、容器弁内に残存す
る塩化水素ガス、酸素ガスはガス透過性を有するガスケ
ット内に入り込み、脱酸素剤成分と反応することによ
り、除去される。またガスケットは透湿度が低いため、
反応生成物はガスケットから容器弁内に流出することは
ない。With this structure, the hydrogen chloride gas and oxygen gas remaining in the container valve enter the gasket having gas permeability and react with the oxygen scavenger component to be removed. Also, since the gasket has low moisture permeability,
The reaction product does not flow out of the gasket into the container valve.
【００４０】従って本実施例においても、上述の第１実
施例と同様に容器弁内に残存した塩化水素ガスや酸素ガ
スを除去できると共に、ガスケット２５と脱酸素剤とを
一体に設けたので容器弁の構成部品を少なくすることが
できる。Therefore, also in this embodiment, the hydrogen chloride gas and oxygen gas remaining in the container valve can be removed as in the first embodiment, and the gasket 25 and the oxygen scavenger are integrally provided. The number of valve components can be reduced.
【００４１】なおガスケットはガスボンベ容器に塩化水
素ガスを充填する都度交換することが望ましい。The gasket is preferably replaced every time the gas cylinder container is filled with hydrogen chloride gas.
【００４２】次に本発明の第３実施例について説明す
る。本実施例は、脱酸素剤と共に乾燥剤を用いて、ガス
ボンベ容器の容器弁内部に残存する塩化水素ガス等及び
水分を除去するものである。Next, a third embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, a desiccant is used together with an oxygen scavenger to remove hydrogen chloride gas and water remaining inside the container valve of the gas cylinder container.
【００４３】乾燥剤成分としては、例えばシリカゲルの
他、硫酸ナトリウム等を用いることができ、これを例え
ばポリエチレンからなる乾燥剤包材に充填することによ
り乾燥剤を構成する。このように構成された乾燥剤は上
述の第１実施例と同様に、容器弁内に設けられる。As the desiccant component, for example, silica gel as well as sodium sulfate or the like can be used, and the desiccant is constituted by filling this into a desiccant packaging material made of polyethylene, for example. The desiccant thus configured is provided in the container valve as in the first embodiment described above.
【００４４】本実施例では、塩化水素ガスをガスボンベ
容器に充填した後、アウトレットキャップを取り付ける
際に容器弁内に大気が侵入しても、大気中に含まれる水
分は乾燥剤に吸収されて除去される。また容器弁内に残
存する塩化水素ガスや酸素ガスは脱酸素剤により除去さ
れる。従って腐食の原因となる水分と塩化水素ガスとを
除去できるので容器弁内部の腐食を防止することができ
る。In this embodiment, after filling the gas cylinder container with hydrogen chloride gas, even if the atmosphere enters the container valve when the outlet cap is attached, the moisture contained in the atmosphere is absorbed by the desiccant and removed. To be done. Further, hydrogen chloride gas and oxygen gas remaining in the container valve are removed by a deoxidizer. Therefore, water and hydrogen chloride gas that cause corrosion can be removed, so that corrosion inside the container valve can be prevented.
【００４５】なお脱酸素剤が脱酸素反応を行うためには
水分が必要であるが、脱酸素剤成分は透湿度の低い脱酸
素剤包材に包まれているので、脱酸素剤成分中の水分
は、乾燥剤に吸収されることはない。このため脱酸素剤
と乾燥剤とを併用しても、それぞれの反応を行うことが
できる。また乾燥剤以外に例えば高分子系吸収シ−ト等
からなる吸水剤を使用してもよい。Water is required for the oxygen absorber to carry out the oxygen removal reaction, but since the oxygen absorber component is wrapped in the oxygen absorber packaging material having low moisture permeability, Moisture is not absorbed by the desiccant. Therefore, even if the oxygen scavenger and the desiccant are used together, the respective reactions can be performed. In addition to the desiccant, a water absorbing agent composed of, for example, a polymer type absorption sheet may be used.
【００４６】なお以上において、本発明は塩化水素ガス
以外に、例えば塩素ガス等の腐食性ガスを充填するガス
ボンベ容器の容器弁に適用できる。In the above, the present invention can be applied to a container valve of a gas cylinder container filled with a corrosive gas such as chlorine gas in addition to hydrogen chloride gas.
【００４７】[0047]
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、ガスボン
ベ容器に腐食性ガスを充填した後に容器弁内に腐食性ガ
ス等が残存していても、このガスは脱酸素剤と反応し、
この反応により消費されるため、除去することができ
る。According to the invention of claim 1, even if a corrosive gas or the like remains in the container valve after filling the gas cylinder container with the corrosive gas, this gas reacts with the oxygen scavenger,
It is consumed by this reaction and can be removed.
【００４８】また請求項２及び３記載の発明によれば、
容器弁内に腐食性ガス等が残存していても、このガスは
ガス透過性を有する脱酸素剤包材や樹脂を透過して、脱
酸素剤成分と反応するため、この反応により除去するこ
とができる。従ってガスボンベ容器の使用時に容器弁内
に残存する腐食性ガスが拡散することにより生じる、人
体や周辺環境への悪影響や腐食性ガスが原因となる容器
弁内部の腐食を抑えることができる。According to the invention described in claims 2 and 3,
Even if corrosive gas etc. remains in the container valve, this gas permeates the oxygen scavenger packaging material or resin having gas permeability and reacts with the oxygen scavenger component, so it should be removed by this reaction. You can Therefore, it is possible to suppress the corrosion of the inside of the container valve, which is caused by the corrosive gas remaining in the container valve when the gas cylinder container is used and diffusing, which has an adverse effect on the human body and the surrounding environment and which causes the corrosive gas.
【００４９】さらに請求項４記載の発明によれば、容器
弁内に侵入する大気中に含まれる水分が乾燥剤により除
去されると共に、容器弁内に残存する腐食性ガスが脱酸
素剤により除去されるので、水分や腐食性ガスが原因と
なる容器弁内部の腐食を抑えることができる。Further, according to the invention as set forth in claim 4, the moisture contained in the atmosphere entering the container valve is removed by the desiccant, and the corrosive gas remaining in the container valve is removed by the oxygen scavenger. Therefore, it is possible to suppress corrosion inside the container valve caused by moisture or corrosive gas.
【図１】本発明のガスボンベ容器の容器弁の一例を示す
断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an example of a container valve of a gas cylinder container of the present invention.
【図２】本発明の容器弁付近の他の例を示す断面図であ
る。FIG. 2 is a cross-sectional view showing another example near the container valve of the present invention.
【図３】本発明の容器弁付近のさらに他の例を示す断面
図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing still another example near the container valve of the present invention.
１ ガスボンベ容器 ２ 容器弁 ２１ 容器弁本体 ２２ ガス流出口 ２３ アウトレットキャップ ２４、２５ ガスケット ４ 脱酸素剤 1 Gas Cylinder Container 2 Container Valve 21 Container Valve Main Body 22 Gas Outlet 23 Outlet Cap 24, 25 Gasket 4 Deoxidizer
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成６年４月１４日[Submission date] April 14, 1994
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】全図[Correction target item name] All drawings
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図３】 [Figure 3]
【図１】 [Figure 1]
【図２】 [Fig. 2]
Claims (4)
器弁において、当該容器弁のガス流出口の内部空間と接
するように、脱酸素剤を設けたことを特徴とするガスボ
ンベ容器弁。1. A container valve used for a gas container for corrosive gas, wherein a deoxidizer is provided so as to come into contact with the internal space of the gas outlet of the container valve.
度が高くかつ透湿度が低い材質からなる脱酸素剤包材に
充填してなることを特徴とする請求項１記載のガスボン
ベ容器弁。2. The gas cylinder according to claim 1, wherein the oxygen scavenger is obtained by filling the oxygen scavenger component into an oxygen scavenger packaging material made of a material having a high gas permeability and a low water vapor transmission rate. Container valve.
器弁において、脱酸素剤成分を混練した樹脂を、当該容
器弁のガス流出口の内部空間と接するように設けたこと
を特徴とするガスボンベ容器弁。3. A container valve used for a gas cylinder container for corrosive gas, wherein a resin mixed with an oxygen scavenger component is provided so as to come into contact with an internal space of a gas outlet of the container valve. valve.
器弁において、当該容器弁のガス流出口の内部空間と接
するように、脱酸素剤及び乾燥剤を設けたことを特徴と
するガスボンベ容器弁。4. A container valve used for a corrosive gas container, wherein a deoxidizer and a desiccant are provided so as to come into contact with the internal space of the gas outlet of the container valve.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34989793A JPH07198097A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Gas cylinder valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34989793A JPH07198097A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Gas cylinder valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07198097A true JPH07198097A (en) | 1995-08-01 |
Family
ID=18406853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34989793A Pending JPH07198097A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Gas cylinder valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07198097A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006001089A1 (en) * | 2004-06-24 | 2006-01-05 | Takachiho Chemical Industrial Co., Ltd. | Outlet cap for toxic gas container valve |
| JP2010255697A (en) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Tsurumi Soda Co Ltd | Vessel valve |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP34989793A patent/JPH07198097A/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006001089A1 (en) * | 2004-06-24 | 2006-01-05 | Takachiho Chemical Industrial Co., Ltd. | Outlet cap for toxic gas container valve |
| JP2006009890A (en) * | 2004-06-24 | 2006-01-12 | Takachiho Kagaku Kogyo Kk | Outlet cap for toxic gas container valve |
| EP1760389A1 (en) * | 2004-06-24 | 2007-03-07 | Takachiho Chemical Industrial Co., Ltd. | Outlet cap for toxic gas container valve |
| EP1760389A4 (en) * | 2004-06-24 | 2008-11-05 | Takachiho Chemical Ind Co Ltd | Outlet cap for toxic gas container valve |
| US7632342B2 (en) | 2004-06-24 | 2009-12-15 | Takachiho Chemical Industrial Co., Ltd. | Valve outlet cap for toxic-gas container |
| KR101111740B1 (en) * | 2004-06-24 | 2012-02-17 | 다카치호 가가쿠 고교 가부시키가이샤 | Outlet cap for toxic gas container valve |
| JP2010255697A (en) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Tsurumi Soda Co Ltd | Vessel valve |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6936223B2 (en) | Chemical indicator | |
| Zhang et al. | Indoor air chemistry: formation of organic acids and aldehydes | |
| US20040062680A1 (en) | Apparatus and method for generation of chlorine dioxide gas | |
| KR100874937B1 (en) | Double-flow valve and inner processing vessel glass system | |
| US6073771A (en) | Container for storing sulfur-containing compounds | |
| JPH07198097A (en) | Gas cylinder valve | |
| EP0517575B1 (en) | Process for drying metal surfaces using gaseous hydrides to inhibit moisture adsorption and for removing adsorbed moisture from the metal surfaces | |
| US5512262A (en) | Process for cleaning harmful gas | |
| Grattan et al. | Ageless oxygen absorber: chemical and physical properties | |
| EP1313555B1 (en) | Improvements in or relating to carbon dioxide absorbent formulations | |
| WO2006001089A1 (en) | Outlet cap for toxic gas container valve | |
| FI93270C (en) | Process for adding odorant to oxygen gas | |
| JPS5730532A (en) | Dry type deodorizer | |
| US5318706A (en) | Method of supplying dilute hydrofluoric acid and apparatus for use in this method for supplying the acid | |
| US3140156A (en) | Canister with olfactory warner | |
| JPH07256097A (en) | Corrosive gas absorbent and container valve of gas sealing container | |
| CN111093802B (en) | Sorbent-assisted stabilization of highly reactive gases | |
| JPS589372B2 (en) | Nitric oxide quantitative generator | |
| FI92864B (en) | Method of adding aromatic agent to oxygen gas | |
| JPH067637A (en) | Method for purifying harmful gas | |
| JPH10249144A (en) | Method of purifying harmful gas | |
| JP2024089221A (en) | Method for producing chlorine dioxide-containing water, method for spraying chlorine dioxide-containing water, and kit for spraying chlorine dioxide-containing water | |
| TW559662B (en) | Cap device for detecting the occurrence of overflow for container of corrosive chemical | |
| CN113149032A (en) | Ammonia gas generator matched with hydrogen peroxide generation device | |
| Khan | The Gettering Effect of Gadolinium |