JPH0685353A - レーザ発振器の冷却装置 - Google Patents
レーザ発振器の冷却装置Info
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- JPH0685353A JPH0685353A JP23698292A JP23698292A JPH0685353A JP H0685353 A JPH0685353 A JP H0685353A JP 23698292 A JP23698292 A JP 23698292A JP 23698292 A JP23698292 A JP 23698292A JP H0685353 A JPH0685353 A JP H0685353A
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- Japan
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- cooling liquid
- cooling
- tank
- coolant
- bellows
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ発振器を冷却する冷媒の気泡混入を防
止してレーザ出力の低下を防止し、冷媒の熱膨張を吸収
すると共に冷却効果の大きい冷却方法を得る。 【構成】 外筒がベローズ22の冷却液タンク8の内部
にベローズ形状の冷却液ガイド23を設け、上記ベロー
ズ22の側面には冷却ファン15を位置させている。ま
た、上記冷却液タンク8には第1,第2および第3の配
管を用いてフラッシュランプ1,YAGロッド3および
集光筒4を内蔵したキャビティ5とポンプ17に結合し
ている。
止してレーザ出力の低下を防止し、冷媒の熱膨張を吸収
すると共に冷却効果の大きい冷却方法を得る。 【構成】 外筒がベローズ22の冷却液タンク8の内部
にベローズ形状の冷却液ガイド23を設け、上記ベロー
ズ22の側面には冷却ファン15を位置させている。ま
た、上記冷却液タンク8には第1,第2および第3の配
管を用いてフラッシュランプ1,YAGロッド3および
集光筒4を内蔵したキャビティ5とポンプ17に結合し
ている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光を目標物に照射
し、目標物迄の距離の測定や目標物を追尾する測距装置
の光源であるレーザ発振器の冷却装置に関するものであ
る。
し、目標物迄の距離の測定や目標物を追尾する測距装置
の光源であるレーザ発振器の冷却装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図3は従来の冷却装置の全体構成を示す
図、図4は図3の冷却装置の姿勢を90゜傾けた時の冷
却液タンク内の冷却状態を示す図、図5は図3の冷却装
置の姿勢を45゜傾けた時の冷却液タンク内の冷却液状
態を示す図である。図3において、1は高電圧回路に電
極2を介して接続されたフラッシュランプ、3は上記フ
ラッシュランプ1に近接して平行に配置されたYAGロ
ッド、4は上記フラッシュランプ1と上記YAGロッド
3の周囲を包むように配置された集光筒、5は上記フラ
ッシュランプ1、YAGロッド3および集光筒4を内部
に組立すると共にキャビティ冷却液出口6とキャビティ
冷却液入口7を有するキャビティ、8は上記キャビティ
冷却液入口7側の第1の配管9に接続され、その下部に
タンク冷却液出口10、その上部にタンク冷却液入口1
1を有する冷却液タンク、12は上記冷却液タンク8の
上面カバー13に配置された冷却液注入口、14は上記
冷却液タンク8の円筒面周囲に配置されたコルゲートフ
ィン、15は上記冷却液タンク8の底面に配置された冷
却ファン、16は上記冷却ファン15とコルゲートフィ
ン14を包むエアーダクト、17は上記キャビティ冷却
液出口6と上記タンク冷却液入口11の間に配置された
ポンプ、18は上記キャビティ冷却液出口6と上記ポン
プ17を接続する第2の配管、19は上記ポンプ17と
上記冷却液タンク8を接続する第3の配管、20は冷却
系全体に充填され、上記タンク冷却液入口11の先端部
分と上記上面カバー13の中間に液面を持つ冷却液、2
1は上記冷却液タンク8内の空気層を示す。上記冷却液
20の液面は図4および図5で示すように、レーザ測距
装置全体の姿勢が変化し冷却液タンクの角度が変化した
際にも上記空気層21は上記タンク冷却液入口11の先
端部分より上方に位置するようになっており、姿勢変化
があっても気泡が上記キャビティ5内に入らない構造に
なっている。
図、図4は図3の冷却装置の姿勢を90゜傾けた時の冷
却液タンク内の冷却状態を示す図、図5は図3の冷却装
置の姿勢を45゜傾けた時の冷却液タンク内の冷却液状
態を示す図である。図3において、1は高電圧回路に電
極2を介して接続されたフラッシュランプ、3は上記フ
ラッシュランプ1に近接して平行に配置されたYAGロ
ッド、4は上記フラッシュランプ1と上記YAGロッド
3の周囲を包むように配置された集光筒、5は上記フラ
ッシュランプ1、YAGロッド3および集光筒4を内部
に組立すると共にキャビティ冷却液出口6とキャビティ
冷却液入口7を有するキャビティ、8は上記キャビティ
冷却液入口7側の第1の配管9に接続され、その下部に
タンク冷却液出口10、その上部にタンク冷却液入口1
1を有する冷却液タンク、12は上記冷却液タンク8の
上面カバー13に配置された冷却液注入口、14は上記
冷却液タンク8の円筒面周囲に配置されたコルゲートフ
ィン、15は上記冷却液タンク8の底面に配置された冷
却ファン、16は上記冷却ファン15とコルゲートフィ
ン14を包むエアーダクト、17は上記キャビティ冷却
液出口6と上記タンク冷却液入口11の間に配置された
ポンプ、18は上記キャビティ冷却液出口6と上記ポン
プ17を接続する第2の配管、19は上記ポンプ17と
上記冷却液タンク8を接続する第3の配管、20は冷却
系全体に充填され、上記タンク冷却液入口11の先端部
分と上記上面カバー13の中間に液面を持つ冷却液、2
1は上記冷却液タンク8内の空気層を示す。上記冷却液
20の液面は図4および図5で示すように、レーザ測距
装置全体の姿勢が変化し冷却液タンクの角度が変化した
際にも上記空気層21は上記タンク冷却液入口11の先
端部分より上方に位置するようになっており、姿勢変化
があっても気泡が上記キャビティ5内に入らない構造に
なっている。
【0003】次に動作について説明する。高電圧回路に
接続された上記フラッシュランプ1が発光し、上記集光
筒4を介して上記YAGロッド3に集光される。上記Y
AGロッド3においては集光されたエネルギーがある一
定状態に達するとYAGロッドの単面からパルス状にレ
ーザ光が発振される。以上がレーザ発振の基本動作であ
り、レーザ発振が繰り返されると上記キャビティの内部
では集中的に大量の熱が発生しその発熱密度から直接液
冷にて放熱システムを形成する必要が生じる。ここで、
上記フラッシュランプ1とYAGロッド3および集光筒
4からの熱は上記ポンプ17によって循環されている冷
却液20により上記キャビティ冷却液出口6を通って運
び出され、上記第2の配管18,ポンプ17,第3の配
管19およびタンク冷却液入口11を通って上記冷却液
タンク8内に達する。図中の矢印は冷却液の流れ方向を
示す。また、上記冷却液タンク8の円筒面周囲には多く
の放熱面積を有するコルゲートフィン14が配置されて
おり、上記冷却液20からの熱は上記冷却液タンク8の
壁面を通って上記コルゲートフィン14に伝導され、上
記冷却ファン15により吸収された冷却風により外部へ
放熱される。ここで上記エアーダクト16は冷却ファン
15により押し込まれた冷却風を効率よく上記コルゲー
トフィン14に当てる働きをしている。図中矢印は冷却
風の方向を示す。さらに、熱拡散されて温度が低くなっ
た上記冷却液20は上記タンク冷却液出口10より上記
第1の配管9を通って上記キャビティ冷却液入口7より
再び上記キャビティ5内に送り込まれることで冷却シス
テムを形成している。また、上記冷却液20の液体膨張
を本装置内で吸収する必要があり、このため上記冷却液
タンク8の内部には一定量の空気層21を確保する構造
となっている。さらに、レーザ発振器のレーザ出力効率
低下の一因として上記キャビティ5内に気泡が残留する
ことが挙げられるが、これは上記フラッシュランプ1と
YAGロッド3および集光筒4の周囲に気泡が付着した
場合、レーザ光の透過率が低下するためYAGロッド3
に集められる光エネルギーが少なくなる。また、気泡の
付着が原因となってYAGロッド3自身の冷却効果が低
下して温度上昇を起こすため、気泡が上記キャビティ内
に戻らない構造にしている。なお、上記冷却液タンク8
の上方には上面カバー13があり、ここに備えられた冷
却液注入口12より冷却液20を注入する構造となって
いる。
接続された上記フラッシュランプ1が発光し、上記集光
筒4を介して上記YAGロッド3に集光される。上記Y
AGロッド3においては集光されたエネルギーがある一
定状態に達するとYAGロッドの単面からパルス状にレ
ーザ光が発振される。以上がレーザ発振の基本動作であ
り、レーザ発振が繰り返されると上記キャビティの内部
では集中的に大量の熱が発生しその発熱密度から直接液
冷にて放熱システムを形成する必要が生じる。ここで、
上記フラッシュランプ1とYAGロッド3および集光筒
4からの熱は上記ポンプ17によって循環されている冷
却液20により上記キャビティ冷却液出口6を通って運
び出され、上記第2の配管18,ポンプ17,第3の配
管19およびタンク冷却液入口11を通って上記冷却液
タンク8内に達する。図中の矢印は冷却液の流れ方向を
示す。また、上記冷却液タンク8の円筒面周囲には多く
の放熱面積を有するコルゲートフィン14が配置されて
おり、上記冷却液20からの熱は上記冷却液タンク8の
壁面を通って上記コルゲートフィン14に伝導され、上
記冷却ファン15により吸収された冷却風により外部へ
放熱される。ここで上記エアーダクト16は冷却ファン
15により押し込まれた冷却風を効率よく上記コルゲー
トフィン14に当てる働きをしている。図中矢印は冷却
風の方向を示す。さらに、熱拡散されて温度が低くなっ
た上記冷却液20は上記タンク冷却液出口10より上記
第1の配管9を通って上記キャビティ冷却液入口7より
再び上記キャビティ5内に送り込まれることで冷却シス
テムを形成している。また、上記冷却液20の液体膨張
を本装置内で吸収する必要があり、このため上記冷却液
タンク8の内部には一定量の空気層21を確保する構造
となっている。さらに、レーザ発振器のレーザ出力効率
低下の一因として上記キャビティ5内に気泡が残留する
ことが挙げられるが、これは上記フラッシュランプ1と
YAGロッド3および集光筒4の周囲に気泡が付着した
場合、レーザ光の透過率が低下するためYAGロッド3
に集められる光エネルギーが少なくなる。また、気泡の
付着が原因となってYAGロッド3自身の冷却効果が低
下して温度上昇を起こすため、気泡が上記キャビティ内
に戻らない構造にしている。なお、上記冷却液タンク8
の上方には上面カバー13があり、ここに備えられた冷
却液注入口12より冷却液20を注入する構造となって
いる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ発振器の
冷却装置は以上のように構成されており、次に示すよう
な課題を有していた。まず、レーザ測距装置全体の姿勢
が急激に変化した場合や、車両に搭載し振動が加わった
場合に、冷却タンク内の空気層が一瞬冷却液内に混入す
る状態が起きる。このため、ポンプにより循環されてい
る冷却液に気泡が混入したままキャビティ内に冷却液が
送り込まれ、YAGロッド等に気泡が付着することとな
り結果的にレーザ出力の低下をひき起こすという課題が
あった。また、冷却液タンクは腐食防止のために耐食性
ステンレス鋼を使用しているが、熱伝導が悪くしかも厚
肉であり、さらに、タンク内の冷却液量に比べてタンク
の表面積が少なく、冷却液タンク内に送り込まれた冷却
液が、冷却液タンク周囲のコルゲートフィンに十分に伝
熱されないうちにタンク冷却液出口からポンプへと戻っ
てしまい、結果として冷却液タンク部分の冷却効率が上
がらないという課題があった。
冷却装置は以上のように構成されており、次に示すよう
な課題を有していた。まず、レーザ測距装置全体の姿勢
が急激に変化した場合や、車両に搭載し振動が加わった
場合に、冷却タンク内の空気層が一瞬冷却液内に混入す
る状態が起きる。このため、ポンプにより循環されてい
る冷却液に気泡が混入したままキャビティ内に冷却液が
送り込まれ、YAGロッド等に気泡が付着することとな
り結果的にレーザ出力の低下をひき起こすという課題が
あった。また、冷却液タンクは腐食防止のために耐食性
ステンレス鋼を使用しているが、熱伝導が悪くしかも厚
肉であり、さらに、タンク内の冷却液量に比べてタンク
の表面積が少なく、冷却液タンク内に送り込まれた冷却
液が、冷却液タンク周囲のコルゲートフィンに十分に伝
熱されないうちにタンク冷却液出口からポンプへと戻っ
てしまい、結果として冷却液タンク部分の冷却効率が上
がらないという課題があった。
【0005】本発明は上記のような課題を解決するため
になされたもので、レーザ出力の低下を招く気泡の混入
を防止すると共に、冷却能力を向上させたレーザ発振器
の冷却装置を提案するものである。
になされたもので、レーザ出力の低下を招く気泡の混入
を防止すると共に、冷却能力を向上させたレーザ発振器
の冷却装置を提案するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係るレーザ発振
器の冷却装置は、冷却液タンクの上部に冷却液注入口を
有するベローズ形状の冷却液タンクにすると共に、冷却
液タンク内にもベローズ形状の冷却液ガイドを配置した
ものである。
器の冷却装置は、冷却液タンクの上部に冷却液注入口を
有するベローズ形状の冷却液タンクにすると共に、冷却
液タンク内にもベローズ形状の冷却液ガイドを配置した
ものである。
【0007】
【作用】本発明におけるレーザ発振器の冷却装置は、冷
却液タンクのベローズが冷却装置内の冷却液の液体膨張
を吸収する働きをすると共に、冷却装置に冷却液を注入
し、冷却系内部に残留している気泡を順次冷却液タンク
のベローズ内上部に集めた後、圧力差とベローズの伸縮
を利用して冷却液注入口から除去する。また、冷却液タ
ンク内部に設けたベローズ状の冷却液ガイドと冷却液タ
ンクのベローズ形状により、冷却液が乱流となり十分攪
はんされ、攪はんされた冷却液の熱が冷却液タンクの薄
肉でしかも表面積の大きいベローズ形状の表面から冷却
ファンにより効率よく外部へ放出される。
却液タンクのベローズが冷却装置内の冷却液の液体膨張
を吸収する働きをすると共に、冷却装置に冷却液を注入
し、冷却系内部に残留している気泡を順次冷却液タンク
のベローズ内上部に集めた後、圧力差とベローズの伸縮
を利用して冷却液注入口から除去する。また、冷却液タ
ンク内部に設けたベローズ状の冷却液ガイドと冷却液タ
ンクのベローズ形状により、冷却液が乱流となり十分攪
はんされ、攪はんされた冷却液の熱が冷却液タンクの薄
肉でしかも表面積の大きいベローズ形状の表面から冷却
ファンにより効率よく外部へ放出される。
【0008】
【実施例】実施例1.図1、図2は本発明によるレーザ
発振器の冷却装置の一実施例を示す図である。図1は本
発明の一実施例による装置の全体構成図、図2は図1に
おけるベローズの伸長時を示す図であり、1〜13,1
5〜21は上記従来装置と全く同一のものである。図1
において、22は上記冷却液タンク8の円筒部分を構成
するベローズ、23は上記冷却液タンク8の内部に配置
されたベローズ形状の冷却液ガイドである。
発振器の冷却装置の一実施例を示す図である。図1は本
発明の一実施例による装置の全体構成図、図2は図1に
おけるベローズの伸長時を示す図であり、1〜13,1
5〜21は上記従来装置と全く同一のものである。図1
において、22は上記冷却液タンク8の円筒部分を構成
するベローズ、23は上記冷却液タンク8の内部に配置
されたベローズ形状の冷却液ガイドである。
【0009】上記のように構成されたレーザ発振器の冷
却装置において、図2に示すように装置全体を傾斜さ
せ、上記冷却液注入口12から冷却水20を装置内に注
入した後、上記冷却液注入口12のキャップを閉じた状
態で上記ポンプ17を作動させると、本装置内の上記キ
ャビティ5の内部や上記第2の配管18や上記ポンプ1
7等装置の内部に残留していた気泡は、上記タンク冷却
液入口11から冷却液タンク8内に入り、上記冷却液タ
ンク8内上部の冷却液注入口12付近に空気層となって
集められる。この時、上記ポンプ17の吐出側となって
いる上記第3の配管19および上記冷却液タンク8の内
部は圧力が高い状態となっており、上記ベローズ22も
自由高さ状態より内部圧力が高い分だけ伸長した状態と
なっている。この状態で上記冷却液注入口12のキャッ
プを緩めると瞬時に内圧が開放され、上記ベローズ22
が自由高さに復帰すると同時に上記冷却液注入口12付
近に集まっていた空気が排出される。これにより本装置
内の空気層は完全に除去されたことになる。また、冷却
系内が完全に冷却液だけとなった後、冷却液の液体膨張
分は上記ベローズ22が伸長することにより吸収する。
また、上記冷却液タンク8の内部にベローズ形状の冷却
液ガイド23が配置され、上記冷却液タンク8の外筒の
ベローズ22に向けられた上記タンク冷却液入口11に
より、上記冷却液20は上記冷却液ガイド23のベロー
ズ部と上記冷却液タンク8のベローズ22の間で攪はん
されることで上記冷却液タンク8のベローズ22の内面
に効率よく伝熱され、上記ベローズ22は薄肉であるた
めベローズ22の内面の熱がベローズ22の表面に伝達
されやすく、さらに、冷却液の液体膨張で伸長して外周
の液状間隔が拡がった上記ベローズ22の広い表面積を
上記冷却ファン15による冷却風が流れ、上記冷却液タ
ンク8内の冷却液20の熱を効率よく上記ベローズの表
面から放熱でき、十分冷却された上記冷却液20が上記
キャビティ5へと戻っていくことになり、従来装置に比
べて冷却液タンクまわりの冷却効率が改善される。
却装置において、図2に示すように装置全体を傾斜さ
せ、上記冷却液注入口12から冷却水20を装置内に注
入した後、上記冷却液注入口12のキャップを閉じた状
態で上記ポンプ17を作動させると、本装置内の上記キ
ャビティ5の内部や上記第2の配管18や上記ポンプ1
7等装置の内部に残留していた気泡は、上記タンク冷却
液入口11から冷却液タンク8内に入り、上記冷却液タ
ンク8内上部の冷却液注入口12付近に空気層となって
集められる。この時、上記ポンプ17の吐出側となって
いる上記第3の配管19および上記冷却液タンク8の内
部は圧力が高い状態となっており、上記ベローズ22も
自由高さ状態より内部圧力が高い分だけ伸長した状態と
なっている。この状態で上記冷却液注入口12のキャッ
プを緩めると瞬時に内圧が開放され、上記ベローズ22
が自由高さに復帰すると同時に上記冷却液注入口12付
近に集まっていた空気が排出される。これにより本装置
内の空気層は完全に除去されたことになる。また、冷却
系内が完全に冷却液だけとなった後、冷却液の液体膨張
分は上記ベローズ22が伸長することにより吸収する。
また、上記冷却液タンク8の内部にベローズ形状の冷却
液ガイド23が配置され、上記冷却液タンク8の外筒の
ベローズ22に向けられた上記タンク冷却液入口11に
より、上記冷却液20は上記冷却液ガイド23のベロー
ズ部と上記冷却液タンク8のベローズ22の間で攪はん
されることで上記冷却液タンク8のベローズ22の内面
に効率よく伝熱され、上記ベローズ22は薄肉であるた
めベローズ22の内面の熱がベローズ22の表面に伝達
されやすく、さらに、冷却液の液体膨張で伸長して外周
の液状間隔が拡がった上記ベローズ22の広い表面積を
上記冷却ファン15による冷却風が流れ、上記冷却液タ
ンク8内の冷却液20の熱を効率よく上記ベローズの表
面から放熱でき、十分冷却された上記冷却液20が上記
キャビティ5へと戻っていくことになり、従来装置に比
べて冷却液タンクまわりの冷却効率が改善される。
【0010】
【発明の効果】以上説明したとおり本発明のレーザ発振
器の冷却装置によれば、ベローズを用いて圧力差を利用
して装置内に空気層を持たない冷却システムとしたの
で、気泡混入によるレーザ出力の低下を防止でき、高出
力の安定したレーザ測距装置が得られるという効果があ
る。また、冷却液タンクの構造から冷却液の放熱効率が
向上し、冷却能力に優れた効果がある。
器の冷却装置によれば、ベローズを用いて圧力差を利用
して装置内に空気層を持たない冷却システムとしたの
で、気泡混入によるレーザ出力の低下を防止でき、高出
力の安定したレーザ測距装置が得られるという効果があ
る。また、冷却液タンクの構造から冷却液の放熱効率が
向上し、冷却能力に優れた効果がある。
【図1】この発明の一実施例によるレーザ発振器を冷却
する装置全体を示す図である。
する装置全体を示す図である。
【図2】図1におけるベローズの伸長時を示す図であ
る。
る。
【図3】従来のレーザ発振器を冷却する装置全体を示す
図である。
図である。
【図4】図3における装置全体を90゜傾けた時の冷却
液の状態を示す図である。
液の状態を示す図である。
【図5】図3における装置全体を45゜傾けた時の冷却
液の状態を示す図である。
液の状態を示す図である。
1 フラッシュランプ 2 電極 3 YAGロッド 4 周光筒 5 キャビティ 6 キャビティ冷却液出口 7 キャビティ冷却液入口 8 冷却液タンク 9 第1の配管 10 タンク冷却液出口 11 タンク冷却液入口 12 冷却液注入口 13 上面カバー 14 コルゲートフィン 15 冷却ファン 16 エアーダクト 17 ポンプ 18 第2の配管 19 第3の配管 20 冷却液 21 空気層 22 ベローズ 23 冷却液ガイド
Claims (3)
- 【請求項1】 高電圧回路に電極を介して接続されたフ
ラッシュランプと、上記フラッシュランプに近接して平
行に配置されたYAGロッドと、上記フラッシュランプ
とYAGロッドの周囲を包むように配置された集光筒
と、上記フラッシュランプ、YAGロッド、集光筒をそ
の内部に組立すると共に、キャビティ冷却液出口とキャ
ビティ冷却液入口を有するキャビティと、上記キャビテ
ィ冷却液入口側の第1の配管に接続され、その上部にタ
ンク冷却液入口を有したベローズ状の冷却液タンクと、
上記冷却液タンクの内部に配置された冷却液ガイドと、
上記冷却液タンクの状面カバーに配置された冷却液注入
口と、上記冷却液タンクの側面に配置された冷却ファン
と、上記冷却ファンと上記冷却液タンクのベローズ部分
を包むエアーダクトと、上記キャビティ冷却液出口と上
記タンク冷却液入口の間に配置されたポンプと、上記キ
ャビティと上記ポンプを接続する第2の配管と、上記ポ
ンプと上記冷却液タンクを接続する第3の配管と、冷却
系全体に充填された冷却液により構成されたことを特徴
とするレーザ発振器の冷却装置。 - 【請求項2】 上記冷却液ガイドをベローズ状の構造と
したことを特徴とする請求項1記載のレーザ発振器の冷
却装置。 - 【請求項3】 上記冷却液ガイドの外面に凸部を設けた
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ発振器の冷却装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23698292A JPH0685353A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | レーザ発振器の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23698292A JPH0685353A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | レーザ発振器の冷却装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0685353A true JPH0685353A (ja) | 1994-03-25 |
Family
ID=17008644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23698292A Pending JPH0685353A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | レーザ発振器の冷却装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0685353A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105583518A (zh) * | 2016-03-21 | 2016-05-18 | 浙江泰禾激光设备有限公司 | 一种激光装置及激光加工装置 |
-
1992
- 1992-09-04 JP JP23698292A patent/JPH0685353A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105583518A (zh) * | 2016-03-21 | 2016-05-18 | 浙江泰禾激光设备有限公司 | 一种激光装置及激光加工装置 |
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