JPH07113637A - Laser type displacement measuring device - Google Patents
Laser type displacement measuring deviceInfo
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- JPH07113637A JPH07113637A JP25963493A JP25963493A JPH07113637A JP H07113637 A JPH07113637 A JP H07113637A JP 25963493 A JP25963493 A JP 25963493A JP 25963493 A JP25963493 A JP 25963493A JP H07113637 A JPH07113637 A JP H07113637A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光を照射して被測
定物の形状等を測定するレーザ式変位測定装置に関し、
特に較正データを備えたレーザ式変位測定装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser type displacement measuring device for irradiating a laser beam to measure the shape or the like of an object to be measured,
In particular, it relates to a laser displacement measuring device with calibration data.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、被測定物の形状等を非接触によっ
て、測定する装置としてレーザ式変位測定装置がある。2. Description of the Related Art Conventionally, there is a laser displacement measuring device as a device for measuring the shape or the like of an object to be measured without contact.
【０００３】図３は従来のレーザ式変位測定装置の概略
構成を示す図である。レーザ式変位測定装置は、センサ
ヘッド３１とコントローラ３２とから構成されている。
センサヘッド３１には、半導体レーザ３１ａが設けられ
ている。半導体レーザ３１ａは、図示されていない駆動
装置によりレーザ光３４を出力し、このレーザ光３４は
投光レンズ３１ｂを介して外部に出力され、被測定物３
３の面に照射される。被測定物３３の面で反射したレー
ザ光３４は、再びセンサヘッド３１に戻り、受光レンズ
３１ｃを介してＰ．Ｓ．Ｄ．（Position Sensing Detec
tor)３１ｄの受光面に照射される。FIG. 3 is a diagram showing a schematic structure of a conventional laser displacement measuring apparatus. The laser displacement measuring device includes a sensor head 31 and a controller 32.
The sensor head 31 is provided with a semiconductor laser 31a. The semiconductor laser 31a outputs a laser beam 34 by a driving device (not shown), and the laser beam 34 is output to the outside via the light projecting lens 31b, and the object to be measured 3
The surface of No. 3 is irradiated. The laser light 34 reflected by the surface of the DUT 33 returns to the sensor head 31 again and passes through the light receiving lens 31c to the P.I. S. D. (Position Sensing Detec
It is irradiated to the light receiving surface of the tor) 31d.
【０００４】Ｐ．Ｓ．Ｄ．３１ｄは、基準値からのレー
ザ光３４のずれ量に応じて２つの受光信号電流Ｉ1 ，Ｉ
2 を出力する。この受光信号電流Ｉ1 ，Ｉ2 は、電流／
電圧変換回路３１ｅによりそれぞれ受光信号電圧Ｖ1 ，
Ｖ2 に変換され、コントローラ３２に送られる。コント
ローラ３２は、受光信号電圧Ｖ1 ，Ｖ2 に基づいて変位
データを演算し、さらにこの変位データを予めメモリ３
２ａに格納された較正データを使用して較正し、数値制
御装置等の制御装置に出力する。P. S. D. 31d denotes two light receiving signal currents I 1 and I 1 according to the amount of deviation of the laser light 34 from the reference value.
Output 2 The received light signal currents I 1 and I 2 are
The light receiving signal voltage V 1 ,
It is converted to V 2 and sent to the controller 32. The controller 32 calculates displacement data based on the received light signal voltages V 1 and V 2 , and further stores the displacement data in the memory 3 in advance.
Calibration is performed using the calibration data stored in 2a and output to a control device such as a numerical control device.
【０００５】ところで、センサヘッド３１の半導体レー
ザ３１ａ、各レンズ３１ｂ，３１ｃ、およびＰ．Ｓ．
Ｄ．３１ｄ等の取り付け時には、それぞれ誤差が生じ
る。このため、被測定物３３の実際の変位と測定値との
ずれ量は、各製品によって微妙に異なることになる。こ
のため、通常は、各製品について測定基準値の誤差を測
定し、その較正データをコントローラ３２側に備えるよ
うにしている。By the way, the semiconductor laser 31a of the sensor head 31, the lenses 31b and 31c, and the P.I. S.
D. When mounting the 31d or the like, an error occurs. For this reason, the amount of deviation between the actual displacement of the DUT 33 and the measured value slightly varies depending on each product. Therefore, usually, the error of the measurement reference value is measured for each product, and the calibration data is provided on the controller 32 side.
【０００６】また、コントローラ３２には、受光信号電
圧Ｖ1 ，Ｖ2 から変位データを生成するための回路とし
て、アナログのフィルタ回路やアンプ等を備えている。
これらアナログ回路は、回路内で使用している抵抗やコ
ンデンサの持っている誤差によって、製品特有の誤差が
生じる。このため、較正データは、センサヘッド３１部
分だけでなくコントローラ３２内のアナログ回路の誤差
をも含めた較正を行うようになっている。Further, the controller 32 is provided with an analog filter circuit, an amplifier and the like as a circuit for generating displacement data from the received light signal voltages V 1 and V 2 .
In these analog circuits, an error peculiar to the product occurs due to the error that the resistors and capacitors used in the circuit have. For this reason, the calibration data is adapted to include not only the sensor head 31 portion but also the error in the analog circuit in the controller 32.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】このようなレーザ式変
位測定装置では、センサヘッド３１とコントローラ３２
との各組み合わせに対して較正データを用意する必要が
ある。このため、作業時には、使用するセンサヘッド３
１とコントローラ３２とが常に対応している必要があ
り、製造や保守が繁雑になる。特に、１か所で複数台の
レーザ式変位測定装置を備える場合には、センサヘッド
３１とコントローラ３２との接続を間違いやすく、誤っ
た測定を行う恐れがある。In such a laser type displacement measuring device, the sensor head 31 and the controller 32 are provided.
Calibration data must be prepared for each combination of and. Therefore, when working, the sensor head 3 to be used
1 and the controller 32 must always correspond to each other, which makes manufacturing and maintenance complicated. In particular, when a plurality of laser displacement measuring devices are provided at one location, the sensor head 31 and the controller 32 are likely to be erroneously connected, and erroneous measurement may be performed.
【０００８】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、センサヘッドとコントローラとの対応を必要
とせずに高精度な変位測定を行うことのできるレーザ式
変位測定装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a laser-type displacement measuring device capable of performing highly accurate displacement measurement without requiring correspondence between a sensor head and a controller. With the goal.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、レーザ光を照射して被測定物の形状等を
測定するレーザ式変位測定装置において、投光レンズを
介して前記被測定物に向けて前記レーザ光を出力するレ
ーザ出力素子と、前記被測定物に反射したレーザ光を受
光レンズを介して受光して受光面上の前記レーザ光の受
光位置に応じた受光信号を出力する受光素子と、アナロ
グ回路で構成され前記受光素子からの受光信号をディジ
タル信号に変換して出力する受光信号処理回路と、各部
品の取り付け精度や前記受光信号処理回路内等で生じる
誤差を較正するための較正データを格納する較正データ
メモリと、を有するセンサヘッドと、前記受光信号処理
回路から出力された受光信号に基づき変位データを演算
する変位データ演算手段と、前記較正データメモリ内の
較正データを読み出して前記演算された変位データを較
正する較正手段と、を有するコントローラと、を有する
ことを特徴とするレーザ式変位測定装置が提供される。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a laser displacement measuring apparatus for irradiating a laser beam to measure the shape or the like of an object to be measured. A laser output element that outputs the laser beam toward the object to be measured, and a light reception signal corresponding to the light receiving position of the laser light on the light receiving surface by receiving the laser light reflected by the object to be measured through a light receiving lens. A light-receiving element for outputting, a light-receiving signal processing circuit configured by an analog circuit for converting a light-receiving signal from the light-receiving element into a digital signal and outputting the digital signal, and an accuracy of mounting each component and an error caused in the light-receiving signal processing circuit A sensor head having a calibration data memory for storing calibration data for calibration, and a displacement data operation for calculating displacement data based on a light reception signal output from the light reception signal processing circuit. Means, wherein a calibration means for calibrating the displacement data the arithmetic reads calibration data of the calibration data in a memory, and a controller having a laser displacement measuring apparatus characterized by having a are provided.
【００１０】[0010]
【作用】センサヘッド内のレーザ出力素子は、投光レン
ズを介して被測定物に向けてレーザ光を出力する。被測
定物に反射したレーザ光は、センサヘッド内の受光素子
が受光レンズを介して受光し、受光素子は、その受光面
上のレーザ光の受光位置に応じた受光信号を出力する。
そして、この受光素子からの受光信号を同じセンサヘッ
ド内の受光信号処理回路がディジタル信号に変換して出
力する。また、センサヘッド内には、各部品の取り付け
精度や前記受光信号処理回路内等で生じる誤差を較正す
るための較正データを格納する較正データメモリが備え
られている。The laser output element in the sensor head outputs laser light toward the object to be measured through the light projecting lens. The laser light reflected on the object to be measured is received by the light receiving element in the sensor head via the light receiving lens, and the light receiving element outputs a light receiving signal according to the light receiving position of the laser light on the light receiving surface.
Then, the light receiving signal processing circuit in the same sensor head converts the light receiving signal from this light receiving element into a digital signal and outputs it. Further, the sensor head is provided with a calibration data memory that stores calibration data for calibrating the mounting accuracy of each component and the error generated in the light receiving signal processing circuit and the like.
【００１１】一方、コントローラ側では、変位データ演
算手段が受光信号処理回路でディジタル変換され出力さ
れた受光信号に基づき変位データを演算し、較正手段が
較正データメモリ内の較正データを読み出して演算され
た変位データを較正する。On the other hand, on the controller side, the displacement data calculation means calculates displacement data based on the light reception signal which is digitally converted by the light reception signal processing circuit and output, and the calibration means reads and calculates the calibration data in the calibration data memory. Calibrated displacement data.
【００１２】このように、センサヘッド側にアナログ回
路で構成された受光信号処理回路および較正データメモ
リを備え、コントローラ側では、必要なときに較正デー
タメモリから較正データを読み出すことにより正確な変
位データを生成できる。したがって、センサヘッドとコ
ントローラとを対応させて設置する必要がない。As described above, the sensor head side is provided with the light receiving signal processing circuit constituted by the analog circuit and the calibration data memory, and the controller side reads out the calibration data from the calibration data memory when necessary, so that accurate displacement data can be obtained. Can be generated. Therefore, it is not necessary to install the sensor head and the controller in correspondence with each other.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本実施例のレーザ式変位測定装置の概略
構成を示す図である。レーザ式変位測定装置は、センサ
ヘッド１とコントローラ２とから構成されている。セン
サヘッド１には、レーザ出力素子として半導体レーザ１
１が設けられている。半導体レーザ１１は、図示されて
いない駆動装置によりレーザ光４をパルス発振して、出
力する。投光レンズ１２は、出力されたレーザ光４を集
光し、被測定物３側に投光する。受光レンズ１３は、被
測定物３の面で反射したレーザ光４を受光し、集光し、
Ｐ．Ｓ．Ｄ．１４の受光面に照射する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a laser displacement measuring apparatus of this embodiment. The laser type displacement measuring device comprises a sensor head 1 and a controller 2. The sensor head 1 has a semiconductor laser 1 as a laser output element.
1 is provided. The semiconductor laser 11 pulse-oscillates and outputs the laser light 4 by a driving device (not shown). The light projecting lens 12 collects the output laser light 4 and projects it onto the DUT 3 side. The light receiving lens 13 receives the laser light 4 reflected by the surface of the DUT 3 and collects the laser light 4,
P. S. D. The light receiving surface of 14 is irradiated.
【００１４】Ｐ．Ｓ．Ｄ．（Position Sensing Detecto
r)１４は、基準値からのレーザ光４のずれ量に応じて２
つの受光信号電流Ｉ1 ，Ｉ2 を出力する。信号処理回路
１５は、アナログ値である受光信号電流Ｉ1 ，Ｉ2 を処
理し、最終的にディジタル値の受光信号電圧Ｖ1 ，Ｖ2
に変換してコントローラ２に出力する。ＲＯＭ１６に
は、センサヘッド１に特有の較正データ１６ａが格納さ
れている。較正データ１６ａは、参照テーブル形式で格
納されている。または、これに代えて近似式の係数を格
納するようにしてもよい。P. S. D. (Position Sensing Detecto
r) 14 is 2 depending on the amount of deviation of the laser beam 4 from the reference value.
Two light receiving signal currents I 1 and I 2 are output. The signal processing circuit 15 processes the received light signal currents I 1 and I 2 that are analog values, and finally receives the received light signal voltages V 1 and V 2 that are digital values.
And output to the controller 2. The ROM 16 stores calibration data 16a specific to the sensor head 1. The calibration data 16a is stored in a reference table format. Alternatively, instead of this, the coefficients of the approximate expression may be stored.
【００１５】センサヘッド１とコントローラ２は、ディ
ジタル信号用のケーブル５で接続されている。コントロ
ーラ２は、プロセッサ構成されており、そのソフトウェ
ア処理手段として、変位データ演算手段２ａおよび較正
手段２ｂが設けられている。変位データ演算手段２ａ
は、信号処理回路１５からの受光信号電圧Ｖ1 ，Ｖ2 に
基づいて変位データを演算する。この変位データの演算
については、従来の方法を使用するので、ここでは説明
を省略する。The sensor head 1 and the controller 2 are connected by a cable 5 for digital signals. The controller 2 is constituted by a processor, and as its software processing means, a displacement data calculation means 2a and a calibration means 2b are provided. Displacement data calculation means 2a
Calculates displacement data based on the received light signal voltages V 1 and V 2 from the signal processing circuit 15. Since the conventional method is used for the calculation of the displacement data, the description thereof is omitted here.
【００１６】較正手段２ｂは、測定開始時等にＲＯＭ１
６の較正データ１６ａを読み込み、図示されていないＲ
ＡＭ等のメモリに格納する。あるいは、演算途中で必要
なときに較正データ１６ａを読み込むようにしてもよ
い。較正手段２ｂは、変位データ演算手段２ａで演算さ
れた変位データを較正データ１６ａを使用して較正し、
数値制御装置等に出力する。The calibrating means 2b is provided in the ROM 1 when the measurement is started.
6 calibration data 16a is read and R (not shown)
Store in memory such as AM. Alternatively, the calibration data 16a may be read when necessary during the calculation. The calibration means 2b calibrates the displacement data calculated by the displacement data calculation means 2a using the calibration data 16a,
Output to a numerical control device, etc.
【００１７】図２は信号処理回路１５の構成を示すブロ
ック図である。信号処理回路１５は、受光信号電流
Ｉ1 ，Ｉ2 のそれぞれについて、電流／電圧変換器１５
１ａ，１５１ｂ、バンドパスフィルタ１５２ａ，１５２
ｂ、ゲイン可変増幅器１５３ａ，１５３ｂ、およびＡ／
Ｄ変換器１５４ａ，１５４ｂが設けられている。各対応
する回路はほぼ同等の機能であるので、ここでは、受光
信号電流Ｉ1 に関係する回路についてのみ説明する。FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the signal processing circuit 15. The signal processing circuit 15 uses the current / voltage converter 15 for each of the received light signal currents I 1 and I 2.
1a and 151b, bandpass filters 152a and 152
b, variable gain amplifiers 153a and 153b, and A /
D converters 154a and 154b are provided. Since the corresponding circuits have almost the same functions, only the circuits related to the received light signal current I 1 will be described here.
【００１８】電流／電圧変換器１５１ａは、受光信号電
流Ｉ1 を電圧変換し、受光信号電圧Ｖ1 とする。バンド
パスフィルタ１５２ａは、アナログ値である受光信号電
圧Ｖ 1 の基本周波数成分のみを抽出する。ゲイン可変増
幅器１５３ａは、Ｐ．Ｓ．Ｄ．１４で受光されたレーザ
光４の強度に応じて倍率を調節し、受光信号電圧Ｖ1の
値を常に一定になるように制御する。Ａ／Ｄ変換器１５
４ａは、アナログ値である受光信号電圧Ｖ1 をディジタ
ル値に変換し、コントローラ２に出力する。一方、受光
信号電圧Ｖ2 も同様な処理によって、ディジタル値に変
換されて出力される。The current / voltage converter 151a is provided with a light receiving signal signal.
Flow I1Is converted into a voltage, and the received light signal voltage1And band
The pass filter 152a is used for receiving light signal signal which is an analog value.
Pressure V 1Only the fundamental frequency component of is extracted. Variable gain increase
The width device 153a is a P.W. S. D. Laser received by 14
The magnification is adjusted according to the intensity of the light 4, and the received light signal voltage V1of
Control the value so that it is always constant. A / D converter 15
4a is a light reception signal voltage V which is an analog value1Digital
To a controller 2 and output to the controller 2. Meanwhile, received light
Signal voltage V2Is converted to a digital value by similar processing.
It is converted and output.
【００１９】図１に戻り、このような構成を有する本実
施例のレーザ式変位測定装置の動作について説明する。
半導体レーザ１１から出力されたレーザ光４は、投光レ
ンズ１２で集光され、被測定物３側に投光、照射され
る。被測定物３の表面で反射したレーザ光４は、受光レ
ンズ１３集光され、Ｐ．Ｓ．Ｄ．１４の受光面に照射さ
れる。Returning to FIG. 1, the operation of the laser displacement measuring apparatus of this embodiment having such a configuration will be described.
The laser light 4 output from the semiconductor laser 11 is condensed by the light projecting lens 12, and is projected and irradiated to the DUT 3 side. The laser light 4 reflected by the surface of the DUT 3 is condensed by the light receiving lens 13 and then the P.I. S. D. The light-receiving surface of 14 is irradiated.
【００２０】Ｐ．Ｓ．Ｄ．１４は、照射されたレーザ光
４の受光面における基準値からのずれ量に応じて２つの
受光信号電流Ｉ1 ，Ｉ2 を出力する。受光信号電流
Ｉ1 ，Ｉ 2 は、信号処理回路１５によって図２で説明し
た処理が行われ、ディジタル値の受光信号電圧Ｖ1 ，Ｖ
2 に変換されコントローラ２に出力される。P. S. D. 14 is the irradiated laser beam
2 depending on the amount of deviation from the reference value on the light receiving surface of 4
Light receiving signal current I1, I2Is output. Light receiving signal current
I1, I 2The signal processing circuit 15 explained in FIG.
Is performed, the received light signal voltage V of digital value1, V
2Is output to the controller 2.
【００２１】コントローラ２の変位データ演算手段２ａ
は、信号処理回路１５からの受光信号電圧Ｖ1 ，Ｖ2 に
基づいて変位データを演算し、較正手段２ｂがＲＯＭ１
６から読み込んだ較正データ１６ａを使用して変位デー
タを較正し、数値制御装置等に出力する。Displacement data calculating means 2a of the controller 2
Calculates displacement data based on the received light signal voltages V 1 and V 2 from the signal processing circuit 15, and the calibration means 2b causes the ROM 1 to operate.
The displacement data is calibrated by using the calibration data 16a read from No. 6, and is output to the numerical controller or the like.
【００２２】このように、本実施例では、信号処理機能
のアナログ処理部分を信号処理回路１５としてセンサヘ
ッド１に内蔵し、さらに較正データ１６ａを格納したＲ
ＯＭ１６もセンサヘッド１に内蔵するようにしたので、
センサ１とコントローラ２とを対応させる必要がなく、
接続間違いを防止することができる。これにより、より
高精度な変位測定を行うことが可能になる。As described above, in this embodiment, the analog processing part of the signal processing function is built in the sensor head 1 as the signal processing circuit 15, and the calibration data 16a is stored in the R.
Since the OM16 is also built in the sensor head 1,
There is no need to associate the sensor 1 with the controller 2,
It is possible to prevent connection mistakes. This makes it possible to perform displacement measurement with higher accuracy.
【００２３】また、製造や保守も簡単になり、作業効率
が向上する。Further, manufacturing and maintenance are simplified and work efficiency is improved.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上説明したように本発明では、センサ
ヘッド側にアナログ回路で構成された受信信号処理回路
および較正データメモリを備え、コントローラ側では、
必要なときに較正データメモリから較正データを読み出
すようにしたので、センサヘッドとコントローラとを対
応させる必要がなく、接続間違いを防止することができ
る。これにより、より高精度な変位測定を行うことが可
能になる。As described above, according to the present invention, the sensor head side is provided with the reception signal processing circuit constituted by the analog circuit and the calibration data memory, and the controller side is
Since the calibration data is read from the calibration data memory when necessary, it is not necessary to associate the sensor head with the controller, and it is possible to prevent connection mistakes. This makes it possible to perform displacement measurement with higher accuracy.
【００２５】また、製造や保守も簡単になり、作業効率
が向上する。Further, manufacturing and maintenance are simplified and work efficiency is improved.
【図１】本実施例のレーザ式変位測定装置の概略構成を
示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a laser type displacement measuring apparatus of this embodiment.
【図２】信号処理回路の構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a signal processing circuit.
【図３】従来のレーザ式変位測定装置の概略構成を示す
図である。FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of a conventional laser displacement measuring apparatus.
１ センサヘッド ２ コントローラ ２ａ 変位データ演算手段 ２ｂ 較正手段 ３ 被測定物 ４ レーザ光 １１ 半導体レーザ １２ 投光レンズ １３ 受光レンズ １４ Ｐ．Ｓ．Ｄ．（Position Sensing Detector) １５ 信号処理回路 １６ ＲＯＭ １６ａ 較正データ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sensor head 2 Controller 2a Displacement data calculation means 2b Calibration means 3 Object to be measured 4 Laser light 11 Semiconductor laser 12 Light projecting lens 13 Light receiving lens 14 P.P. S. D. (Position Sensing Detector) 15 Signal processing circuit 16 ROM 16a Calibration data
Claims (5)
測定するレーザ式変位測定装置において、 投光レンズを介して前記被測定物に向けて前記レーザ光
を出力するレーザ出力素子と、前記被測定物に反射した
レーザ光を受光レンズを介して受光して受光面上の前記
レーザ光の受光位置に応じた受光信号を出力する受光素
子と、アナログ回路で構成され前記受光素子からの受光
信号をディジタル信号に変換して出力する受光信号処理
回路と、各部品の取り付け精度や前記受光信号処理回路
内等で生じる誤差を較正するための較正データを格納す
る較正データメモリと、を有するセンサヘッドと、 前記受光信号処理回路から出力された受光信号に基づき
変位データを演算する変位データ演算手段と、前記較正
データメモリ内の較正データを読み出して前記演算され
た変位データを較正する較正手段と、を有するコントロ
ーラと、 を有することを特徴とするレーザ式変位測定装置。1. A laser-type displacement measuring apparatus for irradiating a laser beam to measure the shape and the like of an object to be measured, and a laser output element for outputting the laser beam toward the object to be measured via a light projecting lens. From the light receiving element configured by an analog circuit, a light receiving element that receives a laser beam reflected by the object to be measured through a light receiving lens and outputs a light receiving signal according to a light receiving position of the laser beam on a light receiving surface, A light receiving signal processing circuit for converting the light receiving signal of the above into a digital signal and outputting the digital signal, and a calibration data memory for storing the calibration data for calibrating the mounting accuracy of each component and the error generated in the light receiving signal processing circuit. A sensor head having the same, a displacement data calculating means for calculating displacement data based on the light receiving signal output from the light receiving signal processing circuit, and reading the calibration data in the calibration data memory. Laser displacement measuring apparatus characterized by having a controller with a calibration means for calibrating the calculated displacement data.
あることを特徴とする請求項１記載のレーザ式変位測定
装置。2. The laser displacement measuring apparatus according to claim 1, wherein the laser output element is a semiconductor laser.
on Sensing Detector)であることを特徴とする請求項１
記載のレーザ式変位測定装置。3. The P.I. S. D. (Positi
on Sensing Detector).
The laser displacement measuring device described.
ことを特徴とする請求項１記載のレーザ式変位測定装
置。4. The laser displacement measuring device according to claim 1, wherein the calibration data memory is a ROM.
データを読み出すように構成されていることを特徴とす
る請求項１記載のレーザ式変位測定装置。5. The laser displacement measuring apparatus according to claim 1, wherein the calibration means is configured to read the calibration data at the start of measurement.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25963493A JPH07113637A (en) | 1993-10-18 | 1993-10-18 | Laser type displacement measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25963493A JPH07113637A (en) | 1993-10-18 | 1993-10-18 | Laser type displacement measuring device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07113637A true JPH07113637A (en) | 1995-05-02 |
Family
ID=17336796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25963493A Pending JPH07113637A (en) | 1993-10-18 | 1993-10-18 | Laser type displacement measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07113637A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010149602A (en) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Method and device for detecting rotor blade displacement of rotor craft |
-
1993
- 1993-10-18 JP JP25963493A patent/JPH07113637A/en active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2010149602A (en) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Method and device for detecting rotor blade displacement of rotor craft |
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