JPH07124531A - Washing method and apparatus - Google Patents
Washing method and apparatusInfo
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- JPH07124531A JPH07124531A JP29464893A JP29464893A JPH07124531A JP H07124531 A JPH07124531 A JP H07124531A JP 29464893 A JP29464893 A JP 29464893A JP 29464893 A JP29464893 A JP 29464893A JP H07124531 A JPH07124531 A JP H07124531A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ガラスあるいはプラス
チックからなる光学部品、プリント基板、液晶基板、ウ
ェハーなどの電気や電子部品あるいは機械部品等を洗浄
する方法および装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for cleaning electrical or electronic components such as optical components made of glass or plastic, printed circuit boards, liquid crystal substrates, wafers or mechanical components.
【０００２】[0002]
【従来の技術】上述のような被洗浄物の従来の洗浄方法
として、「精密洗浄装置と最新応用技術」（（株）工業
資料センター発行、１９９１年１１月８日発行日）の５
７０〜５７４頁に記載されている。図５はこの洗浄方法
のフローチャートを示し、被洗浄物を洗浄液により洗浄
する洗浄工程４１と、水や純水によって被洗浄物から洗
浄液を洗い流すリンス工程４２と、リンス工程４２から
の水、純水をイソプロピルアルコール（以下、ＩＰＡと
記する。）などのアルコールで脱水する脱水工程４３
と、脱水後にアルコールを揮散させて乾燥する乾燥工程
４４とから構成される。最後の乾燥工程４４では、フロ
ン蒸気による乾燥あるいはＩＰＡ蒸気による乾燥のいず
れかが行われる。2. Description of the Related Art As a conventional method for cleaning an object to be cleaned as described above, 5 of "Precision cleaning device and latest applied technology" (published by Industrial Data Center Co., Ltd., issued November 8, 1991).
70-574. FIG. 5 shows a flowchart of this cleaning method, which includes a cleaning step 41 for cleaning the object to be cleaned with a cleaning solution, a rinse step 42 for flushing the cleaning solution from the object to be cleaned with water or pure water, and water and pure water from the rinse step 42. Process 43 of dehydrating the product with an alcohol such as isopropyl alcohol (hereinafter referred to as IPA)
And a drying step 44 in which alcohol is volatilized and dried after dehydration. In the final drying step 44, either drying with CFC vapor or drying with IPA vapor is performed.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
洗浄方法では、被洗浄物の表面に大気中の水蒸気が凝結
して水滴となって付着し、この付着に起因して被洗浄物
表面にシミが発生し、洗浄不良となる問題があった。か
かる水滴の付着はアルコールを使用した脱水工程で顕著
に生じている。表１はＩＰＡなどの親水性溶剤の蒸発潜
熱をフロン等の非水性溶剤と比較した表である。However, in the conventional cleaning method, the water vapor in the atmosphere is condensed and adheres to the surface of the object to be cleaned as water droplets, and this adhesion causes stains on the surface of the object to be cleaned. Occurs, resulting in poor cleaning. Adhesion of such water droplets remarkably occurs in the dehydration process using alcohol. Table 1 is a table comparing the latent heat of vaporization of hydrophilic solvents such as IPA with non-aqueous solvents such as CFCs.
【０００４】[0004]
【表１】 [Table 1]
【０００５】表１に示すように、親水性溶剤は非水性溶
剤よりも蒸発潜熱が大きく、この親水性溶剤から被洗浄
物を引き上げたり、その後、搬送する過程では、親水性
溶剤の蒸発により被洗浄物の表面が急激に冷却される。
これにより、大気中の水蒸気が被洗浄物表面で凝結し、
水滴となって付着する。この水滴は空気中に浮遊してい
た微小な埃を多量に含んでいるところから、その後の乾
燥工程で被洗浄物を乾燥してもシミとなって残存し洗浄
不良となるものである。As shown in Table 1, the hydrophilic solvent has a larger latent heat of vaporization than the non-aqueous solvent, and in the process of pulling up the article to be cleaned from the hydrophilic solvent and thereafter transporting it, the hydrophilic solvent evaporates due to evaporation of the hydrophilic solvent. The surface of the washed material is cooled rapidly.
This causes water vapor in the atmosphere to condense on the surface of the object to be cleaned,
Attaches as water drops. Since the water droplets contain a large amount of fine dust suspended in the air, even if the object to be cleaned is dried in the subsequent drying step, it remains as stains and causes poor cleaning.
【０００６】この場合、被洗浄物表面に付着している水
滴を蒸発潜熱が小さい非水性溶剤で除去することが考え
られる。しかしながら、非水性溶剤は表２に示すよう
に、水に対する溶解度が極めて小さく、付着した水滴の
除去ができないと共に、工程数が増える観点から好まし
くない。In this case, it is conceivable to remove water droplets adhering to the surface of the object to be cleaned with a non-aqueous solvent having a small latent heat of vaporization. However, as shown in Table 2, the non-aqueous solvent is not preferable from the viewpoint that the solubility in water is extremely small, the attached water droplets cannot be removed, and the number of steps is increased.
【０００７】[0007]
【表２】 [Table 2]
【０００８】以上のことから本発明は、被洗浄物への水
滴の付着を防止してシミの発生のない清浄な洗浄を可能
とした洗浄方法およびこの方法を実施することができる
洗浄装置を提供することを目的とする。[0008] From the above, the present invention provides a cleaning method capable of preventing water droplets from adhering to an object to be cleaned and enabling clean cleaning without generation of stains, and a cleaning apparatus capable of implementing this method. The purpose is to do.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段および作用】本発明の洗浄
方法は、被洗浄物に対し親水性溶剤により所定の洗浄処
理を行うと共に、被洗浄物が露出される雰囲気を除湿す
ることにより、雰囲気中の水蒸気の結露を防止するもの
である。また別の本発明の洗浄方法では、被洗浄物に対
し親水性溶剤により所定の洗浄処理を行う工程と、除湿
した雰囲気内で被洗浄物を搬送し非水性溶剤により所定
の洗浄処理を行う工程とを備えるものである。According to the cleaning method of the present invention, an object to be cleaned is subjected to a predetermined cleaning treatment with a hydrophilic solvent, and the atmosphere in which the object to be cleaned is exposed is dehumidified. It prevents the condensation of water vapor inside. In another cleaning method of the present invention, a step of performing a predetermined cleaning treatment on the object to be cleaned with a hydrophilic solvent, and a step of carrying the object to be cleaned in a dehumidified atmosphere and performing a predetermined cleaning treatment with a non-aqueous solvent And with.
【００１０】これらの方法における除湿条件は、ＩＰＡ
を基準とし、その絶対湿度が１０ｇ／ｍ3 以下であるこ
とが好ましい。エチルアルコール，メチルアルコールな
どの他のアルコールの場合は、蒸発潜熱との関係で、こ
の範囲内の絶対湿度となるように選択され、例えばエチ
ルアルコールの場合は、８．５ｇ／ｍ3 以下の絶対湿
度、メチルアルコールの場合は７．５ｇ／ｍ3 以下の絶
対温度が良好である。The dehumidifying conditions in these methods are IPA
The absolute humidity is preferably 10 g / m 3 or less. Other alcohols such as ethyl alcohol and methyl alcohol are selected to have an absolute humidity within this range in relation to the latent heat of vaporization. For example, in the case of ethyl alcohol, the absolute humidity is 8.5 g / m 3 or less. In the case of humidity and methyl alcohol, an absolute temperature of 7.5 g / m 3 or less is good.
【００１１】また、非水性溶剤は、ＩＰＡ，メチルアル
コール，エチルアルコールから選択されたものであって
もよいし、それらの蒸気であってもよい。The non-aqueous solvent may be selected from IPA, methyl alcohol and ethyl alcohol, or may be a vapor thereof.
【００１２】一方、非水性溶剤は、フロン，塩化メチレ
ン，トリクロロエチレン，１，１，１−トリクロロエタ
ン，パーフルオロカーボン，シロキサン，炭化水素系溶
剤から選択されたものであってもよいし、それらの蒸気
であってもよい。On the other hand, the non-aqueous solvent may be selected from CFCs, methylene chloride, trichloroethylene, 1,1,1-trichloroethane, perfluorocarbons, siloxanes, and hydrocarbon solvents, or vapors thereof. It may be.
【００１３】以上のような方法では、親水性溶剤が蒸発
しても、被洗浄物の表面に水蒸気が結露することがなく
なる。図３は被洗浄物表面に水滴が凝縮する現象を示す
ものであり、縦軸に空気中の水蒸気圧および絶対湿度が
プロットされ、横軸に温度がプロットされている。同図
において、特性曲線Ａは相対湿度が６０％ＲＨの蒸気圧
曲線，特性曲線Ｂは水の飽和蒸気圧曲線である。In the above method, even if the hydrophilic solvent evaporates, water vapor will not be condensed on the surface of the object to be cleaned. FIG. 3 shows a phenomenon in which water droplets condense on the surface of the object to be cleaned. The vertical axis plots the water vapor pressure and absolute humidity in the air, and the horizontal axis plots the temperature. In the figure, the characteristic curve A is a vapor pressure curve at a relative humidity of 60% RH, and the characteristic curve B is a saturated vapor pressure curve of water.
【００１４】今、相対湿度６０％ＲＨ・温度Ｔ１℃（絶
対湿度Ｄ１）の気体（Ｐ１）が冷却されると温度Ｔ２℃
において飽和水蒸気圧曲線と交わる（Ｐ２）。さらに冷
却すると気体中の水分が凝縮し水滴となって物体表面に
現れる。ここで親水性溶剤が蒸発すると蒸発潜熱に対応
した熱を物体から奪うため急激に冷却される。例えば、
２０℃のプラスチック板の表面に付着したＩＰＡが蒸発
するとき、プラスチック板の表面は３０秒で１℃まで冷
却される。その結果、物体近傍の気体の温度が低下し、
飽和蒸気圧曲線に交わる温度（Ｔ２）よりもさらに低下
して、気体中の水分が凝縮する。Now, when the gas (P1) having relative humidity of 60% RH and temperature T1 ° C. (absolute humidity D1) is cooled, temperature T2 ° C.
Intersect with the saturated water vapor pressure curve at (P2). When it is further cooled, the moisture in the gas condenses into water droplets that appear on the surface of the object. Here, when the hydrophilic solvent evaporates, heat corresponding to the latent heat of vaporization is taken from the object, so that the hydrophilic solvent is rapidly cooled. For example,
When the IPA adhering to the surface of the plastic plate at 20 ° C. evaporates, the surface of the plastic plate is cooled to 1 ° C. in 30 seconds. As a result, the temperature of the gas near the object drops,
The temperature is further lowered below the temperature (T2) intersecting the saturated vapor pressure curve, and the moisture in the gas is condensed.
【００１５】かかる現象は、物体の材質の熱伝導率や比
熱が小さいほど顕著に現れるものである。これに対し
て、除湿を行って絶対湿度をＤ１からＤ２に下げると、
水分が凝縮する温度はＴ３となり（Ｐ３）、Ｔ２よりも
低い温度に冷却されなければ水分が凝縮することがなく
なる。本発明においては多数の実験を繰り返した結果、
大気中の絶対湿度を１０ｇ／ｍ3 以下に除湿した場合、
実質的に良好な洗浄品質となることが判明した。Such a phenomenon is more remarkable as the thermal conductivity or the specific heat of the material of the object is smaller. On the other hand, if dehumidification is performed to reduce the absolute humidity from D1 to D2,
The temperature at which the water condenses is T3 (P3), and the water will not condense unless cooled to a temperature lower than T2. As a result of repeating many experiments in the present invention,
When dehumidifying the absolute humidity in the atmosphere to 10 g / m 3 or less,
It has been found that the cleaning quality is substantially good.
【００１６】このような本発明の洗浄方法に適用される
洗浄装置は、親水性溶剤および／または非水性溶剤が充
填され被洗浄物に対して所定の洗浄処理を行う洗浄槽
と、この洗浄槽の上部空間を除湿する除湿手段とを備え
るものである。ここで除湿手段としては、除湿した乾燥
空気を生成する除湿機、除湿機能を備えたエアコンディ
ショナーなどを選択できる。また、塩化カルシウム、５
酸化リンなどの固体吸収剤、トリエチレングリコール、
グリセリンなどの液体吸収剤さらにはシリカゲル、活性
炭などを用いても良い。The cleaning apparatus applied to such a cleaning method of the present invention comprises a cleaning tank filled with a hydrophilic solvent and / or a non-aqueous solvent for performing a predetermined cleaning treatment on an object to be cleaned, and this cleaning tank. And a dehumidifying means for dehumidifying the upper space of the. Here, as the dehumidifying means, a dehumidifier that generates dehumidified dry air, an air conditioner having a dehumidifying function, or the like can be selected. Also, calcium chloride, 5
Solid absorbent such as phosphorus oxide, triethylene glycol,
A liquid absorbent such as glycerin, silica gel, activated carbon or the like may be used.
【００１７】[0017]
【実施例】図１は本発明の一実施例の洗浄装置を示す。
本実施例の洗浄装置は、洗浄，リンス，脱水，乾燥から
なる各処理をユニット化し、このユニット化された洗浄
ユニットを１０基連結すると共に、最終工程に温風乾燥
ユニット１２を連結して構成される。ここで洗浄ユニッ
ト２，３，４は水系洗浄液により被洗浄物を洗浄する洗
浄工程に適用され、洗浄ユニット５，６，７は被洗浄物
に付着している洗浄液を純水によって取り除くリンス工
程に適用される。また、洗浄ユニット８，９はリンス工
程後の被洗浄物を親水性溶剤に浸漬することにより脱水
する脱水工程に適用され、親水性溶剤としてＩＰＡが使
用されている。洗浄ユニット１０，１１は、脱水工程後
の被洗浄物からＩＰＡを除去する浸漬乾燥工程に適用さ
れる。この洗浄ユニット１０，１１は被水性溶剤として
シロキサンが使用されており、脱水工程後の被洗浄物は
シロキサンに浸漬されて、ＩＰＡが除去される。温風乾
燥ユニット１２は浸漬乾燥工程からの被洗浄物を乾燥す
るものであり、ユニット１２内部に温風が供給されてい
る。なお、最前部の洗浄ユニット２の前段には、制御ユ
ニット１が配置されることにより、全ての洗浄ユニット
の制御が行われる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows a cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
The cleaning apparatus of the present embodiment is configured by uniting each process including cleaning, rinsing, dehydration, and drying, connecting 10 unitized cleaning units, and connecting a warm air drying unit 12 to the final step. To be done. Here, the cleaning units 2, 3 and 4 are applied to a cleaning process for cleaning an object to be cleaned with an aqueous cleaning liquid, and the cleaning units 5, 6 and 7 are a rinse process for removing the cleaning liquid adhering to the object to be cleaned with pure water. Applied. Further, the cleaning units 8 and 9 are applied to the dehydration step of dehydrating the object to be cleaned after the rinse step by immersing it in the hydrophilic solvent, and IPA is used as the hydrophilic solvent. The cleaning units 10 and 11 are applied to the immersion drying step of removing IPA from the object to be cleaned after the dehydration step. Siloxane is used as a solvent in the cleaning units 10 and 11, and the material to be cleaned after the dehydration step is immersed in siloxane to remove IPA. The warm air drying unit 12 is for drying the object to be cleaned from the immersion drying step, and warm air is supplied to the inside of the unit 12. The control unit 1 is arranged in front of the frontmost cleaning unit 2 to control all the cleaning units.
【００１８】このような洗浄装置に対し、レンズなどの
被洗浄物２０は洗浄籠２１にセットされた状態で各洗浄
ユニットに順次搬送されて、所定の処理が行われる。With respect to such a cleaning apparatus, the object to be cleaned 20 such as a lens, which is set in the cleaning basket 21, is sequentially conveyed to each cleaning unit and subjected to a predetermined process.
【００１９】かかる各洗浄ユニット内での洗浄籠２１の
搬送および洗浄ユニット間での洗浄籠２１の移送を行う
ため、それぞれの洗浄ユニットは無端状のコンベア２３
を備えている。２４は制御ユニット１に洗浄籠２１を搬
入するための搬入コンベア，２５は温風乾燥ユニット１
２から洗浄籠２１を搬出するための搬出コンベアであ
る。さらに、リンス工程と脱水工程の洗浄ユニット７お
よび８の間には、仕切り２６が配置されており、リンス
工程以前の工程で発生した水蒸気が脱水工程以降に侵入
することを防止している。また、温風乾燥ユニット１２
の入口および出口部分には同ユニット１２を外気と遮断
するための仕切板２７が設けられている。In order to carry the cleaning basket 21 in each cleaning unit and transfer the cleaning basket 21 between the cleaning units, each cleaning unit has an endless conveyor 23.
Is equipped with. 24 is a carry-in conveyor for carrying the cleaning basket 21 into the control unit 1, 25 is a warm air drying unit 1
2 is a carry-out conveyer for carrying out the cleaning basket 21 from 2. Further, a partition 26 is arranged between the cleaning units 7 and 8 in the rinse process and the dehydration process, and prevents the steam generated in the process before the rinse process from entering the process after the dehydration process. In addition, the warm air drying unit 12
A partition plate 27 is provided at the entrance and the exit of the unit to shut off the unit 12 from the outside air.
【００２０】このような構成において、脱水工程に適用
される２基の洗浄ユニット８，９の内、下流側の洗浄ユ
ニット９には除湿手段としての除湿器３０が取り付けら
れている。この除湿器３０は洗浄ユニット９内の空気か
ら水蒸気を除去するものである。In such a structure, a dehumidifier 30 as dehumidifying means is attached to the downstream cleaning unit 9 of the two cleaning units 8 and 9 applied to the dehydration process. The dehumidifier 30 removes water vapor from the air in the cleaning unit 9.
【００２１】図２は洗浄ユニット９のＥ−Ｅ線断面図を
示し、ＩＰＡが充填された洗浄槽３１が本体３２の内部
に設けられている。洗浄槽３１は、コンベア２３の下方
に配置されると共に、底面部分に超音波発振子３３が取
り付けられている。この洗浄ユニット９の上部にはコン
トロールボックス３８が設けられ、このコントロールボ
ックス３８上に除湿器３０が設けられている。除湿器３
０は連結管３４を介して本体３２の裏側上部と連結され
ている。この連結管３４の連結部位に対応した本体３２
の内部には、連結管３４から流入する空気の風速を減速
させる減衰フィルタ３５が配置されると共に、減衰フィ
ルタ３５の隣接位置には多孔板からなる仕切板３６が配
置されている。３７は本体３２の前面部分に設けられた
開閉可能な蓋体である。除湿器３０は除湿して乾燥した
空気を生成するものであり、例えば湿度６０％時に８Ｌ
／日の除湿能力を有する商品名ＲＤ−５６７ＬＡ（日立
（株）製）の除湿器を使用することができる。FIG. 2 is a sectional view of the cleaning unit 9 taken along the line EE, in which a cleaning tank 31 filled with IPA is provided inside a main body 32. The cleaning tank 31 is arranged below the conveyor 23, and an ultrasonic oscillator 33 is attached to the bottom surface thereof. A control box 38 is provided above the cleaning unit 9, and a dehumidifier 30 is provided on the control box 38. Dehumidifier 3
0 is connected to the upper back side of the main body 32 via a connecting pipe 34. The main body 32 corresponding to the connecting portion of the connecting pipe 34
A damping filter 35 that reduces the wind speed of the air that flows in from the connecting pipe 34 is disposed inside, and a partition plate 36 that is a porous plate is disposed adjacent to the damping filter 35. Reference numeral 37 denotes a lid body provided on the front surface of the main body 32 and capable of opening and closing. The dehumidifier 30 is for dehumidifying and generating dry air, for example, 8 L at a humidity of 60%.
A dehumidifier with a trade name of RD-567LA (manufactured by Hitachi, Ltd.) having a dehumidifying capacity for 1 day can be used.
【００２２】かかる洗浄ユニット９は、被洗浄物２０を
洗浄籠２１と共に洗浄槽３１内のＩＰＡに浸漬すると共
に、超音波振動を作用させることにより、被洗浄物に付
着している純水を除去する。その後、洗浄槽３１から洗
浄籠２１を引き上げで浸漬乾燥工程の洗浄ユニット１０
に搬送するが、この洗浄籠２１の引き上げ時に被洗浄物
２０は洗浄槽３１の上部空間を通過する。このとき、上
部空間は除湿器３０からの乾燥空気に満たされているた
め、水蒸気が凝結することがなく、被洗浄物２０に水滴
が付着しない。The cleaning unit 9 removes the pure water adhering to the object to be cleaned by immersing the object to be cleaned 20 together with the cleaning basket 21 in the IPA in the cleaning tank 31 and applying ultrasonic vibration. To do. Then, the cleaning basket 21 is pulled up from the cleaning tank 31 to wash the cleaning unit 10 in the immersion drying process.
The object 20 to be cleaned passes through the upper space of the cleaning tank 31 when the cleaning basket 21 is pulled up. At this time, since the upper space is filled with the dry air from the dehumidifier 30, water vapor does not condense, and water droplets do not adhere to the object to be cleaned 20.
【００２３】図４は上記構成の洗浄装置によりプラスチ
ックレンズを洗浄した結果を示す。同図において、縦軸
は洗浄ユニット９のＩＰＡから被洗浄物を引き上げた
後、洗浄ユニット１０のシロキサンに浸漬するまでの環
境中の絶対湿度、横軸は洗浄ユニット９におけるＩＰＡ
の液温であり、「○」水滴の付着がなく良好な洗浄結果
となったものを、「×」はシミ等が残存して洗浄不良と
なったものを示す。同図に示すように、環境の絶対湿度
が１０ｇ／ｍ3 以下の条件で、良好な洗浄が可能とな
る。FIG. 4 shows the result of cleaning the plastic lens by the cleaning device having the above-mentioned structure. In the figure, the vertical axis represents the absolute humidity in the environment after the object to be cleaned is lifted from the IPA of the cleaning unit 9 and is immersed in siloxane of the cleaning unit 10, and the horizontal axis represents the IPA in the cleaning unit 9.
The liquid temperature was ".largecircle.", And good cleaning results were obtained without the adhesion of water droplets, and ".times." Represents poor cleaning due to residual stains and the like. As shown in the figure, good cleaning becomes possible under the condition that the absolute humidity of the environment is 10 g / m 3 or less.
【００２４】上述した雰囲気内の除湿は脱水工程だけで
なく、乾燥工程に対しても適用することができる。例え
ば、ＩＰＡによる脱水工程の後、約８０℃のＩＰＡ蒸気
内で被洗浄物を乾燥するシステムに対しては、脱水工程
における最終の洗浄ユニットから乾燥工程における乾燥
ユニットの前段までの雰囲気を上述した除湿雰囲気と
し、この雰囲気内で被洗浄物を搬送することにより水滴
付着に起因したシミの残存などの洗浄不良を防止するこ
とができる。このようなシステムに適用することによ
り、従来高い頻度で行っていた蒸気として使用するＩＰ
Ａの含水量管理および液交換を延長して使用できるよう
になる。これは、ＩＰＡへの浸漬引き上げ後に被洗浄物
の表面に凝縮する水分量が格段に少なくなるためであ
る。この結果液費用や、交換あるいは液管理にかかる工
数を低減できランニングコストを低減することができ
る。The dehumidification in the atmosphere described above can be applied not only to the dehydration step but also to the drying step. For example, for the system in which the object to be cleaned is dried in the IPA vapor at about 80 ° C. after the dehydration step by IPA, the atmosphere from the final cleaning unit in the dehydration step to the preceding stage of the drying unit in the drying step is described above. A dehumidifying atmosphere is used, and by carrying the object to be cleaned in this atmosphere, it is possible to prevent cleaning defects such as stains remaining due to water droplet adhesion. By applying to such a system, IP used as steam, which has been performed frequently in the past
The water content control and liquid exchange of A can be extended and used. This is because the amount of water condensed on the surface of the object to be cleaned after the immersion in IPA is significantly reduced. As a result, it is possible to reduce the liquid cost, the number of man-hours required for replacement or liquid management, and the running cost.
【００２５】なお、上記実施例では親水性溶剤としてＩ
ＰＡを使用したがこれに限定されるものではなく、メチ
ルアルコール、エチルアルコールでも同様の作用を有し
ており、環境中の絶対湿度はメチルアルコールが７．５
ｇ／ｍ3 以下、エチルアルコールが８．５ｇ／ｍ3 以下
で良好な洗浄品質となる。In the above embodiment, the hydrophilic solvent I
Although PA was used, the present invention is not limited to this, and methyl alcohol and ethyl alcohol have the same action, and the absolute humidity in the environment is 7.5 for methyl alcohol.
Good cleaning quality is obtained when g / m 3 or less and ethyl alcohol is 8.5 g / m 3 or less.
【００２６】また、上記実施例では、非水性溶剤として
シロキサンを使用したが、これに限定されるものではな
く、フロン、塩化メチル、トリクロロエチレン、１，
１，１−トリクロロエタン、パーフルオロカーボン、炭
化水素系溶剤でも同様の作用を有している。Although siloxane was used as the non-aqueous solvent in the above examples, the present invention is not limited to this. Freon, methyl chloride, trichloroethylene, 1,
1,1-trichloroethane, perfluorocarbon, and a hydrocarbon solvent also have the same effect.
【００２７】さらに上述した親水性溶剤および非水性溶
剤の蒸気を使用しても良く、これにより温風等の強制乾
燥手段を持ちなくても同様に作用させることができる。
加えて、除湿手段として除湿器を使用したが、例えば、
冷却能力が５０００Ｋｃａｌ／ｈ程度のエアコンディシ
ョナーやその他の除湿手段でもよい。また、被洗浄物と
しては、レンズに限定されるものではなく高い洗浄品質
を要求される他の部品、例えばプリント基板・液晶基板
やウェハーからなる電気や電子部品、機械部品等の洗浄
にも適用可能である。Further, vapors of the above-mentioned hydrophilic solvent and non-aqueous solvent may be used, whereby the same action can be performed without having a forced drying means such as warm air.
In addition, although a dehumidifier was used as the dehumidifying means, for example,
An air conditioner having a cooling capacity of about 5000 Kcal / h or other dehumidifying means may be used. Also, the object to be cleaned is not limited to the lens, but is also applied to cleaning other parts that require high cleaning quality, such as electric and electronic parts such as printed circuit boards / liquid crystal boards and wafers, mechanical parts, etc. It is possible.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上のとおり本発明は、被洗浄物表面へ
の水滴の付着を防止するため、清浄な洗浄を行うことが
できる。INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, according to the present invention, since water droplets are prevented from adhering to the surface of the object to be cleaned, clean cleaning can be performed.
【図１】本発明の一実施例の洗浄装置の部分破断正面図
である。FIG. 1 is a partially cutaway front view of a cleaning device according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１のＥ−Ｅ線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line EE of FIG.
【図３】水滴付着を説明する特性図である。FIG. 3 is a characteristic diagram illustrating adhesion of water droplets.
【図４】本発明の実施例の作用を示す特性図である。FIG. 4 is a characteristic diagram showing the operation of the embodiment of the present invention.
【図５】従来の洗浄方法のフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart of a conventional cleaning method.
９ 洗浄ユニット ２０ 被洗浄物 ３０ 加湿器 9 Cleaning unit 20 Object to be cleaned 30 Humidifier
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【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成５年１２月１７日[Submission date] December 17, 1993
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】請求項５[Name of item to be corrected] Claim 5
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】請求項６[Name of item to be corrected] Claim 6
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】請求項７[Name of item to be corrected] Claim 7
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００４[Correction target item name] 0004
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００４】[0004]
【表１】 [Table 1]
【手続補正５】[Procedure Amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００７[Correction target item name] 0007
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００７】[0007]
【表２】 [Table 2]
【手続補正６】[Procedure correction 6]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１１[Correction target item name] 0011
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１１】また、親水性溶剤は、ＩＰＡ，メチルアル
コール，エチルアルコールから選択されたものであって
もよいし、それらの蒸気であってもよい。Further, the parent-aqueous solvents are, IPA, methyl alcohol, may be those selected from ethyl alcohol, it may be those of the vapor.
Claims (9)
洗浄処理を行うと共に、被洗浄物が露出される雰囲気を
除湿することを特徴とする洗浄方法。1. A cleaning method, which comprises subjecting an object to be cleaned to a predetermined cleaning treatment with a hydrophilic solvent and dehumidifying an atmosphere in which the object to be cleaned is exposed.
洗浄処理を行う工程と、除湿した雰囲気内で被洗浄物を
搬送し非水性溶剤により所定の洗浄処理を行う工程とを
備えていることを特徴とする洗浄方法。2. The method comprises a step of performing a predetermined cleaning process on the object to be cleaned with a hydrophilic solvent, and a step of carrying the object to be cleaned in a dehumidified atmosphere and performing a predetermined cleaning process with a non-aqueous solvent. A cleaning method characterized by the above.
となるように行うことを特徴とする請求項１または２記
載の洗浄方法。3. The cleaning method according to claim 1, wherein the dehumidification is performed so that the absolute humidity is 10 g / m 3 or less.
ル，エチルアルコールまたはメチルアルコールを用いる
ことを特徴とする請求項１または２記載の洗浄方法。4. The cleaning method according to claim 1, wherein the hydrophilic solvent is isopropyl alcohol, ethyl alcohol or methyl alcohol.
ル，エチルアルコールまたはメチルアルコールを蒸気の
形態で用いることを特徴とする請求項１または２記載の
洗浄方法。5. The cleaning method according to claim 1, wherein the hydrophilic solvent is isopropyl alcohol, ethyl alcohol or methyl alcohol in a vapor form.
ン，トリクロロエチレン，１，１，１−トリクロロエタ
ン，パーフルオロカーボン，シロキサンまたは炭化水素
系溶剤を用いることを特徴とする請求項１または２記載
の洗浄方法。6. The cleaning method according to claim 1, wherein the non-aqueous solvent is chlorofluorocarbon, methylene chloride, trichloroethylene, 1,1,1-trichloroethane, perfluorocarbon, siloxane or a hydrocarbon solvent. .
ン，トリクロロエチレン，１，１，１−トリクロロエタ
ン、パーフルオロカーボン、シロキサンまたは炭化水素
系溶剤を蒸気の形態で用いることを特徴とする請求項１
または２記載の洗浄方法。7. The non-aqueous solvent is fluorocarbon, methylene chloride, trichloroethylene, 1,1,1-trichloroethane, perfluorocarbon, siloxane or a hydrocarbon solvent in the form of vapor.
Or the cleaning method described in 2.
充填され被洗浄物に対して所定の洗浄処理を行う洗浄槽
と、この洗浄槽の上部空間を除湿する除湿手段とを備え
ていることを特徴とする洗浄装置。8. A cleaning tank, which is filled with a hydrophilic solvent and / or a non-aqueous solvent, for performing a predetermined cleaning process on an object to be cleaned, and a dehumidifying means for dehumidifying an upper space of the cleaning tank. Cleaning device characterized by.
乾燥空気を供給する装置であることを特徴とする請求項
８記載の洗浄装置。9. The cleaning device according to claim 8, wherein the dehumidifying means is a device for supplying dry air to the upper space of the cleaning tank.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29464893A JP3439243B2 (en) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | Cleaning method and cleaning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29464893A JP3439243B2 (en) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | Cleaning method and cleaning device |
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| Publication Number | Publication Date |
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| JPH07124531A true JPH07124531A (en) | 1995-05-16 |
| JP3439243B2 JP3439243B2 (en) | 2003-08-25 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3439243B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113695311A (en) * | 2020-11-10 | 2021-11-26 | 景能科技有限公司 | Electric slip ring cleaning device and method |
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1993
- 1993-10-29 JP JP29464893A patent/JP3439243B2/en not_active Expired - Fee Related
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