JPH07112266A - Die for die casting - Google Patents

Die for die casting

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Publication number
JPH07112266A
JPH07112266A JP25867393A JP25867393A JPH07112266A JP H07112266 A JPH07112266 A JP H07112266A JP 25867393 A JP25867393 A JP 25867393A JP 25867393 A JP25867393 A JP 25867393A JP H07112266 A JPH07112266 A JP H07112266A
Authority
JP
Japan
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die
target
tialn
mold
film
Prior art date
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Pending
Application number
JP25867393A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Harada
寛 原田
Kimisumi Yamamoto
公純 山元
Naomichi Yamamoto
直道 山本
Toshio Wakabayashi
敏夫 若林
Hiroshi Maehara
博志 前原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ube Corp
Original Assignee
Ube Industries Ltd
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Publication date
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Publication of JPH07112266A publication Critical patent/JPH07112266A/en
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Abstract

PURPOSE:To extend life of a die by coating a part or all surface coming in contact with molten metal with TiAlN in the die for die casting, which the parent metal is constituted with iron base material. CONSTITUTION:A required die 24 is mounted on a base holder 22, after a pressure in a vacuum vessel 10 is evacuated, Ar gas is introduced. A target 25 is mounted in a cathode 20, plasma generating position is controlled with using the control of magnetic field in the cathode, therefore, the operation of two kinds of targets of Ti target and TiAl target becomes possible with only one kind of the cathode 20. By this device, the die for die casting, in which the intermediate layer made of Ti layer is formed between TiAlN coated layer and parent metal, is obtained. By this method, the hard coating of TiAlN is provided on the die surface, and Ti layer is formed between both layers so as to provide a buffer layer, thereby increasing the adhesion force of TiAlN film to the parent metal.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、アルミニウム合金やマ
グネシウム合金などの金属溶湯を成形するダイカスト金
型に関し、特に金型の耐ヒートチェック性と耐金属溶損
性に優れた金型に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a die-casting die for forming a molten metal such as an aluminum alloy or a magnesium alloy, and more particularly to a die having excellent heat check resistance and metal erosion resistance. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】金型寿命の延長は、ダイカスト成形にお
けるひとつの大きな課題であり、様々な方法が試みられ
ているが、特に、金型に発生するヒートチェックが金型
寿命を縮める大きな要因のひとつとなっていることは良
く知られている。ダイカスト金型の場合、金型表面の温
度は100℃〜700℃の間で急激な温度変化を繰り返
すことが通例であり、この熱衝撃による金型内部の応力
振幅が金型表面に無数のヒートチェックを発生させ、発
生したクラックに金属溶湯が差込んでさらにクラックが
発達・成長することになる。また、金属の凹部には特に
応力が集中してクラックが成長しやすく、製品の化粧面
となる表面の場合には特に大きな問題となっている。こ
のヒートチェックを防止するひとつの手段として、セラ
ミック薄膜のコーティングが提案されており、これまで
にTiN薄膜をコーティングする手法が用いられつつあ
る。金型表面にTiNコーティングすることにより、金
型の表面には常温において400Mpa程度の圧縮応力
が生じ、この圧縮応力が鋳造プロセス中の加熱・冷却サ
イクル時に発生する熱衝撃による金属表面の疲労を防止
する役割を果たすと言われている。
2. Description of the Related Art Extending the life of a die is one of the major problems in die casting, and various methods have been tried. Especially, the heat check generated in the die is a major factor that shortens the life of the die. It is well known that they are one. In the case of a die-casting mold, it is customary that the temperature of the mold surface repeats a rapid temperature change between 100 ° C and 700 ° C, and the stress amplitude inside the mold due to this thermal shock causes innumerable heat on the mold surface. A check is generated, the molten metal is inserted into the generated crack, and the crack further develops and grows. Further, stress is particularly concentrated in the concave portions of the metal, and cracks are likely to grow, which is a serious problem particularly in the case of the surface that is the decorative surface of the product. As one means for preventing this heat check, coating of a ceramic thin film has been proposed, and a technique of coating a TiN thin film is being used so far. By coating the mold surface with TiN, a compressive stress of about 400 MPa is generated on the mold surface at room temperature, and this compressive stress prevents fatigue of the metal surface due to thermal shock generated during the heating / cooling cycle during the casting process. It is said to play a role in

【0003】また、ダイカスト金型に広く利用されてい
るSKD61などの熱間工具鋼をはじめとする鉄系材料
は、溶融したAl合金またはMg合金と反応して、Fe
−Al化合物またはFe−Mg化合物を生成しながら溶
損していく。このため、溶湯温度が高い場合にはゲート
部近傍や溶湯が強く当る部分など激しい溶損を起こし、
型寿命が著しく短かくなるという問題があった。これに
対して、TiN膜はこれら金属溶湯と反応しないので、
膜が健全に金型表面に維持されている限り、溶湯による
金型の溶損を防止することができるという利点があっ
た。
Iron-based materials such as hot work tool steels such as SKD61 which are widely used for die casting dies react with molten Al alloy or Mg alloy to produce Fe.
-Al compound or Fe-Mg compound is generated and melted. For this reason, when the temperature of the molten metal is high, severe melting loss occurs in the vicinity of the gate and the part where the molten metal hits strongly,
There is a problem that the mold life becomes extremely short. On the other hand, since the TiN film does not react with these metal melts,
As long as the film is maintained on the surface of the mold soundly, there is an advantage that it is possible to prevent melting damage of the mold due to the molten metal.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、TiN
膜は耐熱温度が600℃であり、それ以上高温になると
分解を起こしてしまう。ダイカスト金型に使用する場
合、アルミ溶湯の場合には最高温度は700℃となるの
で、ある程度の膜の劣化は防ぐことができない。実際に
アルミ溶湯の中へTiNコーティングしたSKD61材
を浸漬しておくと、次第に膜が変色していくことが観測
された。したがって、TiN膜を使用する限りは、膜質
の経時変化は不可避の問題であった。また、溶湯を高速
で鋳込むダイカスト鋳造では、金型と膜の付着力が弱い
場合、溶湯が型表面を流れていく際に膜を金型から引き
剥がしてしまうという問題も発生する。この膜の付着力
の増強を図ることが、ダイカスト金型への薄膜コーティ
ング適用時の最大の課題となっている。
[Problems to be Solved by the Invention] However, TiN
The heat-resistant temperature of the film is 600 ° C., and decomposition will occur at higher temperatures. When it is used in a die casting mold, the maximum temperature of molten aluminum is 700 ° C., so that deterioration of the film to some extent cannot be prevented. When the TiN-coated SKD61 material was actually immersed in the molten aluminum, it was observed that the film gradually discolored. Therefore, as long as the TiN film is used, the change in film quality with time has been an unavoidable problem. In die casting in which molten metal is cast at a high speed, when the adhesive force between the mold and the film is weak, the film may be peeled off from the mold as the molten metal flows on the surface of the mold. The enhancement of the adhesive force of this film is the most important issue when applying a thin film coating to a die casting mold.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、第1の発明のダイカスト金型は、母材が鉄系材料
とするダイカスト金型で、金属溶湯と接触する表面の一
部または全部をTiAlNで被覆するようにした。ま
た、第2の発明では、さらに母材とTiAlN被覆層と
の間にTi層からなる中間層を形成して母材とTiAl
N被覆層の付着力を強化したものである。
In order to solve the above problems, the die casting mold of the first invention is a die casting mold in which the base material is an iron-based material, and a part of the surface that comes into contact with the molten metal. Alternatively, the whole was coated with TiAlN. Further, in the second invention, an intermediate layer made of a Ti layer is further formed between the base material and the TiAlN coating layer to form the base material and the TiAlN layer.
This is to strengthen the adhesive force of the N coating layer.

【0006】[0006]

【作用】TiAlN(窒化チタンアルミ)はTiN(窒
化チタン)より耐熱性に優れ、約800℃まで分解しな
いことが実験的に確認されたので、溶湯最高温度約70
0℃であるダイカスト金型の表面コーティング材として
好適である。また、TiN膜を工具などに適用する際に
使用されるハードコーティング層の前にTi膜を成膜し
て積層膜とすることで充分な付着力を得ることができ
る。さらに、母材となるSKD61とTiN膜やTiA
lN膜との熱膨張係数を比較すると、それぞれ11.
6、9.4、6.5であり、TiN膜と母材SKD61
とが比較的近い熱膨張係数を有するのに対して、TiA
lN膜は母材SKD61よりかなり小さい値を示してお
り、高温時にはTiAlNコーティング金型の方が強い
圧縮応力が生じてより耐ヒートチェック性が良くなるこ
とがわかる。
[Function] It has been experimentally confirmed that TiAlN (titanium aluminum nitride) has better heat resistance than TiN (titanium nitride), so the maximum temperature of molten metal is about 70
It is suitable as a surface coating material for die casting molds at 0 ° C. Also, a sufficient adhesion can be obtained by forming a Ti film before the hard coating layer used when applying the TiN film to a tool or the like to form a laminated film. In addition, SKD61 as a base material and TiN film or TiA
Comparing the coefficient of thermal expansion with the 1N film, it was found that
6, 9.4 and 6.5, the TiN film and the base material SKD61.
Have relatively close coefficients of thermal expansion, while TiA
The 1N film shows a value considerably smaller than that of the base material SKD61, and it can be seen that the TiAlN coating mold has a stronger compressive stress at high temperature and the heat check resistance is better.

【0007】[0007]

【実施例】以下図面に基づいて本発明の実施例ついて詳
細に説明する。図1〜図5は本発明の実施例に係り、図
1はコーティング装置の構成図、図2はターゲットの構
成を示す斜視図、図3〜図4はそれぞれコーティングプ
ロセス中のターゲットを説明する斜視図、図5はプラズ
マ発生時のイオン電流密度分布を示すグラフである。図
1において、コーティング装置100は配管12および
メインバルブ11を介して図示しない真空ポンプに連結
された真空容器10と、真空容器10内の各々の機器に
接続された4種類の直流電源装置1、2、3、4とで構
成される。真空容器10内には後述するターゲット25
を設置したカソード20が一方の内面に固設され、外部
にある放電用直流電源装置2と結線される。カソード2
0の内部には磁界制御用ソレノイドコイル21が埋設さ
れ、外部のソレノイドコイル用直流電源装置1と結線さ
れる。一方、カソード20に対向する真空容器10内部
中央には軸受22a回りに回転自在な基板ホルダ22が
設置され金型24がコーティング被覆面をカソード20
方向に向けて設置される。基板ホルダ22はモータ23
の駆動によりチェンホイール23a、23bを介してチ
ェン駆動され、回転可能に構成される。金型24が密着
する基板ホルダ22にはチェンホイール23a、チェン
ホイール23bおよびこの両者に介在するローラチェン
23cを経由して逆スパッタ用高周波電源装置3および
基板バイアス用直流電源装置4とがパラレルに結線され
る。基板バイアス用直流電源装置4の直後のチョークコ
イル5は逆スパッタ用高周波電源装置3の高周波電力が
基板バイアス用直流電源装置4へ流れ込まないための保
護用に設けたものである。また、真空容器10内にはプ
ロセスガス導入管13によりアルゴンガスおよび窒素ガ
スが導入されるとともに、カソード20と金型24との
間には往復動できる開閉自在なシャッタ26が設けられ
る。次に、カソード20に取り付けられるターゲット2
5の詳細について説明する。図2に示すように、ターゲ
ット25は、カソード20と着脱自在なバッキングプレ
ート30の表面に厚さ5mm程度のTiメタル32とT
iAl焼結体31の2種類からなる金属板で構成され
る。TiAl焼結体31は通常TiとAlとがともに5
0atm.%含有される。
Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. 1 to 5 relate to an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a block diagram of a coating apparatus, FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of a target, and FIGS. 3 to 4 are perspective views for explaining a target during a coating process. FIG. 5 and FIG. 5 are graphs showing ion current density distribution when plasma is generated. In FIG. 1, a coating apparatus 100 includes a vacuum container 10 connected to a vacuum pump (not shown) via a pipe 12 and a main valve 11, and four types of DC power supply devices 1 connected to respective devices in the vacuum container 10. It is composed of 2, 3, and 4. A target 25 to be described later is provided in the vacuum container 10.
The cathode 20 on which is installed is fixed to one inner surface and is connected to the external discharge DC power supply device 2. Cathode 2
A magnetic field control solenoid coil 21 is embedded inside 0 and is connected to an external solenoid coil DC power supply device 1. On the other hand, a substrate holder 22 which is rotatable around a bearing 22a is installed in the center of the inside of the vacuum container 10 facing the cathode 20, and a mold 24 covers the coating surface of the cathode 20.
It is installed facing the direction. The substrate holder 22 is a motor 23
Is driven by the chain wheels 23a and 23b to be rotatable. On the substrate holder 22 to which the mold 24 is closely attached, the reverse sputtering high frequency power supply device 3 and the substrate bias DC power supply device 4 are arranged in parallel via a chain wheel 23a, a chain wheel 23b and a roller chain 23c interposed therebetween. Wired. The choke coil 5 immediately after the substrate bias DC power supply device 4 is provided for protection so that the high frequency power of the reverse sputtering high frequency power supply device 3 does not flow into the substrate bias DC power supply device 4. In addition, an argon gas and a nitrogen gas are introduced into the vacuum container 10 through a process gas introduction pipe 13, and an openable and closable shutter 26 is provided between the cathode 20 and the mold 24. Next, the target 2 attached to the cathode 20
5 will be described in detail. As shown in FIG. 2, the target 25 comprises a cathode 20 and a backing plate 30 which is detachably attached to the surface of a Ti metal 32 and a T metal 32 having a thickness of about 5 mm.
The iAl sintered body 31 is composed of two types of metal plates. In the TiAl sintered body 31, both Ti and Al are usually 5
0 atm. % Contained.

【0008】以上のように構成されたコーティング装置
100を使用して金型24の表面にTiAlN被覆層を
形成するコーティングプロセスについて説明する。ま
ず、所望の金型24を基板ホルダ22に取り付け、メイ
ンバルブ11を開いて真空容器10内の圧力を真空ポン
プの駆動により5×10-6Torr以下に真空引きす
る。真空引きが完了した後、プロセスガス導入管13よ
りアルゴンガスを導入し、圧力を2×10-3Torr程
度に設定する。この状態でシャッタ26を閉じたまま、
ターゲット25上にプラズマを発生してターゲット25
表面のスパッタ洗浄を充分に行う。その後、基板(金型
24)に高電圧を印加して金型24のスパッタ洗浄を行
うが、このときに利用する放電電源は、金型24の表面
形状により選択する。すなわち、表面が平滑の場合には
基板バイアス用直流電源装置4を用いて直流スパッタエ
ッチングを行うが、一般にはダイカスト金型は複雑な形
状をしており表面が平滑でないので、直流スパッタエッ
チングを使うとスパッタエッチされる個所が凸部に集中
してしまい、凹部は逆に凸部から蒸発したガス等により
汚染される現象が起って所期の目的を達成できないこと
になる。このため、本発明では、逆スパッタ用高周波電
源装置3を使用して逆スパッタを行うことによって、処
理時間は長くなってしまうという問題はあるけれども、
放電が金型表面全体に発生し、局所的なエッチングやエ
ッチング不良個所の発生を防止する。逆スパッタによる
基板(金型24)のエッチング洗浄が終了した後、再度
ターゲット25のスパッタ洗浄を行う。その理由は、逆
スパッタ時に金型表面から発生した不純物がターゲット
25に付着しているので、それを取り除くためである。
このようにして、成膜までの全ての前処理が完了する。
A coating process for forming a TiAlN coating layer on the surface of the mold 24 using the coating apparatus 100 configured as described above will be described. First, a desired mold 24 is attached to the substrate holder 22, the main valve 11 is opened, and the pressure in the vacuum container 10 is evacuated to 5 × 10 −6 Torr or less by driving the vacuum pump. After the evacuation is completed, argon gas is introduced through the process gas introduction pipe 13 and the pressure is set to about 2 × 10 −3 Torr. In this state, with the shutter 26 closed,
A plasma is generated on the target 25 to generate the target 25.
Thoroughly clean the surface by sputtering. After that, a high voltage is applied to the substrate (mold 24) to clean the mold 24 by sputtering. The discharge power source used at this time is selected according to the surface shape of the mold 24. That is, when the surface is smooth, DC sputter etching is performed using the substrate bias DC power supply device 4, but since the die-casting die generally has a complicated shape and the surface is not smooth, DC sputter etching is used. As a result, the sputter-etched areas concentrate on the convex portions, and conversely, the concave portions are contaminated by the gas evaporated from the convex portions, which makes it impossible to achieve the intended purpose. Therefore, in the present invention, although there is a problem that the processing time becomes long by performing the reverse sputtering using the high frequency power supply device 3 for reverse sputtering,
Electric discharge is generated on the entire surface of the mold, which prevents local etching and defective etching. After the etching cleaning of the substrate (mold 24) by reverse sputtering is completed, the target 25 is again cleaned by sputtering. The reason is that impurities generated from the mold surface during the reverse sputtering adhere to the target 25 and are removed.
In this way, all pretreatments up to film formation are completed.

【0009】次に、ハードコーティング層の生成プロセ
スに入る。本発明ではハードコーティング層としてTi
AlNを用いる。基板(金型24)の金属表面とTiA
lN層の間にTi層を設けるには、通常スパッタリング
でこのような2種類の膜をつける場合にはTiターゲッ
トとTiAlターゲットの2種類のターゲットを取り付
けた別々のカソードが必要となる。つまり、従来の方法
では上記別々のカソードを有する装置を必要としていた
が、本発明では、図2に示すターゲット25をカソード
20へ取り付け、かつ、図3〜図4に示すように、カソ
ード内の磁界の制御を用いてプラズマ発生位置を制御す
ることによって1種類のカソード20で操業可能となっ
た。図3はプラズマPをTiAl焼結体31の外周のT
iメタル層32に発生させた例であり、図4はプラズマ
PをTiAl焼結体31の領域内の表面に発生した状態
を示し、それぞれTi膜、TiAlN膜を成膜させる場
合に対応する。実際の成膜では、まず真空容器10内に
アルゴンガスを導入して2×10-3Torr程度のガス
圧に設定し、基板である金型24にはプラズマによるイ
オンアシスト効果を得るため、基板バイアス用直流電源
装置4にて100V程度の基板バイアスを印加してお
く。この状態でプラズマをターゲット25外周部に発生
させて(図3に相当)、Ti膜を約1000〜2000
Å(オングストローム)成膜する。引き続いて真空容器
10内にN2 とArガスを導入してターゲット25内周
部にプラズマを発生させて(図4に相当)、TiAlN
膜を約2μm成膜する。このときN2 ガスとArガスの
比率は使用する真空ポンプの性能や基板(金型24)の
大きさ、放電のパワーなどによって変化するのでそのと
きどきの最適条件をテストによって予め把握しておくこ
とが望ましい。また、膜厚は、通常のハードコーティン
グでは2μmが標準とされているが、利用目的により5
μm程度の膜厚までは可能である。それ以上の膜厚にな
ると、セラミックス本来の特性である脆性が顕著に現れ
て、ハードコーティングとしての効果が減殺されるので
注意を要する。
Next, the process for producing the hard coating layer is started. In the present invention, Ti is used as a hard coating layer.
AlN is used. Metal surface of substrate (die 24) and TiA
In order to provide a Ti layer between 1N layers, when two kinds of films are usually formed by sputtering, separate cathodes to which two kinds of targets, a Ti target and a TiAl target are attached, are required. That is, in the conventional method, an apparatus having the above-mentioned separate cathodes is required, but in the present invention, the target 25 shown in FIG. 2 is attached to the cathode 20, and as shown in FIGS. By controlling the plasma generation position by controlling the magnetic field, it is possible to operate with one type of cathode 20. In FIG. 3, plasma P is applied to the outer periphery T of the TiAl sintered body 31.
This is an example generated in the i metal layer 32, and FIG. 4 shows a state in which plasma P is generated on the surface in the region of the TiAl sintered body 31, and corresponds to the case of forming a Ti film and a TiAlN film, respectively. In the actual film formation, first, argon gas is introduced into the vacuum container 10 to set the gas pressure to about 2 × 10 −3 Torr, and the mold 24 as the substrate obtains an ion assist effect by plasma. A substrate bias of about 100 V is applied by the bias DC power supply device 4. In this state, plasma is generated on the outer peripheral portion of the target 25 (corresponding to FIG. 3), and a Ti film of about 1000 to 2000 is formed.
Å (Angstrom) film formation. Subsequently, N 2 and Ar gas are introduced into the vacuum container 10 to generate plasma in the inner peripheral portion of the target 25 (corresponding to FIG. 4), and TiAlN
The film is formed to a thickness of about 2 μm. At this time, the ratio of N 2 gas and Ar gas changes depending on the performance of the vacuum pump used, the size of the substrate (mold 24), the power of discharge, etc., so the optimum conditions at that time should be understood in advance by a test. Is desirable. The standard film thickness is 2 μm for ordinary hard coatings, but it depends on the purpose of use.
A film thickness of about μm is possible. If the film thickness exceeds this value, brittleness, which is an inherent characteristic of ceramics, appears remarkably, and the effect as a hard coating is diminished.

【0010】本発明におけるターゲット25の構造は、
前述したように図2に示したとおり内側にTiAl焼結
体31、外側にTiメタル32を配設したものである
が、このTiとTiAlとを内外入れ替えることは有り
得ない。なぜならば、ハードコーティング層となるTi
AlN層は成膜時に基板をプラズマ中のイオンでピーニ
ングするイオンアシストがより良い膜質を得るための必
要条件であり、図5に示すように、プラズマが中心部に
寄るほど基板に流入するイオン量が増えるからである。
逆にプラズマが外側に寄っている場合には、ほとんど基
本イオン電流は流れず、イオンアシスト効果はほとんど
期待できない。したがって、本発明の複合ターゲットで
はターゲット中心部がハードコーティング材料であるT
iAlで構成されている必要がある。
The structure of the target 25 in the present invention is as follows.
As described above, the TiAl sintered body 31 is arranged inside and the Ti metal 32 is arranged outside as shown in FIG. 2, but it is impossible to exchange Ti and TiAl inside and outside. Because it becomes the hard coating layer Ti
The AlN layer is a necessary condition for obtaining better film quality by ion assist of peening the substrate with ions in plasma during film formation. As shown in FIG. 5, the closer the plasma is to the center, the more the amount of ions flowing into the substrate. Is increased.
On the contrary, when the plasma is located outside, the basic ion current hardly flows and the ion assist effect can hardly be expected. Therefore, in the composite target of the present invention, the hard coating material T is used in the center of the target.
It must be composed of iAl.

【0011】[0011]

【発明の効果】以上述べたように、本発明のダイカスト
金型は、基板である金型表面にTiAlNのハードコー
ティングを施すことにより、高い耐溶損性が確保され、
耐ヒートチェック性が付与されるので金型寿命が大幅に
伸びる。また、金型母材とハードコーティング層との間
にTi層を形成してバッファ層とすることにより、Ti
AlN膜の母材への付着力を向上することができる。
As described above, in the die casting mold of the present invention, high melting loss resistance is secured by applying a hard coating of TiAlN on the surface of the mold which is the substrate.
Since the heat check resistance is given, the life of the mold is significantly extended. Further, by forming a Ti layer between the die base material and the hard coating layer to form a buffer layer, Ti
The adhesion of the AlN film to the base material can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る実施例を示すコーティング装置の
構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a coating apparatus showing an embodiment according to the present invention.

【図2】本発明に係る実施例を示すターゲットの構成を
示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of a target showing an embodiment according to the present invention.

【図3】本発明の実施例に係るコーティングプロセス中
のターゲットを説明する斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view illustrating a target during a coating process according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施例に係るコーティングプロセス中
のターゲットを説明する斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view illustrating a target during a coating process according to an embodiment of the present invention.

【図5】本発明に係るプラズマ発生時のイオン電流密度
分布を示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing an ion current density distribution during plasma generation according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ソレノイドコイル用直流電源装置 2 放電用直流電源装置 3 逆スパッタ用高周波電源装置 4 基板バイアス用直流電源装置 5 チョークコイル 10 真空容器 11 メインバルブ 12 配管 13 プロセスガス導入管 20 カソード 21 磁界制御用ソレノイドコイル 22 基板ホルダ 22a 軸受 23 モータ 23a チェンホイール 23b チェンホイール 23c ローラチェン 24 金型 25 ターゲット 26 シャッタ 30 バッキングプレート 31 TiAl焼結体 32 Tiメタル 100 コーティング装置 P プラズマ Q 基板流入イオン電流密度 S ターゲット中心からの距離 1 DC power supply for solenoid coil 2 DC power supply for discharge 3 High frequency power supply for reverse sputtering 4 DC power supply for substrate bias 5 Choke coil 10 Vacuum container 11 Main valve 12 Piping 13 Process gas inlet pipe 20 Cathode 21 Magnetic field control solenoid Coil 22 Substrate holder 22a Bearing 23 Motor 23a Chain wheel 23b Chain wheel 23c Roller chain 24 Mold 25 Target 26 Shutter 30 Backing plate 31 TiAl sintered body 32 Ti metal 100 Coating device P Plasma Q Substrate inflowing ion current density S From the target center The distance

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 母材が鉄系材料で構成されるダイカスト
金型において、金属溶湯と接触する表面の一部または全
部がTiAlNで被覆されていることを特徴とするダイ
カスト金型。
1. A die-casting die whose base material is an iron-based material, characterized in that part or all of the surface in contact with the molten metal is covered with TiAlN.
【請求項2】 TiAlN被覆層と母材との間にTi層
からなる中間層を形成してなる請求項1記載のダイカス
ト金型。
2. The die casting mold according to claim 1, wherein an intermediate layer made of a Ti layer is formed between the TiAlN coating layer and the base material.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000044959A1 (en) * 1999-01-28 2000-08-03 British Nuclear Fuels Plc Coated graphite crucible
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