JPH07134045A - Absolute encoder - Google Patents

Absolute encoder

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Publication number
JPH07134045A
JPH07134045A JP5305924A JP30592493A JPH07134045A JP H07134045 A JPH07134045 A JP H07134045A JP 5305924 A JP5305924 A JP 5305924A JP 30592493 A JP30592493 A JP 30592493A JP H07134045 A JPH07134045 A JP H07134045A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
absolute
signal
incremental
track
detecting
Prior art date
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Pending
Application number
JP5305924A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koichi Katsura
公一 桂
Motomasa Imai
基勝 今井
Yuji Yamazaki
雄二 山崎
Toru Morita
徹 森田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP5305924A priority Critical patent/JPH07134045A/en
Publication of JPH07134045A publication Critical patent/JPH07134045A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To easily adjust the phases of an absolute signal and an incremental signal during assembly to have a small phase shift. CONSTITUTION:In the absolute encoder-with a detection part for absolute signal for detecting an absolute signal consisting of a code plate where an absolute track and an incremental track are formed concentrically and a plurality of detection elements and a detection part for incremental signal for detecting an incremental signal, sensors 1-4 for detecting A(+) phase, B(+) phase, A(-) phase, and B(-) phase of incremental signal are laid out so that they hold the sensors for detecting absolute signal, namely a sensor 5 for detecting ABS(+) signal and a sensor 6 for detecting ABS (-) signal at the center. Then, an absolute signal detection center and an incremental signal detection center are matched in radial direction of a rotary circular plate.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はアブソリュートエンコー
ダに関し、さらに詳細にはアブソリュート用トラックお
よびインクリメンタル用トラックが同心円状に形成され
たアブソリュートエンコーダ関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an absolute encoder, and more particularly to an absolute encoder in which an absolute track and an incremental track are concentrically formed.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のこの種のアブソリュートエンコー
ダは、図2に示すようなセンサ配置をしていた。図2に
おいて、センサ5はアブソリュートパターンからABS
(+)信号を検出するためのセンサである。また、セン
サ6はアブソリュート反転パターンからABS(−)信
号を検出するためのセンサである。こうして、センサ5
および6は、アブソリュート信号用検出部を構成してい
る。さらに、図2において、センサ1乃至4は、それぞ
れインクリメンタルパターンからインクリメンタル信号
のA(+)相、B(+)相、A(−)相およびB(−)
相を検出するためのセンサである。こうして、センサ1
乃至4は、インクリメンタル信号用検出部を構成してい
る。
2. Description of the Related Art A conventional absolute encoder of this type has a sensor arrangement as shown in FIG. In FIG. 2, the sensor 5 is ABS based on the absolute pattern.
It is a sensor for detecting the (+) signal. The sensor 6 is a sensor for detecting the ABS (-) signal from the absolute inversion pattern. Thus, the sensor 5
And 6 form an absolute signal detection unit. Further, in FIG. 2, the sensors 1 to 4 have A (+) phase, B (+) phase, A (−) phase and B (−) phase of the incremental signal from the incremental pattern, respectively.
It is a sensor for detecting a phase. Thus, the sensor 1
Reference numerals 4 to 4 constitute an incremental signal detector.

【0003】図6は、図2の従来のセンサ配置に対応す
るように回転円板に形成されたアブソリュートパターン
(ABS(+)信号刻線帯)、アブソリュート反転パタ
ーン(ABS(−)信号刻線帯)およびインクリメンタ
ルパターン(主信号刻線帯)を示す図である。このよう
に、回転円板には、アブソリュート用トラックおよびイ
ンクリメンタル用トラックが同心円状に形成されてい
る。図8は、図2のセンサ配置を有する信号検出部の構
成を示す図である。図示のように、ABS(+)信号セ
ンサ5およびABS(−)信号センサ6は、所定ビット
数(この場合、たとえば11ビット)に対応する数、す
なわち11個の検出素子から構成されている。図6およ
び図8を参照すれば明らかなように、ABS(+)信号
センサ5はABS(+)信号刻線帯に、ABS(−)信
号センサ6はABS(−)信号刻線帯に、主信号センサ
(インクリメンタル信号検出用センサ)1乃至4は主信
号刻線帯に対向するように構成されている。
FIG. 6 shows an absolute pattern (ABS (+) signal engraved band) and an absolute inversion pattern (ABS (-) signal engraved line) formed on a rotating disk so as to correspond to the conventional sensor arrangement of FIG. FIG. 3 is a diagram showing a band) and an incremental pattern (main signal engraved band). As described above, the absolute track and the incremental track are concentrically formed on the rotating disk. FIG. 8 is a diagram showing a configuration of a signal detection unit having the sensor arrangement of FIG. As illustrated, the ABS (+) signal sensor 5 and the ABS (-) signal sensor 6 are composed of a number corresponding to a predetermined number of bits (in this case, 11 bits, for example), that is, 11 detection elements. As is clear with reference to FIGS. 6 and 8, the ABS (+) signal sensor 5 is in the ABS (+) signal marking band, the ABS (−) signal sensor 6 is in the ABS (−) signal marking band, The main signal sensors (incremental signal detection sensors) 1 to 4 are configured to face the main signal engraved band.

【0004】図3は、図2のセンサ配置を有する従来の
アブソリュートエンコーダにおけるインクリメンタル信
号とアブソリュート信号との間の位相ぶれについて説明
する図である。図6に示すようなパターンが形成された
回転円板は、その中心が回転軸の中心と一致するように
取り付けられる。しかしながら、実際には図3に示すよ
うに、取り付け誤差に起因し、回転軸の回転中心Oと円
板の中心Pとが正確には一致しない。このため、回転軸
の回転に伴い、円板の中心Pは回転軸の回転中心Oを中
心として円OCの軌跡を描くことになる。この円OCの
直径は、円板の偏心量εを表す。なお、インクリメンタ
ル信号検出中心ICはセンサ1乃至4の幾何中心として
図示のように1点に定まる。しかしながら、アブソリュ
ート信号検出中心は、図示のように所定ビット数nに対
応する数だけ存在する。以下、図中左端のアブソリュー
ト信号検出中心ACに基づいて位相ぶれを説明する。
FIG. 3 is a diagram for explaining the phase shift between the incremental signal and the absolute signal in the conventional absolute encoder having the sensor arrangement of FIG. The rotating disc having a pattern as shown in FIG. 6 is attached so that its center coincides with the center of the rotating shaft. However, actually, as shown in FIG. 3, the rotation center O of the rotation shaft and the center P of the disc do not exactly coincide with each other due to the mounting error. Therefore, as the rotation axis rotates, the center P of the disk draws a locus of the circle OC centering on the rotation center O of the rotation axis. The diameter of this circle OC represents the amount of eccentricity ε of the disc. The incremental signal detection center IC is set at one point as the geometric center of the sensors 1 to 4 as shown in the figure. However, there are as many absolute signal detection centers as the number corresponding to the predetermined bit number n as shown in the figure. Hereinafter, the phase deviation will be described based on the absolute signal detection center AC at the left end in the figure.

【0005】図3に示すように、回転円板に偏心が発生
するとアブソリュート信号とインクリメンタル信号との
間で位相ぶれが発生することになる。具体的には、回転
円板の中心の軌跡が形成する円OC上の点C1を中心と
してアブソリュート信号検出中心ACとインクリメンタ
ル信号中心ICとがなす角度θ1と、円OC上の別の点
C2を中心としてアブソリュート信号検出中心ACとイ
ンクリメンタル信号中心ICとがなす角度θ2との差
(θ1−θ2)が位相ぶれを構成する。この位相ぶれ
(θ1−θ2)は、回転軸の回転中心Oとインクリメン
タル信号検出中心ICとを結ぶ半径方向線分RXと直交
する円OCの直径線分に対して図中反時計周りに角度θ
だけ回転した直径線分と円OCとの交点C1およびC2
に対してほぼ最大値をとる。なお、角度θは、アブソリ
ュート信号検出中心ACとインクリメンタル信号中心I
Cとを結ぶ線分と半径方向線分RXとがなす角度に等し
い。
As shown in FIG. 3, when eccentricity occurs in the rotating disk, a phase shift occurs between the absolute signal and the incremental signal. Specifically, an angle θ1 formed by the absolute signal detection center AC and the incremental signal center IC about a point C1 on the circle OC formed by the locus of the center of the rotating disk and another point C2 on the circle OC are defined. The difference (θ1−θ2) between the angle θ2 formed by the absolute signal detection center AC and the incremental signal center IC as the center constitutes the phase deviation. This phase deviation (θ1−θ2) is an angle θ counterclockwise in the figure with respect to a diameter line segment of a circle OC orthogonal to a radial direction line segment RX connecting the rotation center O of the rotation axis and the incremental signal detection center IC.
Points C1 and C2 of the circle OC and the diameter line segment rotated by
Takes almost the maximum value for. Note that the angle θ is defined by the absolute signal detection center AC and the incremental signal center I.
It is equal to the angle formed by the line segment connecting C and the radial line segment RX.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】また、図5に示すよう
に、アブソリュート検出部からのアブソリュート信号2
0と、インクリメンタル検出部からのインクリメンタル
信号30との関係をみると、位相ぶれがない状態では、
アブソリュート信号20が中心レベル40でクロスした
とき(41)にインクリメンタル信号30がピーク値
(42)になる。位相ぶれが発生すると、インクリメン
タル信号30の位相が信号31や信号32の状態になっ
てしまう。
Further, as shown in FIG. 5, the absolute signal 2 from the absolute detection unit is detected.
Looking at the relationship between 0 and the incremental signal 30 from the incremental detector, in the state where there is no phase deviation,
When the absolute signal 20 crosses at the central level 40 (41), the incremental signal 30 reaches the peak value (42). When the phase shift occurs, the phase of the incremental signal 30 becomes the state of the signal 31 or the signal 32.

【0007】上述のように、従来のアブソリュートエン
コーダでは、回転軸の回転中心と回転円板の幾何中心と
の間の偏心に起因して位相ぶれが発生する。位相ぶれが
所定値を越えると、組み立て時におけるアブソリュート
信号とインクリメンタル信号の位相調整が困難または不
可能になり、ひいてはアブソリュートエンコーダの誤動
作の発生要因となるという不都合があった。換言すれ
ば、回転円板の許容偏心量が小さすぎて、回転軸への回
転円板の組み立てが困難または不可能であるという不都
合があった。本発明は、前記の課題に鑑みてなされたも
のであり、位相ぶれが小さくて組み立て時におけるアブ
ソリュート信号とインクリメンタル信号の位相調整が容
易な、アブソリュートエンコーダを提供すること目的と
する。
As described above, in the conventional absolute encoder, the phase deviation occurs due to the eccentricity between the rotation center of the rotating shaft and the geometric center of the rotating disk. If the phase deviation exceeds a predetermined value, it is difficult or impossible to adjust the phase of the absolute signal and the incremental signal during assembly, which in turn causes a malfunction of the absolute encoder. In other words, the allowable eccentricity of the rotating disc is too small, which makes it difficult or impossible to assemble the rotating disc to the rotating shaft. The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an absolute encoder that has a small phase deviation and that can easily adjust the phases of an absolute signal and an incremental signal during assembly.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明においては、1つの絶対値が所定のビット数
から表されるアブソリュート用トラックおよびインクリ
メンタル用トラックが同心円状に形成された符号板と、
前記所定ビット数に対応する複数の検出素子からなり、
前記符号板に形成されたアブソリュート用トラックから
アブソリュート信号を検出するためのアブソリュート信
号用検出部と、前記符号板に形成されたインクリメンタ
ル用トラックからインクリメンタル信号を検出するため
のインクリメンタル信号用検出部とを備えたアブソリュ
ートエンコーダにおいて、前記アブソリュート信号用検
出部における前記アブソリュート信号の検出中心と前記
インクリメンタル信号用検出部における前記インクリメ
ンタル信号の検出中心とが前記符号板の半径方向にほぼ
一致するとともに、前記符号板のほぼ同一円周上に存在
することを特徴とするアブソリュートエンコーダを提供
する。
In order to solve the above-mentioned problems, in the present invention, a code in which an absolute track and an incremental track in which one absolute value is represented by a predetermined number of bits are formed concentrically A board,
Consisting of a plurality of detection elements corresponding to the predetermined number of bits,
An absolute signal detection unit for detecting an absolute signal from the absolute track formed on the code plate, and an incremental signal detection unit for detecting an incremental signal from the incremental track formed on the code plate. In the absolute encoder provided, the detection center of the absolute signal in the absolute signal detection unit and the detection center of the incremental signal in the incremental signal detection unit substantially coincide with the radial direction of the code plate, and the code plate There is provided an absolute encoder characterized in that they exist on substantially the same circumference.

【0009】また、本発明によれば、1つの絶対値が所
定のビット数から表される第1および第2のアブソリュ
ート用トラックとインクリメンタル用トラックとが同心
円状に設けられた符号板と、前記所定ビット数に対応す
る複数の検出素子からなり、前記第1のアブソリュート
用トラックおよび前記第2のアブソリュート用トラック
からアブソリュート信号をそれぞれ検出するためのアブ
ソリュート信号用検出部と、前記インクリメンタル用ト
ラックからインクリメンタル信号を検出するためのイン
クリメンタル信号用検出部とを備えたアブソリュートエ
ンコーダにおいて、前記アブソリュート用トラックは、
1つの絶対値が所定のビット数から表されるパターンが
形成された第1のアブソリュート用トラックと、前記第
1のアブソリュート用トラックに形成された前記パター
ンを反転した反転パターンが形成された第2のアブソリ
ュート用トラックとからなり、前記インクリメンタル用
トラックは、前記第1のアブソリュート用トラックと前
記第2のアブソリュート用トラックとの間に配置されて
いることを特徴とするアブソリュートエンコーダを提供
する。
Further, according to the present invention, a code plate in which first and second absolute tracks whose absolute values are expressed by a predetermined number of bits and incremental tracks are provided concentrically, An absolute signal detection unit for detecting an absolute signal from each of the first absolute track and the second absolute track, and an incremental track from the incremental track, each of which includes a plurality of detection elements corresponding to a predetermined number of bits. In an absolute encoder including an incremental signal detection unit for detecting a signal, the absolute track is
A first absolute track on which a pattern in which one absolute value is represented by a predetermined number of bits is formed, and a second reverse pattern formed by reversing the pattern formed on the first absolute track And an absolute track, wherein the incremental track is arranged between the first absolute track and the second absolute track.

【0010】[0010]

【作用】本発明にあっては、上述の位相ぶれ(θ1−θ
2)が、回転円板の偏心量εばかりでなく、アブソリュ
ート信号検出中心ACとインクリメンタル信号中心IC
との半径方向距離L2にも依存することに着目し、この
アブソリュート信号検出中心ACとインクリメンタル信
号検出中心ICとが半径方向に一致するようにセンサ配
置を構成している。後述するように、アブソリュート信
号検出中心ACとインクリメンタル信号検出中心ICと
を半径方向に一致させることにより、位相ぶれ(θ1−
θ2)は著しく減少する。その結果、組み立て時におけ
るアブソリュート信号とインクリメンタル信号の位相調
整が著しく容易になる。換言すれば、回転円板の許容偏
心量の大きなアブソリュートエンコーダが可能になる。
In the present invention, the above-mentioned phase shift (θ1-θ
2) is not only the eccentricity ε of the rotating disk, but also the absolute signal detection center AC and the incremental signal center IC
Paying attention to the fact that it also depends on the radial distance L2 between and, the sensor arrangement is configured so that the absolute signal detection center AC and the incremental signal detection center IC coincide in the radial direction. As will be described later, the phase deviation (θ1−) is made by matching the absolute signal detection center AC and the incremental signal detection center IC in the radial direction.
θ2) is significantly reduced. As a result, the phase adjustment of the absolute signal and the incremental signal during assembly becomes extremely easy. In other words, an absolute encoder having a large allowable eccentricity of the rotating disk can be realized.

【0011】[0011]

【実施例】本発明の実施例を説明する前に、本発明を適
用するのに最適なアブソリュートエンコーダについて説
明する。最小読み取り単位λの最小読み取りパターンか
ら形成される1トラックアブソリュートパターンとピッ
チがλのインクリメンタルパターンとが形成された符号
板と、2組の素子群を有しアブソリュートパターンを検
出するアブソリュート検出部と、インクリメンタル素子
を有しインクリメンタルパターンを検出するインクリメ
ンタル検出部と、を備えたアブソリュートエンコーダが
すでに提案されている(特開平2−168115号公
報)。なお、最小読み取り単位λおよびインクリメンタ
ルパターンのピッチλについては、後述する図9(a)
を参照することができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Before describing the embodiments of the present invention, an absolute encoder suitable for applying the present invention will be described. A code plate formed with a one-track absolute pattern formed from a minimum read pattern of a minimum read unit λ and an incremental pattern having a pitch of λ; an absolute detection unit having two sets of elements and detecting an absolute pattern; An absolute encoder having an incremental detector having an incremental element for detecting an incremental pattern has already been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 2-168115). The minimum reading unit λ and the pitch λ of the incremental pattern will be described later with reference to FIG.
Can be referred to.

【0012】このように構成されたアブソリュートエン
コーダでは、アブソリュート検出器が最小読み取りパタ
ーンの境界領域を通過する際にパターンの読み誤り等の
誤動作を起こさないように、インクリメンタル検出部か
ら出力されるインクリメンタル信号を用いて、アブソリ
ュートパターンの境界領域にある素子群とアブソリュー
トパターンの最小読み取り単位内にある素子群とを適宜
切り換える。このアブソリュートエンコーダに本発明を
適用すると、アブソリュートパターンの境界にある素子
群とアブソリュートパターンの最小読み取り単位内にあ
る素子群との切り換えにより、誤動作が回避されるので
最も好ましい。
In the absolute encoder configured as described above, the incremental signal output from the incremental detection section is provided so that the absolute detector does not cause a malfunction such as a pattern reading error when passing through the boundary area of the minimum read pattern. Using, the element group in the boundary area of the absolute pattern and the element group in the minimum reading unit of the absolute pattern are appropriately switched. The application of the present invention to this absolute encoder is most preferable because a malfunction can be avoided by switching between the element group at the boundary of the absolute pattern and the element group within the minimum reading unit of the absolute pattern.

【0013】本発明の実施例を、添付図に基づいて説明
する。図1は、本発明の実施例にかかるアブソリュート
エンコーダのセンサ配置例(a)乃至(e)を示す図で
ある。図1(a)のセンサ配置では、インクリメンタル
信号検出用センサ、すなわちインクリメンタル信号のA
(+)相、B(+)相、A(−)相およびB(−)相を
検出するためのセンサ1乃至4が、アブソリュート信号
検出用センサ、すなわちABS(+)信号を検出するた
めのセンサ5およびABS(−)信号を検出するための
センサ6を中央に挟み込むように配置され、アブソリュ
ート信号検出中心とインクリメンタル信号検出中心とを
回転円板の半径方向に一致させている。
An embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a diagram showing sensor arrangement examples (a) to (e) of an absolute encoder according to an embodiment of the present invention. In the sensor arrangement of FIG. 1A, the sensor for detecting an incremental signal, that is, A of the incremental signal is used.
The sensors 1 to 4 for detecting the (+) phase, the B (+) phase, the A (-) phase and the B (-) phase are used for detecting the absolute signal, that is, the ABS (+) signal. The sensor 5 and the sensor 6 for detecting the ABS (-) signal are arranged so as to be sandwiched in the center, and the absolute signal detection center and the incremental signal detection center are aligned in the radial direction of the rotating disk.

【0014】図7(a)は、図1(a)のセンサ配置に
対応するように回転円板に形成されたアブソリュートパ
ターン(ABS(+)信号刻線帯)、アブソリュート反
転パターン(ABS(−)信号刻線帯)およびインクリ
メンタルパターン(主信号刻線帯)を示す図である。図
1(a)のセンサ配置に対応するように、2つの主信号
刻線帯がABS(+)信号刻線帯およびABS(−)信
号刻線帯を中央に挟み込むようにパターン構成されてい
る。上記アブソリュートパターンとアブソリュート反転
パターンは、最小読み取り単位λのパターンである。ま
た、インクリメンタルパターンは、1ピッチの繰り返し
明暗パターンからなる。
FIG. 7A shows an absolute pattern (ABS (+) signal engraved band) and an absolute inversion pattern (ABS (-) formed on the rotating disk so as to correspond to the sensor arrangement of FIG. 1A. FIG. 6 is a diagram showing a signal engraved band) and an incremental pattern (main signal engraved band). Corresponding to the sensor arrangement of FIG. 1A, two main signal engraved bands are patterned so as to sandwich the ABS (+) signal engraved band and the ABS (-) signal engraved band in the center. . The absolute pattern and the absolute reverse pattern are patterns of the minimum reading unit λ. In addition, the incremental pattern is composed of a 1-pitch repeating bright and dark pattern.

【0015】図9(a)は、図1(a)のセンサ配置を
有する信号検出部の構成を示す図である。図示のよう
に、ABS(+)信号センサ5およびABS(−)信号
センサ6は所定ビット数(この場合、たとえば11ビッ
ト)の数の検出素子から構成され、主信号センサ(イン
クリメンタル信号検出用センサ)1乃至4によって中央
に挟み込まれるように配置されている。
FIG. 9A is a diagram showing a configuration of a signal detection unit having the sensor arrangement of FIG. 1A. As shown in the figure, the ABS (+) signal sensor 5 and the ABS (-) signal sensor 6 are composed of a predetermined number of bits (in this case, 11 bits, for example) of detection elements, and the main signal sensor (incremental signal detection sensor). ) 1 to 4 are arranged so as to be sandwiched in the center.

【0016】図7(a)および図9(a)を参照すれば
明らかなように、ABS(+)信号センサ5はABS
(+)信号刻線帯に、ABS(−)信号センサ6はAB
S(−)信号刻線帯に、主信号センサ(インクリメンタ
ル信号検出用センサ)1乃至4は主信号刻線帯に対向す
るように構成されている。すなわち、アブソリュートパ
ターンに対しては、図中上下方向にABS(+)信号セ
ンサ5およびABS(−)信号センサ6が配置されてい
る。また、インクリメンタルパターンに対しては、A
(+)相センサ1およびB(+)相センサ2とA(−)
相センサ3およびB(−)相センサ4とが、前記2つの
ABSセンサ5および6を図中上下に挟むように配置さ
れている。
As is apparent from FIGS. 7 (a) and 9 (a), the ABS (+) signal sensor 5 is an ABS.
The ABS (-) signal sensor 6 is AB in the (+) signal engraved zone.
The main signal sensors (incremental signal detecting sensors) 1 to 4 are arranged in the S (-) signal engraved band so as to face the main signal engraved band. That is, for the absolute pattern, the ABS (+) signal sensor 5 and the ABS (-) signal sensor 6 are arranged vertically in the drawing. Also, for the incremental pattern, A
(+) Phase sensor 1 and B (+) phase sensor 2 and A (-)
The phase sensor 3 and the B (-) phase sensor 4 are arranged so as to sandwich the two ABS sensors 5 and 6 above and below in the figure.

【0017】図4は、図1(a)のセンサ配置を有する
アブソリュートエンコーダにおけるインクリメンタル信
号とアブソリュート信号との位相ぶれについて説明する
図である。なお、図4において、インクリメンタル信号
検出中心ICはセンサ1乃至4の幾何中心として図示の
ように1点に定まる。しかしながら、アブソリュート信
号検出中心は、図示のように所定ビット数nに対応する
数だけ存在する。以下、図中左端のアブソリュート信号
検出中心ACに基づいて位相ぶれを説明する。
FIG. 4 is a diagram for explaining the phase shift between the incremental signal and the absolute signal in the absolute encoder having the sensor arrangement of FIG. 1 (a). In addition, in FIG. 4, the incremental signal detection center IC is set at one point as the geometric center of the sensors 1 to 4 as illustrated. However, there are as many absolute signal detection centers as the number corresponding to the predetermined bit number n as shown in the figure. Hereinafter, the phase deviation will be described based on the absolute signal detection center AC at the left end in the figure.

【0018】回転円板に偏心εが発生するとアブソリュ
ート信号とインクリメンタル信号との間で位相ぶれが発
生することになる。具体的には、回転円板の中心の軌跡
が形成する円OC上の点C1を中心としてアブソリュー
ト信号検出中心ACとインクリメンタル信号中心ICと
がなす角度θ1と、円OC上の別の点C2を中心として
アブソリュート信号検出中心ACとインクリメンタル信
号中心ICとがなす角度θ2との差(θ1−θ2)が位
相ぶれを構成する。この位相ぶれ(θ1−θ2)は、半
径方向線分RXと円OCとの交点C1およびC2に対し
てほぼ最大値をとる。
When the eccentricity ε is generated on the rotating disk, a phase shift is generated between the absolute signal and the incremental signal. Specifically, an angle θ1 formed by the absolute signal detection center AC and the incremental signal center IC about a point C1 on the circle OC formed by the locus of the center of the rotating disk and another point C2 on the circle OC are defined. The difference (θ1−θ2) between the angle θ2 formed by the absolute signal detection center AC and the incremental signal center IC as the center constitutes the phase deviation. This phase shift (θ1−θ2) takes almost the maximum value at the intersections C1 and C2 of the radial line segment RX and the circle OC.

【0019】実際の設計寸法例を参照して、図3の従来
のアブソリュートエンコーダにおける位相ぶれ(θ1−
θ2)と、図4の本発明の実施例のアブソリュートエン
コーダにおける位相ぶれ(θ1−θ2)とを定量的に比
較することができる。そこで、アブソリュート信号検出
中心ACと半径方向線分RXとの距離をL1とし、アブ
ソリュート信号検出中心ACとインクリメンタル信号検
出中心ICとの半径方向に沿った距離をL2とし、イン
クリメンタル信号検出中心ICと回転軸の回転中心Oと
の半径方向に沿った距離をL3とし、円板の偏心量をε
とし、これらの寸法パラメータを実際の設計寸法例を参
照して設定し、従来例と実施例とを比較した。従来例お
よび実施例における条件および結果を、それぞれ次の表
1および表2に示す。
Referring to an actual design dimension example, the phase deviation (θ1−θ1 in the conventional absolute encoder of FIG.
θ2) can be quantitatively compared with the phase shift (θ1−θ2) in the absolute encoder of the embodiment of the present invention shown in FIG. Therefore, the distance between the absolute signal detection center AC and the radial line segment RX is set to L1, the distance between the absolute signal detection center AC and the incremental signal detection center IC is set to L2, and the incremental signal detection center IC and rotation are set. Let L3 be the distance along the radial direction from the rotation center O of the shaft, and let the eccentricity of the disc be ε.
Then, these dimension parameters were set with reference to an actual design dimension example, and the conventional example and the example were compared. The conditions and results in the conventional example and the example are shown in the following Table 1 and Table 2, respectively.

【0020】[0020]

【表1】 〔従来例〕 (条件) L1=0.38mm L2=2.45mm L3=13.6mm ε =0.1mm (結果) θ1=1.41855° θ2=1.29365° θ1−θ2=0.1249°(位相ぶれ)Table 1 [Conventional example] (Condition) L1 = 0.38 mm L2 = 2.45 mm L3 = 13.6 mm ε = 0.1 mm (Result) θ1 = 1.41855 ° θ2 = 1.29365 ° θ1-θ2 = 0.1249 ° (phase shift)

【0021】[0021]

【表2】 〔実施例〕 (条件1) L1=0.38mm L2=0mm L3=13.6mm ε =0.1mm (結果1) θ1=1.61234° θ2=1.58882° θ1−θ2=0.02352°(位相ぶれ) (条件2) L1=0.38mm L2=0mm L3=16.05mm ε =0.1mm (結果2) θ1=1.36478° θ2=1.34789° θ1−θ2=0.01689°(位相ぶれ)[Example 2] (Condition 1) L1 = 0.38 mm L2 = 0 mm L3 = 13.6 mm ε = 0.1 mm (Result 1) θ1 = 1.61234 ° θ2 = 1.58882 ° θ1-θ2 = 0.02352 ° (Phase deviation) (Condition 2) L1 = 0.38 mm L2 = 0 mm L3 = 16.05 mm ε = 0.1 mm (Result 2) θ1 = 1.36478 ° θ2 = 1.34789 ° θ1-θ2 = 0.01689 ° (phase shift)

【0022】従来例と実施例との条件を一致させるため
に、条件1ではL3を従来例のL3と一致させ、条件2
ではL3を従来例のL2+L3と一致させた。いずれの
条件においても、アブソリュート信号検出中心ACとイ
ンクリメンタル信号検出中心ICとを半径方向に一致さ
せることにより、位相ぶれ(θ1−θ2)は著しく減少
することがわかる。
In order to match the conditions of the conventional example and the embodiment, in condition 1, L3 matches L3 of the conventional example, and condition 2
Then, L3 was matched with L2 + L3 of the conventional example. Under any of the conditions, it is found that the phase deviation (θ1−θ2) is significantly reduced by making the absolute signal detection center AC and the incremental signal detection center IC coincide with each other in the radial direction.

【0023】図1(b)は、他の実施例にかかるアブソ
リュートエンコーダのセンサ配置を示す図である。図1
(b)のセンサ配置では、インクリメンタル信号検出用
センサ、すなわちインクリメンタル信号のA(+)相、
B(+)相、A(−)相およびB(−)相を検出するた
めのセンサ1乃至4が、アブソリュート信号検出用セン
サ、すなわちABS(+)信号を検出するためのセンサ
5およびABS(−)信号を検出するためのセンサ6に
より中央に挟み込まれるように配置され、アブソリュー
ト信号検出中心とインクリメンタル信号検出中心とを回
転円板の半径方向に一致するように構成されている。
FIG. 1B is a diagram showing a sensor arrangement of an absolute encoder according to another embodiment. Figure 1
In the sensor arrangement of (b), the incremental signal detection sensor, that is, the A (+) phase of the incremental signal,
The sensors 1 to 4 for detecting the B (+) phase, the A (-) phase and the B (-) phase are absolute signal detecting sensors, that is, the sensor 5 and the ABS (for detecting the ABS (+) signal. -) It is arranged so as to be sandwiched in the center by a sensor 6 for detecting a signal, and is configured so that the absolute signal detection center and the incremental signal detection center coincide with each other in the radial direction of the rotating disk.

【0024】図7(b)は、図1(b)のセンサ配置に
対応するように回転円板に形成されたアブソリュートパ
ターン(ABS(+)信号刻線帯)、アブソリュート反
転パターン(ABS(−)信号刻線帯)およびインクリ
メンタルパターン(主信号刻線帯)を示す図である。図
1(b)の配置に対応するように、1つの主信号刻線帯
がABS(+)信号刻線帯およびABS(−)信号刻線
帯に挟み込まれるようにパターン構成されている。
FIG. 7B shows an absolute pattern (ABS (+) signal engraved band) and an absolute inversion pattern (ABS (-) formed on the rotating disk so as to correspond to the sensor arrangement of FIG. 1B. FIG. 6 is a diagram showing a signal engraved band) and an incremental pattern (main signal engraved band). Corresponding to the arrangement of FIG. 1B, one main signal engraved band is patterned so as to be sandwiched between the ABS (+) signal engraved band and the ABS (-) signal engraved band.

【0025】図9(b)は、図1(b)のセンサ配置を
有する検出部の構成を示す図である。図示のように、A
BS(+)信号センサ5およびABS(−)信号センサ
6は所定ビット数(この場合、たとえば11ビット)の
数の検出素子から構成され、4つの主信号センサ(イン
クリメンタル信号検出用センサ)1乃至4を中央に挟み
込むように配置されている。図7(b)および図9
(b)を参照すれば明らかなように、ABS(+)信号
センサ5はABS(+)信号刻線帯に、ABS(−)信
号センサ6はABS(−)信号刻線帯に、主信号センサ
(インクリメンタル信号検出用センサ)1乃至4は主信
号刻線帯に対向するように構成されている。
FIG. 9 (b) is a diagram showing the structure of a detection unit having the sensor arrangement of FIG. 1 (b). As shown, A
The BS (+) signal sensor 5 and the ABS (-) signal sensor 6 are composed of detection elements having a predetermined number of bits (in this case, for example, 11 bits), and four main signal sensors (incremental signal detection sensors) 1 to It is arranged so as to sandwich 4 in the center. 7 (b) and 9
As is clear with reference to (b), the ABS (+) signal sensor 5 is in the ABS (+) signal marking band, the ABS (-) signal sensor 6 is in the ABS (-) signal marking band, and the main signal is The sensors (incremental signal detection sensors) 1 to 4 are configured to face the main signal engraved band.

【0026】本発明の他の実施例として、図1(c)乃
至(e)に示すようなセンサ配置も可能である。図1
(c)のセンサ配置は、インクリメンタル信号のA
(+)相、B(+)相、A(−)相およびB(−)相を
検出するためのセンサ1乃至4が円周方向に配列される
アブソリュートエンコーダに適用可能である。この実施
例では、インクリメンタル信号のA(+)相、B(+)
相、A(−)相およびB(−)相を検出するためのセン
サ1乃至4が、ABS(+)信号検出センサ5およびA
BS(−)信号検出センサ6によってその中央に挟み込
まれるように構成されている。
As another embodiment of the present invention, a sensor arrangement as shown in FIGS. 1 (c) to 1 (e) is also possible. Figure 1
The sensor arrangement of (c) is A of the incremental signal.
It is applicable to the absolute encoder in which the sensors 1 to 4 for detecting the (+) phase, the B (+) phase, the A (-) phase and the B (-) phase are arranged in the circumferential direction. In this embodiment, the A (+) phase and B (+) phase of the incremental signal
The sensors 1 to 4 for detecting the phase, the A (-) phase and the B (-) phase are ABS (+) signal detection sensors 5 and A.
It is configured to be sandwiched by the BS (-) signal detection sensor 6 in the center thereof.

【0027】また、図1(d)のセンサ配置は、インク
リメンタル信号のA(+)相、B(+)相、A(−)相
およびB(−)相を検出するためのセンサ1乃至4が円
周方向に複数組配列されるアブソリュートエンコーダに
適用可能である。この実施例では、インクリメンタル信
号のA(+)相、B(+)相、A(−)相およびB
(−)相を検出するためのセンサ1乃至4の複数組から
なるインクリメンタル信号検出用センサが、ABS
(+)信号検出センサ5およびABS(−)信号検出セ
ンサ6によってその中央に挟み込まれるように構成され
ている。
The sensor arrangement shown in FIG. 1 (d) includes sensors 1 to 4 for detecting the A (+) phase, B (+) phase, A (-) phase and B (-) phase of the incremental signal. Is applicable to an absolute encoder in which a plurality of sets are arranged in the circumferential direction. In this embodiment, the A (+) phase, B (+) phase, A (-) phase and B of the incremental signal are used.
The incremental signal detecting sensor including a plurality of sets of sensors 1 to 4 for detecting the (−) phase is an ABS.
The (+) signal detection sensor 5 and the ABS (-) signal detection sensor 6 are sandwiched in the center thereof.

【0028】さらに、図1(e)のセンサ配置は、アブ
ソリュート信号検出用センサとしてABS(+)信号を
検出するためのセンサ5のみを有するアブソリュートエ
ンコーダに適用可能である。この実施例では、インクリ
メンタル信号のA(+)相、B(+)相、A(−)相お
よびB(−)相を検出するためのセンサ1乃至4が、A
BS(+)信号検出センサ5を中央に挟み込むように構
成されている。
Further, the sensor arrangement of FIG. 1 (e) can be applied to an absolute encoder having only a sensor 5 for detecting an ABS (+) signal as an absolute signal detecting sensor. In this embodiment, the sensors 1 to 4 for detecting the A (+) phase, B (+) phase, A (−) phase and B (−) phase of the incremental signal are
The BS (+) signal detection sensor 5 is configured to be sandwiched in the center.

【0029】[0029]

【効果】以上説明したごとく、本発明にあっては、アブ
ソリュート信号の検出中心とインクリメンタル信号の検
出中心とを回転円板の半径方向に一致させたので、アブ
ソリュート信号とインクリメンタル信号との位相ぶれが
著しく減少する。その結果、組み立て時におけるアブソ
リュート信号とインクリメンタル信号の位相調整が著し
く容易になり、回転円板の許容偏心量の大きなアブソリ
ュートエンコーダを提供することができる。
[Effect] As described above, according to the present invention, the detection center of the absolute signal and the detection center of the incremental signal are made to coincide with each other in the radial direction of the rotating disk, so that there is a phase shift between the absolute signal and the incremental signal. Significantly reduced. As a result, the phase adjustment of the absolute signal and the incremental signal at the time of assembly becomes extremely easy, and an absolute encoder with a large allowable eccentricity of the rotating disk can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例にかかるアブソリュートエンコ
ーダのセンサ配置例(a)乃至(e)を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing sensor arrangement examples (a) to (e) of an absolute encoder according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来のアブソリュートエンコーダのセンサ配置
を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a sensor arrangement of a conventional absolute encoder.

【図3】図2のセンサ配置を有する従来のアブソリュー
トエンコーダにおけるインクリメンタル信号とアブソリ
ュート信号との位相ぶれについて説明する図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining phase deviation between an incremental signal and an absolute signal in a conventional absolute encoder having the sensor arrangement of FIG.

【図4】図1(a)のセンサ配置を有するアブソリュー
トエンコーダにおけるインクリメンタル信号とアブソリ
ュート信号との位相ぶれについて説明する図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining phase deviation between an incremental signal and an absolute signal in the absolute encoder having the sensor arrangement of FIG.

【図5】位相ぶれが信号波形に与える影響を説明する信
号波形図である。
FIG. 5 is a signal waveform diagram for explaining the influence of a phase shift on a signal waveform.

【図6】図2の従来のセンサ配置に対応するように回転
円板に形成されたパターンを示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a pattern formed on a rotating disk so as to correspond to the conventional sensor arrangement of FIG.

【図7】図1(a)および(b)のセンサ配置に対応す
るように回転円板に形成されたパターンを示す図であ
る。
FIG. 7 is a view showing a pattern formed on a rotating disc so as to correspond to the sensor arrangements of FIGS. 1 (a) and 1 (b).

【図8】図2の従来のセンサ配置を有する信号検出部の
構成を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a configuration of a signal detection unit having the conventional sensor arrangement of FIG.

【図9】図1(a)および(b)のセンサ配置を有する
信号検出部の構成を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a signal detection unit having the sensor arrangements of FIGS. 1 (a) and 1 (b).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 A(+)相センサ 2 B(+)相センサ 3 A(−)相センサ 4 B(−)相センサ 5 ABS(+)信号センサ 6 ABS(−)信号センサ 1 A (+) phase sensor 2 B (+) phase sensor 3 A (-) phase sensor 4 B (-) phase sensor 5 ABS (+) signal sensor 6 ABS (-) signal sensor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 徹 神奈川県横浜市栄区長尾台町471番地 株 式会社ニコン横浜製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toru Morita 471 Nagaodai-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Nikon Yokohama Manufacturing Co., Ltd.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 1つの絶対値が所定のビット数から表さ
れるアブソリュート用トラックおよびインクリメンタル
用トラックが同心円状に形成された符号板と、前記所定
ビット数に対応する複数の検出素子からなり、前記符号
板に形成されたアブソリュート用トラックからアブソリ
ュート信号を検出するためのアブソリュート信号用検出
部と、前記符号板に形成されたインクリメンタル用トラ
ックからインクリメンタル信号を検出するためのインク
リメンタル信号用検出部とを備えたアブソリュートエン
コーダにおいて、 前記アブソリュート信号用検出部における前記アブソリ
ュート信号の検出中心と前記インクリメンタル信号用検
出部における前記インクリメンタル信号の検出中心とが
前記符号板の半径方向にほぼ一致するとともに、前記符
号板のほぼ同一円周上に存在することを特徴とするアブ
ソリュートエンコーダ。
1. A code plate in which an absolute track and an incremental track, one absolute value of which is represented by a predetermined number of bits, are concentrically formed, and a plurality of detection elements corresponding to the predetermined number of bits. An absolute signal detection unit for detecting an absolute signal from the absolute track formed on the code plate, and an incremental signal detection unit for detecting an incremental signal from the incremental track formed on the code plate. In the absolute encoder provided, the detection center of the absolute signal in the absolute signal detection unit and the detection center of the incremental signal in the incremental signal detection unit substantially coincide with the radial direction of the code plate, the code Absolute encoder, characterized in that present on the substantially same circumference of the plate.
【請求項2】 1つの絶対値が所定のビット数から表さ
れる第1および第2のアブソリュート用トラックとイン
クリメンタル用トラックとが同心円状に設けられた符号
板と、 前記所定ビット数に対応する複数の検出素子からなり、
前記第1のアブソリュート用トラックおよび前記第2の
アブソリュート用トラックからアブソリュート信号をそ
れぞれ検出するためのアブソリュート信号用検出部と、 前記インクリメンタル用トラックからインクリメンタル
信号を検出するためのインクリメンタル信号用検出部と
を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、 前記アブソリュート用トラックは、1つの絶対値が所定
のビット数から表されるパターンが形成された第1のア
ブソリュート用トラックと、前記第1のアブソリュート
用トラックに形成された前記パターンを反転した反転パ
ターンが形成された第2のアブソリュート用トラックと
からなり、 前記インクリメンタル用トラックは、前記第1のアブソ
リュート用トラックと前記第2のアブソリュート用トラ
ックとの間に配置されていることを特徴とするアブソリ
ュートエンコーダ。
2. A code plate in which first and second absolute tracks whose absolute values are expressed by a predetermined number of bits and incremental tracks are provided concentrically, and which corresponds to the predetermined number of bits. Consisting of multiple detectors,
An absolute signal detecting unit for detecting an absolute signal from each of the first absolute track and the second absolute track, and an incremental signal detecting unit for detecting an incremental signal from the incremental track. In the absolute encoder provided, the absolute track includes a first absolute track on which a pattern in which one absolute value is represented by a predetermined number of bits is formed, and the first absolute track formed on the first absolute track. A second absolute track having an inverted pattern formed by reversing the pattern, wherein the incremental track is provided between the first absolute track and the second absolute track. Absolute encoder, characterized in that it is location.
【請求項3】 1つの絶対値が所定のビット数から表さ
れる第1および第2アブソリュート用トラックとインク
リメンタル用トラックとが同心円状に設けられた符号板
と、 前記所定ビット数に対応する複数の検出素子からなり、
前記第1のアブソリュート用トラックおよび前記第2の
アブソリュート用トラックからアブソリュート信号をそ
れぞれ検出するためのアブソリュート信号用検出部と、 前記インクリメンタル用トラックからインクリメンタル
信号を検出するためのインクリメンタル信号用検出部と
を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、 前記インクリメンタル用トラックは、等ピッチの繰り返
しパターンが形成された第1のインクリメンタル用トラ
ックと第2のインクリメンタル用トラックとからなり、 前記アブソリュート用トラックは、前記第1のインクリ
メンタル用トラックと前記第2のインクリメンタル用ト
ラックとの間に配置されていることを特徴とするアブソ
リュートエンコーダ。
3. A code plate in which first and second absolute tracks and an incremental track, one absolute value of which is represented by a predetermined number of bits, are concentrically provided, and a plurality of code plates corresponding to the predetermined number of bits. It consists of the detection element of
An absolute signal detecting unit for detecting an absolute signal from each of the first absolute track and the second absolute track, and an incremental signal detecting unit for detecting an incremental signal from the incremental track. In the absolute encoder provided, the incremental track includes a first incremental track and a second incremental track in which a repeating pattern with an equal pitch is formed, and the absolute track is the first incremental track. An absolute encoder arranged between a track and the second incremental track.
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