JPH0679072U - Vacuum connection plug and vacuum electrical connector using the same - Google Patents
Vacuum connection plug and vacuum electrical connector using the sameInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高い放射線に長時間晒される場所において
も、電気的、機械的特性の劣化がなく、電気的な接続の
信頼性も高く、真空容器の内側と外側に関係なく、極め
て簡単に着脱作業が行なえる真空用接続プラグ及び真空
用電気連結体を提供することを目的とする。
【構成】真空容器内側の気密を保持しながら真空容器の
内側と外側とを電気的に接続する真空用電流導入端子
に、電気的、機械的に接続される真空容器の内側用又は
外側用に使用できる真空用接続プラグであって、該真空
用電流導入端子の金属製スリーブに着脱可能に形成され
た筒状の金属製スリーブと、該金属製スリーブ内の内部
空間に挿入され、先端は該真空用電流導入端子の電流導
入棒に電気的、機械的に着脱可能に形成され、他端は導
線が結線可能に形成された、少なくとも１本の電流導入
棒と、前記電流導入棒と前記金属製スリーブとの間に介
在し、前記電流導入棒を保持すると共に、前記電流導入
棒と前記金属製スリーブとを電気的に絶縁するセラミッ
クス体とから構成される真空用接続プラグとそれを用い
た真空用電気連結体である。
(57) [Abstract] [Purpose] Even in a place exposed to high radiation for a long time, there is no deterioration in electrical and mechanical characteristics, and the electrical connection is highly reliable, regardless of whether the inside or outside of the vacuum vessel is used. An object of the present invention is to provide a vacuum connection plug and a vacuum electrical connector that can be attached and detached very easily. [Structure] A vacuum current introduction terminal for electrically connecting the inside and the outside of the vacuum container while keeping the inside of the vacuum container airtight, for the inside or outside of the vacuum container electrically and mechanically connected A usable connecting plug for a vacuum, which is a tubular metal sleeve detachably formed on the metal sleeve of the vacuum current introducing terminal, and is inserted into an internal space inside the metal sleeve, and a tip thereof is At least one current introducing rod, which is electrically and mechanically detachably formed on the current introducing rod of the vacuum current introducing terminal, and has a conductive wire connectable to the other end, the current introducing rod, and the metal. A vacuum connecting plug, which is interposed between a sleeve made of metal and holds the current introducing rod and which is made of a ceramic body that electrically insulates the current introducing rod and the metal sleeve, and the same Electric connector for vacuum A.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、真空容器内に設けられた電気機器に外側から、真空に影響を与える ことなく電気信号等の授受を行なうための真空用接続プラグ及びその真空用接続 プラグを真空容器内側用及び真空容器外側用の真空用接続プラグとし、これらの 真空用接続プラグを真空用電流導入端子を介して電気的、機械的に着脱自在に連 結してなる真空用電気連結体に関する。 The present invention provides a vacuum connection plug and a vacuum connection plug for transmitting and receiving an electric signal or the like from the outside to an electric device provided in the vacuum container, and for connecting the vacuum connection plug to the inside of the vacuum container and the vacuum connection plug. The present invention relates to a vacuum connection plug for the outside of a container, and a vacuum electrical connection body in which these vacuum connection plugs are electrically and mechanically detachably connected via a vacuum current introduction terminal.
【０００２】[0002]
従来、真空容器内に設けられた電気機器を制御したり、発生した電気信号を真 空容器の外側へ取り出すために、例えば図３に示すような真空用電流導入端子１ ４が使用されている。この従来の真空用電流導入端子１４は、真空容器１１に溶 接等により固定された筒状の金属製スリーブ１５と、金属製スリーブ１５の内部 空間に挿入され、且つ先端が真空容器１１の内側方向に突出し、一方、他端が真 空容器１１の外側に突出している電流導入棒１６と、電流導入棒１６と金属製ス リーブ１５の間に介在し、電流導入棒１６を保持し且つ両者間を電気的に絶縁し ているセラミックス体１７から構成されている。 Conventionally, for example, a vacuum current introduction terminal 14 as shown in FIG. 3 has been used to control an electric device provided in a vacuum container and to take out an generated electric signal to the outside of the vacuum container. . The conventional vacuum current introducing terminal 14 is inserted into a cylindrical metal sleeve 15 fixed to the vacuum container 11 by welding or the like, and an inner space of the metal sleeve 15, and a tip thereof is inside the vacuum container 11. And the other end of the current introducing rod 16 protruding toward the outside of the empty container 11, and the current introducing rod 16 is held between the current introducing rod 16 and the metal sleeve 15. It is composed of a ceramic body 17 electrically insulating the space.
【０００３】 この真空用電流導入端子１４の真空容器外側に接続されるべき、従来の真空用 接続プラグ１８は、真空用電流導入端子１４と電気的、機械的に着脱自在に連結 するために、筒状の金属製スリーブ１９と、真空用電流端子１４の電気導入棒１ ６と電気的、機械的に接続可能な電流導入棒２０と、この電流導入棒２０を保持 する樹脂製絶縁体２１から構成されている。The conventional vacuum connection plug 18 to be connected to the outside of the vacuum vessel of the vacuum current introducing terminal 14 is electrically and mechanically detachably connected to the vacuum current introducing terminal 14, From a cylindrical metal sleeve 19, a current introducing rod 20 that can be electrically and mechanically connected to the electric introducing rod 16 of the vacuum current terminal 14, and a resin insulator 21 that holds the current introducing rod 20. It is configured.
【０００４】 また、真空容器の内側においては、真空容器外側で用いられている真空用接続 プラグは、使用することはできない。即ち、絶縁体が樹脂製であるために耐熱性 が低く、またガス放出量が非常に多いためである。そのため、真空容器の内側に おいては、真空用接続プラグを使用することはなく、例えば、芯材２４を無機絶 縁材２３で被覆した導線２５の先端にピンコネクタ２２でカシメ等で接続し、こ れを真空用電流導入端子１４の電流導入棒１６に挿入、連結している。Further, inside the vacuum container, the vacuum connection plug used outside the vacuum container cannot be used. That is, since the insulator is made of resin, the heat resistance is low and the amount of gas released is very large. Therefore, inside the vacuum container, a vacuum connecting plug is not used. For example, the core material 24 is connected to the tip of the conductor wire 25 covered with the inorganic insulating material 23 by a pin connector 22 by caulking or the like. This is inserted and connected to the current introducing rod 16 of the vacuum current introducing terminal 14.
【０００５】 然し乍ら、核融合装置や加速器等のように放射線の発生が避けられない真空容 器に、従来の真空用接続プラグ１８を使用すると、樹脂製の絶縁体２１の電気的 、機械的特性が放射線被曝により加速度的に劣化し、短期間のうちに真空用接続 プラグとしての機能が果たせなくなってしまい、頻繁に真空用接続プラグを交換 する必要が生じ、保守に手間がかかるという不都合があった。また、超高真空状 態を達成するために真空容器１１を高温でベーキングする場合、耐熱性が低いこ とから真空用プラグ１８をその都度脱着する必要があった。また、真空容器の内 側におけるピンコネクタ２２と真空用電流導入端子１４の電流導入棒１６との締 結作業もピンの本数が増えるに従って煩雑となり、保守等の作業のためにピンコ ネクタ２２と真空用電流導入端子１４の電流導入棒１６との間を一時的に脱着す る場合、前もって各々のピンと電流導入棒との位置関係を１本ずつ確認しておか なければならず、この確認作業を怠ると誤配線の危険性もある。更に、これらの 作業を無人ロボットで行なわせようとしても工程が複雑で困難であった。However, when the conventional vacuum connection plug 18 is used in a vacuum container such as a nuclear fusion device or an accelerator in which radiation is inevitable, the electrical and mechanical characteristics of the resin insulator 21 are reduced. However, there is the inconvenience that the vacuum connection plug will not be able to function as a vacuum connection plug within a short period of time, and it will be necessary to frequently replace the vacuum connection plug, and maintenance will be troublesome. It was Further, when the vacuum container 11 is baked at a high temperature in order to achieve the ultra-high vacuum state, the vacuum plug 18 has to be detached each time because of its low heat resistance. Further, the work of tightening the pin connector 22 and the current introducing rod 16 of the vacuum current introducing terminal 14 on the inner side of the vacuum container becomes complicated as the number of pins increases, and the pin connector 22 and the vacuum are required for maintenance work. When temporarily detaching between the current introducing terminal 14 and the current introducing rod 16, the positional relationship between each pin and the current introducing rod must be confirmed one by one in advance. If neglected, there is a risk of incorrect wiring. Furthermore, even if an unmanned robot performs these tasks, the process is complicated and difficult.
【０００６】[0006]
従って、本考案は、前記のような種々の問題を解決するために考案されたもの であり、例えば、高い放射線場に長い時間晒されても電気的、機械的特性の劣化 がなく、３００℃以上の繰り返しの長時間のベーキングにも耐え、放出ガスの発 生も少なく、電気的な接続信頼性も高く、真空容器の内側と外側に関係なく、極 めて簡単に着脱作業が行なえる真空用接続プラグ及び真空用電気連結体を提供す ることを目的とする。 Therefore, the present invention was devised to solve the above-mentioned various problems. For example, even if it is exposed to a high radiation field for a long time, the electrical and mechanical properties are not deteriorated, and the temperature is 300 ° C. A vacuum that can withstand repeated baking for a long time, emits little gas, has high electrical connection reliability, and can be easily attached and detached regardless of the inside and outside of the vacuum vessel. The purpose of the present invention is to provide a connection plug for vacuum and an electrical connector for vacuum.
【０００７】[0007]
本考案は、上記の技術的な課題の解決のために、真空容器内側の気密を保持し ながら真空容器の内側と外側とを電気的に接続する真空用電流導入端子に、電気 的、機械的に接続される真空容器の内側用又は外側用に使用できる真空用接続プ ラグであって、該真空用電流導入端子の金属製スリーブに着脱可能に形成された 筒状の金属製スリーブと、該金属製スリーブ内の内部空間に挿入され、先端は該 真空用電流導入端子の電流導入棒に電気的、機械的に着脱可能に形成され、他端 は導線が結線可能に形成された、少なくとも１本の電流導入棒と、前記電流導入 棒と前記金属製スリーブとの間に介在し、前記電流導入棒を保持すると共に、前 記電流導入棒と前記金属製スリーブとを、電気的に絶縁するセラミックス体とか ら構成されることを特徴とする前記真空用接続プラグを提供する。そして、その セラミックス体は、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2 、ＭｇＯから選択された、少なくとも１ 種を主成分とする酸化物系セラミックス、若しくはＳｉＣ、Ｓｉ3Ｎ4、ＡｌＮ、 ＢＮから選択される、少なくとも１種を主成分とする非酸化物系セラミックスで あり、且つ相対密度が９５％以上のものが好適である。更に、本考案は、その真 空用接続プラグを、真空容器内側用真空用プラグと真空容器外側用真空用プラグ とに用いて、真空用電流導入端子を介して電気的、機械的に着脱自在に連結でき る真空用電気連結体を提供する。そして、その真空用電流導入端子の両端面嵌合 部の幾何学的形状は同一である真空用電気連結体が好適である。In order to solve the above technical problems, the present invention provides a vacuum current introduction terminal that electrically connects the inside and the outside of a vacuum container while maintaining the airtightness inside the vacuum container. A vacuum connection plug that can be used for the inside or outside of a vacuum container connected to a vacuum sleeve, and a tubular metal sleeve detachably formed on the metal sleeve of the vacuum current introduction terminal, At least one of which is inserted into the inner space of the metal sleeve, has a tip electrically and mechanically attachable to and detachable from the current introducing rod of the vacuum current introducing terminal, and has the other end connectable with a conductive wire. The current introducing rod is interposed between the current introducing rod and the metal sleeve, holds the current introducing rod, and electrically insulates the current introducing rod and the metal sleeve from each other. It consists of a ceramic body Providing said vacuum connection plug according to claim. The ceramic body is selected from oxide ceramics containing at least one of the main components selected from Al 2 O 3 , SiO 2 , and MgO, or SiC, Si 3 N 4 , AlN, or BN. Non-oxide ceramics containing at least one type as a main component and having a relative density of 95% or more are preferable. Further, according to the present invention, the vacuum connection plug is used as a vacuum plug for the inside of the vacuum container and a vacuum plug for the outside of the vacuum container, and can be detached electrically and mechanically via the current introduction terminal for the vacuum. An electrical connector for vacuum that can be connected to Further, it is preferable that the electric connection body for vacuum has the same geometric shape of the fitting portions on both end surfaces of the current introduction terminal for vacuum.
【０００８】[0008]
本考案によると、真空容器内側の気密を保持しながら真空容器の内側と外側と を電気的に接続する真空用電流導入端子に、電気的、機械的に接続される真空容 器の内側用又は外側用に使用できる真空用接続プラグを提供する。そして、その 真空用接続プラグは、その真空用電流導入端子の金属製スリーブに着脱可能に形 成された筒状の金属製スリーブと、金属製スリーブ内の内部空間に挿入され、先 端は真空用電流導入端子の電流導入棒に電気的、機械的に着脱可能に形成され、 他端は導線が結線可能に形成された、少なくとも１本の電流導入棒と、電流導入 棒と金属製スリーブとの間に介在し、電流導入棒を保持すると共に、電流導入棒 と金属製スリーブとを電気的に絶縁するセラミックス体とから構成される。その ために、耐熱性と耐放射線性にすぐれた真空用接続プラグを提供する。ここで、 金属製スリーブは、真空用電流導入端子の金属製スリーブに機械的に着脱可能と なるように形成されているが、必要であれば、電気的にも着脱可能となるように 形成されるものである。尚、金属製スリーブの材質は、アルミニウム又はアルミ ニウム合金が真空下での脱ガス性の点で好適である。 According to the present invention, the inside of a vacuum vessel electrically or mechanically connected to a vacuum current introduction terminal that electrically connects the inside and the outside of the vacuum vessel while keeping the inside of the vacuum vessel airtight or Provide a vacuum connection plug that can be used for the outside. The vacuum connection plug is inserted into the metal sleeve of the vacuum current introducing terminal that is detachably formed in the metal sleeve and the internal space inside the metal sleeve. At least one current introducing rod, which is electrically and mechanically detachably formed on the current introducing rod of the current introducing terminal and has a conductive wire connectable to the other end, the current introducing rod, and the metal sleeve. And a ceramic body that holds the current introducing rod and electrically insulates the current introducing rod from the metal sleeve. To this end, we provide vacuum connection plugs with excellent heat resistance and radiation resistance. Here, the metal sleeve is formed so as to be mechanically attachable / detachable to / from the metal sleeve of the current introduction terminal for vacuum, but if necessary, it is also electrically attachable / detachable. It is something. The material of the metal sleeve is preferably aluminum or aluminum alloy in terms of degassing property under vacuum.
【０００９】 更に、電流導入棒の材質としては、導電率が高い銅合金等が好適であるが、コ バ−ル（Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金）の如くセラミックス体の熱膨張特性に近い合金 又は金属を使用することができる。Further, as the material of the current introducing rod, a copper alloy or the like having a high conductivity is suitable, but an alloy having a thermal expansion characteristic close to that of the ceramic body such as a cover (Fe—Co—Ni alloy) or Metals can be used.
【００１０】 また、本考案に従って、前記セラミックス体として用いられるものは、Ａｌ2 Ｏ3、ＳｉＯ2 、ＭｇＯから選択された、少なくとも１種を主成分とする酸化物 系セラミックス、若しくはＳｉＣ、Ｓｉ3Ｎ4、ＡｌＮ、ＢＮから選択される、少 なくとも１種を主成分とする非酸化物系セラミックスが好適である。このような 材質は、耐熱性、電気絶縁性、耐放射線性の点から好ましい。また、相対密度が ９５％以上のものが好適である。相対密度が９５％未満の場合、焼結体気孔中に 存在するＮ2、Ｏ2ガスが放射線の照射によりＮＯX等の腐食性ガスに変化し、好 ましくない。Further, according to the present invention, as the ceramic body, an oxide-based ceramic containing at least one selected from Al 2 O 3 , SiO 2 , and MgO as a main component, or SiC or Si 3 is used. Non-oxide ceramics containing at least one selected from N 4 , AlN, and BN as a main component are preferable. Such materials are preferable in terms of heat resistance, electric insulation and radiation resistance. Further, it is preferable that the relative density is 95% or more. When the relative density is less than 95%, the N 2 and O 2 gas existing in the pores of the sintered body is changed to corrosive gas such as NO X due to irradiation of radiation, which is not preferable.
【００１１】 更に、本考案は、その真空用接続プラグを、真空容器内側用真空用プラグと真 空容器外側用真空用プラグとに用いて、真空用電流導入端子を介して電気的、機 械的に着脱自在に連結できる真空用電気連結体を提供する。公知の真空用電流導 入端子を使用したものである。この公知の真空用電流導入端子は、筒状の金属製 スリーブと、金属製スリーブ内の内部空間に挿入され、先端が真空容器内側方向 へ、他端が真空容器外側方向へ突出し、且つ真空用接続プラグの電流導入棒に電 気的、機械的に着脱可能に形成された電流導入棒と、電流導入棒と金属製スリー ブとの間に介在し、電流導入棒を保持すると共に、電流導入棒と金属製スリーブ とを電気的に絶縁するセラミックス体から構成され、更に、金属製スリーブと電 流導入棒とセラミックス体とが各々気密に接合されてなるものである。Further, the present invention uses the vacuum connection plugs as a vacuum plug for the inside of a vacuum container and a vacuum plug for the outside of a vacuum container to electrically and mechanically connect via a vacuum current introduction terminal. Provided is an electrical connector for vacuum that can be detachably connected. It uses a known current-carrying terminal for vacuum. This publicly known current introduction terminal for vacuum is inserted into a cylindrical metal sleeve and an internal space inside the metal sleeve, and a tip thereof projects inward of the vacuum container and another end thereof projects outward of the vacuum container. The current introducing rod is electrically and mechanically detachably attached to the current introducing rod of the connection plug, and is interposed between the current introducing rod and the metal sleeve to hold the current introducing rod and to introduce the current. It is composed of a ceramic body that electrically insulates the rod and the metal sleeve, and further, the metal sleeve, the current introducing rod and the ceramic body are hermetically joined to each other.
【００１２】 そして、その真空用電流導入端子の両端面嵌合部の幾何学的形状は同一である 真空用電気連結体が好適である。即ち、幾何学的形状を同一とすることにより、 真空用電流導入端子の両端面に各々接続する、真空容器内側用の真空用接続プラ グと真空容器外側用の真空用接続プラグとを共用することができる。[0012] It is preferable that the electrical connection body for vacuum has the same geometrical shape of both end face fitting portions of the current introduction terminal for vacuum. That is, by making the geometrical shape the same, the vacuum connection plug for the inside of the vacuum container and the vacuum connection plug for the outside of the vacuum container, which are connected to both end surfaces of the vacuum current introduction terminal, are shared. be able to.
【００１３】 次に、本考案を具体的な実施例により説明するが、本考案はそれらによって限 定されるものではない。Next, the present invention will be described with reference to specific examples, but the present invention is not limited thereto.
【００１４】[0014]
【実施例１】 図１は、本考案による真空用接続プラグの１例を示す、一部断面図及び正面図 である。１は、真空用電流導入端子のための金属スリーブであり、対象の金属ス リーブに着脱可能に形成された筒状のアルミニウム合金製である。２は、金属ス リーブ１の内部空間に挿入され、先端部は、真空容器の電流導入棒８（図２参照 ）に電気的、機械的に着脱可能、即ち、雄・雌の関係に形成され、他端部は、導 線が結線可能に、即ち、機械的なカシメにより形成された、コバ−ル製の電流導 入棒である。また、３は、電流導入棒２とスリーブ１との間に介在し、電流導入 棒２を保持すると共に、電流導入棒２とスリーブ１とを電気的に絶縁するアルミ ナ質セラミックス焼結体（Ａｌ2Ｏ3の含有量：９９．５重量％、相対密度：９７ ．５％）である。Embodiment 1 FIG. 1 is a partial sectional view and a front view showing an example of a vacuum connecting plug according to the present invention. Reference numeral 1 denotes a metal sleeve for a vacuum current introduction terminal, which is made of a tubular aluminum alloy detachably formed on a target metal sleeve. 2 is inserted into the inner space of the metal sleeve 1, and the tip is electrically and mechanically attachable / detachable to / from the current introducing rod 8 (see FIG. 2) of the vacuum container, that is, in a male / female relationship. The other end is a current-introducing rod made of kovar, which is capable of connecting the wires, that is, formed by mechanical caulking. Further, 3 is interposed between the current introducing rod 2 and the sleeve 1, holds the current introducing rod 2, and electrically insulates the current introducing rod 2 and the sleeve 1 from each other. Al 2 O 3 content: 99.5% by weight, relative density: 97.5%).
【００１５】 このように構成された真空用接続プラグ１０を真空容器外側の接続プラグ（Ｃ ：図２参照）として、１０17プロトン／秒の高い濃度の放射線場で使用したとこ ろ、３，０００時間以上安定して使用可能であった。 一方、図３に示す、従来の絶縁体２１が樹脂製の真空用接続プラグ１８を、真 空容器外側の接続プラグとして同様の放射線雰囲気場で使用したところ、数時間 で使用不可能となった。The vacuum connecting plug 10 thus configured was used as a connecting plug (C: see FIG. 2) outside the vacuum container in a radiation field having a high concentration of 10 17 protons / sec. It could be used stably for more than an hour. On the other hand, when the conventional vacuum connection plug 18 made of resin and shown in FIG. 3 was used in the same radiation atmosphere field as the connection plug outside the vacuum container, it became unusable within several hours. .
【００１６】[0016]
【実施例２】 図２は、本考案による真空用電気連結体の１例を示す一部断面図である。即ち 、真空容器の内側で使用される真空用接続プラグＢと真空容器の外側で使用され る真空用接続プラグＣとを、真空用電流導入端子Ａを介して着脱自在に連結して なる。そして、真空容器の内側で使用される真空用接続プラグＢと外側で使用さ れる真空用接続プラグＣは、共に、本考案の真空用接続プラグ（実施例１）と同 じものを用いる。Embodiment 2 FIG. 2 is a partial cross-sectional view showing an example of an electric connector for vacuum according to the present invention. That is, the vacuum connecting plug B used inside the vacuum container and the vacuum connecting plug C used outside the vacuum container are detachably connected via the vacuum current introducing terminal A. The vacuum connecting plug B used inside the vacuum container and the vacuum connecting plug C used outside are the same as the vacuum connecting plug (Example 1) of the present invention.
【００１７】 真空用電流導入端子Ａは、真空用接続用プラグ（Ｂ、Ｃ）の金属製スリーブ１ 、４に着脱可能な筒状アルミニウム合金製スリーブ７と、スリーブ７内の内部空 間に挿入され、先端が真空容器内側方向へ他端が真空容器外側方向へ突出し、且 つ真空用接続プラグの電流導入棒８と電気的、機械的に着脱可能に形成されたコ バ−ル製電流導入棒８と、電流導入棒８とスリーブ７との間に介在し、電流導入 棒８を保持すると共に、電流導入棒８と金属製スリーブ７とを電気的に絶縁する アルミナ質セラミックス焼結体９（Ａｌ2Ｏ3含有量：９９．５重量％、相対密度 ；９７．５％）からなる。尚、アルミニウム合金製スリーブ７と電流導入棒８と アルミナ質セラミックス焼結体９とは、各々ロ−付けにより気密に接合されてい る。また、この真空用電気連結体における真空用電流導入端子の両端面嵌合部の 幾何学的形状は、同一である。The vacuum current introducing terminal A is inserted between a cylindrical aluminum alloy sleeve 7 that can be attached to and detached from the metal sleeves 1 and 4 of the vacuum connecting plugs (B, C) and an internal space inside the sleeve 7. The tip of the coil is directed toward the inner side of the vacuum vessel, the other end is directed toward the outer side of the vacuum vessel, and the electric current introduction is made of a coil formed so as to be electrically and mechanically detachable from the electric current introduction rod 8 of the vacuum connection plug. Alumina ceramics sintered body 9 which is interposed between the rod 8 and the current introducing rod 8 and the sleeve 7, holds the current introducing rod 8 and electrically insulates the current introducing rod 8 and the metal sleeve 7 from each other. (Al 2 O 3 content: 99.5% by weight, relative density: 97.5%). The aluminum alloy sleeve 7, the current introducing rod 8 and the alumina-based ceramics sintered body 9 are airtightly joined to each other by bonding. In addition, the geometrical shapes of the fitting portions on both end faces of the vacuum current introducing terminal in this vacuum electrical connector are the same.
【００１８】 このように構成された真空用電気連結体を１０17プロトン／秒の高い濃度の放 射線場で耐久性を試験したところ、３，０００時間以上劣化は認められなかった 。When the vacuum electrical connector thus constructed was tested for durability in a radiation field having a high concentration of 10 17 protons / second, no deterioration was observed for 3,000 hours or more.
【００１９】 実施例で説明した、構造、材質は、一例であって、本考案の目的にかなうもの であれば、使用する材質、構成、製作過程など種々を組合わせたり、異なるもの を用いても良い。The structures and materials described in the embodiments are examples, and as long as they meet the purpose of the present invention, various combinations such as materials to be used, configurations, and manufacturing processes may be used or different materials may be used. Is also good.
【００２０】[0020]
以上説明したように、本考案の真空用接続プラグ及びそれを用いた構造により 、次のような顕著な技術的効果が得られた。 第１に、高い放射線に長時間晒される場所においても、電気的、機械的特性の 劣化がなく、３００℃以上の繰り返し長時間ベーキングにも耐え、放出ガスの発 生も少なく、電気的な接続の信頼性も高く、真空容器の内側と外側に関係なく、 極めて簡単に着脱作業が行なえる真空用接続プラグ及び真空用電気連結体を提供 することができた。 As described above, the vacuum plug and the structure using the same of the present invention have the following remarkable technical effects. First, even in a place exposed to high radiation for a long time, there is no deterioration in electrical and mechanical properties, it can withstand repeated long-term baking at 300 ° C or higher, and it emits little gas, resulting in an electrical connection. It was also possible to provide a vacuum connection plug and a vacuum electrical connector that can be attached and detached very easily regardless of the inside and outside of the vacuum container.
【図１】本考案の真空用接続プラグの１例の構造を示す
図である。FIG. 1 is a view showing a structure of an example of a vacuum connecting plug of the present invention.
【図２】本考案の真空用電気連結体の一例を示す図であ
る。FIG. 2 is a view showing an example of a vacuum electrical connector of the present invention.
【図３】従来の真空用接続プラグを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a conventional vacuum connection plug.
１、４、７ 金属性スリーブ ２、５、８、８’ 電流導入棒 ３、６、９ セラミックス体 １０ 真空用接続プラグ Ａ 真空用電流導入端子 Ｂ 真空容器内側の真空
用接続プラグ Ｃ 真空容器外側の真空
用接続プラグ1, 4, 7 Metallic sleeve 2, 5, 8, 8'Current introduction rod 3, 6, 9 Ceramic body 10 Vacuum connection plug A Vacuum current introduction terminal B Vacuum connection inside vacuum container C Vacuum container outside Vacuum connection plug
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 生原幸雄 千葉県船橋市豊富町585番地 住友セメン ト株式会社新材料事業部内 (72)考案者 田中万博 茨城県つくば市大穂１の１ 高エネルギー 物理学研究所内 (72)考案者 山野井豊 茨城県つくば市大穂１の１ 高エネルギー 物理学研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Yukio Ikuhara, 585 Tomicho, Funabashi, Chiba Prefecture Sumitomo Cement Co., Ltd. New Materials Division (72) Creator: Hirohiro Tanaka 1 High Energy Physics, 1 Hoho, Tsukuba, Ibaraki Research Institute (72) Yutaka Yamanoi, 1-1 Oho, Tsukuba City, Ibaraki Prefectural Institute for High Energy Physics
Claims (4)
容器の内側と外側とを電気的に接続する真空用電流導入
端子に、電気的、機械的に接続される真空容器の内側用
又は外側用に使用できる真空用接続プラグであって、 該真空用電流導入端子の金属製スリーブに着脱可能に形
成された筒状の金属製スリーブと、 該金属製スリーブ内の内部空間に挿入され、先端は該真
空用電流導入端子の電流導入棒に電気的、機械的に着脱
可能に形成され、他端は導線が結線可能に形成された、
少なくとも１本の電流導入棒と、 前記電流導入棒と前記金属製スリーブとの間に介在し、
前記電流導入棒を保持すると共に、前記電流導入棒と前
記金属製スリーブとを電気的に絶縁するセラミックス体
とから構成されることを特徴とする前記真空用接続プラ
グ。1. An inside or outside of a vacuum vessel electrically or mechanically connected to a vacuum current introducing terminal for electrically connecting the inside and the outside of the vacuum vessel while keeping the inside of the vacuum vessel airtight. A vacuum connecting plug that can be used for a vacuum, the tubular metal sleeve detachably formed on the metal sleeve of the vacuum current introducing terminal, and the tip inserted into the internal space of the metal sleeve. Is electrically and mechanically detachably formed on the current introduction rod of the vacuum current introduction terminal, and the other end is formed so that a conductor wire can be connected.
At least one current introducing rod, interposed between the current introducing rod and the metal sleeve,
The connecting plug for vacuum, characterized by comprising a ceramic body that holds the current introducing rod and electrically insulates the current introducing rod and the metal sleeve.
2 、ＭｇＯから選択された、少なくとも１種を主成分と
する酸化物系セラミックス、若しくはＳｉＣ、Ｓｉ
3Ｎ4、ＡｌＮ、ＢＮから選択される、少なくとも１種を
主成分とする非酸化物系セラミックスであり、且つ相対
密度が９５％以上であることを特徴とする請求項１に記
載の真空用接続プラグ。2. The ceramic body is made of Al 2 O 3 or SiO 2.
2 , oxide-based ceramics containing at least one selected from MgO, or SiC, Si
The vacuum oxide according to claim 1, which is a non-oxide ceramic having at least one selected from 3 N 4 , AlN, and BN as a main component and having a relative density of 95% or more. Connection plug.
グを、真空容器内側用真空用プラグと真空容器外側用真
空用プラグとに用いて、真空用電流導入端子を介して電
気的、機械的に着脱自在に連結できる真空用電気連結
体。3. The vacuum connection plug according to claim 1 or 2 is used for a vacuum container inner vacuum plug and a vacuum container outer vacuum plug to electrically connect via a vacuum current introduction terminal. An electrical connector for vacuum that can be mechanically attached and detached.
の幾何学的形状は同一であることを特徴とする請求項３
に記載の真空用電気連結体。4. The geometrical shape of both end face fitting portions of the vacuum current introducing terminal is the same.
The electrical connector for vacuum according to [4].
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1829793U JPH0679072U (en) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | Vacuum connection plug and vacuum electrical connector using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1829793U JPH0679072U (en) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | Vacuum connection plug and vacuum electrical connector using the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0679072U true JPH0679072U (en) | 1994-11-04 |
Family
ID=11967681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1829793U Pending JPH0679072U (en) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | Vacuum connection plug and vacuum electrical connector using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0679072U (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004533094A (en) * | 2001-05-15 | 2004-10-28 | 株式会社荏原製作所 | TDI detection device, feed-through device, electron beam device using the same, and semiconductor device manufacturing method using the electron beam device |
-
1993
- 1993-04-12 JP JP1829793U patent/JPH0679072U/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004533094A (en) * | 2001-05-15 | 2004-10-28 | 株式会社荏原製作所 | TDI detection device, feed-through device, electron beam device using the same, and semiconductor device manufacturing method using the electron beam device |
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