JPH0682711A - Driving device of scanning mirror - Google Patents
Driving device of scanning mirrorInfo
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- JPH0682711A JPH0682711A JP23115692A JP23115692A JPH0682711A JP H0682711 A JPH0682711 A JP H0682711A JP 23115692 A JP23115692 A JP 23115692A JP 23115692 A JP23115692 A JP 23115692A JP H0682711 A JPH0682711 A JP H0682711A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、コイルを通電すること
によって発生する磁気発生部の磁気に応じて走査ミラー
が角変位して駆動され、その鏡面部により反射されたレ
ーザ光の干渉を利用して、微細な凹凸や傷を走査検出す
るレーザ変位センサー等において使用される走査ミラー
の駆動装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention utilizes the interference of laser light reflected by the mirror surface of a scanning mirror driven by angular displacement of a scanning mirror according to the magnetism of a magnetic generator generated by energizing a coil. In addition, the present invention relates to a scanning mirror driving device used in a laser displacement sensor or the like that scans and detects fine irregularities and scratches.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の走査ミラーの駆動装置と
して、図９乃至図１１に示す構成のものが存在し、この
ものは、レーザ変位センサーに使用されるものである。2. Description of the Related Art Conventionally, as a scanning mirror driving device of this type, there has been one having a structure shown in FIGS. 9 to 11, which is used for a laser displacement sensor.
【０００３】A は磁気発生部で、鉄芯A1とコイルA2とで
構成されている。鉄芯A1は、中央片A11 とその中央片A
11 の両側に一体に形成された両側片A12,A13 とからな
り、両側片A12,A13 の内側には中央片A11 側を同極とし
た永久磁石A14,A15 がそれぞれ固着されている。コイル
A2は、コイル線がボンディングして巻回された状態で、
鉄芯A1の中央片A11 に軸方向に移動可能なよう嵌挿され
ている。A is a magnetic field generator, which is composed of an iron core A 1 and a coil A 2 . The iron core A 1 is composed of the central piece A 11 and the central piece A 11.
Sides pieces A 12 integrally formed on both sides of 11, made of A 13 Prefecture, both sides pieces A 12, the permanent magnet A 14 on the inside of which center piece A 11 side with the poles of A 13, A 15, respectively It is fixed. coil
A 2 is a state where the coil wire is bonded and wound,
It is fitted in the central piece A 11 of the iron core A 1 so as to be movable in the axial direction.
【０００４】B は走査ミラーで、平板状に形成され、長
尺状の支持成形体C の一方先端部C1の片面に張り付けて
ある。支持成形体C は、長手方向がコイルA2の軸と直交
するよう、中央部C2をコイルA2の側面に接着され、鉄芯
A1の両側片A12,A13 にそれぞれ固定された支持ばねC3,C
4 に固着支持されている。Reference numeral B is a scanning mirror, which is formed in a flat plate shape and is attached to one surface of one end portion C 1 of the elongated support molding C. The support molding C has a central portion C 2 bonded to the side surface of the coil A 2 such that the longitudinal direction thereof is orthogonal to the axis of the coil A 2 , and
Support springs C 3 and C fixed to both side pieces A 12 and A 13 of A 1 , respectively.
It is fixedly supported by 4 .
【０００５】次に、動作を説明する。コイルA2を通電す
ると、磁気発生部A から発生するそのコイル磁束及び永
久磁石A14,A15 の磁束がコイルA2を鎖交し、フレミング
の左手の法則によって、コイルA2は、図１０(a) の矢示
方向に移動しようとする。しかしながら、支持成形体C
は、支持ばねC3,C4 により鉄芯A1に固着支持されている
から、軸方向に平行移動することができずに、図１０
(b) に示すように、支持ばねC3,C4 が撓んで傾斜移動す
る。従って、支持成形体C の一方先端部C1の片面に張り
付けられている走査ミラーB は、コイルA2の通電電流を
変化させると、磁気発生部A から発生する磁気に応じて
任意の角度に角変位するよう駆動できるものとなる。Next, the operation will be described. When the coil A 2 is energized, the coil magnetic flux generated from the magnetic field generator A and the magnetic fluxes of the permanent magnets A 14 and A 15 interlink the coil A 2 , and according to Fleming's left-hand rule, the coil A 2 is Attempt to move in the direction of arrow (a). However, support molding C
10 is fixedly supported on the iron core A 1 by the support springs C 3 and C 4 , and therefore cannot move in parallel in the axial direction.
As shown in (b), the support springs C 3 and C 4 bend and tilt. Therefore, the scanning mirror B attached to one surface of the one end portion C 1 of the support molding C is changed to an arbitrary angle according to the magnetism generated from the magnetism generating portion A when the energizing current of the coil A 2 is changed. It can be driven so as to be angularly displaced.
【０００６】そして、上記のようにして駆動される走査
ミラーB は、図１1 に示すように、レーザ変位センサー
に使用される。つまり、発光素子D から投光レンズE を
通って発射されたレーザ光が走査ミラーB の鏡面部によ
り反射して検知体の走査始点P1に至った後、その走査始
点P1で再度反射して受光レンズF を通って受光素子Gに
入射する。ここで、前述したように、コイルA2を通電し
て走査ミラーB が角変位するよう駆動すると、走査ミラ
ーB の鏡面部により反射したレーザ光は検知体の走査始
点P1から走査終点P2までの走査ラインを走査しながら反
射して、やはり受光レンズF を通って受光素子G に入射
する。そして、もし、検知体の走査ライン上において凹
凸や傷の変位があると、その部分から反射して来たレー
ザ光が干渉するのを利用して、検知体の走査ライン上に
凹凸や傷があることを受光素子Gでもって検出するよう
になっている。The scanning mirror B driven as described above is used for a laser displacement sensor as shown in FIG. That is, the laser light emitted from the light emitting element D through the light projecting lens E is reflected by the mirror surface portion of the scanning mirror B to reach the scanning start point P 1 of the detection object, and then is reflected again at the scanning start point P 1. Incident on the light receiving element G through the light receiving lens F. Here, as described above, when the coil A 2 is energized and the scanning mirror B is driven so as to be angularly displaced, the laser light reflected by the mirror surface portion of the scanning mirror B is scanned from the scanning start point P 1 to the scanning end point P 2 of the detector. It reflects while scanning the scanning lines up to and also enters the light receiving element G through the light receiving lens F. Then, if there is unevenness or scratch displacement on the scanning line of the detection body, the fact that the laser light reflected from that portion interferes causes unevenness or scratches on the scanning line of the detection body. The light receiving element G is used to detect that there is an occurrence.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の走査ミ
ラーの駆動装置を使用した図１１に示すレーザ変位セン
サーにあっては、検知体の走査始点P1から走査終点P2ま
での走査ライン上で反射したレーザ光は、全て直接、受
光レンズF を通って受光素子G に入射するようになって
いるから、いま仮に、走査ミラーB が、走査ライン上の
任意の位置、例えば走査ミラーB により反射したレーザ
光が走査始点P1に至るよう設定された角度にあるとき、
走査ライン上の途中から二点鎖線で示すような外乱光が
受光レンズF を通って受光素子G に入射し得るので、そ
の外乱光により誤動作してしまうことがある。In the laser displacement sensor shown in FIG. 11 which uses the above-described conventional scanning mirror driving device, the scanning line from the scanning start point P 1 to the scanning end point P 2 of the detector is detected. Since all the laser light reflected by is directly incident on the light receiving element G through the light receiving lens F, the scanning mirror B is temporarily moved to an arbitrary position on the scanning line, for example, by the scanning mirror B. When the reflected laser light is at the angle set to reach the scanning start point P 1 ,
Since disturbing light as shown by the chain double-dashed line can enter the light receiving element G through the light receiving lens F 1 from the middle of the scanning line, the disturbing light may cause malfunction.
【０００８】そこで、このような場合、走査ミラーB を
もっと大きくして、走査ライン上で反射したレーザ光
は、必ず再びその設定された角度にある走査ミラーB に
より反射して後、受光レンズF を通って受光素子G に入
射するようにしておけば、走査ライン上の途中から入っ
て来た外乱光がその走査ミラーB で反射したとしても受
光素子H に入射することがなくなる。Therefore, in such a case, the scanning mirror B is made larger, and the laser light reflected on the scanning line is always reflected again by the scanning mirror B at the set angle and then the light receiving lens F. By making the light incident on the light receiving element G through the light receiving element G, even if the disturbance light that has entered from the middle of the scanning line is reflected by the scanning mirror B, it does not enter the light receiving element H.
【０００９】しかしながら、この従来の走査ミラーの駆
動装置は、走査ミラーB がコイルA2に接着された支持成
形体C に張り付けられ、コイルA2及び支持成形体C と共
に一体となって走査ミラーB 単独よりも重い状態のもの
が角変位するから、それだけ大きな駆動力が必要とな
り、従って、さらに、上記したように走査ミラーB を大
型化したいような場合、ますます重たいものを駆動する
ことになって、駆動装置自体もさらに大型化せざるを得
ないことになる。However, the driving device of the conventional scanning mirror, the scanning mirror B is affixed to supported compacts C adhered to the coil A 2, the scanning mirror together with the coil A 2 and supported compacts C B Since the one that is heavier than the single one undergoes angular displacement, a larger driving force is required. Therefore, when it is desired to increase the size of the scan mirror B as described above, the heavier one is driven. As a result, the drive device itself must be increased in size.
【００１０】本発明は、上記事由に鑑みてなしたもの
で、その目的とするところは、大型の走査ミラーを容易
に駆動できる小型の走査ミラーの駆動装置を提供するこ
とにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a driving device for a small scanning mirror which can easily drive a large scanning mirror.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項１記載のものは、コイルを有する磁気発
生部と、鏡面部により反射された光が走査されるようコ
イルを通電することによって発生する磁気発生部の磁気
に応じて角変位して駆動される平板状の走査ミラーと、
を備えた走査ミラーの駆動装置において、走査ミラー
は、両端部を結ぶ駆動軸を中心として角変位可能なよう
両端支持されるとともに一方面側が鏡面部で他方面側が
駆動軸の両側を異極に着磁した薄膜状の永久磁石で形成
され、磁気発生部は、走査ミラーの駆動軸に直交する方
向をコイルの巻回軸とするとともに走査ミラーの他方面
側に所定の距離を隔てて配設されてなる構成にしてあ
る。In order to solve the above-mentioned problems, the first aspect of the present invention energizes the coil so that the magnetic field generating portion having the coil and the light reflected by the mirror surface portion are scanned. A flat plate-shaped scanning mirror that is driven by being angularly displaced according to the magnetism of the magnetic field generated by
In the driving device for the scanning mirror provided with, the scanning mirror is supported at both ends such that it can be angularly displaced about a driving shaft connecting the both ends, and one surface side has a mirror surface portion and the other surface side has different polarities on both sides of the driving shaft. The magnetism generator is made of magnetized thin-film permanent magnets, and the magnetism generating section is arranged on the other side of the scanning mirror with a predetermined distance, with the winding axis of the coil being perpendicular to the scanning mirror drive axis. It is configured to be.
【００１２】また、請求項２記載のものは、前記磁気発
生部は、平板状の基板の面上に、箔状のコイルが渦巻き
状に巻回して一体形成されてなる構成にしてある。According to a second aspect of the present invention, the magnetic field generating portion is constructed by integrally forming a foil coil in a spiral shape on the surface of a flat substrate.
【００１３】[0013]
【作用】請求項１記載のものによれば、磁気発生部は、
コイルを通電されると、そのコイルが走査ミラーの駆動
軸に直交する方向を巻回軸とするとともに走査ミラーの
他方面側に所定の距離を隔てて配設されているから、走
査ミラーは、両端部を結ぶ駆動軸の両側を異極に着磁し
て他方面側に形成された薄膜状の永久磁石と磁気発生部
との間で働く吸引及び反発力でもって駆動軸を中心とし
て角変位することによって、一方面側の鏡面部により反
射された光を走査でき、従って、走査ミラーは、従来例
のようにコイルと一体ではなく、単独で、しかも他方面
側に薄膜状の永久磁石を形成しただけの軽い状態で駆動
されるので、走査ミラーを大型にしたいような場合であ
っても、比較的小さな駆動力でも容易に駆動でき、よっ
て駆動装置全体も小型にできる。According to the first aspect of the present invention, the magnetism generating portion is
When the coil is energized, the coil has a winding axis in a direction orthogonal to the drive axis of the scanning mirror and is arranged on the other surface side of the scanning mirror at a predetermined distance, so that the scanning mirror is Angular displacement around the drive shaft due to attraction and repulsion acting between the magnetism generating part and the thin-film permanent magnet formed on the other surface by magnetizing opposite sides of the drive shaft connecting both ends. By doing so, it is possible to scan the light reflected by the mirror surface portion on one side, and therefore, the scanning mirror is not integrated with the coil as in the conventional example, but is a single thin film permanent magnet on the other side. Since it is driven in a light state as it is formed, even if it is desired to make the scanning mirror large, it can be easily driven with a relatively small driving force, so that the entire driving device can be made small.
【００１４】また、請求項２記載のものによれば、磁気
発生部が、平板状に形成され、走査ミラーの他方面側に
対面するように配設されているから、全体がフラット状
になって、さらに小型化し易いものとなる。According to the second aspect of the present invention, the magnetism generating portion is formed in a flat plate shape and is disposed so as to face the other surface side of the scanning mirror, so that the whole is flat. Therefore, the size can be easily reduced.
【００１５】[0015]
【実施例】本発明の第１実施例を図１乃至図４に基づい
て以下に説明する。本走査ミラーの駆動装置は、レーザ
変位センサーに使用されるものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. The drive device of the present scanning mirror is used for a laser displacement sensor.
【００１６】1 は走査ミラーで、長方形の平板状をなし
たガラス板1aの一方面にアルミ等を蒸着して光を反射で
きる鏡面部1bが形成され、他方面にSmCo（サマリウムコ
バルト）等の希土類系の永久磁石1cがスパッタリング等
により薄膜状に形成されている。そして、ステンレスや
ベリリウム銅等の金属製の薄板により短冊状に形成され
た支持部材1dが、その一端部を鏡面部1bの長手方向の両
端部中央にそれぞれ固着支持されるとともに、他端部を
装置本体 (図示せず) に固着されており、走査ミラー1
は、両支持部材1d,1d がねじられることによってその両
支持部材1d,1dを結ぶ駆動軸1eを中心として角変位可能
なようになっている。また、永久磁石1cは、図２に示す
ように、駆動軸1eの両側が異極になるよう着磁されてい
る。A scanning mirror 1 is a rectangular flat glass plate 1a, on one surface of which a mirror surface portion 1b capable of reflecting light is formed by vapor deposition of aluminum or the like, and on the other surface, a mirror surface portion of SmCo (samarium cobalt) or the like is formed. The rare earth permanent magnet 1c is formed into a thin film by sputtering or the like. Then, a supporting member 1d formed in a strip shape by a thin plate made of metal such as stainless steel or beryllium copper is fixedly supported at one end thereof at the center of both end portions in the longitudinal direction of the mirror surface portion 1b, and at the other end thereof. It is fixed to the main body of the device (not shown), and the scanning mirror 1
The two can be angularly displaced about the drive shaft 1e connecting the support members 1d, 1d by twisting the support members 1d, 1d. Further, as shown in FIG. 2, the permanent magnet 1c is magnetized so that both sides of the drive shaft 1e have different polarities.
【００１７】2 は磁気発生部で、コイル2aがコイル枠2b
に巻回され、走査ミラー1 の駆動軸1eに直交する方向を
コイル2aの巻回軸とするとともに永久磁石1cが形成され
た走査ミラー1 の他方面側に所定の距離を隔てて配設さ
れている。Reference numeral 2 is a magnetic field generator, and the coil 2a is a coil frame 2b.
The winding axis of the coil 2a is perpendicular to the drive axis 1e of the scanning mirror 1, and the permanent magnet 1c is formed on the other surface side of the scanning mirror 1 at a predetermined distance. ing.
【００１８】このものの動作は、コイル2aを通電して、
磁気発生部2 から発生する磁気により、図３に示すよう
な磁極になるよう励磁すると、永久磁石1cの磁極との間
で吸引及び反発力が働き、走査ミラー1 は支持部材1dが
ねじられることによって、図１に示す駆動軸1eを中心と
して矢示のように、磁気発生部2 から発生する磁気に応
じて任意の角度に角変位するよう駆動されるものとな
る。The operation of this device is to energize the coil 2a,
When magnetized by the magnetic field generated by the magnetic field generator 2 so as to form a magnetic pole as shown in FIG. 3, attraction and repulsive force are exerted between the magnetic pole of the permanent magnet 1c and the supporting member 1d of the scanning mirror 1 is twisted. As a result, the drive shaft 1e is driven so as to be angularly displaced at an arbitrary angle in accordance with the magnetism generated from the magnetism generator 2 as shown by the arrow around the drive shaft 1e.
【００１９】そして、上記のようにして駆動される走査
ミラー1 は、図４に示すように、レーザ変位センサーに
使用される。つまり、発光素子3 から投光レンズ4 を通
って出射されたレーザ光が走査ミラー1 の鏡面部1bによ
り反射して検知体の走査始点P1に至り、その走査始点P1
で反射して後再び鏡面部1bにより反射し受光レンズ5を
通って受光素子6 に入射する。ここで、前述したよう
に、コイル2aを通電して走査ミラー1 が駆動軸1eを中心
として角変位するよう駆動されると、走査ミラー1 の鏡
面部1bにより反射したレーザ光は検知体の走査始点P1か
ら走査終点P2までの走査ラインを走査しながら反射して
後、やはり再び鏡面部1bにより反射し受光レンズ5 を通
って受光素子6 に入射する。つまり、図中、発光素子3
からの出射光と受光素子6 への入射光とがなす角度ａ
は、走査始点P1から走査終点P2までの走査ライン上での
反射角ｂと一致するようになっている。そして、もし、
検知体の走査ライン上において凹凸や傷の変位がある
と、その部分から反射して来たレーザ光が干渉するのを
利用して、検知体の走査ライン上に凹凸や傷があること
を受光素子6 でもって検出するようになっている。The scanning mirror 1 driven as described above is used for a laser displacement sensor as shown in FIG. That is, the laser light emitted from the light emitting element 3 through the light projecting lens 4 is reflected by the mirror surface portion 1b of the scanning mirror 1 to reach the scanning start point P 1 of the detection object, and the scanning start point P 1
After being reflected by, the light is reflected again by the mirror surface portion 1b, passes through the light receiving lens 5, and enters the light receiving element 6. Here, as described above, when the scanning mirror 1 is driven to be angularly displaced about the drive shaft 1e by energizing the coil 2a, the laser light reflected by the mirror surface portion 1b of the scanning mirror 1 scans the detector. After being reflected while scanning the scanning line from the starting point P 1 to the scanning end point P 2 , it is again reflected by the mirror surface portion 1b and passes through the light receiving lens 5 to enter the light receiving element 6. That is, in the figure, the light emitting element 3
Angle a formed by the light emitted from the laser and the light incident on the light receiving element 6
Corresponds to the reflection angle b on the scanning line from the scanning start point P 1 to the scanning end point P 2 . And if
If there are irregularities or scratches on the scanning line of the sensing object, the laser light reflected from that portion interferes to detect that there are irregularities or scratches on the scanning line of the sensing object. It is designed to detect with element 6.
【００２０】上記したように、このレーザ変位センサー
は、発光素子3 からの出射光及び走査ラインからの反射
光が反射できるよう、走査ミラー1 が大きく形成されて
いるから、図４に二点鎖線で示すように、検知体の走査
ライン上の途中から走査ミラー1 に対する入射角が異な
る外乱光が入って来ても、受光素子6 へは入射せず誤動
作が発生することがない。As described above, in this laser displacement sensor, the scanning mirror 1 is formed to be large so that the emitted light from the light emitting element 3 and the reflected light from the scanning line can be reflected. As shown by, even if disturbance light having different incident angles with respect to the scanning mirror 1 enters from the middle of the scanning line of the detector, it does not enter the light receiving element 6 and no malfunction occurs.
【００２１】かかる走査ミラーの駆動装置にあっては、
走査ミラー1 は、上記のレーザ変位センサーのように大
型にしたいような場合であっても、従来例のようにコイ
ルと一体ではなく、単独で、しかも他方面側に薄膜状の
永久磁石1cを形成しただけの軽い状態で駆動されるの
で、比較的小さな駆動力でも容易に駆動でき、よって駆
動装置全体も小型にできる。In such a scanning mirror driving device,
Even when it is desired to make the scanning mirror 1 large like the above laser displacement sensor, the thin film-shaped permanent magnet 1c is not provided integrally with the coil as in the conventional example, but alone and on the other surface side. Since it is driven in a light state as it is formed, it can be easily driven with a comparatively small driving force, so that the entire driving device can be downsized.
【００２２】次に、第２実施例を図５に基づいて説明す
る。このものは、磁気発生部2 が、第１実施例と相違す
るだけで、その他の構成は同じである。つまり、第１実
施例の磁気発生部2 は、コイル2aがコイル枠2bに巻回さ
れているだけで、鉄芯を用いていない、いわゆる中空コ
イルであるのに対し、本実施例の磁気発生部2 は、Ｈ字
状の鉄芯2cの中央片にコイル2aが直接巻回されている。Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. This is different from the first embodiment only in the magnetic field generator 2, but the other structure is the same. That is, the magnetic generator 2 of the first embodiment is a so-called hollow coil in which the coil 2a is only wound around the coil frame 2b and no iron core is used. In the portion 2, the coil 2a is directly wound around the central piece of the H-shaped iron core 2c.
【００２３】かかる走査ミラーの駆動装置にあっては、
磁気発生部2 は鉄芯2cを用いているので、コイル磁束の
漏れが少なくなって、第１実施例よりもさらに小さな駆
動力で駆動できるものとなる。In such a scanning mirror driving device,
Since the magnetic field generator 2 uses the iron core 2c, the leakage of the coil magnetic flux is reduced and the magnetic force can be driven with a driving force smaller than that in the first embodiment.
【００２４】次に、第３実施例を図６及び図７に基づい
て説明する。このものは、第１実施例と磁気発生部2 の
配設状態が相違している。つまり、磁気発生部2 は、第
１実施例では永久磁石1cが形成された走査ミラー1 の他
方面側に所定の距離を隔てて配設されているが、本実施
例の磁気発生部2 は、走査ミラー1 を外囲するよう所定
の距離を隔ててコイル枠2bに巻回されて配設されてい
る。そして、一端部を走査ミラー1 に固着された支持部
材1dが、その他端部をコイル枠2bに一体成形により固着
されている。この場合でも、図７に示すように、磁気発
生部2 の巻回軸の一方側及び他方側は、それぞれ異極に
磁化されるから、永久磁石1cの磁極との間で吸引及び反
発力が働き、第１実施例と同様にして、走査ミラー1 は
支持部材1dがねじられることによって、矢示のように角
変位するよう駆動される。Next, a third embodiment will be described with reference to FIGS. 6 and 7. This is different from the first embodiment in the arrangement of the magnetic field generator 2. That is, in the first embodiment, the magnetism generating portion 2 is arranged at a predetermined distance on the other surface side of the scanning mirror 1 on which the permanent magnet 1c is formed. The coil mirror 2b is wound around the coil mirror 2b at a predetermined distance so as to surround the scanning mirror 1. The support member 1d having one end fixed to the scanning mirror 1 is fixed to the coil frame 2b at the other end by integral molding. Even in this case, as shown in FIG. 7, since one side and the other side of the winding axis of the magnetic field generator 2 are magnetized to have different polarities, attraction and repulsive force are generated between the magnetic poles of the permanent magnet 1c. In the same manner as in the first embodiment, the scanning mirror 1 is driven to be angularly displaced as shown by the arrow by twisting the support member 1d.
【００２５】かかる走査ミラーの駆動装置にあっては、
磁気発生部2 は、走査ミラー1 と支持部材1dを介して一
体化されているから、第１実施例の効果に加えて、さら
に組立てし易いものとなる。In the scanning mirror driving device,
Since the magnetic field generator 2 is integrated with the scanning mirror 1 via the support member 1d, in addition to the effect of the first embodiment, it becomes easier to assemble.
【００２６】次に、第４実施例を図８に基づいて説明す
る。このものは、磁気発生部2 が、第１実施例と相違す
るだけで、その他の構成は同じである。つまり、第１実
施例の磁気発生部2 は、断面が円状である通常のコイル
2aがコイル枠2bに巻回されているが、本実施例の磁気発
生部2 は、平板状のガラス基板又はシリコン等の半導体
基板2dの面上に、箔状のコイル2aが渦巻き状に巻回して
一体形成され、走査ミラー1 の他方面側に設けた永久磁
石1cに対面するように配設されている。Next, a fourth embodiment will be described with reference to FIG. This is different from the first embodiment only in the magnetic field generator 2, but the other structure is the same. That is, the magnetic field generator 2 of the first embodiment is an ordinary coil whose section is circular.
Although 2a is wound around the coil frame 2b, the magnetic field generator 2 of the present embodiment is such that the foil-shaped coil 2a is spirally wound on the surface of the flat glass substrate or the semiconductor substrate 2d such as silicon. It is formed integrally by turning and is arranged so as to face the permanent magnet 1c provided on the other surface side of the scanning mirror 1.
【００２７】かかる走査ミラーの駆動装置にあっては、
磁気発生部2 が、平板状に形成され、走査ミラー1 の他
方面側に対面するように配設されているから、第１実施
例の効果に加えて、全体がフラット状になって、さらに
小型化し易いものとなる。In such a scanning mirror driving device,
Since the magnetism generating portion 2 is formed in a flat plate shape and is disposed so as to face the other surface side of the scanning mirror 1, in addition to the effect of the first embodiment, the whole becomes flat and It becomes easy to miniaturize.
【００２８】なお、第１乃至第４のいずれの実施例の場
合でも、走査ミラー1 の鏡面部1bは、母材であるガラス
板1aの一方面にアルミ等を蒸着して形成されているが、
それに代えて、母材として初めから表面が鏡面状に仕上
げられているシリコン等の半導体基板やステンレス板等
を利用してもよく、その場合はアルミ等を蒸着する必要
がない。In any of the first to fourth embodiments, the mirror surface portion 1b of the scanning mirror 1 is formed by vapor-depositing aluminum or the like on one surface of the glass plate 1a which is the base material. ,
Alternatively, a semiconductor substrate made of silicon or the like, the surface of which is mirror-finished from the beginning, a stainless steel plate, or the like may be used as the base material, in which case aluminum or the like need not be vapor-deposited.
【００２９】また、上記の実施例では、走査ミラーの駆
動装置は、レーザ変位センサーに使用された場合を示し
ているが、これに限ることなく、ある２点間に光を走査
しながら照射したいような用途であれば、勿論使用でき
る。In the above embodiment, the scanning mirror driving device is used for a laser displacement sensor, but the invention is not limited to this, and it is desired to irradiate light while scanning between two points. Of course, it can be used for such purposes.
【００３０】[0030]
【発明の効果】請求項１記載のものは、磁気発生部は、
コイルを通電されると、そのコイルが走査ミラーの駆動
軸に直交する方向を巻回軸とするとともに走査ミラーの
他方面側に所定の距離を隔てて配設されているから、走
査ミラーは、両端部を結ぶ駆動軸の両側を異極に着磁し
て他方面側に形成された薄膜状の永久磁石と磁気発生部
との間で働く吸引及び反発力でもって駆動軸を中心とし
て角変位することによって、一方面側の鏡面部により反
射された光を走査でき、従って、走査ミラーは、従来例
のようにコイルと一体ではなく、単独で、しかも他方面
側に薄膜状の永久磁石を形成しただけの軽い状態で駆動
されるので、走査ミラーを大型にしたいような場合であ
っても、比較的小さな駆動力でも容易に駆動でき、よっ
て駆動装置全体も小型にできる。According to the first aspect of the present invention, the magnetic generator is
When the coil is energized, the coil has a winding axis in a direction orthogonal to the drive axis of the scanning mirror and is arranged on the other surface side of the scanning mirror at a predetermined distance, so that the scanning mirror is Angular displacement around the drive shaft due to attraction and repulsion acting between the magnetism generating part and the thin-film permanent magnet formed on the other surface by magnetizing opposite sides of the drive shaft connecting both ends. By doing so, it is possible to scan the light reflected by the mirror surface portion on one side, and therefore, the scanning mirror is not integrated with the coil as in the conventional example, but is a single thin film permanent magnet on the other side. Since it is driven in a light state as it is formed, even if it is desired to make the scanning mirror large, it can be easily driven with a relatively small driving force, so that the entire driving device can be made small.
【００３１】また、請求項２記載のものは、磁気発生部
が、平板状に形成され、走査ミラーの他方面側に対面す
るように配設されているから、全体がフラット状になっ
て、さらに小型化し易いものとなる。According to the second aspect of the present invention, since the magnetism generating portion is formed in a flat plate shape and is arranged so as to face the other surface side of the scanning mirror, the whole is flattened. Further, the size can be easily reduced.
【図１】本発明の第１実施例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention.
【図２】同上の走査ミラーに形成された永久磁石の着磁
状態を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a magnetized state of a permanent magnet formed on the scanning mirror of the above.
【図３】同上の動作状態を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing an operating state of the above.
【図４】同上のものを使用したレーザ変位センサーを示
す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a laser displacement sensor using the same as above.
【図５】本発明の第２実施例を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a second embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第３実施例を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a third embodiment of the present invention.
【図７】同上の動作状態を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing an operation state of the above.
【図８】本発明の第４実施例を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a fourth embodiment of the present invention.
【図９】従来例を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a conventional example.
【図１０】同上の矢示側面図であって、動作状態を示す
説明図である。FIG. 10 is a side view of the same as shown by the arrow, showing an operating state.
【図１１】同上のものを使用したレーザ変位センサーを
示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a laser displacement sensor using the same as above.
2 1 走査ミラー 1b 鏡面部 1c 永久磁石 1e 駆動軸 2 磁気発生部 2a コイル 2d 平板状の基板 2 1 Scanning mirror 1b Mirror surface 1c Permanent magnet 1e Drive shaft 2 Magnetic generator 2a Coil 2d Flat plate substrate
Claims (2)
より反射された光が走査されるようコイルを通電するこ
とによって発生する磁気発生部の磁気に応じて角変位し
て駆動される平板状の走査ミラーと、を備えた走査ミラ
ーの駆動装置において、 走査ミラーは、両端部を結ぶ駆動軸を中心として角変位
可能なよう両端支持されるとともに一方面側が鏡面部で
他方面側が駆動軸の両側を異極に着磁した薄膜状の永久
磁石で形成され、磁気発生部は、走査ミラーの駆動軸に
直交する方向をコイルの巻回軸とするとともに走査ミラ
ーの他方面側に所定の距離を隔てて配設されてなること
を特徴とする走査ミラーの駆動装置。1. A magnetism generating portion having a coil, and a flat plate shape that is angularly displaced and driven according to the magnetism of the magnetism generating portion generated by energizing the coil so that the light reflected by the mirror surface portion is scanned. In the driving device of the scanning mirror including the scanning mirror and the scanning mirror, both ends of the scanning mirror are supported so that they can be angularly displaced about a driving shaft connecting both ends, and one side is a mirror surface part and the other side is a driving shaft. It is made of thin-film permanent magnets with opposite poles magnetized.The magnetism generator uses the coil winding axis in the direction perpendicular to the scan mirror drive axis and a predetermined distance to the other side of the scan mirror. A driving device for a scanning mirror, characterized in that the scanning mirror driving device and the scanning mirror driving device.
に、箔状のコイルが渦巻き状に巻回して一体形成されて
なることを特徴とする請求項１記載の走査ミラーの駆動
装置。2. The driving of the scanning mirror according to claim 1, wherein the magnetic field generating unit is formed by integrally winding a foil coil on a surface of a flat substrate in a spiral shape. apparatus.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23115692A JPH0682711A (en) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | Driving device of scanning mirror |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23115692A JPH0682711A (en) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | Driving device of scanning mirror |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0682711A true JPH0682711A (en) | 1994-03-25 |
Family
ID=16919181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23115692A Pending JPH0682711A (en) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | Driving device of scanning mirror |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682711A (en) |
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- 1992-08-31 JP JP23115692A patent/JPH0682711A/en active Pending
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