JPH0714507A - Manufacture of electron gun cathode structure - Google Patents
Manufacture of electron gun cathode structureInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、第１グリッドと第２グ
リッドとの距離を規定するスペーサ及び第１グリッドが
絶縁物から成る支持体の同一の平面に固着されている電
子銃カソード構造体の製造方法に関する。かかる電子銃
カソード構造体は、テレビジョン受像機や端末ディスプ
レイ装置等の陰極線管に装着される。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electron gun cathode structure in which spacers defining the distance between the first grid and the second grid and the first grid are fixed to the same plane of a support made of an insulating material. Manufacturing method. Such an electron gun cathode structure is attached to a cathode ray tube such as a television receiver or a terminal display device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】電子銃カソード構造体においては、第１
グリッドと第２グリッドとの距離ｄ12がカソードカット
オフ電圧（ＥKCO）を決定する重要なパラメータの１つ
である。即ち、ＥKCOとｄ12との間には、 ＥKCO ＝ｋ／ｄ12 m という関係がある。尚、ｋ、ｍは定数である。従って、
距離ｄ12がばらつくと、カソードカットオフ電圧ＥKCO
もばらついてしまう。In the electron gun cathode structure, the first
The distance d 12 between the grid and the second grid is one of the important parameters that determines the cathode cutoff voltage (E KCO ). That is, there is a relationship of E KCO = k / d 12 m between E KCO and d 12 . Note that k and m are constants. Therefore,
If the distance d 12 varies, the cathode cutoff voltage E KCO
It will also vary.
【０００３】このため、距離ｄ12を一定に保つために、
従来の技術においては、図３の（Ａ）に示すように、絶
縁物から成るスペーサ１１を第１グリッド１２と第２グ
リッド１３の間に介在させた構造が採用されている。図
３の（Ａ）に示した電子銃カソード構造体を得るために
は、予めスペーサ１１の両面にメタライズ処理を施して
おき、第１グリッド１２、スペーサ１１及び第２グリッ
ド１３をロウ付治具１４の軸１４ａに挿通し、第１グリ
ッド１２とスペーサ１１の対向面、及びスペーサ１１と
第２グリッド１３の対向面をロウ付けする。Therefore, in order to keep the distance d 12 constant,
In the conventional technique, as shown in FIG. 3A, a structure in which spacers 11 made of an insulating material are interposed between the first grid 12 and the second grid 13 is adopted. In order to obtain the electron gun cathode structure shown in FIG. 3A, both sides of the spacer 11 are previously metallized, and the first grid 12, the spacer 11 and the second grid 13 are brazed with a jig. The shaft 14a of 14 is inserted, and the facing surface of the first grid 12 and the spacer 11 and the facing surface of the spacer 11 and the second grid 13 are brazed.
【０００４】しかしながら、図３の（Ａ）に示した電子
銃カソード構造体では、スペーサ１１、ロウ材の厚さあ
るいはメタライズ処理の厚さのばらつきや、第１グリッ
ド１２あるいは第２グリッド１３の平面度等によって、
第１グリッドと第２グリッドとの距離ｄ12にばらつきが
生じる。However, in the electron gun cathode structure shown in FIG. 3A, variations in the thickness of the spacer 11, the brazing material or the thickness of the metallization process, the plane of the first grid 12 or the second grid 13 are caused. Depending on the degree,
The distance d 12 between the first grid and the second grid varies.
【０００５】そこで、図３の（Ｂ）に示すように、金属
製のスペーサ１５と第１グリッド１６とを絶縁物から成
る支持体１７の同一の平面１７ａに固着させ、支持体１
７に固着した面とは反対側のスペーサ１５の面１５ａに
第２グリッド（図示せず）を固着させるようにした電子
銃カソード構造体が考えられた。このような電子銃カソ
ード構造体においては、支持体１７に固着された面とは
反対側のスペーサ１５の面１５ａと第１グリッド１６の
面１６ａとの間の段差が、第１グリッドと第２グリッド
との距離ｄ12に相当する。Therefore, as shown in FIG. 3B, the metal spacers 15 and the first grids 16 are fixed to the same plane 17a of the support 17 made of an insulating material, and the support 1
An electron gun cathode structure in which a second grid (not shown) is fixed to the surface 15a of the spacer 15 on the side opposite to the surface fixed to 7 has been considered. In such an electron gun cathode structure, the step between the surface 15a of the spacer 15 and the surface 16a of the first grid 16 on the side opposite to the surface fixed to the support 17 is the first grid and the second grid. It corresponds to the distance d 12 from the grid.
【０００６】図３の（Ｂ）の電子銃カソード構造体を製
造するためには、支持体１７の平面１７ａに予めメタラ
イズ処理を施しておき、支持体１７をロウ付治具１８の
軸１８ａに挿通し、次いで、第１グリッド１６とスペー
サ１５を平面１７ａ上に載置する。そして、第１グリッ
ド１６及びスペーサ１５を押圧部１８ｂで押圧しつつ、
第１グリッド１６と支持体１７の対向面、及びスペーサ
１５と支持体１７の対向面をロウ付けする。In order to manufacture the electron gun cathode structure shown in FIG. 3B, the flat surface 17a of the support 17 is preliminarily metallized, and the support 17 is attached to the shaft 18a of the brazing jig 18. After being inserted, the first grid 16 and the spacer 15 are placed on the flat surface 17a. Then, while pressing the first grid 16 and the spacer 15 with the pressing portion 18b,
The opposing surfaces of the first grid 16 and the support 17 and the opposing surfaces of the spacer 15 and the support 17 are brazed.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】図３の（Ｂ）に示した
電子銃カソード構造体においては、図３の（Ａ）に示し
た電子銃カソード構造体よりも一応は距離ｄ12を正確に
規定することができる。しかしながら、図３の（Ｂ）に
示した電子銃カソード構造体の製造方法では、支持体１
７、第１グリッド１６あるいはスペーサ１５の平面度
や、ロウ材の厚さ、メタライズ処理の厚さあるいはスペ
ーサ１５の厚さや、第１グリッド１６の板厚等のばらつ
きに対する対策が採られていない。このため、距離ｄ12
が必ずしも正確に規定されず、カソードカットオフ電圧
ＥKCOのばらつきを必ずしも少なくすることができな
い。In the electron gun cathode structure shown in FIG. 3B, the distance d 12 is more accurate than in the electron gun cathode structure shown in FIG. 3A. Can be defined. However, in the method of manufacturing the electron gun cathode structure shown in FIG.
7. No measures have been taken against the flatness of the first grid 16 or the spacer 15, the thickness of the brazing material, the thickness of the metallization process, the thickness of the spacer 15, the plate thickness of the first grid 16, and the like. Therefore, the distance d 12
Is not always accurately defined, and it is not always possible to reduce variations in the cathode cutoff voltage E KCO .
【０００８】このため、本出願人は、特願平３−３５１
９７７号にて新規の電子銃カソード構造体の製造方法を
提案した。この製造方法については後に詳述するが、こ
の製造方法によって、距離ｄ12を正確に規定することが
できるようになった。Therefore, the applicant of the present invention filed Japanese Patent Application No. 3-351.
No. 977 proposed a method for manufacturing a new electron gun cathode structure. Although this manufacturing method will be described later in detail, the distance d 12 can be accurately defined by this manufacturing method.
【０００９】しかしながら、電子銃カソード構造体の特
性向上のために、距離ｄ12をより一層正確に且つばらつ
き無く規定することが要望されている。However, in order to improve the characteristics of the electron gun cathode structure, it is desired to define the distance d 12 more accurately and without variation.
【００１０】従って、本発明の目的は、特願平３−３５
１９７７号にて提案した電子銃カソード構造体の製造方
法を改良し、第１グリッドと第２グリッドとの距離ｄ12
をより一層正確に且つばらつき無く規定し得る、電子銃
カソード構造体の製造方法を提供することにある。Therefore, the object of the present invention is to provide a Japanese Patent Application No. 3-35.
The manufacturing method of the electron gun cathode structure proposed in No. 1977 was improved, and the distance d 12 between the first grid and the second grid was improved.
It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing an electron gun cathode structure, which can more accurately and consistently define the electron gun cathode structure.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記の目的は、図１に示
すように、第１グリッドと第２グリッドとの距離ｄ12を
規定するスペーサ１５及び第１グリッド１６が絶縁物か
ら成る支持体１７の同一の平面１７ａに固着されている
電子銃カソード構造体の製造方法であって、（イ）第１
及び第２の面２１ｂ，２１ｃを有し、この第１の面２１
ｂと第２の面２１ｃとの段差が前記距離ｄ12に等しい部
材２１を準備する工程と、（ロ）第１の面２１ｂ上に第
１グリッド１６を載置する工程と、（ハ）第２の面２１
ｃにスペーサ１５を載置する工程と、（ニ）第１グリッ
ド１６及びスペーサ１５に支持体１７の平面１７ａが接
するように、第１グリッド１６及びスペーサ１５上に支
持体１７を載置する工程と、（ホ）支持体１７を前記部
材側に押圧しつつ、第１グリッド１６及びスペーサ１５
を支持体１７の平面１７ａに固着させる工程と、（ヘ）
第１グリッドと第２グリッドとの距離ｄ12が所望の値と
なるように、支持体に固着した面とは反対側のスペーサ
の面１５ａを研磨する工程、から成ることを特徴とする
本発明の電子銃カソード構造体の製造方法によって達成
することができる。As shown in FIG. 1, the above object is to provide a support body in which the spacers 15 and the first grids 16 defining the distance d 12 between the first grid and the second grid are made of an insulator. A method of manufacturing an electron gun cathode structure fixed to the same plane 17a of 17 includes:
And second surfaces 21b and 21c, and the first surface 21
b, a step of preparing a member 21 having a step difference between the second surface 21c and the distance d 12 ; (b) a step of placing the first grid 16 on the first surface 21b; Surface 21 of 2
Step of placing the spacer 15 on c, and (d) Step of placing the support 17 on the first grid 16 and the spacer 15 so that the plane 17a of the support 17 contacts the first grid 16 and the spacer 15. And (e) the first grid 16 and the spacer 15 while pressing the support 17 toward the member side.
Fixing the surface of the support 17 to the flat surface 17a of the support 17, and (f)
The present invention, which comprises a step of polishing the surface 15a of the spacer opposite to the surface fixed to the support so that the distance d 12 between the first grid and the second grid becomes a desired value. It can be achieved by the method for manufacturing an electron gun cathode structure.
【００１２】[0012]
【作用】上記、（イ）から（ホ）の工程は、特願平３−
３５１９７７号にて提案した電子銃カソード構造体の製
造方法と同様である。このような製造方法を採用するこ
とによって、支持体１７と第１グリッド１６の固着部
分、あるいは支持体１７とスペーサ１５の固着部分の何
れかが緩衝の役割を果たすので、支持体１７、第１グリ
ッド１６あるいはスペーサ１５の平面度や、固着材の厚
さ、メタライズ処理の厚さあるいはスペーサ１５の厚さ
や、第１グリッド１６の板厚等にばらつきがあっても、
部材２１の段差によって第１グリッド１６と第２グリッ
ド２４との距離ｄ12を正確に規定することができる。更
に、支持体に固着した面とは反対側のスペーサ１５の面
１５ａを研磨するので、距離ｄ12を一層正確にしかもば
らつき無く規定することができる。The above steps (a) to (e) are the same as those in Japanese Patent Application No.
This is the same as the method of manufacturing the electron gun cathode structure proposed in No. 351977. By adopting such a manufacturing method, either the fixed portion between the support 17 and the first grid 16 or the fixed portion between the support 17 and the spacer 15 plays a role of a buffer, so that the support 17, the first Even if there are variations in the flatness of the grid 16 or the spacer 15, the thickness of the fixing material, the thickness of the metallization process or the thickness of the spacer 15, the plate thickness of the first grid 16, etc.
By the step of the member 21, the distance d 12 between the first grid 16 and the second grid 24 can be accurately defined. Further, the fixation surface was support since polishing the surface 15a on the opposite side of the spacer 15, the distance d 12 can be defined more accurately yet variations without.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、図３の（Ｂ）と同一の構造を有する電
子銃カソード構造体の製造に適用した本発明の製造方法
の一実施例を、図１及び図２を参照して説明する。電子
銃カソード構造体は、第１グリッドと第２グリッドとの
距離ｄ12を規定するスペーサ１５及び第１グリッド１６
が絶縁物から成る支持体１７の同一の平面１７ａに固着
されている。尚、図３の（Ｂ）と同一の構成部分には、
同一の符号を付した。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the manufacturing method of the present invention applied to manufacture an electron gun cathode structure having the same structure as that shown in FIG. 3B will be described below with reference to FIGS. . The electron gun cathode structure includes a spacer 15 and a first grid 16 that define a distance d 12 between the first grid and the second grid.
Are fixed to the same plane 17a of the support 17 made of an insulating material. In addition, the same components as in FIG.
The same reference numerals are given.
【００１４】本実施例では、図１の（Ａ）に示すよう
に、第１の面２１ｂ及び第２の面２１ｃを有する部材２
１を準備する。この部材２１は具体的にはロウ付治具で
あり、図３の（Ｂ）に示したロウ付治具１８とは形状が
異なる。部材２１の第１の面２１ｂには軸２１ａが配設
されている。第２の面２１ｃは第１の面２１ｂの外側に
設けられ、第１の面２１ｂよりも高さが低い。この第１
の面２１ｂと第２の面２１ｃとの段差は、第１グリッド
１６と第２グリッド２４（図２参照）との距離ｄ12に等
しい。但し、ここで、第１の面２１ｂと第２の面２１ｃ
との段差が距離ｄ12に等しいとは、この段差が距離ｄ12
と若干相違する場合をも包含する。In this embodiment, as shown in FIG. 1A, the member 2 having a first surface 21b and a second surface 21c.
Prepare 1. This member 21 is specifically a brazing jig and has a different shape from the brazing jig 18 shown in FIG. A shaft 21a is arranged on the first surface 21b of the member 21. The second surface 21c is provided outside the first surface 21b and has a height lower than that of the first surface 21b. This first
The step between the surface 21b and the second surface 21c is equal to the distance d 12 between the first grid 16 and the second grid 24 (see FIG. 2). However, here, the first surface 21b and the second surface 21c
Is equal to the distance d 12 , this step is the distance d 12
It also includes cases that are slightly different from.
【００１５】第１グリッド１６を部材２１に配設された
軸２１ａに挿通した状態で、部材２１の第１の面２１ｂ
上に第１グリッド１６を載置する。また、例えば鉄ニッ
ケル合金や鉄コバルトニッケル合金から成る金属製のス
ペーサ１５を、部材２１の第２の面２１ｃ上に載置す
る。With the first grid 16 inserted into the shaft 21a provided on the member 21, the first surface 21b of the member 21 is inserted.
The first grid 16 is placed on top. Further, the metal spacer 15 made of, for example, an iron-nickel alloy or an iron-cobalt-nickel alloy is placed on the second surface 21c of the member 21.
【００１６】次いで、第１グリッド１６及びスペーサ１
５に支持体１７の平面１７ａが接するように、第１グリ
ッド１６及びスペーサ１５上に支持体１７を載置する。
尚、平面１７ａには予めメタライズ処理を施しておく。
支持体１７は、例えばアルミナ等から作製することがで
きる。尚、第１グリッド１６の中央にはエミッション穴
（図示せず）が形成されている。また、このエミッショ
ン穴に対応して、支持体１７にも貫通穴（図示せず）が
設けられている。Next, the first grid 16 and the spacer 1
The support 17 is placed on the first grid 16 and the spacers 15 so that the flat surface 17 a of the support 17 contacts with 5.
The flat surface 17a is preliminarily metallized.
The support 17 can be made of, for example, alumina. An emission hole (not shown) is formed in the center of the first grid 16. Further, a through hole (not shown) is also provided in the support body 17 corresponding to this emission hole.
【００１７】その後、支持体１７を部材２１側に押圧部
材２１ｄを用いて押圧しつつ、第１グリッド１６及びス
ペーサ１５を支持体１７の平面１７ａにロウ付け法にて
固着させる。これによって、第１グリッド１６と支持体
１７の対向面、並びにスペーサ１５と支持体１７の対向
面がロウ付けされる。After that, the first grid 16 and the spacers 15 are fixed to the flat surface 17a of the support 17 by the brazing method while pressing the support 17 toward the member 21 using the pressing member 21d. As a result, the facing surfaces of the first grid 16 and the support 17 and the facing surfaces of the spacer 15 and the support 17 are brazed.
【００１８】第１グリッド１６及びスペーサ１５を支持
体１７の平面１７ａに固着させる際、支持体１７と第１
グリッド１６の固着部分、あるいは支持体１７とスペー
サ１５の固着部分が緩衝の役割を果たす。このため、支
持体１７、第１グリッド１６あるいはスペーサ１５の平
面度や、固着材（ロウ材）の厚さ、メタライズ処理の厚
さあるいはスペーサ１５の厚さや、第１グリッド１６の
板厚等にばらつきがあっても、部材２１の段差によって
第１グリッド１６と第２グリッド２４との距離ｄ12を正
確に規定することができる。従って、支持体１７とし
て、焼結しただけで平面１７ａ等を研磨していない支持
体を使用することができる。また、ロウ材の厚さやメタ
ライズ処理の厚さ等に対する管理の程度を緩和させるこ
とができる。When the first grid 16 and the spacer 15 are fixed to the flat surface 17a of the support 17, the support 17 and the first
The fixed portion of the grid 16 or the fixed portion of the support 17 and the spacer 15 plays the role of a buffer. Therefore, the flatness of the support 17, the first grid 16 or the spacer 15, the thickness of the fixing material (brazing material), the thickness of the metallizing process or the thickness of the spacer 15, the thickness of the first grid 16, etc. Even if there is variation, the distance d 12 between the first grid 16 and the second grid 24 can be accurately defined by the step of the member 21. Therefore, as the support 17, it is possible to use a support that is merely sintered and has not polished the flat surface 17a or the like. Further, the degree of control over the thickness of the brazing material, the thickness of the metallizing treatment, etc. can be eased.
【００１９】その後、得られた電子銃カソード構造体を
部材２１から取り除く。そして、図１の（Ｂ）に示すよ
うに、第１グリッド１６と第２グリッド２４との距離ｄ
12が所望の値となるように、支持体１７に固着した面と
は反対側のスペーサ１５の面１５ａを研磨する。即ち、
第１グリッド１６の面１６ａを基準としてスペーサ１５
の面１５ａと第１グリッド１６の面１６ａとの距離が所
定の値となるように、、通常の方法で、金属製のスペー
サ１５の面１５ａをアルミナやダイアモンド粉を使用し
て研磨する。After that, the obtained electron gun cathode structure is removed from the member 21. Then, as shown in FIG. 1B, the distance d between the first grid 16 and the second grid 24.
The surface 15a of the spacer 15 opposite to the surface fixed to the support 17 is polished so that 12 has a desired value. That is,
Spacer 15 based on surface 16a of first grid 16
The surface 15a of the metallic spacer 15 is polished using alumina or diamond powder by a usual method so that the distance between the surface 15a of the first grid 16 and the surface 16a of the first grid 16 becomes a predetermined value.
【００２０】研磨前の距離ｄ12のばらつき（σ）は３〜
５μｍであった。これに対して、研磨後の距離ｄ12のば
らつき（σ）は１μｍ以下となり、距離ｄ12の加工精度
は飛躍的に向上した。The variation (σ) of the distance d 12 before polishing is 3 to
It was 5 μm. On the other hand, the variation (σ) of the distance d 12 after polishing was 1 μm or less, and the processing accuracy of the distance d 12 was dramatically improved.
【００２１】尚、スペーサ１５の研磨後、図２に示すよ
うに、第１グリッド１６が固着された面とは反対側の支
持体１７の面にスリーブホルダ２２をロウ付けする。そ
の後、内スリーブ２３をスリーブホルダ２２内に挿入す
る。尚、内スリーブ２３には、例えば酸化物吹き付けに
よりカソードが形成されている。そして、カソードと第
１グリッド１６との距離ｄ01を照合しつつ、レーザ溶接
あるいは抵抗溶接等にて内スリーブ２３をスリーブホル
ダ２２内に固定するという内スリーブ付け工程を実施す
る。After polishing the spacers 15, as shown in FIG. 2, the sleeve holder 22 is brazed to the surface of the support 17 opposite to the surface to which the first grid 16 is fixed. Then, the inner sleeve 23 is inserted into the sleeve holder 22. A cathode is formed on the inner sleeve 23 by, for example, spraying an oxide. Then, while checking the distance d 01 between the cathode and the first grid 16, the inner sleeve 23 is fixed in the sleeve holder 22 by laser welding or resistance welding, and an inner sleeve attaching step is performed.
【００２２】その後、スペーサ１５等と第２グリッド２
４とをレーザ溶接あるいは抵抗溶接で互いに固定すると
いう第２グリッド付け工程を実施する。更に、このよう
にして得られた構造体と第３グリッド等（図示せず）と
をビーディングする。そして、レーザ溶接あるいは抵抗
溶接にてヒータ（図示せず）を取り付け、継線を行っ
て、電子銃を完成させる。After that, the spacer 15 and the second grid 2
A second grid attachment process is performed in which laser beams 4 and 4 are fixed to each other by laser welding or resistance welding. Further, the structure thus obtained is beaded with a third grid or the like (not shown). Then, a heater (not shown) is attached by laser welding or resistance welding, and a wire connection is made to complete the electron gun.
【００２３】[0023]
【発明の効果】本発明においては、支持体に固着した面
とは反対側のスペーサの面を研磨するので、第１グリッ
ドと第２グリッドとの距離ｄ12を一層正確にしかもばら
つき無く規定することができる。その結果、カソードカ
ットオフ電圧（ＥKCO）のばらつきが少ない特性の優れ
た電子銃カソード構造体を容易に製造することができ
る。According to the present invention, since the surface of the spacer opposite to the surface fixed to the support is polished, the distance d 12 between the first grid and the second grid is defined more accurately and without variation. be able to. As a result, it is possible to easily manufacture an electron gun cathode structure having excellent characteristics with less variation in the cathode cutoff voltage (E KCO ).
【図１】本発明の製造方法の一実施例を説明するための
側面図である。FIG. 1 is a side view for explaining an embodiment of a manufacturing method of the present invention.
【図２】本発明の一実施例を含む電子銃カソード構造体
の製造工程全体を示す工程系統図である。FIG. 2 is a process flow chart showing an overall manufacturing process of an electron gun cathode structure including an embodiment of the present invention.
【図３】従来の電子銃カソード構造体の製造方法を説明
するための側面図である。FIG. 3 is a side view for explaining a conventional method for manufacturing an electron gun cathode structure.
１５ スペーサ １５ａ スペーサの面 １６ 第１グリッド １７ 支持体 １７ａ 支持体の平面 ２１ 部材 ２１ｂ 部材２１の第１の面 ２１ｃ 部材２１の第２の面 ２２ スリーブホルダ ２３ 内スリーブ ２４ 第２グリッド 15 spacers 15a spacer surface 16 first grid 17 support 17a support flat surface 21 member 21b first surface 21 of member 21c second surface of member 21 sleeve holder 23 inner sleeve 24 second grid
Claims (1)
定するスペーサ及び第１グリッドが絶縁物から成る支持
体の同一の平面に固着されている電子銃カソード構造体
の製造方法であって、 （イ）第１及び第２の面を有し、該第１の面と第２の面
との段差が前記距離に等しい部材を準備する工程と、 （ロ）該第１の面上に第１グリッドを載置する工程と、 （ハ）該第２の面にスペーサを載置する工程と、 （ニ）第１グリッド及びスペーサに支持体の平面が接す
るように、第１グリッド及びスペーサ上に支持体を載置
する工程と、 （ホ）該支持体を前記部材側に押圧しつつ、第１グリッ
ド及びスペーサを支持体の平面に固着させる工程と、 （ヘ）第１グリッドと第２グリッドとの距離が所望の値
となるように、支持体に固着した面とは反対側のスペー
サの面を研磨する工程、 から成ることを特徴とする電子銃カソード構造体の製造
方法。1. A method of manufacturing an electron gun cathode structure in which a spacer defining a distance between a first grid and a second grid and the first grid are fixed to the same plane of a support made of an insulating material. (A) preparing a member having first and second surfaces, and a step between the first surface and the second surface being equal to the distance, (b) on the first surface A step of placing the first grid, (c) a step of placing a spacer on the second surface, and (d) a first grid and a spacer so that the plane of the support is in contact with the first grid and the spacer. A step of placing a support on the support; (e) a step of fixing the first grid and the spacer to the plane of the support while pressing the support toward the member side; and (f) the first grid and the first grid. 2 Opposite to the surface fixed to the support so that the distance to the grid is the desired value Manufacturing method of the electron gun cathode structure characterized by comprising the surface of the spacer step of polishing from.
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