JPH0696685A - Shadow mask - Google Patents

Shadow mask

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Publication number
JPH0696685A
JPH0696685A JP24371392A JP24371392A JPH0696685A JP H0696685 A JPH0696685 A JP H0696685A JP 24371392 A JP24371392 A JP 24371392A JP 24371392 A JP24371392 A JP 24371392A JP H0696685 A JPH0696685 A JP H0696685A
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JP
Japan
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shadow mask
hardness
surface layer
alloy material
alloy
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Application number
JP24371392A
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Japanese (ja)
Inventor
Hirozo Sugai
普三 菅井
Fumio Mori
二美男 盛
Emiko Higashinakagaha
恵美子 東中川
Mitsuharu Hagiwara
満晴 萩原
Yasuhisa Otake
康久 大竹
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a shadow mask capable of restraining the occurrence of a color shear without impairing the advantage of a Fe-Ni alloy such as low temperature expansion and moldability. CONSTITUTION:A shadow mask is made of a Fe-Ni alloy material containing nickel at least within the range of 30 to 45wt.%. The alloy material has a surface layer containing Fe4N and/or Fe3NiN. Furthermore, only the surface layer of the alloy material is increased as Hv=170 or above. For example, when the surface layer hardness of the alloy material is H1 and the inside hardness is H2, a ratio of H1 to H2 is taken at 1.05 or above. According to this construction, a howling resistance characteristic can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラー用陰極線管(以
下、C−CRTと記す)に使用されるシャドウマスクに
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a shadow mask used for a color cathode ray tube (hereinafter referred to as C-CRT).

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、C−CRTでは、電子銃から射
出された電子ビ―ムを、多数の細孔が形成されたシャド
ウマスクによって選択的に通過させ、ガラス外囲器内面
に形成された蛍光体層の所定位置に電子ビ―ムを衝突さ
せることによって、カラ―映像を再現している。この
際、射出された電子ビームは、その全てが開孔を通過す
るわけではなく、開孔を通過する電子ビームは全体の約
1/3以下であり、残りの電子ビームはシャドウマスクを
直撃して、これを加熱する。その結果、シャドウマスク
が熱膨脹を起こすと、開孔の位置が設計基準からずれて
変位し、蛍光面における色ずれ現象を招くこととなる。
2. Description of the Related Art Generally, in a C-CRT, an electron beam emitted from an electron gun is selectively passed through a shadow mask having a large number of pores formed on the inner surface of a glass envelope. A color image is reproduced by colliding an electron beam with a predetermined position on the phosphor layer. At this time, not all of the emitted electron beams pass through the aperture, and the electron beam that passes through the aperture is about
Less than 1/3, the rest of the electron beam hits the shadow mask directly and heats it. As a result, when the shadow mask thermally expands, the positions of the openings deviate from the design standard and are displaced, resulting in a color misregistration phenomenon on the phosphor screen.

【0003】このようなことから、最近では、従来から
の低炭素リムド冷延鋼や低炭素アルミキルド冷延鋼等の
鋼材に代えて、低熱膨脹特性を備えた Fe-Ni系合金、例
えば36wt%Ni-Fe合金(アンバー合金)がシャドウマスク
素材として多用されるようになってきている。
For these reasons, Fe-Ni alloys having a low thermal expansion characteristic, for example, 36 wt% have recently been used in place of conventional steel materials such as low carbon rimmed cold rolled steel and low carbon aluminized cold rolled steel. Ni-Fe alloys (Amber alloys) are becoming popular as shadow mask materials.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た Fe-Ni系合金は、熱膨脹係数が極端に小さいという利
点を有している半面、硬度が低いという難点を有してい
た。例えば、アンバ―合金の硬度は、焼鈍することによ
って軟化した場合、Hv 120〜Hv 140程度となってしま
い、外部からの振動例えばスピ―カの振動によって、シ
ャドウマスクの共振を招いてしまう。このように、シャ
ドウマスクが振動すると、シャドウマスクに形成された
電子ビ―ム通過孔と蛍光体層との位置ずれが生じ、色ず
れを招いてしまう。特に、近年のC−CRTにおいて
は、高精細高品位化を満足するべく、電子ビ―ム通過孔
の径や形成ピッチを小さくする傾向にあるため、よけい
に色ずれの度合が激しくなってしまう。
However, the Fe-Ni alloys described above have the advantage that the coefficient of thermal expansion is extremely small, but on the other hand, they have the drawback that the hardness is low. For example, the hardness of the amber alloy becomes about Hv 120 to Hv 140 when it is softened by annealing, and the vibration of the outside, for example, the vibration of the speaker causes resonance of the shadow mask. As described above, when the shadow mask vibrates, the electron beam passage hole formed in the shadow mask and the phosphor layer are displaced from each other, which causes color shift. In particular, in recent C-CRTs, the diameter and forming pitch of the electron beam passage holes tend to be reduced in order to satisfy high definition and high quality, so that the degree of color misregistration becomes more severe. .

【0005】一方、C−CRT、特にディスプレー用等
の産業用のC−CRTに対する要求特性は年々高まって
きており、さらなる画像の高精細化や高品質化が求めら
れている。このようなC−CRTに対する要求特性の向
上に伴って、当然ながらシャドウマスクに対する要求特
性はより厳しくなってきている。例えば、シャドウマス
クのハウリングを押さえて色ずれを防止することは、画
像の高精細化を達成する上で、重要な要件となってい
る。
On the other hand, the characteristics required for C-CRTs, especially industrial C-CRTs for displays, etc., are increasing year by year, and further higher definition and higher quality of images are required. With the improvement of the required characteristics for the C-CRT, naturally, the required characteristics for the shadow mask have become more severe. For example, suppressing howling of a shadow mask to prevent color misregistration is an important requirement for achieving high definition of an image.

【0006】本発明は、このような課題に対処するべく
なされたもので、 Fe-Ni系合金の低熱膨脹という利点や
成形性を損うことなく硬度を向上させ、色ずれの発生を
抑制することを可能にしたシャドウマスクを提供するこ
とを目的としている。
The present invention has been made to address such a problem, and improves the hardness of the Fe-Ni-based alloy without impairing the advantage of low thermal expansion and the formability, and suppresses the occurrence of color misregistration. The purpose is to provide a shadow mask that makes it possible.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のシャドウマスク
は、少なくともNiを30重量%〜45重量%の範囲で含むFe
-Ni系合金材からなるシャドウマスクにおいて、前記 Fe
-Ni系合金材は、Fe4N および/またはFe3 Ni Nを含む表
面層を有することを特徴としている。さらに本発明は、
前記 Fe-Ni系合金材は、その表面層の硬度がHv 170以上
であることを特徴としている。
The shadow mask of the present invention comprises Fe containing at least Ni in the range of 30% by weight to 45% by weight.
-In a shadow mask made of a Ni-based alloy material, the Fe
The -Ni-based alloy material is characterized by having a surface layer containing Fe 4 N and / or Fe 3 Ni N. Further, the present invention is
The Fe-Ni alloy material is characterized in that the hardness of its surface layer is Hv 170 or more.

【0008】すなわち、本発明のシャドウマスクは、 F
e-Ni系合金材の表面部に、シャドウマスクの製造過程で
窒化層を形成し、表面層の硬度のみを上昇させることに
よって、耐ハウリング特性の向上を図ったものである。
That is, the shadow mask of the present invention is F
The howling resistance is improved by forming a nitride layer on the surface of the e-Ni alloy material in the process of manufacturing the shadow mask and increasing only the hardness of the surface layer.

【0009】ここで、鋳造当初から窒素量を増大させ、
Fe-Ni系合金材全体に窒化物を導入して、硬度を全体的
に上げた場合、耐ハウリング特性の向上は図れるもの
の、成形性が大幅に低下してシャドウマスクとしての形
状精度等の低下を招いてしまう。よって、本発明におい
ては、表面層にFe4 N および/またはFe3 Ni Nを含ませ
ること、さらには表面層のみの硬度をHv 170以上と高め
ることにより、耐ハウリング特性と成形性の双方を満足
させることを可能にしている。さらに、表面層のみの硬
度を高めることは、全体的に硬度を上げたものより、耐
ハウリング特性のより一層の向上が期待できる。ここ
で、Fe4 N および/またはFe3 Ni Nを含む表面層の厚さ
は、 0.5μm 以上であることが好ましい。また、表面層
の硬度とは、表面から 1〜20μm 程度の位置で測定した
値を指すものとする。
Here, the amount of nitrogen is increased from the beginning of casting,
When nitride is introduced into the entire Fe-Ni alloy material and the hardness is increased overall, the howling resistance can be improved, but the formability is greatly reduced and the shape accuracy as a shadow mask is reduced. Will be invited. Therefore, in the present invention, by including Fe 4 N and / or Fe 3 Ni N in the surface layer and further increasing the hardness of only the surface layer to Hv 170 or more, both howling resistance and moldability are improved. Makes it possible to satisfy. Furthermore, increasing the hardness of only the surface layer can be expected to further improve the howling resistance as compared with the case of increasing the hardness as a whole. Here, the thickness of the surface layer containing Fe 4 N and / or Fe 3 Ni N is preferably 0.5 μm or more. The hardness of the surface layer means a value measured at a position of about 1 to 20 μm from the surface.

【0010】また、表面層と内部との硬度差としては、
Fe-Ni系合金材の表面層硬度をH1とし、内部の硬度を
2 としたとき、これらの比H1 /H2 を1.05以上とす
ることが好ましい。
The hardness difference between the surface layer and the inside is
When the surface layer hardness of the Fe—Ni alloy material is H 1 and the internal hardness is H 2 , the ratio H 1 / H 2 of these is preferably 1.05 or more.

【0011】本発明のシャドウマスクは、Niを30重量%
〜45重量%の範囲で含むFe基合金(Fe-Ni系合金)からな
るものであって、Niの含有量が上記範囲から外れると、
いずれも熱膨張係数の増大を招き、シャドウマスクとし
ての性能低下を招いてしまう。また、Ni以外の添加元素
としては、得ようとする特性に応じて各種元素を使用す
ることが可能である。例えば、脱酸、熱間加工性の向上
のために、Mn、Siを添加してもよい。また、Fe -Ni系合
金に限らず、Fe-Ni-Cr系合金、Fe-Ni-Co系合金、 Fe-Ni
-Cr-Co系合金等を使用することも可能である。さらに、
窒化物化容易元素として、 V、Cr、Nb、Ta、 W、Mo、Ti
およびAlから選ばれた少なくとも 1種の元素を0.01重量
%〜 0.5重量%の範囲で含有させることも可能である。
これにより、表面硬度をより容易に上昇させることがで
きる。上記した窒化物化容易元素は、その添加量が0.01
重量%未満では窒化性向上効果が充分に得られず、また
0.5重量%を超えて添加しても、それ以上の効果が得ら
れないばかりでなく、熱膨脹係数の増加を招いてしま
う。
The shadow mask of the present invention contains 30% by weight of Ni.
Fe-based alloy (Fe-Ni alloy) contained in the range of ~ 45 wt%, when the Ni content is out of the above range,
Any of these causes an increase in the coefficient of thermal expansion, resulting in a decrease in performance as a shadow mask. Further, as the additive element other than Ni, various elements can be used depending on the characteristics to be obtained. For example, Mn and Si may be added to improve deoxidation and hot workability. Not only Fe-Ni alloys, but also Fe-Ni-Cr alloys, Fe-Ni-Co alloys, Fe-Ni alloys
It is also possible to use a -Cr-Co alloy or the like. further,
V, Cr, Nb, Ta, W, Mo, Ti as easy nitriding elements
It is also possible to contain at least one element selected from Al and Al in the range of 0.01% by weight to 0.5% by weight.
Thereby, the surface hardness can be increased more easily. The above-mentioned nitriding-prone element is added in an amount of 0.01
If it is less than wt%, the effect of improving the nitriding property cannot be sufficiently obtained.
Adding more than 0.5% by weight not only brings no further effect, but also causes an increase in the coefficient of thermal expansion.

【0012】本発明のシャドウマスクは、例えば以下の
ようにして製造される。すなわち、まず所定の合金組成
に調整された Fe-Ni系合金成分を溶解、鋳造し、この鋳
造材を中間板厚まで熱間圧延する。次いで、この熱間圧
延材に対して所望の板厚となるまで、冷間圧延と焼鈍と
を繰り返し施す。この後、所望の板厚とされた冷間板材
に、貫通孔をエッチング処理等によってマトリックス状
に形成し、必要に応じて焼鈍を行った後、この貫通孔が
形成された板材を所望のシャドウマスク形状に温間成形
することにより、所望とするシャドウマスクが得られ
る。この際、表面窒化層の形成、すなわち表面硬度の上
昇は、上記した冷間圧延後の焼鈍やエッチング後の焼鈍
を、窒素雰囲気中やアンモニア分解ガス雰囲気中で行う
ことによって達成される。この際の条件は、使用した合
金組成に応じて適宜設定するものとする。
The shadow mask of the present invention is manufactured, for example, as follows. That is, first, a Fe-Ni alloy component adjusted to a predetermined alloy composition is melted and cast, and this cast material is hot rolled to an intermediate plate thickness. Next, cold rolling and annealing are repeatedly performed on this hot rolled material until a desired plate thickness is obtained. After this, through holes are formed in a matrix shape by etching or the like in the cold plate material having a desired plate thickness, and after annealing as necessary, the plate material with the through holes is formed into a desired shadow. A desired shadow mask can be obtained by warm forming into a mask shape. At this time, the formation of the surface nitrided layer, that is, the increase of the surface hardness is achieved by performing the annealing after the cold rolling and the annealing after the etching in the nitrogen atmosphere or the ammonia decomposition gas atmosphere. The conditions at this time are set as appropriate according to the alloy composition used.

【0013】このように、窒素雰囲気中やアンモニア雰
囲気中で焼鈍を行うことにより、表面層のみに窒素が導
入されて窒化物が析出し、表面層のみの硬度が上昇す
る。上記窒化の条件は、Fe4 N および/またはFe3 Ni N
が Fe-Ni系合金材の表面に生成するのであれば何等限定
されるものではない。しかし、窒化が激しく進み過ぎる
と、表面にFe3 N およびFe2 Ni Nが生成し、表面層の剥
離が生じる場合があるので、表面層に含まれる窒化層は
Fe4 N および/またはFe3 Ni Nであることが好ましい。
導入窒素量は、平均窒素含有量として 30ppm〜300ppmの
範囲とすることが好ましい。平均窒素含有量が 30ppm未
満では、表面層の硬度を十分に上昇させることができな
い。また、300ppmを超えると、全体的に硬度が上昇して
しまう。
As described above, by performing annealing in a nitrogen atmosphere or an ammonia atmosphere, nitrogen is introduced only into the surface layer to deposit a nitride and the hardness of only the surface layer increases. The above nitriding conditions are Fe 4 N and / or Fe 3 Ni N
There is no limitation as long as is formed on the surface of the Fe-Ni alloy material. However, if nitriding proceeds too much, Fe 3 N and Fe 2 Ni N may be generated on the surface, and the surface layer may peel off.
Fe 4 N and / or Fe 3 Ni N are preferred.
The amount of introduced nitrogen is preferably in the range of 30 ppm to 300 ppm as the average nitrogen content. If the average nitrogen content is less than 30 ppm, the hardness of the surface layer cannot be sufficiently increased. Further, if it exceeds 300 ppm, the hardness is increased as a whole.

【0014】[0014]

【作用】本発明のシャドウマスクにおいては、表面部に
窒化層を形成することによって、表面層のみの硬度をHv
170以上と高めている。これにより、成形性を低下させ
ることなく、耐ハウリング特性の向上を図ることができ
る。また、表面層のみの硬度を高めることによって、全
体的に硬度を上げる以上に耐ハウリング特性の向上を図
ることができる。さらに、 Fe-Ni系合金が本来有する低
熱膨張という特性は、そのまま維持される。
In the shadow mask of the present invention, the hardness of only the surface layer is reduced to Hv by forming the nitride layer on the surface portion.
It is higher than 170. This makes it possible to improve howling resistance without lowering moldability. Further, by increasing the hardness of only the surface layer, the howling resistance can be improved more than the hardness is increased as a whole. Furthermore, the property of the Fe-Ni alloy, which has a low thermal expansion, is maintained as it is.

【0015】[0015]

【実施例】次に、本発明の実施例について説明する。EXAMPLES Next, examples of the present invention will be described.

【0016】実施例1〜10 表1にそれぞれ組成を示す Fe-Ni系合金成分をそれぞれ
溶解、鋳造し、 200mm× 800mm×Lの鋳造材をそれぞれ
得た。次いで、これら各鋳造材をホットロール間を通し
て、1100℃の温度で板厚が 3mmとなるように熱間圧延し
た。
Examples 1 to 10 Fe-Ni alloy components each having the composition shown in Table 1 were melted and cast to obtain cast materials of 200 mm x 800 mm x L, respectively. Next, each of these cast materials was passed through hot rolls and hot-rolled at a temperature of 1100 ° C. so that the plate thickness became 3 mm.

【0017】次いで、得られた各熱間圧延材に対して、
コールドロールによる冷間圧延と焼鈍とを 2回繰り返し
施すことによって、厚さ0.25mmの板材をそれぞれ得た。
ここで、冷間圧延後の焼鈍工程は、窒素雰囲気中にて 9
00℃× 5〜20分の条件で行った。
Next, for each hot rolled material obtained,
By repeatedly performing cold rolling by a cold roll and annealing twice, a plate material having a thickness of 0.25 mm was obtained.
Here, the annealing process after cold rolling is performed in a nitrogen atmosphere.
It was carried out under the conditions of 00 ° C x 5 to 20 minutes.

【0018】次に、上記した各板材に対して、フォトエ
ッチング処理によって所定のマトリックス状の電子ビー
ム透過孔を形成し、次いでドライ水素雰囲気中にて 900
℃×10〜30分の条件で焼鈍を行った。この後、所定のマ
スク形状となるようにプレス成形を行い、それぞれシャ
ドウマスクを得た。
Next, a predetermined matrix of electron beam transmitting holes is formed on each of the above-mentioned plate materials by photoetching, and then 900 ° C. in a dry hydrogen atmosphere.
Annealing was performed under the condition of ℃ × 10 to 30 minutes. After that, press molding was performed so as to have a predetermined mask shape, and shadow masks were obtained.

【0019】このようにして得た各シャドウマスクの平
均窒素濃度、表面から 1〜20μm の位置の硬度および板
厚中心での硬度をそれぞれ測定した。また、耐ハウリン
グ特性を以下に示す要領にて評価した。すなわち、各シ
ャドウマスクを実際にC−CRTに組込んで、外部から
100Hz〜 300Hzの振動を与え、色ずれの程度を測定し
た。これらの結果を併せて表1に示す。
The average nitrogen concentration, the hardness at a position of 1 to 20 μm from the surface and the hardness at the center of the plate thickness of each shadow mask thus obtained were measured. The howling resistance was evaluated according to the following procedure. That is, by actually incorporating each shadow mask into the C-CRT,
The degree of color misregistration was measured by applying vibration of 100 Hz to 300 Hz. The results are shown together in Table 1.

【0020】なお、表中の比較例1は、冷間圧延後の焼
鈍工程をドライ水素中で行う以外は、上記実施例と同一
条件で作製したシャドウマスクであり、また比較例2は
鋳造時に窒素を導入し、全体的に窒化物を析出させたも
のである。
Comparative Example 1 in the table is a shadow mask manufactured under the same conditions as those of the above Examples except that the annealing process after cold rolling is performed in dry hydrogen, and Comparative Example 2 is used during casting. Nitrogen was introduced to deposit nitrides entirely.

【0021】[0021]

【表1】 表1から明らかなように、各実施例によるシャドウマス
クは、それぞれ表面硬度のみ向上しており、これにより
外部からの振動による共振が低減され、色ずれ現象の発
生が抑制されていることが分かる。
[Table 1] As is clear from Table 1, each of the shadow masks according to each example has only improved surface hardness, which reduces resonance due to external vibration and suppresses the occurrence of color misregistration. .

【0022】実施例11〜20 上記した実施例1〜10と同様の組成の Fe-Ni系合金成
分をもちいて、実施例1〜10と同様な方法で、板厚0.
25mmの板ざいを得た。
Examples 11 to 20 Using Fe-Ni based alloy components having the same compositions as those of Examples 1 to 10 described above, and in the same manner as in Examples 1 to 10, the plate thickness was set to 0.
I got a 25mm plate.

【0023】次に、上記した各板材に対して、フォトエ
ッチング処理により所定のマトリックス状の電子ビーム
透過孔を形成し、次いでドライ水素雰囲気中にて 850℃
の焼鈍を行った。この後、所定のマスク形状となるよう
にプレス成形を行い、それぞれシャドウマスクを得た。
そして、上記シャドウマスクを 580℃のアンモニア雰囲
気中で30分および24時間の窒化処理を行い、引き続き水
蒸気中で黒化処理を行った。
Next, a predetermined matrix of electron beam transmitting holes is formed in each of the above plate materials by photoetching, and then at 850 ° C. in a dry hydrogen atmosphere.
Was annealed. After that, press molding was performed so as to have a predetermined mask shape, and shadow masks were obtained.
Then, the shadow mask was subjected to a nitriding treatment for 30 minutes and 24 hours in an ammonia atmosphere at 580 ° C., and subsequently subjected to a blackening treatment in water vapor.

【0024】このようにして得たシャドウマスクは、そ
れぞれ表面から 1μm 、20μm までが窒化しており、そ
の表面層を構成する結晶はFe4 N および/またはFe3 Ni
Nであった。
The shadow mask thus obtained is nitrided up to 1 μm and 20 μm from the surface, and the crystals constituting the surface layer are Fe 4 N and / or Fe 3 Ni.
It was N.

【0025】そして、これらのシャドウマスクの平均窒
素濃度、表面層の硬度および板厚中心での硬度をそれぞ
れ測定した。また、耐ハウリング特性を前記実施例1〜
10と同様の方法にて、色ずれ程度により測定した。そ
の際、いずれのものも、いわゆるハウリングは発生しな
かった。
The average nitrogen concentration of these shadow masks, the hardness of the surface layer, and the hardness at the plate thickness center were measured. In addition, the anti-howling characteristics were evaluated in the above-mentioned Examples 1 to 1.
In the same manner as in No. 10, the color shift was measured. At that time, neither so-called howling occurred.

【0026】[0026]

【表2】 表2から明らかなように、各実施例におけるシャドウマ
スは、それぞれ表面硬度のみ向上しており、これにより
外部からの振動による共振が抑制され、色ずれ現象の発
生が抑制されていることが分かる。
[Table 2] As can be seen from Table 2, the shadow masses in each of the examples have only the surface hardness improved, which suppresses resonance due to external vibration and suppresses the occurrence of the color shift phenomenon. .

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、 F
e-Ni系合金板材の表面層のみの硬度を高めていることか
ら、成形性を損なうことなく、耐ハウリング特性に優れ
たのシャドウマスクを提供することが可能となる。
As described above, according to the present invention, F
Since the hardness of only the surface layer of the e-Ni alloy plate material is increased, it is possible to provide a shadow mask excellent in howling resistance without impairing moldability.

【0028】[0028]

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 萩原 満晴 神奈川県横浜市鶴見区末広町2の4 株式 会社東芝京浜事業所内 (72)発明者 大竹 康久 埼玉県深谷市幡羅町1丁目9番2号 株式 会社東芝深谷電子工場内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Mitsuharu Hagiwara Mitsuharu Hagiwara 2-4 Suehiro-cho, Tsurumi-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Stock company, Toshiba Keihin Office (72) Inventor Yasuhisa Otake 1-2-9 Harara-cho, Fukaya-shi, Saitama Stock Company Toshiba Fukaya Electronics Factory

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくともNiを30重量%〜45重量%の範
囲で含む Fe-Ni系合金材からなるシャドウマスクにおい
て、 前記 Fe-Ni系合金材は、Fe4 N および/またはFe3 Ni N
を含む表面層を有することを特徴とするシャドウマス
ク。
1. A shadow mask comprising a Fe-Ni alloy material containing at least Ni in the range of 30 wt% to 45 wt%, wherein the Fe-Ni alloy material is Fe 4 N and / or Fe 3 Ni N.
A shadow mask having a surface layer containing:
【請求項2】 請求項1記載のシャドウマスクにおい
て、 前記Fe4 N および/またはFe3 Ni Nを含む表面層の厚さ
が 0.5μm 以上であることを特徴とするシャドウマス
ク。
2. The shadow mask according to claim 1, wherein the surface layer containing Fe 4 N and / or Fe 3 Ni N has a thickness of 0.5 μm or more.
【請求項3】 少なくともNiを30重量%〜45重量%の範
囲で含む Fe-Ni系合金材からなるシャドウマスクにおい
て、 前記 Fe-Ni系合金材は、その表面層の硬度がHv 170以上
であることを特徴とするシャドウマスク。
3. A shadow mask made of a Fe—Ni alloy material containing at least Ni in the range of 30 wt% to 45 wt%, wherein the Fe—Ni alloy material has a surface layer hardness of Hv 170 or more. A shadow mask that is characterized by being.
【請求項4】 請求項3記載のシャドウマスクにおい
て、 前記 Fe-Ni系合金材の表面層硬度をH1 とし、内部の硬
度をH2 としたとき、これらの比H1 /H2 が1.05以上
であることを特徴とするシャドウマスク。
4. The shadow mask according to claim 3, wherein when the surface layer hardness of the Fe—Ni alloy material is H 1 and the internal hardness is H 2 , the ratio H 1 / H 2 of these is 1.05. A shadow mask characterized by the above.
【請求項5】 少なくともNiを30重量%〜45重量%の範
囲で含む Fe-Ni系合金材からなるシャドウマスクにおい
て、 前記 Fe-Ni系合金材は、平均窒素含有量が 30ppm〜300p
pmの範囲であることを特徴とするシャドウマスク。
5. A shadow mask made of a Fe—Ni alloy material containing at least Ni in the range of 30 wt% to 45 wt%, wherein the Fe—Ni alloy material has an average nitrogen content of 30 ppm to 300 p.
A shadow mask characterized by being in the pm range.
【請求項6】 請求項5記載のシャドウマスクにおい
て、 前記 Fe-Ni系合金材は、 V、Cr、Nb、Ta、 W、Mo、Tiお
よびAlから選ばれた少なくとも 1種の元素を0.01重量%
〜 0.5重量%の範囲で含有することを特徴とするシャド
ウマスク。
6. The shadow mask according to claim 5, wherein the Fe—Ni alloy material contains 0.01 weight% of at least one element selected from V, Cr, Nb, Ta, W, Mo, Ti and Al. %
A shadow mask characterized by being contained in an amount of up to 0.5% by weight.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7169330B2 (en) 2004-02-25 2007-01-30 E. I. Du Pont De Nemours And Company Composition of conductive paste

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