JPH07190933A - レーザ発光分光分析用浸漬ランス - Google Patents

レーザ発光分光分析用浸漬ランス

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JPH07190933A
JPH07190933A JP33362993A JP33362993A JPH07190933A JP H07190933 A JPH07190933 A JP H07190933A JP 33362993 A JP33362993 A JP 33362993A JP 33362993 A JP33362993 A JP 33362993A JP H07190933 A JPH07190933 A JP H07190933A
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JP
Japan
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laser emission
pipe
tube
spectroscopic analysis
lance
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JP33362993A
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English (en)
Inventor
Wataru Tanimoto
亘 谷本
Akira Yamamoto
山本  公
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JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】溶融状態の金属、絶縁物のレーザ発光分光分析
を長期間安定して行えるレーザ発光分光分析用浸漬ラン
スを提供する。 【構成】レーザ発光分光分析用浸漬ランス40を、最内
管42と、この最内管42を取り囲むガス噴出管44
と、最内管42及びガス噴出管44を取り囲む最外管4
6とを備えた多重管構造にし、最内管42の先端部に保
護窓50を取り付けた。また、最外管46には、先細り
形状部46aと円筒形状部46bを形成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、溶銑、溶鋼、スラグ、
ガラス、半導体などをはじめとする各種の溶融状態にあ
る金属や絶縁物にレーザを照射してこれら金属や絶縁物
の成分を分析するレーザ発光分光分析の際に、溶融状態
にある金属や絶縁物に浸漬されるレーザ発光分光分析用
浸漬ランスに関する。
【0002】
【従来の技術】金属工業の精錬工程における溶鋼中の元
素(例えばマンガン、カーボン、イオウ、リンなど)濃
度を分析する方法としては従来から、この溶鋼の一部を
採取し冷却凝固させた試料を用いて発光分光分析法によ
り元素濃度を分析する方法が広く用いられている。この
発光分光分析法としては、アーク、スパーク、グローな
どの放電現象を利用する方法や、高周波誘導プラズマを
利用する方法が知られている。
【0003】しかし、近年、溶融状態の金属を直接分析
する方法としてレーザ発光分光分析法が開発されてい
る。この方法は、例えば特開昭56−114746号公
報に開示されているように、溶融状態の金属にレーザ光
を集光照射してプラズマを生成させ、プラズマから放出
される光を分光し、各元素の発光スペクトル強度から被
測定元素の濃度を求める方法である。
【0004】上記のレーザ発光分光分析法を図4を参照
して説明する。先ず、強力なレーザ光10aをレーザ発
振器10から放出し反射鏡12で反射させ、集光レンズ
14により試料16の表面に焦点を結ばせて試料16の
表面層を急速に加熱する。レーザ光が数10nsecの
パルス状であると、試料16の内部に熱が拡散する前に
局所的にエネルギーが注入された状態となり、試料16
の表面層で試料16の蒸発が瞬時に起こる。蒸気は、レ
ーザ光10aによって更に励起されてプラズマ18とな
り光を放出する。このプラズマ18から放出される光を
適切な集光ミラー20を用いて入射スリット22を通し
て分光器24に伝送する。分光器24に伝送された光2
6は、反射鏡28で反射され回折格子30などの光分散
素子により分光されてスペクトルに分離する。このスペ
クトルは出射スリット32から出射し光検出器34に入
射される。この光検出器34では、各元素のスペクトル
強度が写真フィルム、光電子増倍管、フォトダイオード
等により検出され、信号処理器36、計算機38より、
目的元素の含有量が調べられる。
【0005】図4で説明したレーザ発光分光分析法を溶
融金属の直接分析に用いる場合の浸漬ランスとしては、
本発明者らがレーザ発光分光分析について開示した特開
昭56−128445号公報や特開昭61−14084
2号公報等に開示されている。しかし、これら従来のラ
ンスでは、以下の問題があり改善すべき余地があった。 (1)長期間使用した場合、レーザ光照射時に蒸発する
ダストや、溶融金属から蒸発してくるダストなどが光学
系に付着し、このダストがレーザ光によって光学系の表
面に焼き付いて汚れになる。 (2)レーザ光の照射やパージ用ガスを溶融金属に吹き
付けたときに、ランス内の溶融金属表面からスプラッシ
ュが発生して、光学系にダメージを与える。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記事情に
鑑み、溶融状態の金属、絶縁物のレーザ発光分光分析を
長期間安定して行えるレーザ発光分光分析用浸漬ランス
を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明のレーザ発光分光分析用浸漬ランスは、レーザ
光の照射用及び受光用の光学系が内部に取り付けられた
内管と、ガスを噴出する、前記内管を取り囲む外管とを
備えたレーザ発光分光分析用浸漬ランスにおいて、前記
内管が、該内管の先端部に前記光学系を保護する保護窓
を有し、該保護窓に向けてガスを噴出するガス噴出管を
前記内管の外周に有してなることを特徴とするものであ
る。
【0008】ここで、上記外管の形状が、先端に筒状の
管を有した形状であることが好ましい。さらに、上記保
護窓に付着した汚れを拭い取るワイパを取り付けること
が好ましい。さらにまた、上記ガス噴出管を上記内管を
取り囲む形状にすることが好ましい。
【0009】さらにまた、上記保護窓の材質は、レーザ
光とこのレーザ光に起因する励起光の両者が透過し易い
材質、例えばCaF2 ガラスやSiO2 ガラス等にする
ことが好ましい。
【0010】
【作用】本発明のレーザ発光分光分析用浸漬ランスによ
れば、光学系に向かって飛散してくるダストは保護窓に
遮断される。しかも、ガス噴出管からは保護窓に向かっ
てガスが噴出しているので、保護窓に付着するダストの
量は従来に比べ低減する。従って、光学系はダメージを
受けず、また保護窓の汚れは少ないので、溶融状態の金
属、絶縁物のレーザ発光分光分析を長期間安定して行え
る。
【0011】ここで、上記外管の形状が、先端に筒状の
管を有した形状である場合は、レーザ発光分光分析用浸
漬ランスにスプラッシュが飛散して侵入することを一層
防止できる。さらに、上記保護窓に付着した汚れを拭い
取るワイパを取り付けた場合は、保護窓にダストが付着
しても容易にこのダストを除去できる。
【0012】さらにまた、上記ガス噴出管を上記内管を
取り囲む形状にした場合は、保護窓に効率良くガスを噴
出できる。
【0013】
【実施例】以下、図面を参照して本発明のレーザ発光分
光分析用浸漬ランスを説明する。図1は本発明のレーザ
発光分光分析用浸漬ランスの一実施例を示す、(a)は
縦断面図、(b)は(a)のA−A断面図である。ま
た、図2は、従来と本発明のレーザ発光分光分析用浸漬
ランスの先端部を比較して示す、(a)は従来のものの
先端部の模式図、(b)は本発明のものの先端部の模式
図である。
【0014】レーザ発光分光分析用浸漬ランス40は、
最内管42と、この最内管42を取り囲むガス噴出管4
4と、最内管42及びガス噴出管44を取り囲む最外管
46とを備えた多重管構造である。最内管42には、集
光レンズ48と先端部に取りつけられた保護窓50とで
構成される光学系が組み込まれており、集光レンズ48
は保護窓50により、この集光レンズ48に向かって飛
散してくるダストから保護される。ガス噴出管44の先
端部44aは内方に折れ曲がっており、最内管42の壁
との間に、保護窓50に向き合う開口44bが形成され
ている。ガス噴出管44の後端部に取り付けられたガス
導入口(図示せず)から導入されたガスが、この開口4
4bから噴出し、これにより保護窓50に付着するダス
トの量は従来に比べ低減する。従って、光学系はダメー
ジを受けず、また保護窓の汚れは少ないので、溶融状態
の金属、絶縁物のレーザ発光分光分析を長期間安定して
行える。
【0015】最外管46は、先細り形状部46aと円筒
形状部46bからなる先端部を有しており、最外管46
の後端部に取り付けられたガス導入口(図示せず)から
導入されたガスが、この開口46cから噴出する。従来
のレーザ発光分光分析用浸漬ランスには、図2(a)に
示すように、円筒形状部46bが無いが、本発明のレー
ザ発光分光分析用浸漬ランスには、図1及び図2(b)
に示すように、円筒形状部46bが形成されているの
で、B部を流れるガスの流速が増し、溶融金属から発生
するダスト、スプラッシュのランス内部への飛散を防止
することができる。ここで、最内管42、ガス噴出管4
4、及び最外管46の口径はそれぞれ、180mm、1
20mm、110mmであり、円筒形状部46bの口径
は15mmである。また、ガス噴出管44からは、Ar
ガスを流量4.0リットル/minで噴出させ、最外管
46からはArガスを流量1.6リットル/minで噴
出させる。尚、各管の口径、ガスの種類、ガス流量等は
測定対象によって適宜変更される。
【0016】再び図1を参照して、上記のレーザ発光分
光分析用浸漬ランス40を備えたレーザ発光分光分析装
置による溶融金属の分光分析の手順を説明する。先ず、
レーザ発光分光分析用浸漬ランス40を溶融金属60に
浸漬する。次に、レーザ発振器62からレーザ光62a
を放出し反射鏡64で反射させ、ビームスプリッタ66
を通過させ、集光レンズ48によって溶融金属60の表
面に集光照射させる。レーザ光62aの照射によって発
生した励起光68は、集光レンズ48、ビームスプリッ
タ66、集光レンズ70を経由して分光器72に集光さ
れスペクトルに分散された後、各元素のスペクトル強度
が測定され、このスペクトル強度に基づいて信号処理器
74で各元素の濃度が分析される。
【0017】図3に、レーザ発光分光分析用浸漬ランス
40を用いて溶融亜鉛めっき浴中のAlを直接分析した
結果を、従来のものと比較して示す。ここで、従来のラ
ンスとしては保護窓50(図1参照)を取り付けたもの
を用いた。図3は、9時から20時まで連続分析したと
きのマトリクスであるZnのスペクトル強度の変化を示
すグラフである。図3から明らかなように、従来のラン
スを用いた場合は、時間と共にZnのスペクトル強度が
低下しているのがわかる。実験後ランスを見たところ、
保護窓に亜鉛の蒸気が付着していた。一方、レーザ発光
分光分析用浸漬ランス40を用いた場合は、強度低下は
起こらず、安定した強度を保ち続けているのがわかる。
実験後のランス観察でも保護窓50に付着物は見られな
かった。
【0018】上記実施例では亜鉛めっき浴に適用した例
を示したが、本発明のレーザ発光分光分析用浸漬ランス
は、内管、ガス噴出管、及び外管の材質を適切に選択す
ることにより転炉等における溶鋼の分光分析に適用する
ことができる。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように本発明のレーザ発光
分光分析用浸漬ランスによれば、レーザ光照射時やガス
パージ時に生じるダストやスプラッシュが光学系に付着
することを防止できるので、長期間安定したレーザ発光
分光分析を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のレーザ発光分光分析用浸漬ランスの一
実施例を示す、(a)は縦断面図、(b)は(a)のA
−A断面図である。
【図2】従来と本発明のレーザ発光分光分析用浸漬ラン
スの先端部を比較して示す、(a)は従来のものの先端
部の模式図、(b)は本発明のものの先端部の模式図で
ある。
【図3】9時から20時まで連続分析したときのマトリ
クスであるZnのスペクトル強度の変化を示すグラフで
ある。
【図4】レーザ発光分光分析の原理を示す説明図であ
る。
【符号の説明】
40 レーザ発光分光分析用浸漬ランス 42 最内管 44 ガス噴出管 46 最外管 46a 先細り形状部 46b 円筒形状部 48 集光レンズ 50 保護窓

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光の照射用及び受光用の光学系が
    内部に取り付けられた内管と、ガスを噴出する、前記内
    管を取り囲む外管とを備えたレーザ発光分光分析用浸漬
    ランスにおいて、 前記内管が、該内管の先端部に前記光学系を保護する保
    護窓を有し、 該保護窓に向けてガスを噴出するガス噴出管を前記内管
    の外周に有してなることを特徴とするレーザ発光分光分
    析用浸漬ランス。
  2. 【請求項2】 前記外管が、該外管の前記先端に筒状の
    管を有してなることを特徴とする請求項1記載のレーザ
    発光分光分析用浸漬ランス。
JP33362993A 1993-12-27 1993-12-27 レーザ発光分光分析用浸漬ランス Withdrawn JPH07190933A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009287965A (ja) * 2008-05-27 2009-12-10 Nippon Steel Corp 溶融金属用測定装置
JP2011002404A (ja) * 2009-06-22 2011-01-06 Nippon Steel Corp 溶鋼の連続モニタリング用ランス、連続モニタリング装置及び連続モニタリング方法
CN113663828A (zh) * 2020-04-30 2021-11-19 上海飞机制造有限公司 一种静电喷枪

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