JPH0712742A - Color filter fault detecting device - Google Patents

Color filter fault detecting device

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Publication number
JPH0712742A
JPH0712742A JP15403493A JP15403493A JPH0712742A JP H0712742 A JPH0712742 A JP H0712742A JP 15403493 A JP15403493 A JP 15403493A JP 15403493 A JP15403493 A JP 15403493A JP H0712742 A JPH0712742 A JP H0712742A
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JP
Japan
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color filter
light
image
filter
blue
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Application number
JP15403493A
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Japanese (ja)
Inventor
Masaaki Sato
正明 佐藤
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH0712742A publication Critical patent/JPH0712742A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To pick-up image with the use of image pick-up elements having different color-sensitive characteristics for red, green and blue as if image pick-up elements having uniform color-sensitive characteristics for red, green and blue are used CONSTITUTION:Light turning knobs 17, 18, 19 are manipulated so as to adjust the light quantities of light sources 13, 14, 15, and the brightness of picked-up images of filter elements 11R, 11G, 11B are set to one and the same value. If a fault 22 is present in a part of the filter element 11B, its brightness distribution is clearly different from those of the filter elements 11R, 11G adjacent thereto, and accordingly, a signal processing device 21 can easily find out the fault, and accordingly, the necessity of a troublesome signal process carried out by the processing device 21 can be eliminated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラーTVやカラー液
晶ディスプレイなどに用いられるカラーフィルターの欠
陥検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a defect inspection device for color filters used in color TVs, color liquid crystal displays and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、カラーTVやカラー液晶ディスプ
レイなどに用いられるカラーフィルターの欠陥は、例え
ば図7に示す欠陥検査装置により検査が行なわれてい
た。すなわち、図7において、1 は検査対象となるカラ
ーフィルターで、このカラーフィルター1 は、その裏面
側に設置された線光源である蛍光ランプ2 の照明光が均
一な輝度分布になるように配設された拡散板3 を介し
て、蛍光ランプ2 により照明される。カラーフィルター
1 を照明した透過光はカラーフィルター1 を透過し、そ
してカラーフィルター1 の透過像はカラーフィルター1
の表面に対向して配置された、例えば5000画素のC
CD(Charge Coupled Device )のラインセンサーから
なる撮像素子4 により撮像される。撮像素子4 により撮
像されたカラーフィルター1 の像信号は、CPUなどか
らなる信号処理装置5 に出力されて、信号処理装置5 に
おいて演算処理され、カラーフィルター1 の色の抜けや
重複、あるいはゴミの付着などの欠陥が検査される。
2. Description of the Related Art Conventionally, a defect of a color filter used in a color TV, a color liquid crystal display or the like has been inspected by a defect inspection apparatus shown in FIG. 7, for example. That is, in FIG. 7, 1 is a color filter to be inspected, and this color filter 1 is arranged so that the illumination light of the fluorescent lamp 2 which is a linear light source installed on the back side has a uniform luminance distribution. It is illuminated by the fluorescent lamp 2 through the diffuser plate 3 thus formed. Color filter
The transmitted light that illuminates 1 passes through color filter 1, and the transmitted image of color filter 1
Placed opposite the surface of, for example, C of 5000 pixels
The image is picked up by the image pickup device 4 which is a line sensor of a CD (Charge Coupled Device). The image signal of the color filter 1 picked up by the image pickup device 4 is output to the signal processing device 5 including a CPU and the like, and is subjected to arithmetic processing in the signal processing device 5 so that the color filter 1 loses or overlaps colors or has dust. Defects such as adhesion are inspected.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、カラーフィ
ルター1 は、図8に示すように、ブラックストライプ1a
により囲まれた赤(R)、緑(G)、および青(B)の
フィルター素子1R,1G,1Bで構成され、1ラインは約50
0素子からなっている。図8は、このように構成されて
いるカラーフィルター1 あるいは撮像素子4 がa−a方
向に直交する方向に移動した際に、撮像素子4 に順次撮
像される画像の一例を示すものであるが、以下、a−a
ラインの青のフィルター素子1Bに欠陥部6 が存在してい
る場合について説明する。
By the way, as shown in FIG. 8, the color filter 1 has a black stripe 1a.
It is composed of red (R), green (G), and blue (B) filter elements 1R, 1G, 1B surrounded by
It consists of 0 elements. FIG. 8 shows an example of images sequentially picked up by the image pickup device 4 when the color filter 1 or the image pickup device 4 thus configured moves in a direction orthogonal to the aa direction. , Aa
The case where the defective portion 6 exists in the blue filter element 1B of the line will be described.

【0004】カラーフィルター1 を照明する照明光は、
蛍光ランプ2 の発光スペクトルに依存した波長の光で、
カラーフィルター1 を透過して撮像素子4 で撮像される
が、フィルター素子1R,1G,1Bの透過率の差、および撮像
素子4 の色感度特性の影響を受けて、それぞれ異なった
輝度レベルで撮像される。a−aラインに沿った輝度分
布の状態を図9に示す。
The illumination light that illuminates the color filter 1 is
Light with a wavelength that depends on the emission spectrum of fluorescent lamp 2,
The image is captured by the image sensor 4 after passing through the color filter 1.However, due to the difference in the transmittance of the filter elements 1R, 1G, and 1B and the color sensitivity characteristics of the image sensor 4, the images are captured at different brightness levels. To be done. FIG. 9 shows a state of the luminance distribution along the aa line.

【0005】しかしながら、図9において欠陥部6 によ
り欠落する輝度分布を破線で示してあるが、フィルター
素子1R,1G,1Bの輝度分布もそれぞれ異なっているため、
図9に示されている輝度分布に基づいて、信号処理装置
5 が欠陥部6 を欠陥として判定するためには、各色の輝
度分布の面積の演算処理や撮像素子4 の赤、緑、青の色
感度の補正処理など煩わしい信号処理が必要となるとい
う問題がある。
However, in FIG. 9, the luminance distribution missing due to the defective portion 6 is shown by a broken line, but since the luminance distributions of the filter elements 1R, 1G, 1B are also different,
A signal processing device based on the luminance distribution shown in FIG.
In order for 5 to judge the defective portion 6 as a defect, complicated signal processing such as calculation processing of the area of the luminance distribution of each color and correction processing of the red, green, and blue color sensitivities of the image sensor 4 is required. is there.

【0006】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、赤、緑、青の色感度特性が異なった撮像素子で撮像
しても均一な赤、緑、青の色感度特性を有する撮像素子
として撮像可能なカラーフィルター欠陥検査装置を提供
することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an image pickup device having uniform red, green, and blue color sensitivity characteristics even when image pickup is performed by image pickup devices having different red, green, and blue color sensitivity characteristics. An object of the present invention is to provide a color filter defect inspection device capable of capturing an image as an element.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、赤、緑、および青のフィルター素子から
なる検査対象としてのカラーフィルターと、独立した
赤、緑、および青の光を発する3個の光源を有しこれら
各光源の光を合成した光で上記カラーフィルターを照明
する照明手段と、この照明手段で照明されたカラーフィ
ルターの画像を撮像する撮像素子と、上記各光源の光量
を調整し上記撮像素子で撮像される上記各フィルター素
子の撮像画像の輝度を均一に設定する調光手段と、この
調光手段で調整された光量で上記照明手段により照明さ
れた上記カラーフィルターを撮像した上記撮像素子の出
力に基づいて上記カラーフィルターの欠陥を検査する信
号処理手段とを具備したことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides a color filter to be inspected, which includes red, green and blue filter elements, and independent red, green and blue light. Illuminating means for illuminating the color filter with light obtained by synthesizing light from the respective light sources, an image pickup device for picking up an image of the color filter illuminated by the illuminating means, and the respective light sources. The light quantity of the light emitted from the lighting device and the color of the color illuminated by the lighting means with the light amount adjusted by the light adjusting means. Signal processing means for inspecting a defect of the color filter based on an output of the image pickup device which picks up an image of the filter.

【0008】[0008]

【作用】本発明は上記のように構成したので、調光手段
が照明手段の各光源の光量を調整し撮像素子で撮像され
る各フィルター素子の撮像画像の輝度を同一の輝度に設
定することにより、フィルター素子の一部に欠陥が存在
すると、隣接するフィルター素子の輝度分布と明らかに
相違し、信号処理手段により欠陥として容易に判断さ
れ、信号処理手段による煩わしい信号処理を不要とす
る。
Since the present invention is configured as described above, the dimming means adjusts the light amount of each light source of the illuminating means and sets the brightness of the captured image of each filter element imaged by the image sensor to the same brightness. Thus, if there is a defect in a part of the filter element, it is clearly different from the brightness distribution of the adjacent filter element, and the signal processing unit can easily judge it as a defect, and the troublesome signal processing by the signal processing unit is unnecessary.

【0009】[0009]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0010】図1は本発明の一実施例のカラーフィルタ
ー欠陥検査装置を示す図で、同図において、11は検査対
象となるカラーフィルターで、このカラーフィルター1
はその裏面側に設置された照明板12により照明される。
照明板12には独立した3つの光源13,14,15からそれぞれ
発光された赤(R)、緑(G)、青(B)の照明光が3
分岐光ファイバー16を経由することにより3色合成され
て導入される。
FIG. 1 is a diagram showing a color filter defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 11 is a color filter to be inspected.
Is illuminated by a lighting plate 12 installed on the back side thereof.
The illumination plate 12 receives three illumination lights of red (R), green (G), and blue (B) emitted from three independent light sources 13, 14, and 15, respectively.
Three colors are combined and introduced by way of the branch optical fiber 16.

【0011】すなわち、3つの光源13,14,15は、ハロゲ
ンランプと、それぞれ赤(R)、緑(G)、青(B)の
波長の光を取出すためのフィルターとからなっており、
これら光源13,14,15からそれぞれ発光される光は、図2
に示すように、それぞれ重複する領域のない分光特性を
有している。また、3分岐光ファイバー16は、3本の入
力光ファイバー16R,16G,16B と、この入力光ファイバー
16R,16G,16B から入力された赤(R)、緑(G)、青
(B)の照明光を均一に合成するミキシング光学ユニッ
ト16a と、およびこのミキシング光学ユニット16a で合
成された照明光を照明板12に出力する出力光ファイバー
16b とからなっており、3本の入力光ファイバー16R,16
G,16B にはそれぞれ3つの光源13,14,15から発光された
照明光が入力される。また、それぞれの光源13,14,15か
ら発光される照明光の光量は、各光源13,14,15に備わっ
ている調光ダイヤル17,18,19を調整することにより、個
々の波長領域において任意に設定可能になっている。
That is, each of the three light sources 13, 14, 15 comprises a halogen lamp and a filter for extracting light of red (R), green (G) and blue (B) wavelengths, respectively.
The light emitted from each of these light sources 13, 14 and 15 is shown in FIG.
As shown in FIG. 3, each has a spectral characteristic with no overlapping region. In addition, the three-branch optical fiber 16 includes three input optical fibers 16R, 16G, and 16B, and these input optical fibers.
The mixing optical unit 16a that uniformly combines the red (R), green (G), and blue (B) illumination light input from 16R, 16G, and 16B, and the illumination light combined by this mixing optical unit 16a Output optical fiber output to the illumination plate 12
16b and 3 input optical fibers 16R, 16
Illumination lights emitted from the three light sources 13, 14 and 15 are input to the G and 16B, respectively. Further, the amount of illumination light emitted from each of the light sources 13, 14, 15 can be adjusted in each wavelength range by adjusting the dimming dials 17, 18, 19 provided in each of the light sources 13, 14, 15. It can be set arbitrarily.

【0012】また、カラーフィルター11を照明した透過
光はカラーフィルター11を透過し、そして、カラーフィ
ルター11の透過像はカラーフィルター11の表面に対向し
て配置された、例えば5000画素のCCDのラインセ
ンサーからなる撮像素子20により撮像される。撮像素子
17により撮像されたカラーフィルター11の像信号は、C
PUなどからなる信号処理装置21に出力されて、信号処
理装置21において演算処理され、カラーフィルター11の
色の抜けや重複、あるいはゴミの付着などの欠陥が検査
される。
Further, the transmitted light illuminating the color filter 11 is transmitted through the color filter 11, and the transmitted image of the color filter 11 is arranged on the surface of the color filter 11, for example, a CCD line of 5000 pixels. An image is picked up by the image sensor 20 including a sensor. Image sensor
The image signal of the color filter 11 picked up by 17 is C
The signal is output to the signal processing device 21 including a PU and the like, and is subjected to arithmetic processing in the signal processing device 21 to inspect for defects such as missing or overlapping colors of the color filter 11 or adhesion of dust.

【0013】一方、カラーフィルター11は、図3に示す
ように、図8と同様の構成であり、ブラックストライプ
11a により囲まれた赤(R)、緑(G)、および青
(B)のフィルター素子11R,11G,11B からなり、1ライ
ンは約500素子で構成される。このように構成されて
いるカラーフィルター11あるいは撮像素子20がb−b方
向に直交する方向に移動した際に撮像素子4 に順次撮像
される画像の一例が図3であるが、この画像信号は信号
処理装置21に入力され演算処理される。この処理結果を
モニターディスプレイ(不図示)で見ながら、オペレー
ターは各光源13,14,15に備わっている調光ダイヤル17,1
8,19を操作して光源13,14,15の光量を調整し、撮像素子
20に感知される各フィルター素子11R,11G,11B の輝度が
同一輝度となるように設定する。したがって、撮像素子
20の撮像感度が各色に対して均一に調整されることとな
り、図3は撮像素子20の撮像感度が均一に調整されたと
きの撮像画像を示している。
On the other hand, as shown in FIG. 3, the color filter 11 has the same structure as in FIG.
It consists of red (R), green (G), and blue (B) filter elements 11R, 11G, and 11B surrounded by 11a, and one line consists of about 500 elements. FIG. 3 shows an example of images sequentially picked up by the image pickup device 4 when the color filter 11 or the image pickup device 20 configured as described above moves in a direction orthogonal to the bb direction. The signal is input to the signal processing device 21 and processed. While observing this processing result on the monitor display (not shown), the operator can adjust the dimming dial 17,1 provided on each light source 13,14,15.
Operate 8,19 to adjust the amount of light from the light sources 13,14,15
The brightness of each filter element 11R, 11G, and 11B sensed by 20 is set to be the same brightness. Therefore, the image sensor
The image pickup sensitivity of 20 is adjusted uniformly for each color, and FIG. 3 shows a picked-up image when the image pickup sensitivity of the image pickup element 20 is adjusted uniformly.

【0014】次に、上記構成の本発明の一実施例の作用
について説明する。
Next, the operation of the embodiment of the present invention having the above construction will be described.

【0015】まず、カラーフィルター11の任意のライン
のフィルター素子11R,11G,11B を撮像素子20に撮像し、
この撮像画像に基づいて、調光ダイヤル17,18,19により
光源13,14,15の光量を調整して、撮像素子20の撮像感度
を均一に設定する。この撮像素子20の撮像感度の設定
後、カラーフィルター11の欠陥検査が行なわれる。
First, the image pickup device 20 picks up an image of the filter element 11R, 11G, 11B of an arbitrary line of the color filter 11.
Based on the picked-up image, the light amount of the light sources 13, 14, 15 is adjusted by the light control dials 17, 18, 19 to uniformly set the image pickup sensitivity of the image pickup device 20. After the image pickup sensitivity of the image pickup device 20 is set, the color filter 11 is inspected for defects.

【0016】すなわち、図3に示すように、カラーフィ
ルター11のb−bラインの青のフィルター素子11B に欠
陥部22が存在しているとすると、調光ダイヤル17,18,19
により撮像素子20の撮像感度が各色に対して均一に調整
されているので、図4に示すようなb−bラインに沿っ
た輝度分布を有する画像信号が撮像素子20に撮像され
る。図4には欠陥部22により欠落する輝度分布を破線で
示してあるが、図4から明らかなように、欠陥部22が存
在している青のフィルター素子11B の輝度分布と、この
青のフィルター素子11B に隣接する正常な赤と緑のフィ
ルター素子11R,11G の輝度分布とを比較すると、輝度は
同一であるが分布幅が明確に相違しており、欠陥部22が
青のフィルター素子11B に存在していることの判断が容
易となる。
That is, as shown in FIG. 3, assuming that the defective portion 22 exists in the blue filter element 11B of the bb line of the color filter 11, the dimming dials 17, 18, 19 are provided.
Since the image pickup sensitivity of the image pickup device 20 is adjusted uniformly for each color, an image signal having a luminance distribution along the line bb as shown in FIG. 4 is picked up by the image pickup device 20. In FIG. 4, the luminance distribution missing due to the defective portion 22 is shown by a broken line, but as is clear from FIG. 4, the luminance distribution of the blue filter element 11B in which the defective portion 22 exists and this blue filter are shown. Comparing the luminance distributions of the normal red and green filter elements 11R and 11G adjacent to the element 11B, the luminance is the same, but the distribution widths are clearly different, and the defective portion 22 becomes the blue filter element 11B. It becomes easy to judge that it exists.

【0017】したがって、撮像素子20から出力される画
像信号に基づいて、カラーフィルター11における色の抜
けや重複、あるいはゴミの付着などの欠陥の存在を判断
してカラーフィルター11の欠陥の検査を行なう信号処理
装置21においては、各フィルター素子11R,11G,11B の画
像信号の輝度分布の分布幅を判定・比較するだけで、各
フィルター素子11R,11G,11B に欠陥が存在するか否かの
判断が行なわれる。
Therefore, on the basis of the image signal output from the image pickup device 20, it is judged whether there is a defect such as missing or overlapping of colors in the color filter 11 or adhesion of dust, and the defect of the color filter 11 is inspected. In the signal processing device 21, it is possible to judge whether or not there is a defect in each filter element 11R, 11G, 11B simply by judging and comparing the distribution width of the luminance distribution of the image signal of each filter element 11R, 11G, 11B. Is performed.

【0018】このように、信号処理装置21が画像信号の
輝度分布の分布幅を判定・比較して欠陥の存在を判断す
ることにより、撮像素子20の赤、緑、青の色感度の補正
処理など煩わしい信号処理が不要となり、欠陥検査のた
めの処理速度が速められるとともに、信頼性の高い欠陥
検査が行なわれる。
In this way, the signal processing device 21 determines and compares the distribution width of the luminance distribution of the image signal to determine the presence of a defect, thereby correcting the red, green, and blue color sensitivities of the image sensor 20. This eliminates the need for cumbersome signal processing, speeds up the processing speed for defect inspection, and enables highly reliable defect inspection.

【0019】なお、上記実施例における欠陥の判定方法
は、簡便のため、画像信号の輝度分布の分布幅を判定・
比較するという手法により行なうようにしたが、これに
限るものではない。
Note that the defect determination method in the above-described embodiment is simple, so that the distribution width of the luminance distribution of the image signal is determined.
Although the comparison method is used, the invention is not limited to this.

【0020】また、上記実施例では、照明板12が直接カ
ラーフィルター11を照明するようにしたが、これに限る
ことはなく、図5に示すように、照明板12とカラーフィ
ルター11の間に拡散板23を介在させカラーフィルター11
を間接的に照明するようにしてもよく、より柔和な光に
よる照明が可能となって輝度ムラが減少するので、欠陥
検査時の画像ノイズを抑制することができる。
In the above embodiment, the illumination plate 12 illuminates the color filter 11 directly. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 5, a space between the illumination plate 12 and the color filter 11 is provided. Color filter 11 with diffusing plate 23
May be indirectly illuminated, and since it is possible to illuminate with softer light and brightness unevenness is reduced, it is possible to suppress image noise during defect inspection.

【0021】また、上記実施例では、撮像素子20の撮像
感度を各色に対して均一に設定するために、オペレータ
ーが調光ダイヤル17,18,19を操作して光源13,14,15の光
量を調整するようにしたが、これに限ることはなく、図
6に示すように、光源13,14,15に自動調光機能を付加
し、信号処理装置21が撮像素子20から入力された画像信
号に基づいて生成した光量制御信号24,25,26により光源
13,14,15を制御して光量を調整するようにしてもよく、
光源13,14,15の自動調光が可能となる。
In the above embodiment, in order to set the image pickup sensitivity of the image pickup device 20 uniformly for each color, the operator operates the dimming dials 17, 18, 19 to set the light intensity of the light sources 13, 14, 15 respectively. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 6, an image input from the image sensor 20 by the signal processing device 21 with the automatic light control function added to the light sources 13, 14, 15. Light source by light intensity control signals 24, 25, 26 generated based on the signal
13,14,15 may be controlled to adjust the light quantity,
It is possible to automatically control the light sources 13, 14, and 15.

【0022】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形
可能であることは勿論である。
Further, the present invention is not limited to the above embodiments, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のカラーフ
ィルター欠陥検査装置によれば、調光手段が照明手段の
各光源の光量を調整し撮像素子で撮像されるカラーフィ
ルターの各フィルター素子の撮像画像の輝度を同一の輝
度に設定することにより、フィルター素子の一部に欠陥
が存在する場合、隣接するフィルター素子の輝度分布と
明らかに相違するので、信号処理手段はカラーフィルタ
ーの欠陥を容易に判定することができ、さらには、信号
処理手段による煩わしい信号処理が不要となり、欠陥検
査のための処理速度が向上できるという優れた効果を奏
する。
As described above in detail, according to the color filter defect inspection apparatus of the present invention, the light control means adjusts the light amount of each light source of the illumination means and each filter element of the color filter imaged by the image sensor. By setting the brightness of the captured image of 1 to the same brightness, when a defect exists in a part of the filter element, the brightness distribution of the adjacent filter element is obviously different, and therefore the signal processing unit detects the defect of the color filter. This has an excellent effect that the determination can be easily made, and further, the troublesome signal processing by the signal processing means is not necessary and the processing speed for the defect inspection can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例のカラーフィルター欠陥検査
装置を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a color filter defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】赤、緑、および青の光源の分光特性を示す図で
ある。
FIG. 2 is a diagram showing spectral characteristics of red, green, and blue light sources.

【図3】本発明を採用した撮像素子による撮像画像例を
示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an example of a captured image by an image sensor adopting the present invention.

【図4】図3におけるb−bラインに沿った輝度分布を
示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a luminance distribution along line bb in FIG.

【図5】本発明の第1の他の実施例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a first another embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第2の他の実施例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図7】従来のカラーフィルター欠陥検査装置を示す図
である。
FIG. 7 is a diagram showing a conventional color filter defect inspection apparatus.

【図8】従来装置における撮像素子による撮像画像例を
示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing an example of an image captured by an image sensor in a conventional device.

【図9】図8におけるa−aラインに沿った輝度分布を
示す図である。
9 is a diagram showing a luminance distribution along line aa in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…カラーフィルター 11R,11G,11B …赤、緑、および青のフィルター素子 12…照明板(照明手段) 13,14,15…赤、緑、および青の光源 17,18,19…調光ダイヤル(調光手段) 20…撮像素子 21…信号処理装置(信号処理手段) 11 ... Color filters 11R, 11G, 11B ... Red, green, and blue filter elements 12 ... Illumination plate (illumination means) 13, 14, 15 ... Red, green, and blue light sources 17, 18, 19 ... Dimming dial (Light control means) 20 ... Imaging element 21 ... Signal processing device (signal processing means)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 赤、緑、および青のフィルター素子から
なる検査対象としてのカラーフィルターと、独立した
赤、緑、および青の光を発する3個の光源を有しこれら
各光源の光を合成した光で上記カラーフィルターを照明
する照明手段と、この照明手段で照明されたカラーフィ
ルターの画像を撮像する撮像素子と、上記各光源の光量
を調整し上記撮像素子で撮像される上記各フィルター素
子の撮像画像の輝度を均一に設定する調光手段と、この
調光手段で調整された光量で上記照明手段により照明さ
れた上記カラーフィルターを撮像した上記撮像素子の出
力に基づいて上記カラーフィルターの欠陥を検査する信
号処理手段とを具備したことを特徴とするカラーフィル
ター欠陥検査装置。
1. A color filter to be inspected, which comprises red, green, and blue filter elements, and three independent light sources for emitting red, green, and blue light, respectively, and combine the light from these light sources. Illuminating means for illuminating the color filter with the above-mentioned light, an image pickup element for picking up an image of the color filter illuminated by the illuminating means, and each filter element for adjusting the light quantity of each light source to be picked up by the image pickup element Of the color filter based on the output of the image pickup device that picks up the color filter illuminated by the illumination unit with the light amount adjusted by the light adjustment unit and the brightness adjustment of the captured image of the color filter. A color filter defect inspection apparatus comprising a signal processing unit for inspecting a defect.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6842240B2 (en) 2002-03-29 2005-01-11 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Color filter inspection apparatus
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