JPH07155687A - Ultrasound vibrator - Google Patents

Ultrasound vibrator

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JPH07155687A
JPH07155687A JP5302790A JP30279093A JPH07155687A JP H07155687 A JPH07155687 A JP H07155687A JP 5302790 A JP5302790 A JP 5302790A JP 30279093 A JP30279093 A JP 30279093A JP H07155687 A JPH07155687 A JP H07155687A
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vibration
fixing shaft
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hole
ultrasonic transducer
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Hiroki Endo
広樹 遠藤
Keisuke Honda
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Honda Electronics Co Ltd
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  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To eliminate the trend to load any intrinsic performance due to the attempt to support an ultrasound vibrator. CONSTITUTION:A hole 16a is provided, along an axis, in a connection bolt 16 which connects both blocks 11, 15 holding piezoelectric elements 12, 14 and a fixing shaft 17 is introduced into the hole 16 leaving a clearance. When supporting an ultrasound vibrator at the tip of the fixing shaft 17, the fulcrum of the vibrator is used as a node of vibration. Thus it is possible to support the ultrasound vibrator at a point which becomes a node of vibration in any direction.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動子に関する
ものであり、特に振動の発生を抑制しないようにその超
音波振動子を支持する技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic vibrator, and more particularly to a technique for supporting the ultrasonic vibrator so as not to suppress the generation of vibration.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧電素子に周期的に変動する電圧を印加
することによって縦振動と屈曲振動の複合した振動を発
生させる超音波振動子が開発されており、例えば特開平
2−228267号公報にその一例が示されている。そ
の超音波振動子の構造を図5に示す。
2. Description of the Related Art An ultrasonic vibrator has been developed which generates a combined vibration of a longitudinal vibration and a bending vibration by applying a cyclically varying voltage to a piezoelectric element. An example is shown. The structure of the ultrasonic transducer is shown in FIG.

【0003】図5中、51は直方体状の弾性体であり、
その一側面に弾性体51に縦振動を起すための第1圧電
体52が着設されている。また他側面に弾性体51に屈
曲振動を起すための第2圧電体53が着設されている。
第1圧電体52に周期的に変動する電圧を印加すること
によって弾性体51は図中X方向に伸び縮みし、弾性体
51の1点54は図中xに示すように振動する。第2圧
電体53に周期的に変動する電圧を印加することによっ
て弾性体51は図中XZ面内で屈曲振動し、弾性体51
の1点54は図中zに示すように振動する。両圧電体5
2,53のそれぞれに変動する電圧を印加すると、弾性
体の1点54はxの振動とzの振動を複合した振動で振
動することになる。ここで第1圧電体52と第2圧電体
53のそれぞれに印加する電圧の周期と位相を調整する
ことによって、縦振動と屈曲振動をともに共振振動数で
振動させることが可能となり、弾性体の1点54を図中
55に例示するように大きく楕円運動させることができ
る。
In FIG. 5, reference numeral 51 is a rectangular parallelepiped elastic body,
A first piezoelectric body 52 for causing longitudinal vibration to the elastic body 51 is attached to one side surface thereof. Further, a second piezoelectric body 53 for causing flexural vibration to the elastic body 51 is attached to the other side surface.
By applying a voltage that fluctuates periodically to the first piezoelectric body 52, the elastic body 51 expands and contracts in the X direction in the figure, and one point 54 of the elastic body 51 vibrates as shown by x in the figure. By applying a cyclically varying voltage to the second piezoelectric body 53, the elastic body 51 bends and vibrates in the XZ plane in the figure, and the elastic body 51
One point 54 of oscillates as indicated by z in the figure. Both piezoelectric bodies 5
When a fluctuating voltage is applied to each of Nos. 2 and 53, one point 54 of the elastic body vibrates by the combined vibration of the x vibration and the z vibration. Here, by adjusting the cycle and phase of the voltage applied to each of the first piezoelectric body 52 and the second piezoelectric body 53, it becomes possible to vibrate both the longitudinal vibration and the bending vibration at the resonance frequency, and One point 54 can be largely moved in an elliptic motion as illustrated at 55 in the figure.

【0004】図中56はこの超音波振動子を支持するた
めのボルトであり、このボルト56は弾性体51に生じ
る振動の節に設けられている。振動の節で弾性体51が
支持ボルト56で支持されていると、図4の(E) 〜(H)
に示すように、支持点が振動の発生に影響を与えること
なく、図中55に示した楕円運動が意図したとおり得ら
れる。
Reference numeral 56 in the drawing denotes a bolt for supporting the ultrasonic vibrator, and the bolt 56 is provided at a node of vibration generated in the elastic body 51. When the elastic body 51 is supported by the support bolt 56 at the node of vibration, (E) to (H) in FIG.
As shown in FIG. 5, the elliptic motion indicated by 55 in the figure can be obtained as intended without the supporting point affecting the occurrence of vibration.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】この構造の場合、振動
がXZ面内に限定されている限り格別の問題は生じな
い。ところがこの構造で屈曲振動の振動面が切換可能と
なっていると次のような問題が生じる。例えば図5にお
いて、第1圧電体52が屈曲振動を起し、第2圧電体5
3が縦振動を起すような用い方をすると、弾性体51は
XY面内で振動することになる。
With this structure, no particular problem occurs as long as the vibration is limited to the XZ plane. However, if the vibration surface of the bending vibration can be switched by this structure, the following problems occur. For example, in FIG. 5, the first piezoelectric body 52 causes bending vibration and the second piezoelectric body 5
When used in such a manner that 3 causes longitudinal vibration, the elastic body 51 vibrates in the XY plane.

【0006】図4はXY面内の振動を図示したものであ
り、(A) →(B) →(C) →(D) →(A)→…の振動が生じる
はずである。この場合、明らかに支持ボルト56がXY
面内で振れ回ろうとする。しかるに実際には支持ボルト
56が強固に支持されているために結局XY面内の振動
は図4の(E) 〜(H) に示すものとならず、(A) 〜(D)に
示す振動を起そうとする。しかしながら、次の理由で、
実際には(A) 〜(D) の振動も生じない。
FIG. 4 shows vibrations in the XY plane, and vibrations (A) .fwdarw. (B) .fwdarw. (C) .fwdarw. (D) .fwdarw. (A) .fwdarw. Should occur. In this case, the support bolt 56 is clearly XY
I try to swing around in the plane. However, since the support bolts 56 are actually strongly supported, the vibrations in the XY plane do not end up as shown in (E) to (H) of FIG. 4, but to the vibrations shown in (A) to (D). Try to cause. However, for the following reasons:
Actually, the vibration of (A) to (D) does not occur.

【0007】支持ボルト56で両側面が支持されてしま
うと、図4(A) 〜(D) の振動を生じさせるものと予想さ
れるが、そうなると共振振動数もずれてしまって共振現
象が得られなくなってしまう。そこで実際には(A) 〜
(D) の振動は生じないのである。そのためにXY面内で
振動させる用い方をすると、弾性体51の一点54の振
動は不規則で小さなものとなってしまう。このように従
来の支持構造によると、ある面内の振動には良好であっ
ても他の面内の振動には不都合をもたらし、結局種々の
面で振動させることが期待される超音波振動子を良好に
支持することができないのである。本発明の第1の目的
は、振動面の如何を問わずに一様な振動現象を発生する
ことが可能な支持構造を実現するものである。そのうえ
に、振動面の如何を問わずに常時共振現象を発生させる
ことが可能な支持構造を実現しようとするのである。
If both sides are supported by the support bolts 56, it is expected that the vibrations shown in FIGS. 4 (A) to 4 (D) will occur, but in that case, the resonance frequency also shifts and a resonance phenomenon is obtained. I will not be able to. So actually (A)
The vibration of (D) does not occur. Therefore, if the vibration is used in the XY plane, the vibration of one point 54 of the elastic body 51 becomes irregular and small. As described above, according to the conventional support structure, an ultrasonic transducer that is expected to vibrate in various planes even though it is good for vibration in one plane is inconvenient for vibration in another plane. Cannot be favorably supported. A first object of the present invention is to realize a support structure capable of generating a uniform vibration phenomenon regardless of the vibration surface. Moreover, it is intended to realize a support structure capable of constantly generating a resonance phenomenon regardless of the vibrating surface.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明の第1の態様に
係わる超音波振動子は、圧電素子に周期的に変動する電
圧を印加することによって縦振動と屈曲振動の複合した
振動を発生させる超音波振動子に係わるものであり、屈
曲振動の振動面が切換可能となっており、かつ屈曲振動
の振動面の如何を問わないで共通的に複合振動の節とな
る点で支持されていることを特徴とする。
An ultrasonic vibrator according to a first aspect of the present invention generates a combined vibration of a longitudinal vibration and a bending vibration by applying a cyclically varying voltage to a piezoelectric element. It is related to ultrasonic transducers, the vibration surface of bending vibration can be switched, and it is supported at a point that it is a node of compound vibration in common regardless of the vibration surface of bending vibration. It is characterized by

【0009】また第2の態様に係わる超音波振動子は、
リング状圧電素子を1対のブロック間に狭持した状態で
両ブロック間を連結ロッドで連結した超音波振動子に係
わるものであり、連結ロッドには軸心に沿った孔が設け
られており、その孔中に、その孔の内壁とクリアランス
を隔てて位置する固定用シャフトが挿入されており、そ
の固定用シャフトの挿入端が前記超音波振動子に固着さ
れていることを特徴としている。この場合固定用シャフ
トが前記超音波振動子の振動の節で前記超音波振動子に
固着されていることが極めて好ましい。
The ultrasonic transducer according to the second aspect is
The present invention relates to an ultrasonic transducer in which a ring-shaped piezoelectric element is sandwiched between a pair of blocks, and the two blocks are connected by a connecting rod. The connecting rod is provided with a hole along the axis. The fixing shaft, which is located with a clearance from the inner wall of the hole, is inserted into the hole, and the insertion end of the fixing shaft is fixed to the ultrasonic transducer. In this case, it is extremely preferable that the fixing shaft is fixed to the ultrasonic oscillator at the vibration node of the ultrasonic oscillator.

【0010】[0010]

【作用】この発明の第1の態様に従うと、振動面の如何
を問わないで常時振動の節となる点で支持されるため
に、振動に異方性をもたらすことなく方向によらないで
安定した振動が得られる。また第2の態様によると、振
動子が中心軸に対称に支持されるために、やはり振動に
異方性が生じず、方向によらないで均質な振動が得られ
る。特に振動の節で支持されていると、超音波振動子単
独について考慮した特性が支持した状態でも得られるこ
とになり、安定した共振を生ぜしめることが可能とな
る。
According to the first aspect of the present invention, the vibration is stable regardless of the direction, because the vibration is not supported by any direction because it is always supported at the point of the node of vibration regardless of the vibration surface. Vibration is obtained. Further, according to the second aspect, since the vibrator is supported symmetrically with respect to the central axis, anisotropy does not occur in the vibration, and uniform vibration can be obtained regardless of the direction. In particular, if it is supported by the vibration node, the characteristic considering the ultrasonic transducer alone can be obtained even in a supported state, and stable resonance can be generated.

【0011】[0011]

【実施例】以下本発明の第1実施例を図1、図2を参照
して説明する。図1中11と15は略円筒形状の金属ブ
ロックであり、両ブロック11,15間に圧電素子(こ
の場合2層の圧電素子12,14)が狭持された状態
で、両ブロック11,15は連結用ボルト16で連結さ
れている。2層の圧電素子12,14間には図2に示す
ように4枚に分割された分割電極13が狭持されてい
る。圧電素子12,14と分割電極13はリング状とな
っており、この内孔を連結用ボルト16がクリアランス
をもって通り抜けている。すなわち圧電素子12,14
と分割電極13は連結用ボルト16から絶縁されてい
る。連結用ボルト16は両端にねじが切られており、そ
れぞれのブロック11,15の軸心上に設けられている
ねじ孔にねじこまれている。両ブロック11,15と金
属製の連結用ボルト16は接地されて用いられる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. In FIG. 1, 11 and 15 are metal blocks having a substantially cylindrical shape, and in a state where a piezoelectric element (in this case, two layers of piezoelectric elements 12 and 14) is sandwiched between the two blocks 11 and 15, Are connected by connecting bolts 16. A divided electrode 13 divided into four pieces is sandwiched between the two layers of piezoelectric elements 12 and 14, as shown in FIG. The piezoelectric elements 12 and 14 and the divided electrode 13 have a ring shape, and the connecting bolt 16 passes through this inner hole with a clearance. That is, the piezoelectric elements 12, 14
The divided electrode 13 is insulated from the connecting bolt 16. The connecting bolt 16 is threaded at both ends and is screwed into a screw hole provided on the axis of each of the blocks 11 and 15. Both the blocks 11 and 15 and the metal connecting bolt 16 are grounded and used.

【0012】分割電極13a〜13dには選択的に高周
波電圧が印加可能であり、図2中電極13aに高周波電
圧を印加すると、図4(E) →(H) の共振動が図2中Yに
示す面内で発生する。共振はブロック11のホーン11
aによって増幅され、ホーン11aの先端はXY面内で
大きく楕円運動する(18)。図2中電極13cに高周
波電圧を印加すると図4(H) →(E) の共振が図2中Yに
示す面内で発生する。この場合ホーン11aの先端はX
Y面内で大きく楕円運動するが、その向きが18に示す
楕円運動と反対となる。
A high frequency voltage can be selectively applied to the divided electrodes 13a to 13d. When a high frequency voltage is applied to the electrode 13a in FIG. 2, co-vibration shown in FIGS. It occurs within the plane shown in. Resonance is horn 11 of block 11
Amplified by a, the tip of the horn 11a makes a large elliptical motion in the XY plane (18). When a high frequency voltage is applied to the electrode 13c in FIG. 2, resonance shown in FIG. 4 (H) → (E) occurs in the plane indicated by Y in FIG. In this case, the tip of the horn 11a is X
A large elliptical motion is made in the Y plane, but its direction is opposite to the elliptic motion shown in 18.

【0013】図2中電極13bに高周波電圧を印加する
と、図4(E) →(H) に示す共振が図2中Zに示す面内で
発生する。この場合ホーン11aの先端はXZ面内で大
きく楕円運動する。この向きは図1の楕円運動と直交す
るものとなる。図2中電極13dに高周波電圧を印加す
ると、XZ面内で反対向きの楕円運動が生じる。
When a high frequency voltage is applied to the electrode 13b in FIG. 2, resonance shown in FIGS. 4 (E) → (H) occurs in the plane indicated by Z in FIG. In this case, the tip of the horn 11a makes a large elliptical motion in the XZ plane. This direction is orthogonal to the elliptic motion in FIG. When a high frequency voltage is applied to the electrode 13d in FIG. 2, an elliptic motion in the opposite direction occurs in the XZ plane.

【0014】さてこのようにして、この超音波振動子は
縦振動と屈曲振動が複合して生じる楕円振動を生じさ
せ、しかもそのときの屈曲振動面が切換可能となってい
るが、いずれの方向の振動の場合にも図中17aに示す
点は振動の節となっている。すなわちどの面をとっても
図4の(E) 〜(H) の示す振動となり、図4中56に示す
振動の節が図1中の17aの点に相当している。
In this way, this ultrasonic oscillator causes elliptical vibration which is a combination of longitudinal vibration and bending vibration, and the bending vibration surface at that time can be switched. Also in the case of the vibration, the point 17a in the drawing is a node of the vibration. That is, the vibrations shown by (E) to (H) in FIG. 4 are taken on any surface, and the node of vibration shown by 56 in FIG. 4 corresponds to the point 17a in FIG.

【0015】図1の構造において、連結用ボルト16に
は軸心に沿って孔16aが設けられている。そしてその
孔16a中に固定用シャフト17が挿入されている。固
定用シャフト17は孔16aの内壁とクリアランスCL
をもって位置している。固定用シャフト17の挿入端1
7aは拡径されており、ボルト16の孔16aに固着さ
れている。固定用シャフト17の先端拡径部17aは孔
16aに圧入されて固着される。なお圧入するかわりに
接着してもよい。固定用シャフト17の基部フランジ1
7bは装置に固定され、これによって超音波振動子が装
置に支持される。
In the structure of FIG. 1, the connecting bolt 16 is provided with a hole 16a along its axis. The fixing shaft 17 is inserted into the hole 16a. The fixing shaft 17 has a clearance CL with the inner wall of the hole 16a.
It is located with. Insertion end 1 of fixing shaft 17
7a has an enlarged diameter and is fixed to the hole 16a of the bolt 16. The tip enlarged diameter portion 17a of the fixing shaft 17 is press-fitted and fixed in the hole 16a. Instead of press-fitting, it may be bonded. Base flange 1 of fixing shaft 17
7b is fixed to the device, whereby the ultrasonic transducer is supported by the device.

【0016】さてこの実施例の場合、固定用シャフト1
7は超音波振動子を、その振動面の如何を問わないで共
通的に振動の節となる点17aで支持しているために、
振動に異方性が生じず、全方位にわたって共通の振動特
性が得られることになる。また振動の節で支持されてい
るために、支持することによって振動の物理系が影響を
受けることなく、安定した共振現象が得られる。
Now, in the case of this embodiment, the fixing shaft 1
7 supports the ultrasonic transducer at a point 17a which is a node of vibration in common regardless of its vibrating surface.
Anisotropy does not occur in vibration, and common vibration characteristics can be obtained in all directions. Further, since it is supported by the vibration node, the physical system of vibration is not affected by the support, and a stable resonance phenomenon can be obtained.

【0017】図3は他の実施例を示すものであり、この
場合は固定用シャフト37の先端拡径部37aの外周に
ねじが切られており、このねじが金属ブロック31のね
じ孔にねじこまれることで、超音波振動子が固定用シャ
フト37に固着されている。この場合も先端拡径部37
aは振動面の如何を問わずに共通的に振動の節となる点
に位置しており、図1と共通の現象が得られる。このよ
うにしてホーン11a,31aの先端をどの面内でも大
きく楕円運動させることができるために、ホーンの先端
で物体を任意方向に駆動することができる。
FIG. 3 shows another embodiment. In this case, a screw is cut on the outer periphery of the enlarged diameter portion 37a of the tip of the fixing shaft 37, and this screw is screwed into the screw hole of the metal block 31. By being crushed, the ultrasonic transducer is fixed to the fixing shaft 37. Also in this case, the enlarged tip portion 37
a is located at a point that is a node of vibration in common regardless of the vibrating surface, and the same phenomenon as in FIG. 1 can be obtained. In this way, since the tips of the horns 11a and 31a can be largely moved in an elliptical plane in any plane, the object can be driven in any direction by the tips of the horns.

【0018】[0018]

【発明の効果】この発明によると、超音波振動子の外周
でなく、軸心部で支持されているために、超音波振動子
を支持する際に振動に異方性が生じてしまうことが防止
される。また振動面の如何を問わないで共通的に振動の
節となる点で支持できるために、安定的に共振現象を発
生させることができ、安定した超音波振動を得ることが
できる。
According to the present invention, since the ultrasonic vibrator is supported not by the outer periphery but by the axial center portion, anisotropy may occur in the vibration when supporting the ultrasonic vibrator. To be prevented. Further, regardless of the vibrating surface, since it can be commonly supported at a point serving as a node of vibration, a resonance phenomenon can be stably generated and stable ultrasonic vibration can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1実施例の中央断面図FIG. 1 is a central sectional view of a first embodiment.

【図2】分割電極の平面図FIG. 2 is a plan view of a divided electrode.

【図3】第2実施例の中央断面図FIG. 3 is a central sectional view of the second embodiment.

【図4】振動の様子を模式的に拡大して示す図FIG. 4 is a diagram schematically showing the state of vibration in an enlarged manner.

【図5】従来の支持構造を示す図FIG. 5 is a view showing a conventional support structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 ブロック 12,14 圧電素子 13(13a〜13d) 分割電極 16 連結用ボルト 17 固定用シャフト 17a,37a 支持点(振動の節) 11 Blocks 12 and 14 Piezoelectric elements 13 (13a to 13d) Split electrodes 16 Connection bolts 17 Fixing shafts 17a and 37a Support points (vibration nodes)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電素子に周期的に変動する電圧を印加
することによって縦振動と屈曲振動の複合した振動を発
生させる超音波振動子において、 その屈曲振動の振動面が切換可能となっており、かつそ
の屈曲振動の振動面の如何を問わないで共通的に複合振
動の節となる点を支持点とした超音波振動子。
1. An ultrasonic vibrator for generating a combined vibration of longitudinal vibration and flexural vibration by applying a cyclically varying voltage to a piezoelectric element, the vibrating surface of the flexural vibration being switchable. Also, an ultrasonic transducer having a support point at a point that is commonly a node of compound vibration regardless of the vibration surface of the bending vibration.
【請求項2】 リング状圧電素子を1対のブロック間に
狭持した状態で両ブロック間を連結ロッドで連結した超
音波振動子において前記連結ロッドには軸心に沿った孔
が設けられており、 その孔中に、その孔の内壁とクリアランスを隔てて位置
する固定用シャフトが挿入されており、 その固定用シャフトの挿入端が前記超音波振動子に固着
されていることを特徴とする超音波振動子。
2. In an ultrasonic transducer in which a ring-shaped piezoelectric element is sandwiched between a pair of blocks and both blocks are connected by a connecting rod, the connecting rod is provided with a hole along an axis. In the hole, a fixing shaft located apart from the inner wall of the hole with a clearance is inserted, and an insertion end of the fixing shaft is fixed to the ultrasonic transducer. Ultrasonic transducer.
【請求項3】 請求項2に記載の超音波振動子におい
て、前記固定用シャフトが前記超音波振動子の振動の節
で前記超音波振動子に固着されていることを特徴とする
超音波振動子。
3. The ultrasonic vibrator according to claim 2, wherein the fixing shaft is fixed to the ultrasonic vibrator at a vibration node of the ultrasonic vibrator. Child.
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JP2008079499A (en) * 2007-11-09 2008-04-03 Japan Science & Technology Agency Positioning device
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