JPH07103814A - 変位，振動測定方法 - Google Patents
変位，振動測定方法Info
- Publication number
- JPH07103814A JPH07103814A JP25055093A JP25055093A JPH07103814A JP H07103814 A JPH07103814 A JP H07103814A JP 25055093 A JP25055093 A JP 25055093A JP 25055093 A JP25055093 A JP 25055093A JP H07103814 A JPH07103814 A JP H07103814A
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- JP
- Japan
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- light
- amount
- vibration
- displacement
- pipe
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被測定物の変位，振動の測定を容易にし、高
い測定精度を得ることを可能とする。 【構成】 配管１ａ等の被測定物１を間に挟んで一方側
に被測定物１に向けて所定幅の光２を発する発光器３を
配置すると共に他方側に被測定物１によって遮断されず
に外側を通過した残光２ａを検出する受光器４を配置
し、発光器３の発光量と受光器４の受光量との光量差か
ら被測定物１の変位量振動量を測定するようにしたこと
を特徴としている。
い測定精度を得ることを可能とする。 【構成】 配管１ａ等の被測定物１を間に挟んで一方側
に被測定物１に向けて所定幅の光２を発する発光器３を
配置すると共に他方側に被測定物１によって遮断されず
に外側を通過した残光２ａを検出する受光器４を配置
し、発光器３の発光量と受光器４の受光量との光量差か
ら被測定物１の変位量振動量を測定するようにしたこと
を特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は変位，振動測定方法に係
り、特に、配管等の被測定物の変位，振動の測定精度を
高めることのできる変位，振動測定方法に関するもので
ある。
り、特に、配管等の被測定物の変位，振動の測定精度を
高めることのできる変位，振動測定方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、配管の振動は加速度ピックア
ップ装置で測定されている。
ップ装置で測定されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、加速度ピッ
クアップ装置は接触式のため、種々のノイズをも検出し
てしまう。特に、配管の振動を測定する場合には流体振
動やキャビテーション等が発生し、これらの振動が加速
度ピックアップ装置に大きなノイズとして検出され、デ
ータの解析もキャビテーション等によるものと配管振動
によるものとの区別が困難であることから、加速度ピッ
クアップ装置から得られるデータの処理は特別な考慮を
払わなければならない。
クアップ装置は接触式のため、種々のノイズをも検出し
てしまう。特に、配管の振動を測定する場合には流体振
動やキャビテーション等が発生し、これらの振動が加速
度ピックアップ装置に大きなノイズとして検出され、デ
ータの解析もキャビテーション等によるものと配管振動
によるものとの区別が困難であることから、加速度ピッ
クアップ装置から得られるデータの処理は特別な考慮を
払わなければならない。
【０００４】また、高温流体を移送する配管には比較的
低いサイクル（０〜４ＨＺ）の熱変位が発生しており、
このような熱による大きなしかもゆっくりとした変位を
比較的高いサイクル（５〜２００ＨＺ）の振動を検出す
る加速度ピックアップ装置で検出することは困難であ
る。このため、別途、このような低いサイクルの変位は
ワイヤ式の変位測定装置で検出されており、高いサイク
ルの振動と低いサイクルの変位とをそれぞれ測定する２
台の測定装置が必要となる。２台の測定装置による測定
は測定点が多く電気コードや信号ケーブルの本数も増え
るので、配線を複雑化させることになる。
低いサイクル（０〜４ＨＺ）の熱変位が発生しており、
このような熱による大きなしかもゆっくりとした変位を
比較的高いサイクル（５〜２００ＨＺ）の振動を検出す
る加速度ピックアップ装置で検出することは困難であ
る。このため、別途、このような低いサイクルの変位は
ワイヤ式の変位測定装置で検出されており、高いサイク
ルの振動と低いサイクルの変位とをそれぞれ測定する２
台の測定装置が必要となる。２台の測定装置による測定
は測定点が多く電気コードや信号ケーブルの本数も増え
るので、配線を複雑化させることになる。
【０００５】また、配管の振動測定の場合、信号電送用
の電気コードが長くなると電気的ノイズをひろいやすく
なる。このため、電気コードの長さが制限され、加速度
ないしワイヤの変位を計測点近くで電気信号に変換し、
アンプ等の電気機器を設置し、ノイズレベルと信号レベ
ルとの差を大きくする必要がある。
の電気コードが長くなると電気的ノイズをひろいやすく
なる。このため、電気コードの長さが制限され、加速度
ないしワイヤの変位を計測点近くで電気信号に変換し、
アンプ等の電気機器を設置し、ノイズレベルと信号レベ
ルとの差を大きくする必要がある。
【０００６】本発明は上記問題点を有効に解決すべく創
案されたものである。
案されたものである。
【０００７】本発明は被測定物の変位ないし振動の測定
を容易にし、かつ、高い測定精度を得ることのできる変
位，振動測定方法を提供することを目的とする。
を容易にし、かつ、高い測定精度を得ることのできる変
位，振動測定方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は配管等の被測定
物を間に挟んで一方側に被測定物に向けて所定幅の光を
発する発光器を配置すると共に他方側に被測定物によっ
て遮断されずに外側を通過した残光を検出する受光器を
配置し、発光器の発光量と受光器の受光量との光量差か
ら被測定物の変位量振動量を測定するようにしたもので
ある。
物を間に挟んで一方側に被測定物に向けて所定幅の光を
発する発光器を配置すると共に他方側に被測定物によっ
て遮断されずに外側を通過した残光を検出する受光器を
配置し、発光器の発光量と受光器の受光量との光量差か
ら被測定物の変位量振動量を測定するようにしたもので
ある。
【０００９】
【作用】発光量と受光量との光量差は被測定物によって
遮断された光の遮断量であり、この遮断量の変化は測定
物の変位量ないし振動量となり、しかも、光量差であれ
ば、大きな光量変化と高いサイクルの光量変化とを容易
に測定できる。したがって、高温流体を移送する配管の
振動を測定する場合であっても、流体振動やキャビテー
ションなどによるノイズを検出することなく、しかも、
熱による低いサイクルの変位をも検出できる。
遮断された光の遮断量であり、この遮断量の変化は測定
物の変位量ないし振動量となり、しかも、光量差であれ
ば、大きな光量変化と高いサイクルの光量変化とを容易
に測定できる。したがって、高温流体を移送する配管の
振動を測定する場合であっても、流体振動やキャビテー
ションなどによるノイズを検出することなく、しかも、
熱による低いサイクルの変位をも検出できる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【００１１】図１に示すように、被測定物１として高温
流体を移送する配管１ａが配設され、この配管１ａの変
位ないし振動を測定するために、配管１ａを間に挟んで
一方側には配管１ａに向けて所定の間隔を隔てて光２を
発する測定用発光器３が配置されると共に、他方側には
配管１ａによって遮断された後の残光２ａを検出する測
定用受光器４が配置される。
流体を移送する配管１ａが配設され、この配管１ａの変
位ないし振動を測定するために、配管１ａを間に挟んで
一方側には配管１ａに向けて所定の間隔を隔てて光２を
発する測定用発光器３が配置されると共に、他方側には
配管１ａによって遮断された後の残光２ａを検出する測
定用受光器４が配置される。
【００１２】測定用発光器３および測定用受光器４は測
定用発光器３から発する所定幅の光２の一部が中間に位
置する配管１ａにより遮断されるように配置されてい
る。すなわち、測定用発光器３からスリットを通過して
配管１ａの断面に対して平行に所定幅の光２が発せら
れ、受光器４では遮断されずに配管１ａの外側を通過し
た残光２ａが検出される。したがって、配管１ａが変位
ないし振動すれば、これに応じて受光器４で検出される
受光量も変化することから、投光量と受光量との光量差
は配管１ａによって遮断された光２の遮断量であり、こ
の遮断量の変化は配管１ａの変位量ないし振動量とな
る。
定用発光器３から発する所定幅の光２の一部が中間に位
置する配管１ａにより遮断されるように配置されてい
る。すなわち、測定用発光器３からスリットを通過して
配管１ａの断面に対して平行に所定幅の光２が発せら
れ、受光器４では遮断されずに配管１ａの外側を通過し
た残光２ａが検出される。したがって、配管１ａが変位
ないし振動すれば、これに応じて受光器４で検出される
受光量も変化することから、投光量と受光量との光量差
は配管１ａによって遮断された光２の遮断量であり、こ
の遮断量の変化は配管１ａの変位量ないし振動量とな
る。
【００１３】発光量と受光量との光量差を求めるため
に、図１および図２に示すように、発光器３および受光
器４の下方には平行に基準用発光器５および基準用受光
器６が配置されている。測定用発光器３および基準用発
光器５はそれぞれ光ファイバ７，８を介してレーザ発振
器９に接続されている。基準用発光器５および基準用受
光器６は基準用発光器５から発した線状の光１１が配管
１ａによって遮られることのないように配置されてい
る。
に、図１および図２に示すように、発光器３および受光
器４の下方には平行に基準用発光器５および基準用受光
器６が配置されている。測定用発光器３および基準用発
光器５はそれぞれ光ファイバ７，８を介してレーザ発振
器９に接続されている。基準用発光器５および基準用受
光器６は基準用発光器５から発した線状の光１１が配管
１ａによって遮られることのないように配置されてい
る。
【００１４】測定用受光器４および基準用受光器６には
光／電圧変換器１５、アンプ１６、Ａ／Ｄ変換器１７を
介して計算機１８が接続される。計算機１８の計算結果
からは周波数分析、熱による変位量、振動加速度が得ら
れ、これらのデータはグラフィックターミナルに表示さ
れ、ディスクに記録されるようになっている。
光／電圧変換器１５、アンプ１６、Ａ／Ｄ変換器１７を
介して計算機１８が接続される。計算機１８の計算結果
からは周波数分析、熱による変位量、振動加速度が得ら
れ、これらのデータはグラフィックターミナルに表示さ
れ、ディスクに記録されるようになっている。
【００１５】ここで、測定用発光器３の発光量をＣ0 、
測定用受光器４の受光量をＣ1 、基準用発光器５の発光
量をＣ2 、基準用受光器６の受光量をＣ3 とすると、実
質的な変化量（遮断量）ΔＣは次式のようになる。
測定用受光器４の受光量をＣ1 、基準用発光器５の発光
量をＣ2 、基準用受光器６の受光量をＣ3 とすると、実
質的な変化量（遮断量）ΔＣは次式のようになる。
【００１６】Ｃ1 −Ｃ3 ／Ｃ2 ×Ｃ0 ＝ΔＣ 図３は横軸に周波数を縦軸に変位量をとり、図４は横軸
に時刻を縦軸に変位量をとったものを示すものである。
に時刻を縦軸に変位量をとったものを示すものである。
【００１７】図４に示すように、大きな振幅は熱変位と
して検出され、小さな振幅は振動数として検出される。
して検出され、小さな振幅は振動数として検出される。
【００１８】このように発光量と受光量との光量差を求
めれば、大きな光量変化と高いサイクルの光量変化とを
測定し得るので、被測定物１が高温流体を移送する配管
１ａであっても流体振動やキャビテーションなどによる
ノイズを検出することなく、しかも、熱変位による低い
サイクルの振動をも高い測定精度で検出でき、配線本数
も少なくなることから、測定装置の簡素化を達成でき
る。
めれば、大きな光量変化と高いサイクルの光量変化とを
測定し得るので、被測定物１が高温流体を移送する配管
１ａであっても流体振動やキャビテーションなどによる
ノイズを検出することなく、しかも、熱変位による低い
サイクルの振動をも高い測定精度で検出でき、配線本数
も少なくなることから、測定装置の簡素化を達成でき
る。
【００１９】また、隔離されたエリヤに配設される配管
１ａの振動測定の場合にあっても、測定箇所から隔離エ
リヤ外に光ファイバ１２，１３を結束して引き出すこと
ができるので、アンプ１６などの電気機器を隔離エリヤ
外に設置することも可能であり、電気機器の設置の制約
を緩和できる。
１ａの振動測定の場合にあっても、測定箇所から隔離エ
リヤ外に光ファイバ１２，１３を結束して引き出すこと
ができるので、アンプ１６などの電気機器を隔離エリヤ
外に設置することも可能であり、電気機器の設置の制約
を緩和できる。
【００２０】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、発光量と
受光量との光量差から大きな光量変化と高いサイクルの
光量変化とを測定し得、高温流体を移送する配管であっ
ても流体振動やキャビテーションなどによるノイズを検
出することなく、しかも、熱変位による低いサイクルの
振動をも高い測定精度で検出でき、また、測定装置の簡
素化を達成できる。
受光量との光量差から大きな光量変化と高いサイクルの
光量変化とを測定し得、高温流体を移送する配管であっ
ても流体振動やキャビテーションなどによるノイズを検
出することなく、しかも、熱変位による低いサイクルの
振動をも高い測定精度で検出でき、また、測定装置の簡
素化を達成できる。
【図１】本発明の変位，振動測定方法を示す図である。
【図２】変位，振動測定のための装置を示す図である。
【図３】周波数と変位量との関係を示す図である。
【図４】時刻と変位量との関係を示す図である。
１ 被測定物 １ａ 配管 ２ 光 ２ａ 残光 ３ 発光器 ４ 受光器
Claims (1)
- 【請求項１】 配管等の被測定物を間に挟んで一方側に
被測定物に向けて所定幅の光を発する発光器を配置する
と共に他方側に被測定物によって遮断されずに外側を通
過した残光を検出する受光器を配置し、発光器の発光量
と受光器の受光量との光量差から被測定物の変位量振動
量を測定するようにしたことを特徴する変位，振動測定
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25055093A JPH07103814A (ja) | 1993-10-06 | 1993-10-06 | 変位，振動測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25055093A JPH07103814A (ja) | 1993-10-06 | 1993-10-06 | 変位，振動測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07103814A true JPH07103814A (ja) | 1995-04-21 |
Family
ID=17209587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25055093A Pending JPH07103814A (ja) | 1993-10-06 | 1993-10-06 | 変位，振動測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07103814A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002062175A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-02-28 | Micro Motion Inc | コリオリ質量流量コントローラ |
| JP2010010463A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Juki Corp | 電子部品実装装置 |
| CN102519378A (zh) * | 2011-11-30 | 2012-06-27 | 华南理工大学 | Psd传感器的铰接板弯曲和扭转振动测量装置与方法 |
-
1993
- 1993-10-06 JP JP25055093A patent/JPH07103814A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002062175A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-02-28 | Micro Motion Inc | コリオリ質量流量コントローラ |
| JP2010160159A (ja) * | 2000-08-18 | 2010-07-22 | Emerson Electric Co | コリオリ質量流量センサ |
| JP2011180152A (ja) * | 2000-08-18 | 2011-09-15 | Emerson Electric Co | コリオリ質量流量センサ |
| JP2010010463A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Juki Corp | 電子部品実装装置 |
| CN102519378A (zh) * | 2011-11-30 | 2012-06-27 | 华南理工大学 | Psd传感器的铰接板弯曲和扭转振动测量装置与方法 |
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