JPH0695437A - Electrophotography using conductive toner - Google Patents

Electrophotography using conductive toner

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JPH0695437A
JPH0695437A JP26560792A JP26560792A JPH0695437A JP H0695437 A JPH0695437 A JP H0695437A JP 26560792 A JP26560792 A JP 26560792A JP 26560792 A JP26560792 A JP 26560792A JP H0695437 A JPH0695437 A JP H0695437A
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electrophotographic
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photoconductive layer
photosensitive member
electrophotographic method
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Shigeru Yagi
茂 八木
Taketoshi Azuma
武敏 東
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Abstract

PURPOSE:To simplify and minimize the structural elements of conventional electrophotographic device and to obtain an electrophotographic method with small energy consumption, long life and high reliability. CONSTITUTION:In this electrophotographic method, an electrophotographic sensitive body has at least a conductive supporting body 1 and a photoconductive layer 2 laminated on the supporting body 1. The photoconductive layer 2 essentially consists of amorphous silicon containing at least one kind of element selected from hydrogen and halogen elements, and if necessary, containing impurity element which controls conductivity. The photoconductive layer 2 has <=10mum film thickness, and a conductive toner is used as a developer. By this electrophotographic method, transfer of a developed image to a recording medium is performed under pressure, or transfer and fixing of the image to the recording medium may be done at one time. A metal blade may be used for cleaning and contact electrification is performed as the electrifying method.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の利用分野】本発明は、アモルファスシリコンを
主成分とする光導電層を設けた電子写真感光体および導
電性トナーを用いる電子写真法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrophotographic method using an electrophotographic photosensitive member provided with a photoconductive layer containing amorphous silicon as a main component and a conductive toner.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、高感度で長寿命の感光体としてア
モルファスシリコン感光体が注目されている。しかしな
がら、アモルファスシリコン膜はその比誘電率がセレン
や有機感光体に比べて2倍から4倍大きく、このため、
電子写真感光体の静電容量が大きくなり、通常の静電潜
像の現像に必要な帯電電位を得るために帯電電流を2倍
から3倍多くする必要がある。このため、オゾン量の増
加、放電生成物の増加等による信頼性の低下という問題
があった。また、帯電性の向上を目指して膜厚を増加さ
せることも行われているが、膜欠陥の増加と生産性の低
下という問題があった。[Optoelectroni
cs,Vol.4,p273(1989)]
2. Description of the Related Art In recent years, an amorphous silicon photoconductor has attracted attention as a photoconductor having high sensitivity and long life. However, the relative dielectric constant of the amorphous silicon film is 2 to 4 times larger than that of selenium or the organic photoconductor, and therefore,
Since the electrostatic capacity of the electrophotographic photosensitive member becomes large, it is necessary to increase the charging current by 2 to 3 times in order to obtain the charging potential required for the development of a normal electrostatic latent image. Therefore, there is a problem that reliability is lowered due to an increase in the amount of ozone and an increase in discharge products. Further, although the film thickness has been increased in order to improve the charging property, there is a problem that the film defect increases and the productivity decreases. [Optoelectronic
cs, Vol.4, p273 (1989)]

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の電子
写真装置の構成要素を簡略化して小型化し、省エネルギ
ーで、長寿命かつ信頼性の高い電子写真法を提供するこ
とを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an electrophotographic method which simplifies and downsizes the components of the conventional electrophotographic apparatus, saves energy, has a long life and is highly reliable.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上述のよ
うなアモルファスシリコン感光体に関する問題を導電性
現像剤を用いた現像法と組み合わせることによって解決
し、発明を完成したものである。すなわち、本発明の電
子写真法は、少なくとも導電性支持体と光導電層とを積
層状に設けた電子写真感光体における光導電層が水素お
よびハロゲン元素から選ばれる少なくとも1種の元素を
含み、必要に応じて導電性を制御する不純物元素を含む
アモルファスシリコンを主成分とし、該光導電層の膜厚
が10μm以下であり、かつ現像剤として導電性トナー
を用いるものである。本発明においては、現像像の記録
媒体への転写を圧力で行うか、あるいは現像像の記録媒
体への転写と定着を同時に行ってもよい。また、クリー
ニングに金属ブレードを用いても、さらに帯電方法とし
て接触帯電を行ってもよい。
The present inventors have accomplished the invention by solving the above-mentioned problems relating to the amorphous silicon photoconductor by combining it with a developing method using a conductive developer. That is, in the electrophotographic method of the present invention, the photoconductive layer in the electrophotographic photosensitive member having at least a conductive support and a photoconductive layer provided in a laminated form contains at least one element selected from hydrogen and halogen elements, Amorphous silicon containing an impurity element for controlling conductivity as necessary is contained as a main component, the film thickness of the photoconductive layer is 10 μm or less, and a conductive toner is used as a developer. In the present invention, the development image may be transferred onto the recording medium by pressure, or the development image may be transferred onto the recording medium and fixed at the same time. A metal blade may be used for cleaning, or contact charging may be performed as a charging method.

【0005】以下、本発明を詳細に説明する。図1〜図
5は本発明の電子写真感光体の模式的断面図を示す。図
1において、電子写真感光体は、導電性支持体1上にア
モルファスシリコンを主体とする光導電層2および表面
層3が積層された構造を有している。図2においては、
導電性支持体1と光導電層2との間にさらに電荷注入阻
止層4が設けられており、図3においては、導電性支持
体1と電荷注入阻止層4との間に補助層5が設けられて
いる。図4および図5は、表面層3が積層構造を有し、
表面保護層9と中間層6〜8を形成している場合を示
す。
The present invention will be described in detail below. 1 to 5 are schematic sectional views of the electrophotographic photosensitive member of the present invention. In FIG. 1, the electrophotographic photosensitive member has a structure in which a photoconductive layer 2 mainly composed of amorphous silicon and a surface layer 3 are laminated on a conductive support 1. In FIG.
A charge injection blocking layer 4 is further provided between the conductive support 1 and the photoconductive layer 2. In FIG. 3, an auxiliary layer 5 is provided between the conductive support 1 and the charge injection blocking layer 4. It is provided. 4 and 5, the surface layer 3 has a laminated structure,
The case where the surface protective layer 9 and the intermediate layers 6 to 8 are formed is shown.

【0006】本発明において、支持体としては、導電性
支持体および絶縁性支持体のいずれを用いてもよい。導
電性支持体としては、アルミニウム、ステンレススチー
ル、ニッケル、クロム等の金属およびその合金が挙げら
れる。絶縁性支持体としては、ポリエステル、ポリエチ
レン、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアミド、
ポリイミド等の高分子フィルムまたはシート、ガラス、
セラミック等が挙げられる。絶縁性支持体を用いる場合
には、少なくとも他の層と接触する面を導電化処理して
おくことが必要である。導電化処理は、上記金属の他
に、金、銀、銅等を蒸着法、スパッタリング法、イオン
プレーティング法で金属膜を形成したものを用いること
ができる。
In the present invention, the support may be either a conductive support or an insulating support. Examples of the conductive support include metals such as aluminum, stainless steel, nickel and chromium, and alloys thereof. As the insulating support, polyester, polyethylene, polycarbonate, polystyrene, polyamide,
Polymer film or sheet such as polyimide, glass,
Examples include ceramics. When an insulating support is used, it is necessary to make at least the surface in contact with other layers conductive. In addition to the above metals, the conductive treatment may be performed by forming a metal film of gold, silver, copper or the like by a vapor deposition method, a sputtering method or an ion plating method.

【0007】導電性支持体は、一般にオーステナイト系
ステンレス鋼と称されるCr−Ni含有鋼で形成されて
いるものを用いることができる。さらにまた、これらの
オーステナイト系ステンレス鋼よりなる導電性支持体の
表面に、少なくともモリブデン、クロム、マンガン、タ
ングステンまたはチタンを主成分とする導電層を形成さ
せたものが好ましく使用される。これらの導電層は、メ
ッキ処理、スパッタリング法または蒸着法によって形成
することができる。また、アルミニウム基板上にクロ
ム、チタン、タングステンまたはモリブデンを主成分と
して形成された導電層を有するものを用いることができ
る。さらにまた、モリブデン、タングステンまたはチタ
ンから構成される導電性支持体を用いることもできる。
支持体は、厚さ0.5〜50mm、好ましくは1〜20
mmの範囲のものが使用される。
As the conductive support, one made of Cr-Ni-containing steel generally called austenitic stainless steel can be used. Further, a conductive support made of these austenitic stainless steels, on which a conductive layer containing at least molybdenum, chromium, manganese, tungsten or titanium as a main component is formed, is preferably used. These conductive layers can be formed by plating, sputtering or vapor deposition. Alternatively, an aluminum substrate having a conductive layer containing chromium, titanium, tungsten, or molybdenum as its main component can be used. Furthermore, it is also possible to use a conductive support composed of molybdenum, tungsten or titanium.
The support has a thickness of 0.5 to 50 mm, preferably 1 to 20.
The range of mm is used.

【0008】支持体はその表面が研磨されているものを
用いてもよい。すなわち、バフ研磨、砥石研磨等によ
り、研磨剤の粗さを粗粒から微粒に変えながら、繰り返
し実施することにより平滑にしたものを用いることがで
きる。表面の粗さは、Rs で2Sから0.02Sの範囲
であり、好ましくは0.5Sから0.03Sの範囲のも
のを用いることができる。表面は、完全鏡面であって
も、あるいは細い筋によりくもり状になっていてもよい
が、全体としては平滑であって、切削ピッチの境界面に
凸状部が残留していないことが必要である。
The support may have a polished surface. That is, it is possible to use a polishing agent which is smoothed by repeatedly performing it while changing the roughness of the polishing agent from coarse particles to fine particles by buffing, whetstone polishing or the like. The surface roughness of Rs is in the range of 2S to 0.02S, preferably 0.5S to 0.03S. The surface may be a perfect mirror surface or may be cloudy due to thin streaks, but it is necessary that it is smooth as a whole and that no convex portion remains on the boundary surface of the cutting pitch. is there.

【0009】本発明において、光導電層および所望によ
って設けられる電荷注入阻止層は、アモルファスシリコ
ンを主体とする層からなり、グロー放電分解法、スパッ
タリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法等の
手段によって形成することができる。グロー放電分解法
の場合を例にとってその製造法を示すと、次のようにな
る。原料ガスとしては、ケイ素原子を含む主原料ガス
と、必要な添加物元素を含む原料ガスの混合ガスを用い
る。この場合、必要に応じて、この混合ガスにさらに水
素ガスあるいは不活性ガス等のキャリアガスを混合して
もよい。成膜条件は、周波数5GHz以下、反応器内圧
10-5〜10Torr(0.001〜1330Pa)、
放電電力10〜3000W、また、支持体温度は30〜
300℃である。膜厚は放電時間の調整により適宜設定
することができる。また、上記ケイ素原子を含む主原料
ガスとしては、シラン類、特にSiH4 および/または
Si2 6 が用いられる。
In the present invention, the photoconductive layer and the charge injection blocking layer optionally provided are layers mainly composed of amorphous silicon, and include means such as glow discharge decomposition method, sputtering method, ion plating method and vacuum deposition method. Can be formed by. The manufacturing method for the glow discharge decomposition method is as follows. As the raw material gas, a mixed gas of a main raw material gas containing silicon atoms and a raw material gas containing necessary additive elements is used. In this case, a carrier gas such as hydrogen gas or an inert gas may be further mixed with this mixed gas, if necessary. The film forming conditions are a frequency of 5 GHz or less, a reactor internal pressure of 10 −5 to 10 Torr (0.001 to 1330 Pa),
Discharge power 10-3000 W, and support temperature 30-
It is 300 ° C. The film thickness can be appropriately set by adjusting the discharge time. Silanes, especially SiH 4 and / or Si 2 H 6 are used as the main raw material gas containing silicon atoms.

【0010】光導電層は、水素およびハロゲン元素から
選ばれる少なくとも1種の元素を含有するアモルファス
シリコンを主体として形成される。膜厚は1〜10μm
の範囲が好ましい。膜厚が1μm以下の場合には、導電
性トナーの保持が不十分であり、強度的にも不十分であ
る。また、10μm以上の場合には、感光体表面の半球
状突起の大きさが10μm以上になるものが増加するた
め、導電性トナーからの電荷の注入やクリーニングブレ
ードによる磨耗が増加する。光導電層には、その他の元
素を何もドープしなくてもよいが、導電性を制御する不
純物元素として周期律表第III 族元素を含有させるのが
好ましい。第III 族元素を含む原料ガスとしては、典型
的にはジボラン(B2 6 )が用いられる。その添加量
は感光体の帯電極性、必要な分光感度によって決定さ
れ、0.01〜100ppmの範囲で用いられる。アモ
ルファスシリコンを主体とするこの光導電層には、帯電
性の向上、暗減衰の低減、感度の向上等の目的で、さら
に炭素、窒素、酸素等の元素を添加することが可能であ
る。また、この光導電層には、GeおよびSnの少なく
とも1種を含有していてもよい。本発明において、光導
電層は電荷発生層と電荷輸送層との二種類から構成され
ていてもよい。
The photoconductive layer is formed mainly of amorphous silicon containing at least one element selected from hydrogen and halogen elements. Film thickness is 1-10 μm
Is preferred. When the film thickness is 1 μm or less, holding of the conductive toner is insufficient and strength is also insufficient. If it is 10 μm or more, the size of the hemispherical projections on the surface of the photoconductor increases to 10 μm or more, so that the charge injection from the conductive toner and the abrasion by the cleaning blade increase. The photoconductive layer may not be doped with any other element, but it is preferable to contain a Group III element of the periodic table as an impurity element for controlling conductivity. Diborane (B 2 H 6 ) is typically used as the source gas containing a Group III element. The amount of addition is determined by the charge polarity of the photoconductor and the required spectral sensitivity, and is used in the range of 0.01 to 100 ppm. Elements such as carbon, nitrogen, and oxygen can be further added to the photoconductive layer mainly composed of amorphous silicon for the purpose of improving chargeability, reducing dark decay, and improving sensitivity. Further, this photoconductive layer may contain at least one of Ge and Sn. In the present invention, the photoconductive layer may be composed of two types, a charge generation layer and a charge transport layer.

【0011】帯電極性と反対の電荷の注入を阻止する電
荷注入阻止層は、周期律表第III 族元素または第V族元
素が添加されたアモルファスシリコンよりなる。添加物
として第III 族元素を用いるかあるいは第V族元素を用
いるかは、感光体の帯電極性によって決められる。層形
成に際して、第III 族元素を含む原料ガスとしては、典
型的にはジボランが、また、第V族元素を含む原料ガス
としては、典型的にはホスフィン(PH3 )またはアン
モニアが用いられる。電荷注入阻止層には、第III 族元
素または第V族元素に加えて、さらに炭素、窒素、酸素
およびハロゲン元素の少なくともいずれか1種の元素を
含有させてもよい。
The charge injection blocking layer for blocking the injection of charges opposite to the charging polarity is made of amorphous silicon to which a group III element or a group V element of the periodic table is added. Whether the group III element or the group V element is used as the additive is determined by the charging polarity of the photoconductor. Upon forming the layer, diborane is typically used as the source gas containing the Group III element, and phosphine (PH 3 ) or ammonia is typically used as the source gas containing the Group V element. The charge injection blocking layer may further contain at least one element selected from carbon, nitrogen, oxygen and halogen elements in addition to the group III element or the group V element.

【0012】さらにまた、電荷注入阻止層と導電性支持
体との間には、接着層等の補助層が設けられていてもよ
い。例えば、炭素、窒素、酸素等の元素の少なくとも1
種を含有するアモルファスシリコンまたはアモルファス
カーボンを用いることができる。
Further, an auxiliary layer such as an adhesive layer may be provided between the charge injection blocking layer and the conductive support. For example, at least one of the elements carbon, nitrogen, oxygen, etc.
Amorphous silicon or amorphous carbon containing seeds can be used.

【0013】表面層は、炭素、窒素および酸素から選ば
れる少なくとも1種の元素を含有するアモルファスシリ
コンよりなる層であるか、50原子%以下の水素および
ハロゲン元素から選ばれる少なくとも1種の元素を含有
するアモルファスカーボンよりなる層であるか、あるい
はそれらが積層されて形成されるものであってよい。表
面層には、さらに周期律表第III 族元素および第V族元
素から選ばれる少なくとも1種の元素を含有していても
よく、これらの元素としては上記電荷注入阻止層と同様
のものが用いられる。また、表面層は、純水の水滴によ
る接触角が60°以上であることが好ましく、特に80
°以上であることがより好ましい。さらに、表面硬度が
ビッカース硬度500kg/mm2 以上であることが好
ましく、より好ましくは1000kg/mm2 以上であ
る。
The surface layer is a layer made of amorphous silicon containing at least one element selected from carbon, nitrogen and oxygen, or contains at least one element selected from hydrogen and halogen elements of 50 atomic% or less. It may be a layer made of contained amorphous carbon, or may be formed by stacking them. The surface layer may further contain at least one element selected from Group III elements and Group V elements of the periodic table, and those elements similar to those in the charge injection blocking layer are used. To be Further, the surface layer preferably has a contact angle of 60 ° or more with water droplets of pure water, and particularly 80
It is more preferably at least °. Further, the surface hardness is preferably Vickers hardness of 500 kg / mm 2 or more, more preferably 1000 kg / mm 2 or more.

【0014】表面層が炭素、窒素および酸素から選ばれ
る少なくとも1種の元素を含有するアモルファスシリコ
ンよりなる層の場合には、表面層は、プラズマCVD
法、蒸着法、イオンプレーティング法等によって形成す
ることができ、材料としてSiCx 、SiNx 、SiO
x 等が用いられる。具体的には、プラズマCVD法の場
合には、ケイ素原子を含む主原料ガスとして、シラン
類、特にSiH4 および/またはSi2 6 が用いら
れ、また、炭素、窒素または酸素を含有させるための原
料ガスとして、例えば次のようなものが使用できる。す
なわち、炭素を含む原料ガスとしては、メタン、エタ
ン、プロパン、アセチレンのような炭化水素、CF4
2 4 のようなハロゲン化炭化水素を用いることがで
き、窒素を含む原料ガスとしては、N2 ガス、NH3
2 4 、HN3 等の水素化窒素化合物のガスを用いる
ことができ、さらに、酸素を含む原料ガスとしては、O
2 、N2 O、CO、CO2 等を用いることができる。
When the surface layer is a layer made of amorphous silicon containing at least one element selected from carbon, nitrogen and oxygen, the surface layer is plasma CVD.
Method, vapor deposition method, ion plating method, etc., and the material is SiC x , SiN x , SiO
x or the like is used. Specifically, in the case of the plasma CVD method, silanes, particularly SiH 4 and / or Si 2 H 6 are used as the main raw material gas containing silicon atoms, and carbon, nitrogen or oxygen is contained. As the raw material gas of, for example, the following can be used. That is, as the source gas containing carbon, hydrocarbons such as methane, ethane, propane and acetylene, CF 4 ,
A halogenated hydrocarbon such as C 2 F 4 can be used, and as the source gas containing nitrogen, N 2 gas, NH 3 ,
Gases of nitrogen hydride compounds such as N 2 H 4 and HN 3 can be used, and further, as the source gas containing oxygen, O 2 can be used.
2 , N 2 O, CO, CO 2 and the like can be used.

【0015】また、表面層が水素およびハロゲン元素か
ら選ばれる少なくとも1種の元素を含有するアモルファ
スカーボンよりなる層の場合には、層中に含まれる多量
の水素またはハロゲン元素は、層中に鎖状の−CH2
結合、−CF2 −結合または−CH3 結合を増加させ、
結果として層の硬度を損なうことになるため、層中の水
素またはハロゲン元素の量は50原子%以下であること
が必要である。この場合も表面層は、プラズマCVD
法、蒸着法、イオンプレーティング法等によって形成す
ることができるが、プラズマCVD法が特に好ましい。
Further, when the surface layer is a layer made of amorphous carbon containing at least one element selected from hydrogen and halogen elements, a large amount of hydrogen or halogen element contained in the layer is chained in the layer. -CH 2-
Bond, —CF 2 — bond or —CH 3 bond is increased,
As a result, the hardness of the layer is impaired, so that the amount of hydrogen or halogen elements in the layer must be 50 atomic% or less. Also in this case, the surface layer is formed by plasma CVD.
Although it can be formed by a method, a vapor deposition method, an ion plating method or the like, a plasma CVD method is particularly preferable.

【0016】アモルファスカーボンを形成する原料とし
ては次のようなものが挙げられる。主体となる炭素の原
料としては、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペン
タン等の一般式Cn 2n+2で示されるパラフィン系炭化
水素、エチレン、プロピレン、ブチレン、ペンテン等の
一般式Cn 2nで示されるオレフィン系炭化水素、アセ
チレン、アリレン、ブチン等の一般式Cn 2n-2で示さ
れるアセチレン系炭化水素などの脂肪族炭化水素、シク
ロプロパン、シクロブタン、シクロペンタン、シクロヘ
キサン、シクロヘプタン、シクロブテン、シクロペンテ
ン、シクロヘキセン等の脂環式炭化水素、ベンゼン、ト
ルエン、キシレン、ナフタレン、アントラセン等の芳香
族炭化水素、あるいはそれらの置換体が挙げられる。こ
れらの炭化水素化合物は、枝分れ構造であってもよく、
また、ハロゲン置換体であってもよい。例えば、四塩化
炭素、クロロホルム、四フッ化炭素、トリフルオロメタ
ン、クロロトリフルオロメタン、ジクロロジフルオロメ
タン、ブロモトリフルオロメタン、パーフルオロエタ
ン、パーフルオロプロパン等のハロゲン化炭化水素を用
いることができる。以上列記した炭素の原料は、常温で
ガス状であっても、固体状あるいは液状であってもよ
く、固体状あるいは液状である場合には、気化して用い
られる。
The following may be mentioned as raw materials for forming amorphous carbon. As the carbon raw material comprising mainly methane, ethane, propane, butane, paraffinic hydrocarbon represented by general formula C n H 2n + 2 of pentane, ethylene, propylene, butylene, general formula C n H of pentene Aliphatic hydrocarbons such as olefinic hydrocarbons represented by 2n , acetylene, arylene, butyne and the like, acetylene hydrocarbons represented by general formula C n H 2n-2 , cyclopropane, cyclobutane, cyclopentane, cyclohexane, cycloheptane Alicyclic hydrocarbons such as cyclobutene, cyclopentene, and cyclohexene; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, naphthalene, and anthracene; and their substitution products. These hydrocarbon compounds may have a branched structure,
Further, it may be a halogen substitution product. For example, halogenated hydrocarbons such as carbon tetrachloride, chloroform, carbon tetrafluoride, trifluoromethane, chlorotrifluoromethane, dichlorodifluoromethane, bromotrifluoromethane, perfluoroethane and perfluoropropane can be used. The carbon raw materials listed above may be gaseous, solid or liquid at room temperature, and when they are solid or liquid, they are vaporized and used.

【0017】アモルファスカーボンよりなる表面層をプ
ラズマCVD法によって形成する場合、上記原料から選
択された1種以上のガス状原料を減圧容器内に導入し、
グロー放電を生起させればよい。その場合必要に応じ
て、これらのガス状原料とは異なる他のガス状物質を併
用してもよい。例えば、水素、ヘリウム、アルゴン、ネ
オン等のキャリアガスを併用することができる。なお、
プラズマCVD法によるグロー放電分解は、直流および
交流放電のいずれを採用してもよく、そして、成膜条件
としては、通常、周波数5GHz以下、好適には5〜2
0MHz、放電時の真空度0.1〜5Torr(13.
3〜667Pa)、支持体加熱温度100〜300℃で
ある。膜厚は、放電時間の調整により適宜設定すること
ができるが、0.01〜10μm、好ましくは0.2〜
5μmである。
When the surface layer made of amorphous carbon is formed by the plasma CVD method, one or more gaseous raw materials selected from the above raw materials are introduced into a decompression container,
Glow discharge may be generated. In that case, if necessary, other gaseous substances different from these gaseous raw materials may be used in combination. For example, a carrier gas such as hydrogen, helium, argon or neon can be used together. In addition,
The glow discharge decomposition by the plasma CVD method may employ either direct current or alternating current discharge, and the film forming condition is usually a frequency of 5 GHz or less, preferably 5 to 2
0 MHz, vacuum degree during discharge 0.1 to 5 Torr (13.
3 to 667 Pa), and the support heating temperature is 100 to 300 ° C. The film thickness can be appropriately set by adjusting the discharge time, but is 0.01 to 10 μm, preferably 0.2 to
It is 5 μm.

【0018】本発明において、表面層は、上記したアモ
ルファスシリコンよりなる層およびアモルファスカーボ
ンよりなる層の少なくともいずれかが1層以上積層され
て形成されていてもよい。図4および図5はその例を示
すものであって、表面保護層9と中間層6〜8との積層
構造を有する。なお、図5に示すように中間層が複数層
形成されている場合においては、各中間層は原子比およ
び膜厚が次のような範囲にあるのが好ましい。すなわ
ち、第1の中間層6は、炭素、窒素または酸素原子のケ
イ素原子に対する原子比が0.1〜1.0の範囲にあ
り、膜厚が0.01〜0.1μmの範囲にあり、また、
第2の中間層7は、炭素、窒素または酸素原子のケイ素
原子に対する原子比が0.1〜1.0の範囲にあり、膜
厚が0.05〜1μmの範囲にあり、さらに第3の中間
層8は、炭素、窒素または酸素原子濃度が第2の中間層
7におけるものよりも高く、ケイ素原子に対する原子比
が0.5〜1.3の範囲にあり、膜厚が0.01〜0.
1μmの範囲にあるのが好ましい。
In the present invention, the surface layer may be formed by laminating at least one of the above-mentioned layer made of amorphous silicon and the layer made of amorphous carbon. 4 and 5 show such an example, which has a laminated structure of the surface protective layer 9 and the intermediate layers 6 to 8. When a plurality of intermediate layers are formed as shown in FIG. 5, each intermediate layer preferably has an atomic ratio and a film thickness within the following ranges. That is, the first intermediate layer 6 has an atomic ratio of carbon, nitrogen or oxygen atoms to silicon atoms of 0.1 to 1.0 and a film thickness of 0.01 to 0.1 μm. Also,
The second intermediate layer 7 has an atomic ratio of carbon, nitrogen or oxygen atoms to silicon atoms in the range of 0.1 to 1.0 and a film thickness in the range of 0.05 to 1 μm. The intermediate layer 8 has a carbon, nitrogen, or oxygen atom concentration higher than that in the second intermediate layer 7, has an atomic ratio to silicon atoms in the range of 0.5 to 1.3, and has a film thickness of 0.01 to. 0.
It is preferably in the range of 1 μm.

【0019】本発明において、導電性トナーは、体積抵
抗率が1010Ωcm以下のものが使用できる。導電性ト
ナーは、一成分トナーであってもよく、またカプセル型
のトナーであってもよい。導電性はカーボンブラック、
SnO2 InSnO2 等の導電性粉末を外添することで
得ることができる。これらのトナーは磁気ブラシ現像法
により現像することができる。また、感光体と現像器の
間に電圧を印加してもよい。
In the present invention, the conductive toner having a volume resistivity of 10 10 Ωcm or less can be used. The conductive toner may be a one-component toner or a capsule type toner. Conductivity is carbon black,
It can be obtained by externally adding a conductive powder such as SnO 2 InSnO 2 . These toners can be developed by a magnetic brush developing method. Further, a voltage may be applied between the photoconductor and the developing device.

【0020】次に、本発明の電子写真法について説明す
る。図6において、前記アモルファスシリコンを主体と
する光導電層を有する感光体ドラム10の表面を帯電器
11により帯電させた後、光学系を通した原稿像、レー
ザー、LED等の画像入力装置12からの光によって露
光し、静電潜像を形成させる。形成された静電潜像は、
現像器13によって、トナーを用いて可視化され、トナ
ー像に変換される。この場合、現像は磁気ブラシ法を採
用することができる。形成されたトナー像は、圧力転写
器14あるいは静電転写器によって、記録媒体としての
用紙15に転写される。転写後の感光体表面に残留した
トナーは、ブレードを用いたクリーナー機構16により
除去され、そして、感光体表面に僅かに残った電荷は除
電光17により消去される。クリーナー機構16に用い
られるブレードとしては、種々の金属よりなるものを使
用することができるが、中でも、アルミニウム、鉄、ニ
ッケル、ステンレス鋼、タングステン、モリブデン、チ
タン等よりなるものが好ましく使用できる。転写された
トナー像は定着装置18によって定着される。また、圧
力転写を行う場合、圧力を高めて転写および定着を同時
に行うこともできる。図7は、その場合に使用するため
の電子写真装置であり、符号10〜13および15〜1
7は図6におけるものと同じである。図7において、感
光体ドラム10の内部に加熱装置19が配設されてお
り、定着ロール20を圧接させることによって、用紙1
5上にトナー像を転写と同時に定着を行う。
Next, the electrophotographic method of the present invention will be described. In FIG. 6, the surface of the photosensitive drum 10 having a photoconductive layer mainly composed of amorphous silicon is charged by a charger 11, and then an original image passed through an optical system, an image input device 12 such as a laser or an LED. Of light to form an electrostatic latent image. The formed electrostatic latent image is
The developing device 13 visualizes the toner and converts it into a toner image. In this case, a magnetic brush method can be used for development. The formed toner image is transferred to the paper 15 as a recording medium by the pressure transfer device 14 or the electrostatic transfer device. The toner remaining on the surface of the photoconductor after the transfer is removed by the cleaner mechanism 16 using a blade, and the charge slightly left on the surface of the photoconductor is erased by the discharging light 17. As the blade used in the cleaner mechanism 16, blades made of various metals can be used, but among them, blades made of aluminum, iron, nickel, stainless steel, tungsten, molybdenum, titanium or the like can be preferably used. The transferred toner image is fixed by the fixing device 18. When pressure transfer is performed, the pressure can be increased to transfer and fix at the same time. FIG. 7 shows an electrophotographic apparatus for use in that case, which is designated by reference numerals 10 to 13 and 15 to 1.
7 is the same as in FIG. In FIG. 7, a heating device 19 is arranged inside the photoconductor drum 10, and the fixing roller 20 is pressed to contact the paper 1.
The toner image is transferred onto the sheet 5 and fixed at the same time.

【0021】[0021]

【実施例】以下に、実施例および比較例を示して、本発
明をさらに詳細に説明する。 実施例1 支持体として、厚さ15mmのアルミニウム製円筒状基
体を使用し、次のようにしてアモルファスシリコン感光
体を作製した。反応器内を十分に排気し、次いで、シラ
ンおよびジボランの混合ガスを導入してグロー放電分解
することにより、上記円筒状基体上に膜厚2μmの電荷
注入阻止層を形成した。その際の成膜条件は次のとおり
であった。 100%シランガス流量:180cm3 /min 200ppm水素希釈ジボランガス流量:180cm3
/min 反応器内圧:1.0Torr 放電電力:200W 放電時間:30min 放電周波数:13.56MHz 支持体温度:250℃ なお、以下の各層の成膜条件における放電周波数および
支持体温度は上記の値に固定した。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail below with reference to Examples and Comparative Examples. Example 1 An amorphous silicon photoconductor was manufactured as follows by using a 15 mm-thick aluminum cylindrical substrate as a support. The inside of the reactor was sufficiently evacuated, and then a mixed gas of silane and diborane was introduced to perform glow discharge decomposition to form a charge injection blocking layer having a film thickness of 2 μm on the cylindrical substrate. The film forming conditions at that time were as follows. 100% Silane gas flow rate: 180 cm 3 / min 200 ppm Hydrogen diluted diborane gas flow rate: 180 cm 3
/ Min Reactor internal pressure: 1.0 Torr Discharge power: 200 W Discharge time: 30 min Discharge frequency: 13.56 MHz Support temperature: 250 ° C. In addition, the discharge frequency and the support temperature under the film forming conditions of each layer below are the above values. Fixed

【0022】電荷注入阻止層の形成後、反応器内を十分
に排気し、シラン、水素およびジボランの混合ガスを導
入してグロー放電分解することにより、電荷注入阻止層
上に膜厚5μmの光導電層を形成した。その際の成膜条
件は次のとおりであった。 100%シランガス流量:180cm3 /min 100%水素ガス流量:162cm3 /min 20ppm水素希釈ジボランガス流量:18cm3 /m
in 反応器内圧:1.0Torr 放電電力:300W 放電時間:50min
After the formation of the charge injection blocking layer, the inside of the reactor was sufficiently evacuated, and a mixed gas of silane, hydrogen and diborane was introduced to decompose by glow discharge. A conductive layer was formed. The film forming conditions at that time were as follows. 100% Silane gas flow rate: 180 cm 3 / min 100% Hydrogen gas flow rate: 162 cm 3 / min 20 ppm Hydrogen diluted diborane gas flow rate: 18 cm 3 / m
in Reactor internal pressure: 1.0 Torr Discharge power: 300 W Discharge time: 50 min

【0023】光導電層の形成後、反応器内を十分に排気
し、シラン、水素およびアンモニアの混合ガスを導入し
てグロー放電分解することにより、光導電層上に膜厚
0.15μmの第1の中間層を形成した。その際の成膜
条件は次のとおりであった。 100%シランガス流量:20cm3 /min 100%水素ガス流量:180cm3 /min 100%アンモニアガス流量:30cm3 /min 反応器内圧:0.5Torr 放電電力:200W 放電時間:5min
After the formation of the photoconductive layer, the inside of the reactor was sufficiently evacuated, and a mixed gas of silane, hydrogen and ammonia was introduced to decompose by glow discharge, whereby a film having a thickness of 0.15 μm was formed on the photoconductive layer. An intermediate layer of 1 was formed. The film forming conditions at that time were as follows. 100% silane gas flow rate: 20 cm 3 / min 100% hydrogen gas flow rate: 180 cm 3 / min 100% ammonia gas flow rate: 30 cm 3 / min Reactor internal pressure: 0.5 Torr Discharge power: 200 W Discharge time: 5 min

【0024】第1の中間層の形成後、反応器内を十分に
排気し、シラン、水素およびアンモニアの混合ガスを導
入してグロー放電分解することにより、第1の中間層上
に膜厚0.25μmの第2の中間層を形成した。その際
の成膜条件は次のとおりであった。 100%シランガス流量:24cm3 /min 100%水素ガス流量:180cm3 /min 100%アンモニアガス流量:36cm3 /min 反応器内圧:0.5Torr 放電電力:200W 放電時間:10min
After the formation of the first intermediate layer, the inside of the reactor is sufficiently evacuated, and a mixed gas of silane, hydrogen and ammonia is introduced to decompose by glow discharge, whereby a film thickness of 0 is formed on the first intermediate layer. A second intermediate layer of 0.25 μm was formed. The film forming conditions at that time were as follows. 100% silane gas flow rate: 24 cm 3 / min 100% hydrogen gas flow rate: 180 cm 3 / min 100% ammonia gas flow rate: 36 cm 3 / min Reactor internal pressure: 0.5 Torr Discharge power: 200 W Discharge time: 10 min

【0025】第2の中間層の形成後、反応器内を十分に
排気し、シラン、水素およびアンモニアの混合ガスを導
入してグロー放電分解することにより、第2の中間層上
に膜厚0.1μmの表面保護層を形成した。その際の成
膜条件は次のとおりであった。 100%シランガス流量:15cm3 /min 100%水素ガス流量:180cm3 /min 100%アンモニアガス流量:43cm3 /min 反応器内圧:0.5Torr 放電電力:200W 放電時間:5min 以上のようにして、支持体上に電荷注入阻止層、光導電
層および合計厚さ0.5μmの3層からなるSiNx
面層を順次形成したアモルファスシリコン感光体を作製
した。
After the formation of the second intermediate layer, the inside of the reactor is sufficiently evacuated, and a mixed gas of silane, hydrogen and ammonia is introduced to cause glow discharge decomposition, whereby a film thickness of 0 is formed on the second intermediate layer. A surface protection layer having a thickness of 0.1 μm was formed. The film forming conditions at that time were as follows. 100% silane gas flow rate: 15 cm 3 / min 100% hydrogen gas flow rate: 180 cm 3 / min 100% ammonia gas flow rate: 43 cm 3 / min Reactor internal pressure: 0.5 Torr Discharge power: 200 W Discharge time: 5 min An amorphous silicon photosensitive member was produced in which a charge injection blocking layer, a photoconductive layer, and a SiN x surface layer consisting of three layers having a total thickness of 0.5 μm were sequentially formed on a support.

【0026】この電子写真感光体を図6に示される電子
写真装置に組み込み、画像試験を行った。その際、クリ
ーナー装置にはポリウレタン樹脂製ブレードを用いた。
また、現像剤として体積抵抗率が105 Ωcmの導電性
一成分トナーを使用し、磁気ブラシ現像を行った。感光
体の帯電電位は120Vであり、光露光後の電位は+2
0Vであった。現像器に100Vの電圧を印加すること
によって画像濃度1.5を得た。得られた画像は鮮明で
あり、しかもカブリは全く認められなかった。
An image test was conducted by incorporating this electrophotographic photosensitive member into the electrophotographic apparatus shown in FIG. At that time, a polyurethane resin blade was used for the cleaner device.
Further, magnetic brush development was carried out using a conductive one-component toner having a volume resistivity of 10 5 Ωcm as a developer. The charging potential of the photoconductor is 120 V, and the potential after light exposure is +2.
It was 0V. An image density of 1.5 was obtained by applying a voltage of 100 V to the developing device. The image obtained was clear and no fog was observed.

【0027】実施例2 支持体として、ビッカース硬度800で厚さ100μm
の硬質クロム層が表面に形成され、表面の粗さがRs
0.03μmになるように研磨された厚さ4mmのオー
ステナイト系ステンレス鋼(SUS403)製円筒状基
体を用い、第2の中間層上に水素含有アモルファスカー
ボンよりなるビッカース硬度2500の表面保護層を形
成した以外は、実施例1と同様にして電子写真感光体を
作製した。なお、表面保護層の成膜条件は次のとおりで
あった。 100%C2 6 ガス流量:50cm3 /min 反応器内圧:0.5Torr 放電電力:500W 放電時間:10min 放電周波数:13.56MHz 支持体温度:250℃ 電極バイアス:200V
Example 2 As a support, a Vickers hardness of 800 and a thickness of 100 μm
Hard chrome layer is formed on the surface, and the surface roughness is Rs
A surface protective layer made of hydrogen-containing amorphous carbon and having a Vickers hardness of 2500 is formed on the second intermediate layer by using a cylindrical base made of austenitic stainless steel (SUS403) having a thickness of 4 mm and polished to 0.03 μm. An electrophotographic photosensitive member was produced in the same manner as in Example 1 except that the above was carried out. The conditions for forming the surface protective layer were as follows. 100% C 2 H 6 gas flow rate: 50 cm 3 / min Reactor internal pressure: 0.5 Torr Discharge power: 500 W Discharge time: 10 min Discharge frequency: 13.56 MHz Support temperature: 250 ° C. Electrode bias: 200 V

【0028】次いで、下記のようにしてカプセルトナー
を調製した。 (コア材) ラウリルメタクリレート重合体 40部 (LMA;Mw:1×105 、三洋化成社製) 磁性粉(EPT−100、戸田工業社製) 60部 (外殻材) ポリウレア樹脂(ポリメチレンポリフェニルポリイソシ
アネートとジエチレントリアミンの界面重合体) 上記コア材にポリメチレンポリフェニルポリイソシアネ
ート(ダウケミカル社製)を添加して乳化造粒し、ジエ
チレントリアミン水溶液を添加し、界面重合した後、ス
プレードライヤーで乾燥してカプセル粒子を得た。得ら
れたカプセル粒子にカーボンブラック(バルカンXC7
2、キャボット社製)2重量%およびステアリン酸亜鉛
0.5重量%を添加し、混合して導電化処理を施した。
このようにして粒径15μmのカプセルトナーを調製し
た。
Then, a capsule toner was prepared as follows. (Core material) Lauryl methacrylate polymer 40 parts (LMA; Mw: 1 × 10 5 , manufactured by Sanyo Kasei Co.) Magnetic powder (EPT-100, manufactured by Toda Kogyo Co., Ltd.) 60 parts (Outer shell material) Polyurea resin (polymethylene poly) Interfacial polymer of phenyl polyisocyanate and diethylene triamine) Polymethylene polyphenyl polyisocyanate (manufactured by Dow Chemical Co.) is added to the above core material for emulsion granulation, an aqueous diethylene triamine solution is added, and interfacial polymerization is performed, followed by drying with a spray dryer. To obtain capsule particles. Carbon black (Vulcan XC7
2 made by Cabot Co., Ltd.) and 0.5% by weight of zinc stearate were added and mixed to conduct a conductive treatment.
Thus, a capsule toner having a particle size of 15 μm was prepared.

【0029】上記電子写真感光体およびカプセルトナー
を使用し、図7に示される電子写真装置を用いて画像試
験を行った。画像形成は、常法により、帯電、露光およ
び現像を行い、次いで、転写定着を行った。すなわち、
感光体の帯電電位は100Vであった。また、ポリビニ
ルアセタール製の転写ロールを円筒状感光体に対して2
00kg/cm2 の圧力で押圧し、その間に転写用紙を
挿入して転写と定着を同時に行った。得られた画像の定
着性は熱定着と同等であり、感光体表面にはトナーの残
留はなく、転写率は99.5%であった。この画像試験
において、100万枚の画像作成後にも、感光体表面に
傷の発生と黒点、白点の発生は全く認められなかった。
An image test was conducted using the electrophotographic photoreceptor and the capsule toner described above, using the electrophotographic apparatus shown in FIG. For image formation, charging, exposure and development were carried out by a conventional method, and then transfer fixing was carried out. That is,
The charging potential of the photoconductor was 100V. In addition, a transfer roll made of polyvinyl acetal is used for the cylindrical photoreceptor.
It was pressed at a pressure of 00 kg / cm 2 , and a transfer paper was inserted between them to perform transfer and fixing at the same time. The fixability of the obtained image was equivalent to that of heat fixing, no toner remained on the surface of the photoconductor, and the transfer rate was 99.5%. In this image test, no scratches and no black or white spots were found on the surface of the photoconductor even after the production of 1 million images.

【0030】実施例3 実施例2と同じ支持体を用い、下記のSiNX 含有の電
荷注入阻止層、光導電層およびSiNX 含有の表面層か
らなる負帯電型アモルファスシリコン感光体を作製し
た。電荷注入阻止層の膜厚は0.2μmであり、成膜条
件は次のとおりであった。 100%シランガス流量:40cm3 /min 100%水素ガス流量:180cm3 /min 100%アンモニアガス流量:20cm3 /min 反応器内圧:0.5Torr 放電電力:200W 放電時間:5min 光導電層の膜厚は5μmであり、成膜条件は次のとおり
であった。 100%シランガス流量:180cm3 /min 100%水素ガス流量:165cm3 /min 10ppm水素希釈ジボランガス:15cm3 /min 反応器内圧:1Torr 放電電力:300W 放電時間:50min 表面層の成膜条件は、シランガスとアンモニアガスの流
量をそれぞれ10cm3 /minと50cm3 /min
にした以外は、電荷注入阻止層の条件と同じであった。
この感光体を使用し、実施例2と同じ電子写真装置を用
いて画像試験を行った。帯電電位は−150Vであり、
現像器に−120Vの電圧を印加して濃度1.5の画像
を得た。得られた画像にはカブリもなく、定着性も熱定
着と同等であった。
Example 3 Using the same support as in Example 2, a negative charge type amorphous silicon photosensitive member comprising the following SiN x containing charge injection blocking layer, photoconductive layer and SiN x containing surface layer was prepared. The film thickness of the charge injection blocking layer was 0.2 μm, and the film forming conditions were as follows. 100% silane gas flow rate: 40 cm 3 / min 100% hydrogen gas flow rate: 180 cm 3 / min 100% ammonia gas flow rate: 20 cm 3 / min Reactor internal pressure: 0.5 Torr Discharge power: 200 W Discharge time: 5 min Thickness of photoconductive layer Was 5 μm, and the film forming conditions were as follows. 100% Silane gas flow rate: 180 cm 3 / min 100% Hydrogen gas flow rate: 165 cm 3 / min 10 ppm Hydrogen diluted diborane gas: 15 cm 3 / min Reactor internal pressure: 1 Torr Discharge power: 300 W Discharge time: 50 min The film formation conditions for the surface layer are silane gas the flow rate of ammonia gas respectively 10cm 3 / min and 50cm 3 / min
The conditions were the same as those for the charge injection blocking layer except that
Using this photoreceptor, an image test was conducted using the same electrophotographic apparatus as in Example 2. The charging potential is -150V,
A voltage of -120 V was applied to the developing device to obtain an image having a density of 1.5. The image obtained had no fog and the fixability was similar to that of heat fixing.

【0031】比較例 光導電層の膜厚を20μmとした以外は実施例2と同じ
方法で作製したアモルファスシリコン感光体を使用し、
実施例2と同様にして画像試験を行った。その結果、画
像上に膜の突起に当たる部分で黒点が発生した。その数
は走行と共に増加し、10万枚の走行後の黒点数は、
0.5mm以上が3個、0.2〜0.5mmが10個、
0.2mm以下が30個であった。
Comparative Example An amorphous silicon photoconductor manufactured by the same method as in Example 2 was used except that the film thickness of the photoconductive layer was 20 μm.
An image test was performed in the same manner as in Example 2. As a result, black spots were generated on the image at the portions corresponding to the protrusions of the film. The number increases with running, and the number of sunspots after running 100,000 sheets is
3 for 0.5 mm or more, 10 for 0.2 to 0.5 mm,
30 pieces were 0.2 mm or less.

【0032】[0032]

【発明の効果】本発明の電子写真法によれば、電子写真
感光体における光導電層の膜厚を10μm以下に薄膜化
したので、膜欠陥による画像欠陥の発生を防止すること
ができる。したがって、非常に長期間にわたり、優れた
画質のコピー画像を形成することが可能である。また、
本発明における電子写真感光体と導電性トナーを用いる
電子写真法によれば、低電位現像を確保したので、電子
写真装置の小型化、デジタル化に適しており、省エネル
ギー、低コストかつ高信頼性の画像出力装置に適用でき
る。
According to the electrophotographic method of the present invention, since the thickness of the photoconductive layer in the electrophotographic photosensitive member is reduced to 10 μm or less, the occurrence of image defects due to film defects can be prevented. Therefore, it is possible to form a copy image with excellent image quality over a very long period of time. Also,
According to the electrophotographic method using the electrophotographic photosensitive member and the conductive toner in the present invention, since low potential development is ensured, it is suitable for downsizing and digitalization of the electrophotographic apparatus, energy saving, low cost and high reliability. Can be applied to the image output device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の電子写真感光体の模式的断面図を示
す。
FIG. 1 shows a schematic sectional view of an electrophotographic photosensitive member of the present invention.

【図2】 本発明の電子写真感光体の他の模式的断面図
を示す。
FIG. 2 shows another schematic cross-sectional view of the electrophotographic photosensitive member of the present invention.

【図3】 本発明の電子写真感光体の他の模式的断面図
を示す。
FIG. 3 shows another schematic cross-sectional view of the electrophotographic photosensitive member of the present invention.

【図4】 本発明の電子写真感光体の他の模式的断面図
を示す。
FIG. 4 shows another schematic cross-sectional view of the electrophotographic photosensitive member of the present invention.

【図5】 本発明の電子写真感光体の他の模式的断面図
を示す。
FIG. 5 shows another schematic cross-sectional view of the electrophotographic photosensitive member of the present invention.

【図6】 本発明を実施するための電子写真装置の概略
断面図を示す。
FIG. 6 shows a schematic sectional view of an electrophotographic apparatus for carrying out the present invention.

【図7】 本発明を実施するための電子写真装置の他の
概略断面図を示す。
FIG. 7 shows another schematic sectional view of an electrophotographic apparatus for carrying out the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…導電性支持体、2…光導電層、3…表面層、4…電
荷注入阻止層、5…補助層、6〜8…中間層、9…表面
保護層、10…感光体ドラム、11…帯電器、12…画
像入力装置、13…現像器、14…圧力転写器、15…
用紙、16…クリーナー機構、17…除電光、18…定
着装置、19…加熱装置、20…定着ロール。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Conductive support, 2 ... Photoconductive layer, 3 ... Surface layer, 4 ... Charge injection blocking layer, 5 ... Auxiliary layer, 6-8 ... Intermediate layer, 9 ... Surface protective layer, 10 ... Photosensitive drum, 11 ... charger, 12 ... image input device, 13 ... developing device, 14 ... pressure transfer device, 15 ...
Paper, 16 ... Cleaner mechanism, 17 ... Static elimination light, 18 ... Fixing device, 19 ... Heating device, 20 ... Fixing roll.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03G 15/24 6830−2H ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI technical display location G03G 15/24 6830-2H

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも導電性支持体と光導電層とを
積層状に設けた電子写真感光体における光導電層が水素
およびハロゲン元素から選ばれる少なくとも1種の元素
を含み、必要に応じて導電性を制御する不純物元素を含
むアモルファスシリコンを主成分とし、該光導電層の膜
厚が10μm以下であり、かつ現像剤として導電性トナ
ーを用いることを特徴とする電子写真法。
1. A photoconductive layer in an electrophotographic photosensitive member, in which at least a conductive support and a photoconductive layer are provided in a laminated form, contains at least one element selected from hydrogen and halogen elements, and if necessary, conductivity. An electrophotographic method, characterized in that amorphous silicon containing an impurity element for controlling properties is used as a main component, the photoconductive layer has a thickness of 10 μm or less, and a conductive toner is used as a developer.
【請求項2】 電子写真感光体上の現像像の記録媒体へ
の転写を圧力で行う請求項1記載の電子写真法。
2. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the transfer of the developed image on the electrophotographic photosensitive member to the recording medium is performed by pressure.
【請求項3】 現像像の記録媒体への転写と定着を同時
に行う請求項1記載の電子写真法。
3. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the development image is transferred onto the recording medium and fixed at the same time.
【請求項4】 導電性支持体と光導電層の間に帯電極性
と反対の電荷の注入を阻止する電荷注入阻止層を設けた
電子写真感光体を用いる請求項1〜3のいずれかに記載
の電子写真法。
4. The electrophotographic photosensitive member according to claim 1, wherein an electrophotographic photoreceptor having a charge injection blocking layer for blocking injection of charges opposite to the charging polarity is provided between the conductive support and the photoconductive layer. Electrophotography.
【請求項5】 電荷注入阻止層が周期律表第III 族元素
または第V族元素が添加されたアモルファスシリコンよ
りなる電子写真感光体を用いる請求項4記載の電子写真
法。
5. The electrophotographic method according to claim 4, wherein the charge injection blocking layer is an electrophotographic photosensitive member made of amorphous silicon to which a group III element or a group V element of the periodic table is added.
【請求項6】 光導電層上に炭素、窒素および酸素から
選ばれる少なくとも1種の元素を含むアモルファスシリ
コンまたは50原子%以下の水素およびハロゲン元素か
ら選ばれる少なくとも1種の元素を含むアモルファスカ
ーボンからなる表面層を設けた電子写真感光体を用いる
請求項1〜5のいずれかに記載の電子写真法。
6. Amorphous silicon containing at least one element selected from carbon, nitrogen and oxygen or amorphous carbon containing at least one element selected from hydrogen and halogen elements at 50 atomic% or less on the photoconductive layer. The electrophotographic method according to any one of claims 1 to 5, wherein an electrophotographic photosensitive member provided with a surface layer is formed.
【請求項7】 クリーニングに金属ブレードを用いる請
求項1〜6のいずれかに記載の電子写真法。
7. The electrophotographic method according to claim 1, wherein a metal blade is used for cleaning.
【請求項8】 帯電方法として接触帯電を行う請求項1
〜7のいずれかに記載の電子写真法。
8. The contact charging is performed as a charging method.
The electrophotographic method according to any one of 1 to 7.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS61163350A (en) * 1985-01-08 1986-07-24 オセ‐ネーデルランド・ベー・ヴエー Formation of electrophotographic type visible image
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