JPH07195066A - Liquid treating method and device - Google Patents

Liquid treating method and device

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JPH07195066A
JPH07195066A JP43494A JP43494A JPH07195066A JP H07195066 A JPH07195066 A JP H07195066A JP 43494 A JP43494 A JP 43494A JP 43494 A JP43494 A JP 43494A JP H07195066 A JPH07195066 A JP H07195066A
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liquid
ozone
treated
reaction tank
active oxygen
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Atsushi Kuno
厚 久野
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Abstract

PURPOSE:To provide a liquid treating method and a liquid treating device enabling to remove foreign matters and an organic harmful substance. CONSTITUTION:Ozone and active oxygen are mixed into the water 1 which is the liquid to be treated at a reaction tank 4 and the organic harmful substance contained in the water 1 is chemically converted to a low toxic substance and then the water 1 is passed through a liquid treating part 22 having a fiber filter and a treating part 23 having activated charcoal, thus it is filtered and the foreign matters incorporated in the water 1 are removed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液体処理方法および装
置に関し、特に工業用または家庭用の浄水処理に適用し
て有効な技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid treatment method and apparatus, and more particularly to a technique effective when applied to industrial or household water purification treatment.

【0002】[0002]

【従来の技術】浄水処理技術は、半導体製造技術などの
精密製品の製造工程における洗浄工程および飲料用水に
要求される浄水などを得るために、近年ますます重要な
技術となっている。
2. Description of the Related Art Water purification technology has become increasingly important in recent years in order to obtain water purification required for cleaning processes and drinking water in the manufacturing process of precision products such as semiconductor manufacturing technology.

【0003】浄水処理装置としては、繊維フィルタまた
は活性炭、あるいはそれらを組み合わせたものを採用し
たものが考えられ、前記繊維フィルタおよび前記活性炭
によって、水中の異物および残留塩素を低減したり、除
去することが考えられる。
As the water purification apparatus, it is conceivable that a fiber filter or activated carbon or a combination thereof is adopted, and foreign matter and residual chlorine in water are reduced or removed by the fiber filter and the activated carbon. Can be considered.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、工業用水お
よび水道用水などにおいては、有機系の有害物質が含ま
れている場合があるが、前記した浄化処理装置における
前記繊維フィルタまたは前記活性炭によっては、水に含
まれている有機系の有害物質を完全に取り除くことがで
きないという問題点があることがわかった。
However, industrial water, tap water, etc. may contain organic harmful substances, but depending on the fiber filter or the activated carbon in the purification treatment device, It has been found that there is a problem that organic harmful substances contained in water cannot be completely removed.

【0005】より具体的には、前述した浄化処理装置に
おける前記繊維フィルタまたは前記活性炭を用いた浄化
処理では、物理的な手段および、吸着という化学的な手
段によって水の浄化を行っているものである。しかし、
トリハロメタンなどの有害な有機系の物質は前記繊維フ
ィルタまたは活性炭などの物理的手段によっては、完全
に取り除くことが困難であり、さらに化学的な処理をも
って行う必要性があると本発明者は、前記浄化処理に対
しての問題点を見い出した。
More specifically, in the purification treatment using the fiber filter or the activated carbon in the purification treatment device described above, water is purified by physical means and chemical means of adsorption. is there. But,
The present inventor said that harmful organic substances such as trihalomethane are difficult to be completely removed by physical means such as the fiber filter or activated carbon, and need to be performed by a chemical treatment. We found a problem with the purification process.

【0006】本発明の一つの目的は、異物および有機系
の有害物質を取り除くことができる液体処理方法を提供
することにある。
One object of the present invention is to provide a liquid treatment method capable of removing foreign substances and organic harmful substances.

【0007】本発明の他の目的は、異物および有機系の
有害物質を簡単に取り除くことができる液体処理装置を
提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a liquid processing apparatus capable of easily removing foreign substances and organic harmful substances.

【0008】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明において開示され
る発明のうち、代表的なものの概要を説明すれば、以下
のとおりである。
The typical ones of the inventions disclosed in the present invention will be outlined below.

【0010】請求項1記載のの発明は、被処理液である
液体に、オゾンおよび活性酸素を混入して、前記液体に
含まれている有機系の有害物質を低毒性の物質に化成し
た後、前記液体を繊維フィルタおよび活性炭を通過させ
ることにより、前記液体に含まれている異物および不純
物を取り除くものである。
According to the first aspect of the present invention, ozone and active oxygen are mixed in a liquid to be treated to convert an organic harmful substance contained in the liquid into a low-toxic substance. By passing the liquid through a fiber filter and activated carbon, foreign substances and impurities contained in the liquid are removed.

【0011】[0011]

【作用】前記した手段によれば、被処理液である液体に
含まれている有機系の有害物質は、オゾンおよび活性酸
素を用いた化学的作用により、低毒性の物質に化成され
ることになり、前記低毒性の物質および前記液体に含ま
れている異物および不純物は、前記液体を繊維フィルタ
および活性炭を通過させることにより、ろ過などの物理
的作用と、吸着などの化学的作用によって取り除くこと
ができる。
According to the above-mentioned means, the organic harmful substance contained in the liquid to be treated is converted into a low-toxic substance by the chemical action using ozone and active oxygen. The low-toxic substance and foreign substances and impurities contained in the liquid are removed by a physical action such as filtration and a chemical action such as adsorption by passing the liquid through a fiber filter and activated carbon. You can

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。なお、実施例を説明するための全図におい
て同一機能を有するものは同一の符号を付し、重複説明
は省略する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. In all the drawings for explaining the embodiments, those having the same function are designated by the same reference numerals, and a duplicate description will be omitted.

【0013】図1は、本発明の一実施例である液体処理
方法およびそれに用いる液体処理装置を示す概略図であ
る。また、図2〜図4は、前記液体処理装置における主
要な処理部を示す概略図である。同図を用いて、本発明
の液体処理の具体的な技術について説明する。
FIG. 1 is a schematic view showing a liquid processing method and a liquid processing apparatus used therefor according to an embodiment of the present invention. Further, FIGS. 2 to 4 are schematic views showing main processing units in the liquid processing apparatus. A specific technique of the liquid treatment of the present invention will be described with reference to FIG.

【0014】図1に示すように、本発明の一実施例であ
る液体処理装置は、被処理液である水1を導入口2を通
して注入し、液体通路3を通して反応槽4に流入させて
いる。
As shown in FIG. 1, in a liquid processing apparatus according to an embodiment of the present invention, water 1 as a liquid to be processed is injected through an inlet 2 and is made to flow into a reaction tank 4 through a liquid passage 3. .

【0015】前記反応槽4には、オゾン発生器5がガス
通路6を用いて連結されており、前記オゾン発生器5に
おけるガス導入口7に、それにつながっている酸素ボン
ベなどからガス状の酸素8が注入され、前記酸素8が前
記オゾン発生器5においてプラズマ放電処理を施されて
分解し、オゾンと活性酸素とが形成されている。そし
て、前記オゾンと活性酸素とからなる混合ガスが、前記
反応槽4に前記ガス通路6を用いて導引されている。
An ozone generator 5 is connected to the reaction tank 4 through a gas passage 6, and gaseous oxygen is supplied from an oxygen cylinder or the like connected to the gas inlet 7 of the ozone generator 5. 8 is injected and the oxygen 8 is subjected to plasma discharge treatment in the ozone generator 5 and decomposed to form ozone and active oxygen. The mixed gas of ozone and active oxygen is introduced into the reaction tank 4 through the gas passage 6.

【0016】前記反応槽4は、図2に示すように、被処
理液である水1を供給する液体通路3と、前記オゾンと
活性酸素とからなる混合ガス9を供給しバブリングを行
うガス通路6とを有する。
As shown in FIG. 2, the reaction tank 4 has a liquid passage 3 for supplying water 1 as a liquid to be treated and a gas passage for bubbling by supplying a mixed gas 9 containing ozone and active oxygen. 6 and.

【0017】また、同図において、10は後述するオゾ
ン分解器11に連結されているガス通路であり、12は
バルブであり、必要に応じて前記反応槽4によって発生
したガスおよび未反応のオゾンなどのガスを抜くことが
できる機能を有するものである。
Further, in the figure, 10 is a gas passage connected to an ozone decomposer 11 to be described later, 12 is a valve, and if necessary, gas generated by the reaction tank 4 and unreacted ozone. It has a function of removing gas such as.

【0018】さらに、3は後述するオゾン分解器11に
連結されている液体通路であり、13はバルブ14を有
する液体通路であり、前記バルブ14を通して必要に応
じて前記反応槽4内の液体を取り除く際に用いるもので
ある。
Further, 3 is a liquid passage connected to an ozone decomposer 11 which will be described later, 13 is a liquid passage having a valve 14, and the liquid in the reaction tank 4 is passed through the valve 14 if necessary. It is used when removing.

【0019】また、前記反応槽4においては、被処理液
である水1が前記液体通路3から流入して一定量溜めら
れており、その水1の中に前記オゾンと活性酸素との混
合ガス9が前記ガス通路6を通して導入され、前記混合
ガス9がバブリングすることによって、前記水1に含ま
れている有害な有機物を化学的に分解して、低毒性の物
質に化成させる化学的作用を有するものである。
Further, in the reaction tank 4, water 1 as a liquid to be treated flows from the liquid passage 3 and is accumulated therein, and a fixed amount of the water 1 is stored in the water 1. 9 is introduced through the gas passage 6 and the mixed gas 9 is bubbled to chemically decompose harmful organic substances contained in the water 1 to form a low-toxic substance. I have.

【0020】前記オゾンおよび活性酸素は、強い酸化力
を有し、被処理液である前記水1に混合したり溶解して
いるトリハロメタンなどの有機系の有害物質と反応し
て、低毒性の物質に化成する効果がある。また、被処理
液である前記水1に含まれている微生物などの生物系の
ものに対しては、殺菌作用を有するものである。本実施
例においては、被処理液としての液体としては、水1を
用いているが、有機系の物質または生物系の異物を含ん
でいる液体を清浄化処理する態様にも、本発明は適用で
きるものである。
The ozone and active oxygen have a strong oxidizing power, and react with organic harmful substances such as trihalomethane mixed or dissolved in the water 1 to be treated to have low toxicity. Has the effect of forming. Further, it has a bactericidal action on biological substances such as microorganisms contained in the liquid 1 to be treated. In this embodiment, water 1 is used as the liquid as the liquid to be treated, but the present invention is also applicable to a mode in which a liquid containing an organic substance or a biological foreign substance is subjected to a cleaning treatment. It is possible.

【0021】前記反応槽4によって処理された被処理液
である水1は、オゾン分解器11に導入される。前記オ
ゾン分解器11は、図3に示すように、ヒータ15に取
り巻かれている領域内において曲折しているガス通路1
0と液体通路3とからなり、前記ガス通路10中のガス
および前記液体通路3中の液体とが前記ヒータ15によ
って加熱処理されるようになっている。
Water 1, which is the liquid to be treated, which has been treated in the reaction tank 4, is introduced into the ozonolysis unit 11. As shown in FIG. 3, the ozone decomposing unit 11 has a bent gas passage 1 in a region surrounded by a heater 15.
0 and the liquid passage 3, and the gas in the gas passage 10 and the liquid in the liquid passage 3 are heat-treated by the heater 15.

【0022】前記オゾン分解器11は、それに導入され
た被処理液である前記水1に溶解している未反応のオゾ
ンを熱分解し、無害化した後、熱分解によって発生した
気体成分のみをガス抜きバルブ16を介在してガス通路
17に導入し、前記ガス通路10の出口から大気に放出
する。
The ozone decomposing unit 11 thermally decomposes the unreacted ozone dissolved in the water 1 as the liquid to be treated introduced therein to render it harmless, and then only the gas component generated by the thermal decomposition is generated. The gas is introduced into the gas passage 17 through the degassing valve 16 and discharged from the outlet of the gas passage 10 to the atmosphere.

【0023】また、前記反応槽4によってバブリングさ
れた前記オゾンおよび活性酸素などの未反応のオゾンな
どのガスは、オゾン分解器11に導入されて、未反応の
オゾンを熱分解し、無害化した後、前記ガス通路10の
出口から大気に放出する。
Gases such as ozone and unreacted ozone such as active oxygen bubbled in the reaction tank 4 are introduced into the ozone decomposer 11 to thermally decompose the unreacted ozone to detoxify it. After that, the gas is discharged to the atmosphere from the outlet of the gas passage 10.

【0024】被処理液である水1は、前記オゾン分解器
11によって加温されているため、熱交換器18によっ
て常温まで温度を低下させた後、繊維フィルタを有する
液体処理部22および活性炭を有する処理部23を通し
て、異物および不純物をろ過して、水出口へと送水す
る。
Since the water 1 as the liquid to be treated has been heated by the ozone decomposer 11, the temperature is lowered to the room temperature by the heat exchanger 18, and then the liquid treatment portion 22 having the fiber filter and the activated carbon are removed. Foreign substances and impurities are filtered through the processing unit 23 included therein, and water is sent to the water outlet.

【0025】前記熱交換器18は、図4に示すように、
液体通路19を通して前記オゾン分解器11に連結され
ており、前記オゾン分解器11によって加温されている
被処理液である水1を常温まで温度を低下させる機能を
有する歪曲した熱交換用液体通路20を有するものであ
る。また、液体通路3を通して前記反応槽4に連結され
ており、前記反応槽4に加温された被処理液である水1
を導入するための機能を有する歪曲した熱交換用液体通
路21を有するものである。
The heat exchanger 18, as shown in FIG.
A distorted heat exchange liquid passage which is connected to the ozone decomposer 11 through a liquid passage 19 and has a function of lowering the temperature of the water 1 to be treated heated by the ozone decomposer 11 to room temperature. It has 20. Further, water 1 which is a liquid to be treated and is heated in the reaction tank 4 is connected to the reaction tank 4 through a liquid passage 3.
It has a distorted heat exchange liquid passage 21 having a function for introducing.

【0026】また、本実施例における液体処理装置は、
図1に示すように、液体の流れを調節し、制御する切り
替え弁24およびそれに連結しているバイバス用の液体
通路25を備えているものである。また、同図におい
て、26は、各液体通路を連結している連結部を示すも
のである。
Further, the liquid processing apparatus in this embodiment is
As shown in FIG. 1, a switching valve 24 that regulates and controls the flow of liquid and a bypass liquid passage 25 connected to the switching valve 24 are provided. Further, in the figure, reference numeral 26 denotes a connecting portion which connects the respective liquid passages.

【0027】前記切り替え弁24を操作することによ
り、被処理液である水1は未浄水のまま液体出口に流出
させることができる。
By operating the switching valve 24, the water 1 as the liquid to be treated can be made to flow out to the liquid outlet as unpurified water.

【0028】また、前記切り替え弁24を操作すること
により、被処理液である水1のオゾンおよび活性酸素に
よる化学的な作用を用いた浄化処理を省略して、物理的
な作用であるろ過処理を行う繊維フィルタを有する液体
処理部22および、物理的な作用に加え化学的な作用も
する活性炭を有する処理部23を通して浄水する処理の
みを採用することができる。
By operating the switching valve 24, the purification process using the chemical action of ozone and the active oxygen of the liquid 1 to be treated can be omitted, and the filtration process which is the physical action. It is possible to employ only the treatment for purifying water through the liquid treatment section 22 having the fiber filter for performing the above and the treatment section 23 having the activated carbon which has a chemical action in addition to the physical action.

【0029】さらにまた、前記切り替え弁24を操作す
ることにより、被処理液である水1の前記オゾン分解器
11で加温されたまま前記熱交換器18を通さずに取り
出すことにより、加温された状態の被処理液である水1
を得ることもできる。
Further, by operating the switching valve 24, the water 1 to be treated is heated without being passed through the heat exchanger 18 while being heated by the ozone decomposing unit 11, thereby heating the liquid. Water, which is the liquid to be treated in the treated state
You can also get

【0030】前述したように、本実施例の液体処理装置
は、オゾンおよび活性酸素を用いた化学作用と、繊維フ
ィルタおよび活性炭を用いた物理的作用とを組み合わせ
て、水の浄化処理などの液体の処理を行うものである。
したがって、オゾンおよび活性酸素を用いていることに
より、化学的に水中の有機物が分解されるため、有機物
質を取り除くことができる。
As described above, the liquid treatment apparatus according to the present embodiment combines the chemical action using ozone and active oxygen with the physical action using the fiber filter and activated carbon to perform liquid purification such as water purification treatment. Is to be processed.
Therefore, by using ozone and active oxygen, organic substances in water are chemically decomposed, and thus organic substances can be removed.

【0031】また、本実施例の液体処理装置は、オゾン
および活性酸素の作成にあたって、プラズマ放電によっ
て簡単に多量の前記ガスを製作することができ、前記オ
ゾンおよび活性酸素を水などの液体中にバブリングする
ことにより、前記水などの被処理液に含まれている有害
な有機物質と化学反応させるものである。したがって、
容易に前記有機物質を分解して低毒性の物質にして前記
水などの被処理液から有害な有機物質を取り除くことが
できる。
Further, in the liquid processing apparatus of this embodiment, when ozone and active oxygen are produced, a large amount of the gas can be easily produced by plasma discharge, and the ozone and active oxygen can be stored in a liquid such as water. By bubbling, a harmful organic substance contained in the liquid to be treated such as water is chemically reacted. Therefore,
It is possible to easily decompose the organic substance into a low-toxic substance and remove harmful organic substances from the liquid to be treated such as the water.

【0032】本実施例の液体処理技術は、家庭用の飲料
水などの液体処理技術、半導体製造技術などの精密製品
の製造工程における洗浄工程および飲料用水に要求され
る浄水などを得るための産業用の液体処理技術に適用で
きる。また、上水の貯水槽または貯水タンク、下水の処
理施設に組み込み、ユニットとして応用し、液体処理シ
ステムとしても採用できるものである。
The liquid treatment technology of the present embodiment is an industry for obtaining a liquid treatment technology for household drinking water, a washing step in the manufacturing process of precision products such as semiconductor manufacturing technology, and purified water required for drinking water. It can be applied to liquid processing technology. In addition, it can be incorporated as a water storage tank or water tank or a sewage treatment facility, applied as a unit, and used as a liquid treatment system.

【0033】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the embodiments and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.

【0034】[0034]

【発明の効果】本願によって開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
The effects obtained by the typical ones of the inventions disclosed by the present application will be briefly described as follows.
It is as follows.

【0035】本発明によれば、被処理液である液体に、
オゾンおよび活性酸素を混入して、前記液体に含まれて
いる有機系の有害物質を低毒性の物質に化成した後、前
記液体を繊維フィルタおよび活性炭を通過させることに
より、前記液体に含まれている異物および不純物を取り
除くものであることより、被処理液である液体に含まれ
ている有機系の有害物質は、オゾンおよび活性酸素を用
いた化学的作用により、低毒性の物質に化成されること
になり、前記低毒性の物質および前記液体に含まれてい
る異物および不純物は、前記液体を繊維フィルタおよび
活性炭を通過させることにより、ろ過などの物理的作用
と、吸着などの化学的作用によって取り除くことができ
る。
According to the present invention, the liquid to be treated is
After mixing ozone and active oxygen to convert organic harmful substances contained in the liquid into low-toxic substances, the liquid is passed through a fiber filter and activated carbon to be contained in the liquid. Since it removes foreign substances and impurities that are present, organic harmful substances contained in the liquid to be treated are converted into low toxicity substances by the chemical action of ozone and active oxygen. Therefore, the foreign substances and impurities contained in the low-toxic substance and the liquid are caused by the physical action such as filtration and the chemical action such as adsorption by passing the liquid through the fiber filter and the activated carbon. Can be removed.

【0036】また、本発明による液体処理技術では、オ
ゾンおよび活性酸素を簡単で多量に製作でき、それを用
いて簡便な手法により被処理液である液体に含まれてい
る有機系の物質および種々の異物をコンパクトな装置を
もって取り除くことができる。
Further, in the liquid processing technique according to the present invention, ozone and active oxygen can be easily produced in a large amount, and the organic substance and various substances contained in the liquid to be treated can be produced by a simple method using the ozone and the active oxygen. Foreign objects can be removed with a compact device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例である液体処理方法およびそ
れに用いる液体処理装置を示す概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a liquid processing method and a liquid processing apparatus used therefor according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例である液体処理装置における
反応槽を示す概略図である。
FIG. 2 is a schematic view showing a reaction tank in the liquid processing apparatus which is an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例である液体処理装置における
オゾン分解器を示す概略図である。
FIG. 3 is a schematic view showing an ozone decomposer in a liquid processing apparatus which is an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例である液体処理装置における
熱交換器を示す概略図である。
FIG. 4 is a schematic view showing a heat exchanger in the liquid processing apparatus which is an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 水 2 導入口 3 液体通路 4 反応槽 5 オゾン発生器 6 ガス通路 7 ガス導入口 8 酸素 9 混合ガス 10 ガス通路 11 オゾン分解器 12 バルブ 13 液体通路 14 バルブ 15 ヒータ 16 ガス抜きバルブ 17 ガス通路 18 熱交換器 19 液体通路 20 熱交換用液体通路 21 熱交換用液体通路 22 液体処理部 23 処理部 24 切り替え弁 25 液体通路 26 連結部 1 Water 2 Inlet Port 3 Liquid Passage 4 Reaction Tank 5 Ozone Generator 6 Gas Passage 7 Gas Inlet Port 8 Oxygen 9 Mixed Gas 10 Gas Passage 11 Ozone Decomposing Device 12 Valve 13 Liquid Passage 14 Valve 15 Heater 16 Gas Venting Valve 17 Gas Passage 18 heat exchanger 19 liquid passage 20 heat exchange liquid passage 21 heat exchange liquid passage 22 liquid treatment unit 23 treatment unit 24 switching valve 25 liquid passage 26 connection unit

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被処理液である液体に、オゾンおよび活
性酸素を混入して、前記液体に含まれている有機系の有
害物質を低毒性の物質に化成した後、前記液体を繊維フ
ィルタおよび活性炭を通過させることにより、前記液体
に含まれている異物および不純物を取り除くことを特徴
とする液体処理方法。
1. A liquid that is a liquid to be treated is mixed with ozone and active oxygen to convert an organic harmful substance contained in the liquid into a low-toxic substance, and then the liquid is mixed with a fiber filter and A liquid treatment method, characterized in that foreign matter and impurities contained in the liquid are removed by passing activated carbon.
【請求項2】 被処理液である液体に、オゾンおよび活
性酸素を混入して、前記液体に含まれている有機系の有
害物質を低毒性の物質に化成した後、前記液体に残存し
ている前記オゾンを熱エネルギーによって取り除く処理
を行い、次に前記液体を繊維フィルタおよび活性炭を通
過させることにより、前記液体に含まれている異物およ
び不純物を取り除くことを特徴とする液体処理方法。
2. A liquid which is a liquid to be treated is mixed with ozone and active oxygen to convert an organic harmful substance contained in the liquid into a low-toxic substance and then remains in the liquid. A method for treating a liquid, characterized in that a treatment for removing the ozone that is present is performed by thermal energy, and then the liquid is passed through a fiber filter and activated carbon to remove foreign matters and impurities contained in the liquid.
【請求項3】 前記液体としては水を用い、前記液体に
前記オゾンおよび活性酸素を混入するにはバブリングを
用いていることを特徴とする請求項1または2記載の液
体処理方法。
3. The liquid processing method according to claim 1, wherein water is used as the liquid, and bubbling is used to mix the ozone and the active oxygen into the liquid.
【請求項4】 被処理液である液体に含まれている有機
系の有害物質と、オゾンおよび活性酸素とを反応させる
反応槽と、 前記反応槽とガス通路および液体通路を通して連結して
おり、前記被処理液である液体に含まれているオゾンお
よび前記反応槽における未反応のオゾンを分解するオゾ
ン分解器と、 前記被処理液である液体をろ過する繊維フィルタを有す
る処理部と、 前記被処理液である液体をろ過し、さらに液体中の不純
物を吸着する活性炭を有する処理部とを備えていること
を特徴とする液体処理装置。
4. A reaction tank for reacting an organic harmful substance contained in a liquid which is a liquid to be treated with ozone and active oxygen, and is connected to the reaction tank through a gas passage and a liquid passage, An ozone decomposer that decomposes ozone contained in the liquid that is the liquid to be treated and unreacted ozone in the reaction tank, a processing unit that has a fiber filter that filters the liquid that is the liquid to be treated, and A liquid treatment apparatus comprising: a treatment unit that filters a liquid that is a treatment liquid and that further has activated carbon that adsorbs impurities in the liquid.
【請求項5】 被処理液である液体に含まれている有機
系の有害物質と、オゾンおよび活性酸素とを反応させる
反応槽と、 前記反応槽とガス通路および液体通路を通して連結して
おり、前記被処理液である液体に含まれているオゾンお
よび前記反応槽における未反応のオゾンを分解するオゾ
ン分解器と、 前記オゾン分解器から導出された前記被処理液である液
体を所定の温度に調整する熱交換器と、 前記被処理液である液体をろ過する繊維フィルタを有す
る処理部と、 前記被処理液である液体をろ過し、さらに液体中の不純
物を吸着する活性炭を有する処理部とを備えていること
を特徴とする液体処理装置。
5. A reaction tank for reacting an organic harmful substance contained in a liquid which is a liquid to be treated with ozone and active oxygen, and the reaction tank is connected through a gas passage and a liquid passage, An ozone decomposing device that decomposes ozone contained in the liquid that is the liquid to be treated and unreacted ozone in the reaction tank, and the liquid that is the liquid to be treated that is derived from the ozone decomposing device to a predetermined temperature. A heat exchanger to be adjusted, a processing unit having a fiber filter that filters the liquid that is the liquid to be treated, a liquid filtering unit that is the liquid to be treated, and a treatment unit that has activated carbon that adsorbs impurities in the liquid. A liquid processing apparatus comprising:
【請求項6】 酸素を原材料としてオゾンおよび活性酸
素を作成するオゾン発生器と、 前記オゾン発生器に連結されており、被処理液である液
体に含まれている有機系の有害物質と、前記オゾンおよ
び活性酸素とを反応させる反応槽と、 前記反応槽とガス通路および液体通路を通して連結して
おり、前記被処理液である液体に含まれているオゾンお
よび前記反応槽における未反応のオゾンを分解するオゾ
ン分解器と、 前記オゾン分解器から導出された前記被処理液である液
体を所定の温度に調整する熱交換器と、 前記被処理液である液体をろ過する繊維フィルタを有す
る処理部と、 前記被処理液である液体をろ過し、さらに液体中の不純
物を吸着する活性炭を有する処理部とを備えていること
を特徴とする液体処理装置。
6. An ozone generator for producing ozone and active oxygen using oxygen as a raw material; an organic toxic substance contained in a liquid which is a liquid to be treated and which is connected to the ozone generator; A reaction tank for reacting ozone and active oxygen, which is connected to the reaction tank through a gas passage and a liquid passage, removes ozone contained in the liquid as the liquid to be treated and unreacted ozone in the reaction tank. An ozone decomposer that decomposes, a heat exchanger that adjusts the liquid, which is the liquid to be treated, drawn out from the ozone decomposer to a predetermined temperature, and a processing unit having a fiber filter that filters the liquid that is the liquid to be treated And a treatment unit having an activated carbon that filters the liquid that is the liquid to be treated and that adsorbs impurities in the liquid.
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