JPH0712555A - Photodetector adjusting mechanism of optical scanning-type displacement sensor - Google Patents
Photodetector adjusting mechanism of optical scanning-type displacement sensorInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光学的三角測距を行う
光走査型変位センサーの受光素子調整機構に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light receiving element adjusting mechanism of an optical scanning type displacement sensor for performing optical triangulation.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図１７は光走査型変位センサーを示し、
検出物体の変位の検出方法は一次元の位置検出素子（Ｐ
ＳＤ）の光点の動きを検出することにより求めている。
すなわち、光走査型変位センサー１は、そのケース２内
に投光系を含む走査装置３と、検出物体４からの反射光
を受光レンズ系５を介して受光する位置検出素子６等で
構成されている。また、ケース２の正面には投光用の開
口窓７と受光用の開口窓８が設けられている。2. Description of the Related Art FIG. 17 shows an optical scanning displacement sensor,
The method of detecting the displacement of the detection object is a one-dimensional position detection element (P
SD) is obtained by detecting the movement of the light spot.
That is, the optical scanning displacement sensor 1 is composed of a scanning device 3 including a light projecting system in its case 2, a position detecting element 6 for receiving reflected light from a detection object 4 via a light receiving lens system 5, and the like. ing. Further, an opening window 7 for projecting light and an opening window 8 for receiving light are provided on the front surface of the case 2.
【０００３】そして、検出物体４の変位は位置検出素子
６の光の動きを検出することで測定ができる。今、図１
８に示すように、平板状の検出物体４がＢの位置にある
とすると、位置検出素子６ではｂ位置であり、走査して
も変位出力は一定である。また、図１９に示すように、
位置検出素子６が走査に対して垂直になっているとき、
走査範囲Ｃ，Ｄに対して図２０に示すように位置検出素
子６の点ｃと点ｄでは、位置検出素子６の出力電流
Ｉ1 ，Ｉ2 の比は変化しない。つまり、図２１に示すよ
うに、検出物体４の平面度がそのまま出力される。The displacement of the detection object 4 can be measured by detecting the movement of light of the position detecting element 6. Now, Figure 1
As shown in FIG. 8, assuming that the flat plate-shaped detection object 4 is at the position B, the position detection element 6 is at the position b, and the displacement output is constant even after scanning. In addition, as shown in FIG.
When the position detecting element 6 is perpendicular to the scanning,
As shown in FIG. 20, for the scanning ranges C and D, the ratio of the output currents I 1 and I 2 of the position detection element 6 does not change at the points c and d of the position detection element 6. That is, as shown in FIG. 21, the flatness of the detected object 4 is output as it is.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図２２
に示すように、位置検出素子６が走査に対して垂直にな
っていないとき、位置検出素子６の点ｃと点ｄでは、位
置検出素子６の出力電流Ｉ1 ，Ｉ2 の比が変化する。つ
まり、図２３の（ａ）または（ｂ）に示すように、検出
物体４は平面なのに異なる変化を出力してしまう。However, as shown in FIG.
As shown in FIG. 5, when the position detecting element 6 is not perpendicular to the scanning, the ratio of the output currents I 1 and I 2 of the position detecting element 6 changes at the points c and d of the position detecting element 6. . That is, as shown in (a) or (b) of FIG. 23, the detected object 4 outputs a different change although it is a plane.
【０００５】このように、位置検出素子６が光走査に対
して傾きをもっていると、誤差を生じてしまう。これは
出力の精度（現物に対してどれだけ正確にその変位を出
力するか）に影響を与える。従来は、位置検出素子自身
の部品精度（パッケージに対する素子の角度ずれ）、位
置検出素子を保持するホルダーの部品精度に頼ってい
た。また、調整としては、走査装置３の方で走査の角度
を調整したり、位置検出素子自身の傾きを調整すること
が考えられるが、いずれも面倒な作業であった。As described above, if the position detecting element 6 is inclined with respect to the optical scanning, an error will occur. This affects the accuracy of output (how accurately the displacement is output with respect to the actual product). Conventionally, it relies on the component accuracy of the position detecting element itself (angle deviation of the element with respect to the package) and the component accuracy of the holder that holds the position detecting element. Further, as the adjustment, it is conceivable to adjust the scanning angle by the scanning device 3 or adjust the inclination of the position detecting element itself, but all of them are troublesome works.
【０００６】本発明は上述の点に鑑みて提供したもので
あって、位置検出素子の傾きの調整を精度良く簡単にで
きることを目的とした光走査型変位センサーの受光素子
調整機構を提供するものである。The present invention has been made in view of the above points, and provides a light receiving element adjusting mechanism for an optical scanning type displacement sensor for the purpose of easily and accurately adjusting the inclination of a position detecting element. Is.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、投光ビームを
偏向手段により走査させ、ある角度をもって受光レンズ
と一次元の位置検出素子により光点を検出する光走査型
変位センサーにおいて、位置検出素子を保持するホルダ
ーを円筒形に形成し、このホルダーを円形の収納部に回
転自在に配設したことを特徴としている。According to the present invention, there is provided an optical scanning type displacement sensor in which a projection beam is scanned by a deflecting means and a light receiving lens and a one-dimensional position detecting element detect a light spot at an angle. It is characterized in that a holder for holding the element is formed in a cylindrical shape and the holder is rotatably arranged in a circular storage portion.
【０００８】また、請求項２においては、上記ホルダー
をバネとネジとで挟んで保持し、上記ネジの回転により
ホルダーを上下動自在としたことを特徴としている。Further, in a second aspect of the present invention, the holder is held by being sandwiched by a spring and a screw, and the holder is vertically movable by rotation of the screw.
【０００９】[0009]
【作用】本発明によれば、位置検出素子を保持している
ホルダーを回転させることで、走査中心に位置決め調整
が可能となり、位置検出素子の傾きの調整を精度良く簡
単にできるものである。また、請求項２によれば、単に
ネジを回転させるだけで位置検出素子の上下方向に位置
を調整することができる。According to the present invention, by rotating the holder holding the position detecting element, the positioning adjustment can be performed around the scanning center, and the inclination of the position detecting element can be easily adjusted with high accuracy. According to the second aspect, the position can be adjusted in the vertical direction of the position detection element simply by rotating the screw.
【００１０】[0010]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。本発明は、偏心鋲による測距範囲の調整と、受光
ホルダーによる位置検出素子の傾き調整をするようにし
たものである。尚、偏心鋲による測距範囲の調整は、Ｍ
Ｑレーザーアナログセンサーにおいては行われていた
が、走査式になると、位置検出素子の角度調整が必要と
なり、そこで本発明の光走査型変位センサーの受光素子
調整機構を発明したものである。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. According to the present invention, the distance measuring range is adjusted by the eccentric tack and the tilt of the position detecting element is adjusted by the light receiving holder. In addition, adjustment of the distance measuring range by the eccentric stud
Although it has been performed in the Q laser analog sensor, when it becomes a scanning type, it is necessary to adjust the angle of the position detection element, and therefore, the invention invented the light receiving element adjustment mechanism of the optical scanning displacement sensor of the present invention.
【００１１】以下、具体的に説明する。図２に示すよう
に受光系ホルダー１０の前部の開口部１１には、レンズ
ホルダー１２と受光レンズ１３からなる受光レンズブロ
ック１４が装着されるようになっている。図３におい
て、受光系ホルダー１０の後部には円形の収納部１５が
形成されており、この収納部１５内に略円筒形の回転ホ
ルダー１７が回転自在に収納されるようになっている。
そして、回転ホルダー１７の後面に形成されている凹部
１８内に、位置検出素子６を保持した平板状のＰＳＤホ
ルダー１６（図５参照）が左右にスライド自在に装着さ
れる。A detailed description will be given below. As shown in FIG. 2, a light receiving lens block 14 including a lens holder 12 and a light receiving lens 13 is attached to the opening 11 at the front of the light receiving system holder 10. In FIG. 3, a circular housing 15 is formed at the rear of the light receiving system holder 10, and a substantially cylindrical rotary holder 17 is rotatably housed in the housing 15.
Then, a flat PSD holder 16 (see FIG. 5) holding the position detecting element 6 is slidably mounted in the recess 18 formed on the rear surface of the rotary holder 17 to the left and right.
【００１２】また、回転ホルダー１７の中央部にはＰＳ
Ｄホルダー１６に配設した位置検出素子６を臨ませる開
口窓１９が穿孔されている。受光系ホルダー１０の収納
部１５の回りにはねじ穴２０が４つ形成されており、ま
た、受光系ホルダー１０の上部には上面と収納部１５に
貫通する穴２１，２２が穿設されている。In addition, PS is provided at the center of the rotary holder 17.
An opening window 19 is bored to expose the position detecting element 6 arranged on the D holder 16. Four screw holes 20 are formed around the housing portion 15 of the light receiving system holder 10, and holes 21 and 22 penetrating the upper surface and the housing portion 15 are formed on the upper portion of the light receiving system holder 10. There is.
【００１３】一方の穴２１は垂直に穿設され、この穴２
１にＰＳＤホルダー１６を左右方向にスライドさせて調
整するための偏心鋲２３が装着されるようになってい
る。また、他方の穴２２は傾斜して穿孔されており、こ
の穴２２に回転ホルダー１７を回転させて調整するため
の偏心鋲２４が装着されるものである。両偏心鋲２３，
２４の頭部上面には治具挿入用の溝２５，２６が形成さ
れ、また、下端には調整用の突起２７，２８がそれぞれ
突設されている。One hole 21 is formed vertically, and this hole 2
An eccentric stud 23 for adjusting the PSD holder 16 by sliding the PSD holder 16 in the left-right direction is attached to the first unit. Further, the other hole 22 is formed with an inclination, and an eccentric stud 24 for rotating and adjusting the rotary holder 17 is attached to this hole 22. Both eccentric tacks 23,
Grooves 25 and 26 for jig insertion are formed on the upper surface of the head of 24, and projections 27 and 28 for adjustment are respectively provided at the lower ends.
【００１４】一方、回転ホルダー１７の上面側には偏心
鋲２３が挿通される穴２９が凹部１８に連通して穿孔さ
れており、また、偏心鋲２４の突起２８が挿入されるス
リット３０（図３及び図４参照）が形成されている。ま
た、ＰＳＤホルダー１６の上面には偏心鋲２３の突起２
７が挿入されるスリット３１が形成されている。そし
て、位置検出素子６を装着したＰＳＤホルダー１６は、
回転ホルダー１７の凹部１８内に配置され、更に回転ホ
ルダー１７が受光系ホルダー１０の収納部１５内に回転
自在に配置される。On the other hand, on the upper surface side of the rotary holder 17, a hole 29 through which the eccentric stud 23 is inserted is bored so as to communicate with the recess 18, and a slit 30 (FIG. 3 and FIG. 4) are formed. Further, the projection 2 of the eccentric tack 23 is provided on the upper surface of the PSD holder 16.
A slit 31 into which 7 is inserted is formed. Then, the PSD holder 16 with the position detecting element 6 attached is
The rotary holder 17 is disposed in the recess 18 of the rotary holder 17, and the rotary holder 17 is rotatably disposed in the storage portion 15 of the light receiving system holder 10.
【００１５】一方の偏心鋲２３は、受光系ホルダー１０
の穴２１と回転ホルダー１７の穴２９に挿入され、偏心
鋲２３の突起２７が図１に示すようにＰＳＤホルダー１
６のスリット３１に挿入される。また、他方の偏心鋲２
４は受光系ホルダー１０の穴２２に挿入され、突起２８
は回転ホルダー１７のスリット３０に挿入されるように
なっている。One of the eccentric studs 23 is a light receiving system holder 10.
2 of the PSD holder 1 and the boss 27 of the eccentric tack 23 as shown in FIG.
6 is inserted into the slit 31. Also, the other eccentric tack 2
4 is inserted into the hole 22 of the light receiving system holder 10, and the protrusion 28
Is inserted into the slit 30 of the rotary holder 17.
【００１６】ここで、上記両偏心鋲２３，２４の突起２
７，２８は中心に対して偏心しているために、偏心鋲２
３，２４を回転させると、突起２７，２８は横方向に移
動する。従って、偏心鋲２３を回転させることで、ＰＳ
Ｄホルダー１６を左右にスライドでき、また、偏心鋲２
４を回転させることで、回転ホルダー１７を回転させる
ことが可能となる。Here, the protrusions 2 of the eccentric studs 23 and 24 described above.
Since eccentric 7 and 28 are eccentric to the center, eccentric studs 2
When the 3, 24 are rotated, the protrusions 27, 28 move laterally. Therefore, by rotating the eccentric tack 23, PS
The D holder 16 can be slid to the left and right, and the eccentric tack 2
By rotating 4 the rotary holder 17 can be rotated.
【００１７】ここで、回転ホルダー１７及びＰＳＤホル
ダー１６は図３及び図６に示すように、板バネからなる
押さえ板３２にて保持されるようになっており、ネジ３
３を押さえ板３２の孔３５を介して受光系ホルダー１０
のねじ穴２０に螺着することで、回転ホルダー１７を保
持すると共に、押さえ板３２の内側に形成した突起３４
によりＰＳＤホルダー１６の後面を当接してＰＳＤホル
ダー１６を保持するようにしている。Here, as shown in FIGS. 3 and 6, the rotary holder 17 and the PSD holder 16 are held by a pressing plate 32 composed of a leaf spring, and the screw 3
3 through the hole 35 of the pressing plate 32, the light receiving system holder 10
The rotation holder 17 is held by being screwed into the screw hole 20 of the projection 34 formed inside the pressing plate 32.
Thus, the PSD holder 16 is held by abutting the rear surface of the PSD holder 16.
【００１８】ここで、位置検出素子６の左右の位置調整
（Ｚ方向の位置調整）は、図７〜図９に示すように、偏
心鋲２３を回転させることで、ＰＳＤホルダー１６が回
転ホルダー１７の凹部１８内で左右にスライドし、これ
により位置検出素子６のＺ方向の位置調整を行うことが
できる。また、走査と平行になるように位置検出素子６
の角度（傾き）調整は図１０及び図１１に示すように、
偏心鋲２４を回転させることにより、回転ホルダー１７
を回転させ、これにより位置検出素子６の角度調整を行
う。調整は標準検出物体（平板）で行い、出力（１走
査）を見ながら（例えば、オシロスコープ）、１走査間
に変化しないように行うものであり、走査と位置検出素
子６が平行になるように調整を行う。Here, for the left and right position adjustment of the position detection element 6 (position adjustment in the Z direction), the PSD holder 16 is rotated by rotating the eccentric stud 23 as shown in FIGS. The position of the position detecting element 6 in the Z direction can be adjusted by sliding the position detecting element 6 in the recess 18 to the left and right. Further, the position detecting element 6 is arranged so as to be parallel to the scanning.
The angle (tilt) adjustment of is as shown in FIGS.
By rotating the eccentric stud 24, the rotation holder 17
Is rotated to adjust the angle of the position detecting element 6. The adjustment is performed by using a standard detection object (flat plate) and observing the output (one scan) (for example, an oscilloscope) so as not to change between one scan, so that the scan and the position detection element 6 are parallel to each other. Make adjustments.
【００１９】（実施例２）次に他の実施例を示す。先の
実施例では、位置検出素子６の左右方向（Ｚ方向）の調
整と、角度調整が可能であったが、本実施例では、左右
方向と角度調整に加えて上下方向の調整ができるように
したものである。左右方向と角度調整の方法は先の実施
例と同じなので、上下方向の調整に関して詳細に説明す
る。すなわち、図１３に示すように、受光系ホルダー１
０の四角状に形成した収納部１５内の回転ホルダー１７
と収納部１５の天井面との間に回転ホルダー押さえ具４
０を介装し、この回転ホルダー押さえ具４０の上面を受
光系ホルダー１０のねじ穴４１（図１２参照）に螺着し
たネジ４２の下端を当接し、且つ、収納部１５の底面と
回転ホルダー１７の間にバネ４３を介装して、上記ネジ
４２、回転ホルダー押さえ具４０及びバネ４３により回
転ホルダー１７を上下方向に調整可能としたものであ
る。(Second Embodiment) Another embodiment will be described below. In the previous embodiment, adjustment of the position detection element 6 in the left-right direction (Z direction) and angle adjustment were possible, but in the present embodiment, in addition to the left-right direction and angle adjustment, adjustment in the vertical direction is possible. It is the one. Since the method of adjusting the horizontal direction and the angle is the same as that of the previous embodiment, the vertical adjustment will be described in detail. That is, as shown in FIG. 13, the light receiving system holder 1
Rotating holder 17 inside storage section 15 formed in a square shape of 0
Between the rotary holder and the ceiling surface of the storage section 15
0, and the lower surface of the screw 42 screwed into the screw hole 41 (see FIG. 12) of the light receiving system holder 10 is brought into contact with the upper surface of the rotary holder holder 40, and the bottom surface of the accommodating portion 15 and the rotary holder. A spring 43 is interposed between the rotary holders 17, and the rotary holder 17 can be adjusted in the vertical direction by the screw 42, the rotary holder pressing member 40, and the spring 43.
【００２０】尚、回転ホルダー押さえ具４０には図１３
に示すように、偏心鋲２３，２４を挿入するための先の
実施例と同機能の穴２１，２２が穿設されている。ま
た、本実施例では、偏心鋲２３、２４は図１６に示すよ
うに受光系ホルダー１０の上面には突出しない構造とな
っている。また、バネ４３はその折曲した両端部で回転
ホルダー１７を受ける構造であるために（図１４の矢印
参照）、板バネに変えて、図１５に示すようなコイルバ
ネ４３を用いても良い。The rotary holder holder 40 is shown in FIG.
As shown in FIG. 5, holes 21 and 22 for inserting the eccentric studs 23 and 24 having the same functions as those in the previous embodiment are formed. Further, in this embodiment, the eccentric studs 23 and 24 are structured so as not to project to the upper surface of the light receiving system holder 10 as shown in FIG. Further, since the spring 43 has a structure in which the bent holders receive the rotary holder 17 (see the arrow in FIG. 14), a coil spring 43 as shown in FIG. 15 may be used instead of the leaf spring.
【００２１】ここで、図１６に示すように、ネジ４２を
回転させることにより、バネ４３のバネ力にて回転ホル
ダー押さえ具４０、回転ホルダー１７及びＰＳＤホルダ
ー１６が上下動するので、これにより走査範囲を位置検
出素子６上に結像することができる。Here, as shown in FIG. 16, when the screw 42 is rotated, the rotary holder pressing member 40, the rotary holder 17, and the PSD holder 16 are vertically moved by the spring force of the spring 43, so that the scanning is performed. The range can be imaged on the position detection element 6.
【００２２】[0022]
【発明の効果】本発明によれば、投光ビームを偏向手段
により走査させ、ある角度をもって受光レンズと一次元
の位置検出素子により光点を検出する光走査型変位セン
サーにおいて、位置検出素子を保持するホルダーを円筒
形に形成し、このホルダーを円形の収納部に回転自在に
配設したことを特徴としているものであるから、位置検
出素子を保持しているホルダーを回転させることで、走
査中心に位置決め調整が可能となり、位置検出素子の傾
きの調整を精度良く簡単にできるという効果を奏するも
のである。According to the present invention, in the optical scanning displacement sensor in which the projection beam is scanned by the deflecting means and the light spot is detected by the light receiving lens and the one-dimensional position detecting element at an angle, the position detecting element is used. Since the holder for holding is formed in a cylindrical shape, and this holder is rotatably arranged in the circular storage part, the holder holding the position detecting element is rotated to scan. The positioning adjustment can be performed at the center, and the tilt of the position detection element can be adjusted accurately and easily.
【００２３】また、請求項２においては、上記ホルダー
をバネとネジとで挟んで保持し、上記ネジの回転により
ホルダーを上下動自在としたことを特徴としているもの
であるから、単にネジを回転させるだけで位置検出素子
の上下方向に位置を調整することができる。Further, in the present invention, the holder is held by being sandwiched by a spring and a screw, and the holder can be moved up and down by the rotation of the screw. Therefore, the screw is simply rotated. The position of the position detecting element can be adjusted in the vertical direction only by performing the above operation.
【図１】本発明の実施例の受光系ホルダーの断面図であ
る。FIG. 1 is a sectional view of a light receiving system holder according to an embodiment of the present invention.
【図２】同上の受光系ホルダーと受光レンズブロックの
分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of a light receiving system holder and a light receiving lens block of the above.
【図３】同上の主要部品の分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of main parts of the above.
【図４】同上の回転ホルダーの要部斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a main part of the above rotary holder.
【図５】同上のＰＳＤホルダーを前面から見た場合の斜
視図である。FIG. 5 is a perspective view of the above PSD holder when viewed from the front.
【図６】同上の受光系ホルダーの側断面図である。FIG. 6 is a side sectional view of the above light receiving system holder.
【図７】同上のＺ方向における位置検出素子の位置調整
を行う場合の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram for performing position adjustment of the position detection element in the Z direction of the above.
【図８】同上のＺ方向における位置検出素子の位置調整
を行う場合の説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram for performing position adjustment of the position detection element in the Z direction of the above.
【図９】同上のＺ方向における位置検出素子の位置調整
を行う場合の説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram for performing position adjustment of the position detection element in the Z direction of the above.
【図１０】同上の位置検出素子の角度調整を行う場合の
説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram in the case of adjusting the angle of the position detection element of the above.
【図１１】同上の位置検出素子の角度調整を行う場合の
説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram in the case of adjusting the angle of the position detection element of the above.
【図１２】同上の実施例２の受光系ホルダーの要部斜視
図である。FIG. 12 is a perspective view of a main part of a light receiving system holder according to the second embodiment.
【図１３】同上の主要部品の分解斜視図である。FIG. 13 is an exploded perspective view of main parts of the above.
【図１４】同上のバネの説明図である。FIG. 14 is an explanatory diagram of a spring of the above.
【図１５】同上のバネの他の例の説明図である。FIG. 15 is an explanatory diagram of another example of the above spring.
【図１６】同上の受光系ホルダーの断面図である。FIG. 16 is a sectional view of the above light receiving system holder.
【図１７】光走査型変位センサーの構成を示す図であ
る。FIG. 17 is a diagram showing a configuration of an optical scanning displacement sensor.
【図１８】光走査型変位センサーにより検出物体の変位
を測定する場合の図である。FIG. 18 is a diagram when the displacement of a detection object is measured by an optical scanning displacement sensor.
【図１９】従来例の位置検出素子が走査に対して垂直に
なっている場合の説明図である。FIG. 19 is an explanatory diagram when the position detecting element of the conventional example is perpendicular to the scanning.
【図２０】従来例の位置検出素子が走査に対して垂直に
なっている場合の説明図である。FIG. 20 is an explanatory diagram in the case where the position detecting element of the conventional example is perpendicular to the scanning.
【図２１】従来例の位置検出素子が走査に対して垂直に
なっている場合の１走査に対する変位出力を示す図であ
る。FIG. 21 is a diagram showing displacement output for one scan when the position detecting element of the conventional example is perpendicular to the scan.
【図２２】従来例の位置検出素子が走査に対して垂直に
なっていないときの説明図である。FIG. 22 is an explanatory diagram when the position detecting element of the conventional example is not vertical to scanning.
【図２３】従来例の位置検出素子が走査に対して垂直に
なっていないときの１走査に対する変位出力を示す図で
ある。FIG. 23 is a diagram showing displacement output for one scan when the position detecting element of the conventional example is not perpendicular to the scan.
１ 光走査型変位センサー ６ 位置検出素子 １０ 受光系ホルダー １４ 受光レンズブロック １５ 収納部 １６ ＰＳＤホルダー １７ 回転ホルダー ２３ 偏心鋲 ２４ 偏心鋲 ４０ 回転ホルダー押さえ具 ４２ ネジ ４３ バネ 1 Optical Scanning Displacement Sensor 6 Position Detecting Element 10 Light-Reception System Holder 14 Light-Reception Lens Block 15 Storage Section 16 PSD Holder 17 Rotation Holder 23 Eccentric Tack 24 Eccentric Tack 40 Rotation Holder Presser 42 Screw 43 Spring
Claims (2)
ある角度をもって受光レンズと一次元の位置検出素子に
より光点を検出する光走査型変位センサーにおいて、位
置検出素子を保持するホルダーを円筒形に形成し、この
ホルダーを円形の収納部に回転自在に配設したことを特
徴とする光走査型変位センサーの受光素子調整機構。1. A light projecting beam is scanned by a deflecting means,
In an optical scanning displacement sensor that detects a light spot with a light-receiving lens and a one-dimensional position detection element at an angle, a holder that holds the position detection element is formed in a cylindrical shape, and this holder can be freely rotated in a circular storage unit. A light-receiving element adjusting mechanism for an optical scanning displacement sensor, which is provided.
持し、上記ネジの回転によりホルダーを上下動自在とし
たことを特徴とする請求項１記載の光走査型変位センサ
ーの受光素子調整機構。2. The light receiving element adjusting mechanism for an optical scanning displacement sensor according to claim 1, wherein the holder is held by being sandwiched by a spring and a screw, and the holder is vertically movable by rotation of the screw. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5155795A JPH0712555A (en) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | Photodetector adjusting mechanism of optical scanning-type displacement sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5155795A JPH0712555A (en) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | Photodetector adjusting mechanism of optical scanning-type displacement sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712555A true JPH0712555A (en) | 1995-01-17 |
Family
ID=15613608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5155795A Pending JPH0712555A (en) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | Photodetector adjusting mechanism of optical scanning-type displacement sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712555A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10170647A (en) * | 1996-10-17 | 1998-06-26 | Robert Bosch Gmbh | Radar device, particularly radar device for automobile |
| JP2014098766A (en) * | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Ricoh Co Ltd | Autofocus device, projection lens device, and image projection device |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS625214U (en) * | 1985-06-25 | 1987-01-13 | ||
| JPS6363713U (en) * | 1986-10-16 | 1988-04-27 | ||
| JPH01297504A (en) * | 1988-05-26 | 1989-11-30 | Matsushita Electric Works Ltd | Optical scanning type displacement sensor |
| JPH0259607A (en) * | 1988-08-24 | 1990-02-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | Position adjusting device for light emitting element or light receiving element of distance measuring unit |
-
1993
- 1993-06-25 JP JP5155795A patent/JPH0712555A/en active Pending
Patent Citations (4)
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030318 |