JPH07115512A - 光源装置 - Google Patents
光源装置Info
- Publication number
- JPH07115512A JPH07115512A JP5280469A JP28046993A JPH07115512A JP H07115512 A JPH07115512 A JP H07115512A JP 5280469 A JP5280469 A JP 5280469A JP 28046993 A JP28046993 A JP 28046993A JP H07115512 A JPH07115512 A JP H07115512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- light
- plane
- reflection mirror
- silicone resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 コストダウンを図りながら、45度プリズム
の熱変形による光学的精度の悪化を防止する。 【構成】 照明光を発光する光源と、光源が発光した照
明光を反射する反射ミラーと、反射ミラーから照射され
た照明光を透過する平面フィルターと、光源、反射ミラ
ーおよび平面フィルターを保持する光源保持台とを具備
し、光源、反射ミラー、平面フィルターおよび光源保持
台によって囲まれる空間に、放熱部材を充填する。
の熱変形による光学的精度の悪化を防止する。 【構成】 照明光を発光する光源と、光源が発光した照
明光を反射する反射ミラーと、反射ミラーから照射され
た照明光を透過する平面フィルターと、光源、反射ミラ
ーおよび平面フィルターを保持する光源保持台とを具備
し、光源、反射ミラー、平面フィルターおよび光源保持
台によって囲まれる空間に、放熱部材を充填する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、透過或いは反射原稿の
画像情報を読み取る画像入力装置の光源に最適な光源装
置に関する。
画像情報を読み取る画像入力装置の光源に最適な光源装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】図3および図4に、従来の画像入力装置
の例としてフィルムスキャナの全体構成を示す。また、
図5にフィルムスキャナの照明部および投影部の構成を
示す。
の例としてフィルムスキャナの全体構成を示す。また、
図5にフィルムスキャナの照明部および投影部の構成を
示す。
【0003】原稿を読み取る画像入力装置の構成は、照
明部1、スキャニング部2および投影部3に大分され
る。
明部1、スキャニング部2および投影部3に大分され
る。
【0004】照明部1は、光源と光源からの照明光を原
稿5の上に導く照明手段として機能する。板状のベース
部材14上には、放射状に光を発する光源部11と光の
向きを変えて原稿5の面上で線状になるようにするミラ
ー13およびミラー12が取り付けられている。光源部
11、ミラー13およびミラー12は蓋部材15によっ
て覆われ、蓋部材15には照明光の通過するスリット1
5aが形成されている。蓋部材15は、爪状の引っかけ
部15bによってベース部材14に固定されている。
稿5の上に導く照明手段として機能する。板状のベース
部材14上には、放射状に光を発する光源部11と光の
向きを変えて原稿5の面上で線状になるようにするミラ
ー13およびミラー12が取り付けられている。光源部
11、ミラー13およびミラー12は蓋部材15によっ
て覆われ、蓋部材15には照明光の通過するスリット1
5aが形成されている。蓋部材15は、爪状の引っかけ
部15bによってベース部材14に固定されている。
【0005】光源部11から発せられた光は、ミラー1
3により原稿5の面上で線状になるように集光され、ミ
ラー12により原稿5の方向へ曲げられる。したがっ
て、ミラー12からの光が蓋部材15のスリット15a
を通過する付近では、光は細長い略長方形の断面形状と
なる。蓋部材15に設けられるスリット15aは、照明
光が通過するのに必要な大きさがあればよいので、光の
断面形状よりもやや大きい程度の長方形状になってい
る。スリット15aの一部は内側に曲げられており、開
口部4からの外光がスリット15aを通って光源部11
に到達するのを防いでいる。
3により原稿5の面上で線状になるように集光され、ミ
ラー12により原稿5の方向へ曲げられる。したがっ
て、ミラー12からの光が蓋部材15のスリット15a
を通過する付近では、光は細長い略長方形の断面形状と
なる。蓋部材15に設けられるスリット15aは、照明
光が通過するのに必要な大きさがあればよいので、光の
断面形状よりもやや大きい程度の長方形状になってい
る。スリット15aの一部は内側に曲げられており、開
口部4からの外光がスリット15aを通って光源部11
に到達するのを防いでいる。
【0006】スキャニング部2は、原稿5を保持して移
動させる保持手段として機能し、原稿5を挟んで保持す
る上キャリッジ21および下キャリッジ22と、平行に
配置された2本のガイドバー23とから成る。上キャリ
ッジ21および下キャリッジ22は、原稿5を保持しつ
つガイドバー23に案内されて図3の左右方向に移動可
能である。上キャリッジ21の一部にはラック部(図示
せず)が設けられており、これとステッピングモータ等
により駆動されるピニオン(図示せず)によりスキャニ
ング部2が図3の左右方向に移動する。
動させる保持手段として機能し、原稿5を挟んで保持す
る上キャリッジ21および下キャリッジ22と、平行に
配置された2本のガイドバー23とから成る。上キャリ
ッジ21および下キャリッジ22は、原稿5を保持しつ
つガイドバー23に案内されて図3の左右方向に移動可
能である。上キャリッジ21の一部にはラック部(図示
せず)が設けられており、これとステッピングモータ等
により駆動されるピニオン(図示せず)によりスキャニ
ング部2が図3の左右方向に移動する。
【0007】投影部3は、原稿からの透過光をCCD
(ラインセンサ)33上に結像する読み取り手段として
機能し、ミラー31、レンズ部32およびCCD33
と、全体を覆うと同時に原稿5の透過光の通過するスリ
ット15aの設けられた投影部蓋部材16とから構成さ
れている。また、投影部蓋部材16のスリット16aも
照明部の蓋部材15のスリット15aと同様に一部が内
側に曲げられており、開口部4からの外光がスリット1
6aを通って投影部3の内部に侵入するのを防いでい
る。照明部1の蓋部材15および投影部3の蓋部材16
は、それ自体が外光を反射しないように、表面が黒色で
艶消し処理がなされている。
(ラインセンサ)33上に結像する読み取り手段として
機能し、ミラー31、レンズ部32およびCCD33
と、全体を覆うと同時に原稿5の透過光の通過するスリ
ット15aの設けられた投影部蓋部材16とから構成さ
れている。また、投影部蓋部材16のスリット16aも
照明部の蓋部材15のスリット15aと同様に一部が内
側に曲げられており、開口部4からの外光がスリット1
6aを通って投影部3の内部に侵入するのを防いでい
る。照明部1の蓋部材15および投影部3の蓋部材16
は、それ自体が外光を反射しないように、表面が黒色で
艶消し処理がなされている。
【0008】照明部1からの光は、原稿5の上で線状に
なるように集光され、原稿5を透過した後にCCD33
上に結像され、これが1ラインデータとして読み取られ
る。このとき、原稿5が同一位置を保持したままで、照
明光をR(赤)、G(緑)、およびB(青)と順次切り
換えて読み取りを繰り返す。これにより、1ラインのR
GBデータが得られ、原稿5をカラーで読み取ることが
可能になる。1ライン(3色分)の読み取り終了後、ス
キャニング部2は原稿5を次ラインに移動させ、再度読
み取りを行う。このような読み取りと移動を複数回繰り
返すことで1画面分の読み取りが行われる。
なるように集光され、原稿5を透過した後にCCD33
上に結像され、これが1ラインデータとして読み取られ
る。このとき、原稿5が同一位置を保持したままで、照
明光をR(赤)、G(緑)、およびB(青)と順次切り
換えて読み取りを繰り返す。これにより、1ラインのR
GBデータが得られ、原稿5をカラーで読み取ることが
可能になる。1ライン(3色分)の読み取り終了後、ス
キャニング部2は原稿5を次ラインに移動させ、再度読
み取りを行う。このような読み取りと移動を複数回繰り
返すことで1画面分の読み取りが行われる。
【0009】上記のように1画面分のカラー情報を1回
のスキャニングで読み取る為に、光源部11は、R
(赤)、G(緑)、およびB(青)光の高速切り替えを
電気的に制御する。従来の光源部11は、図6および図
7のような構成となっていた。
のスキャニングで読み取る為に、光源部11は、R
(赤)、G(緑)、およびB(青)光の高速切り替えを
電気的に制御する。従来の光源部11は、図6および図
7のような構成となっていた。
【0010】図7に示すように、光源ベース101上に
ステム102がロウ付け固定されている。また、光源ベ
ース101上には、45度プリズム104と反射ミラー
105が貼着された状態で載置されている。なお、反射
ミラー105の両面は、青反射膜105aと全反射膜1
05bとで構成されている(図6(b)参照)。また、
45度プリズム104の垂直面には、画質を劣化させる
赤外光をカットするために、赤外カット膜104aが形
成されている。
ステム102がロウ付け固定されている。また、光源ベ
ース101上には、45度プリズム104と反射ミラー
105が貼着された状態で載置されている。なお、反射
ミラー105の両面は、青反射膜105aと全反射膜1
05bとで構成されている(図6(b)参照)。また、
45度プリズム104の垂直面には、画質を劣化させる
赤外光をカットするために、赤外カット膜104aが形
成されている。
【0011】図6に示すように、ステム102上には、
複数のLEDチップ110aおよび110bが2列に配
置され、ボンディングされている。LEDチップ110
aおよび110bの各チップの周囲には、横方向への発
光を反射して上方(図6の紙面に垂直な方向)へ射出せ
しめる円錐状のリフレクタ部102aが形成されてい
る。
複数のLEDチップ110aおよび110bが2列に配
置され、ボンディングされている。LEDチップ110
aおよび110bの各チップの周囲には、横方向への発
光を反射して上方(図6の紙面に垂直な方向)へ射出せ
しめる円錐状のリフレクタ部102aが形成されてい
る。
【0012】光源部11は、3色の光を射出するために
2列のLEDチップ110aおよび110bから成る。
LEDチップ110aには、1チップあたりの光量が少
ない青LEDが1列に6個配置され、LEDチップ11
0bには、赤LEDと緑LEDがGRGGRGの順で配
置されている。LEDチップ110aおよび110bか
らの光は、直接またはリフレクタ部102aで反射され
てチップ上方(図6の紙面に垂直な方向)へと射出され
る。その後、青反射膜105aまたは全反射ミラー10
5bで反射されて前方(図6の右方向)へ射出され、原
稿5の面上で線状になるようにミラー13(図3および
図5参照)によって集光される。
2列のLEDチップ110aおよび110bから成る。
LEDチップ110aには、1チップあたりの光量が少
ない青LEDが1列に6個配置され、LEDチップ11
0bには、赤LEDと緑LEDがGRGGRGの順で配
置されている。LEDチップ110aおよび110bか
らの光は、直接またはリフレクタ部102aで反射され
てチップ上方(図6の紙面に垂直な方向)へと射出され
る。その後、青反射膜105aまたは全反射ミラー10
5bで反射されて前方(図6の右方向)へ射出され、原
稿5の面上で線状になるようにミラー13(図3および
図5参照)によって集光される。
【0013】青LEDからの光を青反射膜105aで反
射し、赤LEDおよび緑LEDからの光は全反射ミラー
105bで反射することにより、図6の右方向から見た
ときに、3色があたかも同一の位置から発光しているよ
うになる。RGBの色の切り替えは電気的に制御するこ
とで、原稿5を高速に読み取ることが可能になる。
射し、赤LEDおよび緑LEDからの光は全反射ミラー
105bで反射することにより、図6の右方向から見た
ときに、3色があたかも同一の位置から発光しているよ
うになる。RGBの色の切り替えは電気的に制御するこ
とで、原稿5を高速に読み取ることが可能になる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の光源装
置で使用されている45度プリズム104は、高価な光
学部品であるために、光源装置のコストアップを招くと
いう問題点がある。また、45度プリズム104の垂直
面には、画質を劣化させる赤外光をカットするために、
赤外カット膜104aが形成されているが、この赤外カ
ット膜104aで反射した赤外光が45度プリズム10
4に戻り、45度プリズム104を熱変形させ光学的精
度を悪化させるという問題点がある。
置で使用されている45度プリズム104は、高価な光
学部品であるために、光源装置のコストアップを招くと
いう問題点がある。また、45度プリズム104の垂直
面には、画質を劣化させる赤外光をカットするために、
赤外カット膜104aが形成されているが、この赤外カ
ット膜104aで反射した赤外光が45度プリズム10
4に戻り、45度プリズム104を熱変形させ光学的精
度を悪化させるという問題点がある。
【0015】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
もので、コストダウンを図りながら、45度プリズムの
熱変形による光学的精度の悪化を防止することを目的と
する。
もので、コストダウンを図りながら、45度プリズムの
熱変形による光学的精度の悪化を防止することを目的と
する。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、照明光を発光する光源と、光源が発光した
照明光を反射する反射ミラーと、反射ミラーから照射さ
れた照明光を透過する平面フィルターと、光源、反射ミ
ラーおよび平面フィルターを保持する光源保持台とを具
備し、光源、反射ミラー、平面フィルターおよび光源保
持台によって囲まれる空間に、放熱部材を充填するよう
に構成されている。
に本発明は、照明光を発光する光源と、光源が発光した
照明光を反射する反射ミラーと、反射ミラーから照射さ
れた照明光を透過する平面フィルターと、光源、反射ミ
ラーおよび平面フィルターを保持する光源保持台とを具
備し、光源、反射ミラー、平面フィルターおよび光源保
持台によって囲まれる空間に、放熱部材を充填するよう
に構成されている。
【0017】
【作用】上記構成の光源装置においては、高価な45度
プリズムを平面フィルターに置き換えるようにしたの
で、大幅なコストダウンを図ることが可能となる。ま
た、光源、反射ミラー、平面フィルターおよび光源保持
台によって囲まれる空間に、放熱部材を充填するように
したので、平面フィルターの反射ミラー側に形成した赤
外カット膜で反射した赤外光は放熱部材に放出されるこ
とになり、熱変形による光学的精度の悪化を防止するこ
とが可能となる。
プリズムを平面フィルターに置き換えるようにしたの
で、大幅なコストダウンを図ることが可能となる。ま
た、光源、反射ミラー、平面フィルターおよび光源保持
台によって囲まれる空間に、放熱部材を充填するように
したので、平面フィルターの反射ミラー側に形成した赤
外カット膜で反射した赤外光は放熱部材に放出されるこ
とになり、熱変形による光学的精度の悪化を防止するこ
とが可能となる。
【0018】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【0019】図1は、本発明による光源装置の一実施例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【0020】図1において、光源ベース101上にステ
ム102がロウ付け固定されている。光源ベース101
上には、平面ガラス204および平板反射ミラー205
が載置されている。平面ガラス204は、垂直面101
aに接着固定された状態で光源ベース101に載置さ
れ、平板反射ミラー205は45度面101bに接着固
定された状態で光源ベース101に載置されている。光
源ベース101の垂直面101aおよび45度面101
bは、光源ベース101をダイキャスト成形で製作すれ
は特に機械加工する必要は無い。
ム102がロウ付け固定されている。光源ベース101
上には、平面ガラス204および平板反射ミラー205
が載置されている。平面ガラス204は、垂直面101
aに接着固定された状態で光源ベース101に載置さ
れ、平板反射ミラー205は45度面101bに接着固
定された状態で光源ベース101に載置されている。光
源ベース101の垂直面101aおよび45度面101
bは、光源ベース101をダイキャスト成形で製作すれ
は特に機械加工する必要は無い。
【0021】平板反射ミラー205の両面は、図2に示
すように、青反射膜205aと全反射膜205bとで構
成されている。また、平面ガラス204の平板反射ミラ
ー205側には赤外カット膜204aが形成されてい
る。
すように、青反射膜205aと全反射膜205bとで構
成されている。また、平面ガラス204の平板反射ミラ
ー205側には赤外カット膜204aが形成されてい
る。
【0022】図2において、LEDチップ110aおよ
び110bがステム102上にボンディングされてい
る。LEDチップ110aの列には青LEDチップがボ
ンディングされ、このLEDチップ110aからの光線
は反射ミラー205の青反射膜205aによって光路を
45度変換される。また、LEDチップ110bの列に
は赤LEDおよび緑LEDチップがボンディングされ、
このLEDチップ110bからの光線は反射ミラー20
5の青反射膜205aを透過し、全反射膜205bによ
って光路を45度変換され、青光線の光路と一致するよ
うにLEDチップ110aおよび110bが配置されて
いる。
び110bがステム102上にボンディングされてい
る。LEDチップ110aの列には青LEDチップがボ
ンディングされ、このLEDチップ110aからの光線
は反射ミラー205の青反射膜205aによって光路を
45度変換される。また、LEDチップ110bの列に
は赤LEDおよび緑LEDチップがボンディングされ、
このLEDチップ110bからの光線は反射ミラー20
5の青反射膜205aを透過し、全反射膜205bによ
って光路を45度変換され、青光線の光路と一致するよ
うにLEDチップ110aおよび110bが配置されて
いる。
【0023】平面ガラス204および平板反射ミラー2
05と、光源ベース101の凸部101cと、ステム1
02とによって囲まれる空間には、透明シリコン樹脂2
06が充填されている。透明シリコン樹脂206は液体
または固体であり、液体の場合には更に封止部材(図示
せず)が用いられる。
05と、光源ベース101の凸部101cと、ステム1
02とによって囲まれる空間には、透明シリコン樹脂2
06が充填されている。透明シリコン樹脂206は液体
または固体であり、液体の場合には更に封止部材(図示
せず)が用いられる。
【0024】平面ガラス204の反射ミラー205側に
赤外カット膜204aを形成した結果、赤外カット膜2
04aで反射した赤外光は、透明シリコン樹脂206に
放出されることになるので十分に放熱が行われ、熱変形
による光学的精度の悪化を防止することが可能となる。
なお、透明シリコン樹脂206に蓄積された熱は、透明
シリコン樹脂206が液体の場合には対流により、また
透明シリコン樹脂206が固体の場合には熱伝導によ
り、光源ベース101またはステム102に伝達され、
最終的には大気中に放出される。
赤外カット膜204aを形成した結果、赤外カット膜2
04aで反射した赤外光は、透明シリコン樹脂206に
放出されることになるので十分に放熱が行われ、熱変形
による光学的精度の悪化を防止することが可能となる。
なお、透明シリコン樹脂206に蓄積された熱は、透明
シリコン樹脂206が液体の場合には対流により、また
透明シリコン樹脂206が固体の場合には熱伝導によ
り、光源ベース101またはステム102に伝達され、
最終的には大気中に放出される。
【0025】もしも、反射ミラー205の反対側(図2
の右側)の平面ガラス204に赤外カット膜204aを
形成した場合には、平面ガラス204に赤外光が放出さ
れることになり、平面ガラス204が熱変形することに
なる。このように、平面ガラス204の反射ミラー20
5側に赤外カット膜204aを形成できるのは、45度
プリズムを平面ガラスに置き換えた結果、コーティング
可能な面数が増加した効果の1つである。
の右側)の平面ガラス204に赤外カット膜204aを
形成した場合には、平面ガラス204に赤外光が放出さ
れることになり、平面ガラス204が熱変形することに
なる。このように、平面ガラス204の反射ミラー20
5側に赤外カット膜204aを形成できるのは、45度
プリズムを平面ガラスに置き換えた結果、コーティング
可能な面数が増加した効果の1つである。
【0026】なお、LEDチップ110aおよび110
bからの射出光が散乱して他の光学系に悪影響を及ぼす
ことがないように、図1の左上方向から右下方向にかけ
て、遮光塗装を施すようにすることもできる。
bからの射出光が散乱して他の光学系に悪影響を及ぼす
ことがないように、図1の左上方向から右下方向にかけ
て、遮光塗装を施すようにすることもできる。
【0027】以上で説明したように、2枚の平面ガラス
を、光源ベースの傾斜面および垂直面に接着することに
より、45度プリズムで構成した場合と同等の効果が得
られ、且つ安価に構成することが可能となる。なお、上
述した実施例においては、平面フィルターを平面ガラス
204で構成した場合について説明したが、ガラスに限
らず樹脂フィルターで構成することもできる。
を、光源ベースの傾斜面および垂直面に接着することに
より、45度プリズムで構成した場合と同等の効果が得
られ、且つ安価に構成することが可能となる。なお、上
述した実施例においては、平面フィルターを平面ガラス
204で構成した場合について説明したが、ガラスに限
らず樹脂フィルターで構成することもできる。
【0028】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、高価な4
5度プリズムを平面フィルターに置き換えるようにした
ので、大幅なコストダウンを図ることが可能となる。ま
た、光源、反射ミラー、平面フィルターおよび光源保持
台によって囲まれる空間に、放熱部材を充填するように
したので、平面フィルターの反射ミラー側に形成した赤
外カット膜で反射した赤外光は放熱部材に放出されるこ
とになり、熱変形による光学的精度の悪化を防止するこ
とが可能となる。
5度プリズムを平面フィルターに置き換えるようにした
ので、大幅なコストダウンを図ることが可能となる。ま
た、光源、反射ミラー、平面フィルターおよび光源保持
台によって囲まれる空間に、放熱部材を充填するように
したので、平面フィルターの反射ミラー側に形成した赤
外カット膜で反射した赤外光は放熱部材に放出されるこ
とになり、熱変形による光学的精度の悪化を防止するこ
とが可能となる。
【図1】本発明による光源装置の一実施例を示す斜視図
である。
である。
【図2】本発明による光源装置の一実施例を示す断面図
である。
である。
【図3】従来の光源装置の一例を示す部分断面正面図で
ある。
ある。
【図4】従来の光源装置の一例を示す部分断面側面図で
ある。
ある。
【図5】従来の光源装置の一例を示す斜視図である。
【図6】従来の光源装置の一例を示す上面図、側面図お
よび上面図である。
よび上面図である。
【図7】従来の光源装置の一例を示す斜視図である。
1 照明部 2 スキャニング部 3 投影部 5 原稿 11 光源部 32 レンズ部 33 CCD 101 光源ベース 101a 垂直面 101b 45度面 101c 凸部 102 ステム 102a リフレクタ部 110a LEDチップ 110b LEDチップ 204 平面ガラス 204a 赤外カット膜 205 反射ミラー 205a 青反射膜 205b 全反射膜 206 透明シリコン樹脂
Claims (3)
- 【請求項1】照明光を発光する光源と、 前記光源が発光した照明光を反射する反射ミラーと、 前記反射ミラーから照射された照明光を透過する平面フ
ィルターと、 前記光源、前記反射ミラーおよび前記平面フィルターを
保持する光源保持台とを具備し、 前記光源、前記反射ミラー、前記平面フィルターおよび
前記光源保持台によって囲まれる空間に、放熱部材を充
填したことを特徴とする光源装置。 - 【請求項2】前記放熱部材は、液体の放熱部材であるこ
とを特徴とする請求項1に記載の光源装置。 - 【請求項3】前記放熱部材は、固体の放熱部材であるこ
とを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5280469A JPH07115512A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5280469A JPH07115512A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 光源装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07115512A true JPH07115512A (ja) | 1995-05-02 |
Family
ID=17625510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5280469A Pending JPH07115512A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 光源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07115512A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100447671C (zh) * | 2002-08-27 | 2008-12-31 | Asml荷兰有限公司 | 光刻投射装置及用于所述装置中的反射器组件 |
US9083840B2 (en) | 2013-03-06 | 2015-07-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Illumination device and image reading apparatus |
-
1993
- 1993-10-14 JP JP5280469A patent/JPH07115512A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100447671C (zh) * | 2002-08-27 | 2008-12-31 | Asml荷兰有限公司 | 光刻投射装置及用于所述装置中的反射器组件 |
US9083840B2 (en) | 2013-03-06 | 2015-07-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Illumination device and image reading apparatus |
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