JPH07190916A - Odor sensor and odor measuring apparatus - Google Patents

Odor sensor and odor measuring apparatus

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JPH07190916A
JPH07190916A JP34709793A JP34709793A JPH07190916A JP H07190916 A JPH07190916 A JP H07190916A JP 34709793 A JP34709793 A JP 34709793A JP 34709793 A JP34709793 A JP 34709793A JP H07190916 A JPH07190916 A JP H07190916A
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odor
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excitation electrodes
substances
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Mitsuru Sato
充 佐藤
Kazuyuki Yonemori
和之 米森
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Sogo Pharmaceutical Co Ltd
Tokyo Denpa Co Ltd
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Sogo Pharmaceutical Co Ltd
Tokyo Denpa Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To provide an odor sensor for detecting a plurality of odorous substances by splitting a piezoelectric oscillation board into a plurality of oscillatory regions through slits, providing each oscillatory region with a pair of oscillatory electrodes, and coating each electrode with a different type of synthetic resin film for adsorbing the odorous substance. CONSTITUTION:A piezoelectric oscillator, i.e., a crystal piece 2, is split into five oscillatory regions through slits 4 and each region is deposited with gold at different thickness to form exciting electrodes 3a-3e thus setting different resonance frequencies. The electrodes 3a-3e are coated with adsorbing substances (synthetic resin films) having different characteristics. The crystal piece 2 is supported on a common base 5 and the electrodes 3a-3e are connected with five sets of oscillation circuits having different frequencies through leads 6a-6e and a common lead 7. The odorous substance sensor 1 is exposed, at first, to the atmosphere and the oscillation frequency is measured. Thereafter, the objective odorous substance is adsorbed to the sensor 1 and measured. Variation in the frequency caused by the difference between the adsorbed substances is then analyzed for the electrodes 3a-3e thus deciding the odorous substance.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、圧電振動板、特に水晶
振動子を用い数種類の匂い物質を同時に検出することに
より、匂いの種類を特定する際に有用な匂いセンサと、
匂い測定装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an odor sensor useful for specifying the type of odor by simultaneously detecting several types of odor substances using a piezoelectric vibrating plate, especially a crystal oscillator.
The present invention relates to an odor measuring device.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧電振動子からなる励振用電極上に匂い
物質を吸着する合成脂質膜を塗布し、匂い物質吸着時の
質量変化に伴う周波数変化から、その匂い物質を検出す
るセンサとしては、例えば水晶振動子を用いた匂いセン
サ等が知られている。(特開昭63−222248号公
報) 図12は1枚の水晶振動板上に一対の励振用電極を設け
てなる匂い物質センサ20の一例を示す図である。この
図で21は水晶片(水晶振動子)、22は水晶片21に
設けられ、匂い吸着物質が塗布されている励振用電極を
示す。水晶片21は導電性接着剤23により水晶片支持
材24に固定されている。
2. Description of the Related Art A sensor for detecting an odorant from a frequency change associated with a change in mass when an odorant is adsorbed by applying a synthetic lipid film that adsorbs an odorant onto an excitation electrode composed of a piezoelectric vibrator is used. For example, an odor sensor using a crystal oscillator is known. (Japanese Patent Laid-Open No. 63-222248) FIG. 12 is a diagram showing an example of an odor substance sensor 20 in which a pair of excitation electrodes are provided on a single quartz diaphragm. In this figure, 21 is a crystal piece (crystal oscillator), and 22 is an excitation electrode provided on the crystal piece 21 and coated with an odor adsorbing substance. The crystal piece 21 is fixed to the crystal piece support member 24 with a conductive adhesive 23.

【0003】25は金属ベース、26は水晶片支持材2
4を支持するガラス、27a、27bは電極引き出しリ
ード線であり、いずれかがアース電極とされている。こ
の匂いセンサ20は励振用電極22に塗布されている吸
着物質(合成脂質膜)の、匂い物質の吸着時の周波数変
化から特定の匂い物質を検出することができるようにな
されている
Reference numeral 25 is a metal base, and 26 is a crystal piece support member 2.
Glass for supporting 4 and 27a, 27b are electrode lead wires, and either of them serves as a ground electrode. The odor sensor 20 can detect a specific odor substance from the frequency change of the odor substance adsorbed on the excitation electrode 22 (synthetic lipid film).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、この匂いセ
ンサ20は1対の励振電極を設けて、単にその振動周波
数の変化を検出するものであるため、この匂いセンサ2
0では、特定の匂い物質は感知することができるが、そ
の検出は単独の、又は数種類の匂いの合計値を検出する
ことになり、匂い成分を個々に分離して検出することは
困難になる。そのため、従来はこのような匂いセンサ2
0を使用して特定の匂いを検出するためには、匂いに感
応する吸着物質を適宜変更しながら数回に分けて匂いの
検出作業を行う必要があった。
By the way, since the odor sensor 20 is provided with a pair of excitation electrodes and simply detects a change in the vibration frequency, the odor sensor 2
At 0, a specific odor substance can be detected, but its detection will detect the total value of a single odor or several types of odors, making it difficult to detect odor components separately. . Therefore, conventionally, such an odor sensor 2
In order to detect a specific odor by using 0, it was necessary to perform the odor detection work in several times while appropriately changing the odor-sensitive adsorbent.

【0005】また、使用する匂いセンサ20の数の増加
にともない電極端子数が増加してしまい、接続作業が複
雑かつ困難になってしまう。さらに、測定時の環境変化
および匂い物質センサ20の温度変化等により測定が不
安定になる場合があり、検出結果に高い信頼性を得るこ
とができなかった。
Further, as the number of odor sensors 20 to be used increases, the number of electrode terminals also increases, and the connecting work becomes complicated and difficult. Furthermore, the measurement may become unstable due to environmental changes during measurement, temperature changes of the odor substance sensor 20, and the like, and it was not possible to obtain high reliability in the detection results.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明はこのような問題
点を解決するためになされたもので、第1の発明では水
晶などからなる一枚の圧電振動板を例えばスリット等に
より複数の振動領域に分割し、この分割された振動領域
に対して1対の振動電極を設けると共に、この振動電極
のそれぞれに対して、匂い物質を吸着する別種の合成脂
質膜を塗布したものである。
The present invention has been made in order to solve such a problem, and in the first invention, a single piezoelectric vibrating plate made of quartz or the like is vibrated by a plurality of slits or the like. The vibrating electrode is divided into regions, and a pair of vibrating electrodes are provided for the divided vibrating regions, and each of the vibrating electrodes is coated with another kind of synthetic lipid film that adsorbs an odor substance.

【0007】また第2の発明では、このような匂いセン
サの各振動領域を振動子とするような発振回路を同時に
動作しながらその周波数変化を検出し、各種の匂いの反
応軸をパタ−ン化して出力することによって、匂いの特
定が容易になるようにした匂い測定装置を提供するもの
である。
According to the second aspect of the invention, the frequency change is detected while simultaneously operating an oscillating circuit in which each vibration region of such an odor sensor is used as a vibrator, and the reaction axes of various odors are patterned. The present invention provides an odor measuring device in which the odor can be easily identified by converting the odor into an output.

【0008】[0008]

【作用】本発明による匂い物質センサに複数の発振回路
を接続することにより、一個の匂い物質センサに吸着し
た複数の匂い物質の検知信号が各発振回路の出力周波数
の変化として得られ、複数の匂い物質からなる匂いパタ
ーンを認識することができるようになる。
By connecting a plurality of oscillation circuits to the odor substance sensor according to the present invention, a detection signal of a plurality of odor substances adsorbed on one odor substance sensor is obtained as a change in the output frequency of each oscillation circuit. You will be able to recognize odor patterns consisting of odor substances.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明の匂いセンサの実施例を説明す
る。本実施例では圧電体として水晶を用い、ATカット
の水晶素板(以下、水晶片とする)に例えば5組の励振
用電極が形成されている。図1は本実施例の匂いセンサ
の斜視図である。この図で1は匂いセンサ(匂い物質セ
ンサともいう)、2は圧電振動体として用いられる平板
状の水晶片、3a、3b、3c、3d、3eは水晶片2
に蒸着されている励振用電極を示し、この励振電極の厚
みは例えば金を蒸着することによって異なる厚みとし、
スリット4で分割されている各振動領域の共振周波数が
異なるようになされている。
EXAMPLES Examples of the odor sensor of the present invention will be described below. In this embodiment, quartz is used as the piezoelectric body, and, for example, five sets of excitation electrodes are formed on an AT-cut crystal blank (hereinafter, referred to as a crystal piece). FIG. 1 is a perspective view of the odor sensor of this embodiment. In this figure, 1 is an odor sensor (also referred to as an odor substance sensor), 2 is a flat crystal piece used as a piezoelectric vibrating body, 3a, 3b, 3c, 3d, 3e are crystal pieces 2
The excitation electrodes are vapor-deposited on, and the thickness of the excitation electrodes is made different by, for example, vapor-depositing gold,
The resonance frequencies of the respective vibration regions divided by the slit 4 are different.

【0010】そして後述するように、それぞれに異なる
特性を有する匂い吸着物質(合成脂質膜)が塗布されて
いる。したがって水晶片2はスリット4により隔離して
n個の(実施例では5個)振動領域に分割されているこ
とになり、これらの各振動領域は電気的、音響的的な結
合を低減することにより、匂い物質の測定が安定するよ
うになされている。また、スリット4による放熱効果に
より、匂い物質センサ1の温度が安定し検出結果の信頼
性が向上する。
As will be described later, odor adsorbing substances (synthetic lipid membranes) having different characteristics are applied to each. Therefore, the crystal element 2 is separated by the slit 4 and divided into n (five in the embodiment) vibration regions, and each of these vibration regions reduces electrical and acoustic coupling. This makes the measurement of odorous substances stable. Further, the heat dissipation effect of the slit 4 stabilizes the temperature of the odor substance sensor 1 and improves the reliability of the detection result.

【0011】5は水晶片2を支持している水晶片支持ベ
ース、6a、6b、6c、6d、6eはそれぞれ同一の
沿え字が付されている励振用電極3a〜3eに接続され
てる電極引き出しリード、7は水晶片2の図示されてい
ない裏面に配されている励振用電極3a〜3eの共通リ
ードである。
Reference numeral 5 is a crystal piece support base supporting the crystal piece 2, and 6a, 6b, 6c, 6d, and 6e are electrode lead-outs connected to the excitation electrodes 3a to 3e having the same sideways letters. Leads 7 are common leads of the excitation electrodes 3a to 3e arranged on the back surface (not shown) of the crystal piece 2.

【0012】本実施例の匂い物質センサ1の励振用電極
3a〜3eそれぞれの電極面には、吸着物質として例え
ば以下に示す五種類の化合物(A〜E)が一種類ずつ塗
布されている。 A:モノアルキル型二分子膜化合物(全ての匂い物質に
同程度の感度を示す) B:ビニール型高分子化合物(エステル類の匂い物質に
高感度) C:トリアルキル型二分子膜化合物(ハロゲン化物、エ
ステル類、ケトン類、芳香族に高感度) D:ジアルキル型二分子膜化合物(全ての匂い物質に高
感度、特にアルコールに高感度) E:酸アミド重合型高分子化合物(平均的に感度が低い
が、カルボン酸類に高感度)
On the electrode surfaces of the excitation electrodes 3a to 3e of the odor substance sensor 1 of the present embodiment, for example, the following five kinds of compounds (AE) are applied as adsorbents one by one. A: Monoalkyl-type bilayer compound (showing the same sensitivity to all odor substances) B: Vinyl-type polymer compound (highly sensitive to ester odor substances) C: Trialkyl-type bilayer compound (halogen) Compounds, esters, ketones, and aromatics are highly sensitive. D: Dialkyl-type bilayer membrane compounds (highly sensitive to all odorants, especially alcohols) E: Acid amide polymerized polymeric compounds (on average) Low sensitivity but high sensitivity to carboxylic acids)

【0013】なお、上記実施例はスリット4によって励
振用電極3a〜3eがn個に分割されるように構成した
が、例えば図2に示すようにやや大型の水晶片12を使
用して、スリット4、4、4・・・の間隔より広くなる
ような幅Wを介して励振用電極3a〜3eを設けると、
スリット4を省略しても、例えば励振用電極3a〜3e
の面積、及び厚さに対応して、水晶片12の振動領域の
1つ、例えば励振用電極3aが設けられている領域のみ
が、特定の共振周波数を生じるように設定することがで
きるから、この実施例の匂センサでも上記図1の場合と
同様に5種類の共振周波数を設定することができ、本発
明の匂いセンサとして利用することも可能である。
In the above-mentioned embodiment, the excitation electrodes 3a to 3e are divided into n pieces by the slit 4. However, for example, as shown in FIG. When the excitation electrodes 3a to 3e are provided with a width W that is wider than the intervals of 4, 4, 4, ...
Even if the slit 4 is omitted, for example, the excitation electrodes 3a to 3e
Corresponding to the area and the thickness of the crystal element 12, only one of the vibration areas of the crystal blank 12, for example, the area where the excitation electrode 3a is provided, can be set to generate a specific resonance frequency. Also in the odor sensor of this embodiment, five kinds of resonance frequencies can be set similarly to the case of FIG. 1, and it can be used as the odor sensor of the present invention.

【0014】図3はこのような吸着物質が塗布されてい
る匂い物質センサ1を用いた匂い測定装置の概要を示す
回路ブロック図であり、図1と同一符号は同一部分とす
る。匂い物質センサ1は電極引き出しリード6a〜6
e、及び共通リード7によりn組の発振回路8a、8
b、8c、8d、8eに接続されている。
FIG. 3 is a circuit block diagram showing an outline of an odor measuring device using the odor substance sensor 1 coated with such an adsorbing substance, and the same reference numerals as those in FIG. 1 denote the same parts. The odor substance sensor 1 has electrode lead leads 6a to 6
e and the common lead 7 provide n sets of oscillation circuits 8a, 8a
It is connected to b, 8c, 8d, and 8e.

【0015】なお、各発振回路8a〜8bは、例えば水
晶片2の振動領域を振動子とする汎用のコルピッツ発振
器であり、同じ周波数で発振させると相互に干渉を起こ
し、匂い物質の測定が不安定となる場合があるので、前
記したように例えば励振電極3(a,b,c,d,e)
の厚みを変えて、発振周波数が例えば約10KHz程度の
オフセット周波数を持つように設定することが好まし
い。
Each of the oscillating circuits 8a and 8b is a general-purpose Colpitts oscillator which uses, for example, a vibrating region of the crystal blank 2 as a vibrator, and when they are oscillated at the same frequency, they interfere with each other and measurement of an odor substance is not possible. Since it may become stable, as described above, for example, the excitation electrode 3 (a, b, c, d, e)
It is preferable to change the thickness of the filter so that the oscillation frequency has an offset frequency of, for example, about 10 KHz.

【0016】9は上記発振回路8(a,b,c,d,
e)の発振周波数を選択して周波数カウンタ10に供給
するスイッチ、11は匂い物質センサ1の匂い物質吸着
後の発振周波数の変化を検出し、その検出デ−タを分析
して匂いパターンをグラフとして作成及び表示すること
ができる計算ソフトで動作するマイクロコンピュ−タを
備えているパターン検出部を示す。
Reference numeral 9 is the oscillator circuit 8 (a, b, c, d,
A switch for selecting the oscillating frequency of e) and supplying it to the frequency counter 10, 11 detects a change in the oscillating frequency after the odor substance adsorption of the odor substance sensor 1 and analyzes the detected data to graph the odor pattern. 2 shows a pattern detection unit equipped with a microcomputer that operates with calculation software that can be created and displayed as.

【0017】匂い物質を検出する場合は、まず前記匂い
物質センサ1を大気中に晒して、その時の発振周波数を
あらかじめ測定しておき、その後、測定対象となる被匂
い物質をセンサに吸着させ測定を行なう。このとき、匂
い物質センサ1の励振用電極3a〜3eは塗布されてい
る吸着物質の特性の違いにより、それぞれ異なる周波数
変化をなし、この周波数変化をパターン化することによ
り、測定した匂い物質の種類を判別することができる。
When detecting an odor substance, first, the odor substance sensor 1 is exposed to the atmosphere, the oscillation frequency at that time is measured in advance, and then the odorous substance to be measured is adsorbed on the sensor and measured. Do. At this time, the excitation electrodes 3a to 3e of the odor substance sensor 1 each have different frequency changes due to the difference in the characteristics of the adsorbed substance being applied, and by patterning this frequency change, the type of odor substance measured Can be determined.

【0018】これらの吸着物質に対する匂い物質の吸着
量と水晶片2の周波数変化は数式1で示される。
The adsorbed amount of the odorous substance with respect to these adsorbed substances and the frequency change of the quartz piece 2 are represented by the formula 1.

【数1】 但し、数式1において Δf : 周波数変化(Hz) f0 : 水晶片1の共振周波数 N : 水晶片1の周波数定数(ATカット):1.6
7×105 (Hz・cm) P :水晶の密度:2.648(g/cm3 ) ΔW : 吸着質量(g) である。
[Equation 1] However, in Formula 1, Δf: Frequency change (Hz) f 0 : Resonant frequency of crystal piece 1 N: Frequency constant of crystal piece 1 (AT cut): 1.6
7 × 10 5 (Hz · cm) P: Density of quartz: 2.648 (g / cm 3 ) ΔW: Adsorbed mass (g).

【0019】本実施例の匂い物質センサ1における匂い
物質吸着時の水晶片2の周波数変化を、上記数式1によ
り求めると、次の数式2に示されているように、例えば
吸着物質が僅か約1ナノグラム(ng)程に対し、約2
Hz程度の周波数変化を示すことがわかる。
When the frequency change of the crystal piece 2 at the time of adsorbing the odor substance in the odor substance sensor 1 of this embodiment is obtained by the above formula 1, for example, as shown in the following formula 2, for example, the amount of the adsorbed substance is about About 2 for 1 nanogram (ng)
It can be seen that the frequency change is about Hz.

【数2】 この周波数変化は吸着した匂い物質の膜厚に比例して変
化するが、例えば図4に示されているように、匂い物質
が吸着を開始してから周波数が変化し始め、例えば約5
分程度で測定前と比較して数2KHZ 程度の周波数変化
が現れる。したがって、この周波数変化を後続のカウン
タで計測して分析することによって、以下に述べるよう
に匂い物質に対応したパタ−ンを求めることができる。
[Equation 2] This frequency change changes in proportion to the film thickness of the adsorbed odor substance. For example, as shown in FIG. 4, the frequency starts to change after the odor substance starts adsorbing, for example, about 5
Frequency change of about several 2KH Z compared to the previous measurements in minutes extent appears. Therefore, by measuring and analyzing this frequency change with the subsequent counter, the pattern corresponding to the odor substance can be obtained as described below.

【0020】図5乃至図11は本発明の匂い物質センサ
1により測定された周波数変化量を、A軸、B軸、C
軸、D軸、E軸によりパターン化した匂いパターンの一
例を示すグラフである。A軸〜E軸はそれぞれ励振用電
極3a〜3eによる発振周波数の変化に対応しており、
A軸に示されるモノアルキル型二分子膜化合物に吸着さ
れた匂い物質による周波数変化量を100として示され
ている。
FIGS. 5 to 11 show the frequency changes measured by the odor substance sensor 1 of the present invention on the A axis, B axis, and C axis.
It is a graph which shows an example of the odor pattern patterned by the axis, the D axis, and the E axis. The A-axis to the E-axis correspond to changes in the oscillation frequency caused by the excitation electrodes 3a to 3e, respectively.
The frequency change amount due to the odor substance adsorbed on the monoalkyl-type bilayer film compound shown on the A axis is shown as 100.

【0021】図5に示されているように、例えばエチレ
ンジアミン、アニリン、トリエチルアミン、N,N−ジ
メチルアニリンの4種類の匂い物質を吸着した場合は、
匂い物質センサ1の励振用電極3a〜3e(A軸〜E
軸)の周波数変化量は所定の時間を経て図示されている
ように変化し、アミン類として特定の匂いパターンを形
成するようになる。また、図6に示されているように、
例えばメタノール、エタノール、IPA、IBA、アリ
ルアルコールの5種類の匂い物質を吸着した場合は、ア
ルコール類として特定の匂いパターンを形成するように
なる。
As shown in FIG. 5, when four kinds of odorants such as ethylenediamine, aniline, triethylamine and N, N-dimethylaniline are adsorbed,
Excitation electrodes 3a to 3e (A axis to E of odor substance sensor 1)
The frequency change amount of the axis changes as shown in the figure after a predetermined time, and forms a specific odor pattern as amines. Also, as shown in FIG.
For example, when five kinds of odorants such as methanol, ethanol, IPA, IBA and allyl alcohol are adsorbed, a specific odor pattern is formed as alcohols.

【0022】同様にして図7は、酢酸エチル、安息香酸
エチル、クロル酢酸エチル、アクリル酸メチルによりエ
ステル類、図8はギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸によ
りカルボン酸類、図9はMIBK、MEK、シクロヘキ
サノン、アセトン、アセトフェノンによりケトン類、図
10はクロロフォルム、1,2−ジクロロエタン、四塩
化炭素、0−クロロトルエンによりハロゲン化物、図1
1はベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼンに
より芳香族の匂いパターンを示したものであり、これら
の匂いパターンにより、匂いの種類を判別することがで
きるようになる。
Similarly, FIG. 7 shows esters with ethyl acetate, ethyl benzoate, ethyl chloroacetate and methyl acrylate, FIG. 8 shows carboxylic acids with formic acid, acetic acid, propionic acid and butyric acid, and FIG. 9 shows MIBK, MEK, Ketones with cyclohexanone, acetone and acetophenone, FIG. 10 shows halogen compounds with chloroform, 1,2-dichloroethane, carbon tetrachloride and 0-chlorotoluene, FIG.
Numeral 1 shows aromatic odor patterns of benzene, toluene, xylene, and ethylbenzene, and it becomes possible to discriminate the type of odor from these odor patterns.

【0023】なお、図5乃至図11に示した本発明の測
定結果は前記した単独の匂い物質センサ20を数回にわ
たって使用しながら測定した測定値と良く一致してお
り、一つの匂い物質センサ1により同時に複数の匂い物
質の検出を行なった場合でも、従来と同様な検出結果を
得ることができた。
It should be noted that the measurement results of the present invention shown in FIGS. 5 to 11 are in good agreement with the measurement values obtained by using the above-mentioned single odor substance sensor 20 several times. Even when a plurality of odorous substances were detected at the same time by No. 1, the same detection result as the conventional one could be obtained.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上、説明したように本発明の匂いセン
サ、及び匂い測定装置は、一枚の圧電振動子をスリット
によりn個の振動領域に分割するか、所定の間隔を介し
て振動領域を配し、この各振動領域に励振電極を設ける
ようにすると共に、それぞれの励振電極に匂い物質を吸
収する別種の合成脂質膜が塗布されているから、一つの
匂いセンサで多種類の匂い物質を同時に検出することが
できるようになる。さらに、前記複数の励振用電極をそ
れぞれ個別の発振回路に接続して、同一条件で発振させ
るようになし、この発振回路の周波数変化を分析するこ
とによって各匂い物質の特有のパタ−ンが出力されるよ
うになされているから、各種の匂い物質が混合している
ような雰囲気中でも、正確に匂い物質の分析を行うこと
が容易になるという効果がある。また、圧電振動子にス
リットを設けることにより放熱性も向上し、匂いセンサ
の温度が安定するので、検出結果の信頼性が向上する。
As described above, according to the odor sensor and the odor measuring device of the present invention, one piezoelectric vibrator is divided into n vibration regions by slits, or the vibration region is divided by a predetermined interval. Are arranged, and excitation electrodes are provided in each of these vibration regions.Since each type of excitation electrode is coated with a different type of synthetic lipid film that absorbs odor substances, one odor sensor can be used for various types of odor substances. Can be detected at the same time. Furthermore, each of the plurality of excitation electrodes is connected to an individual oscillation circuit so that the electrodes are oscillated under the same conditions, and by analyzing the frequency change of this oscillation circuit, a unique pattern of each odor substance is output. Thus, there is an effect that it becomes easy to accurately analyze an odor substance even in an atmosphere in which various odor substances are mixed. Further, by providing the slits on the piezoelectric vibrator, heat dissipation is also improved and the temperature of the odor sensor is stabilized, so that the reliability of the detection result is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例の匂い物質センサの斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view of an odor substance sensor according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例の変型例である匂い物質センサ
の斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view of an odor substance sensor which is a modified example of the embodiment of the present invention.

【図3】実施例の匂い物質センサを用いた匂い検出装置
の一部回路ブロック図である。
FIG. 3 is a partial circuit block diagram of an odor detecting device using the odor substance sensor of the embodiment.

【図4】匂い物質吸着時の発振周波数の変化を示す図で
ある。
FIG. 4 is a diagram showing a change in oscillation frequency when adsorbing an odor substance.

【図5】実施例の匂い物質センサにより検出されたアミ
ン類の匂いパターンを示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing odor patterns of amines detected by the odor substance sensor of the example.

【図6】実施例の匂い物質センサにより検出されたアル
コール類の匂いパターンを示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing odor patterns of alcohols detected by the odor substance sensor of the example.

【図7】実施例の匂い物質センサにより検出されたエス
テル類の匂いパターンを示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing odor patterns of esters detected by the odor substance sensor of the example.

【図8】実施例の匂い物質センサにより検出されたカル
ボン酸類の匂いパターンを示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing an odor pattern of carboxylic acids detected by the odor substance sensor of the example.

【図9】実施例の匂い物質センサにより検出されたケト
ン類の匂いパターンを示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing odor patterns of ketones detected by the odor substance sensor of the example.

【図10】実施例の匂い物質センサにより検出されたハ
ロゲン化物の匂いパターンを示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing an odor pattern of a halide detected by the odor substance sensor of the example.

【図11】実施例の匂い物質センサにより検出された芳
香族の匂いパターンを示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing an aromatic odor pattern detected by the odor substance sensor of the example.

【図12】従来の匂い物質センサの斜視図である。FIG. 12 is a perspective view of a conventional odor substance sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 匂いセンサ 2、12 液晶片 3a、3b、3c、3d、3e 励振用電極 4 スリット 5 水晶片支持ベース 6a、6b、6c、6d、6e 電極引き出しリード 7 共通リード 8a、8b、8c、8d、8e 発振回路 9 スイッチ 10 周波数カウンタ 11 パターン検出部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Smell sensor 2, 12 Liquid crystal piece 3a, 3b, 3c, 3d, 3e Excitation electrode 4 Slit 5 Crystal piece support base 6a, 6b, 6c, 6d, 6e Electrode extraction lead 7 Common lead 8a, 8b, 8c, 8d, 8e Oscillation circuit 9 Switch 10 Frequency counter 11 Pattern detector

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 スリットにより隔離されn個の振動領域
を有する1枚の圧電振動子と、 上記n個の振動領域を励振するために設けられている1
対の励振電極と、 上記各励振電極に対して異なる種類の匂い吸着物質が塗
布されていることを特徴とする匂いセンサ。
1. A single piezoelectric vibrator having n vibration regions separated by a slit, and 1 provided for exciting the n vibration regions.
An odor sensor, characterized in that a pair of excitation electrodes and different types of odor adsorbing substances are applied to the excitation electrodes.
【請求項2】 所定の間隔を介してn個の振動領域に分
割された1枚の圧電振動子と、 上記n個の振動領域を励振するために設けられている1
対の励振電極と、 上記各励振電極に対して異なる種類の匂い吸着物質が塗
布されていることを特徴とするに匂いセンサ。
2. A single piezoelectric vibrator divided into n vibration regions at a predetermined interval, and 1 provided to excite the n vibration regions.
An odor sensor, characterized in that a pair of excitation electrodes and different types of odor adsorbing substances are applied to the excitation electrodes.
【請求項3】 上記n個の振動領域はそれぞれ異なる共
振周波数となるように構成されていることを特徴とする
請求項1又は2に記載の匂いセンサ。
3. The odor sensor according to claim 1, wherein the n vibration regions are configured so as to have different resonance frequencies, respectively.
【請求項4】 上記各一対の励振電極の一方が共通接続
されていることを特徴とする請求項1又は2又は3に記
載の匂いセンサ。
4. The odor sensor according to claim 1, wherein one of the pair of excitation electrodes is commonly connected.
【請求項5】 n個の振動領域を有する1枚の圧電振動
子と、 上記n個の振動領域を励振するために設けられている1
対の励振電極と、 上記各励振電極に対して異なる種類の匂い吸着物質が塗
布されている匂いセンサと、 上記各振動領域を各々振動子として用いるn個の発振回
路と、 該発振回路の出力周波数を計数するカウンタと、 該カウンタによって検出された周波数変化がn軸の匂い
パタ−ン図として出力される制御部とを備えていること
を特徴とする匂い測定装置。
5. A piezoelectric vibrator having n vibration regions, and 1 provided for exciting the n vibration regions.
A pair of excitation electrodes, an odor sensor in which different types of odor adsorbing substances are applied to each of the excitation electrodes, n oscillation circuits each of which uses each of the oscillation regions as an oscillator, and outputs of the oscillation circuits An odor measuring device, comprising: a counter that counts frequencies; and a control unit that outputs a frequency change detected by the counter as an n-axis odor pattern diagram.
【請求項6】上記カウンタは上記n個の発振回路に対し
てスイッチを介して共通接続されていることを特徴とす
る請求項5に記載の匂い測定装置。
6. The odor measuring device according to claim 5, wherein the counter is commonly connected to the n oscillator circuits via a switch.
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