JPH0719673B2 - 直流プラズマ発生トーチ - Google Patents
直流プラズマ発生トーチInfo
- Publication number
- JPH0719673B2 JPH0719673B2 JP3293746A JP29374691A JPH0719673B2 JP H0719673 B2 JPH0719673 B2 JP H0719673B2 JP 3293746 A JP3293746 A JP 3293746A JP 29374691 A JP29374691 A JP 29374691A JP H0719673 B2 JPH0719673 B2 JP H0719673B2
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- JP
- Japan
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- gas
- torch
- plasma
- plasma generation
- gas injection
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- Plasma Technology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Description
利用する噴射、化合物合成、CVD等の応用に際して、
各応用に最適なプラズマジェットを発生させるための汎
用トーチに関する。
チにおいては、プラズマ発生用のガス導入口が1ヶ所で
ガス噴射方向は1方向のみしかなく、主として陰極と陽
極間に回転流を生じさせ、各電極の冷却効果も行いなが
ら、プラズマフレームを発生させていた。
マ発生トーチでは、ガス噴射が1方向のみしかなく、ガ
ス流速分布を任意に制御することができなかった。その
ため発生するプラズマジェットの入力、ガス種、圧力、
ガス流量等に関する最適条件範囲はそれほど広くなく、
汎用性に欠けていた。そのためガス流の流れ分布を任意
に制御することができず、プラズマフレームの安定性、
プラズマフレームの長さ調整等に不都合を生じていた。
本発明は上記従来技術にかんがみ発明されたものであ
り、ガスの流れ分布を任意に制御できる直流プラズマ発
生トーチを提供することを目的とする。
電圧を放電させてプラズマジェットを発生させる直流プ
ラズマ発生トーチにおいて、スリットまたは細孔からな
るプラズマ発生用の複数のガス噴射口を設け、該ガス噴
射口は、それらからトーチ内に噴射するガスが少なくと
も2種類の方向を有するように形成されていることを特
徴とする直流プラズマ発生トーチである。ガス噴射口
は、プラズマを発生させるためのガスをトーチ内に噴射
するための入口であり、その構造は円筒状のトーチにお
いては、例えばトーチの半径方向と円周方向の2種類の
方向に対してガスが噴出されるように複数形成される。
噴射方向は2種類に限らないが、異なる複数の方向にガ
スが複数の噴射口から噴射され、ガス流の流れ分布を任
意に制御できるように形成される。
流用のみであると、ガス流量を変えてもプラズマフレー
ムの長さを変化させることが困難であったが、例えば円
周方向に半径方向のガス流を付加することによって、そ
れらのガス流量の独立制御により、安定なガスフレーム
の発生ができ、入力、ガス種、圧力、全ガス流量を任意
に設定しながらプラズマ形態を任意に調整できるように
なる。
はそのA−A線の横断平面図、図3はそのB−B線の横
断平面図である。図において電極等の冷却系統および粉
末状反応物質の投入口は省略した。図中、陰極電極1は
絶縁物3を介して陽極電極2の中央に固定されている。
4、5はガスの導入口、6、7はガス導入管、8はトー
チ11内に円周方向にガスを噴射するためのガス噴射
口、9はトーチ11内にその中心に向かう方向(半径方
向)にガスを噴射するためのガス噴射口である。半径方
向にガスを噴射するために、ガスは導入口5から供給さ
れてトーチ11の外周に円環状に設けられたガス導入管
7を通り、スリットまたは細孔状のガス噴射口9によっ
て、図2の矢印の如くトーチ11内にその半径方向に噴
射される。
導入口4から供給されてトーチの外周に円環状に設けら
れたガス導入管6を通り、スリットまたは細孔状のガス
噴射口8によって図3の矢印の如く、トーチ11内にそ
の円周方向に噴射される。ガス噴射口8、9の形状はス
リットまたは細孔状であるが、ガスの方向性を制御でき
るものであれば適宜の設計を行ってよい。又、ガス噴射
口8、9の数も適宜選択できる。図2は半径方向にガス
を噴射する噴射口9の断面図で、図3は円周方向に対す
るガス噴射口8の断面を示している。後者は一様にガス
が円周方向に噴出され、陰極の周囲を回転しながら流
れ、また前者は陰極に対して直角に一様に噴出される。
この場合2種類のガスが噴射され、陰極と陽極の間に直
流電力を印加することによって、両電極の先端部分で放
電が発生し、プラズマフレーム10が生じる。このと
き、両ガス噴射口8、9のガス流量を制御することによ
って、プラズマフレーム10を安定に発生できるように
なり、プラズマフレームの流速とその長さを任意に容易
に調整できるようになって、良好な結果が得られた。
種類のガスでも異種類のガスでもよく、又、ガス噴射口
8、9に加えてトーチの軸方向に噴射するガス噴射口を
設けてもよい。
のガス噴射口を2種以上設け、それらのガス流量を任意
に制御することによって、プラズマフレームを安定に発
生させ、そのガス流速やフレームの長さを適宜変化させ
ることによって、プラズマ溶射の目的に有効な手段とな
る。また長いプラズマフレームを使用することによっ
て、フレームの高温部分が長くなり、反応領域が長くな
るので、プラズマCVDの目的に対して、非常に効率の
良い反応生成が達成できた。
チの概略縦断面図を示す。
Claims (2)
- 【請求項1】 電極間に直流電圧を放電させてプラズマ
ジェットを発生させる直流プラズマ発生トーチにおい
て、スリットまたは細孔からなるプラズマ発生用の複数
のガス噴射口を設け、該ガス噴射口は、それらからトー
チ内に噴射するガスが少なくとも2種類の方向を有する
ように形成されていることを特徴とする直流プラズマ発
生トーチ。 - 【請求項2】 噴射するガスの方向はトーチの中心に向
かう方向とトーチの内周に向かう方向を含む請求項1記
載の直流プラズマ発生トーチ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3293746A JPH0719673B2 (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 直流プラズマ発生トーチ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3293746A JPH0719673B2 (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 直流プラズマ発生トーチ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05109496A JPH05109496A (ja) | 1993-04-30 |
JPH0719673B2 true JPH0719673B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=17798704
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3293746A Expired - Fee Related JPH0719673B2 (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 直流プラズマ発生トーチ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0719673B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2943209B1 (fr) * | 2009-03-12 | 2013-03-08 | Saint Gobain Ct Recherches | Torche a plasma avec injecteur lateral |
-
1991
- 1991-10-14 JP JP3293746A patent/JPH0719673B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05109496A (ja) | 1993-04-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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