JPH0696673A - プラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は同一基板上に隔壁と蛍光体とを有した
構造のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の製造方
法に関し、表示品質の一様な高輝度のカラー表示が可能
なＰＤＰを得ることを目的とする。 【構成】透明基板２１上に隔壁２９と該各隔壁２９の間
隔内に蛍光体２８を設けてなるパネル基板を有したプラ
ズマディスプレイパネル１の製造方法であって、前記パ
ネル基板は、第１の隔壁材２９ａ形成工程と、レジスト
２７の全面塗布工程と、前記透明基板２１の裏面から前
記隔壁材２９ａをマスクとして露光した後、非露光部分
を除去する工程と、前記各隔壁材２９ａの間隔内に前記
蛍光体２８を印刷形成する工程と、前記隔壁材２９ａ上
に残存する前記レジスト２７及びその上の不要な前記蛍
光体２８をリフトオフ法で除去する工程と、前記隔壁材
２９ａ上に第２の隔壁材２９ｂを積層形成し、２つの隔
壁材により前記隔壁２９を形成する工程で構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、同一基板上に隔壁と蛍
光体とを有した構造のプラズマディスプレイパネル（Ｐ
ＤＰ）の製造方法に関する。

【０００２】ＰＤＰは、フラット型表示装置の中では輝
度の点で優れており、ＯＡ機器などに用途を拡げつつあ
る。これにともなって、高品質の大型カラー表示が望ま
れている。

【０００３】

【従来の技術】マトリクス表示形式のＰＤＰは、縦横に
並ぶ単位発光領域を選択的に発光させることによって任
意の文字や図形を表示する。

【０００４】この種のＰＤＰの内、カラー表示に適した
面放電型のＰＤＰ、又はＤＣ駆動形式の対向放電型のＰ
ＤＰなどでは、放電の拡がりを単位発光領域内に制限す
るための隔壁が設けられている。

【０００５】図２は面放電型ＰＤＰの１つの画素ＥＧに
対応する部分の断面構造の一例を示す分解斜視図であ
る。図２に例示したＰＤＰ１は、３電極構造のＡＣ駆動
形式のＰＤＰであり、表示面Ｈ側のガラス基板１１、横
方向に互いに平行に隣接して延びた一対の表示電極Ｘ，
Ｙ、ＡＣ駆動のための誘電体層１７とその保護膜１８、
背面側のガラス基板２１、表示電極Ｘ，Ｙと直交するア
ドレス電極２２、アドレス電極２２と平行な隔壁２９、
及びカラー表示のための蛍光体層２８などから構成され
ている。

【０００６】内部の放電空間３０には、蛍光体層２８に
対する紫外線励起のための放電ガスが封入されている。
このような放電空間３０は、隔壁２９によって表示電極
Ｘ，Ｙの延長方向に単位発光領域ＥＵ毎に区画され、且
つその間隔寸法が規定されている。隔壁２９は、厚さ
（高さ）ｈが１００〜１３０μｍ程度の低融点ガラス層
からなる。

【０００７】ＰＤＰ１では、図のように１つの画素ＥＧ
に対応づけられた３つの各単位発光領域ＥＵ内におい
て、一方の表示電極Ｙとアドレス電極２２との交差部に
表示又は非表示を選択するための選択放電セルが画定さ
れ、選択放電セルの近傍における各表示電極の間に主放
電セル（面放電セル）が画定される。

【０００８】蛍光体層２８は、面放電によるイオン衝撃
を避けるために、表示電極Ｘ，Ｙと反対側のガラス基板
２１上の各隔壁２９の間に設けられ、主放電セルの面放
電で生じる紫外線によって励起されて発光する。蛍光体
２８の表層面（放電空間と接する面）で発光した光は、
誘電体層１７及びガラス基板１１などを透過して表示面
Ｈから射出する。

【０００９】なお、ＰＤＰ１では、３つの各単位発光領
域ＥＵに対応する各蛍光体層２８の発光色は、順に赤色
（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）とされている（図中の
アルファベットＲ，Ｇ，Ｂは発光色を示す）。また、表
示電極Ｘ，Ｙは、このような蛍光体２８に対して表示面
Ｈ側に配置されることから、表示の輝度を高めるために
ネサ膜などからなる透明導電膜４１とその導電性を補う
ための金属膜４２とから構成されている。

【００１０】以上の構造を有したＰＤＰ１は、各ガラス
基板１１，２１について別個に所定の構成要素を設けた
後、ガラス基板１１，２１を対向配置した後、その対向
基板の周囲を封止し、チップ管を介して内部の排気と放
電ガスの充填を行う一連の工程によって製造される。

【００１１】ここで、蛍光体２８の配設された一方のパ
ネル基板を製造する場合について説明すると、まず、ガ
ラス基板２１上にインジウム−錫酸化膜（ＩＴＯ）から
なる透明のアドレス電極２２をフォトリソグラフィ法に
より複数形成する。

【００１２】次に、隔壁用の印刷マスクによって、黒色
の低融点ガラスペーストを前記アドレス電極２２の間に
数回重ねて印刷した後、Ｒ，Ｇ，Ｂの蛍光体ペースト２
８ａを印刷マスクを用いて前記印刷済みの隔壁用ガラス
ペーストの間隔内に順次印刷する。

【００１３】その後、隔壁用低融点ガラスペースト及び
蛍光体ペースト２８ａを一括に焼成して、隔壁２９及び
蛍光体層２８を同時に形成する。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の製造方
法においては、隔壁２９が１００μｍ程度の高さを有す
ることから、蛍光体２８の印刷は、ガラス基板２１の表
面から１００μｍ程度浮き上がった形でセットされた印
刷マスクから蛍光体ペースト２８ａを落とし込む形態と
なる。つまり、印刷マスクが被印刷面と接しないため蛍
光体ペースト２８ａの落し込み量が一定せず、印刷面積
及び印刷厚さを均一にすることが困難である。

【００１５】このため、従来のＰＤＰにおいては、蛍光
体層２８の形成面積及び厚さにバラツキが生じ、表示の
輝度及び色調が不均一になって表示品質が損なわれると
いう問題があった。また、３電極構造のＰＤＰではさら
に、アドレス電極２２の蛍光体層２８による被覆状態が
バラツクことによって放電特性が不安定になり、正確な
表示が得られないという問題があった。

【００１６】本発明は、上述の問題に鑑み、表示品質の
一様な高輝度の表示が可能なプラズマディスプレイパネ
ルを製造するための方法を提供する。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決するため、図１及び図２に示すように、透明基板２
１上に放電発光領域を区画するための平行で、かつ所定
高さの隔壁２９を設けるとともに、該各隔壁２９の間隔
内に蛍光体２８を設けてなるパネル基板を有したプラズ
マディスプレイパネル１の製造方法であって、前記パネ
ル基板は、前記透明基板２１の表面に高さの低い第１の
隔壁材２９ａを形成する工程と、レジスト２７を前記第
１の隔壁材２９ａの形成された前記透明基板２１の全面
に塗布する工程と、前記透明基板２１の裏面から前記第
１の隔壁材２９ａを露光マスクとして露光を行った後、
非露光の該隔壁材２９ａ上を除いた部分の前記レジスト
２７を除去する工程と、蛍光体ペースト２８ａを前記透
明基板２１上の前記第１の各隔壁材２９ａの間隔内に印
刷形成する工程と、リフトオフ法にて前記第１の隔壁材
２９ａの頂上部に残存する前記レジスト２７及びその上
に乗っている不要な前記蛍光体ペースト２８ａを除去す
る工程と、前記第１の隔壁材２９ａの上に高さの低い第
２の隔壁材２９ｂを形成し、その積層された２つの隔壁
材により前記隔壁２９を形成する一連の工程により製造
する。

【００１８】

【作用】隔壁２９の形成を蛍光体２８形成前後の二段階
に分けて行うと、第１段階の隔壁材を形成した後の蛍光
体ペースト２８ａ印刷時には透明基板２１表面の当該隔
壁材による凹凸が小さくなるので、印刷マスクを当該基
板面に接近させて設置することができる。

【００１９】この結果、当該各隔壁材の間隔内に蛍光体
ペースト２８ａをほぼ同量落し込むことが可能となり、
蛍光体層２８の形成面積と厚みの制御が容易となる。ま
た、蛍光体２８印刷時のマスク合わせに誤差が生じて、
非溶解化したレジスト層２７上に蛍光体ペースト２８ａ
が印刷されても、後工程のリフトオフ法により不要な蛍
光体ペースト２８ａが除去できる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明を前述した３電極構造のＰＤＰ
に適用した実施例につき図面を参照しつつ説明する。

【００２１】第１図（ａ）〜（ｇ）は本発明の製造方法
に係わる蛍光体形成側の一方のパネル基板の製造工程を
各段階ごとに模式的に示す断面図である。従って、第２
図と同等部分については同一符号を記している。

【００２２】まず最初の工程で、ガラス基板２１の表面
にフォトリソグラフィ法によりＩＴＯ膜からなる透明の
アドレス電極２２が設けられる〔第１図（ａ）〕。第２
段階の工程では、このようなガラス基板２１上のアドレ
ス電極２２間に、従来と同様にスクリーン印刷法によっ
て黒色の顔料を混入した低融点ガラスを幅５０〜１００
μｍ、厚さ２０〜５０μｍ程度となるよう印刷して第１
の隔壁材２９ａを形成する〔第１図（ｂ）〕。

【００２３】次の第３段階の工程では、ガラス基板２１
の全面に、スピン塗布法又はスプレー塗布法などによっ
てレジスト液を塗布し、厚さ数μｍのレジスト層２７を
形成する。

【００２４】レジスト液としては、いわゆるポジ型のレ
ジスト液を用いる。従って、レジスト層２７は、紫外線
を含む所定波長の光を照射することによって溶解化す
る。そこで、ガラス基板２１の裏面側から全面露光を行
う。すなわち厚さが約２又は３ｍｍのガラス基板２１を
介してレジスト層２７の露光を行う〔第１図（ｃ）〕。

【００２５】このとき、隔壁材２９ａが露光マスクとな
り、隔壁材２９ａの真上の部分が非露光部分となる。続
いて、レジスト層２７の露光部分をＮａＯＨあるいはＫ
ＯＨ溶液等の現像液によって取り除く。これによって、
隔壁材２９ａの頂上部に非溶解化したレジスト層２７が
設けられる〔第１図（ｄ）〕。

【００２６】次の第４段階の工程では、各色の蛍光体２
８の配置パターンに対応する透孔を有したスクリーンマ
スク（図示しない）を用いて、各隔壁材２９ａの間隔内
に各色の蛍光体ペースト２８ａを透孔から落とし込むよ
うにして厚さ１０〜２０μｍ程度で順次塗布する。この
とき、ガラス基板２１の表面は隔壁の高さが従来例の半
分以下であるため凹凸が小さく、従って、スクリーンマ
スクは基板表面に接近して配置できるから蛍光体ペース
ト２８ａの塗布が容易であり、なおかつほぼ均一な量を
塗布することが可能である〔第１図（ｅ）〕。

【００２７】なお、各色のスクリーンマスクは位置合わ
せを容易にするため隔壁材２９ａと蛍光体２８に隙間を
作らない、つまり該マスクの透孔が隔壁材２９ａ上にも
臨めるように作製する。このため、蛍光体ペースト２８
ａが隔壁材２９ａの上のレジスト層２７にも塗布され
る。

【００２８】次の第５段階の工程では、アセトン等のポ
ジレジスト用剥離液を用いてレジスト層２７及びその上
に乗っている不要な蛍光体ペースト２８ａを取り除く
（いわゆるリフトオフ法）〔第１図（ｆ）〕。

【００２９】次の第６段階の工程では、第１の隔壁材２
９ａと同様な方法で第２の隔壁材２９ｂを第１の隔壁材
２９ａ上に印刷する〔第１図（ｇ）〕。このとき、隔壁
材２９ｂの厚みは５０〜８０μｍ程度とする。

【００３０】続いて、４５０°Ｃ程度の温度で隔壁材２
９ａ，２９ｂ及び各蛍光体ペースト２８ａを一括に焼成
する。これにより、隔壁材２９ａと隔壁材２９ｂが融合
して厚さ１００〜１３０μｍ程度の所望の隔壁２９が形
成されるとともに、それら隔壁間に各色の蛍光体層２８
が形成される。

【００３１】以上のような製造工程により一方のパネル
基板は完成し、この後、このパネル基板と他のパネル基
板とを前述したように対向配置してから基板の封止工
程、排気工程、放電ガスの封入工程と続く一連の工程に
よってＰＤＰ１を完成させる。

【００３２】以上の実施例によれば、各色の蛍光体層２
８を面積、厚さともに均一化できる。また、不要な蛍光
体ペースト２８ａを除去するために、フォトリソグラフ
ィ法とリフトオフ法を用いるが、このとき第１の隔壁材
２９ａを露光マスクに利用するので、パターン露光用の
フォトマスクも用意する必要がなく、マスク合わせも不
要であり、製造工程の複雑化を避けることができる。

【００３３】なお、上述の実施例では、第１の隔壁材２
９ａを印刷法で形成したが、これ以外の例えばエッチン
グ法を用いてもよい。

【００３４】

【発明の効果】本発明によれば、蛍光体を各隔壁間に均
一に形成することができるので、表示品質の一様な高輝
度のカラー表示が可能なプラズマディスプレイパネルを
得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法に係わる蛍光体形成側の一方
のパネル基板の製造工程を各段階ごとに模式的に示す断
面図である。

【図２】面放電型ＰＤＰの１つの画素に対応する部分の
断面構造の一例を示す分解斜視図である。

【符号の説明】

１はＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、 ２１はガラス基板（透明基板）、 ２２はアドレス電極（透明電極）、 ２７はレジスト（レジスト層）、 ２８蛍光体（蛍光体層）、 ２８ａは蛍光体ペースト ２９は隔壁、 ２９ａは第１の隔壁材、 ２９ｂは第２の隔壁材

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透明基板（２１）上に放電発光領域を区画
   するための平行で、かつ所定高さの隔壁（２９）を設け
   るとともに、該各隔壁（２９）の間隔内に蛍光体（２
   ８）を設けてなるパネル基板を有したプラズマディスプ
   レイパネル（１）の製造方法であって、 前記パネル基板は、前記透明基板（２１）の表面に高さ
   の低い第１の隔壁材（２９ａ）を形成する工程と、 レジスト（２７）を前記第１の隔壁材（２９ａ）の形成
   された前記透明基板（２１）の全面に塗布する工程と、 前記透明基板（２１）の裏面から前記第１の隔壁材（２
   ９ａ）を露光マスクとして露光を行った後、非露光の該
   隔壁材（２９ａ）上を除いた部分の前記レジスト（２
   ７）を除去する工程と、 蛍光体ペースト（２８ａ）を前記透明基板（２１）上の
   前記第１の各隔壁材（２９ａ）の間隔内に印刷形成する
   工程と、 リフトオフ法にて前記第１の隔壁材（２９ａ）の頂上部
   に残存する前記レジスト（２７）及びその上に乗ってい
   る不要な前記蛍光体ペースト（２８ａ）を除去する工程
   と、 前記第１の隔壁材（２９ａ）の上に高さの低い第２の隔
   壁材（２９ｂ）を形成し、その積層された２つの隔壁材
   により前記隔壁（２９）を形成する工程とから製造する
   ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方
   法。